JPH08161736A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH08161736A JPH08161736A JP29859394A JP29859394A JPH08161736A JP H08161736 A JPH08161736 A JP H08161736A JP 29859394 A JP29859394 A JP 29859394A JP 29859394 A JP29859394 A JP 29859394A JP H08161736 A JPH08161736 A JP H08161736A
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- JP
- Japan
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- recording medium
- magnetic recording
- magnetic
- layer
- head
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高温多湿下においてもヘッド汚れの少ない、
優れた磁気記録媒体を提供する。 【構成】 非磁性基板上に磁性層、保護層、及び潤滑層
を順次形成してなる磁気記録媒体の製造方法において、
潤滑層を形成する前に、55℃以上90℃以下の温純水
で洗浄することにより、優れた潤滑性、耐摩耗性を有
し、耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
優れた磁気記録媒体を提供する。 【構成】 非磁性基板上に磁性層、保護層、及び潤滑層
を順次形成してなる磁気記録媒体の製造方法において、
潤滑層を形成する前に、55℃以上90℃以下の温純水
で洗浄することにより、優れた潤滑性、耐摩耗性を有
し、耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、情報産業等で利用され
る高記録密度の磁気記録媒体の製造方法に関するもので
ある。
る高記録密度の磁気記録媒体の製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】情報産業等で利用される高記録密度の磁
気記録媒体の代表的な例である薄膜型磁気記録媒体は、
通常、磁性金属またはその合金をメッキ、蒸着またはス
パッタリング法等によって非磁性基板上に披着して製造
される。実際の使用時においては磁気ヘッドと磁気記録
媒体とが高速で接触摺動するので、摩耗損傷を受けた
り、磁気特性の劣化を起こしたりする。
気記録媒体の代表的な例である薄膜型磁気記録媒体は、
通常、磁性金属またはその合金をメッキ、蒸着またはス
パッタリング法等によって非磁性基板上に披着して製造
される。実際の使用時においては磁気ヘッドと磁気記録
媒体とが高速で接触摺動するので、摩耗損傷を受けた
り、磁気特性の劣化を起こしたりする。
【0003】このような欠点を解決する方法として、磁
性層上に保護膜や潤滑層を設けることによって接触摺動
の際の静/動摩擦を極力低減させ、耐摩耗性を向上させ
ることが提案されている。保護膜としては、炭素質膜、
酸化物膜、窒化物膜及びホウ化物膜等が利用される。
性層上に保護膜や潤滑層を設けることによって接触摺動
の際の静/動摩擦を極力低減させ、耐摩耗性を向上させ
ることが提案されている。保護膜としては、炭素質膜、
酸化物膜、窒化物膜及びホウ化物膜等が利用される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】磁気記録媒体は、その
使用時においてディスク媒体が停止状態から急速に回転
加速され、これに伴い、浮上ヘッドスライダに浮力が与
えられてヘッドは浮上する。使用後に電源が切断される
とディスク媒体を回転させているモータが停止し、ヘッ
ドと媒体とが高速で接触を起こして摺動する。
使用時においてディスク媒体が停止状態から急速に回転
加速され、これに伴い、浮上ヘッドスライダに浮力が与
えられてヘッドは浮上する。使用後に電源が切断される
とディスク媒体を回転させているモータが停止し、ヘッ
ドと媒体とが高速で接触を起こして摺動する。
【0005】ところが、近年、面記録密度を高めるため
にヘッドの低浮上化とディスク回転の高速化が求められ
て要る。媒体基板はより平滑になる方向にある。動摩擦
係数を低減するために液体潤滑膜を設けることは非常に
有効であるが、液体潤滑膜を厚くしていくと、ヘッドと
ディスクとの間に液体潤滑剤の表面張力によるマイクロ
メニスカスが形成されて、吸着現象(sticking)が生じる
ことが知られている。このため静摩擦係数が増加し、往
々にしてヘッドがディスクに張り付いたまま動作不能と
なることが指摘されている。
にヘッドの低浮上化とディスク回転の高速化が求められ
て要る。媒体基板はより平滑になる方向にある。動摩擦
係数を低減するために液体潤滑膜を設けることは非常に
有効であるが、液体潤滑膜を厚くしていくと、ヘッドと
ディスクとの間に液体潤滑剤の表面張力によるマイクロ
メニスカスが形成されて、吸着現象(sticking)が生じる
ことが知られている。このため静摩擦係数が増加し、往
々にしてヘッドがディスクに張り付いたまま動作不能と
なることが指摘されている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、高温多湿下においてもヘッド汚れの少ない
優れた磁気記録媒体を得ることを特徴とする。本発明に
より得られた磁気記録媒体は、コンポジットヘッド、ミ
グヘッドおよび薄膜ヘッドにも適応できる。以下、本発
明を詳細に説明する。
製造方法は、高温多湿下においてもヘッド汚れの少ない
優れた磁気記録媒体を得ることを特徴とする。本発明に
より得られた磁気記録媒体は、コンポジットヘッド、ミ
グヘッドおよび薄膜ヘッドにも適応できる。以下、本発
明を詳細に説明する。
【0007】本発明を適用する磁気記録媒体として、非
磁性基板としては、通常、ニッケル・リン層を設けたア
ルミニウム合金板またはガラス基板が用いられるが、そ
のほかにもセラミック基板、カーボン基板、樹脂基板等
を用いることもできる。磁性層としては、必要に応じて
下引層を設けた後、例えばCoまたはCoP系合金、C
oNiP系合金、CoNiCr系合金、CoNiPt系
合金、CoCrPt系合金、CoCrPtTa系合金等
のCo合金等を無電解メッキ法、スパッタリング法等に
より形成される。磁性層の膜厚は、磁気記録媒体として
要求される特性により決定され、通常、200〜150
0Åである。薄膜磁性層上の保護膜は、必ずしも不可欠
のものではなく、磁性膜の硬度や弾性率等の物理物性を
鑑みて、必要に応じて形成される。保護膜としては炭素
質膜、酸化物膜、窒化物膜、ホウ化物膜等が用いられ、
スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマ
重合法等により形成される。保護膜として好ましく用い
られるのは、無定形炭素、水素化カーボン等の炭素質膜
であり、通常、50〜500Å、好適には、100〜3
00Åの膜厚で用いられる。また必要に応じて紫外線照
射等の保護膜表面処理を施すこともできる。
磁性基板としては、通常、ニッケル・リン層を設けたア
ルミニウム合金板またはガラス基板が用いられるが、そ
のほかにもセラミック基板、カーボン基板、樹脂基板等
を用いることもできる。磁性層としては、必要に応じて
下引層を設けた後、例えばCoまたはCoP系合金、C
oNiP系合金、CoNiCr系合金、CoNiPt系
合金、CoCrPt系合金、CoCrPtTa系合金等
のCo合金等を無電解メッキ法、スパッタリング法等に
より形成される。磁性層の膜厚は、磁気記録媒体として
要求される特性により決定され、通常、200〜150
0Åである。薄膜磁性層上の保護膜は、必ずしも不可欠
のものではなく、磁性膜の硬度や弾性率等の物理物性を
鑑みて、必要に応じて形成される。保護膜としては炭素
質膜、酸化物膜、窒化物膜、ホウ化物膜等が用いられ、
スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマ
重合法等により形成される。保護膜として好ましく用い
られるのは、無定形炭素、水素化カーボン等の炭素質膜
であり、通常、50〜500Å、好適には、100〜3
00Åの膜厚で用いられる。また必要に応じて紫外線照
射等の保護膜表面処理を施すこともできる。
【0008】形成した保護膜表面を、温純水で洗浄した
のち潤滑層を形成する。保護膜表面に存在する水溶性不
純物が、保護膜と潤滑剤との結合力を弱め、ディスク駆
動時に潤滑剤がヘッドに転写されるものと考えられる。
潤滑層を形成する前にディスク表面の不純物を温純水で
洗浄して不純物を溶出させて取り除くことで、清浄な表
面に潤滑層を形成させることができる。保護膜と潤滑剤
との結合力が弱い部分がなくなり、CSSを行ってもヘ
ッドが汚れることが無くなると考えられる。常温常湿の
みでなく高温多湿のような過酷な環境下でもヘッド汚れ
が少ないディスクを得ることができる。洗浄方法として
は、ディスクを温純水に浸漬したのち乾燥する。温純水
の温度としては、ディスクを浸漬したのちその表面が乾
く温度が必要であり、純水が沸騰しない温度の範囲内
で、55℃以上90℃以下が適当である。温純水で洗浄
する工程と併せて超音波洗浄を施してもよい。
のち潤滑層を形成する。保護膜表面に存在する水溶性不
純物が、保護膜と潤滑剤との結合力を弱め、ディスク駆
動時に潤滑剤がヘッドに転写されるものと考えられる。
潤滑層を形成する前にディスク表面の不純物を温純水で
洗浄して不純物を溶出させて取り除くことで、清浄な表
面に潤滑層を形成させることができる。保護膜と潤滑剤
との結合力が弱い部分がなくなり、CSSを行ってもヘ
ッドが汚れることが無くなると考えられる。常温常湿の
みでなく高温多湿のような過酷な環境下でもヘッド汚れ
が少ないディスクを得ることができる。洗浄方法として
は、ディスクを温純水に浸漬したのち乾燥する。温純水
の温度としては、ディスクを浸漬したのちその表面が乾
く温度が必要であり、純水が沸騰しない温度の範囲内
で、55℃以上90℃以下が適当である。温純水で洗浄
する工程と併せて超音波洗浄を施してもよい。
【0009】
【実施例】次に本発明を実施例によりさらに具体的に説
明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施
例に限定されるものではない。 実施例1 アルミニウム合金の基板上にスパッタリング法によりク
ロム下地層(500Å)、コバルト合金の磁性薄膜(6
00Å)および炭素質保護膜(260Å)を形成し、テ
ープクリーニング処理を施した直径3.5インチの磁気
ディスクを、温度65℃の温純水に30秒間浸漬、乾燥
した。このディスクにパーフルオロポリエーテル潤滑層
(Fombline Z Dol/2000)を形成
し、グライド処理を行った。
明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施
例に限定されるものではない。 実施例1 アルミニウム合金の基板上にスパッタリング法によりク
ロム下地層(500Å)、コバルト合金の磁性薄膜(6
00Å)および炭素質保護膜(260Å)を形成し、テ
ープクリーニング処理を施した直径3.5インチの磁気
ディスクを、温度65℃の温純水に30秒間浸漬、乾燥
した。このディスクにパーフルオロポリエーテル潤滑層
(Fombline Z Dol/2000)を形成
し、グライド処理を行った。
【0010】グライド処理を行ったディスクについて、
温度32°C、相対湿度80%の環境下でCSS試験を
行ったところ、ヘッドの汚れはほとんど見られなかっ
た。CSS試験については周速3600rpmの薄膜ヘ
ッドスライダ(材質:Al 2 03 TiC)を用いて行な
った。スピンドルへ10秒間通電した後、24秒間電源
を切断する計34秒をCSS1サイクルとし、CSSサ
イクルを20000回行なった。
温度32°C、相対湿度80%の環境下でCSS試験を
行ったところ、ヘッドの汚れはほとんど見られなかっ
た。CSS試験については周速3600rpmの薄膜ヘ
ッドスライダ(材質:Al 2 03 TiC)を用いて行な
った。スピンドルへ10秒間通電した後、24秒間電源
を切断する計34秒をCSS1サイクルとし、CSSサ
イクルを20000回行なった。
【0011】実施例2 テープクリーニング処理を施した後、温度73℃の温純
水に浸漬すること以外は、実施例1と同様にして得た磁
気ディスクを、CSS試験を行ったところ、ヘッドの汚
れはほとんど見られなかった。 比較例1 テープクリーニング処理を施した後、温度25℃の純水
に浸漬すること以外は、実施例1と同様にして得た磁気
ディスクを、CSS試験を行ったところ、ヘッド全体に
激しい汚れが見られた。
水に浸漬すること以外は、実施例1と同様にして得た磁
気ディスクを、CSS試験を行ったところ、ヘッドの汚
れはほとんど見られなかった。 比較例1 テープクリーニング処理を施した後、温度25℃の純水
に浸漬すること以外は、実施例1と同様にして得た磁気
ディスクを、CSS試験を行ったところ、ヘッド全体に
激しい汚れが見られた。
【0012】比較例2 実施例1とテープクリーニングまで同様の処理を行った
ディスクを用い、潤滑層を形成し、グライド処理を行っ
たディスクについて、実施例1と同様にCSS試験を行
なったところ、ヘッド全体に激しい汚れが見られた。
ディスクを用い、潤滑層を形成し、グライド処理を行っ
たディスクについて、実施例1と同様にCSS試験を行
なったところ、ヘッド全体に激しい汚れが見られた。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、薄膜で優れた潤滑性・
耐摩耗性を有し、長期間にわたり優れた耐久性を維持す
ることができる信頼性の高い磁気記録媒体が得られ、C
SS試験においてもヘッドの汚れを低減することがで
き、長期にわたり信頼性の高い磁気記録媒体を得ること
ができる。
耐摩耗性を有し、長期間にわたり優れた耐久性を維持す
ることができる信頼性の高い磁気記録媒体が得られ、C
SS試験においてもヘッドの汚れを低減することがで
き、長期にわたり信頼性の高い磁気記録媒体を得ること
ができる。
Claims (2)
- 【請求項1】非磁性基板上に磁性層、保護層及び潤滑層
を順次形成してなる磁気記録媒体の製造方法において、
潤滑層を形成する前に、55℃以上90℃以下の温純水
で洗浄することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法 - 【請求項2】潤滑層を形成する前に、超音波洗浄するこ
とを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29859394A JPH08161736A (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29859394A JPH08161736A (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08161736A true JPH08161736A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=17861748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29859394A Pending JPH08161736A (ja) | 1994-12-01 | 1994-12-01 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08161736A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999014746A1 (fr) * | 1997-09-17 | 1999-03-25 | Showa Denko K.K. | Support 'enregistrement magnetique et son procede de production |
US6316062B1 (en) | 1997-09-17 | 2001-11-13 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium and method of producing the same |
US6680112B1 (en) | 1999-06-29 | 2004-01-20 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and production process thereof |
JP2009087456A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Hoya Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
WO2011125990A1 (ja) * | 2010-04-06 | 2011-10-13 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1994
- 1994-12-01 JP JP29859394A patent/JPH08161736A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999014746A1 (fr) * | 1997-09-17 | 1999-03-25 | Showa Denko K.K. | Support 'enregistrement magnetique et son procede de production |
US6316062B1 (en) | 1997-09-17 | 2001-11-13 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium and method of producing the same |
US6468602B2 (en) | 1997-09-17 | 2002-10-22 | Showa Denko K.K. | Method of manufacturing a magnetic recording medium |
US6680112B1 (en) | 1999-06-29 | 2004-01-20 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and production process thereof |
JP2009087456A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Hoya Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
WO2011125990A1 (ja) * | 2010-04-06 | 2011-10-13 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2011222062A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法 |
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