JPH0814916A - 振動ジャイロ検出回路 - Google Patents
振動ジャイロ検出回路Info
- Publication number
- JPH0814916A JPH0814916A JP6173166A JP17316694A JPH0814916A JP H0814916 A JPH0814916 A JP H0814916A JP 6173166 A JP6173166 A JP 6173166A JP 17316694 A JP17316694 A JP 17316694A JP H0814916 A JPH0814916 A JP H0814916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- phase
- signal
- vibration
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度変化があっても精度良くヌル波を除去
し、温度等によるドリフトを効果的に抑制することがで
きる振動ジャイロ検出回路を提供すること。 【構成】 ジャイロ振動素子１のフィードバック電極３
から出力されたＦＢ信号は、自励振動回路６と位相補正
回路８に送られる。自励振動回路６の出力信号は、駆動
電極２に送られる。前記位相補正回路８は感温素子８ａ
を有しており、ＦＢ信号を寄生波（ヌル波）が温度変化
により移相される位相量だけ移相する。該移相されたＦ
Ｂ信号は同期検波回路９に送られる。該同期検波回路９
は副方向振動検出電極４、５から出力され、差動増幅回
路１０で増幅された検出信号を同期検波する。この結
果、ドリフトの主因であるヌル波と、同期検波信号との
位相ずれが補正され、検出信号の中からヌル波を除去す
ることができる。ヌル波を除去された検出信号は、平滑
増幅回路１１に送られる。
し、温度等によるドリフトを効果的に抑制することがで
きる振動ジャイロ検出回路を提供すること。 【構成】 ジャイロ振動素子１のフィードバック電極３
から出力されたＦＢ信号は、自励振動回路６と位相補正
回路８に送られる。自励振動回路６の出力信号は、駆動
電極２に送られる。前記位相補正回路８は感温素子８ａ
を有しており、ＦＢ信号を寄生波（ヌル波）が温度変化
により移相される位相量だけ移相する。該移相されたＦ
Ｂ信号は同期検波回路９に送られる。該同期検波回路９
は副方向振動検出電極４、５から出力され、差動増幅回
路１０で増幅された検出信号を同期検波する。この結
果、ドリフトの主因であるヌル波と、同期検波信号との
位相ずれが補正され、検出信号の中からヌル波を除去す
ることができる。ヌル波を除去された検出信号は、平滑
増幅回路１１に送られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロ検出回路
に関し、特に検出信号から寄生振動による偽信号成分を
除去し、検出精度を向上させるようにして、振動ジャイ
ロスコープの性能の安定化をはかった振動ジャイロ検出
回路に関する。
に関し、特に検出信号から寄生振動による偽信号成分を
除去し、検出精度を向上させるようにして、振動ジャイ
ロスコープの性能の安定化をはかった振動ジャイロ検出
回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動ジャイロスコープは周知のように、
主方向の振動に誘引されたコリオリ力による副振動を検
出して、角速度を検出するものである。該振動ジャイロ
スコープは、慣性ジャイロスコープ、光ファイバジャイ
ロスコープに比べて極めて安価であるが、圧電体が有す
る温度による特性変化、特に、誘電率、圧電定数、弾性
定数の特性変化により、検出感度変化や製造誤差で発生
する寄生信号の変化が発生する。このため、振動ジャイ
ロスコープの検出信号にドリフトが発生し、センサ機能
が低下するという問題があった。
主方向の振動に誘引されたコリオリ力による副振動を検
出して、角速度を検出するものである。該振動ジャイロ
スコープは、慣性ジャイロスコープ、光ファイバジャイ
ロスコープに比べて極めて安価であるが、圧電体が有す
る温度による特性変化、特に、誘電率、圧電定数、弾性
定数の特性変化により、検出感度変化や製造誤差で発生
する寄生信号の変化が発生する。このため、振動ジャイ
ロスコープの検出信号にドリフトが発生し、センサ機能
が低下するという問題があった。
【０００３】従来から、この問題点を解決する試みがな
されており、例えば特開平３−１７２７１４号公報にお
いては、同期検波回路を２個設け、検波位相ずれによる
感度変化を補正するようにしている。
されており、例えば特開平３−１７２７１４号公報にお
いては、同期検波回路を２個設け、検波位相ずれによる
感度変化を補正するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の技術は、同期検波される被検波信号が角速度に
比例する信号成分のみで構成される場合には有効である
が、該角速度に比例する信号成分のみから構成される被
検波信号に含まれるヌル波と呼ばれる寄生波成分を除去
するのにはあまり有効でない。その理由は、ヌル波その
ものが同期検波され、最終出力の検出信号に残留するた
めである。
た従来の技術は、同期検波される被検波信号が角速度に
比例する信号成分のみで構成される場合には有効である
が、該角速度に比例する信号成分のみから構成される被
検波信号に含まれるヌル波と呼ばれる寄生波成分を除去
するのにはあまり有効でない。その理由は、ヌル波その
ものが同期検波され、最終出力の検出信号に残留するた
めである。
【０００５】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を除去し、温度変化があっても精度良くヌル波を除去
し、温度等によるドリフトを効果的に抑制することがで
きる振動ジャイロ検出回路を提供することにある。
点を除去し、温度変化があっても精度良くヌル波を除去
し、温度等によるドリフトを効果的に抑制することがで
きる振動ジャイロ検出回路を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、この発明は、ジャイロ振動素子を主方向に振動させ
ている時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振
動から角速度を検出する振動ジャイロ検出回路におい
て、前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック
信号を、寄生波（ヌル波）が温度変化により移相される
位相量だけ移相する手段と、該移相手段により移送され
たフィードバック信号を検波信号として、前記副方向の
振動によって発生された検出信号を検波する検波回路と
を具備した点に特徴がある。
に、この発明は、ジャイロ振動素子を主方向に振動させ
ている時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振
動から角速度を検出する振動ジャイロ検出回路におい
て、前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック
信号を、寄生波（ヌル波）が温度変化により移相される
位相量だけ移相する手段と、該移相手段により移送され
たフィードバック信号を検波信号として、前記副方向の
振動によって発生された検出信号を検波する検波回路と
を具備した点に特徴がある。
【０００７】
【作用】この発明によれば、環境温度の変化により前記
ヌル波が移相しても、検波信号となる前記フィードバッ
ク信号が、該ヌル波と常に所定の位相関係となるので、
前記検波回路による検出信号の検波時に、ヌル波は完全
に相殺される。このため、温度変化があっても精度良く
ヌル波を除去し、温度等によるドリフトを効果的に抑制
することができる。
ヌル波が移相しても、検波信号となる前記フィードバッ
ク信号が、該ヌル波と常に所定の位相関係となるので、
前記検波回路による検出信号の検波時に、ヌル波は完全
に相殺される。このため、温度変化があっても精度良く
ヌル波を除去し、温度等によるドリフトを効果的に抑制
することができる。
【０００８】
【実施例】以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説
明する。図１は、本発明の一実施例の振動ジャイロ検出
回路のブロック図である。図において、１はジャイロ振
動素子であり、その断面形状は四角、三角、円形等のも
の、あるいは音叉型のものを用いることができる。該ジ
ャイロ振動素子１には、駆動電極２、主方向振動検出電
極（フィードバック電極）３、副方向振動検出電極４お
よび５が設けられている。
明する。図１は、本発明の一実施例の振動ジャイロ検出
回路のブロック図である。図において、１はジャイロ振
動素子であり、その断面形状は四角、三角、円形等のも
の、あるいは音叉型のものを用いることができる。該ジ
ャイロ振動素子１には、駆動電極２、主方向振動検出電
極（フィードバック電極）３、副方向振動検出電極４お
よび５が設けられている。
【０００９】フィードバック電極（以下、ＦＢ電極と略
す）３から出力されたＦＢ信号は、オペアンプからなる
ボルテージフォロワを介して自励振動回路６および検波
信号生成回路７の位相補正回路８に入力する。自励振動
回路６は前記ＦＢ信号を増幅しかつ移相処理して、駆動
電圧として、駆動電極２に供給する。
す）３から出力されたＦＢ信号は、オペアンプからなる
ボルテージフォロワを介して自励振動回路６および検波
信号生成回路７の位相補正回路８に入力する。自励振動
回路６は前記ＦＢ信号を増幅しかつ移相処理して、駆動
電圧として、駆動電極２に供給する。
【００１０】前記位相補正回路８には、図２に示されて
いるように、入力側抵抗に感温素子８ａが用いられてい
る。この位相補正回路８において、コンデンサ、抵抗の
各大きさを、図示のように、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｒ1 およびＲ
2 とすると、自励振動周波数をｆとして、２πｆＣ2 Ｒ
2 ＝１／２πｆＣ1 Ｒ1 とすると、その入力信号対出力
信号の比Ｖo ／Ｖi および位相θは、次式のようにな
る。
いるように、入力側抵抗に感温素子８ａが用いられてい
る。この位相補正回路８において、コンデンサ、抵抗の
各大きさを、図示のように、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｒ1 およびＲ
2 とすると、自励振動周波数をｆとして、２πｆＣ2 Ｒ
2 ＝１／２πｆＣ1 Ｒ1 とすると、その入力信号対出力
信号の比Ｖo ／Ｖi および位相θは、次式のようにな
る。
【００１１】
【数１】 位相補正回路８では、上式から明らかなように、位相θ
は、抵抗Ｒ1 の変化率ΔＲ1 ／Ｒ1 に比例して変化す
る。位相補正回路８で位相を補正されたＦＢ信号はオペ
アンプを含むチャージアンプを経て、同期検波回路９に
入力する。この実施例では同期検波回路９はモスＦＥＴ
から構成されており、前記ＦＢ信号は該モスＦＥＴのゲ
ートに入力する。
は、抵抗Ｒ1 の変化率ΔＲ1 ／Ｒ1 に比例して変化す
る。位相補正回路８で位相を補正されたＦＢ信号はオペ
アンプを含むチャージアンプを経て、同期検波回路９に
入力する。この実施例では同期検波回路９はモスＦＥＴ
から構成されており、前記ＦＢ信号は該モスＦＥＴのゲ
ートに入力する。
【００１２】一方、前記副方向振動検出電極４および５
によって検出された検出信号は、差動増幅器１０によっ
て増幅され、同期検波回路９によって同期検波され、平
滑増幅器１１に入力する。
によって検出された検出信号は、差動増幅器１０によっ
て増幅され、同期検波回路９によって同期検波され、平
滑増幅器１１に入力する。
【００１３】次に、本実施例の主要部の動作について、
図３〜図５を参照して説明する。これらの図において、
(a) は検波信号、(b) は被検波信号成分、(c) は被検波
ヌル波成分の波形を示す。また、該検波信号ａは図１の
同期検波回路９に入力する信号であり、被検波信号成分
ｂおよび被検波ヌル波成分ｃは差動増幅器１０の出力信
号の波形である。
図３〜図５を参照して説明する。これらの図において、
(a) は検波信号、(b) は被検波信号成分、(c) は被検波
ヌル波成分の波形を示す。また、該検波信号ａは図１の
同期検波回路９に入力する信号であり、被検波信号成分
ｂおよび被検波ヌル波成分ｃは差動増幅器１０の出力信
号の波形である。
【００１４】図３は、温度ドリフトがない時の各信号の
波形を示し、この時には、検波信号ａと被検波ヌル波成
分ｃとの位相関係は図示のように９０°ずれている。し
たがって、検波期間、すなわち検波信号ａが正の期間
に、被検波ヌル波成分ｃは正と負の成分とで相殺され、
ヌル波成分を含まない検出信号が前記平滑増幅器１１に
供給される。
波形を示し、この時には、検波信号ａと被検波ヌル波成
分ｃとの位相関係は図示のように９０°ずれている。し
たがって、検波期間、すなわち検波信号ａが正の期間
に、被検波ヌル波成分ｃは正と負の成分とで相殺され、
ヌル波成分を含まない検出信号が前記平滑増幅器１１に
供給される。
【００１５】ここで、振動ジャイロスコープに温度ドリ
フトが発生する場合には、図４に示されているように、
被検波ヌル波成分ｃがΔθだけ移相し、検波信号ａとの
位相差が９０°ではなくなる。そこで、仮に本実施例に
おいて、位相補正回路８が存在しないとすると、同期検
波回路９は位相補正されない検波信号ａによって同期検
波を行うので、図示のように被検波ヌル波成分ｃは正と
負の成分とで相殺されずに同期検波され、前記検出信号
の中にヌル波成分が混入されることになる。
フトが発生する場合には、図４に示されているように、
被検波ヌル波成分ｃがΔθだけ移相し、検波信号ａとの
位相差が９０°ではなくなる。そこで、仮に本実施例に
おいて、位相補正回路８が存在しないとすると、同期検
波回路９は位相補正されない検波信号ａによって同期検
波を行うので、図示のように被検波ヌル波成分ｃは正と
負の成分とで相殺されずに同期検波され、前記検出信号
の中にヌル波成分が混入されることになる。
【００１６】しかしながら、本実施例では、位相補正回
路８が設けられているので、図５に示されているよう
に、検波信号ａは該位相補正回路８によってΔθだけ移
相される。この結果、被検波ヌル波成分ｃは同期検波に
より再び正と負の成分とで相殺されることになり、ヌル
波成分を含まない検出信号が前記平滑増幅器１１に供給
される。
路８が設けられているので、図５に示されているよう
に、検波信号ａは該位相補正回路８によってΔθだけ移
相される。この結果、被検波ヌル波成分ｃは同期検波に
より再び正と負の成分とで相殺されることになり、ヌル
波成分を含まない検出信号が前記平滑増幅器１１に供給
される。
【００１７】なお、前記感温素子８ａは、環境温度に応
じて、位相補正回路８が検波信号ａの位相を、被検波ヌ
ル波成分ｃの温度ドリフト量だけ移相するような特性の
素子であることは勿論である。
じて、位相補正回路８が検波信号ａの位相を、被検波ヌ
ル波成分ｃの温度ドリフト量だけ移相するような特性の
素子であることは勿論である。
【００１８】以上のように、本実施例によれば、振動ジ
ャイロスコープに温度ドリフトが発生すると、これによ
って被検波ヌル波成分ｃが移相される量Δθと同じ量だ
け検波信号ａも移相されるので、該被検波ヌル波成分ｃ
は同期検波時に消滅し、高精度の検出信号を得ることが
できる。一般に、被検波信号の大部分は製造誤差に基づ
くヌル波である。換言すれば、図３からも明らかなよう
に、被検波信号の信号成分は、ヌル波成分に比べてずっ
と小さい。したがって、検波信号の位相を感温素子を用
いて自動的に調整することは、ドリフトの低減化に非常
に有効である。さらに、位相補正回路８で信号を補正す
ると、前記の式からも明らかなように、振幅もやや変化
する。しかしながら、本実施例では、振幅が変化するの
は被検波でなく検波信号であるので、同期検波には殆ど
悪影響が出ず、前記ヌル波成分は検波によって積分され
て相殺され、この時被検波信号成分の振幅は不変であ
る。よって、高精度の検出信号を得ることができる。
ャイロスコープに温度ドリフトが発生すると、これによ
って被検波ヌル波成分ｃが移相される量Δθと同じ量だ
け検波信号ａも移相されるので、該被検波ヌル波成分ｃ
は同期検波時に消滅し、高精度の検出信号を得ることが
できる。一般に、被検波信号の大部分は製造誤差に基づ
くヌル波である。換言すれば、図３からも明らかなよう
に、被検波信号の信号成分は、ヌル波成分に比べてずっ
と小さい。したがって、検波信号の位相を感温素子を用
いて自動的に調整することは、ドリフトの低減化に非常
に有効である。さらに、位相補正回路８で信号を補正す
ると、前記の式からも明らかなように、振幅もやや変化
する。しかしながら、本実施例では、振幅が変化するの
は被検波でなく検波信号であるので、同期検波には殆ど
悪影響が出ず、前記ヌル波成分は検波によって積分され
て相殺され、この時被検波信号成分の振幅は不変であ
る。よって、高精度の検出信号を得ることができる。
【００１９】次に、本発明の第２実施例を、図６を参照
して説明する。図において、２０は位相補正回路、２１
は平滑化回路を示し、他の符号は図１と同一または同等
物を示す。
して説明する。図において、２０は位相補正回路、２１
は平滑化回路を示し、他の符号は図１と同一または同等
物を示す。
【００２０】本実施例では、位相補正回路２０の帰還抵
抗として感温素子８ａを用いた点、および該位相補正回
路２０と平滑化回路２１とにより駆動電極２の自励振動
回路を形成した点に特徴がある。
抗として感温素子８ａを用いた点、および該位相補正回
路２０と平滑化回路２１とにより駆動電極２の自励振動
回路を形成した点に特徴がある。
【００２１】位相補正回路２０の感温素子８ａは、環境
温度が変化するとその抵抗値を変化する。このため、位
相補正回路２０は、ＦＢ電極３から出力されたＦＢ信号
の位相をΔθだけ移相し、同期検波回路９へ出力する。
この結果、第１実施例と同様に、被検波ヌル波成分ｃを
同期検波時に消滅させることができ、高精度の検出信号
を得ることができる。なお、本実施例は、位相補正回路
２０と平滑化回路２１とにより駆動電極２の自励振動回
路を形成したので、該駆動電極２に印加される駆動電圧
の振幅変動が若干発生するが、第１実施例より少量の回
路素子で、かつ安価に構成することができるというメリ
ットがある。
温度が変化するとその抵抗値を変化する。このため、位
相補正回路２０は、ＦＢ電極３から出力されたＦＢ信号
の位相をΔθだけ移相し、同期検波回路９へ出力する。
この結果、第１実施例と同様に、被検波ヌル波成分ｃを
同期検波時に消滅させることができ、高精度の検出信号
を得ることができる。なお、本実施例は、位相補正回路
２０と平滑化回路２１とにより駆動電極２の自励振動回
路を形成したので、該駆動電極２に印加される駆動電圧
の振幅変動が若干発生するが、第１実施例より少量の回
路素子で、かつ安価に構成することができるというメリ
ットがある。
【００２２】なお、前記実施例は、圧電型のジャイロ振
動素子１を用いた例で説明したが、本発明はこれに限定
されず、静電力により駆動されるジャイロスコープ、熱
応力により駆動されるジャイロスコープ、あるいは電磁
力により駆動されるジャイロスコープにも適用できるこ
とは勿論である。
動素子１を用いた例で説明したが、本発明はこれに限定
されず、静電力により駆動されるジャイロスコープ、熱
応力により駆動されるジャイロスコープ、あるいは電磁
力により駆動されるジャイロスコープにも適用できるこ
とは勿論である。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１〜５の発明によれば、ドリフトの主因であるヌル波
と、同期検波信号との位相ずれを補正し、該補正された
同期検波信号で被検波信号を検波するようにしているの
で、検出信号の中からヌル波を除去することができ、高
精度の振動ジャイロ検出回路を提供することができる。
また、振動ジャイロスコープにおいて問題となっている
温度ドリフトによる悪影響を効果的に低減させることが
できる。
１〜５の発明によれば、ドリフトの主因であるヌル波
と、同期検波信号との位相ずれを補正し、該補正された
同期検波信号で被検波信号を検波するようにしているの
で、検出信号の中からヌル波を除去することができ、高
精度の振動ジャイロ検出回路を提供することができる。
また、振動ジャイロスコープにおいて問題となっている
温度ドリフトによる悪影響を効果的に低減させることが
できる。
【００２４】また、請求項３の発明によれば、安価に、
本発明の振動ジャイロ検出回路を実現することができ
る。
本発明の振動ジャイロ検出回路を実現することができ
る。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す回路図であ
る。
る。
【図２】 図１の位相補正回路の一具体例を示す回路図
である。
である。
【図３】 ドリフトなしの時の検波信号、被検波信号成
分およびヌル波成分の波形例を示す波形図である。
分およびヌル波成分の波形例を示す波形図である。
【図４】 ドリフトありでかつ位相補正回路なしの時の
検波信号およびヌル波成分の波形例を示す波形図であ
る。
検波信号およびヌル波成分の波形例を示す波形図であ
る。
【図５】 ドリフトありでかつ位相補正回路ありの時の
検波信号およびヌル波成分の波形例を示す波形図であ
る。
検波信号およびヌル波成分の波形例を示す波形図であ
る。
【図６】 本発明の第２実施例の構成を示す回路図であ
る。
る。
１…ジャイロ振動素子、２…駆動電極、３…主方向振動
検出電極（フィードバック電極）、４、５…副方向振動
検出電極、６…自励振動回路、７…検波信号生成回路、
８…位相補正回路、９…同期検波回路、１０…差動増幅
回路、１１…平滑増幅回路、２０…位相補正回路、２１
…平滑化回路。
検出電極（フィードバック電極）、４、５…副方向振動
検出電極、６…自励振動回路、７…検波信号生成回路、
８…位相補正回路、９…同期検波回路、１０…差動増幅
回路、１１…平滑増幅回路、２０…位相補正回路、２１
…平滑化回路。
Claims (5)
- 【請求項１】 ジャイロ振動素子を主方向に振動させて
いる時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振動
から角速度を検出する振動ジャイロ検出回路において、 前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック信号
を、寄生波（ヌル波）が温度変化により移相される位相
量だけ移相する手段と、 該移相手段により移送されたフィードバック信号を検波
信号として、前記副方向の振動によって発生された検出
信号を検波する検波回路とを具備し、 前記検出信号に含まれているヌル波の検波後残留成分を
除去するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ検出
回路。 - 【請求項２】 請求項１記載の振動ジャイロ検出回路に
おいて、 前記移相手段により移相される前のフィードバック信号
を自励振動回路に供給し、該自励振動回路により、前記
ジャイロ振動素子を主方向に振動させる駆動信号を生成
するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ検出回
路。 - 【請求項３】 請求項１記載の振動ジャイロ検出回路に
おいて、 前記フィードバック信号を移相する移相手段と平滑回路
とにより自励振動回路を構成し、該自励振動回路によ
り、前記ジャイロ振動素子を主方向に振動させる駆動信
号を生成するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ
検出回路。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかの振動ジャイロ
検出回路において、 前記移相手段は、入力抵抗または帰還抵抗として感温素
子を使用し、 環境温度に応じて、前記検波信号の位相を前記ヌル波の
温度ドリフト量だけ移相するようにしたことを特徴とす
る振動ジャイロ検出回路。 - 【請求項５】 請求項１の振動ジャイロ検出回路におい
て、 前記ジャイロ振動素子が、圧電駆動型、静電力駆動型、
熱応力駆動型、および電磁力駆動型のいずれか一つであ
ることを特徴とする振動ジャイロ検出回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6173166A JP2975262B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動ジャイロ検出回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6173166A JP2975262B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動ジャイロ検出回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814916A true JPH0814916A (ja) | 1996-01-19 |
| JP2975262B2 JP2975262B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=15955330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6173166A Expired - Fee Related JP2975262B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動ジャイロ検出回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2975262B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10203855B4 (de) * | 2001-01-31 | 2004-07-08 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo | Schwinggyroskop und Temperaturdrift-Einstellverfahren für dasselbe |
| JP2006329634A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 角速度検出装置 |
| WO2009122637A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、物理量検出方法 |
| WO2009122636A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、物理量検出方法 |
| WO2009141856A1 (ja) * | 2008-05-22 | 2009-11-26 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、および物理量検出方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4543866B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2010-09-15 | ソニー株式会社 | 振動ジャイロ用回路、振動ジャイロユニット、振動ジャイロの出力検出方法 |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP6173166A patent/JP2975262B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10203855B4 (de) * | 2001-01-31 | 2004-07-08 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo | Schwinggyroskop und Temperaturdrift-Einstellverfahren für dasselbe |
| JP2006329634A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 角速度検出装置 |
| WO2009122637A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、物理量検出方法 |
| WO2009122636A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、物理量検出方法 |
| JP2009250775A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Panasonic Corp | 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置、並びに物理量検出方法 |
| JP2009250774A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Panasonic Corp | 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置、並びに物理量検出方法 |
| US8013647B2 (en) | 2008-04-04 | 2011-09-06 | Panasonic Corporation | Physical quantity detection circuit and physical quantity sensor device |
| US8069009B2 (en) | 2008-04-04 | 2011-11-29 | Panasonic Corporation | Physical quantity detection circuit and physical quantity sensor device |
| WO2009141856A1 (ja) * | 2008-05-22 | 2009-11-26 | パナソニック株式会社 | 物理量検出回路、物理量センサ装置、および物理量検出方法 |
| JP2009281888A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Panasonic Corp | 物理量検出回路およびそれを備える物理量センサ装置、並びに物理量検出方法 |
| US8482275B2 (en) | 2008-05-22 | 2013-07-09 | Panasonic Corporation | Physical quantity detection circuit for allowing precise adjustment of the phase relationship between a sensor signal and a detection signal |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2975262B2 (ja) | 1999-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06300567A (ja) | ジャイロ出力検出方法 | |
| US10330473B2 (en) | Vibration gyro having bias correcting function, and method of using vibration gyro | |
| JP4310571B2 (ja) | 静電容量検出型振動ジャイロ、および静電容量変化検出方法 | |
| JP2007255890A (ja) | ジャイロ装置 | |
| US20020100322A1 (en) | Vibrating gyroscope and temperature-drift adjusting method therefor | |
| JPH07270166A (ja) | 振動ジャイロ検出方式 | |
| JPH0814916A (ja) | 振動ジャイロ検出回路 | |
| KR0155205B1 (ko) | 진동 자이로스코프 | |
| US6089087A (en) | Method for adjusting the temperature characteristic of a vibrating gyroscope | |
| EP0658743B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| US5675083A (en) | Vibrating gyroscope having divided detection elements | |
| US5533396A (en) | Vibrating gyroscope | |
| JP2998248B2 (ja) | 角速度センサ装置 | |
| JPH07139952A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2003247828A (ja) | 角速度センサ | |
| JPH07218269A (ja) | ドリフト検出補正回路 | |
| JP3035161B2 (ja) | 振動ジャイロスコープ | |
| JPH067298Y2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH09105637A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH09222326A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3201054B2 (ja) | ジャイロ出力検出方法 | |
| JP2007064746A (ja) | 慣性センサ素子 | |
| JPH08136267A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH11142159A (ja) | 振動ジャイロ用回路 | |
| JP2000171258A (ja) | 振動ジャイロ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |