JPH08136820A - レーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置 - Google Patents
レーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置Info
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- JPH08136820A JPH08136820A JP6303094A JP30309494A JPH08136820A JP H08136820 A JPH08136820 A JP H08136820A JP 6303094 A JP6303094 A JP 6303094A JP 30309494 A JP30309494 A JP 30309494A JP H08136820 A JPH08136820 A JP H08136820A
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Abstract
得られ、しかも低コストで製造できるレーザ走査顕微鏡
用資料台の提供。 【構成】 レーザ走査顕微鏡本体に対し、上下方向の手
動昇降動作機構を介して支持させた昇降台6上、水平方
向の回転軸13に固定した偏心カム12上に支持させて
資料台4を載荷させ、回動軸13を可動線輪型回転駆動
機と角度検出器を使用して所定角度づつ回転させること
により、昇降台6に対して資料台4を微動作させる。
Description
鏡において、資料の厚さ方向切断面における画面情報を
得るために、資料台を上下に微少高さづつ動作させるた
めのレーザ顕微鏡用資料台上下微動装置に関する。
スポット光にて走査し、走査線に沿った数十万個の明る
さ情報を合成して一画面とするものであり、スポット光
による焦準面位置を変化させることによって、資料をス
ライスした如き画面情報が得られる。この各スライス画
面を厚さ方向に変化させた数十画面の情報を処理するこ
とにより、高解像力のまま焦点深度の深い画面を作るこ
とができる。勿論資料特定位置で資料断面像を作ること
もできる等スライス機能はレーザ走査顕微鏡にとって必
要不可欠なものである。
めに資料台を上下に移動させ、資料に対するスポット光
による焦準面位置を変化させるようにしたものが一般的
であり、その機構には以下の如き構造のものがある。
を使用したものであり、顕微鏡は元来、焦準を合わせる
ため、減速歯車群を使用した手動の資料台上下微動装置
を持っており、その微動用つまみを1回転すると、普通
0.2mm資料台が上下するものであり、殆どのレーザ
ー顕微鏡ではこの微動つまみ軸に1回転2000分割制
御のできるステッピングモータを連結し、電子制御で最
小ステップ0.1μで資料台を動かし、スライスを実現
している。復元性は微動装置により異なるが、少くとも
2μ程度はまぬがれない。
している。
いるので、スライスのように上方向に順次動かす間は問
題ないが、一連のスライス後再びスライスを行う時に
は、最初の位置に戻ってから始まるが、その時の最初の
位置は歯車間の咬合ギャップにより前とは違った位置に
なるため、もう一度ピントを合せ直す必要がある。この
差が復元性である。〔(JIS B−7132:3−
(9)微動装置遊び4μ以下)の項に相当〕 第二に、ピエゾステージと呼ばれているものであり、微
動装置に頼らず、資料台を、結晶が僅か膨脹するピエゾ
素子で支え、印加電圧により資料台を微小上下動するも
のがある。上下動範囲(ストローク)は小さい(0.1
mm以下)が、スライスステップは極めて小さくでき、復
元性はよい。
いるものであり、微動装置に頼らず、資料台を二重に
し、上資料台の片側を回転軸とし、反対側をガルバノ駆
動機構(駆動軸を可動線輪型駆動機構にて回動させるも
の)を利用して上下に資料台を僅かに傾斜させ、走査部
分でスライスを実現するものであるり、これは、単純計
算で最大傾斜角は±5分程度となり、小さな範囲ではス
ライスとして実用上支障はないとされるものである。ま
た復元性はよい。
車群とステッピングモータを使用した方式の装置におい
ては、減速歯車群の歯車咬合ギャップのため、復元性の
高い装置を製造することは極めて困難である。
あっては、高い復元性が簡単な構造で得られるが、ピエ
ゾ素子自体が極めて高価であり、装置が著しく高価とな
るという問題があった。
ものにあって、資料台の傾斜角度を変化させるものであ
るため、各スライス画面が平行でなくなり、正確なスラ
イスとはいえないものであり、特に透過型レーザ走査顕
微鏡では好ましくないことである。
み、より簡単な構造で安定性が良く、高い復元性を持
ち、しかも低コストで製造できるレーザ走査顕微鏡用資
料台上下微動装置の提供を目的をとしてなされたもので
ある。
解決し、所期の目的を達成するための本発明の要旨とす
るところは、レーザ走査顕微鏡本体に対し、上下方向の
手動昇降動作機構を介して支持させた昇降台上に、水平
方向の回動軸に固定した偏心カム上に支持させて資料台
を載荷させ、前記回動軸を可動線輪型回転駆動機と角度
検出器を使用して所定角度づつ回転させることにより、
前記昇降台に対して資料台を微動作させるようにしてな
るレーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置に存する。
尚、昇降台上に垂直方向の1もしくは複数のガイドを介
して上下に平行移動自在に資料台を支持させることが好
ましく、更に偏心カムを平面方向に間隔を隔てて複数設
けることが好ましい。
動させることによって偏心カム面の資料台支持位置が変
化し、資料台が上下移動される。また角度検出器は予め
設定された動作角度を検出することによって回転駆動機
による回動軸の駆動を停止させ、レーザ走査顕微鏡によ
る資料の1スライス面をスポット光にて走査して情報を
採取した後、再度回転駆動機を1ステップ分回動させ、
次のスライス面のスポット光による走査を行い、順次ス
ライス面の情報を採取する。
る。
本体であり、2は上側対物レンズ、3は下側対物レンズ
である。この両対物レンズ2,3間に資料aが設置でき
るように資料台4が備えられている。この資料台4は、
減速歯車群を使用した手動昇降動作機構5によって上下
動作される昇降台6上に設置されている。
に、粗動摘み7によって減速比の少い大動作が、また微
動用摘み8によって微小動作がかなされるようになって
おり、この微動用摘み8を1回転させることにより昇降
台6が0.2mm移動されるようになっている。
すように、上面に開口させて設置したストロークベアリ
ングからなる上下方向のスライドガイド10,10,1
0が略正三角形の頂点位置に設置されており、このスラ
イドガイド10に資料台4の底面に突設したスライド軸
11がそれぞれ嵌合され、これによって資料台4が昇降
台6に対して上下に平行移動できるように支持されてい
る。
の偏心カム12,12,12上に載荷されている。
動軸13に対して偏心させた円筒型をしており、外周に
ボールベアリング14が嵌め付けられており、そのボー
ルベアリング14の外周面が資料台4の下面の当り板1
5の下面に当接されている。また資料台4はコイルスプ
リング16によって昇降台6側に引き寄せられ、常に偏
心カム12と当り板15間が一定の圧力で接触されてい
る。
3に、残りの1個がもう一本の回動軸13に固定されて
おり、各回動軸13は、その回転が回転駆動機21、角
度検出器22及び図示しない制御回路によって同期制御
されるようになっている。
度動作が得られる小型高出力の可動線輪型の駆動機が使
用され、また角度検出機22は無接觸式の高分解能型を
使用する。
動作により回動軸13が回動されることにより偏心カム
12が動作され、これによって資料台4が微小動作され
るものであり、略45°の回転角を数百に分割し、その
1回動作毎に角度検出器22によって検出させて停止さ
せ、その停止毎にスポット光による1スライス面の走査
を行わせることができるようにしている。
直進運動は、正弦運動になるので、角度検出器22の出
力と移動量を計算し、本実施例の場合、資料台移動量
0.5μ毎の検出器出力が偏心カム12による全移動量
0.2mm間に400回得られるように制御回路に予めデ
ータをメモリーして制御させるようにしている。
と、回転駆動機21は検出器22の出力がそのデータに
合う所まで動き、止るようになっている。
る場合には、まず、偏心カム12による上下動の一番下
になるようにデータを与え、その位置で手動の摘み7及
び8を操作して顕微鏡のピントを合わせた後、レーザに
切替えて制御回路に所望のスライスステップ量、スライ
ス枚数を指定することにより、上記の資料台上昇動作を
各スライドステップ毎に繰返し実行し、所望のスライス
面毎にスポット光による走査がなされるようになってい
る。
を微動作させて走査位置を変更させた際に、顕微鏡に備
えられている減速歯車群による微動機構を使用せず、昇
降台と資料台との間に設けた偏心カムにより資料台を上
下平行微動作させるようにしたことにより、簡単な微動
作機構によって復元性の高いものが得られる。
るため、高出力のものが小型で得られるとともに構造が
簡単であり、特別に高価な部材を要しないため、従来に
比べて著しく低コスト化できる。
図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 レーザ走査顕微鏡本体に対し、上下方向
の手動昇降動作機構を介して支持させた昇降台上に、水
平方向の回動軸に固定した偏心カム上に支持させて資料
台を載荷させ、前記回動軸を可動線輪型回転駆動機と角
度検出器を使用して所定角度づつ回転させることによ
り、前記昇降台に対して資料台を微動作させるようにし
てなるレーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置。 - 【請求項2】 昇降台上に垂直方向の1もしくは複数の
ガイドを介して上下に平行移動自在に資料台を支持させ
てなる請求項1に記載のレーザ走査顕微鏡用資料台上下
微動装置。 - 【請求項3】 偏心カムを平面方向に間隔を隔てて複数
設けてなる請求項1もしくは2に記載のレーザ走査顕微
鏡用資料台上下微動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6303094A JPH08136820A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | レーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6303094A JPH08136820A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | レーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08136820A true JPH08136820A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17916826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6303094A Pending JPH08136820A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | レーザ走査顕微鏡用資料台上下微動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08136820A (ja) |
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- 1994-11-11 JP JP6303094A patent/JPH08136820A/ja active Pending
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