JPH08107327A - Piezoelectric resonance component and its manufacture - Google Patents
Piezoelectric resonance component and its manufactureInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は圧電共振部品およびそ
の製造方法であって、特に、圧電共振素子の振動を抑制
しにくい構造を有する圧電共振部品およびその製造方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric resonance component and a manufacturing method thereof, and more particularly to a piezoelectric resonance component having a structure in which vibration of a piezoelectric resonance element is difficult to be suppressed and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図２はこの発明の背景となり、かつこの
発明が適用される従来の圧電共振素子の一例を示す斜視
図である。この圧電共振素子１は、セラミックからなる
たとえば矩形の圧電体基板２を含む。圧電体基板２の一
方主面には、その長手方向の一端から略中央部に延び
て、たとえば矩形の振動電極３ａが形成される。また、
圧電体基板２の他方主面には、その長手方向の他端から
略中央部に延びて、たとえば矩形の振動電極３ｂが形成
される。振動電極３ａと振動電極３ｂとは、圧電体基板
２の略中央部において、圧電体基板２を挟んで対向する
ように形成される。。2. Description of the Related Art FIG. 2 is a perspective view showing an example of a conventional piezoelectric resonance element which is the background of the present invention and to which the present invention is applied. The piezoelectric resonance element 1 includes a piezoelectric substrate 2, which is made of ceramic and has a rectangular shape, for example. On one main surface of the piezoelectric substrate 2, for example, a rectangular vibrating electrode 3a is formed extending from one end in the longitudinal direction thereof to a substantially central portion. Also,
On the other main surface of the piezoelectric substrate 2, for example, a rectangular vibrating electrode 3b is formed extending from the other end in the longitudinal direction to the substantially central portion. The vibrating electrode 3a and the vibrating electrode 3b are formed in a substantially central portion of the piezoelectric substrate 2 so as to face each other with the piezoelectric substrate 2 interposed therebetween. .
【０００３】また、圧電体基板２の長手方向の両端部に
は、カップ状の保持部材４ａおよび４ｂが、圧電体基板
２を保持するように対向して形成される。保持部材４ａ
には、振動電極３ａが電気的に接続され、保持部材４ｂ
には、振動電極３ｂが電気的に接続される。この接続
は、たとえばはんだ付けすることにより行われる。さら
に、保持部材４ａには、リード端子５ａが一体に形成さ
れ、保持部材４ｂには、リード端子５ｂが一体に形成さ
れる。Further, cup-shaped holding members 4a and 4b are formed at both ends of the piezoelectric substrate 2 in the longitudinal direction so as to face each other so as to hold the piezoelectric substrate 2. Holding member 4a
The vibrating electrode 3a is electrically connected to the holding member 4b.
The vibrating electrode 3b is electrically connected to. This connection is made, for example, by soldering. Further, the holding member 4a is integrally formed with the lead terminal 5a, and the holding member 4b is integrally formed with the lead terminal 5b.
【０００４】図３は図２に示す圧電共振素子を用いた圧
電共振部品の製造方法の従来例を示す断面図解図であ
る。この従来例では、まず、図３（Ａ）に示すように、
圧電共振素子１の振動電極３ａおよび３ｂの周囲に、た
とえばパラフィンワックスまたはマイクロクリスタリン
ワックスなどのワックス６が、それぞれ点滴される。FIG. 3 is a schematic sectional view showing a conventional example of a method of manufacturing a piezoelectric resonance component using the piezoelectric resonance element shown in FIG. In this conventional example, first, as shown in FIG.
Around the vibrating electrodes 3a and 3b of the piezoelectric resonance element 1, a wax 6, such as paraffin wax or microcrystalline wax, is dropped.
【０００５】そして、図３（Ｂ）に示すように、圧電共
振素子１およびワックス６の周囲に、外装樹脂７がディ
ッピングにより塗布される。この外装樹脂７は、熱硬化
型樹脂，低沸点の溶剤および充填剤を混合したものであ
る。Then, as shown in FIG. 3B, the exterior resin 7 is applied around the piezoelectric resonance element 1 and the wax 6 by dipping. The exterior resin 7 is a mixture of a thermosetting resin, a low boiling point solvent and a filler.
【０００６】それから、振動電極３ａおよび３ｂの周囲
のワックス６を外部に発散し、かつ外装樹脂７を硬化す
ることによって、図３（Ｃ）に示すように、振動電極３
ａおよび３ｂの周囲に空洞部８が形成され、圧電共振素
子１および空洞部８の周囲に外装材９が形成される。こ
の場合、まず、外装樹脂７を低温で乾燥することによっ
て、外装樹脂７中の溶剤を外部に発散して、外装樹脂７
中において溶剤が発散される通路に気孔が形成される。
そして、外装樹脂７を硬化するために全体が昇温され
る。昇温中には、ワックス６が外装樹脂７中の気孔に吸
収されるとともに外部に発散され、振動電極３ａおよび
３ｂの周囲に空洞部８が形成される。空洞部８は、圧電
共振素子１の振動を抑制しないようにするためのもので
ある。また、全体が昇温されたときには、外装樹脂７が
硬化され、圧電共振素子１および空洞部８の周囲に外装
材９が形成されるとともに、外装樹脂７中に吸収されて
いるワックスが外部に発散される。したがって、図３に
示す従来例では、圧電共振素子１の振動電極３ａおよび
３ｂの周囲に外装材９で空洞部８が形成された圧電共振
部品が製造される。Then, the wax 6 around the vibrating electrodes 3a and 3b is diffused to the outside, and the exterior resin 7 is cured, so that the vibrating electrodes 3 are formed as shown in FIG. 3 (C).
A cavity 8 is formed around a and 3b, and an exterior material 9 is formed around the piezoelectric resonance element 1 and the cavity 8. In this case, first, by drying the exterior resin 7 at a low temperature, the solvent in the exterior resin 7 is diffused to the outside and the exterior resin 7 is dried.
Pores are formed in the passages through which the solvent is released.
Then, the entire temperature is raised to cure the exterior resin 7. During the temperature rise, the wax 6 is absorbed by the pores in the exterior resin 7 and is diffused to the outside to form a cavity 8 around the vibrating electrodes 3a and 3b. The cavity portion 8 is for preventing the vibration of the piezoelectric resonance element 1 from being suppressed. When the temperature of the whole is raised, the exterior resin 7 is hardened, the exterior material 9 is formed around the piezoelectric resonance element 1 and the cavity portion 8, and the wax absorbed in the exterior resin 7 is exposed to the outside. Divergent. Therefore, in the conventional example shown in FIG. 3, the piezoelectric resonance component in which the cavity 8 is formed by the exterior material 9 around the vibrating electrodes 3a and 3b of the piezoelectric resonance element 1 is manufactured.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示す従来例では、外装樹脂７は、ワックス６を吸収し、
かつ外部に発散させるための気孔を形成するために、い
わゆる溶液型の外装樹脂を用いなければならない。この
場合、外装樹脂の溶剤は、生産性の点から低沸点のもの
が望ましい。しかし、このような溶剤は、引火性物質で
あるため危険性が高く、使用量も制限される。また、図
３に示す従来例では、外装材９がポーラスになるため、
洗浄時に洗浄液が外装材９を通って空洞部８内にまで入
り込み、圧電共振素子１に悪影響を及ぼす場合がある。However, in the conventional example shown in FIG. 3, the exterior resin 7 absorbs the wax 6,
In addition, a so-called solution type exterior resin must be used in order to form pores to be diffused to the outside. In this case, the solvent of the exterior resin is preferably one having a low boiling point from the viewpoint of productivity. However, since such a solvent is a flammable substance, it is highly dangerous and its usage amount is limited. Further, in the conventional example shown in FIG. 3, since the exterior material 9 is porous,
At the time of cleaning, the cleaning liquid may enter the cavity 8 through the exterior material 9 and adversely affect the piezoelectric resonance element 1.
【０００８】それゆえに、この発明の主たる目的は、生
産性および安全性が良く、かつ、耐水性の良い、圧電共
振部品およびその製造方法を提供することである。Therefore, a main object of the present invention is to provide a piezoelectric resonance component having good productivity and safety and good water resistance, and a method for manufacturing the same.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電共
振部品は、振動電極を有する圧電共振素子と、圧電共振
素子の振動電極を振動可能に被覆するための発泡体と、
非溶液型の外装樹脂から形成され、圧電共振素子および
発泡体を被覆するための外装材とを含む、圧電共振部品
である。また、圧電共振素子の主要振動は、厚みすべり
振動であることが好ましい。さらに、発泡体の発泡倍率
は、３倍以上であることが好ましい。また、発泡体は、
振動電極との界面において、振動電極に接着しないこと
が好ましい。さらに、発泡体は発泡性シリコーンゴムを
含んでもよい。A piezoelectric resonant component according to the present invention includes a piezoelectric resonant element having a vibrating electrode, and a foam for vibratingly coating the vibrating electrode of the piezoelectric resonant element.
A piezoelectric resonance component formed of a non-solution type exterior resin and including a piezoelectric resonance element and an exterior material for covering a foam. The main vibration of the piezoelectric resonance element is preferably thickness shear vibration. Furthermore, the expansion ratio of the foam is preferably 3 times or more. In addition, the foam is
It is preferable that the interface with the vibrating electrode does not adhere to the vibrating electrode. In addition, the foam may include expandable silicone rubber.
【００１０】また、この発明にかかる圧電共振部品の製
造方法は、圧電共振素子を準備するステップと、圧電共
振素子の振動電極に離型剤を塗布するステップと、離型
剤の上から発泡性シリコーンゴムを塗布するステップ
と、発泡性シリコーンゴムを発泡させ、振動電極を振動
可能に被覆する発泡体を形成するステップと、圧電共振
素子および発泡体を被覆する外装材を形成するステップ
とを含む、圧電共振部品の製造方法である。Further, in the method of manufacturing a piezoelectric resonance component according to the present invention, a step of preparing a piezoelectric resonance element, a step of applying a release agent to the vibration electrode of the piezoelectric resonance element, and a foaming property on the release agent. The method includes applying a silicone rubber, foaming a foamable silicone rubber to form a foam that vibratably covers the vibrating electrode, and forming an exterior material that covers the piezoelectric resonance element and the foam. A method of manufacturing a piezoelectric resonance component.
【００１１】[0011]
【作用】この発明にかかる圧電共振部品では、発泡体に
よって、圧電共振素子の振動電極が、振動可能に被覆さ
れる。そして、外装材によって、圧電共振素子および発
泡体が被覆される。また、圧電共振素子の主要振動を厚
みすべり振動とすることにより、振動がダンピングされ
にくくなり、特性が劣化しにくくなる。さらに、発泡体
の発泡倍率を３倍以上にすることにより、発泡体が振動
電極の振動を抑制しにくくなる。また、発泡体を振動電
極との界面において接着しないことにより、発泡体が振
動電極の振動を抑制しにくくなる。In the piezoelectric resonance component according to the present invention, the vibrating electrode of the piezoelectric resonance element is vibratably covered with the foam. Then, the piezoelectric resonance element and the foam are covered with the exterior material. Further, by making the main vibration of the piezoelectric resonance element a thickness shear vibration, the vibration is less likely to be damped and the characteristics are less likely to deteriorate. Furthermore, by setting the foaming ratio of the foam to 3 times or more, it becomes difficult for the foam to suppress the vibration of the vibrating electrode. Further, by not adhering the foam to the interface with the vibrating electrode, it becomes difficult for the foam to suppress the vibration of the vibrating electrode.
【００１２】また、この発明にかかる圧電共振部品の製
造方法では、まず、圧電共振素子の振動電極の周囲に離
型剤を塗布することによって、発泡体と振動電極との接
着が防がれ、発泡体が振動電極の振動を抑制しにくくな
る。次に、離型剤の周囲に発泡性シリコーンゴムを塗布
し、発泡性シリコーンゴムを発泡することにより形成さ
れる発泡体によって、圧電共振素子の振動電極が振動可
能な状態で被覆される。さらに、発泡体および圧電共振
素子の周囲に形成される外装材によって、圧電共振素子
および発泡体が被覆される。Further, in the method for manufacturing a piezoelectric resonance component according to the present invention, first, by applying a release agent around the vibrating electrode of the piezoelectric resonant element, adhesion between the foam and the vibrating electrode is prevented, It becomes difficult for the foam to suppress the vibration of the vibrating electrode. Next, a foaming silicone rubber is applied around the release agent, and the vibrating electrode of the piezoelectric resonance element is covered in a vibrating state by a foaming body formed by foaming the foaming silicone rubber. Furthermore, the piezoelectric resonance element and the foam are covered with an exterior material formed around the foam and the piezoelectric resonance element.
【００１３】[0013]
【発明の効果】この発明によれば、振動電極の周囲に空
洞部を形成するための、図３に示す従来例のような工程
が不要であるため、生産性が向上する。また、樹脂を溶
剤に溶解させたいわゆる溶液型の外装樹脂を使用する必
要がなく、非溶液型の外装樹脂を用いるので、生産工程
において、外装樹脂の乾燥時間を短縮でき、かつ安全性
が向上する。さらに、外装材に気孔を形成する必要がな
く、外装材がポーラスでないため、洗浄時に洗浄液が外
装材の気孔から外装材内部に浸透することがなく、圧電
共振部品の耐水性が向上する。According to the present invention, the process for forming the cavity around the vibrating electrode as in the conventional example shown in FIG. 3 is not required, so that the productivity is improved. Also, since it is not necessary to use a so-called solution type exterior resin in which a resin is dissolved in a solvent, a non-solution type exterior resin is used, so that the drying time of the exterior resin can be shortened in the production process and the safety is improved. To do. Further, since it is not necessary to form pores in the exterior material and the exterior material is not porous, the cleaning liquid does not permeate into the interior of the exterior material from the pores of the exterior material during cleaning, and the water resistance of the piezoelectric resonance component is improved.
【００１４】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.
【００１５】[0015]
【実施例】図１は、図２に示すのと同様の構造を有する
圧電共振素子１を用いて圧電共振部品を製造するための
この発明の一実施例を示す断面図解図である。この実施
例では、主要振動が厚みすべり振動の圧電共振素子１が
用いられる。そして、この実施例では、まず、図１
（Ａ）に示すように、圧電共振素子１の圧電体基板２を
挟んで対向した振動電極３ａ，３ｂを被覆するようにし
て、離型剤１０が塗布される。離型剤１０は、後述する
発泡体１２が振動電極３ａ，３ｂに接着することを防止
して、後述する発泡体１２が圧電共振素子１の振動を抑
制することを防止するためのものである。離型剤１０と
しては、たとえばシリコーン系、およびフッソ系などの
ものが用いられる。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention for manufacturing a piezoelectric resonance component using a piezoelectric resonance element 1 having a structure similar to that shown in FIG. In this embodiment, the piezoelectric resonance element 1 whose main vibration is thickness shear vibration is used. In this embodiment, first, as shown in FIG.
As shown in (A), the release agent 10 is applied so as to cover the vibrating electrodes 3a and 3b facing each other with the piezoelectric substrate 2 of the piezoelectric resonance element 1 interposed therebetween. The release agent 10 prevents the foam 12 described below from adhering to the vibrating electrodes 3a and 3b, and prevents the foam 12 described below from suppressing the vibration of the piezoelectric resonance element 1. . As the release agent 10, for example, a silicone-based agent, a fluorine-based agent, or the like is used.
【００１６】そして、図１（Ｂ）に示すように、圧電共
振素子１および離型剤１０を被覆するようにして、発泡
性を有する発泡性シリコーンゴム１１が塗布される。発
泡性シリコーンゴム１１は、振動電極３ａ，３ｂの振動
を妨げないよう、自己接着性でないほうが好ましい。こ
の実施例では、発泡性シリコーンゴム１１として、たと
えばトスフォーム３００（東芝シリコーン株式会社製）
を使用した。Then, as shown in FIG. 1B, a foamable silicone rubber 11 having foamability is applied so as to cover the piezoelectric resonance element 1 and the release agent 10. The foamable silicone rubber 11 is preferably not self-adhesive so as not to interfere with the vibration of the vibrating electrodes 3a and 3b. In this embodiment, the foamable silicone rubber 11 is, for example, Tosfoam 300 (manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.).
It was used.
【００１７】それから、図１（Ｃ）に示すように、発泡
性シリコーンゴム１１を硬化させるとともに発泡させ
て、弾性を有する発泡体１２が形成される。発泡体１２
は、圧電共振素子１の振動電極３ａ，３ｂを振動可能に
被覆するためのものである。発泡性シリコーンゴム１１
は、その硬化反応時に発生するガスにより発泡する。ま
た、発泡倍率が３倍未満であると、発泡体のフォーム密
度が高くなり、圧電素子の振動を抑制してしまうので、
発泡倍率が３倍以上になるよう発泡させる。なお、発泡
性シリコーンゴム１１に発泡させる方法としては、発泡
性シリコーンゴム１１に熱分解性の発泡剤を添加し、加
熱により発泡させてもよい。Then, as shown in FIG. 1C, the foamable silicone rubber 11 is cured and foamed to form a foam 12 having elasticity. Foam 12
Is for vibratingly covering the vibrating electrodes 3a and 3b of the piezoelectric resonance element 1. Foaming silicone rubber 11
Is foamed by the gas generated during the curing reaction. Further, if the expansion ratio is less than 3 times, the foam density of the foam increases, and the vibration of the piezoelectric element is suppressed.
Foam so that the expansion ratio becomes 3 times or more. As a method for foaming the expandable silicone rubber 11, a foaming agent that is thermally decomposable may be added to the expandable silicone rubber 11 and foamed by heating.
【００１８】そして、図１（Ｄ）に示すように、発泡体
１２および圧電共振素子１を被覆するようにして、外装
材１３が形成される。外装材１３は、外装樹脂をたとえ
ば粉体樹脂塗装することによって形成される。したがっ
て、この実施例では、外装材１３を非溶液型の外装樹脂
を用いて形成される。なお、外装樹脂を塗布する方法と
しては、粉体樹脂塗装以外に、たとえば、液状エポキシ
樹脂のディッピングによる塗布、ディスペンサによる塗
布，および注型塗装などの方法が挙げられる。したがっ
て、この実施例では、圧電共振部品１の振動電極３ａ，
３ｂの周囲に発泡体１２が形成され、さらにそれらの周
囲に外装材１３が形成された、圧電共振部品が製造され
る。Then, as shown in FIG. 1D, an exterior material 13 is formed so as to cover the foam 12 and the piezoelectric resonance element 1. The exterior material 13 is formed, for example, by coating the exterior resin with a powder resin. Therefore, in this embodiment, the exterior material 13 is formed by using a non-solution type exterior resin. As a method of applying the exterior resin, in addition to powder resin coating, for example, a method such as dipping of a liquid epoxy resin, application with a dispenser, and cast coating may be used. Therefore, in this embodiment, the vibrating electrodes 3a of the piezoelectric resonant component 1,
A piezoelectric resonance component is manufactured in which the foam 12 is formed around 3b and the exterior material 13 is formed around them.
【００１９】この実施例の圧電共振部品では、図３に示
す従来例のような、振動電極３ａ，３ｂの周囲に空洞部
を形成するための工程が不要であるため、生産性が向上
する。また、樹脂を溶剤に溶解させたいわゆる溶液型の
外装樹脂を使用する必要がなく、非溶液型のたとえば粉
体状や液状の外装樹脂を用いるので、生産工程におい
て、外装樹脂の乾燥時間を短縮でき、かつ安全性が向上
する。さらに、外装材１３がポーラスにならないため、
洗浄時に洗浄液が外装材１３の気孔から外装材内部に浸
透することがなく、圧電共振部品の耐水性が向上する。
また、この実施例の圧電共振部品では、圧電共振素子１
の主要振動が厚みすべり振動であるので、たとえば厚み
たて振動モードの圧電共振素子に比べて、振動がダンピ
ングされにくく、特性の劣化が少ない。In the piezoelectric resonance component of this embodiment, the productivity is improved because the step for forming the cavity around the vibrating electrodes 3a and 3b, which is required in the conventional example shown in FIG. 3, is not required. In addition, it is not necessary to use a so-called solution type exterior resin in which a resin is dissolved in a solvent, and a non-solution type, for example, powdery or liquid exterior resin is used. Therefore, the drying time of the exterior resin can be shortened in the production process. It is possible and the safety is improved. Furthermore, since the exterior material 13 does not become porous,
At the time of cleaning, the cleaning liquid does not permeate through the pores of the exterior material 13 into the interior of the exterior material, and the water resistance of the piezoelectric resonance component is improved.
In addition, in the piezoelectric resonance component of this embodiment, the piezoelectric resonance element 1
Since the main vibration is the thickness-shear vibration, the vibration is less likely to be damped and the characteristics are less deteriorated as compared with, for example, a piezoelectric resonant element in the vertical thickness vibration mode.
【００２０】なお、図示していないが、上述の実施例で
は、圧電共振素子１に接続されたリード端子５ａ，５ｂ
の一端は、外装材１３で覆われる。Although not shown, in the above embodiment, the lead terminals 5a and 5b connected to the piezoelectric resonance element 1 are used.
One end of is covered with the exterior material 13.
【００２１】また、上述の実施例では、２つのリード端
子を有する圧電共振部品の製造方法の一例について説明
したが、この発明は、３つ以上のリード端子を有する圧
電共振部品にも適用され得る。Further, in the above embodiment, an example of the method of manufacturing the piezoelectric resonance component having two lead terminals has been described, but the present invention can be applied to the piezoelectric resonance component having three or more lead terminals. .
【図１】この発明の一実施例を示す断面図解図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】この発明の背景となり、かつこの発明が適用さ
れる従来の圧電共振素子の一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a conventional piezoelectric resonance element which is a background of the present invention and to which the present invention is applied.
【図３】圧電共振部品の製造方法の従来例を示す断面図
解図である。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional example of a method for manufacturing a piezoelectric resonance component.
１ 圧電共振素子 ２ 圧電体基板 ３ａ，３ｂ 振動電極 ４ａ，４ｂ 引出し電極 ５ａ，５ｂ リード端子 ６ ワックス ７ 外装樹脂 ８ 空洞部 ９ 外装材 １０ 離型剤 １１ 発泡性シリコーンゴム １２ 発泡体 １３ 外装材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric resonance element 2 Piezoelectric substrate 3a, 3b Vibration electrode 4a, 4b Extraction electrode 5a, 5b Lead terminal 6 Wax 7 Exterior resin 8 Cavity 9 Exterior material 10 Release agent 11 Foaming silicone rubber 12 Foam 13 Exterior material
Claims (6)
ための発泡体、および非溶液型の外装樹脂から形成さ
れ、前記圧電共振素子および前記発泡体を被覆するため
の外装材を含む、圧電共振部品。1. A piezoelectric resonant element having a vibrating electrode, a foam for vibratingly covering the vibrating electrode of the piezoelectric resonant element, and a non-solution type exterior resin. A piezoelectric resonant component, including an exterior material for covering a body.
振動であることを特徴とする、請求項１に記載の圧電共
振部品。2. The piezoelectric resonance component according to claim 1, wherein the main vibration of the piezoelectric resonance element is thickness shear vibration.
ることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の
圧電共振部品。3. The piezoelectric resonant component according to claim 1, wherein the foaming ratio of the foam is 3 times or more.
おいて、前記振動電極に接着しないことを特徴とする、
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の圧電共振部
品。4. The foam does not adhere to the vibrating electrode at an interface with the vibrating electrode.
The piezoelectric resonance component according to any one of claims 1 to 3.
む、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の圧電共
振部品。5. The piezoelectric resonance component according to claim 1, wherein the foam contains a foamable silicone rubber.
プ、 前記離型剤の上から発泡性シリコーンゴムを塗布するス
テップ、 前記発泡性シリコーンゴムを発泡させ、前記振動電極を
振動可能に被覆する発泡体を形成するステップ、および
前記圧電共振素子および前記発泡体を被覆する外装材を
形成するステップを含む、圧電共振部品の製造方法。6. A step of preparing a piezoelectric resonance element, a step of applying a release agent to a vibrating electrode of the piezoelectric resonance element, a step of applying foamable silicone rubber on the release agent, the foamable silicone rubber A method of manufacturing a piezoelectric resonant component, comprising: foaming a foamed body to form a foamed body that vibratably covers the vibrating electrode; and forming a piezoelectric resonance element and an exterior material that covers the foamed body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27038994A JPH08107327A (en) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | Piezoelectric resonance component and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27038994A JPH08107327A (en) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | Piezoelectric resonance component and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08107327A true JPH08107327A (en) | 1996-04-23 |
Family
ID=17485586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27038994A Pending JPH08107327A (en) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | Piezoelectric resonance component and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08107327A (en) |
Cited By (2)
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| US10012530B2 (en) | 2013-03-14 | 2018-07-03 | Gentex Corporation | Light sensing device |
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1994
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