JPH0817070B2 - Method for forming blackened aluminum thin film of color picture tube - Google Patents
Method for forming blackened aluminum thin film of color picture tubeInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ガラスフエースプレート内面に蒸着され
た光反射性金属薄膜の上に、黒化アルミニウム薄膜を形
成するカラー受像管の黒化アルミニウム薄膜形成方法に
関する。The present invention relates to a blackened aluminum thin film for a color picture tube in which a blackened aluminum thin film is formed on a light-reflecting metal thin film deposited on the inner surface of a glass face plate. It relates to a forming method.
カラー受像管の蛍光面は、ガラス管体の前面部をなす
ガラスフエースプレートの内面に被着された蛍光膜から
発した光を、カラー受像管の前方、つまり、観察者方向
に発散させるため、蛍光膜上に光反射性金属薄膜を蒸着
形成した、いわゆるメタルバツク構造が一般的になつて
いる。The fluorescent surface of the color picture tube, the light emitted from the fluorescent film adhered to the inner surface of the glass face plate forming the front surface of the glass tube, the front of the color picture tube, that is, in order to diverge toward the viewer, A so-called metal back structure, in which a light-reflecting metal thin film is formed by vapor deposition on a fluorescent film, is generally used.
このメタルバツク蛍光面はカラー受像管の輝度を増加
させるとともに、イオン焼けの現象を防止する作用をも
つている。The metal back fluorescent screen has the functions of increasing the brightness of the color picture tube and preventing the phenomenon of ion burning.
第３図はこのようなカラー受像管の概要断面図であ
る。カラー受像管は、ガラス管体１の前面部をなすガラ
スフエースプレート（以下「パネル」と称する）1aの内
面に蛍光膜２が塗布により形成されている。この蛍光膜
２の表面には、この表面側を平滑にするために、有機物
質を主成分とするフイルム用ラツカー材からなる中間膜
３（第４図参照）が形成されている。この中間膜３の表
面には、この面を覆うようにアルミニウムからなる反射
性金属薄膜４が蒸着されている。なお、中間膜３は後の
工程で加熱分解され除去される。FIG. 3 is a schematic sectional view of such a color picture tube. In the color picture tube, a fluorescent film 2 is formed by coating on the inner surface of a glass face plate (hereinafter referred to as "panel") 1a which constitutes the front surface of the glass tube body 1. On the surface of the fluorescent film 2, an intermediate film 3 (see FIG. 4) made of a film racker material containing an organic material as a main component is formed in order to smooth the surface side. A reflective metal thin film 4 made of aluminum is deposited on the surface of the intermediate film 3 so as to cover the surface. The intermediate film 3 is thermally decomposed and removed in a later step.
このように構成されたカラー受像管において、電子銃
７から発射された電子ビームは、シヤドウマスク６に設
けられた多数の微細な孔を通り、これらの孔に対応する
蛍光膜２に入射し、カラー画像が現われる。この場合、
電子ビームがシヤドウマスク６を通過する透過率は15〜
30％と低く、残りの70〜85％の電子ビームはシヤドウマ
スク６に衝突し、そのエネルギーが熱となつてシヤドウ
マスク６の温度を上昇させることになる その結果シヤドウマスク６が熱膨張して変形し、マス
ク孔に対応する蛍光膜の発光位置がずれてしまい、ドー
ミング現象となる。この現象にともなつて色ずれ、いわ
ゆるミスランデイングが発生し、カラー画質が著しく低
下することになる。In the color picture tube configured as described above, the electron beam emitted from the electron gun 7 passes through a large number of fine holes provided in the shadow mask 6 and enters the fluorescent film 2 corresponding to these holes, and The image appears. in this case,
The transmittance of the electron beam passing through the shadow mask 6 is 15 to
As low as 30%, the remaining 70 to 85% of the electron beam collides with the shadow mask 6, and the energy of the electron beam increases the temperature of the shadow mask 6, resulting in thermal expansion and deformation of the shadow mask 6, The light emitting position of the fluorescent film corresponding to the mask hole is displaced, resulting in a doming phenomenon. Along with this phenomenon, color misregistration, so-called mislanding, occurs, and the color image quality is significantly deteriorated.
そこで、ミスランデイングを軽減するために、光反射
性金属薄膜４の外面に、熱吸収性物質薄膜をなす黒化ア
ルミニウム薄膜５を形成している。Therefore, in order to reduce mislanding, a blackened aluminum thin film 5 which is a heat absorbing substance thin film is formed on the outer surface of the light reflecting metal thin film 4.
従来のカラー受像管の黒化アルミニウム薄膜形成方法
を、第４図により説明する。光反射性金属薄膜４が蒸着
されたパネル1aを蒸着用外囲器８のホルダ11上にパツキ
ン12を介し気密支持する。外囲器８内にはパネル1a内面
から一定間隔にした位置に、タングステン線がコイル状
に巻回されてなる蒸発源９が配置されている。この蒸発
源９の発熱線をなすタングステン線は、純度99.99％の
タングステン線材（直径0.5〜0.8mm）の３本又は４本に
よる撚り線からなる。この蒸発源９の中に、直径2mm又
は3mmのアルミニウム線10を入れておく。このアルミニ
ウム線10の長さは、パネル1aの大きさ（インチサイズ）
により調整するものである。A conventional method for forming a blackened aluminum thin film of a color picture tube will be described with reference to FIG. The panel 1a on which the light-reflecting metal thin film 4 is deposited is airtightly supported on the holder 11 of the deposition envelope 8 via the packing 12. An evaporation source 9 formed by winding a tungsten wire in a coil shape is arranged inside the envelope 8 at a position spaced apart from the inner surface of the panel 1a. The tungsten wire forming the heating line of the evaporation source 9 is a stranded wire made of three or four tungsten wires (diameter: 0.5 to 0.8 mm) having a purity of 99.99%. An aluminum wire 10 having a diameter of 2 mm or 3 mm is placed in the evaporation source 9. The length of this aluminum wire 10 is the size of the panel 1a (inch size).
It is adjusted by.
次に、外囲器８内を排気装置（図示しない）により0.
1〜0.3Torrの真空に保ちながら、蒸発源９に通電し約15
00℃に温度上昇させ、アルミニウム線10を溶融蒸着させ
黒化アルミニウム薄膜５を形成する。Next, the inside of the envelope 8 is evacuated by an exhaust device (not shown).
While keeping the vacuum at 1 to 0.3 Torr, energize the evaporation source 9 for about 15 minutes.
The temperature is raised to 00 ° C. and the aluminum wire 10 is melt-deposited to form the blackened aluminum thin film 5.
このようにして、黒化アルミニウム薄膜５を形成した
あと、上記フイルム用ラツカー材からなる中間膜３を分
解除去するため420〜430℃でベーキング処理し蛍光面形
成が完了する。After the blackened aluminum thin film 5 is formed in this manner, a baking treatment is performed at 420 to 430 ° C. to decompose and remove the intermediate film 3 made of the film lacquer material, thus completing the fluorescent screen formation.
この後、パネル1aとフアンネル1bをはんだガラスで封
着する工程を経てから、通常の工程を経てカラー受像管
が完成される。After this, a color picture tube is completed through a step of sealing the panel 1a and the funnel 1b with solder glass and then a normal step.
上記蒸発源９部を第５図に示す。蒸発源９の中に入れ
られたアルミニウム線10の長さｌは、蒸発源９のコイル
状部9aの長さＬに対し何等規制されていなかつた。FIG. 5 shows 9 parts of the evaporation source. The length l of the aluminum wire 10 put in the evaporation source 9 was not restricted with respect to the length L of the coiled portion 9a of the evaporation source 9.
上記のような従来のカラー受像管の黒化アルミニウム
薄膜形成方法では、蒸発源９に通電加熱すると、アルミ
ニウム線10のあるＡ部分は温度上昇が遅く、アルミニウ
ム線10のないＢ部分では急激に温度上昇し1500℃以上と
なり、その差は500℃以上となる。加熱によりＡ部分で
アルミニウム線10の溶融が始まると、Ａ部とＢ部の境界
部Ｃにおいて、溶融アルミニウムが温度差により直径0.
1〜0.5mmの溶融粒となつてパネル1a内面の光反射性金属
薄膜４に飛散し、その溶融熱で金属薄膜４をはがす不良
が発生するという問題点があつた。In the conventional method of forming a blackened aluminum thin film for a color picture tube as described above, when the evaporation source 9 is electrically heated, the temperature of the portion A having the aluminum wire 10 rises slowly, and the temperature of the portion B having no aluminum wire 10 rapidly increases. The temperature rises to over 1500 ℃, and the difference is over 500 ℃. When the aluminum wire 10 begins to melt at the portion A due to heating, the molten aluminum at the boundary portion C between the portions A and B has a diameter of 0.
There was a problem that the molten particles of 1 to 0.5 mm were scattered on the light-reflective metal thin film 4 on the inner surface of the panel 1a, and the heat of fusion caused a defect of peeling the metal thin film 4.
この発明は、このような問題点を解決するためになさ
れたもので、蒸発源によるアルミニウム線の加熱蒸着の
際、アルミニウムの溶融粒の飛散をなくし、光反射性金
属薄膜のはがれを防ぎ、良品率を向上するカラー受像管
の黒化アルミニウム薄膜形成方法を得ることを目的とし
ている。The present invention has been made to solve such a problem, in the heating evaporation of an aluminum wire by an evaporation source, eliminates the scattering of molten particles of aluminum, prevents peeling of the light-reflecting metal thin film, An object of the present invention is to obtain a method for forming a blackened aluminum thin film of a color picture tube which improves the rate.
この発明にかかるカラー受像管の黒化アルミニウム薄
膜形成方法は、アルミニウム線の長さを蒸発源のコイル
状部長さに対し、0.7以下又は1.0以上に規制したもので
ある。In the method for forming a blackened aluminum thin film of a color picture tube according to the present invention, the length of the aluminum wire is regulated to 0.7 or less or 1.0 or more with respect to the length of the coiled portion of the evaporation source.
この発明においては、蒸発源を通電発熱すると、コイ
ル状部にアルミニウム線が接している長さの割合が0.7
以下又は1.0であり、コイル部全体がほぼ均一加熱さ
れ、局部的な温度差が小さくなり、アルミニウム線が一
様に溶融して噴霧状に蒸発し、光反射性金属薄膜上に黒
化アルミニウム薄膜が蒸着形成され、従来のようにアル
ミニウム溶融粒が飛散することはない。In this invention, when the evaporation source is energized to generate heat, the ratio of the length of the aluminum wire in contact with the coiled portion is 0.7.
It is less than or equal to 1.0, and the entire coil part is heated almost uniformly, the local temperature difference is reduced, the aluminum wire is uniformly melted and evaporated in a spray form, and the blackened aluminum thin film is formed on the light reflective metal thin film. Is formed by vapor deposition, and molten aluminum particles are not scattered unlike the conventional case.
第１図はこの発明の一実施例によるカラー受像管の黒
化アルミニウム薄膜形成方法を示す装置部の概要断面図
であり、1a,2〜5,8,9,11,12は上記従来装置と同一のも
のであり、説明は略する。蒸発源９の両端を接続支持す
る電極14は、パネル1aの内面より下方に200mmに配置し
ている。純度99.99％，直径2mmのアルミニウム線20を13
mm長さに切断し、これを蒸発源９のコイル部内に挿入す
る。FIG. 1 is a schematic sectional view of an apparatus part showing a method for forming a blackened aluminum thin film of a color picture tube according to an embodiment of the present invention. 1a, 2 to 5, 8, 9, 9, 11 and 12 are the same as those of the conventional apparatus. They are the same and will not be described. The electrode 14 connecting and supporting both ends of the evaporation source 9 is arranged 200 mm below the inner surface of the panel 1a. 13 aluminum wire 20 with a purity of 99.99% and a diameter of 2 mm
Cut into mm length, and insert this into the coil portion of the evaporation source 9.
この蒸発源９部を第２図に示す。蒸発源９のコイル状
部9aの長さＬに対し、アルミニウム線10の長さｌの割合
は、0.7以下又は1.0以上になるように規制している。コ
イル状部9aにはアルミニウム線10がＡ部分で接し、Ｂ部
分は接していない。This evaporation source 9 part is shown in FIG. The ratio of the length l of the aluminum wire 10 to the length L of the coiled portion 9a of the evaporation source 9 is regulated to 0.7 or less or 1.0 or more. The aluminum wire 10 is in contact with the coiled portion 9a at the portion A, but not at the portion B.
上記コイル状部9aに対するアルミニウム線10の長さの
割合は、次表に示す実験結果から得られたものである。The ratio of the length of the aluminum wire 10 to the coil-shaped portion 9a is obtained from the experimental results shown in the following table.
この実験では、蒸発源９として、直径0.5mmのタング
ステン線の３本燃り線を用い、コイル状部9aは外径6mm,
長さＬを25mmに形成した。パネル1a内側の中央に黒化ア
ルミニウム薄膜５が集中するのを防止する（つまり、広
く分布させる）ため、コイル状部9aは、第２図のように
15°傾けてある。 In this experiment, as the evaporation source 9, three burnt wires of tungsten wire having a diameter of 0.5 mm were used, and the coiled portion 9a had an outer diameter of 6 mm,
The length L is 25 mm. In order to prevent the blackened aluminum thin film 5 from concentrating in the center of the inside of the panel 1a (that is, it is widely distributed), the coil-shaped portion 9a is formed as shown in FIG.
It is tilted 15 °.
上記のように設定した蒸発源９のコイル状部9aの長さ
Ｌに対し、アルミニウム線10の長さｌを0.52とした。The length l of the aluminum wire 10 was set to 0.52 with respect to the length L of the coiled portion 9a of the evaporation source 9 set as described above.
第１図のように、蒸着用外囲器８を設定した後、蛍光
膜2,中間膜３及び光反射性金属薄膜４が形成された、20
インチのパネル1aを、外囲器８のホルダ11上にパツキン
12を介し気封に支持する。As shown in FIG. 1, after setting the vapor deposition envelope 8, the fluorescent film 2, the intermediate film 3, and the light-reflecting metal thin film 4 were formed.
Pack the inch panel 1a on the holder 11 of the envelope 8.
Support airtight through 12.
次に、外囲器８内を排気装置（図示しない）により８
×10-2Torrの真空に保ちながら、蒸発源９に通電する
と、コイル上部9aはほぼ均一的に温度上昇する。約1500
℃となつたところで、アルミニウム線10が溶融蒸発し、
光反射性金属薄膜４上に黒化アルミニウム薄膜５となつ
て蒸着形成される。Next, the inside of the envelope 8 is removed by an exhaust device (not shown).
When the evaporation source 9 is energized while maintaining a vacuum of × 10 -2 Torr, the temperature of the coil upper portion 9a rises almost uniformly. About 1500
At the temperature of ℃, the aluminum wire 10 melts and evaporates,
It is vapor-deposited on the light reflective metal thin film 4 together with the blackened aluminum thin film 5.
この後は通常どおり、パネル1aとフアンネル1bをはん
だガラスで封着する工程を経てから、通常の工程を経た
あとカラー受像管として完成する。After this, as usual, the panel 1a and the funnel 1b are sealed with a solder glass, and then the normal process is completed to complete a color picture tube.
なお、上記実施例では、アルミニウム線10の長さl/L
を0.7以下にした場合について説明したが、l/Lを1.0と
した場合には、蒸発源９の温度上昇がさらに均一化さ
れ、アルミニウム溶融粒の飛散がなく良好な結果が得ら
れた。しかし、l/Lが1.0以上の場合で、アルミニウム線
10の端部がコイル状部9a端より5mm以上はみ出すと、ア
ルミニウム線10が溶融するとき、はみ出し部は熱伝導が
遅れるため溶融落下するので、はみ出し寸法は5mm以上
は好ましくない。In the above example, the length l / L of the aluminum wire 10
However, when l / L was set to 1.0, the temperature rise of the evaporation source 9 was further homogenized, and good results were obtained without scattering of aluminum molten particles. However, when l / L is 1.0 or more, aluminum wire
When the end portion of 10 protrudes from the end of the coiled portion 9a by 5 mm or more, when the aluminum wire 10 is melted, the protruding portion melts and falls because heat conduction is delayed, so that the protruding dimension is not preferably 5 mm or more.
また、パネル1aが同一寸法であれば、l/Lの関係は、
アルミニウム線10の長さはパネル1aの寸法に適応させ、
蒸発源９のコイル状部9aの長さを変える方がよい。これ
は、アルミニウム線10の長さを変えると、黒化アルミニ
ウム薄膜５の膜厚が変化するからである。厚過ぎると画
面の輝度低下をきたし、薄過ぎるとドーミング効果が半
減するからである。If the panel 1a has the same size, the l / L relationship is
The length of the aluminum wire 10 is adapted to the dimensions of the panel 1a,
It is better to change the length of the coiled portion 9a of the evaporation source 9. This is because the thickness of the blackened aluminum thin film 5 changes when the length of the aluminum wire 10 is changed. If it is too thick, the brightness of the screen will be reduced, and if it is too thin, the doming effect will be halved.
さらに、上記実施例では、蒸発源９を横向き配置した
が、立形配置でも同様の効果が得られた。Further, in the above-mentioned embodiment, the evaporation source 9 is arranged laterally, but the same effect can be obtained by the vertical arrangement.
なおまた、上記実施例では、アルミニウム線10の一端
を蒸発源９のコイル状部9aの一端にそろえたが、そろえ
なくてもよい。Further, in the above embodiment, one end of the aluminum wire 10 is aligned with one end of the coil-shaped portion 9a of the evaporation source 9, but it is not necessary to align them.
以上のように、この発明によれば、蒸発源のコイル状
部長さに対し、アルミニウム線の長さを0.7以下又は1.0
以上に規制したので、アルミ溶融粒が飛散し光反射性金
属薄膜にはがれが生じるのが防止でき、品質が安定し良
品率が大幅に向上される。As described above, according to the present invention, the length of the aluminum wire is 0.7 or less or 1.0 with respect to the length of the coiled portion of the evaporation source.
Because of the above restrictions, it is possible to prevent the molten aluminum particles from scattering and peeling off from the light-reflecting metal thin film, which stabilizes the quality and significantly improves the non-defective rate.
第１図はこの発明の一実施例によるカラー受像管の黒化
アルミニウム薄膜形成方法を示す装置部の縦断面図、第
２図は第１図の蒸発源部の拡大図、第３図はカラー受像
管の概要縦断面図、第４図は従来のカラー受像管の黒化
アルミニウム薄膜形成方法を示す装置部の縦断面図、第
５図は第４図の蒸発源部の拡大図である。 １……ガラス管体、1a……ガラスフエースプレート、２
……蛍光膜、３……中間膜、４……光反射性金属薄膜、
５……黒化アルミニウム薄膜、９……蒸発源、9a……コ
イル状部、20……アルミニウム線 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。FIG. 1 is a vertical sectional view of an apparatus section showing a method for forming a blackened aluminum thin film of a color picture tube according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of an evaporation source section of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a schematic vertical sectional view of a picture tube, FIG. 4 is a vertical sectional view of an apparatus section showing a method for forming a blackened aluminum thin film of a conventional color picture tube, and FIG. 5 is an enlarged view of an evaporation source section in FIG. 1 ... Glass tube, 1a ... Glass face plate, 2
...... Fluorescent film, 3 ... Intermediate film, 4 ... Light-reflecting metal thin film,
5 ... Blackened aluminum thin film, 9 ... Evaporation source, 9a ... Coil-shaped portion, 20 ... Aluminum wire In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding portions.
Claims (1)
成し、この蛍光膜上に中間膜を形成して平滑面にし、こ
の中間膜上に光反射性金属薄膜を形成した工程後、蒸発
源の発熱線によるコイル状部内にアルミニウム線を入
れ、このアルミニウム線を溶融蒸発させ、上記光反射性
金属薄膜上に真空蒸着により黒化アルミニウム薄膜を形
成する方法において、 上記蒸発源のコイル状部の長さに対し、上記アルミニウ
ム線の長さの割合を0.7以下又は1.0以上に規制するよう
にしたことを特徴とするカラー受像管の黒化アルミニウ
ム薄膜形成方法。1. A step of forming a fluorescent film on the inner surface of a glass face plate, forming an intermediate film on the fluorescent film to form a smooth surface, and forming a light-reflecting metal thin film on the intermediate film, and then forming an evaporation source. An aluminum wire is placed in a coiled portion formed by a heating wire, the aluminum wire is melted and evaporated, and a blackened aluminum thin film is formed on the light-reflecting metal thin film by vacuum deposition. On the other hand, a method of forming a blackened aluminum thin film for a color picture tube, wherein the length ratio of the aluminum wire is regulated to 0.7 or less or 1.0 or more.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP288690A JPH0817070B2 (en) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Method for forming blackened aluminum thin film of color picture tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP288690A JPH0817070B2 (en) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Method for forming blackened aluminum thin film of color picture tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03208228A JPH03208228A (en) | 1991-09-11 |
| JPH0817070B2 true JPH0817070B2 (en) | 1996-02-21 |
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| JP (1) | JPH0817070B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100329566B1 (en) * | 1999-08-27 | 2002-03-23 | 김순택 | Evaporating coil of Al film for cathode ray tube |
-
1990
- 1990-01-10 JP JP288690A patent/JPH0817070B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH03208228A (en) | 1991-09-11 |
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