JPH08160332A - 回転多面鏡駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 軸受荷重能力を低下させずに回転多面鏡の空
気抵抗を低減させること。 【構成】 回転多面鏡と遠心羽根車とが一体化された遠
心羽根車一体型回転多面鏡４６は、磁性流体シール５２
やシール部材５０によって密封されたミラーケーシング
４８内に配置され、ステータ電磁石３４による駆動でロ
ータ３６と共に回転する。遠心羽根車一体型回転多面鏡
４６が回転すると、遠心羽根車であるポンプ部４６ａは
ポンプとして機能し、ミラーケーシング４８内の空気
を、矢印で示すように上部から吸気して外周部へと吐出
する。これにより、ミラーケーシング４８内の空気は、
排気管５４を介して外部に排出され、遠心羽根車一体型
回転多面鏡４６の周囲が減圧される。すなわち、遠心羽
根車一体型回転多面鏡４６に対する空気抵抗が低減され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転多面鏡駆動装置に
係り、例えば、デジタル複写機、レーザプリンタ、レー
ザファクシミリ等に使用される回転多面鏡駆動装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】デジタル複写機やレーザプリンタ、レー
ザファクシミリ等の記録装置では、回転するポリゴンミ
ラー（回転多面鏡）を用いてレーザ光を走査することで
印字を行うようになっており、近年では、印字のカラー
化や高解像度化の要請により、より高品質で高速な印字
が必要となっている。

【０００３】回転多面鏡を用いた印字では、その回転速
度や回転精度が、印字速度や印字の質を左右するため、
回転多面鏡を回転駆動するポリゴンミラーモータ（回転
多面鏡駆動装置）には、高回転、高精度が要求される。
しかし、回転多面鏡は、回転時に空気抵抗を受けるた
め、高速回転をさせようとすると、回転多面鏡駆動装置
に大きな負荷がかかってしまう。従って、モータの大型
化が必要となったり、モータの発熱が問題となったりし
ていた。また、空気抵抗によって回転多面鏡が振動や騒
音を発生させ、回転精度が悪くなることがあった。

【０００４】そこで、従来では、空気軸受を用いた回転
多面鏡駆動装置において、軸受の軸部分にヘリングボー
ン溝を設け、この軸部分が回転時に真空ポンプとして機
能することで回転多面鏡の周囲を減圧するようにしたも
のがある。図８は、従来の回転多面鏡駆動装置を表した
ものである。

【０００５】従来の回転多面鏡駆動装置１０では、円柱
形状の軸部材１２がハウジング１４側に固定され、この
軸部材１２に被さるように、下端が開口した中空の円柱
形状を有する回転体１６が配設されている。回転多面鏡
１８は、この回転体１６の上部に取り付けられている。

【０００６】軸部材１２の外周面には、その上下にポン
プ用ヘリングボーン溝１８ａ、１８ｂが、中央部分に
は、軸受用ヘリングボーン溝２０がそれぞれ設けられて
いる。また、軸部材１２の中心軸上には、その下端面に
開口するエア流通路２２が設けられ、軸部材１２の外周
面には、このエア流通路２２と連通する複数のエア吸引
穴２４が設けられている。

【０００７】回転体１６は、モータ２６によって回転さ
れると、軸受用ヘリングボーン溝２０の部分で発生する
動圧によって支持される。そして、ポンプ用ヘリングボ
ーン溝１８ａ、１８ｂが真空ポンプとして機能し、回転
体１６の外側と内側とで圧力差が生じることで、ハウジ
ング内の空気は、矢印で示すように複数のエア吸引穴２
４に吸引され、エア流通路２２を通って外部へと排出さ
れる。これにより、ハウジング１４内は減圧され、回転
多面鏡１８の空気抵抗が低減される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図８に示す従
来の回転多面鏡駆動装置１０では、ハウジング１４内の
減圧と共に、軸受用ヘリングボーン溝２０の部分で発生
する動圧も低下するため、空気軸受としての荷重能力が
低下していた。空気軸受は、本来、ボールベアリングや
磁気軸受等の他の軸受に比べて軸受荷重能力が低いの
で、この軸受荷重能力の低下は、極めて深刻な問題であ
った。

【０００９】また、構造が複雑であるため、製作コスト
も高くなっていた。そこで、本発明の目的は、軸受荷重
能力を低下させずに回転多面鏡の空気抵抗を低減させる
ことができる回転多面鏡駆動装置を提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、回転多面鏡と、この回転多面鏡と一体化された遠心
羽根車と、この遠心羽根車と前記回転多面鏡を収容した
収容部材と、前記遠心羽根車の外周部に設けられ前記収
容部材の内部と外部とを連通させた排気用通路と、前記
回転多面鏡と一体化され一部が前記収容部材の外に配置
された回転軸と、前記収容部材内の気密を保つ密封手段
と、前記回転軸を回転させるモータと、前記回転軸の前
記収容部材の外に配置された部分を支持するラジアル軸
受とを回転多面鏡駆動装置に具備させて前記目的を達成
する。

【００１１】請求項２記載の発明では、回転多面鏡と、
この回転多面鏡と一体化された回転軸と、この回転軸を
回転させるモータと、このモータと前記回転軸と前記回
転多面鏡とを収容した収容部材と、この収容部材内にお
いて前記回転軸の回転運動により前記回転多面鏡側の空
間を減圧するポンプ機構と、前記回転軸を支持する転が
り軸受と磁気軸受の少なくとも一方のラジアル軸受とを
回転多面鏡駆動装置に具備させて前記目的を達成する。

【００１２】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
回転多面鏡駆動装置において、前記ポンプ機構が、前記
モータの回転子と固定子の少なくとも一方に設けられた
螺旋状のねじ溝で構成されたことで前記目的を達成す
る。請求項４記載の発明では、請求項１又は２記載の回
転多面鏡駆動装置において、前記ラジアル軸受が、転動
体が前記回転軸の外周面を軌道面として転がる転がり軸
受であることで前記目的を達成する。

【００１３】

【作用】請求項１記載の回転多面鏡駆動装置では、モー
タによって回転軸が回転することで、これと一体化され
た遠心羽根車が回転し、その外周部の気圧が増す。そし
て、この圧縮気体が排気用通路を介して収容部材の外部
へと排気されることで、回転多面鏡の周囲が減圧され
る。

【００１４】請求項２記載の回転多面鏡駆動装置では、
モータによって回転軸を回転されることで、ポンプ機構
が回転軸の回転によって回転多面鏡側の空間を減圧す
る。請求項３記載の回転多面鏡駆動装置では、螺旋状の
ねじ溝によって回転多面鏡側が減圧される。

【００１５】請求項４記載の回転多面鏡駆動装置では、
モータによって回転軸が回転すると、転動体が回転軸の
外周面を転がる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の回転多面鏡駆動装置における
各実施例を図１から図７を参照して詳細に説明する。図
１は、第１の実施例による回転多面鏡駆動装置３０を表
したものである。

【００１７】本実施例の回転多面鏡駆動装置３０は、モ
ータハウジング３２と、このモータハウジング３２に固
定されたステータ電磁石３４と、このステータ電磁石３
４の駆動によって回転するロータ３６とを備えている。
ロータ３６は、円柱形状のロータ軸３８を備えている。
ロータ軸３８の外周には、上側に円筒形状の軸受用内側
永久磁石４０が、下側にモータ用永久磁石４２がそれぞ
れ取り付けられている。各永久磁石４０、４２の外周面
には、回転時の遠心力による破損を防止するための保護
カバー４３、４７がそれぞれ取り付けられている。ま
た、ロータ軸３８の下端部３８ａは、モータハウジング
３２の内側底面に形成された半球形状の凹所であるピボ
ット軸受４４によって支持されている。

【００１８】軸受用内側永久磁石４０の外側に位置する
モータハウジング３２側には、軸受用内側永久磁石４０
と若干の隙間をもって、これを包囲するように円筒形状
の軸受用外側永久磁石４５が取り付けられている。これ
ら軸受用内側永久磁石４０と軸受用外側永久磁石４５と
は、ロータ３６を径方向に支持する反発型のラジアル磁
気軸受を構成している。すなわち、軸受用内側永久磁石
４０と軸受用外側永久磁石４５とで互いに近接した部分
が同極、例えば、図１において上側がＳ極同志、下側が
Ｎ極同志となっており、これらが、磁力によって互いに
反発し合うことで、この反発力の釣り合う位置に、ロー
タ３６が非接触で保持される。

【００１９】また、軸受用内側永久磁石４０は、軸受用
外側永久磁石４５より若干下方に位置しており、この同
極同志のずれによって両磁石４０、４５間には、磁気的
反発力が軸方向（図１において下方）にも発生するよう
になっている。従って、ロータ３６は、下方への力を受
け、ロータ軸３８における小径部３８ａの先端がピボッ
ト軸受４４に対して押圧されるようになっている。

【００２０】一方、ロータ軸３８の、図１において上側
部分は、モータハウジング３２の上面から突出してお
り、この突出部分には、遠心羽根車一体型回転多面鏡４
６が取り付けられている。遠心羽根車一体型回転多面鏡
４６は、遠心羽根車と回転多面鏡とが一体形成されたも
のであり、図１において上側が遠心ポンプとして機能す
るポンプ部４６ａ、下側がレーザ光を反射するための複
数（例えば、６枚、あるいは８枚）のミラーｍ等で構成
された回転多面鏡部４６ｂとなっている。各ミラーｍ
は、遠心羽根車一体型回転多面鏡４６の下側外周面を研
磨等によって鏡面加工することで形成されたものであ
る。

【００２１】図２は、遠心羽根車一体型回転多面鏡４６
のポンプ部４６ａを表したものである。この図に示すよ
うに、ポンプ部４６ａには、複数の羽根Ａが設けられ、
これが回転することで、矢印で示すように、上方に開口
した吸気口Ｂから側部に形成された吐出口Ｃへと気体を
流通させるようになっている。

【００２２】図１に示すように、モータハウジング３２
の上面には、遠心羽根車一体型回転多面鏡４６を包囲す
るように、ミラーケーシング４８が取り付けられ、その
取付け部分には、シール部材５０が狭圧保持されてい
る。また、モータハウジング３２の、ロータ軸３８が貫
通している部分には、磁性流体シール５２が設けられて
いる。ミラーケーシング４８は、これら磁性流体シール
５２やシール部材５０で構成された密封手段によって、
その内側空間の気密が保たれるようになっている。

【００２３】図１に示すように、ミラーケーシング４８
には、ミラーｍと同じ高さにガラス等で構成された窓４
８ａが設けられ、この窓４８ａを介して走査用のレーザ
光が入射及び出射されるようになっている。また、ミラ
ーケーシング４８には、外部と連通した排気用通路とし
ての排出管５４が取り付けられている。

【００２４】なお、ロータ３６の、モータ用永久磁石４
２が取り付けられた部分では、その外周に位置するステ
ータ電磁石３４の回転磁界によって回転トルクが発生す
るようになっている。次に、このように構成された実施
例の動作について説明する。

【００２５】先ず、ステータ電磁石３４の駆動によっ
て、ロータ３６と遠心羽根車一体型回転多面鏡４６とを
回転させる。遠心羽根車一体型回転多面鏡４６が回転す
ると、そのポンプ部４６ａは、遠心ポンプとして機能
し、ミラーケーシング４８内の空気が、図２に示すよう
に吸気口Ｂから吸引されて吐出口Ｃからその外周部へと
吐出される。そして、吐出口Ｃの外周部に位置する排気
管５４を介して外部へと排出される。

【００２６】本実施例では、ミラーケーシング４８の内
側空間が、磁性流体シール５２やシール部材５０によっ
て、外部と隔離されているので、この排気管５４からの
排気によって、ミラーケーシング４８内が減圧される。
従って、遠心羽根車一体型回転多面鏡４６に対する空気
抵抗が低減され、モータの負荷が小さくなる。特に、回
転多面鏡駆動装置３０では、遠心羽根車一体型回転多面
鏡４６を、毎分１万回転以上の速度で回転させるので、
この空気抵抗の低減による負荷の低減効果は大きい。こ
のため、ステータ電磁石３４の発熱は低く抑えられ、モ
ータを大型化することなく遠心羽根車一体型回転多面鏡
４６の高速回転化が可能となる。また、空気抵抗の低減
によって高速回転時の遠心羽根車一体型回転多面鏡４６
の振動が少なくなり、回転精度が良くなる。

【００２７】また、本実施例の回転多面鏡駆動装置３０
をデジタル複写機等の記録装置に使用した場合には、以
上の遠心羽根車一体型回転多面鏡４６の高速回転化や高
精度回転化によって、極めて高品質で高速な印字を行う
ことができる。以上説明したように、本実施例の回転多
面鏡駆動装置３０では、軸受用内側永久磁石４０や軸受
用外側永久磁石４５によって構成されたラジアル磁気軸
受の軸受荷重能力が低下することなく、ミラーケーシン
グ４８内を減圧することができる。

【００２８】なお、永久磁石４０、４５で構成された反
発型の磁気軸受の代わりに、他のラジアル軸受を使用し
てもよい。例えば、ラジアル軸受として空気軸受を使用
した場合でも、本実施例では、磁性流体シール５２によ
ってミラーケーシング４８内とモータハウジング３２の
内部とが、隔離されているので、空気軸受の軸受荷重能
力を低下させずに遠心羽根車一体型回転多面鏡４６の周
囲を減圧することがでる。

【００２９】また、以上の実施例では、遠心羽根車一体
型回転多面鏡４６が、遠心羽根車と回転多面鏡とを一体
形成したものであったが、それぞれ別体の回転多面鏡と
遠心羽根車とを組付けることで、両者を一体化してもよ
い。なお、本明細書において「一体化」とは、同一部材
で構成する場合のみならず、互いに別体である複数の部
材を接着やボルト等によって一体的に固定することも含
む。

【００３０】さらに、ポンプ部４６ａとミラーｍとは、
他の位置関係であってもよい。図３は、ポンプ部とミラ
ーとが他の位置関係にある回転多面鏡駆動装置を表した
ものである。この例の遠心羽根車一体型回転多面鏡６０
は、偏平した正６角柱、あるいは正８角柱形状を有し、
遠心羽根車の上部に回転多面鏡が設けられた構成となっ
ている。すなわち、遠心羽根車一体型回転多面鏡６０の
外周面の上側にレーザ光を反射するための複数のミラー
ｍ′が形成されている。また、遠心羽根車一体型回転多
面鏡６０の上面には、吸気が行われる吸気口Ｅが形成さ
れ、その吐出口Ｆは、各ミラーｍの下側外周面に形成さ
れている。

【００３１】遠心羽根車一体型回転多面鏡６０の回転時
には、ミラーケーシング６４内の空気が、吸気口Ｅから
矢印で示すように吸引され、吐出口Ｆから吐出されて排
気管５４を介して外部へと排出される。これにより、ミ
ラーケーシング６４内が減圧される。

【００３２】なお、ミラーケーシング６４の窓６４ａ
は、ミラーｍ′の位置（高さ）に合わせて図１に示した
ミラーケーシング４８の窓４８ａより上方に設けられて
いる。次に、第２の実施例について説明する。図４は、
第２の実施例による回転多面鏡駆動装置７０を表したも
のである。

【００３３】本実施例の回転多面鏡駆動装置７０は、モ
ータハウジング７２と、このモータハウジング７２に固
定されたモータの固定子としてのステータ電磁石７４
と、このステータ電磁石７４の駆動によって回転する回
転部７６とを備えている。回転部７６は、正６角形、あ
るいは正８角形の平板形状を有する回転多面鏡７８と、
円柱形状のロータ軸８０とを有している。本実施例で
は、これら回転多面鏡７８とロータ軸８０とが、一体形
成されており、それぞれの中心軸は一致している。な
お、この回転部７６としては、例えば、アルミニウム合
金等を使用し、回転多面鏡７８の外周面７８ａが鏡面加
工されることによって、複数、例えば６枚、あるいは８
枚のミラーとなっている。

【００３４】ロータ軸８０の下端部８０ａは、第１の実
施例と同様にモータハウジング７２の内側底面に形成さ
れた半球形状の凹所であるピボット軸受８２により支持
されている。また、ロータ軸８０の外周面には、図４に
おいて上側に円筒形状の軸受用内側永久磁石８４が、下
側にモータ用永久磁石８６がそれぞれ接着等によって取
り付けられている。軸受用内側永久磁石８４の外周面に
は、破損防止用の保護カバー８５が取り付けられてい
る。

【００３５】軸受用内側永久磁石８４の外周に位置する
モータハウジング７２側には、軸受用内側永久磁石８４
を包囲するように円筒形状の軸受用外側永久磁石９０が
取り付けられている。本実施例においても、第１の実施
例と同様に、これらの永久磁石８４、９０によって反発
型のラジアル磁気軸受が構成されている。

【００３６】また、軸受用内側永久磁石８４は、軸受用
外側永久磁石９０より若干下方にずれて配設されている
ので、第１の実施例と同様に、磁気的反発力が下方にも
作用し、ロータ軸８０の下端部８０ａがピボット軸受８
２に対して押圧されている。ロータ軸８０の、モータ用
永久磁石８６が取り付けられた部分は、その外周に位置
するステータ電磁石７４の回転磁界により、モータの回
転子として回転トルクを発生するようになっている。

【００３７】また、本実施例では、モータ用永久磁石８
６の外周面に略円筒形状のねじ溝付きカバー９２が取り
付けられている。このねじ溝付きカバー９２は、その外
周に螺旋状の溝９２ａ（ねじ溝）が形成されたものであ
り、所定方向に回転することで、気体を図４において上
方から下方へと移送するポンプとして機能するようにな
っている。なお、このねじ溝付きカバー９２における溝
９２ａの幅及び間隔は、図４において下側程狭くなって
いる。また、ステータ電磁石７４の上部空間と下部空間
は、このねじ溝付きカバー９２とステータ電磁石７４と
の間の隙間を介して連通している。

【００３８】モータハウジング７２のフランジ部７２ａ
には、レーザ光が入射される窓９４ａを有するミラーケ
ーシング９４が取り付けられており、このミラーケーシ
ング９４とフランジ部７２ａとの間には、シール部材９
６が狭圧保持されている。また、モータハウジング７２
の、ステータ電磁石７４より下方に位置する側部には、
排気管９８が取り付けられている。

【００３９】次に、このように構成された実施例の動作
について説明する。本実施例では、ステータ電磁石７４
の駆動によって回転部７６が所定の方向に回転すると、
ねじ溝付きカバー９２の回転で、図４において上方から
下方へと気体が移送され、排気管９８を通って外部へと
排気される。従って、ステータ電磁石７４より上部の空
間における圧力Ｐ１が、下部の圧力Ｐ２より低くなる
（Ｐ１＜Ｐ２）。すなわち、回転多面鏡７８側の雰囲気
が減圧される。

【００４０】従って、回転多面鏡７８に対する空気抵抗
が低減され、第１の実施例と同様に、回転多面鏡７８の
高速回転化や高精度回転化が可能となる。以上説明した
ように、本実施例の回転多面鏡駆動装置７０では、回転
部７６のラジアル軸受として、永久磁石８４、９０で構
成された反発型の磁気軸受を使用したので、軸受荷重能
力を低下させることなく回転多面鏡７８の周囲を減圧す
ることができる。

【００４１】また、本実施例では、回転多面鏡７８とロ
ータ軸８０とが一体形成され、かつ、軸受用外側永久磁
石９０や軸受用内側永久磁石８４の磁気的反発力によっ
て回転部７６が自動的に軸中心に保持される軸受構造を
有しているので、回転部７６のモータハウジング７２へ
の組付けを非常に簡略化することができる。すなわち、
回転部７６を、軸受用外側永久磁石９０の内周穴を介し
て上方からモータハウジング７２内に挿入するだけで、
組付けを終えることができる。従って、組立時間を従来
より短くすることができ、製作コストを下げることがで
きる。

【００４２】更に、軸受用内側永久磁石８４やモータ用
永久磁石８６等をロータ軸８０に取付けることで、回転
部７６は、モータハウジング７２への組付け前に回転体
として完成するので、モータハウジング７２への組付け
後に組み立て誤差が生じることがない。従って、組付け
前に回転バランスを調整しておけば、その後に回転バラ
ンスがくずれることがなく、組み立て誤差に起因した回
転時の振動や騒音が発生しないので、回転多面鏡７８を
より高速で、かつ高精度に回転させることができる。

【００４３】なお、回転多面鏡７８の周囲の減圧は、他
のポンプ機構を用いて行ってもよい。図５及び図６は、
第２の実施例の変形例をそれぞれ表したものである。図
５に示す回転多面鏡駆動装置１００では、モータ用永久
磁石８６の外周に円筒形状の保護カバー１０２が取り付
けられている。一方、ステータ電磁石７４の内側には、
内側周面にねじ溝１０４ａが形成された円筒形状の電磁
石カバー１０４が取り付けられている。

【００４４】この例では、ステータ電磁石７４の駆動に
よって回転部１０６が回転すると、電磁石カバー１０４
のねじ溝１０４ａによって、気体が上方から下方へと移
送され、回転多面鏡７８の周囲が減圧される。一方、図
６に示す回転多面鏡駆動装置１１０は、ロータ軸１１１
の下側部分に羽根車１１２が取り付けられており、回転
部１１４の回転によって、モータ用永久磁石８６の保護
カバー１１３とステータ電磁石７４との間の気体を、図
６に矢印で示すように吸引、及び排気管９８へと排出す
るようになっている。ステータ電磁石７４の下側には、
気体の流通路を形成するため、羽根１１２ａと若干の隙
間を持ってカバー部材１１６が取り付けられている。

【００４５】なお、以上の各実施例では、ロータ３６や
回転部７６等のラジアル軸受として、反発型の磁気軸受
が使用されていたが、転がり軸受や制御型の磁気軸受等
の他のラジアル軸受を使用してもよい。例えば、図７に
示すように、ロータ軸３８、８０等の外周面に軌道溝１
２０を形成し、この軌道溝１２０と外輪１２２との間に
転動体である玉１２４を保持した転がり軸受１２６を使
用してもよい。

【００４６】この転がり軸受１２６では、玉１２４が直
接ロータ軸３８、８０の外周面を転がるので、振動が少
なく、また、内輪がない分、軸径を太くすることができ
るので、剛性を上げることができる。従って、この転が
り軸受１２６を使用した回転多面鏡駆動装置３０、７０
等では、より高速、かつ、高精度に回転多面鏡４６、７
８等を回転させることができる。

【００４７】

【発明の効果】本発明の回転多面鏡駆動装置によれば、
軸受荷重能力を低下させずに回転多面鏡の空気抵抗を低
減させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例による回転多面鏡駆動装
置を示す断面図である。

【図２】同装置の遠心羽根車一体型回転多面鏡を示す斜
視図である。

【図３】同装置の変形例を示した断面図である。

【図４】本発明の第２の実施例による回転多面鏡駆動装
置を示す断面図である。

【図５】同装置の変形例を示した断面図てある。

【図６】同装置の他の変形例を示した断面図である。

【図７】本発明の第１及び第２の実施例におけるラジア
ル軸受の他の例を示した説明図である。

【図８】従来の回転多面鏡駆動装置を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

３０、７０ 回転多面鏡駆動装置 ３２、７２ モータハウジング ３４、７４ ステータ電磁石 ３６ ロータ ３８ ロータ軸 ４０、８４ 軸受用内側永久磁石 ４２、８６ モータ用永久磁石 ４４、８２ ピボット軸受 ４５、９０ 軸受用外側永久磁石 ４６ 遠心羽根車一体型回転多面鏡 ４６ａ ポンプ部 ４６ｂ 回転多面鏡部 ４８、９４ ミラーケーシング ５０、９６ シール部材 ５２ 磁性流体シール ５４、９８ 排気管 ７８ 回転多面鏡 ７６ 回転部 ９２ ねじ溝付きカバー ９２ａ ねじ溝 ｍ、ｍ′ ミラー

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転多面鏡と、 この回転多面鏡と一体化された遠心羽根車と、 この遠心羽根車と前記回転多面鏡を収容した収容部材
   と、 前記遠心羽根車の外周部に設けられ、前記収容部材の内
   部と外部とを連通させた排気用通路と、 前記回転多面鏡と一体化され、一部が前記収容部材の外
   に配置された回転軸と、 前記収容部材内の気密を保つ密封手段と、 前記回転軸を回転させるモータと、 前記回転軸の、前記収容部材の外に配置された部分を支
   持するラジアル軸受とを具備することを特徴とする回転
   多面鏡駆動装置。
2. 【請求項２】 回転多面鏡と、 この回転多面鏡と一体化された回転軸と、 この回転軸を回転させるモータと、 このモータと前記回転軸と前記回転多面鏡とを収容した
   収容部材と、 この収容部材内において、前記回転軸の回転運動により
   前記回転多面鏡側の空間を減圧するポンプ機構と、 前記回転軸を支持する、転がり軸受と磁気軸受の少なく
   とも一方のラジアル軸受とを具備することを特徴とする
   回転多面鏡駆動装置。
3. 【請求項３】 前記ポンプ機構は、前記モータの回転子
   と固定子の少なくとも一方に設けられた螺旋状のねじ溝
   で構成されたことを特徴とする請求項１記載の回転多面
   鏡駆動装置。
4. 【請求項４】 前記ラジアル軸受は、転動体が前記回転
   軸の外周面を軌道面として転がる転がり軸受であること
   を特徴とする請求項１又は２記載の回転多面鏡駆動装
   置。