JPH08114442A - 座標測定機 - Google Patents
座標測定機Info
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- JPH08114442A JPH08114442A JP6277069A JP27706994A JPH08114442A JP H08114442 A JPH08114442 A JP H08114442A JP 6277069 A JP6277069 A JP 6277069A JP 27706994 A JP27706994 A JP 27706994A JP H08114442 A JPH08114442 A JP H08114442A
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- axis spindle
- spindle
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｚ軸スピンドルの変形を抑制し、Ｚ軸スピン
ドルの真直精度の悪化を防ぐ。 【構成】 エアベアリング２６ａ〜２６ｄに供給される
高圧空気と同温の高圧空気を中空のＺ軸スピンドル８内
に供給することによって、Ｚ軸スピンドル８の外壁面と
内壁面とに温度差が生じないようにし、Ｚ軸スピンドル
８が例えば樽形や糸巻き形に変形するのを防ぐようにし
た。
ドルの真直精度の悪化を防ぐ。 【構成】 エアベアリング２６ａ〜２６ｄに供給される
高圧空気と同温の高圧空気を中空のＺ軸スピンドル８内
に供給することによって、Ｚ軸スピンドル８の外壁面と
内壁面とに温度差が生じないようにし、Ｚ軸スピンドル
８が例えば樽形や糸巻き形に変形するのを防ぐようにし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は座標測定機に関し、特
に門型構造体を有する座標測定機に関する。
に門型構造体を有する座標測定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の三次元測定機の斜視図であ
る。測定対象物を載せる定盤１０１上には門型構造体１
０２が取り付けられる。門型構造体１０２は、支柱１０
３と支柱１０４と両支柱１０３，１０４の上部に架け渡
されたＸ軸ビーム１０５とで構成されている。定盤１０
１上の片側にはＹ軸ガイドレール１０６が敷設され、Ｙ
軸ガイドレール１０６には支柱１０３の下部が図示しな
いエアベアリングを介してＹ軸方向にスライド可能に嵌
合されている。Ｙ軸ガイドレール１０６の反対側には支
柱１０４がエアベアリング１２４を介してスライド可能
に配置されている。Ｘ軸ビーム１０５にはＸ軸キャリッ
ジ１０７がエアベアリング１２５を介してＸ軸方向にス
ライド可能に嵌合され、Ｘ軸キャリッジ１０７はＺ軸ス
ピンドル１０８を後述のエアベアリング（図５参照）を
介してＺ軸方向にスライド可能に支持している。Ｚ軸ス
ピンドル１０８の先端には測定子１１０が設けられてい
る。Ｘ軸ビーム１０５にはＺ軸方向に開いた移動空間１
０９が設けられ、Ｚ軸スピンドル１０８が通る。
る。測定対象物を載せる定盤１０１上には門型構造体１
０２が取り付けられる。門型構造体１０２は、支柱１０
３と支柱１０４と両支柱１０３，１０４の上部に架け渡
されたＸ軸ビーム１０５とで構成されている。定盤１０
１上の片側にはＹ軸ガイドレール１０６が敷設され、Ｙ
軸ガイドレール１０６には支柱１０３の下部が図示しな
いエアベアリングを介してＹ軸方向にスライド可能に嵌
合されている。Ｙ軸ガイドレール１０６の反対側には支
柱１０４がエアベアリング１２４を介してスライド可能
に配置されている。Ｘ軸ビーム１０５にはＸ軸キャリッ
ジ１０７がエアベアリング１２５を介してＸ軸方向にス
ライド可能に嵌合され、Ｘ軸キャリッジ１０７はＺ軸ス
ピンドル１０８を後述のエアベアリング（図５参照）を
介してＺ軸方向にスライド可能に支持している。Ｚ軸ス
ピンドル１０８の先端には測定子１１０が設けられてい
る。Ｘ軸ビーム１０５にはＺ軸方向に開いた移動空間１
０９が設けられ、Ｚ軸スピンドル１０８が通る。
【０００３】図５は図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図であ
る。Ｚ軸スピンドル１０８は軽量化及び配線を考慮した
中空の直方体であり、Ｚ軸スピンドル１０８の上部から
Ｚ軸スピンドル１０８の内部に信号ケーブル１２０が挿
入されている。信号ケーブル１２０はＺ軸スピンドル１
０８内を通り、Ｚ軸スピンドル１０８の下部から外部へ
出て測定子１１０に接続されている。Ｚ軸スピンドル１
０８の側面１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃ，１０８ｄに
はエアベアリング１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２
６ｄが対向配置され、それらのエアベアリング１２６ａ
〜１２６ｄによってＺ軸スピンドル１０８がＸ軸方向及
びＹ軸方向の移動を規制され、Ｚ軸方向だけ移動できる
ように支持されている。エアベアリング１２６ｂ，１２
６ｄはＸ軸キャリッジ１０７に螺着された調整ネジ１１
１ｂ，１１１ｄの先端にボール１１２ｂ，１１２ｄを介
して支持されている。エアベアリング１２６ａ，１２６
ｃはＸ軸キャリッジ１０７にスライド可能に支持された
ピストン１１３ａ，１１３ｃの先端にボール１１４ａ，
１１４ｃを介して支持されている。ピストン１１３ａ，
１１３ｃはバネ１１５ａ，１１５ｃによってＺ軸スピン
ドル１０８の側面１０８ａ，１０８ｃ側へ押圧されてい
る。バネ１１５ａ，１１５ｃはＸ軸キャリッジ１０７の
外周面に固定されたケース１１６ａ，１１６ｃ内に収容
されている。
る。Ｚ軸スピンドル１０８は軽量化及び配線を考慮した
中空の直方体であり、Ｚ軸スピンドル１０８の上部から
Ｚ軸スピンドル１０８の内部に信号ケーブル１２０が挿
入されている。信号ケーブル１２０はＺ軸スピンドル１
０８内を通り、Ｚ軸スピンドル１０８の下部から外部へ
出て測定子１１０に接続されている。Ｚ軸スピンドル１
０８の側面１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃ，１０８ｄに
はエアベアリング１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２
６ｄが対向配置され、それらのエアベアリング１２６ａ
〜１２６ｄによってＺ軸スピンドル１０８がＸ軸方向及
びＹ軸方向の移動を規制され、Ｚ軸方向だけ移動できる
ように支持されている。エアベアリング１２６ｂ，１２
６ｄはＸ軸キャリッジ１０７に螺着された調整ネジ１１
１ｂ，１１１ｄの先端にボール１１２ｂ，１１２ｄを介
して支持されている。エアベアリング１２６ａ，１２６
ｃはＸ軸キャリッジ１０７にスライド可能に支持された
ピストン１１３ａ，１１３ｃの先端にボール１１４ａ，
１１４ｃを介して支持されている。ピストン１１３ａ，
１１３ｃはバネ１１５ａ，１１５ｃによってＺ軸スピン
ドル１０８の側面１０８ａ，１０８ｃ側へ押圧されてい
る。バネ１１５ａ，１１５ｃはＸ軸キャリッジ１０７の
外周面に固定されたケース１１６ａ，１１６ｃ内に収容
されている。
【０００４】エアベアリング１２６ａ，１２６ｃの空気
吹出し面とエアベアリング１２６ｂ，１２６ｄの空気吹
出し面とはＺ軸スピンドル１０８を介して対向してい
る。エアベアリング１２６ａ，１２６ｃの空気吹出し面
はＺ軸スピンドル１０８の側面１０８ａ，１０８ｃとそ
れぞれ対向し、エアベアリング１２６ｂ，１２６ｄは側
面１０８ａ，１０８ｃの反対に位置するＺ軸スピンドル
１０８の側面１０８ｂ，１０８ｄとそれぞれ対向してい
る。エアベアリング１２６ａ，１２６ｃはいわゆるばね
予圧式エアベアリング構造になっており、Ｚ軸スピンド
ル１０８は剛性の高い（低くない）方のエアベアリング
１２６ｂ，１２６ｄの空気吹出し面と対向する側面１０
８ｂ，１０８ｄの真直度にならって移動し、剛性の低い
方のエアベアリング１２６ａ，１２６ｃの空気吹出し面
と対向する側面１０８ａ，１０８ｃの影響を受けにく
い。更に、Ｚ軸スピンドル１０８の側面１０８ａ〜１０
８ｃの平行度が悪くとも、バネ１１５ａ，１１５ｃで支
持されたエアベアリング１２６ｂ，１２６ｄの働きによ
ってＺ軸スピンドル１０８の側面１０８ａ〜１０８ｃと
各エアベアリング１２６ａ〜１２６ｄとのギャップ量は
常に一定に保たれ、Ｚ軸スピンドル１０８に対する全体
剛性は変化しない。
吹出し面とエアベアリング１２６ｂ，１２６ｄの空気吹
出し面とはＺ軸スピンドル１０８を介して対向してい
る。エアベアリング１２６ａ，１２６ｃの空気吹出し面
はＺ軸スピンドル１０８の側面１０８ａ，１０８ｃとそ
れぞれ対向し、エアベアリング１２６ｂ，１２６ｄは側
面１０８ａ，１０８ｃの反対に位置するＺ軸スピンドル
１０８の側面１０８ｂ，１０８ｄとそれぞれ対向してい
る。エアベアリング１２６ａ，１２６ｃはいわゆるばね
予圧式エアベアリング構造になっており、Ｚ軸スピンド
ル１０８は剛性の高い（低くない）方のエアベアリング
１２６ｂ，１２６ｄの空気吹出し面と対向する側面１０
８ｂ，１０８ｄの真直度にならって移動し、剛性の低い
方のエアベアリング１２６ａ，１２６ｃの空気吹出し面
と対向する側面１０８ａ，１０８ｃの影響を受けにく
い。更に、Ｚ軸スピンドル１０８の側面１０８ａ〜１０
８ｃの平行度が悪くとも、バネ１１５ａ，１１５ｃで支
持されたエアベアリング１２６ｂ，１２６ｄの働きによ
ってＺ軸スピンドル１０８の側面１０８ａ〜１０８ｃと
各エアベアリング１２６ａ〜１２６ｄとのギャップ量は
常に一定に保たれ、Ｚ軸スピンドル１０８に対する全体
剛性は変化しない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】Ｚ軸スピンドル１０８
の真直精度はＺ軸スピンドル１０８の側面１０８ｂ，１
０８ｄの面精度によって決まるが、エアベアリング１２
６ａ〜１２６ｄに供給する高圧空気の温度の影響により
Ｚ軸スピンドル１０８の外周面と内周面とに温度差が生
じ、例えば高圧空気の温度がＺ軸スピンドル１０８内の
温度より高い場合、図６（ａ）に示すＺ軸スピンドル１
０８は図６（ｂ）に示すように樽形に変形し、高圧空気
の温度がＺ軸スピンドル１０８内の温度より低い場合は
糸巻き形に変形し、その結果Ｚ軸スピンドル１０８の真
直精度が悪くなり、ひいては座標測定機のＺ軸と他の軸
（Ｘ軸及びＹ軸）との直角度を悪化させるという問題が
あった。
の真直精度はＺ軸スピンドル１０８の側面１０８ｂ，１
０８ｄの面精度によって決まるが、エアベアリング１２
６ａ〜１２６ｄに供給する高圧空気の温度の影響により
Ｚ軸スピンドル１０８の外周面と内周面とに温度差が生
じ、例えば高圧空気の温度がＺ軸スピンドル１０８内の
温度より高い場合、図６（ａ）に示すＺ軸スピンドル１
０８は図６（ｂ）に示すように樽形に変形し、高圧空気
の温度がＺ軸スピンドル１０８内の温度より低い場合は
糸巻き形に変形し、その結果Ｚ軸スピンドル１０８の真
直精度が悪くなり、ひいては座標測定機のＺ軸と他の軸
（Ｘ軸及びＹ軸）との直角度を悪化させるという問題が
あった。
【０００６】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はＺ軸スピンドルの変形を抑制し、
Ｚ軸スピンドルの真直精度の悪化を防ぐことができる座
標測定機を提供することである。
たもので、その課題はＺ軸スピンドルの変形を抑制し、
Ｚ軸スピンドルの真直精度の悪化を防ぐことができる座
標測定機を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の座標測定機は、測定物を載置す
る定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材と、
前記支持部材間に架け渡されたＸビームとで構成され、
Ｙ軸方向へ移動可能な構造体と、測定子を有する中空構
造のＺ軸スピンドルと、前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向
へ移動可能に支持するエアベアリングを有するキャリッ
ジとを備えた座標測定機において、前記Ｚ軸スピンドル
内に前記エアベアリングに供給される空気とほぼ同温の
空気を供給する空気供給手段を備えている。
め請求項１記載の発明の座標測定機は、測定物を載置す
る定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材と、
前記支持部材間に架け渡されたＸビームとで構成され、
Ｙ軸方向へ移動可能な構造体と、測定子を有する中空構
造のＺ軸スピンドルと、前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向
へ移動可能に支持するエアベアリングを有するキャリッ
ジとを備えた座標測定機において、前記Ｚ軸スピンドル
内に前記エアベアリングに供給される空気とほぼ同温の
空気を供給する空気供給手段を備えている。
【０００８】また、請求項２記載の発明の座標測定機
は、前記空気供給手段は、前記Ｚ軸スピンドルと前記エ
アベアリングとに高圧空気を供給する。
は、前記空気供給手段は、前記Ｚ軸スピンドルと前記エ
アベアリングとに高圧空気を供給する。
【０００９】更に、請求項３記載の発明の座標測定機
は、前記Ｚ軸スピンドルは、供給される前記空気の供給
量を調整する調整手段と、供給時の音を消すサイレンサ
ーとを備えている。
は、前記Ｚ軸スピンドルは、供給される前記空気の供給
量を調整する調整手段と、供給時の音を消すサイレンサ
ーとを備えている。
【００１０】
【作用】請求項１記載の発明の座標測定機では、空気供
給手段によって、エアベアリングに供給される空気とほ
ぼ同温の空気をＺ軸スピンドル内に供給するので、Ｚ軸
スピンドルの外壁面と内壁面とに温度差が生じず、Ｚ軸
スピンドルが例えば樽形や糸巻き形に変形しない。
給手段によって、エアベアリングに供給される空気とほ
ぼ同温の空気をＺ軸スピンドル内に供給するので、Ｚ軸
スピンドルの外壁面と内壁面とに温度差が生じず、Ｚ軸
スピンドルが例えば樽形や糸巻き形に変形しない。
【００１１】また、請求項２記載の発明の座標測定機で
は、同一の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリング
とに高圧空気を供給するようにしたので、それぞれ別個
の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリングとに高圧
空気を供給する場合のように、各供給源からの空気の温
度が同じになるように調整する必要がない。
は、同一の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリング
とに高圧空気を供給するようにしたので、それぞれ別個
の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリングとに高圧
空気を供給する場合のように、各供給源からの空気の温
度が同じになるように調整する必要がない。
【００１２】更に、請求項３記載の発明の座標測定機で
は、Ｚ軸スピンドルが供給される高圧空気の供給量を調
整する調整手段と、供給時の音を消すサイレンサーとを
備えているので、高圧空気の消費量を抑制することがで
きるとともに、Ｚ軸スピンドル内に高圧空気を導入する
際に生じる音を消すことができ、騒音を抑制する小音が
できる。
は、Ｚ軸スピンドルが供給される高圧空気の供給量を調
整する調整手段と、供給時の音を消すサイレンサーとを
備えているので、高圧空気の消費量を抑制することがで
きるとともに、Ｚ軸スピンドル内に高圧空気を導入する
際に生じる音を消すことができ、騒音を抑制する小音が
できる。
【００１３】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図２はこの発明の一実施例に係る三次元測
定機の斜視図である。図示しない測定対象物を載せる定
盤１上には門型構造体２が取り付けられる。門型構造体
２は、支柱３と支柱４と両支柱３，４の上部に架け渡さ
れたＸ軸ビーム５とで構成されている。定盤１上の片側
にはＹ軸ガイドレール６が敷設され、Ｙ軸ガイドレール
６には支柱３の下部が図示しないエアベアリングを介し
てＹ軸方向にスライド可能に嵌合されている。Ｙ軸ガイ
ドレール６の反対側には支柱４がエアベアリング２４を
介してスライド可能に配置されている。Ｘ軸ビーム５に
はＸ軸キャリッジ７がエアベアリング２５（図１参照）
を介してＸ軸方向にスライド可能に嵌合され、Ｘ軸キャ
リッジ７はＺ軸スピンドル８を後述のエアベアリング
（図１参照）を介してＺ軸方向にスライド可能に支持し
ている。Ｚ軸スピンドル８の先端には測定子１０が設け
られている。Ｘ軸ビーム５にはＺ軸方向に開いた移動空
間９が設けられ、Ｚ軸スピンドル８が通る。
定機の斜視図である。図示しない測定対象物を載せる定
盤１上には門型構造体２が取り付けられる。門型構造体
２は、支柱３と支柱４と両支柱３，４の上部に架け渡さ
れたＸ軸ビーム５とで構成されている。定盤１上の片側
にはＹ軸ガイドレール６が敷設され、Ｙ軸ガイドレール
６には支柱３の下部が図示しないエアベアリングを介し
てＹ軸方向にスライド可能に嵌合されている。Ｙ軸ガイ
ドレール６の反対側には支柱４がエアベアリング２４を
介してスライド可能に配置されている。Ｘ軸ビーム５に
はＸ軸キャリッジ７がエアベアリング２５（図１参照）
を介してＸ軸方向にスライド可能に嵌合され、Ｘ軸キャ
リッジ７はＺ軸スピンドル８を後述のエアベアリング
（図１参照）を介してＺ軸方向にスライド可能に支持し
ている。Ｚ軸スピンドル８の先端には測定子１０が設け
られている。Ｘ軸ビーム５にはＺ軸方向に開いた移動空
間９が設けられ、Ｚ軸スピンドル８が通る。
【００１５】図１は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図であ
る。Ｚ軸スピンドル８は中空の直方体であり、Ｚ軸スピ
ンドル８の上部からＺ軸スピンドル８の内部に信号ケー
ブル２０が挿入されている。信号ケーブル２０はＺ軸ス
ピンドル８内を通り、Ｚ軸スピンドル８の下部から外部
へ出て測定子１０に接続されている。Ｚ軸スピンドル８
の側面８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄにはエアベアリング２６
ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが対向配置され、それらの
エアベアリング２６ａ〜２６ｄによってＺ軸スピンドル
８がＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を規制され、Ｚ軸方向
だけ移動できるように支持されている。エアベアリング
２６ｂ，２６ｄはＸ軸キャリッジ７に螺着された調整ネ
ジ１１ｂ，１１ｄの先端にボール１２ｂ，１２ｄを介し
て支持されている。エアベアリング２６ａ，２６ｃはＸ
軸キャリッジ７にスライド可能に支持されたピストン１
３ａ，１３ｃの先端にボール１４ａ，１４ｃを介して支
持されている。ピストン１３ａ，１３ｃはバネ１５ａ，
１５ｃによってＺ軸スピンドル８の側面８ａ，８ｃ側へ
押圧されている。バネ１５ａ，１５ｃはＸ軸キャリッジ
７の外周面に固定されたケース１６ａ，１６ｃ内に収容
されている。エアベアリング２６ｂ，２６ｄはエアベア
リング２６ａ，２６ｃに較べて少なくとも１０倍以上の
剛性で支えられている。
る。Ｚ軸スピンドル８は中空の直方体であり、Ｚ軸スピ
ンドル８の上部からＺ軸スピンドル８の内部に信号ケー
ブル２０が挿入されている。信号ケーブル２０はＺ軸ス
ピンドル８内を通り、Ｚ軸スピンドル８の下部から外部
へ出て測定子１０に接続されている。Ｚ軸スピンドル８
の側面８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄにはエアベアリング２６
ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが対向配置され、それらの
エアベアリング２６ａ〜２６ｄによってＺ軸スピンドル
８がＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を規制され、Ｚ軸方向
だけ移動できるように支持されている。エアベアリング
２６ｂ，２６ｄはＸ軸キャリッジ７に螺着された調整ネ
ジ１１ｂ，１１ｄの先端にボール１２ｂ，１２ｄを介し
て支持されている。エアベアリング２６ａ，２６ｃはＸ
軸キャリッジ７にスライド可能に支持されたピストン１
３ａ，１３ｃの先端にボール１４ａ，１４ｃを介して支
持されている。ピストン１３ａ，１３ｃはバネ１５ａ，
１５ｃによってＺ軸スピンドル８の側面８ａ，８ｃ側へ
押圧されている。バネ１５ａ，１５ｃはＸ軸キャリッジ
７の外周面に固定されたケース１６ａ，１６ｃ内に収容
されている。エアベアリング２６ｂ，２６ｄはエアベア
リング２６ａ，２６ｃに較べて少なくとも１０倍以上の
剛性で支えられている。
【００１６】エアベアリング２６ａ，２６ｃの空気吹出
し面とエアベアリング２６ｂ，２６ｄの空気吹出し面と
はＺ軸スピンドル８を介して対向している。エアベアリ
ング２６ａ，２６ｃの空気吹出し面はＺ軸スピンドル８
の側面８ａ，８ｃとそれぞれ対向し、エアベアリング２
６ｂ，２６ｄは側面８ａ，８ｃの反対に位置するＺ軸ス
ピンドル８の側面８ｂ，８ｄとそれぞれ対向している。
エアベアリング２６ａ，２６ｃはいわゆるばね予圧式エ
アベアリング構造になっており、Ｚ軸スピンドル８は剛
性の高い（低くない）方のエアベアリング２６ｂ，２６
ｄの空気吹出し面と対向する側面８ｂ，８ｄの真直度に
ならって移動し、剛性の低い方のエアベアリング２６
ａ，２６ｃの空気吹出し面と対向する側面８ａ，８ｃの
影響を受けにくい。
し面とエアベアリング２６ｂ，２６ｄの空気吹出し面と
はＺ軸スピンドル８を介して対向している。エアベアリ
ング２６ａ，２６ｃの空気吹出し面はＺ軸スピンドル８
の側面８ａ，８ｃとそれぞれ対向し、エアベアリング２
６ｂ，２６ｄは側面８ａ，８ｃの反対に位置するＺ軸ス
ピンドル８の側面８ｂ，８ｄとそれぞれ対向している。
エアベアリング２６ａ，２６ｃはいわゆるばね予圧式エ
アベアリング構造になっており、Ｚ軸スピンドル８は剛
性の高い（低くない）方のエアベアリング２６ｂ，２６
ｄの空気吹出し面と対向する側面８ｂ，８ｄの真直度に
ならって移動し、剛性の低い方のエアベアリング２６
ａ，２６ｃの空気吹出し面と対向する側面８ａ，８ｃの
影響を受けにくい。
【００１７】エアベアリング２６ａ〜２６ｄには、Ｘ軸
キャリッジ７の孔７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄからＸ軸キャ
リッジ７内に挿入されたチューブ１７ａ，１７ｂ，１７
ｃ，１７ｄを通じて高圧空気供給源１９から高圧空気が
供給される。また、Ｚ軸スピンドル８内には、チューブ
１８を通じて高圧空気供給源１９から高圧空気が供給さ
れる。チューブ１８の先端はＺ軸スピンドル８の上部に
接続され、高圧空気がＺ軸スピンドル８内に送り込まれ
る。チューブ１７ａ〜１７ｄはチューブ１８に連通して
おり、チューブ１７ａ〜１７ｄ及びチューブ１８に送り
出される高圧空気は同じ高圧空気供給源１９からのもの
であり、当然高圧空気の温度も同じである。Ｚ軸スピン
ドル８内に送り込まれた高圧空気はＺ軸スピンドル８の
下部に挿着されたチューブホルダ４３の周辺から外部に
流出する。
キャリッジ７の孔７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄからＸ軸キャ
リッジ７内に挿入されたチューブ１７ａ，１７ｂ，１７
ｃ，１７ｄを通じて高圧空気供給源１９から高圧空気が
供給される。また、Ｚ軸スピンドル８内には、チューブ
１８を通じて高圧空気供給源１９から高圧空気が供給さ
れる。チューブ１８の先端はＺ軸スピンドル８の上部に
接続され、高圧空気がＺ軸スピンドル８内に送り込まれ
る。チューブ１７ａ〜１７ｄはチューブ１８に連通して
おり、チューブ１７ａ〜１７ｄ及びチューブ１８に送り
出される高圧空気は同じ高圧空気供給源１９からのもの
であり、当然高圧空気の温度も同じである。Ｚ軸スピン
ドル８内に送り込まれた高圧空気はＺ軸スピンドル８の
下部に挿着されたチューブホルダ４３の周辺から外部に
流出する。
【００１８】上述のようにエアベアリング２６ａ〜２６
ｄとＺ軸スピンドル８とに同温の高圧空気が供給するよ
うにしたので、Ｚ軸スピンドル８の外壁面と内壁面とに
温度差が生じず、Ｚ軸スピンドル８が樽形や糸巻き形に
変形しない。したがって、Ｚ軸スピンドル８の案内面に
当たる側面８ｂ，８ｄは一定の真直度が保たれ、安定し
た測定精度が得られる。
ｄとＺ軸スピンドル８とに同温の高圧空気が供給するよ
うにしたので、Ｚ軸スピンドル８の外壁面と内壁面とに
温度差が生じず、Ｚ軸スピンドル８が樽形や糸巻き形に
変形しない。したがって、Ｚ軸スピンドル８の案内面に
当たる側面８ｂ，８ｄは一定の真直度が保たれ、安定し
た測定精度が得られる。
【００１９】また、同一の高圧空気供給源１９からＺ軸
スピンドル８とエアベアリング２６ａ〜２６ｄとに高圧
空気を供給するようにしたので、それぞれ別個の高圧空
気供給源からＺ軸スピンドル８とエアベアリング２６ａ
〜２６ｄとに高圧空気を供給する場合のように、各供給
源からの空気の温度が同じになるように調整する必要が
ない。したがって、供給する高圧空気の温度調整が不要
になり、構成も簡素化でき、製造コストを低減すること
ができる。
スピンドル８とエアベアリング２６ａ〜２６ｄとに高圧
空気を供給するようにしたので、それぞれ別個の高圧空
気供給源からＺ軸スピンドル８とエアベアリング２６ａ
〜２６ｄとに高圧空気を供給する場合のように、各供給
源からの空気の温度が同じになるように調整する必要が
ない。したがって、供給する高圧空気の温度調整が不要
になり、構成も簡素化でき、製造コストを低減すること
ができる。
【００２０】図３はこの発明の他の実施例に係る三次元
測定機の要部を示す断面図である。前述の実施例と共通
する部分には同一符号を付して説明を省略する。前述の
実施例では単にチューブ１８の先端をＺ軸スピンドル８
の上部に接続して高圧空気をＺ軸スピンドル８内に送り
込むようにした場合について述べたが、これに代え、図
３に示すように、Ｚ軸スピンドル８の上部に接続したチ
ューブ１８の先端に絞り４０を介してサイレンサ４１を
装着し、絞り４０及びサイレンサー４１を通じて高圧空
気をＺ軸スピンドル８内に送り込むようにしてもよい。
測定機の要部を示す断面図である。前述の実施例と共通
する部分には同一符号を付して説明を省略する。前述の
実施例では単にチューブ１８の先端をＺ軸スピンドル８
の上部に接続して高圧空気をＺ軸スピンドル８内に送り
込むようにした場合について述べたが、これに代え、図
３に示すように、Ｚ軸スピンドル８の上部に接続したチ
ューブ１８の先端に絞り４０を介してサイレンサ４１を
装着し、絞り４０及びサイレンサー４１を通じて高圧空
気をＺ軸スピンドル８内に送り込むようにしてもよい。
【００２１】この実施例の三次元測定機によれば、チュ
ーブ１８からＺ軸スピンドル８内に導入される高圧空気
を絞り４０で絞ることによって空気の消費量を抑え、電
力消費量を低減することができるとともに、サイレンサ
ー４１で空気導入時の騒音を抑制することができる。こ
こでは、ばね予圧式エアベアリング構造として、ピスト
ンをバネで支持する構造を示したが、板ばねでエアベア
リングを支持してもよいし、ばね予圧が与えられるもの
ならば何でもよい。
ーブ１８からＺ軸スピンドル８内に導入される高圧空気
を絞り４０で絞ることによって空気の消費量を抑え、電
力消費量を低減することができるとともに、サイレンサ
ー４１で空気導入時の騒音を抑制することができる。こ
こでは、ばね予圧式エアベアリング構造として、ピスト
ンをバネで支持する構造を示したが、板ばねでエアベア
リングを支持してもよいし、ばね予圧が与えられるもの
ならば何でもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
の座標測定機によれば、Ｚ軸スピンドルの外壁面と内壁
面とに温度差が生じず、Ｚ軸スピンドルが例えば樽形や
糸巻き形に変形しないので、Ｚ軸スピンドルの案内面は
一定の真直度が保たれ、安定した測定精度が得られる。
の座標測定機によれば、Ｚ軸スピンドルの外壁面と内壁
面とに温度差が生じず、Ｚ軸スピンドルが例えば樽形や
糸巻き形に変形しないので、Ｚ軸スピンドルの案内面は
一定の真直度が保たれ、安定した測定精度が得られる。
【００２３】また、請求項２記載の発明の座標測定機に
よれば、同一の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリ
ングとに高圧空気を供給するようにしたので、それぞれ
別個の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリングとに
高圧空気を供給する場合のように、各供給源からの空気
の温度が同じになるように調整する必要がなく、構成の
簡素化によって製造コストを低減することができる。
よれば、同一の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリ
ングとに高圧空気を供給するようにしたので、それぞれ
別個の供給源からＺ軸スピンドルとエアベアリングとに
高圧空気を供給する場合のように、各供給源からの空気
の温度が同じになるように調整する必要がなく、構成の
簡素化によって製造コストを低減することができる。
【００２４】更に、請求項３記載の発明の座標測定機に
よれば、Ｚ軸スピンドルが供給される高圧空気の供給量
を調整する調整手段と、供給時の音を消すサイレンサー
とを備えているので、高圧空気の消費量を抑制して電力
消費量を低減することができるとともに、Ｚ軸スピンド
ル内に高圧空気を導入する際に生じる音を消すことがで
き、騒音を抑制することができる。
よれば、Ｚ軸スピンドルが供給される高圧空気の供給量
を調整する調整手段と、供給時の音を消すサイレンサー
とを備えているので、高圧空気の消費量を抑制して電力
消費量を低減することができるとともに、Ｚ軸スピンド
ル内に高圧空気を導入する際に生じる音を消すことがで
き、騒音を抑制することができる。
【図１】図１は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】図２はこの発明の一実施例に係る三次元測定機
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】図３はこの発明の他の実施例に係る三次元測定
機の要部を示す断面図である。
機の要部を示す断面図である。
【図４】図４は従来の三次元測定機の斜視図である。
【図５】図５は図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】図６はＺ軸スピンドルの変形状態を示す説明図
である。
である。
１ 定盤 ２ 門型構造体 ３，４ 支柱 ５ Ｘ軸ビーム ６ Ｙ軸ガイドレール ７ Ｘ軸キャリッジ ８ Ｚ軸スピンドル １０ 測定子 １７ａ〜１７ｄ チューブ １９ 高圧空気供給源 ２６ａ〜２６ｄ エアベアリング ４０ 絞り ４１ サイレンサー
Claims (3)
- 【請求項１】 測定物を載置する定盤と、 前記定盤上に配置された一対の支持部材と、前記支持部
材間に架け渡されたＸビームとで構成され、Ｙ軸方向へ
移動可能な構造体と、 測定子を有する中空構造のＺ軸スピンドルと、 前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向へ移動可能に支持するエ
アベアリングを有するキャリッジとを備えた座標測定機
において、 前記Ｚ軸スピンドル内に前記エアベアリングに供給され
る空気とほぼ同温の空気を供給する空気供給手段を備え
ていることを特徴とする座標測定機。 - 【請求項２】 前記空気供給手段は、前記Ｚ軸スピンド
ルと前記エアベアリングとに高圧空気を供給することを
特徴とする請求項１記載の座標測定機。 - 【請求項３】 前記Ｚ軸スピンドルは、供給される前記
空気の供給量を調整する調整手段と、供給時の音を消す
サイレンサーとを備えていることを特徴とする請求項１
又は２記載の座標測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6277069A JPH08114442A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6277069A JPH08114442A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 座標測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08114442A true JPH08114442A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17578354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6277069A Withdrawn JPH08114442A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 座標測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08114442A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016517957A (ja) * | 2013-04-02 | 2016-06-20 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 測定対象物の形状輪郭を割り出す方法 |
| EP3392610A1 (en) * | 2017-04-19 | 2018-10-24 | Renishaw PLC | Bearing mount |
| US10646883B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-05-12 | Renishaw Plc | Contamination trap |
| US10826369B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-11-03 | Renishaw Plc | Positioning apparatus with relatively moveable members and a linear motor mounted thereon |
| US11035658B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-06-15 | Renishaw Plc | Positioning apparatus |
| US11060836B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-07-13 | Renishaw Plc | Bearing arrangement |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP6277069A patent/JPH08114442A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016517957A (ja) * | 2013-04-02 | 2016-06-20 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 測定対象物の形状輪郭を割り出す方法 |
| US10060737B2 (en) | 2013-04-02 | 2018-08-28 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method and machine for determining a shape contour on a measurement object |
| EP3392610A1 (en) * | 2017-04-19 | 2018-10-24 | Renishaw PLC | Bearing mount |
| US10646883B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-05-12 | Renishaw Plc | Contamination trap |
| US10718602B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-07-21 | Renishaw Plc | Bearing mount |
| US10826369B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-11-03 | Renishaw Plc | Positioning apparatus with relatively moveable members and a linear motor mounted thereon |
| US11035658B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-06-15 | Renishaw Plc | Positioning apparatus |
| US11060836B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-07-13 | Renishaw Plc | Bearing arrangement |
| US11236987B2 (en) | 2017-04-19 | 2022-02-01 | Renishaw Plc | Load bearing structure |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |