JPH08143148A - 処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装置 - Google Patents
処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装置Info
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- JPH08143148A JPH08143148A JP23865394A JP23865394A JPH08143148A JP H08143148 A JPH08143148 A JP H08143148A JP 23865394 A JP23865394 A JP 23865394A JP 23865394 A JP23865394 A JP 23865394A JP H08143148 A JPH08143148 A JP H08143148A
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Abstract
て、処理部に投入する投入方法及び装置を得るにある。 【構成】銅張りセラミック基板を形成するセラミック基
板と下側及び上側銅板を夫々個別に収納した3個のカセ
ットを用い、カセット内の下側銅板を上動し、吸着ユニ
ットによって吸着せしめ、この吸着ユニットを位置決め
プレート上に搬送し、X方向及びY方向に互いに離間し
た対の可動板を夫々位置決めプレートの中心方向に移動
して下側銅板を位置決めし、下側銅板の下面を上記位置
決めプレートによって真空吸着せしめながら上面を吸着
ユニットによって真空吸着し、基板受取台上に運び釈放
し、吸着ユニットを再び上記位置決めプレート上に下降
し、2枚取りの結果、上記位置決めプレートに吸着され
残存している下側銅板を吸着除去し、上記各工程をセラ
ミック基板及び上側銅板に対し繰り返し、上記基板受取
台上に銅張りセラミック基板を組立て、処理装置に対す
る投入コンベアー上に基板保護材を介して供給載置せし
めた処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び
装置。
Description
ラミック基板投入方法及び装置、特に、接合炉等の処理
装置に対し銅張りセラミック基板を投入するための方法
及び装置に関するものである。
銅張りセラミック基板1は、図7に示すようにセラミッ
ク基板2の下面及び上面に夫々下側及び上側銅板3,4
を重ね合わせた未接合のものである。
板投入方法及び装置においては、個々のカセット内に上
記セラミック基板2、下側及び上側銅板3,4を夫々積
層収納し、セラミック基板2等を夫々昇降手段によって
上昇し、その最上部のものをカセットの上部に位置する
対応する個々の真空吸着ユニットにより吸着し、シリン
ダー駆動の基板搬送装置により夫々並列的に位置決めロ
ーラーコンベアー上に搬送載置し、このローラーコンベ
アー上に載置されたセラミック基板2等を夫々ローラー
コンベアーにより前進し、前進面を前面ストッパーによ
り位置決めし、この位置で左からの寄せプレートにより
右側ストッパーに向かって押動し、右側面を位置決めす
る。
個々の他の吸着ユニットにより吸着し、上記搬送装置と
は別の搬送装置によりウオーキングテーブル上に搬送載
置し、先ず下側銅板3をテーブル上で所定位置に移動
し、次いでセラミック基板2を上記下側銅板3上に載置
し、次いで上側銅板4をセラミック基板2上に載置して
銅張りセラミック基板1を形成し、この3枚重ねの銅張
りセラミック基板1を、3枚重ね投入装置により接合炉
に対する投入コンベアー上にセラミック材の基板保護材
を介して載置している。
の処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装
置においては、上記セラミック基板等がローラーコンベ
アー上で夫々角面位置決めされるものであるから、セラ
ミック基板等の種類が変わる毎に銅板3,4がセラミッ
ク基板2のセンターに位置されるようその都度位置決め
手段を調整する必要がある。
ック基板1上に位置されることになるためセラミック基
板等の種類が変わった場合の段取りが困難であり、メン
テナンス性が悪い。
ック基板等の移動装置は複雑でコストが高く、その移動
回数も多いため振動等によりセラミック基板等にずれを
発生し易い。
等の幅寸法により幅方向の調整が必要であり現物合わせ
のための時間を必要とする。
である。
銅張りセラミック基板投入装置は、銅張りセラミック基
板を形成するセラミック基板と下側及び上側銅板を夫々
個別に収納した3個のカセットと、この各カセット内の
セラミック基板等を上昇せしめるための昇降手段と、上
記3個のカセットの上方に配置した1個の吸着ユニット
と、この吸着ユニットからセラミック基板等を受取り、
位置決めする位置決め手段と、この位置決め手段によっ
て位置決めされたセラミック基板等を互いに重ね合わせ
て銅張りセラミック基板を形成するための基板受取台
と、この基板受取台と上記位置決め手段に対し上記吸着
ユニットを搬送するための搬送手段と、銅張りセラミッ
ク基板を処理装置に投入するための投入コンベアーと、
この投入コンベアー上に基板保護材を供給載置せしめる
ための基板保護材供給手段と、投入コンベアー上に載置
された基板保護材上に、上記基板受取台上から銅張りセ
ラミック基板を供給載置せしめるための銅張りセラミッ
ク基板搬送手段とより成る。
放されたセラミック基板等を受け取る位置決めプレート
と、この位置決めプレート上に突出する、X方向及びY
方向に互いに離間した2対の可動板と、これら可動板を
上記位置決めプレートのセンターを中心として夫々X方
向及びY方向に互いに離,接するように制御する駆動手
段と、上記位置決めプレートの中心部に形成した透孔
と、同じく中心部近傍に開孔した真空吸着ポートとより
成る。
記基板受取台上の銅張りセラミック基板の両側下面を支
持するための一対の支持杆と、この支持杆を互いに接近
する方向に移動し及び復帰せしめるための駆動手段と、
上記支持杆と共に銅張りセラミック基板を上下に挾持す
るため上下動可能なピンシリンダーと、上記支持杆とそ
の駆動手段及びピンシリンダーをあらかじめ銅張りセラ
ミック基板の幅寸法に応じて位置決めするための手段
と、上記支持杆等を一体に上記投入コンベアー上に搬送
せしめる搬送手段とより成る。
基板投入方法は、下側銅板を収納したカセット内の銅板
を上動し、吸着ユニットによって吸着せしめ、この吸着
ユニットを位置決めプレート上に搬送し、載置せしめる
工程と、X方向及びY方向に互いに離間した対の可動板
を夫々位置決めプレートの中心方向に移動して銅板を位
置決めする工程と、位置決めされた銅板の下面を上記位
置決めプレートによって真空吸着せしめながら上記銅板
の上面を吸着ユニットによって真空吸着し、基板受取台
上に運び銅板を釈放する工程と、吸着ユニットを再び上
記位置決めプレート上に下降し、2枚取りの結果、上記
位置決めプレートに吸着され残存している銅板を吸着除
去する工程と、上記各工程をセラミック基板及び上側銅
板に対し繰り返し、上記基板受取台上に銅張りセラミッ
ク基板を組立てる工程と、処理装置に対する投入コンベ
アー上に上記銅張りセラミック基板を基板保護材を介し
て載置せしめる工程とより成る。
る。
基板投入装置は、図1及び図2に示すようにセラミック
基板2と下側及び上側銅板3,4を夫々個別に積層収納
した3個のカセット5と、この各カセット5内のセラミ
ック基板等をその下側から上昇せしめるための昇降手段
6と、上記カセット5の上方に配置した1個の吸着ユニ
ット7と、この吸着ユニット7からセラミック基板等を
受け取り、位置決めする位置決め手段8と、この位置決
め手段8によって位置決めされたセラミック基板等を互
いに重ね合わせて銅張りセラミック基板1を形成するた
めの基板受取台9と、この基板受取台9と上記位置決め
手段8に対し上記吸着ユニット7を搬送するための直交
ロボット等の搬送手段10と、銅張りセラミック基板1
を接合炉等の処理装置(図示せず)に投入するための投
入コンベアー11と、この投入コンベアー11上に基板
保護材12を互いに間隔を置いて供給載置せしめるため
の基板保護材供給手段13と、投入コンベアー11上に
載置された基板保護材12上に、上記基板受取台9上か
ら銅張りセラミック基板1を供給載置せしめるための銅
張りセラミック基板搬送手段14とにより構成する。
すように吸着ユニット7から釈放されたセラミック基板
等を受け取る位置決めプレート15と、この位置決めプ
レート15上に突出する、X方向及びY方向に互いに離
間した2対の可動板16a,16a及び16b,16b
と、これら可動板16a,16a及び16b,16bを
上記位置決めプレート15のセンターを中心として夫々
X方向及びY方向に互いに離,接するように制御する、
ラック17,ピニオン18,ラック駆動シリンダー1
9,ニリアガイド20及びロータリーアクチュエーター
21と、上記位置決めプレート15の中心部に形成した
透孔22と、同じく中心部近傍に開孔した真空吸着ポー
ト23とより成る。
1及び図2に示すように基板保護材12を積層収納した
カセット24と、このカセット24の底部開口から基板
保護材12を1個づつ押し出し供給する供給手段25
と、基板保護材12を吸着するエアチャックを有する保
持上昇シリンダー26と、保持上昇した基板保護材12
を上記投入コンベアー11上に搬送し釈放するための搬
送手段27とより成る。
14は、図2,図5及び図6に示すように上記基板受取
台9上の銅張りセラミック基板1の両側下面を支持する
ための一対の支持杆28と、この一対の支持杆28を図
5に示す状態から互いに接近する方向に図6に示すよう
に移動し及び復帰せしめるためのシリンダー29と、上
記支持杆28と共に銅張りセラミック基板1を上下に挾
持するため上下動可能なピンシリンダー30と、上記支
持杆28とシリンダー29及びピンシリンダー30をあ
らかじめ銅張りセラミック基板1の幅寸法に応じて位置
決めするための台形ねじ31と、この台形ねじ31を回
動するための目盛り付きハンドル32と、上記支持杆2
8等を一体に保持するフレーム33と、このフレーム3
3をスライドテーブル34に沿って上下動するための上
下動シリンダー35と、この上下動シリンダー35をガ
イドロット36に沿って上記投入コンベアー11上に搬
送せしめるシリンダー37とより成る。
基板投入方法においては、下側銅板3を積層収納したカ
セット5内の銅板3を昇降手段6によってカセット5内
を上動せしめ、最上部の銅板3を吸着ユニット7によっ
て吸着せしめ、この吸着ユニット7を搬送手段10によ
って位置決め手段8上に搬送し、吸着ユニット7によっ
て吸着している銅板3を位置決めプレート15上に載置
せしめる。
向及びY方向の可動板16a,16bを夫々位置決めプ
レート15の中心方向に移動して銅板3の中心が位置決
めプレート15の中心に位置されるようにする。銅板3
が位置決めされた状態で上記位置決めプレート15の中
心部近傍に設けた真空吸着ポート23に、上記吸着ユニ
ット7よりも弱く真空を作用せしめ、銅板3を保持す
る。
降し、上記位置決めされた銅板3を上記吸着ユニット7
によって再び吸着し、上記可動板16a,16bを銅板
3から離し、上記吸着ユニット7を銅板3と共に上記搬
送手段10によって基板受取台9上に運び銅板3を釈放
する。
ト7を再び上記位置決めプレート15上に移動し、吸着
ユニット7を下降する。
枚取りされている場合には、上記位置決めプレート15
上から上記位置決めされた銅板3を吸着上昇した際、真
空吸着ポート23の作用により下側の銅板3が引き離さ
れ位置決めプレート15上に残存しているから、上記の
ように吸着ユニット7が位置決めプレート15上に下降
した際上記残存銅板3を吸着するようになる。
板3を図2に示すケース38内に運び投入する。
ていない場合には、下降した吸着ユニット7の中心の真
空吸着孔(図示せず)が位置決めプレート15の中心に
位置する透孔22に連通し、真空吸着状態を発生しない
からこれによって上記位置決めプレート15上には銅板
3が残存していないことが確認でき、この場合には吸着
ユニット7を搬送手段10によってセラミック基板2を
積層収納しているカセット5上に戻し、セラミック基板
2に対し上記と同様の吸着搬送動作を行ない、位置決め
されたセラミック基板2を基板受取台9上の下側銅板3
上に載置する。
搬送動作を行ない、位置決めされた上側銅板4をセラミ
ック基板2上に載置し、接着前の銅張りセラミック基板
1を形成せしめる。
が形成された場合には、基板保護材供給手段13により
投入コンベアー11上に基板保護材12を進行方向に間
隔を置いて配置し、この基板保護材12上に上記銅張り
セラミック基板1を搬送手段14によって搬送し載置せ
しめる。
ク基板投入方法及び装置は上記のとおりであるから、下
記のような種々の利点を有する。
手段を用いたので、基板等のサイズ違いでも段取り(調
整)を必要としない。
トに真空吸着ポートを形成し基板等の上下を同時に吸着
するようにしたので、2枚取りによるトラブルを確実に
防止できる。
整が簡単にでき段取り作業性が良い。
ンテナンス性の向上及び低コスト化が可能となる。
投入装置の正面図である。
投入装置の平面図である。
投入装置における位置決め手段の縦断正面図である。
投入装置における位置決め手段の平面図である。
投入装置における銅張りセラミック基板搬送手段の正面
図である。
投入装置における銅張りセラミック基板搬送手段の正面
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 銅張りセラミック基板を形成するセラミ
ック基板と下側及び上側銅板を夫々個別に収納した3個
のカセットと、この各カセット内のセラミック基板等を
上昇せしめるための昇降手段と、上記3個のカセットの
上方に配置した1個の吸着ユニットと、この吸着ユニッ
トからセラミック基板等を受取り、位置決めする位置決
め手段と、この位置決め手段によって位置決めされたセ
ラミック基板等を互いに重ね合わせて銅張りセラミック
基板を形成するための基板受取台と、この基板受取台と
上記位置決め手段に対し上記吸着ユニットを搬送するた
めの搬送手段と、銅張りセラミック基板を処理装置に投
入するための投入コンベアーと、この投入コンベアー上
に基板保護材を供給載置せしめるための基板保護材供給
手段と、投入コンベアー上に載置された基板保護材上
に、上記基板受取台上から銅張りセラミック基板を供給
載置せしめるための銅張りセラミック基板搬送手段とよ
り成ることを特徴とする処理部に対する銅張りセラミッ
ク基板投入装置。 - 【請求項2】 上記位置決め手段が、吸着ユニットから
釈放されたセラミック基板等を受け取る位置決めプレー
トと、この位置決めプレート上に突出する、X方向及び
Y方向に互いに離間した2対の可動板と、これら可動板
を上記位置決めプレートのセンターを中心として夫々X
方向及びY方向に互いに離,接するように制御する駆動
手段と、上記位置決めプレートの中心部に形成した透孔
と、同じく中心部近傍に開孔した真空吸着ポートとより
成ることを特徴とする請求項1記載の処理部に対する銅
張りセラミック基板投入装置。 - 【請求項3】 上記銅張りセラミック基板搬送手段が、
上記基板受取台上の銅張りセラミック基板の両側下面を
支持するための一対の支持杆と、この支持杆を互いに接
近する方向に移動し及び復帰せしめるための駆動手段
と、上記支持杆と共に銅張りセラミック基板を上下に挾
持するため上下動可能なピンシリンダーと、上記支持杆
とその駆動手段及びピンシリンダーをあらかじめ銅張り
セラミック基板の幅寸法に応じて位置決めするための手
段と、上記支持杆等を一体に上記投入コンベアー上に搬
送せしめる搬送手段とより成ることを特徴とする請求項
1または2記載の処理部に対する銅張りセラミック基板
投入装置。 - 【請求項4】 下側銅板を収納したカセット内の銅板を
上動し、吸着ユニットによって吸着せしめ、この吸着ユ
ニットを位置決めプレート上に搬送し、載置せしめる工
程と、 X方向及びY方向に互いに離間した対の可動板を夫々位
置決めプレートの中心方向に移動して銅板を位置決めす
る工程と、 位置決めされた銅板の下面を上記位置決めプレートによ
って真空吸着せしめながら上記銅板の上面を吸着ユニッ
トによって真空吸着し、基板受取台上に運び銅板を釈放
する工程と、 吸着ユニットを再び上記位置決めプレート上に下降し、
2枚取りの結果、上記位置決めプレートに吸着され残存
している銅板を吸着除去する工程と、 上記各工程をセラミック基板及び上側銅板に対し繰り返
し、上記基板受取台上に銅張りセラミック基板を組立て
る工程と、 処理装置に対する投入コンベアー上に上記銅張りセラミ
ック基板を基板保護材を介して載置せしめる工程とより
成ることを特徴とする処理部に対する銅張りセラミック
基板投入方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23865394A JP3574977B2 (ja) | 1994-09-07 | 1994-09-07 | 処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23865394A JP3574977B2 (ja) | 1994-09-07 | 1994-09-07 | 処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08143148A true JPH08143148A (ja) | 1996-06-04 |
JP3574977B2 JP3574977B2 (ja) | 2004-10-06 |
Family
ID=17033335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23865394A Expired - Fee Related JP3574977B2 (ja) | 1994-09-07 | 1994-09-07 | 処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3574977B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002234615A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品重ね合わせ装置 |
CN116923975A (zh) * | 2023-09-14 | 2023-10-24 | 遂宁利和科技有限公司 | 一种覆铜板生产用输送上料装置 |
-
1994
- 1994-09-07 JP JP23865394A patent/JP3574977B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002234615A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品重ね合わせ装置 |
CN116923975A (zh) * | 2023-09-14 | 2023-10-24 | 遂宁利和科技有限公司 | 一种覆铜板生产用输送上料装置 |
CN116923975B (zh) * | 2023-09-14 | 2023-11-24 | 遂宁利和科技有限公司 | 一种覆铜板生产用输送上料装置 |
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JP3574977B2 (ja) | 2004-10-06 |
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