JPH08142068A - 複合型光学素子の成形用金型 - Google Patents

複合型光学素子の成形用金型

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JPH08142068A
JPH08142068A JP6278070A JP27807094A JPH08142068A JP H08142068 A JPH08142068 A JP H08142068A JP 6278070 A JP6278070 A JP 6278070A JP 27807094 A JP27807094 A JP 27807094A JP H08142068 A JPH08142068 A JP H08142068A
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JP
Japan
Prior art keywords
mold
resin
optical element
molding
composite optical
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6278070A
Other languages
English (en)
Inventor
Norimitsu Nagayama
典光 永山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP6278070A priority Critical patent/JPH08142068A/ja
Publication of JPH08142068A publication Critical patent/JPH08142068A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂中心部から硬化させることにより、ヒケ
等の欠陥の無い高精度な面精度を有する複合型光学素子
を得る。 【構成】 金型1の成形面には反射防止膜2が施されて
いる。紫外線硬化型樹脂4が供給されたレンズブランク
3はレンズ保持部材5に載置されている。レンズ保持部
材5の下方には紫外線照射ランプ6が設置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、成形用金型によりエネ
ルギー硬化型樹脂に成形面を転写して所望の光学面形状
を得る所謂レプリカ成形法で使用する金型に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、レンズブランク上に樹脂層を積層
した構成の非球面レンズの製造方法において、樹脂を硬
化させるべく仮に平行光を用いたとしても、金型面で光
が反射することによって、照度の高い部分と低い部分と
が出来てしまう。従って、図6a,bに示すように、金
型11面およびレンズブランク13面での反射光の照度
が高い部分は先に硬化を完了し、弱い部分は逆に後から
硬化を完了するために、樹脂層12に応力が発生してし
まい面精度を悪化させてしまう。
【0003】因って、上記欠点を解決すべく、例えば特
開平4−161305号公報には以下のような発明が提
案されている。上記発明は、図7aおよびbに示すよう
に、紫外線が金型11表面で多重反射をしても、樹脂層
における照度分布が均一となるように、フィルター1
4,15により調光した紫外線を照射して、紫外線硬化
型樹脂12を硬化させ、レンズブランク13上に樹脂層
を有するレンズを得るものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記特開平
4−161305号公報記載の発明においては以下のよ
うな欠点がある。すなわち、同一な樹脂厚分布を持つも
のに適用した場合はその効果がある。しかしながら、一
般的にレプリカ成形法により得るレンズは非球面レンズ
が多い。つまりそこで用いられる金型の成形面は所望の
レンズの面形状とは逆のパターンを有している。つまり
この様な非球面形状を樹脂層によって得ようとすると、
径方向において樹脂厚は同一ではない。
【0005】この様な樹脂層を硬化させるために平行光
を照射してしまうと、樹脂層の薄い部分は速く硬化する
ので、その硬化収縮分を補うために、厚い部分の未硬化
樹脂を吸収しながら硬化する。そして後から硬化する、
より樹脂厚の厚い部分は硬化収縮分を補う樹脂量の不足
によってヒケ等の欠陥を生じて所望の面形状を得られな
くなってしまうという欠点があった。
【0006】特に、樹脂層の中心部が厚く外周部が薄い
場合、樹脂層の薄い外周部は早く硬化してしまい、樹脂
層の厚い中心部は硬化による収縮分を外側の樹脂から補
うことができずヒケてしまう。
【0007】請求項1の目的は、樹脂層の中心部より樹
脂を硬化させることのできる成形用金型の提供にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、球面
ガラス光学基材の表面へ所望光学面形状のエネルギー硬
化型樹脂層を形成する複合型光学素子の成形用金型にお
いて、前記成形用金型の成形面に反射防止膜の膜厚分布
を持たせたことを特徴とする複合型光学素子の成形用金
型である。
【0009】
【作用】請求項1の作用は、金型表面に施す反射防止膜
の膜厚に分布を持たせることによって金型表面での反射
率に分布を与えている。つまり、所望のレンズ形状を得
るために必要な金型の中心は反射率を高く、周辺に行く
に従って低くなるように設定することによって、中心部
は金型面での反射を有効に使うことが可能となり、照度
は最も高くなる。そして、周辺に行くに従って徐々に照
度は低下する。すると、樹脂層の中心部から硬化が進
み、絶えず硬化している部分の周辺から硬化収縮分の樹
脂を吸収しながら全体の硬化が終了するので、前述の問
題点であるヒケ等の欠陥を発生させずに所望の面形状を
得ることが可能になる。
【0010】
【実施例1】図1〜図3は本実施例を示し、図1および
図2は概略構成図、図3aは光線の軌跡の説明図、図3
bは光線の照度分布のグラフである。1は金型で、この
金型1の成形面には反射防止膜2が施されている。3は
紫外線硬化型樹脂4が供給されたレンズブランクで、こ
のレンズブランク3はレンズ保持部材5に載置されてい
る。レンズ保持部材5の下方には紫外線照射ランプ6が
設置されている。
【0011】紫外線硬化型樹脂4としては365nmで
重合が開始されるように調整されているものを使用して
いるので、紫外線照射ランプ6は365nmにピークが
くるような性質の光が照射可能になっている。因って、
反射防止膜2はそのλ/4に当たる365/4nmの膜
厚を有する単層MgF2 によって構成されている。その
膜厚分布は中心部分を0nmとし中心から周辺に行くに
従って、0〜91.3nmになるように調整され、成膜
されている。そして、もちろんレンズブランク3にはそ
の光学性能を確保するために反射防止膜が形成されてい
る。
【0012】次に、上述の金型を用いた成形について説
明する。まず、レンズブランク3の成形面側に不図示の
ディスペンサーにて紫外線硬化型樹脂4を供給し、レン
ズ保持部材5に搬送する。その後、金型1とレンズブラ
ンク3とを相対的に接近させ、紫外線硬化型樹脂層が所
望の厚みとなるようにする(図2参照)。そして、紫外
線照射ランプ6により紫外線を樹脂層に照射する。重合
が完了した後、金型1から紫外線硬化型樹脂4とレンズ
ブランク3とからなる複合型光学素子7を剥離させる。
【0013】紫外線照射ランプ6より発せられた光は、
レンズブランク3および樹脂層を透過し、金型1表面に
達する。金型1表面の中心部は反射防止膜の膜厚が0n
m近辺なので、ほぼ100%反射して再び樹脂の重合反
応のためのエネルギーとなる。しかし、周辺に行くに従
って膜厚は厚くなっていくので、反射率は低下してい
く。因って、照度も周辺に行くに従い低下していく。つ
まり、周辺部の樹脂の硬化速度は中心部のそれよりも遅
くなるので、中心から徐々に硬化していく(図3aおよ
び図3bに示すa参照)。
【0014】本実施例によれば、反射率分布を持った金
型を用いて成形することによって、樹脂層の中心部分か
ら硬化が進み、絶えず硬化している部分の周辺から硬化
収縮分の樹脂を吸収しながら全体の硬化が終了するの
で、ヒケ等の欠陥を発生させずに所望の面形状を得るこ
とが可能になる。
【0015】
【実施例2】図4および図5は本実施例を示し、図4は
反射防止膜の構成の説明図、図5は反射特性のグラフで
ある。本実施例は、前記実施例1における反射防止膜の
構成と厚みが異なるのみで、他の構成は前記実施例1と
同様であり、その説明を省略する。
【0016】紫外線硬化型樹脂の反射率をn=1.5
2,吸収率k=0、金型表面の反射率をn=1.95,
吸収率k=3.53とした場合、金型面からTiO2
学的膜厚nd=74nm、SiO2 nd=79nm、T
iO2 nd=43nmという構成を持った反射防止膜2
がある(図4参照)。この膜は金型表面に均一に施すこ
とによって、図5に示すような反射特性を得ることが可
能となるように設計された膜である。前記実施例1の単
層膜と比較すると、より反射率が低く抑えられている。
【0017】このような特性を持った多層膜のうち、1
層目および2層目は均一にそれぞれ74nm,79nm
になるように金型表面に成膜する。3層目を前記実施例
1と同様、中心部から外周部に行くに従って0〜43n
mに徐々に厚くなるように調整して成膜する。つまり3
層目の膜厚が43nmに近くなるに従って図5に示した
特性に近づくので、43nmに満たない部分では43n
mに達した部分よりも反射率は高くなる。因って、中心
部の反射率が高く、周辺に行くに従って低くなるという
分布を得ることが出来る。反射率が高い部分では反射が
何度も繰り返されるので、紫外線照度は高くなり、反射
率が低い部分よりも早く硬化する(図3bに示すb参
照)。
【0018】ここで、図6bに示す従来技術の面精度を
悪化させてしまう照度分布と、図3bに示す照度分布と
は一見似たようなパターンである。しかし、図6bでは
B(中心よりも少し外側)がA(中心)よりも高い値を
示している。この場合、B(中心よりも少し外側)がA
(中心)よりも早く硬化してしまい、中心部は硬化によ
る収縮分を外側から補うことができずにヒケてしまう。
図3bに示す照度分布では、中心部から硬化が始まり、
中心部にヒケは発生しない。
【0019】本実施例によれば、前記実施例1と同様に
中心部から硬化を進められるので、ヒケの無い高精度な
複合型光学素子を得ることが可能になる。さらに、より
周辺部の反射を抑えることが出来るので、紫外線照度の
差を大きくすることが出来る。因って、中心部から硬化
するという現象が顕著になるので、より高精度な成形を
行うことが可能になる。
【0020】
【発明の効果】請求項1の効果は、金型表面に反射率の
分布を設けることによって紫外線照度の分布を設け、樹
脂中心部から硬化させていくことが可能になる。ゆえ
に、ヒケ等の欠陥の無い高精度な面精度を有した複合型
光学素子の製造が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1を示す概略構成図である。
【図2】実施例1を示す概略構成図である。
【図3】実施例1を示し、aは説明図、bはグラフであ
る。
【図4】実施例2を示す説明図である。
【図5】実施例2を示すグラフである。
【図6】従来例を示し、aは説明図、bはグラフであ
る。
【図7】従来例を示し、aは説明図、bはグラフであ
る。
【符号の説明】
1 金型 2 反射防止膜 3 レンズブランク 4 紫外線硬化型樹脂 5 レンズ保持部材 6 紫外線照射ランプ 7 複合型光学素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29K 709:08 B29L 9:00 11:00

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 球面ガラス光学基材の表面へ所望光学面
    形状のエネルギー硬化型樹脂層を形成する複合型光学素
    子の成形用金型において、前記成形用金型の成形面に反
    射防止膜の膜厚分布を持たせたことを特徴とする複合型
    光学素子の成形用金型。
JP6278070A 1994-11-11 1994-11-11 複合型光学素子の成形用金型 Withdrawn JPH08142068A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6551530B2 (en) * 2000-04-20 2003-04-22 Sony Corporation Method of forming a hybrid lens
JP2012158109A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Toshiba Mach Co Ltd 成形品の成形方法、成形品および型
JP2014505996A (ja) * 2010-11-30 2014-03-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Uvチャンバ内におけるウエハ処理プロファイルを調節する方法および装置

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Effective date: 20020115