JPH08109463A - Ultrahigh speed plasma jet generating device and production of sprayed coating using the same device - Google Patents
Ultrahigh speed plasma jet generating device and production of sprayed coating using the same deviceInfo
- Publication number
- JPH08109463A JPH08109463A JP6246472A JP24647294A JPH08109463A JP H08109463 A JPH08109463 A JP H08109463A JP 6246472 A JP6246472 A JP 6246472A JP 24647294 A JP24647294 A JP 24647294A JP H08109463 A JPH08109463 A JP H08109463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal spray
- container
- pressure plasma
- plasma
- sprayed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超高速プラズマジェッ
ト発生装置及び該装置を用いた溶射被膜製造方法に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultra-high speed plasma jet generator and a method for producing a thermal spray coating using the device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の代表的なプラズマ溶射装置につい
て、図８を用いて説明する。2. Description of the Related Art A typical conventional plasma spraying apparatus will be described with reference to FIG.
【０００３】従来の代表的なプラズマ溶射装置は、筒状
の電極１の軸心位置に棒状の電極２を配置し、筒状の電
極１の一端部を閉止部材３で閉止することにより、電極
１の他端部にノズル開口４を有する溶射装置本体５を構
成し、電極１の一端部の閉止部材３に、各種作動ガス６
を導入可能な作動ガス供給流路７を挿入配置し、電極
１，２間に直流電源８を図示しないスイッチなどにより
接続可能としたものである。In a typical conventional plasma spraying apparatus, a rod-shaped electrode 2 is arranged at the axial center position of a cylindrical electrode 1, and one end of the cylindrical electrode 1 is closed by a closing member 3 to form an electrode. 1 comprises a thermal spraying apparatus main body 5 having a nozzle opening 4 at the other end thereof, and various working gases 6 are provided on the closing member 3 at one end of the electrode 1.
A working gas supply flow path 7 capable of introducing the above is inserted and arranged, and a DC power source 8 can be connected between the electrodes 1 and 2 by a switch or the like not shown.
【０００４】尚、９は電極１，２間に発生されるアー
ク、１０はノズル開口４から噴射されるプラズマ流、１
１はプラズマ流１０に対し溶射しようとする溶射材料粒
子１２を供給する溶射材料供給口、１３は被溶射物、１
４は被溶射物１３上に形成される溶射被膜である。Reference numeral 9 is an arc generated between the electrodes 1 and 2, 10 is a plasma flow injected from the nozzle opening 4, 1
1 is a thermal spray material supply port for supplying thermal spray material particles 12 to be sprayed to a plasma stream 10, 13 is a sprayed object, 1
Reference numeral 4 is a thermal spray coating formed on the object to be sprayed 13.
【０００５】そして、電極１，２間に作動ガス供給流路
７を介して各種作動ガス６を導入し、直流電源８を用い
て電極１，２間にアーク放電を行わせる。Then, various working gases 6 are introduced between the electrodes 1 and 2 through a working gas supply passage 7, and an arc discharge is caused between the electrodes 1 and 2 by using a DC power supply 8.
【０００６】すると、アーク９のエネルギーによって、
溶射装置本体５内部へ供給された作動ガス６が高温に加
熱され、プラズマ化されて熱膨張され、プラズマ流１０
（プラズマジェット）となって電極１先端のノズル開口
４から高速に噴射される。Then, depending on the energy of the arc 9,
The working gas 6 supplied to the inside of the thermal spraying apparatus main body 5 is heated to a high temperature, turned into plasma and thermally expanded, and the plasma flow 10
It becomes (plasma jet) and is jetted at high speed from the nozzle opening 4 at the tip of the electrode 1.
【０００７】そこで、プラズマ流１０に、外部から溶射
材料供給口１１を介して溶射材料粒子１２を注入して、
溶射材料粒子１２を加熱、溶融させ、場合によっては、
プラズマ流１０を構成する物質と溶射材料粒子１２とを
化学反応させて、被溶射物１３に数１０〜数１００ｍ／
ｓ程度の速度で衝突させ、被溶射物１３の表面に溶射被
膜１４を堆積させる。Then, the thermal spray material particles 12 are injected into the plasma stream 10 from the outside through the thermal spray material supply port 11,
The thermal spray material particles 12 are heated and melted, and in some cases,
The substance constituting the plasma stream 10 and the thermal spraying material particles 12 are chemically reacted with each other, and the sprayed object 13 has several tens to several hundreds m / m.
The thermal spray coating 14 is deposited on the surface of the sprayed object 13 by causing the thermal spray to collide at a speed of about s.
【０００８】上記プラズマ溶射によって作られる溶射被
膜１４の緻密度、及び、被溶射物１３との接合強度は、
産業利用上重要な特性であり、例えば、ガスタービンエ
ンジンのタービン翼表面に施す耐熱被膜は、被膜中の空
孔を極力低減し且つ母材との接合強度を極力大きくする
ことが要求される。The denseness of the thermal spray coating 14 produced by the plasma spray and the bonding strength with the object 13 to be sprayed are
This is an important property for industrial use. For example, a heat-resistant coating applied to the surface of a turbine blade of a gas turbine engine is required to reduce the pores in the coating as much as possible and to maximize the bonding strength with the base material.
【０００９】溶射被膜１４の緻密度や接合強度等の特性
を左右する重要な要因は、溶射材料粒子１２の温度と衝
突速度である。[0009] The temperature and the collision speed of the thermal spray material particles 12 are important factors that affect the characteristics of the thermal spray coating 14 such as the density and the bonding strength.
【００１０】一般に溶射被膜１４は、衝突時の機械的変
形で偏平化した溶射材料粒子１２が積層することによっ
て形成される。従って、溶射被膜１４の緻密度を向上さ
せるためには、加熱によって十分に軟化した溶射材料粒
子１２を、より高速度で被溶射物１３と衝突させ、溶射
材料粒子１２の偏平化を促進させることが有効とされて
いる。Generally, the thermal spray coating 14 is formed by laminating the thermal spray material particles 12 flattened by mechanical deformation at the time of collision. Therefore, in order to improve the denseness of the thermal spray coating 14, the thermal spray material particles 12 sufficiently softened by heating are made to collide with the object to be sprayed 13 at a higher speed to promote the flattening of the thermal spray material particles 12. Is valid.
【００１１】又、被溶射物１３表面に溶射材料粒子１２
が高速で衝突することで、溶射被膜１４と被溶射物１３
との境界領域での両者の機械的な接触が強化されるの
で、溶射被膜１４と被溶射物１３の接合強度が向上する
ことも期待できる。即ち、溶融した溶射材料粒子１２の
衝突速度を増加させることで、溶射被膜１４の緻密度と
接合強度の両方を向上させることが期待できる。Further, the sprayed material particles 12 are formed on the surface of the sprayed object 13.
Colliding at high speed, the sprayed coating 14 and the sprayed object 13
Since the mechanical contact between the two is strengthened in the boundary region between the and, it can be expected that the bonding strength between the sprayed coating 14 and the sprayed object 13 is improved. That is, by increasing the collision speed of the melted thermal spray material particles 12, it can be expected to improve both the density and the bonding strength of the thermal spray coating 14.
【００１２】しかし、上記従来のプラズマ溶射技術で
は、プラズマ流１０に注入した溶射材料粒子１２の飛行
速度は最大でも６００ｍ／ｓ程度であり、それ以上の衝
突速度を得ることは技術的に困難である。従って、従来
型のプラズマ溶射被膜１４の緻密度や接合強度の向上に
は限界がある。However, in the above-mentioned conventional plasma spraying technology, the flight speed of the sprayed material particles 12 injected into the plasma stream 10 is about 600 m / s at the maximum, and it is technically difficult to obtain a collision speed higher than that. is there. Therefore, there is a limit to the improvement of the density and the bonding strength of the conventional plasma spray coating 14.
【００１３】そこで、従来のプラズマ溶射技術の限界を
越える粒子衝突速度を得るため、近年、レールガンを用
いて超高速・高密度なプラズマジェット発生装置が研究
開発されている。Therefore, in order to obtain a particle collision velocity exceeding the limit of the conventional plasma spraying technique, an ultrahigh-speed and high-density plasma jet generator using a rail gun has been researched and developed in recent years.
【００１４】レールガンを用いた超高速プラズマジェッ
ト発生装置は、図９に示すように、一対のレール電極１
５，１６間に溶射材料から成る厚さ０．３〜０．５ｍｍ
程度の電機子１７を設置し、瞬間大電流電源１８によっ
てレール電極１５，１６間に放電を起こさせることによ
り、放電のエネルギーで電機子１７全体を溶融・飛散さ
せ、このときレール電極１５，１６間に発生する高速の
プラズマジェット１９と共に、電機子１７が溶融されて
できた溶射材料粒子１２を被溶射物１３に吹付けさせる
ようにしたものである。As shown in FIG. 9, an ultrahigh-speed plasma jet generator using a rail gun includes a pair of rail electrodes 1
0.3 to 0.5 mm thick composed of thermal spray material between 5 and 16
By installing an armature 17 of a certain degree and causing a discharge between the rail electrodes 15 and 16 by the instantaneous high-current power supply 18, the entire armature 17 is melted and scattered by the energy of the discharge. With the high-speed plasma jet 19 generated between them, the thermal spray material particles 12 formed by melting the armature 17 are sprayed onto the thermal spray object 13.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記レ
ールガンを用いた超高速プラズマジェット発生装置の場
合、発生するプラズマジェット１９が、極めて非定常的
な団塊状プラズマの形態を取るため、特に、プラズマジ
ェット１９を構成する物質と溶射材料粒子１２との反応
を利用する、反応性プラズマ溶射を行うために必要であ
る溶射材料粒子１２の均一な加熱が困難であるという問
題がある。However, in the case of the ultra-high-speed plasma jet generator using the above railgun, the generated plasma jet 19 takes the form of extremely unsteady nodular plasma, so that the plasma jet is particularly useful. There is a problem that it is difficult to uniformly heat the spray material particles 12 necessary for performing reactive plasma spraying, which utilizes the reaction between the substance forming 19 and the spray material particles 12.
【００１６】又、レールガンを用いたプラズマジェット
発生装置では、１回の放電で電機子１７が溶融され尽く
してしまうので、溶射の度に新たに電機子１７をセット
しなければならないという問題があった。Further, in the plasma jet generator using the rail gun, the armature 17 is completely melted by one discharge, so that there is a problem that the armature 17 must be newly set each time the thermal spraying is performed. It was
【００１７】本発明は、上述の実情に鑑み、プラズマ溶
射される溶射材料粒子に対する加速・加熱能力や反応性
を損うことなく、従来のプラズマ溶射方法の限界を越え
る衝突速度を得られるようにした超高速プラズマジェッ
ト発生装置及び該装置を用いた溶射被膜製造方法を提供
することを目的とするものである。In view of the above situation, the present invention provides a collision velocity exceeding the limit of the conventional plasma spraying method without impairing the acceleration / heating ability and reactivity for the plasma sprayed material particles. It is an object of the present invention to provide an ultra-high-speed plasma jet generator described above and a method for producing a thermal spray coating using the device.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
発明者らは鋭意研究を重ねた結果、本発明を成すに至っ
た。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention have conducted extensive studies, and as a result, achieved the present invention.
【００１９】即ち、本発明の第一の手段は、一端にノズ
ル開口を有する筒状の容器内に、対向する一対の溶射材
料電極を、容器内部にその端部を露出させた状態で、軸
線方向に複数段配置し、各対の溶射材料電極間に瞬間大
電流電源を接続したことを特徴とする超高速プラズマジ
ェット発生装置にかかるものである。That is, the first means of the present invention is to provide a pair of opposing sprayed material electrodes in a cylindrical container having a nozzle opening at one end, with the ends thereof exposed inside the container. The present invention relates to an ultra-high-speed plasma jet generator characterized in that a plurality of stages are arranged in a direction and an instantaneous high-current power source is connected between each pair of thermal spray material electrodes.
【００２０】この場合において、容器の内壁をセラミッ
クスで構成するようにして良い。In this case, the inner wall of the container may be made of ceramics.
【００２１】又、容器内部に、元素供給物質を配置する
ようにしても良い。Further, an element supplying substance may be arranged inside the container.
【００２２】更に、容器内部に、作動ガスを供給可能な
作動ガス供給流路を接続するようにしても良い。Further, a working gas supply passage capable of supplying working gas may be connected to the inside of the container.
【００２３】更に又、装置全体を作動ガスが充満された
室内に収容するようにしても良い。Furthermore, the entire apparatus may be housed in a chamber filled with working gas.
【００２４】本発明の第二の手段は、容器内に軸線方向
に沿って配置された互いに対向する複数対の溶射材料電
極間に、瞬間大電流のアーク放電を発生させて、容器内
に１気圧以上１００００気圧程度の高圧プラズマを充満
させることにより、高圧プラズマのエネルギーで溶射材
料電極を溶融させ、溶射材料電極の溶融によって発生し
た種々の溶射材料粒子を高圧プラズマ中に混和させて、
これを高圧プラズマと共に容器一端部のノズル開口から
毎秒１ｋｍ以上の高速で噴出させることにより、被溶射
物上に溶射被膜を形成することを特徴とする溶射被膜製
造方法にかかるものである。A second means of the present invention is to generate an instantaneous high-current arc discharge between a plurality of pairs of spraying material electrodes arranged in the container along the axial direction and facing each other. By filling the high-pressure plasma of at least about 10000 atm with the high-pressure plasma, the thermal spray material electrode is melted by the energy of the high-pressure plasma, and various thermal spray material particles generated by melting of the thermal spray material electrode are mixed into the high-pressure plasma,
The present invention relates to a method for producing a thermal spray coating, characterized in that a thermal spray coating is formed on a material to be sprayed by jetting this together with high-pressure plasma from a nozzle opening at one end of the container at a high speed of 1 km per second or more.
【００２５】この場合において、容器の内壁をセラミッ
クスで構成することにより、高圧プラズマのエネルギー
で容器が溶融されにくくなるようにしても良い。In this case, the inner wall of the container may be made of ceramic so that the container is less likely to be melted by the energy of the high-pressure plasma.
【００２６】又、容器内に任意の元素供給物質を設置す
ることにより、高圧プラズマのエネルギーで元素供給物
質を溶融させて別の溶射材料粒子を高圧プラズマ中に混
和させるようにしても良い。Further, by installing an arbitrary element supply substance in the container, the element supply substance may be melted by the energy of the high pressure plasma to mix other thermal spray material particles in the high pressure plasma.
【００２７】更に、容器内に任意の作動ガスを充填する
ことにより、作動ガスを高圧プラズマ化させるようにし
ても良い。Further, the working gas may be turned into high-pressure plasma by filling the working gas with an arbitrary working gas.
【００２８】[0028]
【作用】瞬間大電流電源から溶射材料電極へ瞬間大電流
を供給すると、容器内で対向する溶射材料電極間でアー
ク放電が発生され、容器内に高密度で１〜１００００気
圧と高圧の高圧プラズマが発生される。When a large instantaneous current is supplied from the instantaneous large current power source to the spraying material electrode, arc discharge is generated between the opposing spraying material electrodes in the container, and high-pressure plasma with a high density of 1 to 10000 atm in the container. Is generated.
【００２９】それと同時に、アークのエネルギーにより
溶射材料電極の表面が溶融され、溶射材料電極を構成す
る物質が微細な粒子状態やガス状態となって（溶射材料
粒子）高圧プラズマ中に混入する。At the same time, the surface of the thermal spray material electrode is melted by the energy of the arc, and the substances forming the thermal spray material electrode are mixed into the high pressure plasma in the form of fine particles or gas (spray material particles).
【００３０】容器内に充満された高圧プラズマは、容器
のノズル開口から秒速１ｋｍ以上数ｋｍの超高速で噴出
されて、被溶射物に吹付けられ、その結果、被溶射物上
に溶射材料電極を構成する金属の溶射被膜が形成され
る。The high-pressure plasma filled in the container is ejected from the nozzle opening of the container at an ultrahigh speed of 1 km / s to several km / second, and is sprayed onto the object to be sprayed. As a result, the material electrode for thermal spraying is sprayed on the object to be sprayed. The thermal sprayed coating of the metal forming the is formed.
【００３１】そして、容器内に元素供給物質を配置した
場合には、高圧プラズマの高温加熱によって元素供給物
質の表面が溶融・蒸発し、微細な粒子状態やガス状態の
前記とは異なる溶射材料粒子が発生して高圧プラズマ中
に混入・混和され、条件によっては高圧プラズマを構成
する物質や溶射材料粒子と化学反応を生じ、その結果、
例えば、容器内にポリエチレンのような炭素化合物の元
素供給物質を設置した場合には、金属炭化物を含む溶射
被膜が形成される。When the element supply material is placed in the container, the surface of the element supply material is melted and evaporated by the high temperature heating of the high-pressure plasma, and the thermal spray material particles in a fine particle state or a gas state different from the above. Are generated and are mixed / mixed in the high-pressure plasma, and depending on the conditions, a chemical reaction occurs with substances or thermal spray material particles forming the high-pressure plasma.
For example, when a carbon compound element supplying substance such as polyethylene is installed in a container, a thermal spray coating containing metal carbide is formed.
【００３２】更に、作動ガス供給流路から、或いは、室
内に各種の作動ガスを供給すれば、作動ガスが高圧プラ
ズマ化され、例えば、作動ガスをメタンやエチレンなど
の炭化水素ガスとした場合には、金属炭化物を含む溶射
被膜が、又、作動ガスを窒素ガスとした場合には、金属
窒化物を含む溶射被膜が形成される。Furthermore, when various working gases are supplied from the working gas supply passage or into the room, the working gas is turned into high-pressure plasma. For example, when the working gas is a hydrocarbon gas such as methane or ethylene. As for the thermal spray coating containing metal carbide, when the working gas is nitrogen gas, the thermal spray coating containing metal nitride is formed.
【００３３】このように、多段の溶射材料電極を用いて
複数のアークを発生させるようにしているため、高密度
で高圧の定常的な高圧プラズマを発生することが可能と
なるので、高圧プラズマを構成する物質との反応を利用
する、反応性プラズマ溶射を行うために必要な溶射材料
粒子の均一な加熱が可能となる。As described above, since a plurality of arcs are generated by using the multi-stage sprayed material electrodes, it is possible to generate a high-density and high-pressure steady high-pressure plasma. It is possible to uniformly heat the spray material particles necessary for performing reactive plasma spraying by utilizing the reaction with the constituent substances.
【００３４】又、１〜１００００気圧もの高圧の高圧プ
ラズマを発生させることができるので、溶射材料粒子の
加速・加熱能力や反応性を損うことなく、従来のプラズ
マ溶射方法の限界を越える高い衝突速度を得ることがで
き、溶射被膜の緻密性や接着強度を飛躍的に向上させる
ことができる。Further, since a high-pressure plasma with a high pressure of 1 to 10000 atm can be generated, a high collision exceeding the limit of the conventional plasma spraying method without impairing the acceleration / heating ability and reactivity of the sprayed material particles. The speed can be obtained, and the denseness and adhesive strength of the thermal spray coating can be dramatically improved.
【００３５】更に、溶射材料電極や元素供給物質がなく
ならない限り、これらの再セットを行わなくとも、連続
して溶射を行わせることができる。Further, as long as the thermal spray material electrode and the element supplying substance are not exhausted, the thermal spray can be continuously performed without resetting them.
【００３６】更に又、容器の内面にセラミックス製の焼
結体チューブを使用しているので、焼結体チューブが高
圧プラズマの熱で変質したり、溶融したりして、溶射被
膜に悪影響を与えることが低減・防止される。Furthermore, since the ceramic sintered tube is used on the inner surface of the container, the sintered tube is altered or melted by the heat of the high-pressure plasma, which adversely affects the thermal spray coating. Is reduced and prevented.
【００３７】[0037]
【実施例】図１〜図３は、本発明の一実施例である。1 to 3 show an embodiment of the present invention.
【００３８】一端にノズル開口２０を有する筒状の容器
２１を設け、該容器２１に対し、互いに対向する対の溶
射材料電極２２〜２５をその端面が容器２１内部に露出
するように、軸線方向に間隔を置き複数列（図では便宜
上４列となっているが、実際には、１０列以上設けるよ
うにする）挿入配置して、超高速プラズマジェット発生
装置本体２６を構成し、各対の溶射材料電極２２〜２５
間に、スイッチ２７を介して瞬間大電流電源２８を接続
する。A cylindrical container 21 having a nozzle opening 20 at one end is provided, and a pair of spraying material electrodes 22 to 25 facing each other are provided in the container 21 in the axial direction so that their end faces are exposed inside the container 21. A plurality of rows (four rows are shown for convenience in the figure, but 10 rows or more are actually provided) are inserted and arranged at intervals to construct the ultra-high-speed plasma jet generator main body 26, and Thermal spray material electrodes 22-25
In between, an instantaneous high current power supply 28 is connected via a switch 27.
【００３９】前記容器２１は、例えば、内径が１３ｍｍ
で肉厚が２ｍｍのアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）などのセラミッ
クス製の焼結体チューブ２９の外周にガラス繊維を厚く
巻き付け、該ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させて絶
縁体３０を形成し、該絶縁体３０を断面が矩形となるよ
うに機械加工した後、絶縁体３０の上下の面（左右の面
でも良い）に絶縁ボルト３１及び絶縁ナット３２を用い
てレール状導体３３，３４を締結固定して構成する。The container 21 has an inner diameter of 13 mm, for example.
Glass fiber is wound around the outer circumference of a sintered tube 29 made of ceramics such as alumina (Al 2 O 3 ) having a thickness of 2 mm, and the glass fiber is impregnated with an epoxy resin to form an insulator 30. After the insulator 30 is machined to have a rectangular cross section, the rail-shaped conductors 33 and 34 are fastened and fixed to the upper and lower surfaces (or left and right surfaces) of the insulator 30 using the insulating bolts 31 and the insulating nuts 32. And configure.
【００４０】溶射材料電極２２〜２５は、形成しようと
する溶射被膜３５の種類や電極としての機能などに応じ
て選定するようにし、例えば、チタン、タングステン、
ジルコニウム、アルミ、シリコン、及びこれらの化合物
（例えば、炭化物や窒化物）或いは、グラファイトなど
を用いる。The thermal spray material electrodes 22 to 25 are selected according to the type of the thermal spray coating 35 to be formed and the function as an electrode. For example, titanium, tungsten,
Zirconium, aluminum, silicon, a compound thereof (for example, carbide or nitride), graphite, or the like is used.
【００４１】尚、溶射材料電極２２〜２５の材質は、各
段ごとに変えるようにしたり、各対の中でも変えるよう
にすることができる。The material of the thermal spraying material electrodes 22 to 25 can be changed for each step, or can be changed within each pair.
【００４２】又、必要に応じて、容器２１内に元素供給
物質３６を配置する。元素供給物質３６は、溶射材料電
極２２〜２５と同様に、形成しようとする溶射被膜３５
の種類などに応じて選定する。Further, the element supply material 36 is arranged in the container 21 as required. The element supply material 36 is the same as the thermal spray material electrodes 22 to 25, and the thermal spray coating 35 to be formed.
Select according to the type.
【００４３】更に、必要に応じて、容器２１の他端部
に、窒素ガスや炭化水素ガスなどの各種作動ガス３７を
導入可能な作動ガス供給流路３８を挿入配置する。Further, if necessary, a working gas supply passage 38 into which various working gases 37 such as nitrogen gas and hydrocarbon gas can be introduced is inserted and arranged at the other end of the container 21.
【００４４】或いは、作動ガス供給流路３８に替えて、
装置全体を作動ガス３７が充満された室３９内に配置す
るようにしても良い。Alternatively, instead of the working gas supply passage 38,
The entire device may be arranged in a chamber 39 filled with the working gas 37.
【００４５】又、室３９と作動ガス供給流路３８を併用
するようにしても良い。Further, the chamber 39 and the working gas supply passage 38 may be used together.
【００４６】尚、４０はレール状導体３３，３４に取付
けられた、溶射材料電極２２〜２５を保持するための電
極ホルダー、４１は電極ホルダー４０と絶縁体３０との
間に設けられたシール用のＯリング、４２は対向する溶
射材料電極２２〜２５間に発生されるアーク、４３は容
器２１内に発生される高圧プラズマ、４４は溶射材料電
極２２〜２５が溶融されてできた溶射材料粒子、４４’
は元素供給物質３６が溶融されてできた溶射材料粒子、
４５は溶射被膜３５を形成しようとする被溶射物であ
る。Reference numeral 40 denotes an electrode holder attached to the rail-shaped conductors 33 and 34 for holding the thermal spray material electrodes 22 to 25, and 41 denotes a seal provided between the electrode holder 40 and the insulator 30. O-ring, 42 is an arc generated between opposing spray material electrodes 22 to 25, 43 is high-pressure plasma generated in the container 21, 44 is spray material particles formed by melting the spray material electrodes 22 to 25 , 44 '
Is a thermal spray material particle formed by melting the element supply material 36,
Reference numeral 45 is an object to be sprayed for forming the sprayed coating 35.
【００４７】又、容器２１内の溶射前の圧力は、減圧状
態に設定しておいても良い。The pressure in the container 21 before thermal spraying may be set to a reduced pressure state.
【００４８】次に、作動について説明する。Next, the operation will be described.
【００４９】スイッチ２７を閉じ瞬間大電流電源２８
（充電電圧は１０ｋＶ程度）から数１００Ｖ，１００ｋ
Ａ程度の瞬間大電流を供給する。The switch 27 is closed and the instantaneous high-current power supply 28 is closed.
(Charging voltage is about 10kV) to several 100V, 100k
Instantaneous large current of about A is supplied.
【００５０】すると、先ず、容器２１内で最も回路の短
い溶射材料電極２２，２２間でアーク放電が発生され、
容器２１内に高圧プラズマ４３が発生される。Then, first, arc discharge is generated between the sprayed material electrodes 22 and 22 having the shortest circuit in the container 21,
High-pressure plasma 43 is generated in the container 21.
【００５１】それと同時に、アーク４２のエネルギーに
より溶射材料電極２２の表面が溶融され、溶射材料電極
２２を構成する物質が微細な粒子状態やガス状態となっ
て（溶射材料粒子４４）高圧プラズマ４３中に混入す
る。At the same time, the surface of the thermal spray material electrode 22 is melted by the energy of the arc 42, and the substance forming the thermal spray material electrode 22 becomes a fine particle state or a gas state (spray material particles 44) in the high pressure plasma 43. Mix in.
【００５２】溶射材料粒子４４を混入された高圧プラズ
マ４３は、ローレンツ力によってノズル開口２０側へ移
動されることとなり、これに伴って溶射材料電極２３〜
２５間に次々とアーク放電が発生され、容器２１内に高
密度で１〜１００００気圧と高圧の高圧プラズマ４３が
充満される。The high-pressure plasma 43 mixed with the spray material particles 44 is moved to the nozzle opening 20 side by the Lorentz force, and accordingly, the spray material electrodes 23 to 23.
An arc discharge is generated one after another during the period 25, and the high pressure plasma 43 having a high density of 1 to 10000 atm is filled in the container 21.
【００５３】容器２１内に充満された高圧プラズマ４３
は、容器２１のノズル開口２０から秒速１ｋｍ以上数ｋ
ｍの超高速で噴出されて、被溶射物４５に吹付けられ、
その結果、被溶射物４５上に溶射材料電極２２〜２５を
構成する金属の溶射被膜３５が形成される。High-pressure plasma 43 filled in the container 21
Is from the nozzle opening 20 of the container 21 to a speed of 1 km or more a few k
It is ejected at a very high speed of m and is sprayed on the material to be sprayed 45,
As a result, the metal spray coating 35 forming the spray material electrodes 22 to 25 is formed on the sprayed object 45.
【００５４】尚、上記作動は一瞬の内に行われる。The above operation is carried out in an instant.
【００５５】この場合、全ての溶射材料電極２２〜２５
の溶射材料を単一種の金属にすれば被溶射物４５表面に
はその金属の溶射被膜３５が形成され、複数種の金属を
溶射材料電極２２〜２５として同時に用いれば金属間化
合物を含む溶射被膜３５が形成される。上記溶射被膜３
５は、溶射材料電極２２〜２５の選定により任意に制御
可能である。In this case, all the sprayed material electrodes 22 to 25
If the thermal spraying material is a single type of metal, the thermal sprayed coating 35 of the metal is formed on the surface of the sprayed object 45. If a plurality of types of metals are simultaneously used as the thermal spraying material electrodes 22 to 25, the thermal sprayed coating containing an intermetallic compound is formed. 35 is formed. The thermal spray coating 3
5 can be arbitrarily controlled by selecting the thermal spray material electrodes 22 to 25.
【００５６】又、溶射材料電極２２〜２５の一部をグラ
ファイト等の炭素溶射材料に置換えれば、金属炭化物を
含む溶射被膜３５が形成される。If a part of the thermal spray material electrodes 22 to 25 is replaced with a carbon spray material such as graphite, a spray coating 35 containing metal carbide is formed.
【００５７】そして、容器２１内に元素供給物質３６を
配置した場合には、高圧プラズマ４３の高温加熱によっ
て元素供給物質３６の表面が溶融・蒸発し、微細な粒子
状態やガス状態の前記とは異なる溶射材料粒子４４’が
発生して高圧プラズマ４３中に混入・混和され、条件に
よっては高圧プラズマ４３を構成する物質や溶射材料粒
子４４と化学反応を生じ、その結果、例えば、容器２１
内にポリエチレンのような炭素化合物の元素供給物質３
６を設置した場合には、金属炭化物を含む溶射被膜３５
が形成される。When the element supply material 36 is arranged in the container 21, the surface of the element supply material 36 is melted and evaporated by the high temperature heating of the high-pressure plasma 43, and the fine particle state or gas state is different from the above. Different thermal spray material particles 44 ′ are generated and mixed and mixed in the high pressure plasma 43, and depending on the conditions, a chemical reaction occurs with the substance forming the high pressure plasma 43 and the thermal spray material particles 44, and as a result, for example, the container 21.
Carbon compound element feed material such as polyethylene 3
6 is installed, the thermal spray coating 35 containing metal carbide
Is formed.
【００５８】更に、作動ガス供給流路３８から、或い
は、室３９内に各種の作動ガス３７を供給すれば、作動
ガス３７が高圧プラズマ４３化され、例えば、作動ガス
３７をメタンやエチレンなどの炭化水素ガスとした場合
には、金属炭化物を含む溶射被膜３５が、又、作動ガス
３７を窒素ガスとした場合には、金属窒化物を含む溶射
被膜３５が形成される。Further, when various working gases 37 are supplied from the working gas supply passage 38 or into the chamber 39, the working gas 37 is turned into high-pressure plasma 43, and the working gas 37 is, for example, methane or ethylene. When the hydrocarbon gas is used, the thermal spray coating 35 containing metal carbide is formed, and when the working gas 37 is nitrogen gas, the thermal spray coating 35 containing metal nitride is formed.
【００５９】本発明によれば、多段の溶射材料電極２２
〜２５を用いて連続的に複数回のアーク４２を発生させ
るようにしているため、高密度で高圧の定常的な高圧プ
ラズマ４３を発生することが可能となるので、高圧プラ
ズマ４３を構成する物質との反応を利用する、反応性プ
ラズマ溶射を行うために必要な溶射材料粒子４４，４
４’の均一な加熱が可能となる。According to the present invention, a multi-stage spray material electrode 22 is provided.
Since the arc 42 is continuously generated a plurality of times by using .about.25, it is possible to generate the high-pressure and high-pressure steady high-pressure plasma 43. Spraying material particles 44, 4 necessary for performing reactive plasma spraying utilizing the reaction with
A uniform heating of 4'is possible.
【００６０】又、１〜１００００気圧もの高圧の高圧プ
ラズマ４３を発生させることができるので、溶射材料粒
子の加速・加熱能力や反応性を損うことなく、従来のプ
ラズマ溶射方法の限界を越える高い衝突速度を得ること
ができ、溶射被膜３５の緻密性や接着強度を飛躍的に向
上させることができる。Further, since the high-pressure plasma 43 having a high pressure of 1 to 10000 atm can be generated, the acceleration and heating ability of the sprayed material particles and the reactivity are not impaired, and the high limit of the conventional plasma spraying method is exceeded. The collision speed can be obtained, and the denseness and adhesive strength of the thermal spray coating 35 can be dramatically improved.
【００６１】更に、溶射材料電極２２〜２５や元素供給
物質３６がなくならない限り、これらの再セットを行わ
なくとも、連続して溶射を行わせることができる。Further, unless the thermal spraying material electrodes 22 to 25 and the element supplying substance 36 are exhausted, the thermal spraying can be continuously performed without resetting them.
【００６２】更に又、容器２１の内面にセラミックス製
の焼結体チューブ２９を使用しているので、焼結体チュ
ーブ２９が高圧プラズマ４３の熱で変質したり、溶融し
たりして、溶射被膜３５に悪影響を与えることが低減・
防止される。Furthermore, since the sintered tube 29 made of ceramics is used on the inner surface of the container 21, the sintered tube 29 is transformed or melted by the heat of the high-pressure plasma 43, so that the thermal spray coating is formed. Reduction of adverse effects on 35
Is prevented.
【００６３】具体例１ 図４は、溶射材料電極２２〜２５を全てタングステンと
した場合、及び、溶射材料電極２２〜２５を全てチタン
とした場合に、被溶射物４５上に形成された溶射被膜３
５のＸ線回折結果を示すグラフである。横軸は回折角、
縦軸は回折Ｘ線強度である。尚、被溶射物４５は、軟鋼
を１２００番の耐水ペーパーで研磨後、アセトン中で超
音波洗浄したものを用いた。Concrete Example 1 FIG. 4 shows a case where the thermal spraying material electrodes 22 to 25 are all made of tungsten and the thermal spraying material electrodes 22 to 25 are all made of titanium. Three
5 is a graph showing the X-ray diffraction result of Sample No. 5. The horizontal axis is the diffraction angle,
The vertical axis represents the diffracted X-ray intensity. The sprayed material 45 used was mild steel polished with No. 1200 water resistant paper and then ultrasonically cleaned in acetone.
【００６４】図４によれば、セラミックス（Ａｌ2Ｏ3）
製の焼結体チューブ２９の壁面から混入したと思われる
Ａｌ2Ｏ3の回折ピークが若干存在するが、金属タングス
テン及び金属チタンを主成分とする溶射被膜３５が製造
できた。According to FIG. 4, ceramics (Al 2 O 3 )
Although there are some diffraction peaks of Al 2 O 3 which are considered to be mixed from the wall surface of the sintered tube 29 made of aluminum, a sprayed coating 35 containing metallic tungsten and metallic titanium as main components could be manufactured.
【００６５】具体例２ 図５は溶射材料電極２２〜２５の対向する一方の極をタ
ングステン、他方の極をグラファイトとした場合に得ら
れた溶射被膜３５のＸ線回折結果である。Concrete Example 2 FIG. 5 shows the X-ray diffraction results of the thermal spray coating 35 obtained when one electrode of the thermal spray material electrodes 22 to 25 facing each other is made of tungsten and the other electrode is made of graphite.
【００６６】図５によれば、炭化タングステン（Ｗ
2Ｃ）と金属タングステンからなる溶射被膜３５が製造
できた。According to FIG. 5, tungsten carbide (W
A sprayed coating 35 consisting of 2 C) and metallic tungsten could be produced.
【００６７】尚、本例では、グラファイト電極が破損
し、それを保持していた銅製の電極ホルダー４０の成分
が高圧プラズマ４３中に混入したため、Ｃｕの大きな回
折ピークが見られる。In this example, the graphite electrode was damaged, and the component of the copper electrode holder 40 holding the graphite electrode was mixed in the high-pressure plasma 43, so that a large Cu diffraction peak is observed.
【００６８】具体例３ 図６は、具体例１と同様に全ての溶射材料電極２２〜２
５をタングステン又はチタンで造ると共に、容器２１内
にポリエチレン棒材から成る元素供給物質３６を設置し
た場合に得られた溶射被膜３５のＸ線回折結果である。Concrete Example 3 FIG. 6 shows all of the sprayed material electrodes 22 to 2 as in Concrete Example 1.
5 is an X-ray diffraction result of the thermal spray coating 35 obtained when 5 is made of tungsten or titanium and the element supply material 36 made of a polyethylene rod is installed in the container 21.
【００６９】図６によれば、タングステン電極とした場
合には、主として炭化タングステン（Ｗ2Ｃ）から成る
溶射被膜３５が、又、チタン電極とした場合には、炭化
チタン（ＴｉＣ）と僅かな金属チタンからなる溶射被膜
３５が製造できた。According to FIG. 6, when the tungsten electrode is used, the sprayed coating 35 mainly composed of tungsten carbide (W 2 C) is formed, and when it is used as the titanium electrode, it is slightly different from titanium carbide (TiC). A sprayed coating 35 made of metallic titanium could be manufactured.
【００７０】具体例４ 図７は、溶射材料電極２２〜２５の対向する一方の極を
アルミニウム、他方の極をチタンで製作した場合に得ら
れた溶射被膜３５のＸ線回折結果である。Concrete Example 4 FIG. 7 shows the X-ray diffraction result of the thermal spray coating 35 obtained when one of the opposite electrodes of the thermal spray material electrodes 22 to 25 was made of aluminum and the other pole was made of titanium.
【００７１】図７によれば、高比強度・高耐酸化溶射材
料として注目されているＴｉ−Ａｌ系金属間化合物であ
るＴｉＡｌ3と金属アルミニウムを主成分とする溶射被
膜３５が製造できた。According to FIG. 7, a sprayed coating 35 mainly composed of TiAl 3 which is a Ti—Al intermetallic compound and metallic aluminum, which are attracting attention as a high specific strength and high oxidation spray resistant material, could be manufactured.
【００７２】尚、本発明は、上述の実施例にのみ限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得ることは勿論である。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
【００７３】[0073]
【発明の効果】本発明の超高速プラズマジェット発生装
置及び該装置を用いた溶射被膜製造方法によれば、従来
のプラズマ溶射の粒子の加速・加熱能力や反応性を損な
うことなく、溶射方法の限界を越える衝突速度を得るこ
とが可能になるため、高融点金属やその炭化物、或いは
高比強度・高耐酸化溶射材料として注目されているＴｉ
−Ａｌ系金属間化合物等の溶射被膜の緻密性や接着強度
を飛躍的に向上させることが可能になるという優れた効
果を奏し得る。According to the ultra-high-speed plasma jet generator of the present invention and the method for producing a thermal spray coating using the apparatus, the conventional thermal spraying method can be used without impairing the acceleration / heating ability and reactivity of particles in plasma spraying. Since it is possible to obtain a collision velocity exceeding the limit, Ti, which has attracted attention as a refractory metal or its carbide, or as a material with high specific strength and high oxidation spray resistance
It is possible to achieve an excellent effect that it is possible to dramatically improve the denseness and the adhesive strength of the sprayed coating of an Al-based intermetallic compound or the like.
【図１】図１は本発明の一実施例の概略側方断面図であ
る。FIG. 1 is a schematic side sectional view of an embodiment of the present invention.
【図２】図２は図１の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of FIG.
【図３】図３は図１の作動図である。3 is an operational diagram of FIG. 1. FIG.
【図４】本発明の第一の実験データである。FIG. 4 is the first experimental data of the present invention.
【図５】本発明の第二の実験データである。FIG. 5 is the second experimental data of the present invention.
【図６】本発明の第三の実験データである。FIG. 6 is the third experimental data of the present invention.
【図７】本発明の第四の実験データである。FIG. 7 is the fourth experimental data of the present invention.
【図８】従来の代表的なプラズマ溶射装置の概略側方断
面図である。FIG. 8 is a schematic side sectional view of a conventional typical plasma spraying apparatus.
【図９】レールガンを用いた超高速プラズマジェット発
生装置の概略側方断面図である。FIG. 9 is a schematic side sectional view of an ultra-high speed plasma jet generator using a rail gun.
２０ ノズル開口 ２１ 容器 ２２〜２５ 溶射材料電極 ２８ 瞬間大電流電源 ２９ 焼結体チューブ（セラミックス） ３５ 溶射被膜 ３６ 元素供給物質 ３７ 作動ガス ３８ 作動ガス供給流路 ３９ 室 ４２ アーク ４３ 高圧プラズマ ４４，４４’ 溶射材料粒子 ４５ 被溶射物 20 Nozzle Opening 21 Container 22-25 Spraying Material Electrode 28 Instantaneous High Current Power Supply 29 Sintered Tube (Ceramics) 35 Spraying Coating 36 Element Supplying Material 37 Working Gas 38 Working Gas Supplying Flow Path 39 Chamber 42 Arc 43 High Pressure Plasma 44, 44 '' Thermal spray material particles 45 Thermal spray material
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000000099 石川島播磨重工業株式会社 東京都千代田区大手町２丁目２番１号 (71)出願人 000004215 株式会社日本製鋼所 東京都千代田区有楽町一丁目１番２号 (71)出願人 000001199 株式会社神戸製鋼所 兵庫県神戸市中央区脇浜町１丁目３番18号 (74)上記５名の代理人 弁理士 山田 恒光 （外１名 ） (72)発明者 薄葉 州 茨城県つくば市東１丁目１番 工業技術院 物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 藤原 修三 茨城県つくば市東１丁目１番 工業技術院 物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 吉田 正典 茨城県つくば市東１丁目１番 工業技術院 物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 角舘 洋三 茨城県つくば市東１丁目１番 工業技術院 物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 横井 裕之 茨城県つくば市東１丁目１番 工業技術院 物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 前田 靖男 東京都港区西新橋１−７−２ 虎の門高木 ビル 財団法人金属系材料研究開発センタ ー内 (72)発明者 井村 徹 愛知県名古屋市千種区東山元町２−58−１ 東山コーポラス102 (72)発明者 篠原 譲司 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社技術研究所内 (72)発明者 生田 一成 千葉県四街道市鷹の台１−３ 株式会社日 本製鋼所内 (72)発明者 阿曽 良之 千葉県四街道市鷹の台１−３ 株式会社日 本製鋼所内 (72)発明者 小出 憲司 兵庫県神戸市西区高塚台１−５−５ 株式 会社神戸製鋼所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (71) Applicant 000000099 Ishikawajima Harima Heavy Industries Ltd. 2-2-1 Otemachi, Chiyoda-ku, Tokyo (71) Applicant 000004215 Japan Steel Works Ltd. 1-1-1 Yurakucho, Chiyoda-ku, Tokyo No. 2 (71) Applicant 000001199 Kobe Steel, Ltd. 1-33-1 Wakihama-cho, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo Prefecture (74) Above 5 agents Attorney Tsunemitsu Yamada (one outside) (72) Inventor Hasuha Province 1-1, Higashi, Tsukuba-shi, Ibaraki Institute of Industrial Science and Technology, Institute of Materials Engineering (72) Inventor Shuzo Fujiwara 1-1-1, Higashi, Tsukuba-shi, Ibaraki Institute of Industrial Science and Technology (72) Inventor Masanori Yoshida 1-1 Higashi Tsukuba City, Ibaraki Prefecture Industrial Technology Institute, Institute of Materials Engineering (72) Inventor Yozo Kakudate Higashi Tsukuba City, Ibaraki Prefecture 1-1-1 Industrial Technology Institute of Materials Engineering (72) Inventor Hiroyuki Yokoi 1-1-1 Higashi Tsukuba City, Ibaraki Prefecture Institute of Industrial Science and Technology (72) Inventor Yasuo Maeda Nishishimbashi, Minato-ku, Tokyo 1-7-2 Toranomon Takagi Building Inside the Metallic Materials Research and Development Center (72) Inventor Toru Imura 2-58-1, Higashiyamamotomachi, Chikusa-ku, Nagoya-shi, Aichi 102 (72) Inventor, Yuzuru Shinohara Tsukasa, Koto-ku, Tokyo 3-15-15 Toyosu, Ishikawajima Harima Heavy Industries Ltd. Technical Research Institute (72) Inventor Issei Ikuta 1-3 Takanodai, Yotsukaido, Chiba Prefecture Nihon Steel Works Co., Ltd. (72) Inventor Yoshiyuki Aso Chiba 1-3 Takanodai, Yotsukaido-shi, Japan Inside Nihon Steel Works Co., Ltd. (72) Inventor Kenji Koide 1-5-5 Takatsukadai, Nishi-ku, Kobe-shi, Hyogo Inside Kobe Steel Works, Ltd.
Claims (9)
に、対向する一対の溶射材料電極を、容器内部にその端
部を露出させた状態で、軸線方向に複数段配置し、各対
の溶射材料電極間に瞬間大電流電源を接続したことを特
徴とする超高速プラズマジェット発生装置。1. A pair of opposing sprayed material electrodes are arranged in a plurality of stages in the axial direction in a cylindrical container having a nozzle opening at one end, with the ends thereof exposed inside the container. An ultrahigh-speed plasma jet generator characterized in that an instantaneous high-current power supply is connected between the thermal spraying material electrodes.
求項１記載の超高速プラズマジェット発生装置。2. The ultra-high-speed plasma jet generator according to claim 1, wherein the inner wall of the container is made of ceramics.
求項１又は２いずれか記載の超高速プラズマジェット発
生装置。3. The ultra-high-speed plasma jet generator according to claim 1, wherein an element supplying substance is arranged inside the container.
ガス供給流路を接続した請求項１乃至３いずれか記載の
超高速プラズマジェット発生装置。4. The ultra-high-speed plasma jet generator according to claim 1, wherein a working gas supply passage capable of supplying a working gas is connected to the inside of the container.
収容した請求項１乃至４いずれか記載の超高速プラズマ
ジェット発生装置。5. The ultrahigh-speed plasma jet generator according to claim 1, wherein the entire apparatus is housed in a chamber filled with working gas.
いに対向する複数対の溶射材料電極間に、瞬間大電流の
アーク放電を発生させて、容器内に１気圧以上１０００
０気圧程度の高圧プラズマを充満させることにより、高
圧プラズマのエネルギーで溶射材料電極を溶融させ、溶
射材料電極の溶融によって発生した種々の溶射材料粒子
を高圧プラズマ中に混和させて、これを高圧プラズマと
共に容器一端部のノズル開口から毎秒１ｋｍ以上の高速
で噴出させることにより、被溶射物上に溶射被膜を形成
することを特徴とする溶射被膜製造方法。6. An arc discharge of a momentary large current is generated between a plurality of pairs of spraying material electrodes facing each other arranged along the axial direction in the container, and the pressure in the container is 1 atm or more and 1000 atm or more.
By filling high-pressure plasma of about 0 atm, the thermal spray material electrode is melted by the energy of the high-pressure plasma, and various thermal spray material particles generated by melting of the thermal spray material electrode are mixed in the high-pressure plasma. At the same time, a thermal spray coating is formed on the thermal spray target by jetting at a high speed of 1 km per second or more from a nozzle opening at one end of the container.
とにより、高圧プラズマのエネルギーで容器が溶融され
にくくなるようにした請求項６記載の溶射被膜製造方
法。7. The method for producing a thermal spray coating according to claim 6, wherein the inner wall of the container is made of ceramics so that the container is less likely to be melted by the energy of the high-pressure plasma.
ことにより、高圧プラズマのエネルギーで元素供給物質
を溶融させて別の溶射材料粒子を高圧プラズマ中に混和
させるようにした請求項６又は７記載の溶射被膜製造方
法。8. The method according to claim 6, wherein an arbitrary element supplying substance is installed in the container so that the element supplying substance is melted by the energy of the high pressure plasma so that another spray material particle is mixed in the high pressure plasma. 7. The method for producing a thermal spray coating according to 7.
により、作動ガスを高圧プラズマ化させるようにした請
求項６乃至８記載の溶射被膜製造方法。9. The method for producing a thermal spray coating according to claim 6, wherein the working gas is turned into a high-pressure plasma by filling the container with an arbitrary working gas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24647294A JP3437968B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | Ultra-high-speed plasma jet generator and thermal spray coating manufacturing method using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24647294A JP3437968B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | Ultra-high-speed plasma jet generator and thermal spray coating manufacturing method using the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08109463A true JPH08109463A (en) | 1996-04-30 |
| JP3437968B2 JP3437968B2 (en) | 2003-08-18 |
Family
ID=17148917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24647294A Expired - Lifetime JP3437968B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | Ultra-high-speed plasma jet generator and thermal spray coating manufacturing method using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3437968B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003019168A1 (en) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | Uchiya Thermostat Co., Ltd. | Metal oxide semiconductor gas sensor |
| US7005047B2 (en) * | 2002-04-24 | 2006-02-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Film deposition apparatus and film deposition method |
| JP2007184269A (en) | 2005-12-21 | 2007-07-19 | Sulzer Metco Us Inc | Hybrid plasma-cold spray method and apparatus |
| JP2008533666A (en) * | 2005-03-07 | 2008-08-21 | オールド ドミニオン ユニバーシティ リサーチ ファウンデーション | Plasma generator |
| JP2013062270A (en) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | Plasma generation apparatus and cvd apparatus |
| CN114086104A (en) * | 2021-11-21 | 2022-02-25 | 罗海蓉 | Negative ion coating spraying system and spraying method thereof |
-
1994
- 1994-10-12 JP JP24647294A patent/JP3437968B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003019168A1 (en) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | Uchiya Thermostat Co., Ltd. | Metal oxide semiconductor gas sensor |
| US7005047B2 (en) * | 2002-04-24 | 2006-02-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Film deposition apparatus and film deposition method |
| US7462380B2 (en) | 2002-04-24 | 2008-12-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Film forming method employing sub-electrodes aligned toward target |
| JP2008533666A (en) * | 2005-03-07 | 2008-08-21 | オールド ドミニオン ユニバーシティ リサーチ ファウンデーション | Plasma generator |
| JP2007184269A (en) | 2005-12-21 | 2007-07-19 | Sulzer Metco Us Inc | Hybrid plasma-cold spray method and apparatus |
| JP2014199821A (en) * | 2005-12-21 | 2014-10-23 | サルツァー・メトコ（ユーエス）・インコーポレーテッド | Hybrid plasma-cold spray method and apparatus |
| JP2013062270A (en) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | Plasma generation apparatus and cvd apparatus |
| CN114086104A (en) * | 2021-11-21 | 2022-02-25 | 罗海蓉 | Negative ion coating spraying system and spraying method thereof |
| CN114086104B (en) * | 2021-11-21 | 2024-04-19 | 湖南兆益热喷涂材料有限公司 | Negative ion coating spraying system and spraying method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3437968B2 (en) | 2003-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10679829B1 (en) | Reactors and methods for making diamond coatings | |
| CA2482287C (en) | An apparatus and process for solid-state deposition and consolidation of high velocity powder particles using thermal plastic deformation | |
| US5795626A (en) | Coating or ablation applicator with a debris recovery attachment | |
| US5043548A (en) | Axial flow laser plasma spraying | |
| US6074135A (en) | Coating or ablation applicator with debris recovery attachment | |
| US8038858B1 (en) | Coaxial plasma arc vapor deposition apparatus and method | |
| Irissou et al. | Review on cold spray process and technology: part I—intellectual property | |
| Herman | Plasma spray deposition processes | |
| Crawmer | Thermal spray processes | |
| US20100040202A1 (en) | Stationary X-Ray Target and Methods for Manufacturing Same | |
| US9761424B1 (en) | Filtered cathodic arc method, apparatus and applications thereof | |
| US20180240656A1 (en) | Hybrid Filtered Arc-Magnetron Deposition Method, Apparatus And Applications Thereof | |
| Talib et al. | Thermal spray coating technology: A review | |
| JP3437968B2 (en) | Ultra-high-speed plasma jet generator and thermal spray coating manufacturing method using the same | |
| RU2593041C2 (en) | Method of gas-dynamic sputtering of anticorrosion coating from a corrosion-resistant composition onto the surface of container for transporting and/or storing spent nuclear fuel, made from high-strength iron with globular graphite | |
| Tahara et al. | Applications of quasi-steady magneto-plasma-dynamic arcjets to ceramic coatings | |
| Kitamura et al. | Boron carbide coating by electromagnetically accelerated plasma spraying | |
| US20240043142A1 (en) | Sources for plasma assisted electric propulsion | |
| Zhu et al. | High-performance ceramic coatings sprayed via novel supersonic plasma spraying system | |
| Henne | Thermal plasmas for material processing | |
| Tahara et al. | Electromagnetic Acceleration Plasma Spraying for Ceramic Coatings | |
| Azarmi et al. | Study of the in-Flight Characteristics of Particles for Different Configurations of the Debye™-Larmor™ Cascade Plasma Torches | |
| Tahara | Material spraying using electromagnetically accelerated plasma jet | |
| Tahara et al. | Spraying using electromagnetically accelerated plasma | |
| Kobayashi et al. | Novel Plasma Generators for Advanced Thermal |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |