JPH08159911A - Valve device and air leak tester - Google Patents
Valve device and air leak testerInfo
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- JPH08159911A JPH08159911A JP33035294A JP33035294A JPH08159911A JP H08159911 A JPH08159911 A JP H08159911A JP 33035294 A JP33035294 A JP 33035294A JP 33035294 A JP33035294 A JP 33035294A JP H08159911 A JPH08159911 A JP H08159911A
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- valve
- plunger
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、弁装置およびこの弁装
置を用いたエアリークテスタに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a valve device and an air leak tester using the valve device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、手動操作によらずに駆動する弁と
して、電磁弁（ソレノイド弁）が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a solenoid valve is known as a valve that is driven without manual operation.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記電磁弁で
は、ソレノイドに電流が流れる際にソレノイドが発熱
し、この熱が流体に付与されてしまうため、例えばエア
リークテスタ等のように、熱の影響を避けなければなら
ない流体の制御には適さないという問題があった。However, in the above solenoid valve, the solenoid heats up when an electric current flows through the solenoid, and this heat is imparted to the fluid. Therefore, for example, in the case of an air leak tester, the influence of heat is exerted. There is a problem that it is not suitable for the control of fluid that must be avoided.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明では、弁とこの弁を駆動させる駆動
手段とを備えた弁装置において、上記弁は、流路を形成
してなるボデイと、このボデイに収容されるとともに一
端部がボデイから突出したプランジャとを有し、このプ
ランジャの軸方向移動により上記流路が制御されるもの
であり、上記駆動手段は、（イ）上記プランジャの突出
端部に設けられたカムフォロアと、（ロ）モータと、
（ハ）上記モータによって回動される駆動シャフトと、
（ニ）上記駆動シャフトに設けられ、上記カムフォロア
と協働してプランジャを移動させる弁駆動用カムと、を
備えたことを特徴とする。請求項２の発明では、請求項
１に記載の弁装置において、上記駆動シャフトには複数
の弁駆動用カムが駆動シャフトの延び方向に間隔をおい
て設けられており、上記弁が駆動シャフトの延び方向に
並んで複数配置されており、これら複数の弁のプランジ
ャの突出端部に設けられたカムフォロアが、上記複数の
弁駆動用カムにそれぞれ対峙していることを特徴とす
る。請求項３の発明では、請求項１または２に記載の弁
装置において、上記駆動シャフトには作動部材が設けら
れ、この作動部材に対峙して回動位置検出手段が配置さ
れており、この回動位置検出手段は、作動部材が特定の
回動位置に達した時にこれを検出して回動位置検出信号
を出力することを特徴とする。請求項４の発明では、一
端が圧力源に接続され他端が検査対象を着脱可能に接続
する接続端となるエア通路と、このエア通路に設けられ
た弁と、この弁と上記接続端との間のエア通路に接続さ
れた容量変更器および圧力センサとを備えたエアリーク
テスタにおいて、上記容量変更器は、上記エア通路に連
なるシリンダと、このシリンダに収容されるとともにシ
リンダの一端から突出するプランジャとを有し、このプ
ランジャの軸方向移動により上記シリンダの容積が変更
されるものであり、上記弁は、流路を形成してなるボデ
イと、このボデイに収容されるとともに一端部がボデイ
から突出したプランジャとを有し、このプランジャの軸
方向移動により上記流路が制御されるものであり、さら
に駆動手段が設けられ、この駆動手段は、（イ）上記容
量変更器のプランジャおよび弁のプランジャの突出端部
にそれぞれ設けられたカムフォロアと、（ロ）モータ
と、（ハ）上記モータによって回動される駆動シャフト
と、（ニ）上記駆動シャフトに設けられ、上記カムフォ
ロアと協働してプランジャを移動させる容量変更器駆動
用のカムおよび弁駆動用カムと、を備えたことを特徴と
する。In order to solve the above-mentioned problems, in the invention of claim 1, in a valve device comprising a valve and a drive means for driving the valve, the valve forms a flow path. And a plunger whose one end projects from the body and which is housed in the body, and the flow path is controlled by the axial movement of the plunger. A cam follower provided at the protruding end of the plunger, a (b) motor,
(C) a drive shaft rotated by the motor,
(D) A valve drive cam provided on the drive shaft for moving the plunger in cooperation with the cam follower. According to a second aspect of the invention, in the valve device according to the first aspect, a plurality of valve driving cams are provided on the drive shaft at intervals in a direction in which the drive shaft extends, and the valve is a drive shaft. A plurality of cam followers, which are arranged side by side in the extending direction and are provided at the projecting end portions of the plungers of the plurality of valves, face the plurality of valve driving cams, respectively. According to a third aspect of the present invention, in the valve device according to the first or second aspect, an actuating member is provided on the drive shaft, and a rotational position detecting means is disposed facing the actuating member. The moving position detecting means is characterized in that when the actuating member reaches a specific turning position, it detects it and outputs a turning position detection signal. According to the invention of claim 4, an air passage, one end of which is connected to the pressure source and the other end of which is a connection end to which the inspection target is detachably connected, a valve provided in the air passage, the valve and the connection end. In an air leak tester including a capacity changer and a pressure sensor connected to an air passage between them, the capacity changer is housed in the cylinder connected to the air passage, and protrudes from one end of the cylinder. The cylinder has a plunger, and the volume of the cylinder is changed by the axial movement of the plunger. The valve has a body forming a flow path, and one end of the valve is housed in the body. And a plunger projecting from the plunger. The flow path is controlled by the axial movement of the plunger, and a driving means is further provided. A cam follower provided on each of the projecting ends of the plunger of the capacity changer and the plunger of the valve, (b) a motor, (c) a drive shaft rotated by the motor, and (d) provided on the drive shaft. And a cam for driving the capacity changer and a cam for driving the valve which move the plunger in cooperation with the cam follower.
【０００５】[0005]
【作用】請求項１の発明では、モータ駆動に伴いカムを
回動させることにより、プランジャを移動させ、これに
伴いボデイの流路を制御する。このようにソレノイドを
用いずに弁を制御するので流路を流れる流体に熱を付与
することがない。請求項２の発明では、上記モータ駆動
により複数のカムを回動させることにより、複数の弁を
同期してあるいは所定角度の位相をもって確実に作動さ
せることができる。請求項３の発明では、上記カムが設
けられる駆動シャフトに回動位置検出手段のための作動
部材を設けたので、カムの回動位置を検出でき、しかも
そのための構成が比較的簡単である。請求項４の発明で
は、検査対象が接続され弁が閉じられた状態で、エア通
路に接続された容量変更器を作動させて、検査対象を含
む閉鎖系の容量を変更すると、この容量変更に起因する
圧力変化が、エア通路に接続された圧力センサにより検
出される。この圧力変化は検査対象の容積の情報を含ん
でいる。したがって、例えばこの圧力変化と、テスト圧
を供給してエア通路を閉じた状態での圧力変化に基づい
て、検査対象からの漏れ量を検出できる。上記のように
用いられる容量変更器が、弁とともにモータ駆動のカム
によって作動されるため、容量変更器を手動で操作する
場合に比べて作業性がよく、また他の駆動系を用いて作
動させる場合に比べて構成が簡単となる。また、弁と容
量変更器の作動タイミングの位相差も確実に得ることが
できる。さらに、弁の作動に伴う発熱がないので、圧力
変化を正確に測定でき、ひいてはエアリークテストの精
度を向上させることができる。According to the first aspect of the invention, the cam is rotated in accordance with the driving of the motor to move the plunger, and the flow passage of the body is controlled accordingly. Since the valve is controlled without using the solenoid in this way, heat is not applied to the fluid flowing through the flow path. According to the second aspect of the present invention, by rotating the plurality of cams by driving the motor, it is possible to reliably operate the plurality of valves in synchronization or in a phase of a predetermined angle. According to the third aspect of the invention, since the actuating member for the rotational position detecting means is provided on the drive shaft on which the cam is provided, the rotational position of the cam can be detected, and the structure therefor is relatively simple. According to the invention of claim 4, when the capacity changer connected to the air passage is operated to change the capacity of the closed system including the inspection object while the inspection object is connected and the valve is closed, the capacity is changed. The resulting pressure change is detected by the pressure sensor connected to the air passage. This pressure change contains information about the volume under test. Therefore, for example, the amount of leakage from the inspection target can be detected based on this pressure change and the pressure change when the test pressure is supplied and the air passage is closed. Since the capacity changer used as described above is operated by the motor-driven cam together with the valve, workability is better than when the capacity changer is manually operated, and it is operated using another drive system. The configuration is simpler than in the case. In addition, the phase difference between the operation timings of the valve and the capacity changer can be reliably obtained. Further, since there is no heat generation associated with the operation of the valve, it is possible to accurately measure the pressure change and improve the accuracy of the air leak test.
【０００６】[0006]
【実施例】以下、本発明に係わる第１実施例を図１〜図
５を参照して詳細に説明する。まず、エアリークテスタ
の概要について図２を参照して説明する。エアリークテ
スタはエア通路１を備えている。エア通路１は共通通路
１ｘと、この共通通路１ｘから分岐した一対の分岐通路
１ａ，１ｂとを有している。共通通路１ｘの上流端には
圧縮エア源２（圧力源）が接続されている。一方の分岐
通路１ａの下流端（接続端）には、漏れがないことが確
認されている基準容器Ｒが着脱可能に接続され、他方の
分岐通路１ｂの下流端（接続端）には漏れの有無を判定
すべき検査対象Ｗが着脱可能に接続されるようになって
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment according to the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. First, an outline of the air leak tester will be described with reference to FIG. The air leak tester includes an air passage 1. The air passage 1 has a common passage 1x and a pair of branch passages 1a and 1b branched from the common passage 1x. A compressed air source 2 (pressure source) is connected to the upstream end of the common passage 1x. A reference container R, which has been confirmed to be leak-free, is detachably connected to the downstream end (connection end) of one branch passage 1a, and a leakage is not applied to the downstream end (connection end) of the other branch passage 1b. The inspection target W, the presence / absence of which is to be determined, is detachably connected.
【０００７】上記共通通路１ｘには、上流側から順にレ
ギュレータ３，電磁三方弁４が設けられている。また、
分岐路１ａ，１ｂにはそれぞれ二方弁５ａ，５ｂが設け
られている。上記分岐路１ａ，１ｂには、二方弁５ａ，
５ｂと分岐路１ａ，１ｂの下流端との間において、それ
ぞれ一対の検圧通路６ａ，６ｂの一端が接続されてお
り、この検出路６ａ，６ｂの他端は、差圧センサ７（圧
力センサ）の一対の入力ポートにそれぞれ接続されてい
る。また、一方の分岐路１ｂには、上記二方弁５ｂと分
岐路１ｂの下流端との間において、容量変更器８が接続
されている。The common passage 1x is provided with a regulator 3 and an electromagnetic three-way valve 4 in this order from the upstream side. Also,
Two-way valves 5a and 5b are provided in the branch paths 1a and 1b, respectively. Two-way valves 5a, 5a,
One end of each of the pair of pressure detection passages 6a and 6b is connected between 5b and the downstream ends of the branch passages 1a and 1b, and the other end of each of the detection passages 6a and 6b is connected to the differential pressure sensor 7 (pressure sensor). ) Are connected to a pair of input ports, respectively. A capacity changer 8 is connected to the one branch passage 1b between the two-way valve 5b and the downstream end of the branch passage 1b.
【０００８】さらに、エアリークテスタは、制御部１０
を有している。この制御部１０は、マイクロコンピュー
タ，入出力インターフェイス，駆動回路等を含む。制御
部１０には、後述するリミットスイッチＳＷ1，ＳＷ2，
ＳＷ3（回動位置検出手段）からの検出信号が入力され
るとともに、差圧センサ７からの検出信号も入力され
る。この制御部１０は、電磁三方弁４の制御，後述する
駆動手段２０のモータ２１の制御，表示器１１，合格ラ
ンプ１２，不合格ランプ１３の制御を行うものである。Further, the air leak tester includes a controller 10
have. The control unit 10 includes a microcomputer, an input / output interface, a drive circuit and the like. The control unit 10 includes limit switches SW 1 , SW 2 ,
The detection signal from SW 3 (rotational position detection means) is input, and the detection signal from the differential pressure sensor 7 is also input. The control unit 10 controls the electromagnetic three-way valve 4, the motor 21 of the driving means 20 described later, the display unit 11, the pass lamp 12, and the fail lamp 13.
【０００９】図１に示すように、上記二方弁５ａ，５
ｂ，容量変更器８は、共通の駆動手段２０により、駆動
されるようになっている。詳述すると、この駆動手段２
０は、ベース１５の上に設置されたモータ２１と、この
モータ２１によって回転される駆動シャフト２２とを有
している。駆動シャフト２２は、ベース１５に設けられ
た一対の軸受２３により両端部を支持されており、一対
の歯車２４を介してモータ２１の出力軸２１ａに連結さ
れている。 駆動シャフト２２には、スイッチ駆動用のカム３１，３
２，３３（作動部材）と、弁駆動用の２つのカム３５
と、容量変更器駆動用のカム３８とが、駆動シャフト２
２の延び方向に間隔をおいて固定されている。As shown in FIG. 1, the two-way valves 5a, 5 are
b, the capacity changer 8 is driven by a common drive means 20. More specifically, this driving means 2
Reference numeral 0 has a motor 21 installed on the base 15 and a drive shaft 22 rotated by the motor 21. Both ends of the drive shaft 22 are supported by a pair of bearings 23 provided on the base 15, and are connected to an output shaft 21 a of the motor 21 via a pair of gears 24. The drive shaft 22 includes cams 31 and 3 for driving the switch.
2, 33 (actuating member) and two cams 35 for driving the valve
And the cam 38 for driving the capacity changer,
2 are fixed at intervals in the extending direction.
【００１０】図３（Ａ）〜（Ｅ）に示すように、カム３
１，３２，３３，３５，３８は円板形状をなしている。
図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、カム３１，３２，３
３は、それぞれ小さな角度範囲で形成された切欠３１
ａ，３２ａ，３３ａを有している。これら切欠３１ａ，
３２ａ，３３ａの角度位置は互いに異なっており、切欠
３１ａと切欠３２ａは周方向にΘ1（例えば３５°）だ
け離れており、切欠３１ａと切欠３３ａは周方向にΘ2
（例えば１８０°）だけ離れている。図３（Ｄ）に示す
ように、カム３５はそれぞれ比較的大きな角度範囲で形
成された切欠３５ａを有している。図３（Ｅ）に示すよ
うに、カム３８は偏心カムからなる。As shown in FIGS. 3A to 3E, the cam 3
1, 32, 33, 35, and 38 are disc-shaped.
As shown in FIGS. 3A to 3C, the cams 31, 32, 3
3 is a notch 31 formed in a small angle range.
a, 32a, 33a. These notches 31a,
The angular positions of 32a and 33a are different from each other, the notch 31a and the notch 32a are circumferentially separated by Θ 1 (for example, 35 °), and the notch 31a and the notch 33a are circumferentially separated by Θ 2.
(Eg 180 °) apart. As shown in FIG. 3D, the cams 35 each have a notch 35a formed in a relatively large angle range. As shown in FIG. 3 (E), the cam 38 is an eccentric cam.
【００１１】上記ベース１５には、リミットスイッチＳ
Ｗ1，ＳＷ2，ＳＷ3，二方弁５ａ，５ｂ，容量変更器８
が、駆動シャフト２２の延び方向に並んで配置されてい
る。リミットスイッチＳＷ1，ＳＷ2，ＳＷ3の作動子４
１，４２，４３はカムフォロアとして上記カム３１，３
２，３３にそれぞれ対峙している。また、二方弁５ａ，
５ｂには、上記カム３５に対峙するローラ形状のカムフ
ォロア４５が装着されており、容量変更器８には、カム
３８に対峙するローラ形状のカムフォロア４８が装着さ
れている。The base 15 has a limit switch S
W 1 , SW 2 , SW 3 , two-way valves 5 a, 5 b, capacity changer 8
Are arranged side by side in the extending direction of the drive shaft 22. Limit switch SW 1 , SW 2 , SW 3 actuator 4
1, 42, 43 are cam followers as the cams 31, 3
It faces 2 and 33 respectively. In addition, the two-way valve 5a,
A roller-shaped cam follower 45 facing the cam 35 is attached to 5b, and a roller-shaped cam follower 48 facing the cam 38 is attached to the capacity changer 8.
【００１２】次に、上記二方弁５ａ，５ｂの詳細な構造
について、図１，図４を参照しながら説明する。二方弁
５ａ，５ｂは、軸芯が上記駆動シャフト２２と直交する
ボデイ５０を備えている。このボデイ５０は、筒部材５
１と、この筒部材５１の一端開口を塞ぐ閉塞部材５２を
有しており、両者によって収容空間５３が形成されてい
る。筒部材５１は、その周壁を貫通して上面に開口する
入力ポート５１ａを有している。閉塞部材５２は、上面
に開口する出力ポート５２ａと、上記収容空間５３に臨
む弁座５２ｂと、一端が弁座５２ｂに開口し他端が出力
ポート５２ａに連なる連通孔５２ｃとを有している。こ
れら入力ポート５１ａ，収容空間５３，連通孔５２ｃ，
出力ポート５２ａにより、二方弁５ａ，５ｂの流路が構
成されている。なお、一方の二方弁５ａの入力ポート５
１ａと出力ポート５２ａは、エア通路１の一方の分岐通
路１ａに接続され、他方の二方弁５ｂの入力ポート５１
ａと出力ポート５２ａは、他方の分岐通路１ｂに接続さ
れている。Next, the detailed structure of the two-way valves 5a and 5b will be described with reference to FIGS. The two-way valves 5 a and 5 b include a body 50 whose axis is orthogonal to the drive shaft 22. This body 50 is a tubular member 5.
1 and a closing member 52 that closes the opening at one end of the tubular member 51, and a housing space 53 is formed by both. The cylindrical member 51 has an input port 51a which penetrates the peripheral wall and opens on the upper surface. The closing member 52 has an output port 52a opened on the upper surface, a valve seat 52b facing the accommodation space 53, and a communication hole 52c having one end opened to the valve seat 52b and the other end connected to the output port 52a. . These input port 51a, accommodation space 53, communication hole 52c,
The output port 52a constitutes a flow path for the two-way valves 5a and 5b. The input port 5 of the one-way valve 5a
1a and the output port 52a are connected to one branch passage 1a of the air passage 1, and the input port 51 of the other two-way valve 5b.
The a and the output port 52a are connected to the other branch passage 1b.
【００１３】上記ボデイ５０の収容空間５３には、円柱
形状のプランジャ５４が軸方向（すなわち駆動シャフト
２２と直交する方向）にスライド可能に収容されてい
る。上記プランジャ５４の一端部は筒部材５１の開口端
から突出しており、この突出端部５４ａには、スリット
５４ｂが形成されており、このスリット５４ｂ内に前述
したカムフォロア４５が収容されている。カムフォロア
４５は突出端部５４ａを貫通するピン４５ａを介して回
動可能に支持されている。なお、筒部材５１の端部には
係止ピン５５が貫通固定されており、このピン５５がス
リット５４ｂに入り込むことによりプランジャ５４の回
動が阻止されているとともに、ピン５５がスリット５４
ｂの奥端部に当たることにより、プランジャ５４の抜け
止めがなされている。A cylindrical plunger 54 is slidably housed in the housing space 53 of the body 50 in the axial direction (that is, in the direction orthogonal to the drive shaft 22). One end of the plunger 54 projects from the open end of the tubular member 51, a slit 54b is formed in the projecting end 54a, and the cam follower 45 described above is accommodated in the slit 54b. The cam follower 45 is rotatably supported via a pin 45a penetrating the protruding end 54a. A locking pin 55 is fixed through the end of the cylindrical member 51. The pin 55 is inserted into the slit 54b to prevent the plunger 54 from rotating, and the pin 55 is inserted into the slit 54.
The plunger 54 is prevented from coming off by hitting the rear end portion of b.
【００１４】上記プランジャ５４の内端部には、筒形状
のホルダ５６が同軸をなして固定されている。このホル
ダ５６の先端には、径方向，内方向に突出する係止部５
６ａが形成されている。ホルダ５６内には、衝撃吸収用
のスプリング５７と弁エレメント５８が収容されてお
り、弁エレメント５８はスプリング５７に付勢されてお
り、この弁エレメント５８の外周に形成された環状の段
が上記ホルダ５６の係止部５６ａに当たっている。この
状態で弁エレメント５８の先端部がホルダ５６の先端か
ら突出して上記弁座５２ｂに対峙している。また、ホル
ダ５６およびプランジャ５４は、リターンスプリング５
９により図４において左方向に付勢されており、これに
より弁エレメント５８が弁座５２ｂからリフトしてい
る。A cylindrical holder 56 is coaxially fixed to the inner end of the plunger 54. At the tip of the holder 56, the locking portion 5 protruding inward in the radial direction is formed.
6a is formed. A spring 57 for absorbing shock and a valve element 58 are accommodated in the holder 56, and the valve element 58 is biased by the spring 57. The annular step formed on the outer periphery of the valve element 58 is the above-mentioned. It hits the locking portion 56a of the holder 56. In this state, the tip of the valve element 58 projects from the tip of the holder 56 and faces the valve seat 52b. Further, the holder 56 and the plunger 54 are provided with the return spring 5
9, it is biased to the left in FIG. 4, which lifts the valve element 58 from the valve seat 52b.
【００１５】次に、容量変更器８の詳細な構造につい
て、図１，図５を参照しながら説明する。容量変更器８
は、上記駆動シャフト２２と直交する方向に延びるとと
もに一端が閉塞されたシリンダ８０と、このシリンダ８
０の収容空間８０ａに軸方向（駆動シャフト２２と直交
する方向）にスライド可能に収容されたプランジャ８１
とを備えている。シリンダ８０には、一端が上記収容空
間８０ａに連なり他端がシリンダ８０の上面に開口する
連絡ポート８０ｂが形成されている。この連絡ポート８
０ｂは上記エア通路１の分岐通路１ｂに連なっている。Next, the detailed structure of the capacity changer 8 will be described with reference to FIGS. Capacity changer 8
Is a cylinder 80 that extends in a direction orthogonal to the drive shaft 22 and is closed at one end;
A plunger 81 slidably accommodated in the accommodating space 80a of 0 in the axial direction (direction orthogonal to the drive shaft 22).
It has and. The cylinder 80 is formed with a communication port 80b, one end of which is connected to the accommodation space 80a and the other end of which is opened to the upper surface of the cylinder 80. This contact port 8
0b is connected to the branch passage 1b of the air passage 1.
【００１６】上記プランジャ８１の一端部はシリンダ８
０から突出しており、この突出端部８１ａには、ピン４
８ａを介してカムフォロア４８が回動可能に支持されて
いる。また、この突出端部８１ａには、カムフォロア４
８の近傍において、係止ピン８２が貫通固定されてい
る。この係止ピン８２に係止されたバネ座８３とシリン
ダ８０の外周に形成された環状の段８０ｃとの間には、
リターンスプリング８４が介在されており、このリター
ンスプリング８４により、プランジャ８１は、シリンダ
８０から突出する方向に付勢されている。シリンダ８０
の上面には、Ｌ字形のブラケット８５の水平部８５ａが
固定されている。このブラケット８５の垂直部８５ｂは
２股をなして上記係止ピン８２の両端部を係止してい
る。これにより、プランジャ８１の脱落を防止してい
る。One end of the plunger 81 is a cylinder 8
0, and the pin 4 is attached to the protruding end 81a.
A cam follower 48 is rotatably supported via 8a. Further, the cam follower 4 is attached to the protruding end portion 81a.
In the vicinity of 8, the locking pin 82 is fixed through. Between the spring seat 83 locked by the locking pin 82 and the annular step 80c formed on the outer periphery of the cylinder 80,
A return spring 84 is interposed, and the return spring 84 biases the plunger 81 in a direction projecting from the cylinder 80. Cylinder 80
The horizontal portion 85a of the L-shaped bracket 85 is fixed to the upper surface of the. The vertical portion 85b of the bracket 85 is bifurcated to lock both ends of the locking pin 82. This prevents the plunger 81 from falling off.
【００１７】上記構成のリークテスタの作用について説
明する。図２に示す初期状態において、電磁三方弁４
は、分岐通路１ａ，１ｂを大気解放した状態にしてお
り、二方弁５ａ，５ｂは開いており、容量変更器８は、
プランジャ８１を外方向に突出させて容積最大の状態に
ある。以下、この初期状態について詳しく説明する。The operation of the leak tester having the above structure will be described. In the initial state shown in FIG. 2, the electromagnetic three-way valve 4
Indicates that the branch passages 1a and 1b are open to the atmosphere, the two-way valves 5a and 5b are open, and the capacity changer 8 is
The plunger 81 is projected outward and is in the maximum volume state. Hereinafter, this initial state will be described in detail.
【００１８】上記初期状態では、駆動手段２０のカム３
１，３２，３３，３５，３８は、図３に示す回動位置に
ある。詳述すると、カム３１の切欠３１ａが、スイッチ
ＳＷ1の作動子４１に対峙しており、この作動子４１は
切欠３１ａに入り込んで突出位置にあるため、スイッチ
ＳＷ1はオン状態（第１回動位置検出信号の出力状態）
になっている。カム３２，３３の切欠３２ａ，３３ａ
は、スイッチＳＷ2，ＳＷ3の作動子４２，４３に対峙し
ておらず、これら作動子４２，４３がカム３２，３３の
周面に当たって後退位置にあるため、スイッチＳＷ2，
ＳＷ3から回動位置検出信号は出力されていない。In the initial state, the cam 3 of the driving means 20
1, 32, 33, 35 and 38 are in the rotation position shown in FIG. More specifically, since the notch 31a of the cam 31 faces the operator 41 of the switch SW 1 , and the operator 41 enters the notch 31a and is in the protruding position, the switch SW 1 is in the ON state (first Output status of moving position detection signal)
It has become. Notches 32a and 33a of the cams 32 and 33
Are not facing the actuator 43 of the switch SW 2, SW 3, since these actuator 42, 43 is in the retracted position when the circumferential surface of the cam 32, the switch SW 2,
No rotational position detection signal is output from SW 3 .
【００１９】上記初期状態において、カム３５の切欠３
５ａは、カムフォロア４５に対峙しており、このカムフ
ォロア４５を収容している。そのため、図４に示すよう
に、二方弁５ａ，５ｂのプランジャ５４は突出位置にあ
って係止ピン５５に係止されており、弁エレメント５８
が弁座５２ｂからリフトしている。その結果、入口ポー
ト５１ａと出口ポート５２ａが連通し、二方弁５ａ，５
ｂは開き状態になっている。In the initial state, the notch 3 of the cam 35 is formed.
The reference numeral 5 a faces the cam follower 45 and houses the cam follower 45. Therefore, as shown in FIG. 4, the plungers 54 of the two-way valves 5a and 5b are in the projecting position and are locked by the locking pin 55, and the valve element 58
Is lifted from the valve seat 52b. As a result, the inlet port 51a and the outlet port 52a communicate with each other, and the two-way valves 5a, 5
b is in an open state.
【００２０】上記初期状態において、カム３８の周面は
カムフォロア４８から最も離れている。そのため、図５
に示すように、プランジャ８１は突出位置にあって係止
ピン８２がブラケット８５の垂直部８５ｂに係止されて
いる。その結果、収容空間８０ａの容積は最大になって
いる。In the initial state, the peripheral surface of the cam 38 is farthest from the cam follower 48. Therefore,
As shown in FIG. 5, the plunger 81 is at the protruding position, and the locking pin 82 is locked to the vertical portion 85b of the bracket 85. As a result, the volume of the accommodation space 80a is maximized.
【００２１】まず、容積不明の検査対象Ｗを初めてリー
クテストする場合（以下、これを初回リークテストモー
ドと称す）について説明する。上記初期状態で検査対象
Ｗをエア通路１に接続した後、図示しないスタートボタ
ンを押すと、このスタートボタンからの信号に応答し
て、制御部１０はリークテストを開始する。すなわち、
電磁三方弁４をオフにしたまま、モータ２１を駆動して
駆動シャフト２２を図３の矢印方向に回動させる。この
駆動シャフト２２の回動に伴い、カム３５の切欠３５ａ
の傾斜面がカムフォロア４５に当たり、このカムフォロ
ア４５を押す。これにより、二方弁５ａ，５ｂのプラン
ジャ５４は、リターンスプリング５９に抗して図４にお
いて右方向に移動し、このプランジャ５１に追随して弁
エレメント５８が弁座５２ｂに近付く。やがて、弁エレ
メント５８が弁座５２ｂに着座し、二方弁５ａ，５ｂは
閉じられる。First, a case where a leak test is performed on an inspection target W of unknown volume for the first time (hereinafter referred to as a first leak test mode) will be described. When the start button (not shown) is pressed after the inspection target W is connected to the air passage 1 in the initial state, the control unit 10 starts the leak test in response to the signal from the start button. That is,
With the electromagnetic three-way valve 4 turned off, the motor 21 is driven to rotate the drive shaft 22 in the direction of the arrow in FIG. With the rotation of the drive shaft 22, the notch 35a of the cam 35 is formed.
The inclined surface of hits the cam follower 45 and pushes the cam follower 45. As a result, the plungers 54 of the two-way valves 5a and 5b move to the right in FIG. 4 against the return spring 59, and the valve element 58 approaches the valve seat 52b following the plunger 51. Eventually, the valve element 58 seats on the valve seat 52b and the two-way valves 5a, 5b are closed.
【００２２】上記二方弁５ａ，５ｂが閉じられた直後
に、駆動シャフト２２の初期位置からの回動角度がΘ1
に達し、カム３２の切欠３２ａがスイッチＳＷ2の作動
子４２に対峙する。その結果、作動子４２が突出して切
欠３２ａに入り込み、スイッチＳＷ2がオンする（第２
回動位置検出信号の出力）。制御部１０は、このオン信
号に応答してモータ２１を一時的に停止させる。Immediately after the two-way valves 5a and 5b are closed, the rotation angle of the drive shaft 22 from the initial position is Θ 1
Reached, the notch 32a of the cam 32 faces the actuator 42 of the switch SW 2. As a result, the actuator 42 protrudes into the notch 32a, and the switch SW 2 is turned on (second
Output of rotation position detection signal). The controller 10 temporarily stops the motor 21 in response to the ON signal.
【００２３】上記のように二方弁５ａ，５ｂが閉じられ
るため、基準容器Ｒおよび検査対象Ｗは、それぞれ大気
圧で閉じられることになる。また、この二方弁５ａ，５
ｂの閉じ動作に伴う圧力変動は、モータ２１を一時停止
している間に収まる。制御部１０では、圧力が安定した
時に差圧センサ７から圧力ＰA（ほぼ大気圧に等しい）
を読み込む。Since the two-way valves 5a and 5b are closed as described above, the reference container R and the inspection object W are closed at atmospheric pressure. Also, these two-way valves 5a, 5
The pressure fluctuation due to the closing operation of b is stopped while the motor 21 is temporarily stopped. In the control unit 10, when the pressure becomes stable, the pressure P A (which is almost equal to the atmospheric pressure) is detected by the differential pressure sensor 7.
Read.
【００２４】制御部１０は、上記のようにモータ２１を
所定時間だけ一時停止させた後で、再びモータ２１を駆
動して駆動シャフト２２を矢印方向に回動させる。する
と、カム３８の周面がカムフォロア４８に接するように
なり、この回動に伴ってカムフォロア４８を図５におい
て右方向に押す。その結果、容量変更器８のプランジャ
８１が同方向に移動して、シリンダ８０の収容空間８０
ａの容積を減少させる。駆動シャフト２２およびカム３
８が初期位置からΘ2（１８０°）回動した時に、この
収容空間８０ａの容積は最小となる。After the motor 21 is temporarily stopped for a predetermined time as described above, the controller 10 drives the motor 21 again to rotate the drive shaft 22 in the arrow direction. Then, the peripheral surface of the cam 38 comes into contact with the cam follower 48, and the cam follower 48 is pushed rightward in FIG. 5 in accordance with this rotation. As a result, the plunger 81 of the capacity changer 8 moves in the same direction, and the accommodation space 80 of the cylinder 80
Reduce the volume of a. Drive shaft 22 and cam 3
When 8 is rotated by Θ 2 (180 °) from the initial position, the volume of this accommodation space 80a becomes the minimum.
【００２５】駆動シャフト２２の回動角度がΘ2に達し
た時に、カム３３の切欠３３ａが、スイッチＳＷ3の作
動子４３に対峙する位置に至る。その結果、作動子４３
が突出して切欠３３ａに入り込み、スイッチＳＷ3がオ
ンする（第３回動位置検出信号の出力）。制御部１０
は、このオン信号に応答してモータ２１を再び所定時間
だけ一時停止させる。When the rotation angle of the drive shaft 22 reaches Θ 2 , the notch 33a of the cam 33 reaches a position facing the actuator 43 of the switch SW 3 . As a result, the actuator 43
There enters the notch 33a protrude, the switch SW 3 is turned on (the output of the third rotation position detection signal). Control unit 10
Responds to this ON signal by temporarily stopping the motor 21 again for a predetermined time.
【００２６】上記のように容量変更器８を駆動させるこ
とにより、容量変更器８と分岐通路１ｂと検査対象Ｗを
含む閉鎖系の容積を一定量ＶC（容量変更器８のの容積
の最大値と最小値の差）だけ減少させ、モータ２１の停
止により圧力を安定させた後で、制御部１０は容量減少
の後の圧力ＰA’を差圧センサ７から読み込む。さらに
制御部１０は、容量減少の前後の圧力変化ΔＰＡ＝
ＰA’−ＰAを演算する。この圧力変化ΔＰAは、検査対
象Ｗの容積Ｖの情報を含んでいる。ボイルの法則により
圧力変化ΔＰAは次式で表されるからである。 ΔＰA＝ＰA・（ＶC／Ｖ） … （１）By driving the capacity changer 8 as described above, the volume of the closed system including the capacity changer 8, the branch passage 1b, and the inspection object W is set to a fixed amount V C (the maximum capacity of the capacity changer 8). (The difference between the value and the minimum value), and after stabilizing the pressure by stopping the motor 21, the control unit 10 reads the pressure P A ′ after the capacity reduction from the differential pressure sensor 7. Furthermore, the control unit 10 controls the pressure change ΔPA = before and after the capacity decrease.
Calculate P A '-P A. This pressure change ΔP A contains information on the volume V of the inspection object W. This is because the pressure change ΔP A is expressed by the following equation according to Boyle's law. ΔP A = P A · (V C / V) (1)
【００２７】上記のモータ２１停止後、再びモータ２１
を駆動させる。やがて、スイッチＳＷ1の作動子４１が
再びカム３１の切欠３１ａに入り込み、このスイッチＳ
Ｗ1からのオン信号に応答して、制御部１０はモータ２
１を停止させる。その結果カム３１，３２，３３，３
５，３８は初期位置まで戻され、二方弁５ａ，５ｂ，容
量変更器８は初期状態に戻される。After the motor 21 is stopped, the motor 21 is restarted.
Drive. Eventually, the actuator 41 of the switch SW 1 enters the notch 31a of the cam 31 again, and this switch S 1
In response to the ON signal from W 1 , the control unit 10 controls the motor 2
Stop 1 As a result, the cams 31, 32, 33, 3
5, 38 are returned to the initial position, and the two-way valves 5a, 5b and the capacity changer 8 are returned to the initial state.
【００２８】次に、上記停止から所定時間経過後に、制
御部１０は電磁三方弁４をオンにしてレギュレータ３か
らのテスト圧ＰTを基準容器Ｒと検査対象Ｗに供給す
る。また、これとほぼ同時期か若干遅れてモータ３１を
駆動させることにより、駆動シャフト２２をΘ1まで回
動させて２方弁５ａ，５ｂを閉じ、ひいてはテスト圧Ｐ
Tのまま基準容器Ｒと検査対象Ｗを閉じる。そして、回
動角度がΘ1に達した時にスイッチＳＷ2のオン信号に応
答してモータ２１を停止させ、この停止状態でリークテ
ストを行う。すなわち、基準容器Ｒと検査対象Ｗの差圧
ΔＰTを差圧センサ７から読み取る。基準容器Ｒは漏れ
のないものであるから、検査対象Ｗに漏れがあると、時
間の経過とともに差圧ΔＰTが増大する。制御部１０は
差圧ΔＰTと上記容量変更に伴う圧力変化ΔＰAの情報を
次式に代入して大気圧換算での検査対象Ｗからの漏れ量
ＶLを演算する。 ＶL＝ＶC・（ΔＰT／ΔＰA） … （２）Next, after a lapse of a predetermined time from the stop, the control unit 10 turns on the electromagnetic three-way valve 4 to supply the test pressure P T from the regulator 3 to the reference container R and the inspection object W. Also, by driving the motor 31 at about the same timing or slightly later, the drive shaft 22 is rotated to Θ 1 and the two-way valves 5a and 5b are closed, and the test pressure P
The reference container R and the inspection object W are closed as they are at T. Then, when the rotation angle reaches Θ 1 , the motor 21 is stopped in response to the ON signal of the switch SW 2 , and the leak test is performed in this stopped state. That is, the differential pressure ΔP T between the reference container R and the inspection target W is read from the differential pressure sensor 7. Since the reference container R has no leakage, if the inspection object W has a leakage, the differential pressure ΔP T increases with the passage of time. The control unit 10 substitutes the information of the differential pressure ΔP T and the information of the pressure change ΔP A due to the above capacity change into the following equation to calculate the leak amount VL from the inspection object W in atmospheric pressure conversion. V L = V C · (ΔP T / ΔP A ) (2)
【００２９】制御部１０は上記漏れ量ＶLを表示器１１
に表示させるとともに、所定時間経過時点での漏れ量が
許容値より小さい時には検査対象Ｗが良品であるとして
合格ランプ１２を点灯させ、許容値より大きい時には、
検査対象Ｗが不良であると判断し、不合格ランプ１３を
点灯させする。上述したように、二方弁５ａ，５ｂはソ
レノイドを用いず、カム機構により作動させるので、こ
の作動の際に熱が発生せず、この熱に伴う圧力変動を防
止できるので、上記（２）式に基づいて漏れ量を正確に
測定することができ、ひいては検査対象の判定を正確に
行うことができる。The control unit 10 displays the leak amount V L on the display 11
In addition, when the leakage amount after the lapse of a predetermined time is smaller than the allowable value, it is determined that the inspection object W is a non-defective product, and the passing lamp 12 is turned on.
The inspection target W is determined to be defective, and the reject lamp 13 is turned on. As described above, since the two-way valves 5a and 5b are operated by the cam mechanism without using a solenoid, heat is not generated during this operation, and pressure fluctuations due to this heat can be prevented. The amount of leakage can be accurately measured based on the formula, and thus the inspection target can be accurately determined.
【００３０】上記リークテスト終了後に、制御部１０は
モータ２１を駆動して回動角度Θ1から一気に初期状態
に戻すとともに、電磁三方弁４をオフにして基準容器Ｒ
と検査対象Ｗを大気に解放する。上記のように、初回リ
ークテストモードの場合には、駆動シャフト２２が２回
転することになる。After completion of the leak test, the control unit 10 drives the motor 21 to immediately return the rotation angle Θ 1 to the initial state, and turns off the electromagnetic three-way valve 4 to set the reference container R.
And the inspection object W is released to the atmosphere. As described above, in the first leak test mode, the drive shaft 22 rotates twice.
【００３１】上記の初回リークテストモードでリークテ
ストを行った後、検査対象をエア通路から外し、新しい
検査対象Ｗを接続する。この検査対象Ｗが前の検査対象
Ｗと同一形状である時には、継続リークテストモードに
する。この継続テストモードでは、駆動シャフト２２は
１回転しかしない。この継続リークテストモードは、初
回リークテストモードでの駆動シャフト２２の２回目の
回動時と作用が同じであるので、詳細な説明を省略す
る。After performing the leak test in the above-described initial leak test mode, the inspection object is removed from the air passage and a new inspection object W is connected. When the inspection object W has the same shape as the previous inspection object W, the continuous leak test mode is set. In this continuous test mode, the drive shaft 22 makes only one revolution. This continuous leak test mode has the same operation as the second rotation of the drive shaft 22 in the initial leak test mode, and therefore detailed description thereof will be omitted.
【００３２】次に、本発明の第２実施例について図６〜
図９を参照して説明する。図７に示すように、本実施例
では、第１実施例の電磁三方弁４の代わりに、モータ駆
動される三方弁９が用いられる。他の構成は同じである
から、同番号を付してその詳細な説明を省略する。図６
に示すように、駆動シャフト２２には、もう一つカム３
９が固定されており、三方弁９は、２つの二方弁５ａ，
５ｂ，容量変更器８と並んで配置されている。三方弁９
の後述するプランジャ９５の突出端部９５ａには、この
カム３９に対峙するカムフォロア４９が設けられてい
る。図９に示すように、カム３９には切欠３９ａが形成
されている。Next, the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 7, in the present embodiment, a motor-driven three-way valve 9 is used instead of the electromagnetic three-way valve 4 of the first embodiment. Since other configurations are the same, the same numbers are given and detailed description thereof is omitted. Figure 6
As shown in FIG.
9 is fixed, and the three-way valve 9 includes two two-way valves 5a,
5b and the capacity changer 8 are arranged side by side. Three-way valve 9
A cam follower 49 facing the cam 39 is provided on a protruding end portion 95a of a plunger 95 described later. As shown in FIG. 9, the cam 39 is formed with a notch 39a.
【００３３】図８に示されているように、この三方弁９
は、軸芯が駆動シャフト２２と直交するボデイ９０を備
えている。このボデイ９０は、４つの部材９１，９２，
９３，９４を直線上に連結してなる。部材９１は筒形状
をなしており、その収容空間９１ａに筒形状のプランジ
ャ９５が収容され、駆動シャフト２２と直交する方向ス
ライド可能にされている。このプランジャ９５の一端部
は、この部材９１から外方向に突出しており、この突出
端部９５ａに形成されたスリット９５ｂにカムフォロア
４９が収容され、ピン４９ａを介して回動可能に支持さ
れている。プランジャ９５はリターンスプリング９６に
より突出方向に付勢されている。また、部材９１を貫通
する係止ピン９７により、プランジャ９５の回り止めと
脱落が防止されている。As shown in FIG. 8, this three-way valve 9
Has a body 90 whose axis is orthogonal to the drive shaft 22. This body 90 has four members 91, 92,
93, 94 are connected in a straight line. The member 91 has a tubular shape, and a tubular plunger 95 is housed in the housing space 91 a thereof and is slidable in a direction orthogonal to the drive shaft 22. One end of the plunger 95 projects outward from the member 91, the cam follower 49 is housed in the slit 95b formed in the projecting end 95a, and is rotatably supported via the pin 49a. . The plunger 95 is biased in the protruding direction by a return spring 96. Further, the locking pin 97 penetrating the member 91 prevents the plunger 95 from rotating and coming off.
【００３４】上記部材９２，９３，９４には、それぞれ
の上面に開口する大気ポート９２ａ，出力ポート９３
ａ，入力ポート９４ａが形成されている。出力ポート９
３ａ，入力ポート９４ａは、図７に示すように、エア通
路１の共通通路１ｘに接続されている。The members 92, 93 and 94 have an atmospheric port 92a and an output port 93, which are open on the upper surface of each member.
a, an input port 94a is formed. Output port 9
3a and the input port 94a are connected to the common passage 1x of the air passage 1, as shown in FIG.
【００３５】上記部材９２，９４には、収容空間９２
ｂ，９４ｂが形成されており、これら収容空間９２ｂ，
９４ｂには、弁エレメント９８，９９が収容されてい
る。これら弁エレメント９８，９９は、ロッド１００を
介してプランジャ９５と連携されるようになっている。
このロッド１００は、部材９２，９４に形成されたガイ
ド孔９２ｃ，９４ｃに挿入されていて、ボデイ９０の軸
芯に沿ってスライド可能に支持されている。このロッド
１００に上記弁エレメント９８，９９が固定されてい
る。The members 92 and 94 have a storage space 92.
b, 94b are formed, and these accommodation spaces 92b,
The valve elements 98 and 99 are accommodated in 94b. These valve elements 98, 99 are adapted to cooperate with the plunger 95 via a rod 100.
The rod 100 is inserted into guide holes 92c and 94c formed in the members 92 and 94, and is supported slidably along the axis of the body 90. The valve elements 98 and 99 are fixed to the rod 100.
【００３６】上記部材９３には上記ガイド孔９２ｃ，９
４ｃより大径の通気孔９３ｂが形成されており、上記ロ
ッド１００を通すようになっている。この通気孔９３ｂ
に上記出力ポート９３ａが連なっている。通気孔９３ｂ
の両端には、弁座９３ｘ，９３ｙが形成されている。上
記３つのポート９２ａ，９３ａ，９４ａ，通気孔９３
ｂ，収容空間９２ｂ，９４ｂにより、三方弁９の流路が
構成されている。The member 93 has the guide holes 92c and 9c.
A vent hole 93b having a diameter larger than 4c is formed so that the rod 100 can pass therethrough. This vent 93b
The output port 93a is connected to. Vent 93b
Valve seats 93x and 93y are formed at both ends of the. The above three ports 92a, 93a, 94a, and vent holes 93
The b and the accommodating spaces 92b and 94b form a flow path of the three-way valve 9.
【００３７】上記部材９４の収容空間９４ｂには、リタ
ーンスプリング１０１が収容されており、このリターン
スプリング１０１により、弁エレメント９９は弁座９３
ｙに向かって付勢され、弁エレメント９８は弁座９３ｘ
からリフトする方向に付勢されている。A return spring 101 is accommodated in the accommodation space 94b of the member 94, and the return spring 101 causes the valve element 99 to move the valve seat 99.
biased towards y, the valve element 98 is seated at the valve seat 93x
It is urged to lift from.
【００３８】上記収容空間９１ａに臨むロッド１００の
端部には、一対のバネ座１０２，１０３が軸方向にスラ
イド可能に支持されている。このバネ座１０２，１０３
の間にはスプリング１０４が介在されている。これらバ
ネ座１０２，１０３は、ストッパ１０５，１０６により
スライドを規制されている。A pair of spring seats 102 and 103 are axially slidably supported at the end of the rod 100 facing the accommodation space 91a. This spring seat 102, 103
A spring 104 is interposed between them. The slides of these spring seats 102 and 103 are restricted by stoppers 105 and 106.
【００３９】上記構成において、初期状態では、図９に
示すように三方弁９のカムフォロア４９は、カム３９の
切欠３９ａに入り込んでいる。そのため、図８に示すよ
うに、三方弁９のプランジャ９５は外方向に突出した状
態にあり、弁エレメント９８が弁座９３ｘからリフト
し、弁エレメント９９が弁座９３ｙに着座している。そ
の結果、出力ポート９３ａは、入力ポート９４ａから遮
断され大気ポート９２ａに連なっており、基準容器Ｒお
よび検査対象Ｗは大気解放状態にある。In the above structure, in the initial state, as shown in FIG. 9, the cam follower 49 of the three-way valve 9 is inserted into the notch 39a of the cam 39. Therefore, as shown in FIG. 8, the plunger 95 of the three-way valve 9 is in an outwardly protruding state, the valve element 98 is lifted from the valve seat 93x, and the valve element 99 is seated on the valve seat 93y. As a result, the output port 93a is cut off from the input port 94a and is connected to the atmosphere port 92a, and the reference container R and the inspection target W are in the atmosphere open state.
【００４０】初回リークテストモードについて述べる。
スタートボタンのオンに応答して制御部１０がモータ２
１を駆動すると、比較的狭い回動角度（Θ1より狭い角
度）で、カムフォロア４９が切欠３９ａから脱し、プラ
ンジャ９５がボデイ９０に押し込まれる。すると、プラ
ンジャ９５の中途部の内面に係止された環状の段９５ｃ
がバネ座１０２に当たり、スプリング１０４，バネ座１
０３，ストッパ１０６を介して、ロッド１００が図８に
おいて右方向に移動される。これにより、弁エレメント
９８が弁座９３ｘに着座し、弁エレメント９９が弁座９
３ｙからリフトする。その結果、出力ポート９３ａが入
力ポート９４ａと連通し大気ポート９２ａから遮断され
るため、基準容器Ｒおよび検査対象Ｗにテスト圧が付与
される。The initial leak test mode will be described.
In response to turning on the start button, the control unit 10 causes the motor 2 to
When 1 is driven, the cam follower 49 comes out of the notch 39a at a relatively narrow rotation angle (angle narrower than Θ 1 ) and the plunger 95 is pushed into the body 90. Then, the annular step 95c locked to the inner surface of the middle portion of the plunger 95.
Hits the spring seat 102, and the spring 104 and the spring seat 1
03, the rod 100 is moved to the right in FIG. 8 via the stopper 106. As a result, the valve element 98 is seated on the valve seat 93x, and the valve element 99 is seated on the valve seat 9x.
Lift from 3y. As a result, the output port 93a communicates with the input port 94a and is blocked from the atmospheric port 92a, so that the test pressure is applied to the reference container R and the inspection target W.
【００４１】次に、駆動シャフト２２の回動角度がΘ1
に達する直前で二方弁５ａ，５ｂが閉じられる。回動角
度がΘ1に達してモータ２１が一時停止された後で、再
びモータ２１が駆動して容量変更器８が作動する。この
ように本実施例では、容量変更器８をテスト圧状態で作
動させて、検査対象Ｗの容積の情報を含む圧力変化の情
報を得る。駆動シャフト２２の２回目の回動の際には、
第１実施例と同様に回動角度Θ1だけ駆動シャフト２２
を回動させた後、モータ２１を停止させてリークテスト
を行う。そして、この時に検出される差圧と上記容量変
化に伴う圧力変化に基づいて、漏れ量を演算し、検査対
象の良否判定を行う。その後で、モータ２１を駆動して
一気に初期位置まで戻す。継続リークテストモードは、
初回リークテストモードでの駆動シャフト２２の２回目
の回動時と作用が同じであるので、詳細な説明を省略す
る。Next, the rotation angle of the drive shaft 22 is Θ 1
The two-way valves 5a and 5b are closed immediately before reaching. After the rotation angle reaches Θ 1 and the motor 21 is temporarily stopped, the motor 21 is driven again to operate the capacity changer 8. As described above, in the present embodiment, the capacity changer 8 is operated in the test pressure state, and the information of the pressure change including the information of the volume of the inspection object W is obtained. During the second rotation of the drive shaft 22,
Similar to the first embodiment, the drive shaft 22 is rotated by the turning angle Θ 1.
After rotating, the motor 21 is stopped and a leak test is performed. Then, the leak amount is calculated based on the differential pressure detected at this time and the pressure change accompanying the capacity change, and the quality of the inspection target is determined. After that, the motor 21 is driven to return to the initial position at once. The continuous leak test mode is
Since the operation is the same as that of the second rotation of the drive shaft 22 in the initial leak test mode, detailed description will be omitted.
【００４２】本発明は上記実施例に制約されず、種々の
態様が可能である。例えば、リークテスタにさらに弁を
付加する場合には、これら付加された弁をも、共通のモ
ータにより駆動されるカムによって、作動させてもよ
い。リークテスタにおいて、テスト圧は負圧でもよい。
回転位置検出手段は、発光部と受光部を有する光学的セ
ンサであってもよい。この場合、駆動シャフトに設けら
れた作動部材には突起または窓が形成されており、これ
らが発光部と受光部との間の光路を遮断したり連通させ
る。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modes are possible. For example, when additional valves are added to the leak tester, these added valves may also be operated by a cam driven by a common motor. In the leak tester, the test pressure may be a negative pressure.
The rotational position detecting means may be an optical sensor having a light emitting portion and a light receiving portion. In this case, the actuating member provided on the drive shaft is formed with a projection or a window, which blocks or connects the optical path between the light emitting section and the light receiving section.
【００４３】[0043]
【発明の効果】請求項１では、モータ駆動のカム機構を
利用することにより、弁作動時に熱が発生せず、制御対
象である流体に熱を付与することがない。請求項２の発
明では、複数の弁を同期してあるいは所定角度の位相を
もって確実に作動させることができる。請求項３の発明
では、カムの回動位置を検出でき、しかもそのための構
成が比較的簡単である。請求項４の発明では、容量変更
器が、弁とともにモータ駆動のカムによって作動される
ため、容量変更器を手動で操作する場合に比べて作業性
がよく、他の駆動系を用いて作動させる場合に比べて構
成が簡単となる。また、弁と容量変更器の作動タイミン
グの位相差も確実に得ることができる。さらに、弁の作
動に伴う発熱がないので、圧力変化を正確に測定でき、
ひいてはエアリークテストの精度を向上させることがで
きる。According to the first aspect of the present invention, by using the cam mechanism driven by the motor, heat is not generated when the valve is operated, and heat is not applied to the fluid to be controlled. According to the second aspect of the present invention, it is possible to reliably operate the plurality of valves in synchronization with each other or with a phase of a predetermined angle. According to the third aspect of the invention, the rotational position of the cam can be detected, and the structure therefor is relatively simple. In the invention of claim 4, since the capacity changer is actuated by the motor-driven cam together with the valve, workability is good as compared with the case where the capacity changer is manually operated, and the capacity changer is operated by using another drive system. The configuration is simpler than in the case. In addition, the phase difference between the operation timings of the valve and the capacity changer can be reliably obtained. Furthermore, since there is no heat generation associated with valve operation, pressure changes can be accurately measured,
As a result, the accuracy of the air leak test can be improved.
【図１】本発明の第１実施例をなすエアリークテスタの
要部を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a main part of an air leak tester according to a first embodiment of the present invention.
【図２】上記エアリークテスタのシステム図である。FIG. 2 is a system diagram of the air leak tester.
【図３】（Ａ）〜（Ｅ）は、上記エアリークテスタに用
いられるカムの初期位置を示す。3A to 3E show initial positions of a cam used in the air leak tester.
【図４】上記エアリークテスタにおける２方弁の拡大縦
断面図である。FIG. 4 is an enlarged vertical sectional view of a two-way valve in the air leak tester.
【図５】上記エアリークテスタにおける容量変更器を示
し、（Ａ）は拡大縦断面図、（Ｂ）は拡大側面図であ
る。5A and 5B show a capacity changer in the air leak tester, FIG. 5A being an enlarged vertical sectional view and FIG. 5B being an enlarged side view.
【図６】本発明の第２実施例をなすエアリークテスタの
要部を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a main part of an air leak tester according to a second embodiment of the present invention.
【図７】同第２実施例のエアリークテスタのシステム図
である。FIG. 7 is a system diagram of the air leak tester of the second embodiment.
【図８】同第２実施例に用いられる三方弁の拡大縦断面
図である。FIG. 8 is an enlarged vertical sectional view of a three-way valve used in the second embodiment.
【図９】同三方弁のためのカムの初期位置を示す図であ
る。FIG. 9 is a diagram showing an initial position of a cam for the three-way valve.
１ … エア通路 ５ａ，５ｂ … 二方弁（弁） ７ … 差圧センサ（圧力センサ） ８ … 容量変更器 ９ … 三方弁（弁） ２０ … 駆動手段 ２１ … モータ ２２ … 駆動シャフト ３１，３２，３３ … カム（作動部材） ３５，３９ … 弁駆動用のカム ３８ … 容量変更器駆動用のカム ４５，４８，４９ … カムフォロア ５０ … ボデイ ５４ … プランジャ ５４ａ … 突出端部 ８０ … シリンダ ８１ … プランジャ ８１ａ … 突出端部 ９０ … ボデイ ９５ … プランジャ ９５ａ … 突出端部 ＳＷ1，ＳＷ2，ＳＷ3 … リミットスイッチ（回転位
置検出手段）1 ... Air passage 5a, 5b ... Two-way valve (valve) 7 ... Differential pressure sensor (pressure sensor) 8 ... Capacity changer 9 ... Three-way valve (valve) 20 ... Drive means 21 ... Motor 22 ... Drive shaft 31, 32, 33 ... Cam (operating member) 35, 39 ... Cam for driving valve 38 ... Cam for driving capacity changer 45, 48, 49 ... Cam follower 50 ... Body 54 ... Plunger 54a ... Projection end 80 ... Cylinder 81 ... Plunger 81a ... projecting ends 90 ... body 95 ... plunger 95a ... protruding end SW 1, SW 2, SW 3 ... limit switch (rotational position detecting unit)
Claims (4)
た弁装置において、 上記弁は、流路を形成してなるボデイと、このボデイに
収容されるとともに一端部がボデイから突出したプラン
ジャとを有し、このプランジャの軸方向移動により上記
流路が制御されるものであり、 上記駆動手段は、（イ）上記プランジャの突出端部に設
けられたカムフォロアと、（ロ）モータと、（ハ）上記
モータによって回動される駆動シャフトと、（ニ）上記
駆動シャフトに設けられ、上記カムフォロアと協働して
プランジャを移動させる弁駆動用カムと、 を備えたことを特徴とする弁装置。1. A valve device comprising a valve and a drive means for driving the valve, wherein the valve has a body forming a flow passage, and the valve is housed in the body and has one end protruding from the body. A plunger is provided, and the flow path is controlled by the axial movement of the plunger. The drive means includes: (a) a cam follower provided at the projecting end of the plunger; and (b) a motor. (C) a drive shaft rotated by the motor, and (D) a valve drive cam provided on the drive shaft for moving the plunger in cooperation with the cam follower. Valve device.
ムが駆動シャフトの延び方向に間隔をおいて設けられて
おり、上記弁が駆動シャフトの延び方向に並んで複数配
置されており、これら複数の弁のプランジャの突出端部
に設けられたカムフォロアが、上記複数の弁駆動用カム
にそれぞれ対峙していることを特徴とする請求項１に記
載の弁装置。2. A plurality of valve driving cams are provided on the drive shaft at intervals in the extending direction of the drive shaft, and a plurality of the valves are arranged side by side in the extending direction of the drive shaft. 2. The valve device according to claim 1, wherein cam followers provided on the protruding ends of the plungers of the plurality of valves face the plurality of valve driving cams, respectively.
れ、この作動部材に対峙して回動位置検出手段が配置さ
れており、この回動位置検出手段は、作動部材が特定の
回動位置に達した時にこれを検出して回動位置検出信号
を出力することを特徴とする請求項１または２に記載の
弁装置。3. An actuating member is provided on the drive shaft, and a rotary position detecting means is arranged facing the actuating member, and the rotary position detecting means is configured such that the actuating member has a specific rotary position. The valve device according to claim 1 or 2, wherein the valve device detects a rotational position detection signal and outputs a rotational position detection signal when the valve device reaches the valve position.
を着脱可能に接続する接続端となるエア通路と、このエ
ア通路に設けられた弁と、この弁と上記接続端との間の
エア通路に接続された容量変更器および圧力センサとを
備えたエアリークテスタにおいて、 上記容量変更器は、上記エア通路に連なるシリンダと、
このシリンダに収容されるとともにシリンダの一端から
突出するプランジャとを有し、このプランジャの軸方向
移動により上記シリンダの容積が変更されるものであ
り、 上記弁は、流路を形成してなるボデイと、このボデイに
収容されるとともに一端部がボデイから突出したプラン
ジャとを有し、このプランジャの軸方向移動により上記
流路が制御されるものであり、 さらに駆動手段が設けられ、この駆動手段は、（イ）上
記容量変更器のプランジャおよび弁のプランジャの突出
端部にそれぞれ設けられたカムフォロアと、（ロ）モー
タと、（ハ）上記モータによって回動される駆動シャフ
トと、（ニ）上記駆動シャフトに設けられ、上記カムフ
ォロアと協働してプランジャを移動させる容量変更器駆
動用のカムおよび弁駆動用カムと、 を備えたことを特徴とするエアリークテスタ。4. An air passage, one end of which is connected to a pressure source and the other end of which is a connection end for detachably connecting an inspection target, a valve provided in the air passage, and between the valve and the connection end. In an air leak tester including a capacity changer connected to the air passage and a pressure sensor, the capacity changer includes a cylinder connected to the air passage,
The cylinder is accommodated in the cylinder and protrudes from one end of the cylinder, and the volume of the cylinder is changed by the axial movement of the plunger. The valve is a body forming a flow path. And a plunger which is housed in the body and has one end protruding from the body, and the flow path is controlled by axial movement of the plunger. Further, drive means is provided, and the drive means is provided. (A) a cam follower provided on each of the projecting ends of the plunger of the capacity changer and the plunger of the valve, (b) a motor, (c) a drive shaft rotated by the motor, and (d) A cam for driving the capacity changer and a cam for driving the valve, which are provided on the drive shaft and move the plunger in cooperation with the cam follower; Air leakage tester, characterized in that was e.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6330352A JP2916089B2 (en) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | Valve device and air leak tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6330352A JP2916089B2 (en) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | Valve device and air leak tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08159911A true JPH08159911A (en) | 1996-06-21 |
| JP2916089B2 JP2916089B2 (en) | 1999-07-05 |
Family
ID=18231660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6330352A Expired - Lifetime JP2916089B2 (en) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | Valve device and air leak tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2916089B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008144611A (en) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Kuzee:Kk | Thrmosensitive actuator |
| CN104458139A (en) * | 2014-10-30 | 2015-03-25 | 芜湖杰诺科技有限公司 | Valve sealing test platform |
| CN106525283A (en) * | 2016-12-09 | 2017-03-22 | 中国船舶重工集团公司第七研究所 | Test device for switch valve |
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|---|---|---|---|---|
| JPS50149392A (en) * | 1974-05-21 | 1975-11-29 | ||
| JPH02161329A (en) * | 1988-12-14 | 1990-06-21 | Cosmo Keiki:Kk | Leak calibrator |
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1994
- 1994-12-07 JP JP6330352A patent/JP2916089B2/en not_active Expired - Lifetime
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| CN106525283A (en) * | 2016-12-09 | 2017-03-22 | 中国船舶重工集团公司第七研究所 | Test device for switch valve |
| CN106525283B (en) * | 2016-12-09 | 2023-12-22 | 中国船舶集团有限公司第七一一研究所 | Test device of switch valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2916089B2 (en) | 1999-07-05 |
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