JPH0793747A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic recording medium having a smooth recording surface and high coercive force fit for high density recording and generating low medium noise. CONSTITUTION:An under film 13 of Cr, etc., a magnetic film 14 and a protective film 15 are successively laminated on a nonmagnetic substrate to obtain the objective magnetic recording medium. The nonmagnetic substrate consists of a nonmagnetic substrate 11 and a nonmagnetic metallic intermediate film 12 formed on the substrate 11 and surface-polished to 10-40Angstrom surface roughness.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガラスやセラミック、
カーボン等の非磁性基板上に磁性膜等を形成した磁気記
録媒体に関するものである。The present invention relates to glass, ceramics,
The present invention relates to a magnetic recording medium in which a magnetic film or the like is formed on a non-magnetic substrate such as carbon.

【０００２】[0002]

【従来の技術】非磁性基板上に、スパッタ法等の方法で
Ｃｒ，Ｗ，Ｍｏまたはこれらを主成分とする合金膜を下
地膜として形成し、該下地膜上にＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃ
ｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等の合金膜を形成し
た磁気記録媒体が、高密度記録可能な磁気記録媒体とし
て現在用いられている。コンピュター用磁気ディスク装
置では、近年その大容量化が強く求められているが、大
容量化を図るためには磁気記録媒体における記録密度を
高めることが必要である。記録密度を高めるためには、
磁気ヘッドの低浮上量化を可能とするために平滑な表面
を有する基板、および磁気記録媒体の高保磁力化、低ノ
イズ化が求められている。 ところで、従来磁気記録媒
体用の基板としてはアルミ基板が用いられているが、よ
り平滑性に優れた基板としてガラスやセラミック、カー
ボン等の非磁性基板を用いることが検討されている。2. Description of the Related Art Cr, W, Mo or an alloy film containing them as a main component is formed as a base film on a non-magnetic substrate by a method such as a sputtering method, and Co-Cr-Ta, C is formed on the base film.
A magnetic recording medium having an alloy film such as o-Ni-Cr or Co-Cr-Pt formed is currently used as a magnetic recording medium capable of high density recording. In recent years, magnetic disk devices for computers have been strongly required to have a large capacity, but in order to achieve a large capacity, it is necessary to increase the recording density of a magnetic recording medium. To increase the recording density,
A substrate having a smooth surface and a magnetic recording medium having a high coercive force and a low noise are required in order to reduce the flying height of the magnetic head. By the way, conventionally, an aluminum substrate has been used as a substrate for a magnetic recording medium, but it has been considered to use a non-magnetic substrate such as glass, ceramic, or carbon as a substrate having more excellent smoothness.

【０００３】アルミ基板を用いた場合は通常数１０μｍ
のＮｉＰめっき層を設け、磁気ヘッドとの接触面積を小
さくして摩擦係数を下げるためにその表面に多数の細か
い同心円上の溝を施す処理いわゆるテクスチャー処理を
施し、その上にＣｒ下地膜、磁性膜、保護膜を積層し磁
気記録媒体を作製する。しかし、金属基板を用いた場
合、金属基板表面に存在する突起、微小なうねり等によ
り、磁気記録媒体の表面が完全に平滑にならず、磁気ヘ
ッドの浮上量を小さくした場合ヘッドと磁気記録媒体が
衝突をおこし、磁気記録媒体が破壊される。また、テク
スチャ処理により基板表面の平滑性が損なわれ、磁気ヘ
ッドの浮上量低減の妨げとなる。このため、金属基板を
用いた磁気記録媒体では、磁気ヘッドの浮上量をあまり
小さくすることができず、記録密度を増加させるのに限
界があった。一方、ガラスやセラミック、カーボン基板
等の場合は、金属基板を用いた場合に比べ十分な平滑性
が得られるが、ガラスやセラミック、カーボン基板等の
上に直接Ｃｒ下地、磁性膜を形成すると高い保磁力が得
られないことが多い。このため、これらの基板上にＴ
ｉ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｗ、Ｓｉ等の金属やＳｉ
Ｏ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＴｉＮ、ＡｌＮのような酸化物や窒化
物の非磁性膜を形成し、その上にＣｒ下地膜、磁性膜、
保護膜を順に積層し、保磁力を若干向上させた磁気記録
媒体が提案されている。（特開平２−２９９２３号）し
かし、このような方法では保磁力は高める事が出来るが
媒体のノイズを低下することが出来なく記録密度を高め
る事が出来なかった。媒体ノイズの主な原因は磁化遷移
領域におけるジグザグ磁壁によるものと考えられてお
り、媒体ノイズを小さくするためには磁性粒子を磁気的
に孤立させることが有効であると考えられている。When an aluminum substrate is used, it is usually several 10 μm
NiP plating layer is formed on the surface of the magnetic head to reduce the contact area with the magnetic head to reduce the coefficient of friction, and a so-called texture treatment is performed on the surface of the NiP plating layer. A magnetic recording medium is manufactured by laminating a film and a protective film. However, when a metal substrate is used, the surface of the magnetic recording medium cannot be perfectly smoothed due to protrusions and minute undulations existing on the surface of the metal substrate, and when the flying height of the magnetic head is reduced, the head and the magnetic recording medium are reduced. Cause a collision, and the magnetic recording medium is destroyed. Further, the texture treatment impairs the smoothness of the substrate surface, which hinders the reduction of the flying height of the magnetic head. Therefore, in the magnetic recording medium using the metal substrate, the flying height of the magnetic head cannot be reduced so much that the recording density is limited. On the other hand, in the case of glass, ceramic, carbon substrate, etc., sufficient smoothness can be obtained as compared with the case of using a metal substrate, but it is high if a Cr underlayer or magnetic film is directly formed on the glass, ceramic, carbon substrate or the like. Coercive force is often not obtained. Therefore, T on these substrates
Metals such as i, Mo, Zr, Al, Mn, W, Si and Si
A non-magnetic film of oxide or nitride such as O ₂ , Al ₂ O ₃ , TiN or AlN is formed, and a Cr underlayer film, a magnetic film,
A magnetic recording medium has been proposed in which protective films are laminated in order and the coercive force is slightly improved. (JP-A-2-29923) However, although such a method can increase the coercive force, it cannot reduce the noise of the medium and the recording density cannot be increased. It is considered that the main cause of medium noise is the zigzag domain wall in the magnetization transition region, and it is considered effective to magnetically isolate magnetic particles in order to reduce medium noise.

【０００４】またこの様な金属中間膜を１０００Ａ(オンク
゛ストローム)以上成膜した後に同心円上のテクスチャ処理を
施しその後に形成される磁性層の磁気特性に於いて、円
周方向に磁気異方性を持たせる事も提案されている。
（特開平３−１２５３２２）。この方法ではテクスチャ
加工によりガラス基板本来の平滑性を損ないヘッドの浮
上量を小さくする事が出来なくなってしまった。Further, in the magnetic characteristics of a magnetic layer formed by forming a metal intermediate film of 1000 A (angstrom) or more on the concentric circles, and then forming magnetic anisotropy in the circumferential direction. It is also proposed to have it.
(JP-A-3-125322). With this method, it is impossible to reduce the flying height of the head by impairing the original smoothness of the glass substrate due to texturing.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスクの記録密
度を高めるためには、ディスク表面にアクセスする磁気
ヘッドのグライド高さをできるだけ小さくし、その低フ
ライングハイトで安定なフローティング状態を維持する
する事が望ましい。そのためには磁性膜をより平面性・
平行性の優れたものにする事が必要である。また今後の
高記録密度化に対応するためには磁性膜の高保磁力化、
および記録媒体のノイズを小さくすることが必要であ
る。そこで本発明は高密度記録に対応するために記録表
面が平滑でかつ保磁力が大きく、媒体のノイズが小さい
磁気記録媒体を提供するものである。In order to increase the recording density of a magnetic disk, it is necessary to minimize the glide height of the magnetic head that accesses the disk surface, and maintain a stable floating state at the low flying height. Is desirable. For that purpose, the magnetic film should have more flatness.
It is necessary to have excellent parallelism. In addition, in order to support future high recording density, high coercive force of magnetic film,
And it is necessary to reduce the noise of the recording medium. Therefore, the present invention provides a magnetic recording medium having a smooth recording surface, a large coercive force, and a small noise in order to cope with high density recording.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性基体上
にＣｒ等の下地膜と磁性膜と保護膜を順次積層させてな
る磁気記録媒体において、前記非磁性基体が、非磁性基
板、および該非磁性基板上に設けられた非磁性金属中間
膜からなり、この非磁性金属中間膜を成膜後この金属中
間膜の表面が研磨されていることを特徴とするものであ
る。なお、上記非磁性金属中間膜の膜厚は、５０Ａ(オンク
゛ストローム)以上５００Ａ(オンク゛ストローム)以下とすることが望ま
しい。また、研磨後の表面粗度は１０Ａ(オンク゛ストローム)か
ら４０Ａ(オンク゛ストローム)であることが望ましい。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a magnetic recording medium comprising a non-magnetic substrate on which a base film such as Cr, a magnetic film and a protective film are sequentially laminated, wherein the non-magnetic substrate is a non-magnetic substrate. And a nonmagnetic metal intermediate film provided on the nonmagnetic substrate, wherein the surface of the metal intermediate film is polished after the nonmagnetic metal intermediate film is formed. The thickness of the non-magnetic metal intermediate film is preferably 50 A (angstrom) or more and 500 A (angstrom) or less. The surface roughness after polishing is preferably 10 A (angstrom) to 40 A (angstrom).

【０００７】上記非磁性基体は、例えば表面が平滑なガ
ラス基板上に蒸着またはスパッタ法によりＣｒ，Ｎｂ，
Ｔａ等およびこれらを主成分とする合金による非磁性金
属中間膜を設けた後、該金属中間膜表面を遊離砥粒ある
いはテープを用いて研磨されることによって形成され
る。このようにして製作した基体上に、Ｃｒ膜等の下地
膜と、Ｃｏを主成分とする合金膜からなる磁性層と、Ｃ
膜またはＳｉＯ₂膜またはＺｒＯ₂膜等からなる保護層と
を真空中で蒸着またはスパッタ用で連続して設けること
により、高密度記録可能な磁気記録媒体を製造する。The above-mentioned non-magnetic substrate is formed on a glass substrate having a smooth surface by vapor deposition or sputtering by Cr, Nb,
It is formed by providing a non-magnetic metal intermediate film of Ta or the like and an alloy containing them as a main component, and then polishing the surface of the metal intermediate film with free abrasive grains or a tape. A base film such as a Cr film, a magnetic layer made of an alloy film containing Co as a main component, and C
A magnetic recording medium capable of high density recording is manufactured by successively providing a protective layer made of a film, a SiO ₂ film, a ZrO ₂ film or the like in vacuum for vapor deposition or sputtering.

【０００８】[0008]

【作用】本発明の磁気記録媒体においては、突起やうね
りのない非常に平滑なガラス基板の平面性を損なわない
ため、ヘッドの浮上量を非常に小さくすることができ、
その結果記録密度が増大する。また、金属膜表面を遊離
砥粒あるいはテープにより研磨することにより、その後
に成膜するＣｒ下地膜を介し、磁性粒子の孤立性が高ま
り記録媒体の磁気特性において高保磁力が得られ、記録
媒体のノイズを小さくすることができる。In the magnetic recording medium of the present invention, since the flatness of a very smooth glass substrate without protrusions or waviness is not impaired, the flying height of the head can be made extremely small.
As a result, the recording density is increased. In addition, by polishing the surface of the metal film with free abrasive grains or tape, the isolation of the magnetic particles is increased through the Cr underlayer formed thereafter, and a high coercive force is obtained in the magnetic characteristics of the recording medium. Noise can be reduced.

【０００９】[0009]

【実施例】以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ま
しい実施例による磁気記録媒体について説明する。図１
は本発明の一実施例となる磁気記録媒体の断面図を示し
たものである。図において１１は化学強化ガラス、結晶
化ガラス、セラミック、カーボン等の非磁性基板、１２
は前記基板上に形成された厚さ５０Ａ(オンク゛ストローム)以上
５００Ａ(オンク゛ストローム)以下のＣｒ，Ｎｂ，Ｔａ等および
これらを主成分とする合金による非磁性金属中間膜、１
３はＣｒ膜等の下地膜、１４はＣｏＣｒＴａ、ＣｏＮｉ
Ｃｒ、ＣｏＣｒＰｔなどのＣｏ基合金磁性膜、１５は
Ｃ、ＳｉＯ₂、ＺｒＯ₂等からなる保護膜、１６は潤滑剤
である。上記非磁性金属中間膜１２の表面は、遊離砥粒
あるいはテープを用いて研磨されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic recording medium according to a preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Figure 1
FIG. 3 is a cross-sectional view of a magnetic recording medium that is an embodiment of the present invention. In the figure, 11 is a non-magnetic substrate such as chemically strengthened glass, crystallized glass, ceramics or carbon, 12
Is a non-magnetic metal intermediate film made of Cr, Nb, Ta, etc. having a thickness of 50 A (angstrom) or more and 500 A (angstrom) or less formed on the substrate, and an alloy containing these as main components, 1
3 is a base film such as Cr film, 14 is CoCrTa, CoNi
Co-based alloy magnetic film such as Cr and CoCrPt, 15 is a protective film made of C, SiO ₂ , ZrO _{2 and the} like, and 16 is a lubricant. The surface of the nonmagnetic metal intermediate film 12 is polished by using loose abrasive grains or tape.

【００１０】次に、上記磁気記録媒体の具体的な製造に
ついて説明する。外径６５ｍｍ，内径２０ｍｍ、厚さ
０．６３５ｍｍ、表面粗度３０Ａ(オンク゛ストローム)の結晶化
ガラス基板を洗浄後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置を
用い、５×１０^-7Ｔｏｒｒ以下に排気後結晶化ガラス基
板を３００℃において１０分間加熱後、Ａｒガスを導入
し、放電時のガス圧を１０ｍＴｏｒｒに保持し、投入電
力１ｋＷ、成膜速度３６０Ａ(オンク゛ストローム)／分の条件に
より金属膜としてＣｒを選び、Ｃｒ中間膜の膜厚を３０
Ａ(オンク゛ストローム)、５０Ａ(オンク゛ストローム)、１００Ａ(オンク゛ストロ
ーム)、３００Ａ(オンク゛ストローム)、５００Ａ(オンク゛ストローム)、１
０００Ａ(オンク゛ストローム)と膜厚を変化させてガラス基板上
に成膜した。その後、大気中にこの基板を取り出しテク
スチャリング機を用いて１〜２μｍのダイヤモンド遊離
砥粒を用い、スピンドル回転数１３７ｒｐｍ、クイール
回転数５７ｒｐｍ、押し付け力２．３ｋｇで各々の基板
を研磨した。これらを洗浄、乾燥して非磁性基体を形成
した。Next, the specific manufacturing of the magnetic recording medium will be described. After cleaning a crystallized glass substrate having an outer diameter of 65 mm, an inner diameter of 20 mm, a thickness of 0.635 mm, and a surface roughness of 30 A (angstrom), the crystallized glass substrate was evacuated to 5 × 10 ⁻⁷ Torr or less using a DC magnetron sputtering device. Was heated at 300 ° C. for 10 minutes, Ar gas was introduced, the gas pressure during discharge was maintained at 10 mTorr, and Cr was selected as a metal film under the conditions of input power of 1 kW and film formation rate of 360 A (angstrom) / minute. The thickness of the intermediate film is 30
A (Angstrom), 50A (Angstrom), 100A (Angstrom), 300A (Angstrom), 500A (Angstrom), 1
The film thickness was changed to 000 A (angstrom) to form a film on the glass substrate. After that, the substrate was taken out into the air, and using a texturing machine, diamond free abrasive grains of 1 to 2 μm were used to polish each substrate at a spindle rotation speed of 137 rpm, a quiel rotation speed of 57 rpm, and a pressing force of 2.3 kg. These were washed and dried to form a non-magnetic substrate.

【００１１】上記の各基体をＤＣマグネトロンスパッタ
装置内に設置し、５×１０^-7Ｔｏｒｒ以下に排気後、各
基体を３００℃において１０分間加熱後、Ａｒガスを導
入し、放電時のガス圧を１０ｍＴｏｒｒに保持し、投入
電力１ｋＷ、成膜速度３６０Ａ(オンク゛ストローム)／分の条件
で各基体上にＣｒ下地膜を１０００Ａ(オンク゛ストローム)形成
し、その後連続してＣｏＮｉＣｒ合金膜を５００Ａ(オンク
゛ストローム)形成した。その上にさらに保護膜であるＣ膜を
３００Ａ(オンク゛ストローム)形成して磁気記録媒体を作製し
た。Each of the above substrates was placed in a DC magnetron sputtering apparatus, exhausted to 5 × 10 ^-7 Torr or less, each substrate was heated at 300 ° C. for 10 minutes, Ar gas was introduced, and the gas pressure during discharge was set. Is maintained at 10 mTorr, a Cr underlayer film is formed on each substrate at 1000 A (angstrom) under the conditions of an input power of 1 kW and a film formation rate of 360 A (angstrom) / min, and then a CoNiCr alloy film is continuously formed at 500 A (angstrom). did. A C film, which is a protective film, was further formed thereon to 300 A (angstrom) to prepare a magnetic recording medium.

【００１２】次に、上記の例におけるＣｒ中間膜厚を変
化させた場合の磁気記録媒体の保磁力をカーループトレ
ーサーを用いて測定した。その結果を図１に示す。この
図から分かるように、Ｃｒ中間膜厚が５０Ａ(オンク゛ストロー
ム)未満では中間膜の膜厚が薄すぎて高保磁力を得ること
ができない。これは中間膜が薄すすぎるため、Ｃｒ下地
膜および磁性膜を成膜する際の加熱の時にガラス基板か
ら水等のガスの発生を防ぐことができないためと思われ
る。また、５０Ａ(オンク゛ストローム)以上の膜厚であれば、保
磁力は中間膜の膜厚に依存せず、ほぼ一定の値となるこ
とが分かる。Next, the coercive force of the magnetic recording medium when the Cr intermediate film thickness in the above example was changed was measured using a Kerr loop tracer. The result is shown in FIG. As can be seen from this figure, when the Cr intermediate film thickness is less than 50 A (angstrom), the intermediate film is too thin to obtain a high coercive force. It is considered that this is because the intermediate film is too thin to prevent the generation of gas such as water from the glass substrate during heating when forming the Cr underlayer film and the magnetic film. Further, it can be seen that if the film thickness is 50 A (angstrom) or more, the coercive force does not depend on the film thickness of the intermediate film and has a substantially constant value.

【００１３】次に、Ｃｒ中間膜厚を変化させた場合の各
基体の研磨後の表面形状をＳＴＭを用いて観察した。そ
の結果を表１に示す。この表から分かるように、遊離砥
粒を用いて研磨してもＣｒ中間膜厚が５００Ａ(オンク゛ストロ
ーム)以下の場合には基体表面にはアルミ基板にテクスチ
ャ加工を施した様な溝状の凹凸は見れず、表面粗度も基
板の表面粗度とほぼ同じでありガラス基板の平滑性が維
持されていることが分かる。しかしＣｒ中間膜の膜厚を
１０００Ａ(オンク゛ストローム)とした磁気記録媒体に付いても
同様に観察したところ、基板表面に溝状の凹凸が形成さ
れ、表面粗度が増加しガラス基板の平滑性が損なわれて
しまうことが分かった。Next, the surface shape of each substrate after polishing when the Cr intermediate film thickness was changed was observed using STM. The results are shown in Table 1. As can be seen from this table, when the Cr intermediate film thickness is 500 A (angstrom) or less even after polishing with loose abrasive grains, the surface of the substrate has no groove-like unevenness like that of a textured aluminum substrate. It can be seen that the surface roughness is almost the same as the surface roughness of the substrate, and the smoothness of the glass substrate is maintained. However, the same observation was made for a magnetic recording medium having a Cr intermediate film thickness of 1000 A (angstrom). As a result, groove-like irregularities were formed on the substrate surface, the surface roughness was increased, and the smoothness of the glass substrate was improved. It turned out to be damaged.

【００１４】[0014]

【表１】 [Table 1]

【００１５】以上の結果から、本発明の磁気記録媒体の
非磁性基板上の非磁性金属中間膜の厚さは、５０Ａ(オンク
゛ストローム)以上５００Ａ(オンク゛ストローム)以下に設定するものと
する。 （実施例１）上記磁気記録媒体の具体的な製造において
示した厚さ５００Ａ(オンク゛ストローム)のＣｒ膜を非磁性金属
中間膜としたものを実施例１とする。 （実施例２）Ｃｒ膜のかわりにＮｂ膜を３００Ａ(オンク゛ス
トローム)成膜した。また研磨は８０００番の研磨テープを
用いて行った。その他の条件は実施例１と同じである。 （比較例１）実施例と同様の条件でＣｒ中間膜を成膜後
スパッタ装置より基板を取り出し、遊離砥粒による研磨
を行うことなく洗浄・乾燥して非磁性基体を形成し、実
施例１と同じ条件でＣｒ下地膜、ＣｏＮｉＣｒ磁性膜、
Ｃ保護膜を形成し、磁気記録媒体を作製した。 （比較例２）表面粗さＲａが３０Ａ(オンク゛ストローム)の平滑
ガラス基板をそのまま磁気記録媒体の非磁性基体とし
た。From the above results, the thickness of the non-magnetic metal intermediate film on the non-magnetic substrate of the magnetic recording medium of the present invention is set to 50 A (angstrom) or more and 500 A (angstrom) or less. (Example 1) Example 1 is a nonmagnetic metal intermediate film made of the Cr film having a thickness of 500 A (angstrom) shown in the concrete manufacture of the magnetic recording medium. (Example 2) Instead of the Cr film, an Nb film was formed at 300 A (angstrom). The polishing was performed using a No. 8000 polishing tape. Other conditions are the same as in Example 1. (Comparative Example 1) After forming a Cr intermediate film under the same conditions as in Example, the substrate was taken out from the sputtering apparatus and washed and dried without polishing with free abrasive grains to form a non-magnetic substrate. Under the same conditions as Cr underlayer film, CoNiCr magnetic film,
A C protective film was formed to produce a magnetic recording medium. (Comparative Example 2) A smooth glass substrate having a surface roughness Ra of 30 A (angstrom) was directly used as a non-magnetic substrate of a magnetic recording medium.

【００１６】上記実施例および比較例の磁気記録媒体の
それぞれのカーループトレーサーで測定した保磁力、Ｓ
^*(角形比)および、記録密度４２ｋＦＣＩでこれらの媒
体のノイズを測定した。表２にその結果を示す。The coercive force, S, measured by the respective Kerr loop tracers of the magnetic recording media of the above-mentioned examples and comparative examples.
^* (Squareness ratio) and noise of these media were measured at a recording density of 42 kFCI. The results are shown in Table 2.

【００１７】[0017]

【表２】 [Table 2]

【００１８】表２から分かるように実施例１、２、比較
例１のように非磁性基体表面が金属材料である場合には
得られた磁気記録媒体の保磁力が大きく高密度記録に適
する磁気特性が得られる。しかし比較例１の場合、保磁
力は実施例１、２と同等であるが、媒体のノイズが大き
く高密度記録媒体として適さないことが分かる。これ
は、実施例１、２ではＳ^*が比較例１に比べて小さくな
っており、磁気的孤立生が高まりノイズが低下したもの
と考えられる。以上の現象から判断して本発明による実
施例１および２の基体を用いて作製した磁気記録媒体
は、磁気ヘッドの低浮上量化が可能な高密度記録用磁気
記録媒体として最適であることが分かる。As can be seen from Table 2, when the surface of the non-magnetic substrate is a metal material as in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, the magnetic recording medium obtained has a large coercive force and is suitable for high density recording. The characteristics are obtained. However, in the case of Comparative Example 1, although the coercive force is equivalent to that of Examples 1 and 2, it can be seen that the medium has large noise and is not suitable as a high density recording medium. This is considered to be because S ^* in Examples 1 and 2 was smaller than that in Comparative Example 1, and the magnetic isolation was increased to lower the noise. Judging from the above phenomenon, it is found that the magnetic recording media manufactured using the substrates of Examples 1 and 2 according to the present invention are optimal as the magnetic recording medium for high density recording capable of reducing the flying height of the magnetic head. .

【００１９】[0019]

【発明の効果】本発明によって、中間膜を成膜後の非磁
性基体を遊離砥粒あるいはテープによりガラス基板の平
滑性を損なうことなく研磨することにより、磁気ヘッド
の低浮上量化ができ、中間膜上に成膜されるＣｒ下地膜
を介し、磁気記録媒体のノイズを小さくした磁気記録媒
体を得ることができる。According to the present invention, the non-magnetic substrate after the formation of the intermediate film is polished by free abrasive grains or a tape without impairing the smoothness of the glass substrate, so that the flying height of the magnetic head can be reduced, A magnetic recording medium in which noise of the magnetic recording medium is reduced can be obtained through the Cr underlayer film formed on the film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の実施例の磁気記録媒体の部分断面図で
ある。FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の磁気記録媒体のうちＣｒ中間膜の膜厚
を変化させたときの保磁力の変化を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a change in coercive force when the thickness of a Cr intermediate film in the magnetic recording medium of the present invention is changed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ ガラス基板、１２ Ｃｒ中間膜、１３ Ｃｒ下地
膜、１４ 磁性膜、１５ 保護膜、１６ 潤滑膜11 glass substrate, 12 Cr intermediate film, 13 Cr underlayer film, 14 magnetic film, 15 protective film, 16 lubricating film

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 非磁性基体上にＣｒ等の下地膜と磁性膜
と保護膜を順次積層させてなる磁気記録媒体において、
前記非磁性基体が、非磁性基板、および該非磁性基板上
に設けられた非磁性金属中間膜からなり、この非磁性金
属中間膜を成膜後この金属中間膜の表面が研磨され、表
面粗度１０Ａ(オンク゛ストローム)〜４０Ａ(オンク゛ストローム)であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium comprising a non-magnetic substrate, a base film of Cr or the like, a magnetic film, and a protective film, which are sequentially stacked.
The non-magnetic substrate is composed of a non-magnetic substrate and a non-magnetic metal intermediate film provided on the non-magnetic substrate. After the non-magnetic metal intermediate film is formed, the surface of the metal intermediate film is polished to obtain a surface roughness. A magnetic recording medium having a thickness of 10 A (angstrom) to 40 A (angstrom). 【請求項２】 金属中間膜の膜厚が５０Ａ(オンク゛ストローム)
以上５００Ａ(オンク゛ストローム)以下である事を特徴とする請
求項１記載の磁気記録媒体。2. The film thickness of the metal intermediate film is 50 A (angstrom).
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is 500 A (angstrom) or less.