JPH0814491B2 - Vibrating gyro - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は振動ジャイロに関するものである。The present invention relates to a vibrating gyro.

［従来の技術］ 第10図は先に本件特許出願人のもとで開発されたＨ型
振動ジャイロを示す。この振動ジャイロは、２本の駆動
梁1a,1aの中心部を板状の結合梁1bで一体に連結したＨ
型の振動子１を持ち、前記板状の結合梁1bにねじれ検出
用圧電素子２を張り付けた構造である。そして、振動子
１の幅方向（Ｙ方向）の外側面に上側２枚と下側２枚と
が互いに逆極性となるように張り付けた上下、左右４箇
所の駆動用圧電素子３を駆動して、振動子１を上側と下
側とが互いに反対方向（実線矢印（イ）方向）に変位す
る左右対称の振動をさせる。この振動子１にＺ軸回りの
角速度が加わると、駆動側の振動方向と直交する破線矢
印（ロ）方向のコリオリの力が発生し、２本の駆動梁1a
をつなぐ結合梁1bは前記コリオリの力による２組の偶力
でねじれ変形の振動をする。結合梁1bのこのねじれをね
じれ検出用圧電素子２で検出して、コリオリの力を検出
する。[Prior Art] FIG. 10 shows an H-type vibrating gyro previously developed by the applicant of the present patent application. In this vibrating gyroscope, two drive beams 1a, 1a are integrally connected to each other by a plate-like connecting beam 1b at the center thereof.
The structure is such that it has a vibrator 1 of a mold, and the torsion detecting piezoelectric element 2 is attached to the plate-like coupling beam 1b. Then, by driving the driving piezoelectric elements 3 at upper, lower, left and right positions, which are attached to the outer surface of the vibrator 1 in the width direction (Y direction) so that the upper two sheets and the lower two sheets have polarities opposite to each other. The vibrator 1 is vibrated symmetrically such that the upper side and the lower side are displaced in opposite directions (solid arrow (a) direction). When an angular velocity around the Z axis is applied to this vibrator 1, Coriolis force is generated in the direction of the broken line arrow (b) orthogonal to the vibration direction on the drive side, and the two drive beams 1a
The coupling beam 1b connecting the two parts vibrates in a torsional deformation due to the couple of couples due to the Coriolis force. This twist of the coupling beam 1b is detected by the twist detecting piezoelectric element 2 to detect the Coriolis force.

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前記結合梁1bの厚みｔを厚くすれば、左右
２本の駆動梁1aは、第11に変位分布を実線で示すよう
に、振動姿態が１次モードの４本の片持ち梁に近くな
る。一方、結合梁1bの厚みｔが薄くなると、左右２本の
駆動梁1bは、同図に変位分布を破線で示すように、振動
姿態が２次モードの２本の中心支持の梁に近くなる。そ
して、コリオリの力は、駆動方向と直角な方向に、第11
図の変位を時間で微分した値（すなわち速度）に比例し
た大きさで発生する。そして、結合梁1bに加わる力は、
このコリオリの力の分布を積分したものとなるが、この
コリオリの力の分布を積分した値は、１次モードの場合
の方が２次モードの場合より大きく、したがって、結合
梁1bの厚みｔを厚くした方が、より大きな偶力が得られ
る。[Problems to be Solved by the Invention] By the way, if the thickness t of the coupling beam 1b is increased, the left and right drive beams 1a have an oscillating state of primary order as indicated by the eleventh displacement distribution. It is close to four cantilever beams in mode. On the other hand, when the thickness t of the coupling beam 1b becomes thin, the two driving beams 1b on the left and right become closer to two centrally supported beams whose vibration mode is the secondary mode, as the displacement distribution is shown by the broken line in the figure. . Then, the Coriolis force is applied to the 11th direction in the direction perpendicular to the driving direction.
It is generated in a size proportional to the value (that is, speed) obtained by differentiating the displacement in the figure with respect to time. Then, the force applied to the connecting beam 1b is
The value obtained by integrating this Coriolis force distribution is larger in the case of the first-order mode than in the case of the second-order mode. Therefore, the thickness t of the coupling beam 1b is The thicker is, the larger the couple can be obtained.

上記のことから、コリオリの力を最大に取り出そうと
すると、結合梁1bの厚さｔが厚くなり、振動子自体が大
形化し、一方、結合梁1bの厚さｔを薄くして小形化を図
ろうとすると、コリオリの力を最大に取り出せない、と
いう問題がある。From the above, if the Coriolis force is to be taken out to the maximum, the thickness t of the coupling beam 1b becomes thicker and the vibrator itself becomes larger, while the thickness t of the coupling beam 1b is made thinner and smaller. If you try to achieve it, you will not be able to maximize the Coriolis force.

この発明は上記問題点を解決するためになされたもの
で、振動子を大形化することなく、コリオリの力を最大
に取り出すことのできる振動ジャイロを得ることを目的
とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to obtain a vibrating gyro that can maximize the Coriolis force without increasing the size of the vibrator.

［問題点を解決するための手段］ 本発明では上記問題点を解決するために、ほぼコ字形
をなす１対のコ字形部材を、対向面の間に働くねじり力
に対して対向面間に電圧を発生するように構成された圧
電板を介して互いに逆向きに接合して振動子を構成し
た。[Means for Solving the Problems] In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a pair of U-shaped members, which are substantially U-shaped, are provided between the facing surfaces with respect to a twisting force acting between the facing surfaces. The vibrators were configured by bonding in opposite directions to each other via a piezoelectric plate configured to generate a voltage.

［作用］ 上記の１対のコ字形部材を逆向きに接合した振動子は
上下４本の腕を持つ形状であり、この４本の腕は、上側
と下側が互いに反対方向、かつ、右側と左側とが互いに
反対方向に振動するが、その振動モードは、腕が片持ち
梁なので１次モードである。そして、垂直軸に対して振
動子が回転すると、コリオリの力が発生する。このコリ
オリの力は上下のコ字形部材を互いに逆方向に回転させ
ようとする２組の偶力であるが、この上下の偶力は両コ
字形部材間の圧電板にねじり力として作用するので、圧
電板にコリオリの力に比例した電圧が発生する。[Operation] The vibrator in which the pair of U-shaped members are joined in opposite directions has a shape having four upper and lower arms. The upper and lower sides of these four arms are opposite to each other, and the right side is The left side vibrates in the opposite direction, but the vibration mode is the first mode because the arm is a cantilever. Then, when the vibrator rotates about the vertical axis, Coriolis force is generated. The Coriolis force is two pairs of couples that try to rotate the upper and lower U-shaped members in opposite directions, but the upper and lower couples act as a torsional force on the piezoelectric plate between the U-shaped members. , A voltage proportional to the Coriolis force is generated on the piezoelectric plate.

上記のごとく４本の腕は片持ち梁で１次モードで振動
するから、コリオリの力による前記偶力は最大となり、
したがって、圧電板の出力電圧も最大となる。As mentioned above, since the four arms vibrate in the first-order mode with a cantilever, the couple force due to the Coriolis force becomes maximum,
Therefore, the output voltage of the piezoelectric plate also becomes maximum.

［実施例］ 以下、本発明の実施例を第１図〜第９図を参照して説
明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 9.

第１図〜第４図は第１実施例を示す。この実施例の振
動ジャイロの振動子11は、金属よりなる１対のコ字形部
材12,13、２枚の圧電板14,15、中央の金属板16からな
り、２枚の圧電板14,15は金属板16をはさんでサンドイ
ッチ状に接合され、その上下に前記コ字形部材14,15が
互いに逆向きに接合されて、Ｈ型の振動子11を構成して
いる。1 to 4 show the first embodiment. The vibrator 11 of the vibrating gyroscope of this embodiment includes a pair of U-shaped members 12 and 13 made of metal, two piezoelectric plates 14 and 15, and a central metal plate 16 and two piezoelectric plates 14 and 15. Are joined in a sandwich shape with a metal plate 16 sandwiched between them, and the U-shaped members 14 and 15 are joined to the upper and lower sides in opposite directions to each other to form an H-shaped vibrator 11.

前記圧電板14,15は、すべり歪みにより電圧が発生す
る圧電物質を利用したもので、第３図、第４図に示すよ
うに、分極方向（矢印で示す）が逆の２つの部分からな
り、上、下両面に電極（図示略）を張り付けた構成であ
り、圧電板の対向面の間に働くねじり力（Ｘ−Ｙ平面内
のねじり力）に対して圧電板の対向面間に電圧（Ｚ方向
の電圧）が発生する。第３図は縦割りの場合で、これに
は同図（イ）、同図（ロ）の分極方向を反対にした２つ
のタイプがある。第４図は横割りの場合で、これにも同
図（イ）、同図（ロ）の２つのタイプがある。また、圧
電板14,15の対向面間に電圧を印加すると、圧電板14,15
にＸ−Ｙ平面内のねじれ変形が生じる。The piezoelectric plates 14 and 15 are made of a piezoelectric material that generates a voltage due to slip strain. As shown in FIGS. 3 and 4, the piezoelectric plates 14 and 15 are composed of two parts whose polarization directions (indicated by arrows) are opposite to each other. , A structure in which electrodes (not shown) are attached to both upper and lower surfaces, and a voltage is applied between the facing surfaces of the piezoelectric plate with respect to a twisting force (twisting force in the XY plane) acting between the facing surfaces of the piezoelectric plate. (Voltage in the Z direction) is generated. FIG. 3 shows a case of vertical division, and there are two types in which the polarization directions of (a) and (b) of FIG. 3 are reversed. FIG. 4 shows a case of horizontal division, and there are also two types of FIG. 4A and FIG. In addition, when a voltage is applied between the opposing surfaces of the piezoelectric plates 14 and 15, the piezoelectric plates 14 and 15 are
In the XY plane, a twisting deformation occurs.

前記各コ字形部材12,13の各脚部12a,13aのＹ方向外側
面には、駆動用圧電素子17が４枚張り付けられている。
上側の２枚の圧電素子17と下側の２枚の圧電素子17とは
極性を逆にしている。各部への配線は図示の通りであ
り、４枚の駆動用圧電素子17に図示せぬ発振回路からの
共通の交流駆動電圧が供給され（端子Ａ）、上下のコ字
形部材12,13は接地され、各圧電板14,15の出力は中間の
金属板16から引き出している。なお、振動子11の支持
は、例えば、コ字形部材12,13の基部12b,13bの中央に垂
直な支持軸を設け、この支持軸にて振動子11を回転可能
に支持するとよい。Four driving piezoelectric elements 17 are attached to the outer surface in the Y direction of each leg 12a, 13a of each U-shaped member 12,13.
The two piezoelectric elements 17 on the upper side and the two piezoelectric elements 17 on the lower side have opposite polarities. The wiring to each part is as shown in the figure, and a common AC driving voltage from an oscillation circuit (not shown) is supplied to the four driving piezoelectric elements 17 (terminal A), and the upper and lower U-shaped members 12 and 13 are grounded. The outputs of the piezoelectric plates 14 and 15 are drawn from the intermediate metal plate 16. For supporting the vibrator 11, for example, a vertical support shaft may be provided at the center of the bases 12b and 13b of the U-shaped members 12 and 13, and the vibrator 11 may be rotatably supported by the support shaft.

上記構成の振動ジャイロの動作を説明する。 The operation of the vibrating gyroscope having the above configuration will be described.

４枚の駆動用圧電素子17に交流駆動電圧を印加する
と、振動子11の４本の脚部12a,12a,13a,13aは、実線矢
印（イ）で示すように、上側と下側が互いに反対方向、
かつ、右側と左側とが互いに反対方向に振動する。この
振動のモードは、４本の脚部12a,12a,13a,13aが片持ち
梁であるから、１次モードである。この振動子11にＺ軸
回りの角速度が加わると、駆動側の振動方向と直交する
破線矢印（ロ）方向のコリオリの力が発生する。このコ
リオリの力は、振動子11の上側のコ字形部材12と下側の
コ字形部材13とを互いに逆方向に回転させようとする２
組の偶力であり、この偶力は２つのコ字形部材13,14間
に介在した圧電板15,16にねじり力として作用するの
で、圧電板15,16のそれぞれの対向面間にコリオリの力
に比例した電圧が発生する。各圧電板15,16に発生した
電圧は両圧電板15,16に接している金属板16を介し端子
Ｂから和として出力される。この出力からコリオリの力
が検出され、このコリオリの力から振動ジャイロに加わ
った角速度が検出される。When an AC drive voltage is applied to the four driving piezoelectric elements 17, the four leg portions 12a, 12a, 13a, 13a of the vibrator 11 are opposite to each other in the upper side and the lower side as shown by the solid arrow (a). direction,
Moreover, the right side and the left side vibrate in opposite directions. This mode of vibration is a first-order mode because the four legs 12a, 12a, 13a, 13a are cantilevers. When an angular velocity around the Z axis is applied to the vibrator 11, a Coriolis force is generated in the direction of the broken arrow (b) orthogonal to the driving side vibration direction. This Coriolis force tends to rotate the upper U-shaped member 12 and the lower U-shaped member 13 of the vibrator 11 in directions opposite to each other.
It is a couple of couples, and this couple acts as a torsional force on the piezoelectric plates 15 and 16 interposed between the two U-shaped members 13 and 14, so that there is a Coriolis between the opposing surfaces of the piezoelectric plates 15 and 16. A voltage proportional to the force is generated. The voltage generated in each piezoelectric plate 15 and 16 is output as a sum from the terminal B via the metal plate 16 in contact with both piezoelectric plates 15 and 16. The Coriolis force is detected from this output, and the angular velocity applied to the vibration gyro is detected from this Coriolis force.

上記の動作において、４本の脚部12a,13aは片持ち梁
であり、前記第11図に実線で示した変位分布と同様な変
位分布の１次モードで振動するが、前述した通り、コリ
オリの力は脚部12a,13aの各位置の変位（第11図の変位
に相当）を時間で微分した値（すなわち速度）に比例し
た大きさで発生し、そして、コ字形部材12,13の基部12
b,13bに加わる力はこのコリオリの力の分布を積分した
ものとなるので、上記の通り４本の脚部12a,13aの振動
姿態が１次モードであれば、コリオリの力による前記偶
力は最大となり、圧電板14,15に加わるねじれ力が最大
となり、したがって、圧電板14,15の出力電圧は最大と
なる。こうして、コリオリの力を最大に取り出すことが
できる。In the above operation, the four legs 12a and 13a are cantilever beams, and vibrate in the first mode of the displacement distribution similar to the displacement distribution shown by the solid line in FIG. 11, but as described above, The force of is generated in a magnitude proportional to the value (that is, speed) obtained by differentiating the displacement (corresponding to the displacement in FIG. 11) of each position of the legs 12a, 13a with respect to time, and the U-shaped members 12, 13 Base 12
Since the force applied to b and 13b is the integral of this Coriolis force distribution, if the vibration mode of the four legs 12a and 13a is the first-order mode as described above, the couple force due to the Coriolis force is applied. Is maximized, the torsional force applied to the piezoelectric plates 14 and 15 is maximized, and therefore the output voltage of the piezoelectric plates 14 and 15 is maximized. In this way, the Coriolis force can be maximized.

また、コリオリの力は圧電板14,15の面と平行なねじ
り力として作用するので、従来の振動ジャイロのよう
に、コリオリの力を最大に取り出すために圧電板取り付
け部（結合梁1b）を厚くする必要はなく、振動ジャイロ
を小形化することができる。Also, since the Coriolis force acts as a torsional force parallel to the surfaces of the piezoelectric plates 14 and 15, the piezoelectric plate mounting part (coupling beam 1b) is used to maximize the Coriolis force as in the conventional vibration gyro. The vibrating gyro can be miniaturized without having to be thick.

なお、上記実施例で圧電板を２枚使用しているのは、
実施例のように金属であるコ字形部材12,13自体を駆動
用圧電素子および検出用の圧電板の両者の接地として利
用する場合、圧電板の両面がコ字形部材に接しているこ
とは圧電板から検出出力を取り出すために不都合なため
である。ただし、圧電板は例えば上側の圧電板14の１枚
のみとし、下側の圧電板15の代わりに単なる絶縁板を使
用することも可能である。The two piezoelectric plates used in the above embodiment are
When the metal U-shaped members 12 and 13 themselves are used as the ground for both the driving piezoelectric element and the detection piezoelectric plate as in the embodiment, it means that both sides of the piezoelectric plate are in contact with the U-shaped member. This is because it is inconvenient to extract the detection output from the plate. However, it is also possible to use, for example, only one piezoelectric plate 14 on the upper side and use a simple insulating plate instead of the piezoelectric plate 15 on the lower side.

第５図〜第８図は第２実施例を示す。この実施例にお
けるコ字形部材22,23は円板状のベース部22b,23bに脚部
22a,22a,23a,23aを一体固定した形状であり、各コ字形
部材22,23のベース部22b,23bは１枚の圧電板24を介して
接合されている。25は駆動用圧電素子で、前記と同様上
下で極性が逆である。なお、圧電板24から駆動側と独立
した検出出力を取り出すために、前記圧電板24の少なく
とも片面側とコ字形部材との間は絶縁材で絶縁する必要
がある。ただし、コ字形部材として金属でなく導電性の
ない材料を使用した場合（振動特性等に関して問題ない
とする）には、前記の絶縁材は当然不要である。この場
合、接地手段は別に設ける。5 to 8 show the second embodiment. The U-shaped members 22 and 23 in this embodiment have disk-shaped base portions 22b and 23b and leg portions.
22a, 22a, 23a, and 23a are integrally fixed, and the base portions 22b and 23b of the U-shaped members 22 and 23 are joined via one piezoelectric plate 24. Reference numeral 25 is a driving piezoelectric element, and the polarities are opposite to each other in the vertical direction as described above. In order to extract the detection output independent of the driving side from the piezoelectric plate 24, it is necessary to insulate at least one surface side of the piezoelectric plate 24 and the U-shaped member with an insulating material. However, when a non-conductive material other than metal is used as the U-shaped member (assuming that there is no problem with respect to vibration characteristics, etc.), the above insulating material is of course unnecessary. In this case, grounding means is provided separately.

なお、振動子21の支持は、図示は省略したが、ベース
部22b,23bの外周を回転を拘束しないように保持する
か、あるいは、ベース部22b,23bの中心部にベース部22
b,23bの回転を拘束しない垂直な支持軸を設ける等する
と良い。Although not shown, the oscillator 21 is supported by holding the outer circumferences of the base portions 22b and 23b so as not to restrain the rotation, or by supporting the base portion 22b at the center of the base portions 22b and 23b.
It is advisable to provide a vertical support shaft that does not restrain the rotation of b and 23b.

上記第２実施例の動作を説明する。４枚の駆動用圧電
素子25を駆動すると、振動子21の４本の脚部22a,23a
は、実線矢印（イ）で示すように、上側と下側が互いに
反対方向、かつ、右側と左側とが互いに反対方向に１次
モードで振動する。この振動子21にＺ軸回りの角速度が
加わると、駆動側の振動方向と直交する破線矢印（ロ）
方向のコリオリの力が発生する。このコリオリの力は、
上側のコ字形部材22と下側のコ字形部材23とを互いに逆
方向に回転させようとする２組の偶力であり、この偶力
は各コ字形部材22,23のベース部22b,23b間に介在した圧
電板24にねじり力として作用するので、圧電板24にコリ
オリの力に比例した電圧が発生する。The operation of the second embodiment will be described. When the four driving piezoelectric elements 25 are driven, the four legs 22a and 23a of the vibrator 21 are driven.
Oscillates in the first-order mode in the directions in which the upper side and the lower side are opposite to each other and the right side and the left side are opposite to each other, as indicated by the solid arrow (a). When an angular velocity around the Z axis is applied to this vibrator 21, a broken line arrow (b) orthogonal to the vibration direction on the drive side
Directional Coriolis force is generated. The power of this Coriolis is
There are two sets of couples that try to rotate the upper U-shaped member 22 and the lower U-shaped member 23 in opposite directions, and these couples are the base portions 22b and 23b of the U-shaped members 22 and 23. Since the piezoelectric plate 24 interposed therebetween acts as a torsional force, a voltage proportional to the Coriolis force is generated in the piezoelectric plate 24.

この実施例においても同様に、４本の脚部22a,23aは
片持ち梁であり、その振動姿態は１次モードであるか
ら、コリオリの力を最大に取り出すことができる。Also in this embodiment, similarly, the four legs 22a, 23a are cantilever beams, and the vibration mode thereof is the first-order mode, so that the Coriolis force can be maximized.

第９図は第３実施例を示す。この実施例は、例えば第
２実施例の振動ジャイロにおいて、上側のコ字形部材22
と下側のコ字形部材23とを上面から見て交差するように
接合したものである。その他は第５図のものと同様であ
り、説明は省略する。コリオリの力は各コ字形部材22,2
3を回転させるように働くものであるから、この実施例
によれば、働く力の分布が周方向に均等になり、動作が
円滑になることが考えられる。FIG. 9 shows a third embodiment. In this embodiment, for example, in the vibration gyro of the second embodiment, the upper U-shaped member 22
And the lower U-shaped member 23 are joined so as to intersect each other when viewed from the upper surface. Others are the same as those in FIG. 5, and description thereof will be omitted. Coriolis force is U-shaped member 22,2
According to this embodiment, since the force acts so as to rotate 3, the force distribution can be made uniform in the circumferential direction, and the operation can be smoothed.

上記の各実施例においては、いずれもコ字形部材の脚
部に設けた圧電素子17または25を駆動用とし、圧電板1
4,15または24を検出用としているが、これとは逆に、圧
電板14,15または24で駆動し、脚部に設けた圧電素子17
または25から検出出力を取り出すこともできる。In each of the above examples, the piezoelectric element 17 or 25 provided on the leg portion of the U-shaped member is used for driving, and the piezoelectric plate 1
Although 4, 15 or 24 is used for detection, on the contrary, the piezoelectric element 17 driven by the piezoelectric plate 14, 15 or 24 is provided on the leg portion.
Alternatively, the detection output can be taken out from 25.

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、ほぼコ字形をな
す１対のコ字形部材を、対向面の間に働くねじり力に対
して対向面間に電圧を発生するように構成された圧電板
を介して互いに逆向きに接合して振動子を構成したの
で、コリオリの力による検出出力を最大に取り出すこと
が可能となった。また、コリオリの力を最大に取り出す
ために圧電板取り付け部を厚くする必要はないので、振
動ジャイロの小形化が可能である。[Effect of the Invention] As described above, according to the present invention, a pair of substantially U-shaped U-shaped members are configured to generate a voltage between opposing surfaces against a torsional force acting between the opposing surfaces. Since the oscillators were constructed by joining the piezoelectric plates to each other in opposite directions, it was possible to maximize the detection output by the Coriolis force. Further, since it is not necessary to thicken the piezoelectric plate mounting portion in order to maximize the Coriolis force, the vibration gyro can be downsized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本発明の第１実施例を示す振動ジャイロの斜視
図、第２図は同正面図、第３図（イ）、（ロ）は圧電板
の一例の説明図、第４図（イ）、（ロ）は圧電板の他の
例の説明図、第５図は第２実施例を示す振動ジャイロの
斜視図、第６図は同平面図、第７図は同正面図、第８図
は同側面図、第９図は第３実施例を示す振動ジャイロの
斜視図、第10図は従来の振動ジャイロの斜視図、第11図
は第10図の振動ジャイロの振動姿態についての説明図で
ある。 11,21……振動子、12,13,22,23……コ字形部材、12a,13
a,22a,23a……脚部、12b,13b,22b,23b……基部、14,15,
24……圧電板、17、25……駆動用圧電素子。FIG. 1 is a perspective view of a vibrating gyroscope showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view thereof, and FIGS. 3 (a) and 3 (b) are explanatory views of an example of a piezoelectric plate, and FIG. (A) and (b) are explanatory views of another example of the piezoelectric plate, FIG. 5 is a perspective view of the vibration gyroscope showing the second embodiment, FIG. 6 is the same plan view, FIG. 7 is the same front view, 8 is a side view of the same, FIG. 9 is a perspective view of a vibrating gyroscope showing a third embodiment, FIG. 10 is a perspective view of a conventional vibrating gyroscope, and FIG. 11 is a vibrating gyroscope of FIG. FIG. 11,21 …… Resonator, 12,13,22,23 …… U-shaped member, 12a, 13
a, 22a, 23a …… Legs, 12b, 13b, 22b, 23b …… Base, 14,15,
24 …… Piezoelectric plate, 17,25 …… Piezoelectric element for driving.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊坂 徹 大阪府大阪市淀川区宮原３丁目５番24号 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 内 (56)参考文献 特開 昭62−108109（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−106314（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toru Kumasaka 3-5-24 Miyahara, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka NEC Home Electronics Co., Ltd. (56) Reference JP-A-62-108109 (JP, A) JP 62-106314 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】ほぼコ字形をなす１対のコ字形部材を、対
向面の間に働くねじり力に対して対向面間に電圧を発生
するように構成された圧電板を介して互いに逆向きに接
合して振動子を構成したことを特徴とする振動ジャイ
ロ。1. A pair of U-shaped members, which are substantially U-shaped, are opposed to each other via a piezoelectric plate configured to generate a voltage between the opposed surfaces in response to a torsional force acting between the opposed surfaces. A vibrating gyro, which is characterized in that it is bonded to a vibrator to form a vibrator. 【請求項２】上記圧電板を２枚備え、この２枚の圧電板
が導体板をはさんでサンドイッチ状に接合されたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の振動ジャイロ。2. A vibrating gyroscope according to claim 1, wherein two piezoelectric plates are provided, and the two piezoelectric plates are sandwiched to each other with a conductor plate interposed therebetween. 【請求項３】上記コ字形部材にコの字の脚間隔を開閉さ
せる振動を起こさせる励振手段を設け、上記圧電板から
コリオリの力を検出するようにしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の振動ジャイロ。3. The U-shaped member is provided with an excitation means for causing a vibration for opening / closing a U-shaped leg interval, and the Coriolis force is detected from the piezoelectric plate. The vibrating gyroscope according to item 1. 【請求項４】上記圧電板を励振手段とし、上記コ字形部
材に張り付けた検出用圧電素子からコリオリの力を検出
するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の振動ジャイロ。4. A vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the piezoelectric plate is used as an exciting means, and a Coriolis force is detected from a detecting piezoelectric element attached to the U-shaped member. .