JPH08160216A - Transfer method and transfer device used therefor - Google Patents
Transfer method and transfer device used thereforInfo
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- JPH08160216A JPH08160216A JP29959394A JP29959394A JPH08160216A JP H08160216 A JPH08160216 A JP H08160216A JP 29959394 A JP29959394 A JP 29959394A JP 29959394 A JP29959394 A JP 29959394A JP H08160216 A JPH08160216 A JP H08160216A
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルターにおけるレッド（Ｒ）、グリーン
（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の各着色画素と遮光層とをフィル
ム転写法によりカラーフィルター用の基板上に形成する
工程に係り、詳しくは、着色画素のパターンを構成する
各着色レジストを基板に転写する転写方法及びそれに使
用する転写装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter substrate for a liquid crystal display, in which a red (R), a green (G) and a blue (B) colored pixel and a light shielding layer are formed by a film transfer method. More specifically, the present invention relates to a transfer method for transferring each colored resist forming a pattern of colored pixels onto a substrate and a transfer device used for the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のカラーフィルターの製造
方法の一つとしていわゆるフィルム転写法が知られてい
る。この方法は、支持フィルム上に透明着色レジストを
設けた転写フィルムをカラーフィルター用のガラス基板
に重ね合わせ、加熱圧着して着色レジストを基板上に転
写し、フォトマスクを介して前記着色レジストを露光し
た後、現像して着色画素のパターンを形成する一連の工
程からなり、色相の異なる着色レジストについて前記の
工程を繰り返すことによってカラーフィルターを製造す
るものである。また、支持フィルムに薄いフィルムを使
用するなどして露光時に適性ギャップが得られる場合に
あっては、支持フィルムを剥離する前に露光することも
行われている。2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called film transfer method has been known as one of methods for manufacturing a color filter of this type. In this method, a transfer film provided with a transparent colored resist on a support film is superposed on a glass substrate for a color filter, heated and pressure-bonded to transfer the colored resist onto the substrate, and the colored resist is exposed through a photomask. After that, a color filter is manufactured by a series of steps of developing to form a pattern of colored pixels, and repeating the above steps for colored resists having different hues. Further, in the case where a suitable gap can be obtained at the time of exposure by using a thin film as the support film, the exposure is also performed before peeling the support film.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたフ
ィルム転写法においては、支持フィルムに着色レジスト
を塗布してなる転写フィルムを１枚毎カラーフィルター
用のガラス基板上に載せ、その後加熱してローラで押圧
することで貼り合わせを行い、着色レジストの基板への
転写が完了した後で支持フィルムを剥している。しかし
ながらこのように１枚ずつ作業をしているのでは時間が
多くかかり生産能力が著しく低下するという問題点があ
った。また、貼り合わせに際しては、基板に転写フィル
ムを重ね合わせた状態でローラによりプレスしており、
しかも使用するローラは通常その径が大きいため、２色
目以降の着色レジストを転写する時に既に形成されてい
る着色画素パターンとの境目に空気を巻き込んで綺麗に
貼ることができず、このため最終的に形成された各着色
画素の間に隙間ができて不良になるという問題点があっ
た。In the film transfer method described in the prior art, a transfer film obtained by applying a colored resist to a support film is placed on a glass substrate for a color filter one by one and then heated. The support film is peeled off after the transfer of the colored resist to the substrate is completed by pressing with a roller. However, there is a problem in that the work is performed one by one in this manner, and it takes a lot of time and the production capacity is significantly reduced. In addition, at the time of bonding, the transfer film is superposed on the substrate and pressed by a roller,
Moreover, since the diameter of the roller to be used is usually large, it is impossible to neatly attach air by entraining air in the boundary with the already formed colored pixel pattern when transferring the colored resists of the second and subsequent colors. There is a problem in that a gap is formed between the colored pixels formed in 1), resulting in a defect.
【０００４】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされものであり、転写フィルム上の着色レジストを
１枚毎のカラーフィルター用の基板に効率良く転写する
ことができ、しかも空気の巻き込みによる不良の発生を
防止できる転写方法及びそれに使用する転写装置を提供
することにある。The present invention has been made in view of such conventional problems, and it is possible to efficiently transfer the colored resist on the transfer film to each color filter substrate, and to use air An object of the present invention is to provide a transfer method and a transfer device used for the transfer method, which can prevent the occurrence of defects due to entrainment.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る転写方法は、支持フィルム上に着色レ
ジストを設けてなる転写フィルムから着色レジストをカ
ラーフィルター用の基板に転写する転写方法において、
基板に転写フィルムを重ね合わせて押圧して貼り合わせ
る際に、基板と供給される転写フィルムの角度が鈍角に
なるようにしたことを特徴としている。具体的には、巻
取から転写フィルムを繰り出す供給工程と、加熱した基
板に転写フィルムを重ね合わせて押圧部材で貼り合わせ
る押圧工程と、押圧中に転写フィルムと基板を加熱する
加熱工程と、貼り合わせた転写フィルムと基板を冷却す
る冷却工程と、冷却後に転写フィルムの支持フィルムを
着色レジストを転写した基板から剥離する剥離工程と、
転写終了後に支持フィルムを巻き取る排出工程とを連続
して行うようにし、前記押圧工程では押圧部材による貼
り合わせ角度が鈍角になる状態で基板に転写フィルムを
押し付けるようにしたものである。In order to achieve the above object, the transfer method according to the present invention is a transfer method for transferring a colored resist from a transfer film having a colored resist provided on a support film to a substrate for a color filter. In the method
The feature is that the angle between the substrate and the transfer film supplied is obtuse when the transfer film is superposed on the substrate and pressed to be bonded. Specifically, a feeding step of unwinding the transfer film from the winding, a pressing step of superposing the transfer film on the heated substrate and pasting with a pressing member, a heating step of heating the transfer film and the substrate during pressing, and a pasting step. A cooling step of cooling the combined transfer film and substrate, and a peeling step of peeling the support film of the transfer film from the substrate to which the colored resist has been transferred after cooling,
After the transfer, the discharging process of winding the support film is continuously performed, and in the pressing process, the transfer film is pressed against the substrate in a state where the bonding angle by the pressing member is an obtuse angle.
【０００６】また、上記の転写方法に使用する転写装置
は、支持フィルム上に着色レジストを設けてなる転写フ
ィルムから着色レジストをカラーフィルター用の基板に
転写する転写装置であって、巻取から転写フィルムを繰
り出す供給部と、転写フィルムを重ね合わせる前に基板
を加熱する第１の加熱部と、転写フィルムと基板とを重
ね合わせて押圧部材で貼り合わせる押圧部と、押圧中に
転写フィルムと基板を加熱する第２の加熱部と、貼り合
わせた転写フィルムと基板を冷却する冷却部と、冷却後
に転写フィルムの支持フィルムを着色レジストを転写し
た基板から剥離する剥離部と、転写終了後に支持フィル
ムを巻き取る排出部とを具備してなり、前記押圧部にお
ける基板と転写フィルムとの押圧部材による貼り合わせ
角度が鈍角となるように構成されている。そして、前記
押圧部の押圧部材に小さい径のローラ部分を有する押圧
ローラを用いることが好ましく、さらにはこのローラ部
分の中央部の径を太くした押圧ローラを用いるようにす
るとよい。The transfer device used in the above transfer method is a transfer device for transferring a colored resist from a transfer film having a colored resist provided on a support film to a substrate for a color filter. A feeding unit for feeding the film, a first heating unit for heating the substrate before the transfer films are superposed, a pressing unit for superposing the transfer film and the substrate and adhering them with a pressing member, and the transfer film and the substrate during pressing. A second heating unit for heating the substrate, a cooling unit for cooling the bonded transfer film and substrate, a peeling unit for peeling the support film of the transfer film from the substrate on which the colored resist has been transferred after cooling, and a support film after the transfer is completed. And a discharge portion for winding up the film, and the angle at which the substrate and the transfer film are bonded by the pressing member at the pressing portion is an obtuse angle. Is constructed sea urchin. Further, it is preferable to use a pressing roller having a roller portion having a small diameter as the pressing member of the pressing portion, and it is also preferable to use a pressing roller having a thicker central portion of the roller portion.
【０００７】[0007]
【作用】上述の構成からなる本発明の転写方法によれ
ば、転写フィルム上の着色レジストが１枚１枚のカラー
フィルター用の基板上に連続的に転写される。しかも、
押圧工程では基板と転写フィルムとの押圧部材による貼
り合わせ角度が鈍角であるため、既に形成されている着
色画素パターンとの境目に空気が巻き込まれるのが防止
される。そして、押圧部材として小さい径のローラ部分
を有する押圧ローラを使用することにより、空気の巻き
込みがより少なくなる。また、より確実に貼り合わせる
ために押圧力を大きくした場合、ローラ部分の中央が基
板から浮く傾向になるが、ローラ部分の中央部の径を太
くした押圧ローラを用いることにより、押圧時にローラ
部分全体が基板に当接した状態となる。According to the transfer method of the present invention having the above-described structure, the colored resist on the transfer film is continuously transferred onto each color filter substrate. Moreover,
In the pressing step, since the bonding angle between the substrate and the transfer film by the pressing member is an obtuse angle, it is possible to prevent air from being entrapped at the boundary with the already formed colored pixel pattern. Then, by using a pressing roller having a small-diameter roller portion as the pressing member, air entrapment is further reduced. Also, when the pressing force is increased to ensure more reliable bonding, the center of the roller part tends to float from the substrate.However, by using a pressing roller with a thicker center part, the roller part can be pressed during pressing. The whole is in contact with the substrate.
【０００８】[0008]
【実施例】図１は本発明に係る転写方法を実施するため
の転写装置の一例を示す概略構成図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a schematic structural view showing an example of a transfer device for carrying out the transfer method according to the present invention.
【０００９】図中１は転写フィルムであり、厚さ１０〜
１００μｍ程度のＰＥＴフィルムからなる支持フィルム
上に透明着色レジストと保護フィルムを積層したものが
使用される。なお、２色目以降が転写しやすいように支
持フィルムを３〜１０μｍと薄くしたり、支持フィルム
に加えクッション材層、剥離層等を積層したものを使用
してもよい。これにより、既に形成された着色画素パタ
ーンとの境目に隙間が生じるのを抑制して次の透明着色
レジストを転写できるようになる。Reference numeral 1 in the drawing is a transfer film having a thickness of 10 to 10.
A transparent color resist and a protective film are laminated on a support film made of a PET film having a thickness of about 100 μm. The support film may be thinned to 3 to 10 μm so that the second and subsequent colors can be easily transferred, or a cushion material layer, a release layer and the like may be laminated in addition to the support film. As a result, it becomes possible to transfer the next transparent colored resist while suppressing the formation of a gap at the boundary with the already formed colored pixel pattern.
【００１０】なお、転写フィルムとして既にカラーフィ
ルターのＲＧＢの透明着色レジストが形成されたものを
使用する場合には、空気の巻き込みの問題は生じない。
したがって、本発明では１色のみのベタの着色レジスト
を塗布した転写フィルムを使用する。この場合のカラー
フィルターの形成工程は、ＲＧＢの各着色レジストにつ
いてそれぞれ転写フィルムから基板上への転写、パター
ン露光、現像を繰り返して行うことになる。When a transfer film on which color filters RGB transparent colored resists have already been formed is used, the problem of air entrapment does not occur.
Therefore, in the present invention, a transfer film coated with a solid colored resist of only one color is used. In this case, the color filter forming step is performed by repeating transfer from the transfer film onto the substrate, pattern exposure, and development for each of the RGB colored resists.
【００１１】転写フィルム１は、長尺状のものを巻き取
った巻取２の状態で供給部Ａにセットされる。図示の供
給部Ａでは巻取２が１本であるが、さらに生産能率を向
上させるのであれば、巻取２を複数セットしてもよく、
さらには転写フィルム１を自動的に接続できるオートペ
ースターを使用しても良い。The transfer film 1 is set in the supply section A in the state of the winding 2 in which a long film is wound. In the illustrated supply unit A, the number of windings 2 is one, but if the production efficiency is further improved, a plurality of windings 2 may be set,
Furthermore, you may use the auto paster which can connect the transfer film 1 automatically.
【００１２】供給部Ａからの転写フィルム１は、テンシ
ョンコントロール用のダンサーローラ３を経由して検査
部Ｂに至る。ダンサーローラ３には２０〜３０ｋｇの荷
重が設定されており、ダンサーローラ３の位置が変化す
ることで転写フィルム１のテンションが一定に保たれ
る。つまり、転写フィルム１が強く引っ張られるとダン
サーローラ３はテンションを小さくして設定値になるよ
うに下にさがる。逆に転写フィルム１が緩むとダンサー
ローラ３はテンションを大きくするように上にあがる。
そして、転写フィルム１は除塵装置４にて両面からエア
を吹き付けられ、埃、塵等を落とされて検査部ＢのＣＣ
Ｄカメラ５の前面へ移動する。これにより埃や塵を不良
と間違えて判断することがなくなる上、転写時に着色レ
ジストと共に埃や塵を貼ることがなくなる。埃や塵は着
色レジストに付着している訳ではないが保護フィルムを
剥した時に静電気で転写フィルム１の縁付近の埃や塵が
回り込み着色レジストに付着することがある。The transfer film 1 from the supply section A reaches the inspection section B via the dancer roller 3 for tension control. A load of 20 to 30 kg is set on the dancer roller 3, and the tension of the transfer film 1 is kept constant by changing the position of the dancer roller 3. That is, when the transfer film 1 is strongly pulled, the dancer roller 3 lowers the tension and goes down to reach the set value. On the contrary, when the transfer film 1 is loosened, the dancer roller 3 is raised so as to increase the tension.
Then, the transfer film 1 is blown with air from both sides by the dust remover 4 to remove dust, dust, etc.
Move to the front of the D camera 5. As a result, it is possible to avoid mistakenly deciding dust and dust as defective, and also to prevent dust and dust from being stuck together with the colored resist during transfer. Although the dust and dust are not attached to the colored resist, when the protective film is peeled off, the dust and dust around the edge of the transfer film 1 may come around and attach to the colored resist due to static electricity.
【００１３】検査部Ｂでは転写フィルム１の画像を入力
するＣＣＤカメラ５がセットされており、着色レジスト
の色ムラや筋、またはゴミ付きを検査することができる
ようになっている。検査部Ｂにおける光学系の構造とし
ては、転写フィルム１を境にしてＣＣＤカメラ５の反対
側に拡散板６をセットし、その両脇からカラーフィルタ
ーのＲ，Ｇ，Ｂの各色にピークを持つ３波長の光源７
（白色蛍光灯でもハロゲンランプでもよい）を用いて拡
散板６に照射する手段が採られている。なお、３波長光
源の方がそのピークであるＲ，Ｇ，Ｂの各色のムラ等を
検査しやすい。光は拡散板６で拡散され転写フィルム１
を均一に照らすので、この画像をＣＣＤカメラ５から入
力し図示しない判定部にて良品と不良品を判定する。In the inspection section B, a CCD camera 5 for inputting an image of the transfer film 1 is set, and it is possible to inspect the color resist for color unevenness, streaks, or dust. As the structure of the optical system in the inspection section B, the diffusion plate 6 is set on the opposite side of the CCD camera 5 with the transfer film 1 as a boundary, and the R, G, B colors of the color filter have peaks from both sides thereof. Three-wavelength light source 7
A means for irradiating the diffuser plate 6 with a white fluorescent lamp or a halogen lamp may be used. It should be noted that the three-wavelength light source is easier to inspect for unevenness of each color of R, G, and B, which is the peak. Light is diffused by the diffusion plate 6 and the transfer film 1
Since the image is evenly illuminated, this image is input from the CCD camera 5 and a determination unit (not shown) determines a good product and a defective product.
【００１４】この時の判定画像の一例を図２及び図３に
示している。横軸はフィルムの巾方向であり縦軸は転写
フィルムの色の濃度である。良品と不良品の判定は、カ
ラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に用意してある許
容値±ａと基準色濃度レベルｍとＣＣＤカメラ５からの
入力データとを比較して行う。この場合、デジタルスイ
ッチを用いてＲ，Ｇ，Ｂの色毎に許容値±ａは±ａ
（ｒ）、±ａ（ｇ）、±ａ（ｂ）として、基準色濃度レ
ベルｍはｍ（ｒ）、ｍ（ｇ）、ｍ（ｂ）としてそれぞれ
セットしておく。ここで、オペレータが良品と判断した
ところで基準値入力スイッチを押すことにより、画像入
力データを平均することで基準値濃度レベルｍが各色に
合わせて記憶されるようにしてもよい。An example of the judgment image at this time is shown in FIGS. 2 and 3. The horizontal axis represents the width direction of the film, and the vertical axis represents the color density of the transfer film. The non-defective product and the defective product are determined by comparing the allowable value ± a prepared for each color of R, G, B of the color filter, the reference color density level m, and the input data from the CCD camera 5. In this case, the permissible value ± a is ± a for each color of R, G, B using a digital switch.
(R), ± a (g), ± a (b), the reference color density level m is set as m (r), m (g), m (b). Here, the reference value density level m may be stored for each color by averaging the image input data by pressing the reference value input switch when the operator determines that the product is non-defective.
【００１５】図２は良品の場合を示す例であり、画像入
力したデータは設定してある基準色濃度レベルｍを中心
に許容値±ａ以内に入っている。図３は不良品を示す例
であり、画像入力したデータは設定してある基準色濃度
レベルｍを中心に許容値±ａより外れている。左側の急
峻な突起ｘがゴミ付きによる不良であり、右側のなだら
かな凸部ｙが着色レジストの濃度ムラである。ゴミ付き
の不良は立ち上がりが急峻である為に画像を微分処理す
ると検出しやすく、濃度ムラは全体的にゆっくりと変動
する為に画像を積分すると検出しやすい。FIG. 2 is an example showing the case of a non-defective product, and the image input data is within the allowable value ± a centering on the set reference color density level m. FIG. 3 is an example showing a defective product, and the data input as an image deviates from the allowable value ± a around the set reference color density level m. The steep protrusion x on the left side is a defect due to dust, and the gentle convex portion y on the right side is uneven density of the colored resist. The defect with dust is easy to detect when the image is differentiated because the rise is steep, and the density unevenness is easy to detect when the image is integrated because it varies slowly overall.
【００１６】検査部Ｂにて検査された結果が不良なら
ば、後方のニップローラ８に設置されているカウンタ９
によって、その不良位置が図示していない制御装置の記
憶部に記憶され、不良箇所を含む転写フィルム部分は基
板と貼り合わせないで排出部Ｈ（後述）にて巻き取られ
る。そして、検査後の転写フィルム１は除電装置１０に
て静電気を除去された後、剥離ローラ１１にて保護フィ
ルム１ａが剥される。剥された保護フィルム１ａはダン
サーローラ１２によりテンションをコントロールされな
がら巻取ロール１３に巻き取られる。If the result of inspection by the inspection unit B is defective, the counter 9 installed on the rear nip roller 8
Thus, the defective position is stored in the storage unit of the control device (not shown), and the transfer film portion including the defective portion is wound by the discharge unit H (described later) without being bonded to the substrate. Then, after the transfer film 1 after the inspection is destaticized by the static eliminator 10, the protective film 1a is peeled off by the peeling roller 11. The peeled protective film 1a is wound around the winding roll 13 while the tension is controlled by the dancer roller 12.
【００１７】カラーフィルター用のガラス基板１４は搬
送ローラ１５でゆっくりと図１の左側の前工程から搬送
されてくる。この時、基板１４のカラーフィルター形成
面を下向きにして搬送する。なぜならば、空中に舞う
埃、塵等のゴミが自然に落下して基板１４に付くのを防
止する為である。そのためにここで用いる搬送ローラ１
５は図４（ａ）に示すように基板１４の裏側を擦らない
ようになっており、且つ外側に傾斜面を持っていて基板
１４がまっすぐに進むように構成されている。もちろ
ん、図４（ｂ）に示すものでもよく、このものでは下側
からの検査、貼り合わせ等の処理がしやすい。The glass substrate 14 for the color filter is slowly carried by the carrying roller 15 from the previous step on the left side of FIG. At this time, the substrate 14 is conveyed with the color filter formation surface facing downward. This is because it is possible to prevent dust, such as dust flying in the air, from naturally falling and adhering to the substrate 14. Therefore, the transport roller 1 used here
As shown in FIG. 4A, 5 does not rub the back side of the substrate 14, and has an inclined surface on the outside so that the substrate 14 can move straight. Of course, the one shown in FIG. 4B may be used, and with this one, it is easy to perform the inspection, the bonding and the like from the lower side.
【００１８】前工程から搬送されたガラス基板１４は加
熱装置１６，１７を備えた第１の加熱部Ｃにて上下から
加熱される。この加熱装置１６，１７では、熱風にて基
板１４を８０〜１７０℃程度に十分加熱する。なお、熱
風によらず、赤外線ヒータ、高周波加熱装置、電熱線等
を用いて加熱しても良い。なお、基板１４の搬送ローラ
１５に図４（ｂ）に示すタイプのものを使用すると下か
らの加熱効率が良くなる。そして、検査部Ｂの結果によ
って転写フィルム１が不良であれば、基板１４はストッ
パー１８により一時停止され、不良箇所のある転写フィ
ルム１は基板１４に転写することなく巻き取られるよう
に構成されている。つまり、前述の如く不良の場合は後
方のニップローラ８に設置されているカウンタ９によっ
て不良位置を検出し、図示していない制御装置の記憶部
に不良位置を記録する。そして、この記憶された不良位
置データに基づき不良箇所のある転写フィルム部分は転
写されないタイミングで排出部Ｈにて巻き取られる。こ
のようにニップローラ８にカウンタ９を接続しておくと
ニップローラ８が転写フィルム１をしっかりと挟み込ん
でいるためにカウンタ値とフィルム送り量とのずれがな
く正確に不良位置が把握できる。The glass substrate 14 conveyed from the previous step is heated from above and below by the first heating section C provided with the heating devices 16 and 17. In the heating devices 16 and 17, the substrate 14 is sufficiently heated to about 80 to 170 ° C. with hot air. Note that the heating may be performed using an infrared heater, a high-frequency heating device, a heating wire, or the like instead of using hot air. If the conveyance roller 15 of the substrate 14 of the type shown in FIG. 4B is used, the heating efficiency from below is improved. If the transfer film 1 is defective as a result of the inspection section B, the substrate 14 is temporarily stopped by the stopper 18, and the transfer film 1 having the defective portion is wound up without being transferred onto the substrate 14. There is. That is, if there is a defect as described above, the defective position is detected by the counter 9 provided on the rear nip roller 8 and the defective position is recorded in the storage unit of the control device (not shown). Then, based on the stored defective position data, the portion of the transfer film having the defective portion is wound up at the discharge portion H at a timing when it is not transferred. When the counter 9 is connected to the nip roller 8 in this manner, the transfer film 1 is firmly sandwiched by the nip roller 8, so that there is no deviation between the counter value and the film feed amount, and the defective position can be accurately grasped.
【００１９】検査部Ｂでの結果が良品であれば、基板１
４は停止せずに押圧部Ｄと第２の加熱部Ｅに搬送され
る。If the result of the inspection section B is good, the substrate 1
4 is conveyed to the pressing portion D and the second heating portion E without stopping.
【００２０】押圧部Ｄで使用する押圧部材１９の一例を
図５に示す。この押圧部材１９はローラ部分１９ａの両
サイドに円盤１９ｂを有しており、駆動部による保持及
び回転をしやすくしている。ローラ部分１９ａの径は２
０ｍｍ以下にするのが好ましい。図６に示す別タイプの
押圧部材１９は、押圧時の圧力が大きい時、押圧部材１
９と基板１４との接触する面が浮くことなく接触できる
ようにローラ部分１９ａの中央部の径を少し大きめにし
てある。このため基板１４と平行に転写フィルム１を押
圧することができる。もちろん径が多少大きくなっても
よい。また、この時の基板１４と転写フィルム１との貼
り合わせの角度φ（図７（ａ）参照）は鈍角にしてい
る。FIG. 5 shows an example of the pressing member 19 used in the pressing portion D. The pressing member 19 has discs 19b on both sides of the roller portion 19a to facilitate holding and rotation by the driving unit. The diameter of the roller portion 19a is 2
It is preferably 0 mm or less. Another type of pressing member 19 shown in FIG. 6 is used when the pressing pressure is large.
The diameter of the central portion of the roller portion 19a is slightly larger so that the contact surface between the substrate 9 and the substrate 9 can be contacted without floating. Therefore, the transfer film 1 can be pressed in parallel with the substrate 14. Of course, the diameter may be slightly larger. Further, the angle φ (see FIG. 7A) at which the substrate 14 and the transfer film 1 are bonded at this time is an obtuse angle.
【００２１】本実施例の転写装置でカラーフィルターを
形成するには、基板上に１色目の着色レジストを転写し
た後、別工程でパターン露出、現像を行って１色目の着
色画素パターンを形成し、次いで、２色目の着色レジス
トをその上から転写した後、別工程でパターン露光、現
像を行って１色目の着色画素パターンを形成し、同様に
３色目の着色レジストを転写した後、パターン露光、現
像を行って３色目の着色画素パターンを形成する。この
時、２色目以降の転写時において形成済みの着色画素パ
ターンと次の転写フィルムとの境目に空気が残る現象が
発生するが、上記の押圧部材１９を使用することでこの
現象を解決することができる。In order to form a color filter with the transfer device of this embodiment, the first color resist is transferred onto the substrate, and then the pattern exposure and development are performed in a separate process to form the first color pixel pattern. Then, after transferring the second color resist from above, pattern exposure and development are performed in a separate step to form the first color pixel pattern, and similarly the third color resist is transferred, and then the pattern exposure is performed. Then, development is performed to form a colored pixel pattern for the third color. At this time, a phenomenon occurs in which air remains at the boundary between the formed colored pixel pattern and the next transfer film during the transfer of the second and subsequent colors, but this phenomenon can be solved by using the pressing member 19 described above. You can
【００２２】図７に本発明での転写状態を従来例と比較
して示す。図７（ｂ）に示すように、従来の装置では押
圧部材２０であるローラの径が大きいため、既に着色レ
ジスト（Ｒ）が転写された基板１４の上に次の着色レジ
スト（Ｇ）を転写フィルム１から転写しようとすると、
先の着色レジスト（Ｒ）のエッジと転写フィルム１の間
に空気が残り、次の着色レジスト（Ｇ）がうまく転写で
きないことが発生していた。しかし、上記押圧部材１９
は径の小さい回転ローラであるため、図７（ａ）に示す
ように、既に転写されている着色レジスト（Ｒ）のエッ
ジと転写フィルム１との間に空気が残りにくく、空気の
巻き込みを少なくして次の着色レジスト（Ｇ）の転写を
行うことができる。FIG. 7 shows the transfer state of the present invention in comparison with the conventional example. As shown in FIG. 7B, since the diameter of the roller that is the pressing member 20 is large in the conventional apparatus, the next colored resist (G) is transferred onto the substrate 14 onto which the colored resist (R) has already been transferred. When trying to transfer from film 1,
Air remained between the edge of the previous colored resist (R) and the transfer film 1, and the next colored resist (G) could not be transferred well. However, the pressing member 19
Is a rotating roller having a small diameter, and as shown in FIG. 7A, air is less likely to remain between the edge of the colored resist (R) that has already been transferred and the transfer film 1, and air entrainment is reduced. Then, the next color resist (G) can be transferred.
【００２３】第２の加熱部Ｅは加熱装置２１，２２で構
成されており、転写フィルム１の付いたガラス基板１４
を上下から挟持し加熱しながら搬送する。すなわち、上
側の加熱装置２１は電熱線（ニクロム線等）を内蔵した
５本の加熱ローラ２１ａにより搬送ベルト２１ｂを介し
て基板１４の上側（裏側）を加熱し、下側の加熱装置２
２は同じく電熱線（ニクロム線等）を内蔵した４本の加
熱ローラ２２ａにより搬送ベルト２２ｂを介して基板１
４の下側（表側）を加熱する。ここで、上側の加熱装置
２１における最初の加熱ローラ２１ａの中心軸と押圧部
材１９の中心軸とが平行であるように、且つ上側の加熱
装置２１の残り４本の加熱ローラ２１ａと下側の加熱装
置２２の４本の加熱ローラ２２ａとがそれぞれ対応する
ように配置してあり、これにより転写フィルム１と基板
１４を均一に押圧するようになっている。そして、対向
する４組の加熱ローラ２１ａ，２２ａは次の冷却部Ｆに
近づくに従って加熱温度が低くなるように設定されてい
る。つまり、上側の加熱装置２１における１，２本目の
加熱ローラ２１ａは８０℃から１７０℃程度の十分な加
熱温度にし、３本目以降はその加熱温度を低くしていき
５本目の加熱ローラ２１ａでは３０〜５０℃程度の加熱
温度にしている。これに合わせて下側（フィルム側）の
加熱装置２２も上記に対応する１本目の加熱ローラ２２
ａは６０℃から１３０℃程度の十分な加熱温度にし、２
本目以降は順次その加熱温度を低くしていき４本目の加
熱ローラ２２ａ（上側の加熱装置２１の５本目の加熱ロ
ーラ２１ａに対応する）では３０〜５０℃程度の加熱温
度にしている。このように加熱温度を設定し、フィルム
側の加熱装置２２を若干低めにしておいた方がフィルム
が伸びずに品質が安定する。また転写フィルム１が貼ら
れた基板１４が次の冷却部Ｆに入った時点で水滴等が発
生せずにスムースに送られる。なお、加熱ローラの本
数、加熱部の長さ等は必要に応じて変更すればよい。転
写フィルム１の種類によっても異なるが、転写フィルム
１が熱で伸び過ぎて困る場合には、フィルム側の加熱装
置２２はもっと低温、例えば２０〜３０℃に設定しても
よい。また、加熱時に押圧用の搬送ベルト２１ｂ，２２
ｂが汚れて基板１４の裏側を汚したり、転写フィルム１
側からのゴミが着色レジストを押圧して窪みができたり
しないようにするため、各搬送ベルト２１ｂ，２２ｂ上
にゴミ取りローラ２１ｃ，２２ｃが設けられている。こ
のゴミ取りローラ２１ｃ，２２ｃはフリーローラの周囲
に粘着層を設けたもので、搬送ベルト２１ｂ，２２ｂに
接した状態で回転してゴミを取るようになっている。こ
のようにして十分に加熱され、貼り合わせられた基板１
４と転写フィルム１は共に同速度で冷却部Ｆへと移動す
る。The second heating section E is composed of heating devices 21 and 22, and the glass substrate 14 with the transfer film 1 attached thereto.
Is sandwiched from above and below and conveyed while being heated. That is, the upper heating device 21 heats the upper side (back side) of the substrate 14 via the conveyor belt 21b by the five heating rollers 21a having a built-in heating wire (such as nichrome wire), and the lower heating device 2
The reference numeral 2 designates a substrate 1 via four conveyor rollers 22b, which are four heating rollers 22a which also incorporate a heating wire (such as a nichrome wire).
The lower side (front side) of 4 is heated. Here, the central axis of the first heating roller 21a in the upper heating device 21 and the central axis of the pressing member 19 are parallel to each other, and the remaining four heating rollers 21a of the upper heating device 21 and the lower heating roller 21a The four heating rollers 22a of the heating device 22 are arranged so as to correspond to each other, whereby the transfer film 1 and the substrate 14 are pressed uniformly. The four sets of heating rollers 21a, 22a facing each other are set so that the heating temperature becomes lower as they approach the next cooling unit F. That is, the first and second heating rollers 21a in the upper heating device 21 are set to a sufficient heating temperature of about 80 to 170 ° C., and the heating temperature is lowered for the third and subsequent heating rollers to be 30 for the fifth heating roller 21a. The heating temperature is about 50 ° C. In accordance with this, the lower (film side) heating device 22 is also the first heating roller 22 corresponding to the above.
a is a sufficient heating temperature of about 60 ° C to 130 ° C, and 2
The heating temperature of the fourth heating roller 22a (corresponding to the fifth heating roller 21a of the heating device 21 on the upper side) is gradually lowered from the heating temperature of about 30 to 50 ° C. By setting the heating temperature in this way and setting the heating device 22 on the film side slightly lower, the film does not stretch and the quality is stable. Further, when the substrate 14 to which the transfer film 1 is attached enters the next cooling section F, water drops are not generated, and the substrate 14 is smoothly sent. The number of heating rollers, the length of the heating portion, etc. may be changed as necessary. Although it varies depending on the type of the transfer film 1, if the transfer film 1 is overstretched by heat and causes a problem, the heating device 22 on the film side may be set at a lower temperature, for example, 20 to 30 ° C. Further, the conveying belts 21b and 22 for pressing at the time of heating
b stains the back side of the substrate 14 or the transfer film 1
Dust removal rollers 21c and 22c are provided on the respective conveyor belts 21b and 22b so that dust from the side does not press the colored resist to form dents. The dust removing rollers 21c and 22c are provided with an adhesive layer around the free rollers, and rotate while contacting the conveyor belts 21b and 22b to remove dust. The substrate 1 which has been sufficiently heated and bonded in this manner
4 and the transfer film 1 both move to the cooling unit F at the same speed.
【００２４】冷却部Ｆは冷却装置２３，２４で構成され
ており、転写フィルム１の付いた基板１４を上下から挟
持し冷却しながら搬送する。すなわち、上側の冷却装置
２３は中に冷却水を通した５本の冷却ローラ２３ａによ
り搬送ベルト２３ｂを介して基板１４の上側（裏側）を
冷却し、下側の冷却装置２４は同じく中に冷却水を通し
た５本の冷却ローラ２４ａ（上側の冷却ローラ２３ａと
それぞれ対応する）により搬送ベルト２４ｂを介して基
板１４の下側（表側）を冷却する。この場合、加熱部Ｅ
側から徐々に温度を下げていき、冷却部Ｆから基板１４
を搬出する時には、２０℃から２５℃程度にまで十分冷
却するようになっている。すなわち、１本目と２本目の
冷却ローラ２３ａ，２４ａでは冷却水を３０〜４０℃程
度の温水とし、３本目と４本目は２５〜３０℃程度の温
水とし、５本目は２０から２５℃程度としている。ま
た、冷却時に搬送ベルト２３ｂ，２４ｂが汚れて基板１
４の裏側を汚したり、転写フィルム１側からのゴミが着
色レジストを押圧して窪みができたりしないようにする
ため、搬送ベルト２３ｂ，２４ｂ上に前記と同様なゴミ
取りローラ２３ｃ，２４ｃが設けられている。また、冷
却部Ｆの後には冷風器２５が配置してある。このように
冷却することで、転写フィルム１の着色レジストはガラ
ス基板１４から剥がれにくくなり、逆に支持フィルムか
ら剥がれやすくなる。The cooling unit F is composed of cooling devices 23 and 24, and conveys the substrate 14 with the transfer film 1 sandwiched from above and below and cooled. That is, the upper cooling device 23 cools the upper side (back side) of the substrate 14 via the transport belt 23b by the five cooling rollers 23a through which cooling water is passed, and the lower cooling device 24 also cools the inside. The lower side (front side) of the substrate 14 is cooled via the transport belt 24b by the five cooling rollers 24a (corresponding to the upper side cooling rollers 23a, respectively) that pass water. In this case, the heating part E
From the cooling side F, the temperature is gradually lowered from the cooling side F to the substrate 14
At the time of carrying out, it is designed to be sufficiently cooled down to about 20 to 25 ° C. That is, in the first and second cooling rollers 23a and 24a, the cooling water is set to about 30 to 40 ° C., the third and fourth cooling water is set to about 25 to 30 ° C., and the fifth is set to about 20 to 25 ° C. There is. In addition, the conveyor belts 23b and 24b are contaminated during cooling and the substrate 1
In order to prevent the back side of 4 from being soiled or dust from the transfer film 1 side to press the colored resist to form dents, dust removal rollers 23c and 24c similar to the above are provided on the conveyor belts 23b and 24b. Has been. Further, a cooling fan 25 is arranged after the cooling unit F. By cooling in this way, the colored resist of the transfer film 1 becomes difficult to peel from the glass substrate 14, and conversely, becomes easy to peel from the supporting film.
【００２５】このように転写フィルム１の付いた基板１
４を十分冷却したところで剥離部Ｇに搬送する。本実施
例では、図１に示すように、冷風器２５の下に設けてあ
る剥離部材２６でガラス基板１４から転写フィルム１を
剥離するようにしている。この剥離部Ｆにおいては、ガ
ラス基板１４と転写フィルム１との剥離角度を鈍角にし
ており、これにより転写フィルム１から支持フィルムだ
けが綺麗に剥がれ、着色レジストをガラス基板１４に転
写することができる。ここで十分温度が降下していない
と支持フィルムに着色レジストが取られてうまく転写で
きない。The substrate 1 with the transfer film 1 thus attached
When 4 is sufficiently cooled, it is conveyed to the peeling section G. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the transfer film 1 is peeled from the glass substrate 14 by the peeling member 26 provided under the cooler 25. In the peeling portion F, the peeling angle between the glass substrate 14 and the transfer film 1 is set to an obtuse angle, whereby only the support film is peeled off neatly from the transfer film 1 and the colored resist can be transferred to the glass substrate 14. . If the temperature is not sufficiently lowered here, the colored resist is taken off by the supporting film and transfer cannot be performed well.
【００２６】剥離部Ｇで使用する剥離部材２６は図５又
は図６に示す押圧部材１９と同じ形状のものである。な
お、図６に示すタイプの剥離部材２６は、剥離部材２６
と基板１４との接触する面が浮くことなく接触できるよ
うにローラ部分の中央部の径を少し大きめにしてあるた
め、この剥離部材２６を使用すれば、基板１４から平行
に支持フィルムを剥がせて綺麗に転写することができ
る。もちろん径が大きくなってもよい。The peeling member 26 used in the peeling portion G has the same shape as the pressing member 19 shown in FIG. 5 or 6. The peeling member 26 of the type shown in FIG.
Since the diameter of the central portion of the roller portion is made a little larger so that the contact surface between the substrate and the substrate 14 can be contacted without floating, if the peeling member 26 is used, the supporting film can be peeled from the substrate 14 in parallel. Can be transferred neatly. Of course, the diameter may be increased.
【００２７】剥離部材２６で支持フィルムを剥離した
後、ガラス基板１４は搬送ローラ１５により次工程へ送
られていき、一方、転写終了後の支持フィルム１ｂは排
出部Ｈにて巻き取られる。すなわち、支持フィルム１ｂ
はニップローラ８で引っ張られて巻き上げられた後、ダ
ンサーロール２７でテンションをコントロールされなが
ら支持フィルムの巻取ロール２８に巻き取られる。この
ように、支持フィルム１ｂの排出部Ｇをはじめ、前記し
たように転写フィルム１の供給部Ａと保護フィルム１ａ
の巻き取り部にテンションをコントロールするダンサー
ロールを設けておくと、転写前後のテンションがほぼ一
定になり、着色レジストの転写に効果的である。After the supporting film is peeled off by the peeling member 26, the glass substrate 14 is sent to the next step by the conveying roller 15, while the supporting film 1b after the transfer is wound up at the discharging portion H. That is, the support film 1b
After being pulled up by the nip roller 8 and wound up, the dancer roll 27 controls the tension to be wound up on the support film winding roll 28. In this way, starting from the discharge portion G of the support film 1b, as described above, the supply portion A of the transfer film 1 and the protective film 1a.
If a dancer roll for controlling the tension is provided in the winding portion of the, the tension before and after the transfer becomes almost constant, which is effective for transferring the colored resist.
【００２８】図８（ａ）〜（ｄ）は押圧部材１９の変形
例を示す図である。図８（ａ）の押圧部材３１は先端が
尖っているが、刃物ではないために多少は丸みを帯びて
いる。このタイプの押圧部材３１は構造が単純で製作が
容易であり、転写時に一番空気を巻き込みにくい。しか
し、転写フィルム上を移動する時にフィルムを擦って切
ってしまう可能性があるので、先端の丸みと転写フィル
ムの強度を勘案して使用する必要がある。図８（ｂ）の
押圧部材３２は、先端に小径の円柱部分３２ａを固定し
たものである。円柱部分３２ａは回転しないので転写フ
ィルムを擦ってしまうがフィルムが切れる程ではない。
そして、円柱部分３２ａの径を小さくすればするほど空
気を巻き込みにくくなる。また、可動部分がないのでこ
のタイプも製作が容易である。図８（ｃ）の押圧部材３
３は、保持部材３３ａ先端に回転ロール３３ｂを有して
いるために転写フィルム上の移動が滑らかである。図８
（ｄ）に示す押圧部材３４は、（ｃ）のタイプと同様に
保持部材３４ａの先端に回転ロール３４ｂを有している
とともに、背中にガイドローラ３４ｃが設けられてお
り、転写フィルムがガイドローラ３４ｂを経由して巻き
取られ、保持部材３４ａと接触しないので傷付いたり切
れたりすることがない。この何れのタイプの押圧部材を
用いても、基板上に空気の巻き込みを少なくして着色レ
ジストを転写することができる。押圧時の圧力を大きく
する時には、各先端の丸みの中央部分の径等を少し大き
めにすると効果的である。なお、これらの押圧部材は、
剥離部Ｇの剥離部材に利用することも勿論可能である。
また、転写装置を設置する室内又は領域を一定温度、一
定湿度にすることで品質も安定しやすくなる。FIGS. 8A to 8D are views showing a modified example of the pressing member 19. The pressing member 31 of FIG. 8A has a sharp tip, but is slightly rounded because it is not a blade. This type of pressing member 31 has a simple structure and is easy to manufacture, and it is the most difficult to entrap air during transfer. However, since there is a possibility of rubbing and cutting the film when moving on the transfer film, it is necessary to consider the roundness of the tip and the strength of the transfer film before use. The pressing member 32 of FIG. 8 (b) has a small diameter cylindrical portion 32a fixed to the tip. Since the cylindrical portion 32a does not rotate, the transfer film is rubbed, but the film is not cut.
The smaller the diameter of the columnar portion 32a, the more difficult it is for air to be entrained. Also, since there are no moving parts, this type is also easy to manufacture. The pressing member 3 of FIG. 8 (c)
Since No. 3 has the rotating roll 33b at the tip of the holding member 33a, the movement on the transfer film is smooth. FIG.
Similarly to the type of (c), the pressing member 34 shown in (d) has a rotating roll 34b at the tip of the holding member 34a and a guide roller 34c on the back, and the transfer film is a guide roller. It is wound via 34b and does not come into contact with the holding member 34a, so that it is not damaged or cut. Regardless of which type of pressing member is used, it is possible to transfer the colored resist on the substrate with less air entrainment. When increasing the pressure at the time of pressing, it is effective to slightly increase the diameter of the central portion of the roundness of each tip. In addition, these pressing members,
Of course, it can also be used as a peeling member of the peeling portion G.
In addition, the quality can be easily stabilized by keeping the temperature or the humidity in the room or area where the transfer device is installed.
【００２９】[0029]
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載の効果を奏する。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.
【００３０】フィルム転写法によるカラーフィルターの
製造工程を人手によらず自動的に一貫して行うようにし
たので、生産効率を上げることができ、しかも、押圧工
程では基板と転写フィルムとの押圧部材による貼り合わ
せ角度を鈍角としたことにより、既に形成されている着
色画素パターンとの境目に空気が巻き込まれるのが防止
されることから、２色目以降の着色画素パターンを綺麗
に形成したカラーフィルターを得ることができる。Since the manufacturing process of the color filter by the film transfer method is automatically and consistently performed without manual labor, the production efficiency can be improved, and in the pressing process, the pressing member between the substrate and the transfer film is pressed. By making the bonding angle by using an obtuse angle, it is possible to prevent air from being entrapped at the boundary with the already formed colored pixel pattern. Therefore, a color filter in which the second and subsequent colored pixel patterns are formed neatly is provided. Obtainable.
【００３１】押圧部材として小さい径のローラ部分を有
する押圧ローラを使用することにより、押圧時における
上記空気の巻き込みをより少なくして着色レジストの転
写を綺麗に行うことができる。By using a pressing roller having a small-diameter roller portion as the pressing member, the entrainment of air during pressing can be further reduced and the transfer of the colored resist can be performed neatly.
【００３２】ローラ部分の中央部の径を太くした押圧ロ
ーラを用いることにより、押圧力を大きくした場合に、
ローラ部分の中央が基板から浮くことなく転写フィルム
全体を確実に基板に押し付けることができ、転写フィル
ムを基板に綺麗に貼り合わせることができる。When the pressing force is increased by using a pressing roller having a thicker central portion of the roller portion,
The entire transfer film can be surely pressed against the substrate without the center of the roller portion floating from the substrate, and the transfer film can be properly attached to the substrate.
【図１】本発明に係る転写装置の一例を示す概略構成図
である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a transfer device according to the present invention.
【図２】検査部における判定画像の一例を示すグラフで
ある。FIG. 2 is a graph showing an example of a determination image in the inspection unit.
【図３】検査部における判定画像の一例を示すグラフで
ある。FIG. 3 is a graph showing an example of a determination image in the inspection unit.
【図４】基板を搬送する搬送ローラを基板とともに示す
正面図である。FIG. 4 is a front view showing a transport roller that transports the substrate together with the substrate.
【図５】押圧部で使用する押圧部材の一例を示す側面部
と正面図である。FIG. 5 is a side view and a front view showing an example of a pressing member used in the pressing unit.
【図６】押圧部材の他の例を示す側面図と正面図であ
る。6A and 6B are a side view and a front view showing another example of the pressing member.
【図７】本発明での押圧部材による転写状態を従来例と
比較して示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory view showing a transfer state by a pressing member in the present invention in comparison with a conventional example.
【図８】押圧部材の変形例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a modified example of a pressing member.
１ 転写フィルム １ｂ 支持フィルム ２ 巻取 １４ 基板 １９ 押圧部材 １９ａ ローラ部分 Ａ 供給部 Ｂ 検査部 Ｃ 第１の加熱部 Ｄ 押圧部 Ｅ 第２の加熱部 Ｆ 冷却部 Ｇ 剥離部 Ｈ 排出部 1 Transfer Film 1b Supporting Film 2 Winding 14 Substrate 19 Pressing Member 19a Roller Part A Supplying Part B Inspecting Part C First Heating Part D Pressing Part E Second Heating Part F Cooling Part G Peeling Part H Discharging Part
Claims (5)
なる転写フィルムから着色レジストをカラーフィルター
用の基板に転写する転写方法において、基板に転写フィ
ルムを重ね合わせて押圧して貼り合わせる際に、基板と
供給される転写フィルムの角度が鈍角になるようにした
ことを特徴とする転写方法。1. A transfer method for transferring a colored resist from a transfer film having a colored resist provided on a support film to a substrate for a color filter, when the transfer film is superposed on the substrate and pressed to bond the substrates. The transfer method is characterized in that the angle of the transfer film supplied is set to be obtuse.
なる転写フィルムから着色レジストをカラーフィルター
用の基板に転写する転写方法において、巻取から転写フ
ィルムを繰り出す供給工程と、加熱した基板に転写フィ
ルムを重ね合わせて押圧部材で貼り合わせる押圧工程
と、押圧中に転写フィルムと基板を加熱する加熱工程
と、貼り合わせた転写フィルムと基板を冷却する冷却工
程と、冷却後に転写フィルムの支持フィルムを着色レジ
ストを転写した基板から剥離する剥離工程と、転写終了
後に支持フィルムを巻き取る排出工程とを連続して行う
ようにし、前記押圧工程では押圧部材による貼り合わせ
角度が鈍角になる状態で基板に転写フィルムを押し付け
るようにしたことを特徴とする転写方法。2. A transfer method for transferring a colored resist from a transfer film comprising a support film and a colored resist to a substrate for a color filter, a feeding step of feeding the transfer film from winding, and a transfer film on a heated substrate. A stacking step and a bonding step with a pressing member, a heating step to heat the transfer film and the substrate during pressing, a cooling step to cool the bonded transfer film and the substrate, and a coloring of the transfer film support film after cooling. The peeling step of peeling the resist from the substrate and the discharging step of winding the support film after the transfer are performed continuously. In the pressing step, the bonding angle by the pressing member is transferred to the substrate in an obtuse angle. A transfer method characterized by pressing a film.
なる転写フィルムから着色レジストをカラーフィルター
用の基板に転写する転写装置であって、巻取から転写フ
ィルムを繰り出す供給部と、転写フィルムを重ね合わせ
る前に基板を加熱する第１の加熱部と、転写フィルムと
基板とを重ね合わせて押圧部材で貼り合わせる押圧部
と、押圧中に転写フィルムと基板を加熱する第２の加熱
部と、貼り合わせた転写フィルムと基板を冷却する冷却
部と、冷却後に転写フィルムの支持フィルムを着色レジ
ストを転写した基板から剥離する剥離部と、転写終了後
に支持フィルムを巻き取る排出部とを具備してなり、前
記押圧部における基板と転写フィルムとの押圧部材によ
る貼り合わせ角度が鈍角となるように構成されているこ
とを特徴とする転写装置。3. A transfer device for transferring a colored resist from a transfer film comprising a colored resist provided on a support film to a substrate for a color filter, wherein a supply part for feeding the transfer film from a winding and a transfer film are superposed. A first heating unit that heats the substrate before combining, a pressing unit that superimposes the transfer film and the substrate and adhere with a pressing member, and a second heating unit that heats the transfer film and the substrate during pressing It comprises a cooling unit for cooling the combined transfer film and substrate, a peeling unit for peeling the support film of the transfer film from the substrate on which the colored resist has been transferred after cooling, and a discharge unit for winding the support film after the transfer is completed. The transfer device is characterized in that the bonding angle between the substrate and the transfer film in the pressing portion by the pressing member is an obtuse angle. Place.
ラ部分を有する押圧ローラを用いたことを特徴とする請
求項３記載の転写装置。4. The transfer device according to claim 3, wherein a pressing roller having a small diameter roller portion is used as the pressing member of the pressing portion.
押圧ローラを用いたことを特徴とする請求項４記載の転
写装置。5. The transfer device according to claim 4, wherein a pressing roller is used in which the diameter of the central portion of the roller portion is thickened.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29959394A JPH08160216A (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Transfer method and transfer device used therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29959394A JPH08160216A (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Transfer method and transfer device used therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160216A true JPH08160216A (en) | 1996-06-21 |
Family
ID=17874649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29959394A Pending JPH08160216A (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Transfer method and transfer device used therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08160216A (en) |
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1994
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