JPH0793518B2 - Parts mounting device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本発明は、チップコンデンサやチップ抵抗のような小型
の部品を基板に装着する装置に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a device for mounting a small component such as a chip capacitor or a chip resistor on a substrate.

（ロ） 従来の技術 上記の如き装置においては、真空吸着装置により部品の
ピックアンドプレース作業を行なうのが一般的である。
ところで真空吸着の対象となる部品は、近年その種類が
非常に多くなってきている。そこで、単一の装着装置で
可能な限り多種類の部品をこなすことが求められる訳で
あるが、そのためには、部品の形状に合わせた多様な吸
引具を一台の装着装置に備えさせ、これらの吸引具を適
宜選択して使用するようにしなければならない。吸引具
を選択使用する方式の一として、吸引具を真空吸着装置
から脱着できるようにし、吸着対称に応じた吸引具を取
り付けて使用することが考えられる。その例を特開昭59
−69992号公報及び実開昭62−47167号公報に見ることが
できる。(B) Conventional Technique In the above-mentioned device, it is general to perform pick and place work of parts by a vacuum suction device.
By the way, in recent years, the types of parts to be vacuum-adsorbed have become extremely large. Therefore, it is necessary to perform as many types of parts as possible with a single mounting device, but for that purpose, a single mounting device is equipped with various suction tools matching the shapes of the parts, These suction tools must be appropriately selected and used. As one of the methods of selectively using the suction tool, it is conceivable that the suction tool can be detached from the vacuum suction device, and the suction tool corresponding to the suction symmetry is attached and used. An example is JP-A-59.
It can be found in Japanese Patent Publication No. 69992 and Japanese Utility Model Publication No. 62-47167.

（ハ） 発明が解決しようとする問題点 本発明は、上記の如き吸引具着脱機能を備えた部品装着
装置に、多種類の吸引具を自動的に、且つ種類を誤るこ
となく交換できる仕組を備えさせようとするものであ
る。(C) Problems to be Solved by the Invention The present invention provides a component mounting apparatus having a suction tool attachment / detachment function as described above with a mechanism capable of automatically exchanging many kinds of suction tools without mistaken types. It is something that you try to prepare for.

（ニ） 問題点を解決するための手段 本発明では、真空吸着装置を支持装置より作業ステーシ
ョンへと移動させるものとし、真空吸着装置が停止する
位置のいくつかには、真空吸着装置を目標に向かって接
近させ、また、そこから離脱させる駆動装置を配置す
る。真空吸着装置の吸引具は着脱可能であり、これに対
応して、複数個の吸引保持部を有する吸着具ストッカを
配置する。個々の吸引具には凹凸により表された種類識
別記号を付す。さらに、吸引具ストッカに保持された、
または真空吸着装置に装着された吸引具の種類識別記号
を読み取る識別装置を設ける。(D) Means for Solving Problems In the present invention, the vacuum suction device is moved from the support device to the work station, and the vacuum suction device is targeted at some of the positions where the vacuum suction device stops. A drive device is arranged to move toward and away from the vehicle. The suction tool of the vacuum suction device is removable, and a suction tool stocker having a plurality of suction holders is arranged correspondingly. Each suction tool is given a type identification symbol represented by unevenness. Furthermore, held in the suction tool stocker,
Alternatively, an identification device for reading the type identification symbol of the suction tool attached to the vacuum suction device is provided.

（ホ） 作用 真空吸着装置は作業ステーションから作業ステーション
へと移動しつつ部品のピックアンドプレース作業を行
う。吸引具を交換する必要が生じた時は、真空吸着装置
を吸引具ストッカに接近させ、不要となった吸引具を吸
引具ストッカに置き、所望の吸引具をを吸引具ストッカ
から取り上げる。交換対象となる吸引具の凹凸により表
された種類識別記号を識別装置が監視し、取り違えを防
ぐ。(E) Action The vacuum suction device performs pick and place work of parts while moving from the work station to the work station. When it becomes necessary to replace the suction tool, the vacuum suction device is brought close to the suction tool stocker, the unnecessary suction tool is placed on the suction tool stocker, and the desired suction tool is taken from the suction tool stocker. The identification device monitors the type identification symbol, which is represented by the unevenness of the suction tool to be replaced, to prevent mistaking.

（ヘ） 実施例 以下、一実施例を図に基いて説明する。(F) Example Hereinafter, one example will be described with reference to the drawings.

−−全体的構成−− 部品装着装置（10）を構成するユニットの平面的配置関
係を第２図に模型的に示す。そのユニットとは、装着ユ
ニット（11）、部品供給ユニット（12）、基板支持ユニ
ット（13）、基板ローディングユニット（14）、基板ア
ンローディングユニット（15）である。装着ユニット
（11）は、ロータリーインデックステーブル型の支持装
置の周縁に複数個の真空吸着装置を配置したものであ
る。部品供給ユニット（12）は、直線的に移動する支持
台（20）の上に複数個の部品供給装置（21）を並べ、こ
れらの部品供給装置（21）の中から所要の部品を貯蔵し
たものを選択できるようにしている。部品貯蔵手段とし
て使用するのはテープである。第１図に示す部品供給テ
ープ（22）がそれであって、図の構成では、プラスチッ
ク素材にエンボス加工を施すことにより一定ピッチで形
成した凹部（23）に部品（１）を１個づつ入れ、その上
をカバーテープ（24）で覆い、カバーテープ（24）を剥
ぎ取りながら部品供給テープ（22）を１ピッチづつ送っ
て、部品装着ユニット（11）に部品（１）を引き渡す。
基板支持ユニット（13）は基板（２）を位置決めして載
置する２次元移動テーブル型の基板支持装置（30）がそ
の主体をなす。基板ローディングユニット（14）は、基
板マガジン（図示せず）を内部でエレベータ状に昇降さ
せつつ、そこから基板（２）を１枚づつ押し出すローダ
（40）と、押し出された基板（２）をベルト（図示せ
ず）によって基板支持ユニット（13）のところまで運ぶ
ローディングブリッジ（41）からなる。基板アンローデ
ィングユニット（15）は、ベルト（図示せず）により基
板支持ユニット（13）のところから部品装着済の基板
（２）を運び去るアンローディングブリッジ（51）と、
内部でエレベータ状に昇降する基板マガジン（図示せ
ず）へ、アンローディングブリッジ（51）から基板
（２）をとり込むアンローダ（50）からなる。--- Overall configuration --- FIG. 2 schematically shows the planar arrangement relationship of the units constituting the component mounting device (10). The units are a mounting unit (11), a component supply unit (12), a substrate support unit (13), a substrate loading unit (14), and a substrate unloading unit (15). The mounting unit (11) has a plurality of vacuum suction devices arranged around the periphery of a rotary index table type supporting device. The component supply unit (12) has a plurality of component supply devices (21) arranged on a support (20) which moves linearly, and stores the required components from the component supply devices (21). I am able to choose one. A tape is used as the component storage means. This is the component supply tape (22) shown in FIG. 1, and in the configuration shown in the figure, the components (1) are inserted one by one into the recesses (23) formed at a constant pitch by embossing a plastic material, The top of the cover is covered with a cover tape (24), the component supply tape (22) is fed one pitch at a time while the cover tape (24) is stripped off, and the component (1) is delivered to the component mounting unit (11).
The substrate supporting unit (13) is mainly composed of a two-dimensional moving table type substrate supporting device (30) for positioning and mounting the substrate (2). The substrate loading unit (14) lifts and lowers a substrate magazine (not shown) like an elevator inside the substrate magazine, and pushes out the substrates (2) one by one from the loader (40) and the pushed substrate (2). It consists of a loading bridge (41) which is carried by a belt (not shown) to the substrate support unit (13). The board unloading unit (15) includes an unloading bridge (51) for carrying away the board (2) on which the components are mounted from the board supporting unit (13) by a belt (not shown).
The unloader (50) takes in the substrate (2) from the unloading bridge (51) into a substrate magazine (not shown) that moves up and down like an elevator.

−−装着ユニット−− 装着ユニット（11）の主体をなすものは、第１図に示す
ロータリーインデックステーブル型の支持装置（60）で
ある。支持装置（60）は、装置フレーム（61）の軸受部
（62）に垂直に支持された回転軸（63）の下端に固定さ
れている。回転軸（63）は装置フレーム（61）の上に支
持されたインデックスドライブ装置（64）によって一方
向に（本実施例の場合、上から見て時計回りに）間歇的
に回転せしめられ、これにより支持装置（60）は水平面
内で間歇回転を行なう。回転軸（63）は中空であって、
その中心の空洞部は図示しない真空源に接続する真空吸
引路（65）となっている。真空吸引路（65）の下端開口
は、真空ホース接続用の接続金具（66）を複数個備えた
栓体（67）で閉塞する。接続金具（66）には、後述する
真空吸着装置から延び出す真空ホースを接続する。--Mounting Unit-- The main component of the mounting unit (11) is the rotary index table type supporting device (60) shown in FIG. The support device (60) is fixed to the lower end of a rotating shaft (63) which is vertically supported by the bearing portion (62) of the device frame (61). The rotating shaft (63) is intermittently rotated in one direction (clockwise when viewed from above in the case of this embodiment) by an index drive device (64) supported on the device frame (61). Thus, the support device (60) intermittently rotates in the horizontal plane. The rotating shaft (63) is hollow,
The central hollow portion serves as a vacuum suction path (65) connected to a vacuum source (not shown). The lower end opening of the vacuum suction path (65) is closed by a plug body (67) provided with a plurality of connecting fittings (66) for connecting a vacuum hose. A vacuum hose extending from a vacuum suction device described later is connected to the connection fitting (66).

支持装置（60）の間歇回転単位は１回転の16分の１、す
なわち22.5゜である。支持装置（60）の周縁上の１点は
支持装置（60）が１回転する間に16個所の停止地点を持
つことになる。この種装置の通例に従い、かかる停止地
点を作業ステーションに設定する。第３図に模型的に示
すように、支持装置（60）（同図では大きな円でこれを
象徴する）は、アルファベット順に従ってＡからＰまで
の符号をつけた、計16個の作業ステーションをその周縁
に配置することになる。支持装置（60）を象徴する大円
と、作業ステーション（Ｋ）（Ｌ）において、また作業
ステーション（Ｍ）（Ｎ）において、それぞれ交差する
２個の小円は、後述する吸引具ストッカを象徴するもの
である。支持装置（60）は、回転分割数と同じ16個の真
空吸着装置（70）をその周縁に有する。The intermittent rotation unit of the supporting device (60) is 1/16 of one rotation, that is, 22.5 °. One point on the periphery of the supporting device (60) has 16 stop points during one rotation of the supporting device (60). In accordance with the customary practice of this type of device, such a stop is set at the work station. As shown in a model in FIG. 3, the support device (60) (which is symbolized by a large circle in the figure) has a total of 16 work stations with symbols A to P in alphabetical order. It will be arranged at the periphery. Two small circles that intersect the support device (60) and the work station (K) (L) and the work station (M) (N), respectively, represent the suction tool stocker described later. To do. The support device (60) has 16 vacuum suction devices (70), which are the same as the number of rotation divisions, on the periphery thereof.

−−真空吸着装置の支持−− 個々の真空吸着装置（70）は、支持装置（60）の外周に
固定した軸受ブロック（71）に昇降可能に支持されてい
る。支持装置（60）の中心から見て放射方向に並ぶ、２
本の垂直なロッド（72）（73）が、軸受ブロック（71）
をスライド可能に貫通しており、これらのロッド（72）
（73）の上端部及び下端部には、それぞれ連結板（74）
（75）が固定されている。下方の連結板（75）の外側へ
の張り出し部分が真空吸着装置（70）を支持する。上方
の連結板（74）は「Ｌ」の字の形をしており、その垂直
に立ち上がった部分の両面に、支持装置（60）の回転中
心に向かってはローラ（76）が、それと反対の方向に向
かってはローラ（77）が、それぞれ取り付けられてい
る。ローラ（76）（77）は、いずれも水平軸線まわりに
回転自在である。（78）は装置フレーム（61）に固定し
た環状のカム部材で、その外周のカム溝（79）にローラ
（76）が係合する。すなわち連結板（74）、ロッド（7
2）（73）、連結板（75）、及び真空吸着装置（70）を
含んだ構造体（80）は、ローラ（76）によってカム部材
（78）から吊り下げられた形になり、支持装置（60）が
回転するにつれ、カム溝（79）の起伏にならって上下す
る。特定の作業ステーションにおいては、支持装置（6
0）の停止期間中に特別に大きな昇降ストロークを真空
吸着装置（70）に与えるため、ローラ（76）の下降通路
（81）をカム溝（79）から分岐して設けている。この個
所ではローラ（76）の支えがなくなるが、その代わり、
ローラ（77）が「Ｃ」字形断面をした支持部材（82）に
係合して、ローラ（76）に代わり構造体吊り下げの役目
を果たす。支持部材（82）は垂直なロッド（83）の下端
に固定され、駆動装置（84）を構成する。ロッド（83）
は装置フレーム（61）に固定された軸受部（85）に支持
される。ロッド（83）には、図示しない駆動機構（例え
ばカム機構）によって、その作業ステーションで必要と
されるストローク長の降下→上昇運動が、所定のタイミ
ングで与えられる。降下を終えて上昇して来たローラ
（76）は、次に支持装置（60）が動き出すことにより、
再びカム溝（79）に乗り移り、他方ローラ（77）は支持
部材（82）から抜け出すものである。このような下降通
路（81）と駆動装置（84）の組み合わせは、作業ステー
ション（Ａ）（Ｄ）（Ｉ）（Ｋ）（Ｌ）（Ｍ）（Ｎ）に
設けられる（第４図参照）。なおローラ（76）又は（7
7）をカム溝（79）又は支持部材（82）の上向き支持面
に確実に接触させるため、ロッド（72）の上端から水平
に突出したブラケット部材（86）と、支持装置（60）に
固定したステー（87）との間に引張コイルばね（88）を
張り渡して、このばねの力で構造体（80）を下方へ引
く。引張コイルばね（88）は支持装置（60）を垂直に貫
通する穴（89）の中を通り抜けている。--Support of Vacuum Adsorption Device-- Each vacuum adsorption device (70) is supported by a bearing block (71) fixed to the outer periphery of the support device (60) so as to be able to move up and down. 2 aligned in the radial direction when viewed from the center of the supporting device (60)
The vertical rods (72) (73) of the book are the bearing blocks (71)
Slidably extend through these rods (72)
The connecting plate (74) is provided at the upper end and the lower end of (73), respectively.
(75) is fixed. The outwardly protruding portion of the lower connecting plate (75) supports the vacuum suction device (70). The upper connecting plate (74) is in the shape of an "L", and the rollers (76) are opposite to it on both sides of the vertically rising part thereof toward the center of rotation of the supporting device (60). Rollers (77) are attached in the direction of. Each of the rollers (76) (77) is rotatable about a horizontal axis. Reference numeral (78) is an annular cam member fixed to the device frame (61), and the roller (76) is engaged with the cam groove (79) on the outer periphery thereof. That is, the connecting plate (74) and the rod (7
2) The structure (80) including the (73), the connecting plate (75), and the vacuum suction device (70) is suspended from the cam member (78) by the roller (76) to form a support device. As the (60) rotates, it moves up and down following the ups and downs of the cam groove (79). At certain work stations, support equipment (6
The down passage (81) of the roller (76) is provided so as to branch from the cam groove (79) in order to give a particularly large lifting stroke to the vacuum suction device (70) during the stop period of 0). At this point, the support of the roller (76) is lost, but instead,
The roller (77) engages the support member (82) having a "C" -shaped cross section to replace the roller (76) and suspend the structure. The support member (82) is fixed to the lower end of the vertical rod (83) and constitutes a drive device (84). Rod (83)
Are supported by bearings (85) fixed to the device frame (61). A driving mechanism (for example, a cam mechanism) (not shown) gives the rod (83) a descending → ascending movement of a stroke length required at the work station at a predetermined timing. The roller (76) that has finished descending and has ascended, then the support device (60) starts to move,
The roller (77) moves to the cam groove (79) again, and the roller (77) comes out of the support member (82). Such a combination of the descending passage (81) and the drive device (84) is provided in the work stations (A) (D) (I) (K) (L) (M) (N) (see FIG. 4). . The roller (76) or (7
Fixed to the bracket member (86) that horizontally protrudes from the upper end of the rod (72) and the support device (60) so that the cam groove (79) or the support surface of the support member (82) can be securely contacted with the 7). A tension coil spring (88) is stretched between the stay (87) and the structure (80) is pulled downward by the force of this spring. The tension coil spring (88) passes through a hole (89) that vertically extends through the support device (60).

−−真空吸着装置−− さて真空吸着装置（70）であるが、これは第６図に示す
ような構造を有し、全体としての主軸線は垂直である。
支持装置（70）は、連結板（75）に固定されるケーシン
グ（90）を有する。ケーシング（90）は下部に軸受（9
1）を有し、この軸受（91）は、中空の吸着軸（92）
を、軸線まわりの回転ならびに軸線方向のスライドが可
能なる如く支持する。吸着軸（92）の下部は軸受（91）
より下に突出し、また軸の上部はケーシング（90）の上
部の空洞部（112）に入り込んでいる。吸着軸（92）の
下部は着脱自在な吸引具（93）を取り付ける吸引具取付
部（94）となっている。吸引具取付部（94）は、吸引具
（93）に雌雄嵌合する接続管部（95）と、吸引具（93）
を両側から挾む１対の弾性係止具（96）とを備えてい
る。弾性係止具（96）は帯状の板ばねからなり、上端部
はねじ（97）で吸着軸（92）に固定され、下部の自由端
には、「Ｖ」字形の折曲部（98）が形設される。折曲部
（98）の頂点は接続管部（95）の方を向く。吸引具（9
3）は、部品（１）の種類・形状に合わせて様々な仕様
のものが製作されるが、上部の接続個所に関しては全て
共通の形状を有している。すなわち、第21図に最も良く
示されているように、吸引具（93）の上部は弾性係止具
（96）をくさび作用で押し開くよう上の方が細くなった
テーパ部（99）となっており、テーパ部（99）の下には
弾性係止具（96）の折曲部（98）が係合する断面「Ｖ」
字形の溝（100）が形設されている。吸引具（93）の中
心穴（101）の上部が接続管部（95）にびったりとはま
り込む寸法になっていることは勿論である。溝（100）
より下のレベルには平面形状矩形のフランジ（102）を
形設する。フランジ（102）の両端面にはある法則をも
ってノッチを刻むが、その意味と作用については後述す
る。--Vacuum Adsorption Device-- Now, the vacuum adsorption device (70) has a structure as shown in FIG. 6, and the main axis line as a whole is vertical.
The support device (70) has a casing (90) fixed to the connecting plate (75). The casing (90) has a bearing (9
1), this bearing (91) has a hollow suction shaft (92)
Are supported so that they can rotate about the axis and slide in the axial direction. The lower part of the adsorption shaft (92) is the bearing (91)
It projects further downward, and the upper part of the shaft enters the cavity (112) in the upper part of the casing (90). A lower part of the suction shaft (92) serves as a suction tool attachment portion (94) to which a removable suction tool (93) is attached. The suction tool attachment part (94) includes a connection pipe part (95) that is fitted into the suction tool (93) and a suction tool (93).
Is provided with a pair of elastic locking members (96). The elastic locking member (96) is composed of a strip-shaped leaf spring, the upper end of which is fixed to the suction shaft (92) with a screw (97), and the lower free end thereof has a "V" -shaped bent portion (98). Is formed. The apex of the bent portion (98) faces the connecting pipe portion (95). Suction tool (9
As for 3), various specifications are manufactured according to the type and shape of the component (1), but all of the upper connection points have a common shape. That is, as best shown in FIG. 21, the upper part of the suction tool (93) has a taper part (99) which is narrowed upward so as to push open the elastic locking tool (96) by a wedge action. Under the taper portion (99), a cross section "V" where the bent portion (98) of the elastic locking member (96) is engaged.
A V-shaped groove (100) is formed. Needless to say, the upper part of the central hole (101) of the suction tool (93) is dimensioned to fit into the connecting pipe part (95). Groove (100)
At the lower level, a planar rectangular flange (102) is formed. Notches are formed on both end faces of the flange (102) according to a certain law, the meaning and action of which will be described later.

吸着軸（92）は、第18図に最も良く示されるように、吸
引具取付部（94）の少し上に、円形のフランジ（105）
を有する。フランジ（105）と、その一部を切り欠いて
形設した位置決め用平坦部（106）の役割は、これもま
た後述する。The suction shaft (92), as best shown in FIG. 18, has a circular flange (105), slightly above the suction tool mount (94).
Have. The role of the flange (105) and the positioning flat portion (106) formed by cutting out a part of the flange (105) will also be described later.

ケーシング（90）の側面にはエルボ形の接続金具（11
0）を取り付ける。接続金具（110）には図示しない真空
ホースを接続し、これにより、吸引具（93）の中心穴
（101）から、吸着軸（92）の中心穴（111）を通り、ケ
ーシング（90）の空洞部（112）から接続金具（110）へ
と抜ける、真空通路が形成される。吸着軸（92）の上端
には、焼結合金からなるキャップ状のストレーナ（11
3）を取り付け、真空通路中枢部への異物の侵入をここ
でくい止める。ストレーナ取付個所より少し下のレベル
において、吸着軸（92）はブレーキフランジ（114）を
有し、これに対向する如く、ケーシング（90）の空洞部
（112）底面にはブレーキ面（115）を形設する。空洞部
（112）の天井面には軸受（116）により回転自在に支持
された回転座（117）が配置されており、この回転座（1
17）とブレーキフランジ（114）の間に挿入された圧縮
コイルばね（118）が吸着軸（92）を軸線方向に付勢
し、ブレーキフランジ（114）をブレーキ面（115）に圧
接させる。The side of the casing (90) has elbow-shaped fittings (11
0) is attached. A vacuum hose (not shown) is connected to the connection fitting (110), which allows the suction tool (93) to pass through the center hole (101) of the suction shaft (92) and the casing (90). A vacuum passage is formed from the cavity (112) to the connection fitting (110). At the upper end of the adsorption shaft (92), a cap-shaped strainer (11
3) is attached, and the invasion of foreign matter to the central part of the vacuum passage is stopped here. At a level slightly below the strainer mounting point, the suction shaft (92) has a brake flange (114), and the brake surface (115) is provided on the bottom surface of the cavity (112) of the casing (90) so as to face it. Form. A rotating seat (117) rotatably supported by a bearing (116) is arranged on the ceiling surface of the cavity (112).
A compression coil spring (118) inserted between the brake flange (114) and the brake flange (114) urges the adsorption shaft (92) in the axial direction to press the brake flange (114) against the braking surface (115).

−−真空切替バルブ−− 真空吸着装置（70）の接続金具（110）に接続した真空
ホースの他端は、軸受ブロック（71）の側面に配置した
真空切替バルブ（120）に接続される。次に、真空切替
バルブ（120）の構造を、第５図、第９図、第10図、第1
1図、第12図等の図面を参照しつつ説明する。真空切替
バルブ（120）の基礎的部分は、軸受ブロック（71）か
ら一体的に削り出された張り出しブロック（121）であ
る。張り出しブロック（121）には、ロッド（72）（7
3）の配列方向と平行する、水平な貫通穴（122）を形設
する。張り出しブロック（121）の前後面にボルト（12
3）で固定された前蓋（124）と後蓋（125）が貫通穴（1
22）を密封する。張り出しブロック（121）は、真空切
替バルブ（120）に付与される幅をすべてまかなう程に
は軸受ブロック（71）から突出しておらず、その不足分
を補うため、張り出しブロック（121）の前後におい
て、軸受ブロック（71）の側面に堀り込み部（126）（1
27）を形設し、前蓋（124）と後蓋（125）の、いずれも
正面方向から見た半分ほどをこの堀り込み部（126）（1
27）の中に入り込ませている。後蓋（125）には２個の
接続金具（128）（129）を取り付ける。一方の接続金具
（128）は図示しない真空ホースにより真空吸着装置（7
0）の接続金具（110）に接続する。他方の接続金具（12
9）に接続する真空ホース（図示せず）は、支持装置（6
0）に形設した水平な貫通穴（60a）を通り、更にもう一
度、支持装置（60）に形設した垂直な貫通穴（60b）
（第１図に示す）を通って、回転軸（63）の栓体（67）
の接続金具（66）に接続する。なお当然のことながら、
接続金具（128）（129）のいずれもが、後蓋（125）の
内部に対して連通関係にある。-Vacuum switching valve --- The other end of the vacuum hose connected to the connection fitting (110) of the vacuum suction device (70) is connected to the vacuum switching valve (120) arranged on the side surface of the bearing block (71). Next, the structure of the vacuum switching valve (120) is shown in FIG. 5, FIG. 9, FIG.
Description will be made with reference to the drawings such as FIG. 1 and FIG. The basic part of the vacuum switching valve (120) is an overhang block (121) that is integrally machined from the bearing block (71). The overhang block (121) includes rods (72) (7
Form a horizontal through hole (122) parallel to the arrangement direction of 3). Bolts (12
The front lid (124) and rear lid (125) fixed by 3)
22) Seal. The overhanging block (121) does not protrude from the bearing block (71) to cover the entire width given to the vacuum switching valve (120), and in order to make up for the shortage, the overhanging block (121) is provided before and after the overhanging block (121). , Engraved part (126) (1) on the side of the bearing block (71)
27) is formed, and about half of the front lid (124) and the rear lid (125) when viewed from the front is the dug portion (126) (1
27) It's getting inside. Attach the two connecting fittings (128) (129) to the rear lid (125). One of the connecting fittings (128) is connected to the vacuum suction device (7
Connect it to the fitting (110) of 0). The other fitting (12
The vacuum hose (not shown) connected to 9) is attached to the support device (6
0) through the horizontal through hole (60a) formed, and then again through the vertical supporting hole (60b) formed in the supporting device (60).
Passing through (shown in FIG. 1), plug (67) of rotating shaft (63)
Connect to the connection metal fittings (66). And of course,
Both of the connection fittings (128) (129) are in communication with the inside of the rear lid (125).

（130）は真空切替バルブ（120）に挿入した弁体であ
る。弁体（130）は、直径の大きい本体部（131）と、そ
れよりも直径の小さい軸部（132）とを有する、ピスト
ン様の部材であって、本体部（131）は後蓋（125）の内
部に属する領域に主として位置し、軸部（132）は前蓋
（124）を貫通して外部に延び出している。弁体（130）
の本体部（131）には、２個の気密シール用のシールリ
ング（133）（134）が軸線方向に間隔を置いて装着され
ている。一方のシールリング（133）は後蓋（125）の内
部底面の弁座（135）に対するものであり、他方のシー
ルリング（134）は、弁体（130）と後蓋（125）の内周
面との間に配置したリング状の可動弁座（136）に対す
るものである。可動弁座（136）は、前蓋（124）との間
に挿入した圧縮コイルばね（137）によって、後蓋（12
5）の内面の肩部（138）に押し付けられる形になってい
る。弁体（130）も、本体部（131）と前蓋（124）との
間に挿入した圧縮コイルばね（139）によって、常時弁
座（135）をシールリング（133）で密栓する形になって
いる。弁体（130）の軸部（132）には、その先端から空
気穴（140）が穿たれている。空気穴（140）は、本体部
（131）の内部まで進んだところで「Ｔ」字形に分岐し
て、本体部（131）の側面に開口する。空気穴（140）の
弁体側面開口部は、第12図のようにシールリング（13
3）が弁座（135）に着座している状態では（この時には
接続金具（128）と接続金具（129）の間の空気流通は遮
断される）可動弁座（136）からはみ出した位置にあ
り、接続金具（128）の方に、真空破壊用の空気を供給
する。第10図のように圧縮コイルばね（139）の圧力に
抗して弁体（130）を引き出し、シールリング（134）を
可動弁座（136）に着座させた状態では、接続金具（12
8）（129）の間が連通し、逆に空気穴（140）は、弁体
側面開口部が可動弁座（136）の中に埋没することによ
って空気流入の道を閉ざされる。(130) is a valve element inserted in the vacuum switching valve (120). The valve body (130) is a piston-like member having a main body portion (131) having a large diameter and a shaft portion (132) having a smaller diameter, and the main body portion (131) has a rear lid (125). ), The shaft portion (132) extends through the front lid (124) to the outside. Valve body (130)
Two seal rings (133) and (134) for hermetic sealing are attached to the main body part (131) at intervals in the axial direction. One seal ring (133) is for the valve seat (135) on the inner bottom surface of the rear lid (125), and the other seal ring (134) is the inner circumference of the valve body (130) and the rear lid (125). This is for a ring-shaped movable valve seat (136) disposed between the surface and the surface. The movable valve seat (136) is attached to the rear lid (12) by a compression coil spring (137) inserted between the movable valve seat (136) and the front lid (124).
It is shaped so as to be pressed against the shoulder (138) on the inner surface of 5). The valve body (130) also has a shape in which the valve seat (135) is constantly sealed by the seal ring (133) by the compression coil spring (139) inserted between the body portion (131) and the front lid (124). ing. An air hole (140) is formed in the shaft portion (132) of the valve body (130) from the tip thereof. The air hole (140) branches into a “T” shape when it reaches the inside of the main body (131) and opens on the side surface of the main body (131). As shown in Fig. 12, the seal ring (13
In the state where 3) is seated on the valve seat (135) (at this time, the air flow between the connection fitting (128) and the connection fitting (129) is cut off), it is located outside the movable valve seat (136). Yes, air for vacuum breaking is supplied to the connection fitting (128). As shown in FIG. 10, when the valve body (130) is pulled out against the pressure of the compression coil spring (139) and the seal ring (134) is seated on the movable valve seat (136), the connecting fitting (12
8) (129) communicate with each other, and conversely, the air hole (140) closes the air inflow path by burying the valve body side opening in the movable valve seat (136).

−−バルブ切替装置−− 真空切替バルブ（120）には、バルブ開閉状態を切り替
え、且つその状態を維持させるためのバルブ切替装置
（150）が付属する。バルブ切替装置（150）は、軸受ブ
ロック（71）の前面に一体的に削り出した棚部（151）
を基礎として組み立てられている。棚部（151）の上面
には、ベルクランク（152）とレバー（153）を、取付軸
（154）（155）により、それぞれ水平面内で回転できる
よう枢支する。ベルクランク（152）は両端にローラ（1
56）（157）を有する。ローラ（156）の方は、第10図か
ら明らかなように、取付軸（154）（155）の頂部、ま
た、ローラ（157）及びその取付軸頂部よりも一段と高
い位置に支持されている。ローラ（157）は、ベルクラ
ンク（152）の角度によって、レバー（153）の側面に互
に間隔を置いて形設した浅い凹部（158）（159）の内い
ずれか一方に係合する。レバー（153）の先端は、真空
切替バルブ（120）の弁体（130）の軸部先端に形設した
フランジ（いわゆるダブルナットにより構成する）（16
0）の裏側に係合する。第９図のように、ベルクランク
（152）のローラ（157）がレバー（153）の凹部（158）
に係合するときは、レバー（153）によって弁体（130）
が真空切替バルブ（120）から引き出され、真空吸引通
路が開通する。第11図のようにローラ（157）が凹部（1
59）に係合するときは、弁体（130）は圧縮コイルばね
（139）の力で真空切替バルブ（120）の中に引っ込み、
真空吸引通路は遮断される。いずれのバルブ状態も、ロ
ーラ（157）が凹部（158）ないし（159）から抜け出そ
うとする時に生じる抵抗によって、真空切替バルブ（12
0）が支持装置（60）と共に空間を移動する間、何等動
力補給なしに、自律的に維持される。--- Valve Switching Device --- The vacuum switching valve (120) is provided with a valve switching device (150) for switching the valve open / closed state and maintaining the state. The valve switching device (150) has a shelf (151) that is integrally machined on the front surface of the bearing block (71).
Is built on the basis of. A bell crank (152) and a lever (153) are pivotally supported on the upper surface of the shelf (151) by mounting shafts (154) and (155) so that they can be rotated in a horizontal plane. Bell crank (152) has rollers (1
56) (157). As is apparent from FIG. 10, the roller (156) is supported at a position higher than the tops of the mounting shafts (154) and (155) and also the rollers (157) and the tops of the mounting shafts. The roller (157) engages with one of the shallow recesses (158) (159) formed on the side surfaces of the lever (153) at a distance from each other depending on the angle of the bell crank (152). The tip of the lever (153) has a flange (consisting of a so-called double nut) formed on the tip of the shaft portion of the valve body (130) of the vacuum switching valve (120) (16
Engage with the back side of 0). As shown in FIG. 9, the roller (157) of the bell crank (152) is recessed (158) in the lever (153).
The valve body (130) by the lever (153) when engaging the
Is drawn out from the vacuum switching valve (120), and the vacuum suction passage is opened. As shown in Fig. 11, the roller (157) is recessed (1
59), the valve body (130) is retracted into the vacuum switching valve (120) by the force of the compression coil spring (139),
The vacuum suction passage is shut off. In either valve state, the vacuum switching valve (12) is caused by the resistance generated when the roller (157) tries to come out of the recesses (158) to (159).
While 0) moves in space with the support device (60), it is maintained autonomously without any power replenishment.

真空切替バルブ（120）とバルブ切替装置（150）を、第
11図の状態から第９図の状態へと移行させるのは、切替
アクチュエータ（161）である。切替アクチュエータ（1
61）は、簡単に言えば、ローラ（156）を蹴る足のよう
なもので、図示しない駆動力源により、第９図において
実線位置から二点鎖線位置へと直線移動ないしスイング
し、ローラ（156）を押してベルクランク（152）を上か
ら見て時計まわりに回転させ、今まで凹部（159）に係
合していたローラ（157）を凹部（158）に移動させ、そ
して、レバー（153）の角度を変えるものである。切替
アクチュエータ（161）は作業ステーション（Ａ）に配
置する。切替アクチュエータ（161）は作業ステーショ
ン（Ａ）へやって来るバルブ切替装置（150）を静止状
態で待ち受ける訳であるが、前述のようにローラ（15
6）はバルブ切替装置（150）の他部分よりも高い位置に
あり、切替アクチュエータ（161）の下端もこれに合わ
せて持ち上げられているので、切替アクチュエータ（16
1）と移動物体との間に干渉が生じることはない。The vacuum switching valve (120) and valve switching device (150)
It is the switching actuator (161) that shifts the state of FIG. 11 to the state of FIG. Switching actuator (1
Briefly, 61) is like a foot kicking the roller (156), and is linearly moved or swung from a solid line position to a two-dot chain line position in FIG. 156) to rotate the bell crank (152) clockwise as viewed from above to move the roller (157), which was previously engaged in the recess (159), into the recess (158), and the lever (153). ) Changes the angle. The switching actuator (161) is arranged at the work station (A). The switching actuator (161) stands by for the valve switching device (150) coming to the work station (A) in a stationary state.
6) is located higher than the other parts of the valve switching device (150), and the lower end of the switching actuator (161) is also lifted accordingly, so the switching actuator (16)
There is no interference between 1) and moving objects.

真空切替バルブ（120）とバルブ切替装置（150）を、第
９図の状態から第11図の状態へと移行させるのは、切替
アクチュエータ（162）である。実施例では、切替アク
チュエータ（162）を次のように構成している。（163）
は図示しない駆動力源により水平方向にスライドせしめ
られる１対のロッドで、その先端には連結板（164）が
固定されている。連結板（164）はプッシャ（165）と空
気注入ノズル（166）を支持する。空気注入ノズル（16
6）は、前端にはゴム等の弾性物質からなるマウスピー
ス（167）を有し、後端には、図示しない圧縮空気ホー
スを接続する接続金具（168）を有する。空気注入ノズ
ル（166）は連結板（164）に対し一定ストローク範囲で
スライド可能であり、圧縮コイルばね（169）により前
端方向へ付勢されている。切替アクチュエータ（162）
がバルブ切替装置（150）に接近すると、プッシャ（16
5）がローラ（156）を押してベルクランク（152）を上
から見て反時計方向に回転させ、凹部（158）に係合し
ていたローラ（157）を凹部（159）に移動させ、そし
て、レバー（153）の角度を変える。この時空気注入ノ
ズル（166）は、圧縮コイルばね（169）の弾発作用の
下、マウスピース（167）を弁体（130）の軸部（132）
に押し付け、空気穴（140）から圧縮空気を吹き込む。
圧縮空気は真空切替バルブ（120）の後蓋（125）の内部
に侵入するが、前述のようにこの時は接続金具（129）
への空気通路はシールリング（133）によりシールされ
ているので、圧縮空気は接続金具（128）のみに向か
う。この圧縮空気は、真空吸着装置（70）の内部の真空
を積極的に破壊し、吸着軸（92）の吸引を完全に終息さ
せる役割を果たす。切替アクチュエータ（162）は、作
業ステーション（Ｉ）と（Ｊ）に配置する。It is the switching actuator (162) that shifts the vacuum switching valve (120) and the valve switching device (150) from the state of FIG. 9 to the state of FIG. In the embodiment, the switching actuator (162) is configured as follows. (163)
Are a pair of rods that are slid horizontally by a driving force source (not shown), and a connecting plate (164) is fixed to the tip thereof. The connection plate (164) supports the pusher (165) and the air injection nozzle (166). Air injection nozzle (16
6) has a mouthpiece (167) made of an elastic material such as rubber at the front end and a connecting fitting (168) for connecting a compressed air hose (not shown) at the rear end. The air injection nozzle (166) is slidable with respect to the connecting plate (164) within a fixed stroke range, and is biased toward the front end by a compression coil spring (169). Switching actuator (162)
When the valve switching device (150) approaches, the pusher (16
5) pushes the roller (156) to rotate the bell crank (152) counterclockwise when viewed from above, moving the roller (157) engaged with the recess (158) to the recess (159), and , Change the angle of the lever (153). At this time, the air injection nozzle (166) moves the mouthpiece (167) to the shaft portion (132) of the valve body (130) under the elastic action of the compression coil spring (169).
Then, blow compressed air through the air hole (140).
Compressed air enters the inside of the rear lid (125) of the vacuum switching valve (120), but as described above, at this time the connection fitting (129)
Since the air passage to is sealed by the seal ring (133), the compressed air is directed only to the fitting (128). The compressed air positively breaks the vacuum inside the vacuum suction device (70) and completely terminates the suction of the suction shaft (92). Switching actuators (162) are located at work stations (I) and (J).

−−作業ステーション−− 上述のように構成された装着ユニット（11）は、その保
有する真空吸着装置（70）を、各々閉ループ状の軌道を
描かせつつ、作業ステーションから作業ステーションへ
と間歇的に移動させる。（Ａ）かる（Ｐ）までの作業ス
テーションには、真空吸着装置（70）に対し格別の作用
を行なわない遊びステーションを交えつつも、各種装置
を配置する。以下、各作業ステーションに配置される装
置について説明する。なおここで、いくつかの作業ステ
ーションには、その作業ステーションで行なわれる作業
内容を表象する、特別の名称をつける。すなわち作業ス
テーション（Ａ）は部品供給ステーションと、作業ステ
ーション（Ｃ）は吸着軸角度調整ステーションと、作業
ステーション（Ｄ）は部品方向調整ステーションと、作
業ステーション（Ｆ）は部品認識ステーションと、作業
ステーション（Ｉ）は部品装着ステーションと、作業ス
テーション（Ｊ）は部品投棄ステーションと、作業ステ
ーション（Ｋ）（Ｍ）は吸引具分離ステーションと、作
業ステーション（Ｌ）（Ｎ）は吸引具装着ステーション
と、作業ステーション（Ｏ）は吸引具認識ステーション
と、それぞれ命名する。他の作業ステーションは遊びス
テーションとなる。--Working station--The mounting unit (11) configured as described above intermittently moves the vacuum suction device (70) held therein from one working station to another while drawing a closed loop orbit. Move to. In the work stations (A) to (P), various devices are arranged while interposing a play station that does not perform any special action with respect to the vacuum suction device (70). The devices arranged in each work station will be described below. Note that, here, some work stations are given special names that represent the contents of work performed at the work stations. That is, the work station (A) is a parts supply station, the work station (C) is a suction axis angle adjustment station, the work station (D) is a parts direction adjustment station, the work station (F) is a parts recognition station, and a work station. (I) is a component mounting station, work station (J) is a component dumping station, work stations (K) and (M) are suction tool separating stations, and work stations (L) and (N) are suction tool mounting stations. The work station (O) is named as a suction tool recognition station. The other work stations become play stations.

−−部品供給ステーション−− 部品供給ステーション（Ａ）は、「全体的構成」の項で
述べた部品供給ユニット（12）がこれを占拠する。--Parts Supply Station-- The parts supply station (A) is occupied by the parts supply unit (12) described in the section "Overall configuration".

−−吸着軸角度調整ステーション−− 吸着軸角度調整ステーション（Ｃ）にはブレーキ解除装
置（170）と吸着軸角度調整装置（175）を配置する（第
７図参照）。ブレーキ解除装置（170）は、図示しない
駆動装置により空間内を移動せしめられるアーム（17
1）と、アーム（171）の先端に水平軸線まわりに回転自
在に支持されたローラ（172）とからなる。吸着軸角度
調整装置（175）は、図示しない駆動装置により水平方
向にスライドせしめられるスライダ（176）と、垂直軸
線まわりに回転するようスライダ（176）に支持され、
歯車列（178）、タイミングプーリ（179）、タイミング
ベルト（180）等により構成される伝達トレインを介し
て図示しない電動機に連結される摩擦ホイール（177）
とからなる。吸着軸（92）の角度を調整する時には、ブ
レーキ解除装置（170）のローラ（172）によりフランジ
（105）を持ち上げて、ブレーキフランジ（114）をブレ
ーキ面（115）から浮上させる。この状態で吸着軸角度
調整装置（175）を吸着軸（92）に接近させ、摩擦ホイ
ール（177）をフランジ（105）より少し下の個所に接触
させ、所望角度の回転を吸着軸（92）に与える。吸着軸
（92）の回転完了後、吸着軸角度調整装置（175）を吸
着軸（92）から引き離し、ブレーキ解除装置（170）を
降下させてブレーキフランジ（114）をブレーキ面（11
5）に圧接させ、吸着軸（92）が自由に回転しないよう
にする。なおブレーキ解除装置（170）は、ローラ（17
2）が吸着軸（92）の軌跡を侵犯しないような位置に置
いておけば、吸着軸（92）への接近・離脱運動をその動
作に加えるまでもなく、単に昇降運動を行なうのみで、
ブレーキ解除動作を行なうことが可能である。--Adsorption axis angle adjusting station --- A brake releasing device (170) and an adsorption axis angle adjusting device (175) are arranged in the adsorption axis angle adjusting station (C) (see FIG. 7). The brake release device (170) is an arm (17) that is moved in the space by a drive device (not shown).
1) and a roller (172) rotatably supported at the tip of the arm (171) about a horizontal axis. The suction axis angle adjusting device (175) is supported by a slider (176) which is slid horizontally by a drive device (not shown) and a slider (176) which rotates about a vertical axis.
A friction wheel (177) connected to an electric motor (not shown) via a transmission train including a gear train (178), a timing pulley (179), a timing belt (180) and the like.
Consists of. When adjusting the angle of the suction shaft (92), the roller (172) of the brake release device (170) lifts the flange (105) to lift the brake flange (114) from the braking surface (115). In this state, the suction shaft angle adjusting device (175) is brought close to the suction shaft (92) and the friction wheel (177) is brought into contact with a portion slightly below the flange (105) to rotate the suction shaft (92) at a desired angle. Give to. After the rotation of the suction shaft (92) is completed, the suction shaft angle adjusting device (175) is separated from the suction shaft (92), the brake release device (170) is lowered, and the brake flange (114) is moved to the braking surface (11).
Press it against 5) so that the suction shaft (92) does not rotate freely. In addition, the brake release device (170) is
If it is placed at a position where 2) does not violate the trajectory of the suction shaft (92), it is possible to simply move up and down without adding movements to and from the suction shaft (92).
It is possible to perform the brake release operation.

−−部品方向調整ステーション−− 部品方向調整ステーション（Ｄ）には部品方向調整装置
（190）を配置する。部品方向調整装置（190）の概要を
第８図に示す。（191）は垂直軸線まわりに回転する回
転盤で、図示しない電動機によって、ある角度単位、例
えば１゜単位で、所望の角度に方向づけられる。回転盤
（191）は、その上面に１対の方向調整爪（192）を支持
する。方向調整爪（192）は点対称的に、且つ直線的に
スライドできるよう支持され、図示しない駆動装置によ
り、回転盤（191）の中心に向かって接近し、またそこ
から遠ざかる。部品（１）を挾みつけることとなる方向
調整爪（192）の端面は、方向調整爪（192）の移動方向
に対し正確に直角をなすよう仕上げる。--- Parts direction adjusting station --- A parts direction adjusting device (190) is arranged in the parts direction adjusting station (D). An outline of the component direction adjusting device (190) is shown in FIG. Reference numeral (191) is a turntable that rotates about a vertical axis and is oriented by a motor (not shown) at a desired angle in units of a certain angle, for example, 1 °. The turntable (191) supports a pair of direction adjusting claws (192) on its upper surface. The direction adjusting claw (192) is supported so as to be linearly slidable in a point-symmetrical manner, and is moved toward and away from the center of the turntable (191) by a driving device (not shown). The end face of the direction adjusting claw (192) that will grip the component (1) is finished so as to form a right angle to the moving direction of the direction adjusting claw (192).

−−部品認識ステーション−− 部品認識ステーション（Ｆ）には部品認識装置（200）
を配置する。部品認識装置（200）は第23図に示すよう
に構成されており、以下これについて説明する。（20
1）はエレベータで、図示しない駆動装置により高さ調
整が可能である。エレベータ（201）の上面には２個の
視覚センサ（202）（203）と２個の照射ユニット（20
4）（205）を固定する。視覚センサ（202）と照射ユニ
ット（204）、視覚センサ（203）と照射ユニット（20
5）がそれぞれペアをなす。視覚センサ（202）（203）
はその配置方向が互に直交するように置かれ、照射ユニ
ット（204）（205）は、自らのペアとする視覚センサに
正対する形で置かれる。視覚センサ（202）（203）は、
水平方向に長い受光窓（206）（207）（これらは同じ高
さに置かれている）の内側に、多数の受光素子を並べて
いる。照射ユニット（204）（205）は受光窓（206）（2
07）に向け幅広の平行光を照射する。かかる平行光は、
第24図に概念を示すように、半導体レーザー（208）の
発するレーザー光を、反射鏡（209）とレンズ（210）を
もって平行化することにより得られる。照射ユニット
（204）の発する平行光と照射ユニット（205）の発する
平行光とは直角に交差する。作業ステーション（Ｅ）を
発し、視覚センサ（203）と照射ユニット（204）の間隙
を通り抜けて視覚センサと照射ユニットによる囲いの中
に侵入した真空吸着装置（70）（第23図には吸着軸（9
2）の先端部分のみ示す）は、交差する平行光に部品
（１）をさらすようにして停止する。視覚センサ（20
2）（203）は、直交２方向からの部品（１）の影の投影
から、部品（１）の当該方向におけるシルエット幅と、
その位置を計測する。計測データは第４図に模型的に示
す制御装置（215）に伝えられる。制御装置（215）は、
かかる計測データと、前もって判っている部品（１）の
形状データ、方向データ等から部品（１）が真空吸着装
置（70）の中心に対しどの方向にどれだけずれているか
を演算し、その結果によって、部品（１）が位置ずれゼ
ロの理想位置にあるものとして移動・位置決めプログラ
ムを組んである基板支持装置（30）に然るべき位置補正
指令を与え、部品（１）が正しい設定位置に置かれるよ
うにする。なお制御装置（215）は、単に部品（１）の
認識と基板支持装置（30）の移動を司るばかりのもので
はなく、部品装着装置全体の制御機能の表象であると理
解されたい。部品（１）の認識が終わると、真空吸着装
置（70）は、視覚センサ（202）と照射ユニット（205）
の間隙を通り抜けて作業ステーション（Ｇ）へと向か
う。--- Component recognition station --- The component recognition station (F) has a component recognition device (200).
To place. The component recognition device (200) is configured as shown in FIG. 23, which will be described below. (20
1) is an elevator, whose height can be adjusted by a drive device (not shown). On the upper surface of the elevator (201) are two visual sensors (202) (203) and two irradiation units (20
4) Fix (205). Vision sensor (202) and irradiation unit (204), vision sensor (203) and irradiation unit (20
5) make up each pair. Visual sensor (202) (203)
The irradiation units (204) (205) are placed so as to face the pair of visual sensors. The visual sensor (202) (203)
A large number of light receiving elements are arranged inside the horizontally long light receiving windows (206) (207) (they are placed at the same height). The irradiation units (204) (205) have light receiving windows (206) (2
A wide parallel light is emitted toward 07). Such parallel light is
As shown in the concept of FIG. 24, it can be obtained by collimating the laser light emitted by the semiconductor laser (208) with a reflecting mirror (209) and a lens (210). The parallel light emitted by the irradiation unit (204) and the parallel light emitted by the irradiation unit (205) intersect at a right angle. The vacuum suction device (70) (e.g. suction shaft in FIG. 23) that has emitted from the work station (E), has passed through the gap between the visual sensor (203) and the irradiation unit (204) and has entered the enclosure of the visual sensor and irradiation unit. (9
2)) is exposed by exposing the component (1) to intersecting parallel light. Vision sensor (20
2) (203) is the projection of the shadow of the component (1) from two orthogonal directions, and the silhouette width of the component (1) in that direction,
Measure its position. The measurement data is transmitted to the control device (215) schematically shown in FIG. The control device (215)
From this measurement data and the shape data, direction data, etc. of the component (1) known in advance, it is calculated which direction and how much the component (1) deviates from the center of the vacuum suction device (70), and the result is calculated. By this, a proper position correction command is given to the substrate supporting device (30) which has a moving / positioning program on the assumption that the component (1) is in the ideal position with zero displacement, and the component (1) is placed at the correct setting position. To do so. It should be understood that the control device (215) is not merely a unit for recognizing the component (1) and a movement of the substrate supporting device (30), but is a symbol of the control function of the entire component mounting device. When the recognition of the component (1) is completed, the vacuum suction device (70) has a visual sensor (202) and an irradiation unit (205).
Head through the gap to work station (G).

真空吸着装置（70）に吸着されて部品認識ステーション
（Ｆ）に到着する部品（１）は、そのまま基板（２）の
上に置くことが可能な、正しい姿勢で吸着されている筈
であるが、時として、真空吸着装置（70）が部品供給装
置（21）から部品（１）を吸い上げる際、部品（１）の
間違った側面を吸い付けてしまうことがある。これは部
品供給テープ（22）の送り運動のため部品（１）がはね
上がるといったことが原因で生じる。このように異常姿
勢で吸着された部品（１）は、装着に到らせることなく
排除しなければならない。部品（１）の姿勢が正常であ
るか異常であるかは視覚センサ（202）（203）の計測デ
ータから判定する。すなわち視覚センサ（202）（203）
に部品（１）のシルエットが投影されると、シルエット
の位置と長さが計測データとして得られ、このデータに
基き部品（１）の周囲方向長さ量（水平方向のもの）を
求めることができる。通常、正常姿勢の場合と異常姿勢
の場合とでは得られる結果に顕著な差を生じるから、こ
れをもって容易に正常か異常かを判定できる。正常姿勢
の場合の周囲方向長さと異常姿勢の場合の周囲方向長さ
の差が小さい、すなわち立方体に近い形状の部品という
のは殆ど例を見ないから、この判定手法は有効である。
部品姿勢が異常であるとの判定結果を得た場合には、制
御装置（215）は、その部品（１）を装着対象から除外
する。すなわち、部品装着ステーション（Ｉ）に配置さ
れた駆動装置（84）及び切替アクチュエータ（162）に
指令を発し、真空吸着装置（70）が部品装着ステーショ
ン（Ｉ）に到着しても、これを降下させず、また部品
（１）の吸着を終了させもしない。The component (1) that is sucked by the vacuum suction device (70) and arrives at the component recognition station (F) should be sucked in the correct posture so that it can be placed on the substrate (2) as it is. Sometimes, when the vacuum suction device (70) sucks the component (1) from the component supply device (21), the wrong side surface of the component (1) may be sucked. This occurs because the component (1) is flipped up due to the feeding movement of the component supply tape (22). The component (1) thus sucked in the abnormal posture must be removed without reaching the mounting. Whether the posture of the component (1) is normal or abnormal is determined from the measurement data of the visual sensors (202) (203). That is, visual sensor (202) (203)
When the silhouette of the part (1) is projected onto the surface, the position and length of the silhouette are obtained as measurement data, and the length of the part (1) in the circumferential direction (horizontal direction) can be obtained based on this data. it can. Normally, a significant difference is made in the results obtained between the normal posture and the abnormal posture, and thus it is possible to easily determine whether the posture is normal or abnormal. This determination method is effective because there is almost no case where there is a small difference between the circumferential length in the normal posture and the circumferential length in the abnormal posture, that is, a component having a shape close to a cube is rare.
When the control device (215) obtains the determination result that the component posture is abnormal, the control device (215) excludes the component (1) from the mounting target. That is, even if a command is issued to the drive device (84) and the switching actuator (162) arranged at the component mounting station (I) and the vacuum suction device (70) arrives at the component mounting station (I), it is lowered. Neither does it end the suction of the component (1).

−−部品装着ステーション−− 部品装着ステーション（Ｉ）には、「全体的構成」の項
で述べた基板支持ユニット（13）を配置する。基板支持
装置（30）に支持された基板（２）には、所定個所に接
着剤が塗られている。--Component Mounting Station-- In the component mounting station (I), the substrate supporting unit (13) described in the section "Overall configuration" is arranged. The substrate (2) supported by the substrate supporting device (30) is coated with an adhesive at predetermined locations.

−−部品投棄ステーション−− 部品投棄ステーション（Ｊ）には、切替アクチュエータ
（162）と、図示しないが、真空吸着装置（70）から落
下した部品（１）を受け止める部品回収箱を配置する。
また、吸着軸角度調整ステーション（Ｃ）と同様に、ブ
レーキ解除装置（170）と吸着軸角度調整装置（175）を
配置する。更にこのステーションには角度規正装置（22
0）を配置する。角度規正装置（220）の要部を第18図に
示すが、これは図示しないアクチュエータにより水平方
向に往復動せしめられるスライダ（221）の先端に、水
平に並べた２個のローラ（222）からなるローラ列（22
3）を装着したものである。ローラ列（223）は、第19図
ないし第20図に象徴化して示すばね（224）の弾発力を
受けつつ、吸着軸（92）のフランジ（105）の外周に押
しつけられるものである。角度規正装置（220）の作用
は、この次に述べる吸引具ストッカの構造に関連するの
で、次項において説明を行なう。--Parts Disposal Station-- In the parts disposal station (J), a switching actuator (162) and a parts collection box (not shown) for receiving the parts (1) dropped from the vacuum suction device (70) are arranged.
Further, similarly to the suction axis angle adjusting station (C), a brake releasing device (170) and a suction axis angle adjusting device (175) are arranged. Furthermore, this station has an angle regulation device (22
Place 0). The main part of the angle regulation device (220) is shown in FIG. 18, which is composed of two rollers (222) arranged horizontally at the tip of a slider (221) that is horizontally reciprocated by an actuator (not shown). Roller row (22
3) is attached. The roller row (223) is pressed against the outer periphery of the flange (105) of the suction shaft (92) while receiving the elastic force of the spring (224) symbolized in FIGS. 19 to 20. The operation of the angle regulating device (220) is related to the structure of the suction tool stocker described below, and will be described in the next section.

−−吸引具分離ステーション， 吸込具装着ステーション−− 本実施例では、吸引具分離ステーション（Ｋ）と吸引具
装着ステーション（Ｌ）とにまたがって１個の吸引具ス
トッカ（230）を配置し、また、吸引具分離ステーショ
ン（Ｍ）と吸引具装着ステーション（Ｎ）とにまたがっ
てもう１個の吸引具ストッカ（231）を配置する。吸引
具ストッカ（230）と（231）の構造は同一であり、ここ
では両者の代表として吸引具ストッカ（230）をとり上
げ、その構造を第13図乃至第17図に基き説明する。（23
2）は装置フレーム（61）に固定された下部デッキ、（2
33）は４本の支柱（234）により４隅を支えられて下部
デッキ（232）の上に固定された上部デッキである。支
柱（234）は、図が見にくくなるのを避けるため、第14
図には描いていない。下部デッキ（232）と上部デッキ
（233）は各々軸受（235）（236）を保持し、これら上
下の軸受（235）（236）により、中空の回転盤（237）
を垂直軸線まわりに回転できるよう支持している。回転
盤（237）はそれ自体が１個のタイミングプーリとなっ
ており、一点鎖線でその存在を示すタイミングベルト
（238）により図示しない電動機に連結し、この電動機
により任意角度の回転を与えられる。回転盤（237）に
は王冠形のホルダ（239）を固定する。ホルダ（239）は
上端にフランジ（240）を有し、このフランジ（240）に
は、吸引具（93）のフランジ（102）がはまり込む浅い
溝（242）と、吸引具（93）の、フランジ（102）よりも
下の部分を通す透孔（243）からなる吸引具保持部（24
1）が一定間隔で形設されている（第18図参照）。（24
4）は、下部デッキ（232）に固定したブリッジである。
回転盤（237）の中心に位置するブロック（245）がブリ
ッジ（244）の上面に固定される。ブロック（245）の上
端にはブラケット（246）を固定し、このブラケット（2
46）の先端と向かい合う如く、上部デッキ（233）の上
面にブロック（247）を固定する。吸引具分離ステーシ
ョン（Ｋ）は、ブラケット（246）とブロック（247）の
間にその中心を有する。ブラケット（246）とブロック
（247）は分離装置（248）を支持する。分離装置（24
8）は、ブラケット（246）とブロック（247）に各１個
づつ、垂直面内で回動できるよう向かい合わせて取り付
けた爪（249）と、これらの爪（249）の、上方先端部同
士が一定間隔まで接近するようこれらに付勢力を与える
圧縮コイルばね（250）からなる。爪（249）の先端間隔
は吸引具（93）のフランジ（102）の長手方向寸法より
少し小さい。ブラケット（246）の側面とブロック（24
7）の側面にはブラケット（251）（252）を固定し、こ
れらのブラケット（251）（252）には、透過型光センサ
（253）の発光部（254）と受光部（255）を取り付け
る。光センサ（253）は、吸引具分離ステーション
（Ｋ）に位置する吸引具保持部（241）における吸引具
（93）の有無をチェックし、これにより、既に塞がって
いる吸引具保持部（241）に吸引具（93）を押し込むと
いった事故の発生を防ぐ。--Suction Tool Separation Station, Suction Tool Installation Station-- In the present embodiment, one suction tool stocker (230) is arranged across the suction tool separation station (K) and the suction tool installation station (L), Further, one suction tool stocker (231) is arranged so as to straddle the suction tool separation station (M) and the suction tool mounting station (N). The suction tool stockers (230) and (231) have the same structure. Here, the suction tool stocker (230) is taken up as a representative of both, and the structure thereof will be described with reference to FIGS. 13 to 17. (twenty three
2) is the lower deck fixed to the equipment frame (61), (2
33) is an upper deck which is fixed on the lower deck (232) with four corners supported by four columns (234). The stanchions (234) should be placed at the 14th position to avoid obscuring the figure.
Not drawn in the figure. The lower deck (232) and the upper deck (233) respectively hold bearings (235) (236), and the upper and lower bearings (235) (236) allow the hollow turntable (237) to be retained.
Is supported so that it can rotate around the vertical axis. The turntable (237) itself is a single timing pulley, and is connected to an electric motor (not shown) by a timing belt (238) showing its existence by a one-dot chain line, and rotation of an arbitrary angle is given by this electric motor. A crown-shaped holder (239) is fixed to the turntable (237). The holder (239) has a flange (240) at the upper end, and the flange (240) includes a shallow groove (242) into which the flange (102) of the suction tool (93) fits, and a suction tool (93). Suction tool holding part (24) consisting of a through hole (243) through which the part below the flange (102) passes.
1) are formed at regular intervals (see Fig. 18). (twenty four
4) is a bridge fixed to the lower deck (232).
A block (245) located at the center of the turntable (237) is fixed to the upper surface of the bridge (244). Secure the bracket (246) to the upper edge of the block (245) and attach the bracket (2
The block (247) is fixed to the upper surface of the upper deck (233) so as to face the tip of the block (46). The suction tool separation station (K) has its center between the bracket (246) and the block (247). The bracket (246) and the block (247) support the separating device (248). Separator (24
8) is a bracket (246) and a block (247), one each of which is attached to face each other so as to be rotatable in a vertical plane, and upper tips of these claws (249). Consists of a compression coil spring (250) that applies a biasing force to these so that they approach each other at a constant interval. The distance between the tips of the claws (249) is slightly smaller than the longitudinal dimension of the flange (102) of the suction tool (93). Bracket (246) sides and block (24
Brackets (251) (252) are fixed to the side surface of 7), and the light emitting part (254) and the light receiving part (255) of the transmissive optical sensor (253) are attached to these brackets (251) (252). . The optical sensor (253) checks the presence / absence of the suction tool (93) in the suction tool holding section (241) located in the suction tool separation station (K), and as a result, the suction tool holding section (241) that is already closed. Prevent accidents such as pushing the suction tool (93) into the

前述の通り吸引具ストッカ（230）は吸引具分離ステー
ション（Ｋ）と吸引具装着ステーション（Ｌ）とにまた
がって配置するものであるが、この吸引具装着ステーシ
ョン（Ｌ）には識別装置（260）を配置する。識別装置
（260）は３個の反射型光センサにより構成される。図
においては、光センサの構成部分のうち、発光部と受光
部を兼ねる光ファイバー部（金属製チューブの中に光フ
ァイバー束をおさめたもの）のみ示し、これらに（26
1）（262）（263）と符号をつける。光ファイバー部（2
61）（262）（263）の先端は、所定間隔で水平に並んだ
状態でホルダ（264）に保持されている。ホルダ（264）
は上部デッキ（233）に固定する。識別装置（260）は、
ホルダ（239）の支持する吸引具（93）のフランジ（10
2）と同じレベルにあって、フランジ（102）の両端に付
された種類識別記号（265）（第21図参照）を読み取る
役目をする。種類識別記号（265）は、「真空吸着装
置」の項でも触れたが、フランジ（102）の端部に刻ん
だノッチ（266）により構成される。ノッチ（266）を刻
むべき個所は３個所であり、それらの個所の間隔は光フ
ァイバー部（261）（262）（263）の配列間隔に等し
い。As described above, the suction tool stocker (230) is arranged so as to straddle the suction tool separation station (K) and the suction tool mounting station (L), but the identification device (260) is installed in this suction tool mounting station (L). ) Is placed. The identification device (260) is composed of three reflective optical sensors. In the figure, of the constituent parts of the optical sensor, only the optical fiber part that combines the light emitting part and the light receiving part (the one in which the optical fiber bundle is housed in a metal tube) is shown.
1) (262) (263) is attached. Optical fiber part (2
The tips of 61, 262 and 263 are held in a holder 264 in a state of being horizontally aligned at a predetermined interval. Holder (264)
Is fixed to the upper deck (233). The identification device (260)
The flange (10) of the suction tool (93) supported by the holder (239)
At the same level as 2), it serves to read the type identification symbol (265) (see Fig. 21) attached to both ends of the flange (102). The type identification symbol (265) is composed of a notch (266) cut in the end of the flange (102), as mentioned in the section “Vacuum suction device”. The notches (266) are to be carved in three places, and the intervals between them are equal to the arrangement intervals of the optical fiber parts (261) (262) (263).

ブリッジ（243）の上面には別種の反射型光センサ（27
0）を固定する。光センサ（270）は回転盤（237）の内
面に形設されたリング部（271）に向かい合っており、
リング部（271）の適当位置に刻まれたノッチ（272）の
存在を認識する。これにより、回転盤（237）の回転位
置を知ることができる。Another type of reflective photosensor (27
Fix 0). The optical sensor (270) faces the ring portion (271) formed on the inner surface of the turntable (237),
Recognize the presence of a notch (272) carved in the ring (271) at an appropriate position. Thereby, the rotation position of the turntable (237) can be known.

吸引具ストッカ（230）は複数個の吸引具保持部（241）
を閉ループの一種である円に沿って配列しており、かか
る吸引具保持部（241）の配列ループはそのループに沿
って移動可能で、且つ真空吸着装置（70）の軌道ループ
とは高低差をもって、すなわち立体的に交差している。
その交差点である吸引具分離ステーション（Ｋ）と吸引
具装着ステーション（Ｌ）には前述のように駆動装置
（84）が配置されており、この駆動装置（84）によって
軌道ループから降下せしめられることにより、真空吸着
装置（70）は吸引具ストッカ（230）と接触を持つに至
る。さて吸引具分離ステーション（Ｋ）においては空い
ている吸引具保持部（241）を真空吸着装置（70）の真
下に位置させ、この吸引具保持部（241）へ真空吸着装
置（70）から吸引具（93）を移す訳であるが、吸引具保
持部（241）の溝（242）はその長手方向がホルダ（23
9）の中心からの放射線の方向に一致するよう配列され
ており、当該ステーションでは、第13図に見られるよう
に、溝（242）の長手方向が真空吸着装置（70）の軌道
ループの接線方向と一致するので、これに合わせて吸引
具（93）もその向きを変えておかねばならない。この目
的のため、部品投棄ステーション（Ｊ）に角度規正装置
（220）を配置したのである。すなわち、第19図のよう
に、吸着軸（92）のフランジ（105）にローラ列（223）
を圧接させつつ、吸着軸角度調整装置（175）で吸着軸
（92）を角度原点（吸引具保持部（241）の溝（242）に
吸引具（93）のフランジ（102）が一致するような角度
のことをこのように称す）に向けて回転させると、最終
的にローラ列（223）がフランジ（105）の位置決め用平
坦部（106）に係合し、角度原点にぴったりと一致した
状態で、吸着軸（92）は停止する。その後吸着軸角度調
整装置（175）と角度規正装置（220）を、この順序で吸
着軸（92）から引き離し、更に、吸着軸（92）の回転期
間中吸着軸（92）を持ち上げていたブレーキ解除装置
（170）を降下させて、吸着軸（92）を再び制動状態に
置く。吸着軸角度調整装置（175）の制御は、予め概算
した角度だけ吸着軸（92）を回転させ、その後はローラ
列（223）の圧接力で自然に角度規正されるようにして
も良く、摩擦ホイール（177）を毎回一定角度だけ回転
させ、吸着軸（92）が角度原点に落ち着いた後は吸着軸
（92）との間にスリップを生じさせて余分な回転を吸収
するようにしても良く、あるいは摩擦ホイール（177）
を駆動する電動機の電流値を監視しておき、電流変化に
より装着軸（92）の停止を知った時点で、摩擦ホイール
（177）の駆動を中止するようにしても良い。The suction tool stocker (230) has a plurality of suction tool holders (241).
Are arranged along a circle, which is a kind of closed loop, and the arrangement loop of the suction tool holder (241) is movable along the loop, and the height difference from the track loop of the vacuum suction device (70) is high. , That is, three-dimensionally intersect.
As described above, the driving device (84) is arranged at the intersection of the suction tool separating station (K) and the suction tool mounting station (L), and the driving device (84) lowers the track loop. As a result, the vacuum suction device (70) comes into contact with the suction tool stocker (230). Now, in the suction tool separation station (K), the empty suction tool holding part (241) is positioned directly below the vacuum suction device (70), and suction is performed from the vacuum suction device (70) to this suction tool holding part (241). The tool (93) is transferred, but the groove (242) of the suction tool holding portion (241) has a longitudinal direction in the holder (23).
It is arranged so as to coincide with the direction of radiation from the center of 9), and at this station, as shown in FIG. 13, the longitudinal direction of the groove (242) is the tangent to the track loop of the vacuum suction device (70). Since it matches the direction, the direction of the suction tool (93) must be changed accordingly. For this purpose, the angle regulating device (220) is arranged at the parts disposal station (J). That is, as shown in FIG. 19, the roller row (223) is attached to the flange (105) of the suction shaft (92).
While making pressure contact with the suction shaft angle adjusting device (175), the suction shaft (92) is adjusted so that the suction shaft (92) and the flange (102) of the suction device (93) are aligned with the groove (242) of the suction device holding portion (241). When it is rotated toward a certain angle, the roller row (223) finally engages with the positioning flat portion (106) of the flange (105) and is exactly aligned with the angle origin. In this state, the suction shaft (92) stops. After that, the suction shaft angle adjusting device (175) and the angle regulation device (220) are separated from the suction shaft (92) in this order, and the suction shaft (92) is lifted during the rotation period of the suction shaft (92). The release device (170) is lowered to put the suction shaft (92) in the braking state again. The suction axis angle adjusting device (175) may be controlled by rotating the suction axis (92) by an angle estimated in advance, and then the angle may be naturally adjusted by the pressure contact force of the roller row (223). The wheel (177) may be rotated a fixed angle each time, and after the suction shaft (92) has settled at the angle origin, a slip may be generated between the suction shaft (92) and the suction shaft (92) to absorb excess rotation. Or, friction wheel (177)
It is also possible to monitor the current value of the electric motor for driving the motor and stop the driving of the friction wheel (177) at the time when the stop of the mounting shaft (92) is known from the change in the current.

上記のようにして、吸着軸角度調整ステーション（Ｃ）
で角度調整した吸着軸（92）を角度原点に戻した後、吸
引具分離ステーション（Ｋ）で真空吸着装置（70）を降
下させると、吸引具（93）のフランジ（102）は第16図
のように分離装置（248）の爪（249）を押し開き、そし
て、爪（249）の先端がフランジ（102）の上面に係合す
るに至る。次の動作で真空吸着装置（70）が上昇し吸引
具ストッカ（230）から離脱すると、吸引具（93）は爪
（249）により引き留められるため真空吸着装置（70）
から分離して吸引具保持部（241）に残る（第17図）。As described above, suction axis angle adjustment station (C)
After returning the suction shaft (92) whose angle has been adjusted in step 1 to the angle origin, when the vacuum suction device (70) is lowered at the suction tool separation station (K), the flange (102) of the suction tool (93) is shown in FIG. As described above, the claw (249) of the separating device (248) is pushed open, and the tip of the claw (249) comes to engage with the upper surface of the flange (102). When the vacuum suction device (70) rises in the next operation and separates from the suction device stocker (230), the suction device (93) is held by the claws (249), so that the vacuum suction device (70).
And remains in the suction tool holder (241) (Fig. 17).

吸引具（93）を失った真空吸着装置（70）は、吸引具装
着ステーション（Ｌ）で次の部品装着作業に用いる吸引
具（93）を拾い上げる。拾い上げは、真空吸着装置（7
0）を吸引具ストッカ（230）に接近させ、その後離脱さ
せるだけで事足りる。吸引具ストッカ（230）への接近
により真空吸着装置（70）の接続管部（95）が吸引具
（93）に嵌合し、弾性係止具（96）が吸引具（93）の溝
（100）に係合する。真空吸着装置（70）が吸引具スト
ッカ（230）からの離脱を開始すると、吸引具（93）は
そのまま吸引具保持部（241）から引き抜かれる。この
ように真空吸着装置（70）に必要な吸引具（93）を供給
するため、吸引具ストッカ（230）は、真空吸着装置（7
0）が吸引具分離ステーション（Ｋ）から吸引具装着ス
テーション（Ｌ）まで移動する間に回転して、所定の吸
引具（93）を吸引具装着ステーション（Ｌ）へ運ぶ。こ
こで注目すべきは吸引具分離ステーション（Ｋ）と吸引
具装着ステーション（Ｌ）における吸引具保持部（24
1）の位置関係である。吸引具保持部（241）の配列ピッ
チの関係で、２個の吸引具保持部（241）が、同時点で
吸引具分離ステーション（Ｋ）と吸引具分離ステーショ
ン（Ｌ）に一致することはない（第13図ならびに第15図
参照）。そこで、吸引具分離時には吸引具分離ステーシ
ョン（Ｋ）のみに１個の吸引具保持部（241）が一致
し、吸引具装着時には吸引具装着ステーション（Ｌ）の
みに１個の吸引具保持部（241）が一致するよう、吸引
具ストッカ（230）の角度調整が行なわれる。The vacuum suction device (70) that has lost the suction tool (93) picks up the suction tool (93) used for the next component mounting operation at the suction tool mounting station (L). A vacuum suction device (7
It suffices to bring 0) closer to the suction tool stocker (230) and then remove it. When the suction tool stocker (230) is approached, the connection pipe part (95) of the vacuum suction device (70) is fitted into the suction tool (93), and the elastic locking tool (96) is inserted into the groove () of the suction tool (93). 100) engage. When the vacuum suction device (70) starts to separate from the suction tool stocker (230), the suction tool (93) is pulled out from the suction tool holding section (241) as it is. Since the suction tool (93) necessary for the vacuum suction device (70) is supplied in this manner, the suction tool stocker (230) includes the vacuum suction device (7).
0) rotates while moving from the suction tool separation station (K) to the suction tool mounting station (L), and carries a predetermined suction tool (93) to the suction tool mounting station (L). What should be noted here is the suction tool holding section (24) in the suction tool separation station (K) and the suction tool mounting station (L).
This is the positional relationship of 1). Due to the arrangement pitch of the suction tool holders (241), the two suction tool holders (241) do not coincide with the suction tool separation station (K) and the suction tool separation station (L) at the same point. (See Figures 13 and 15). Therefore, when the suction tool is separated, only one suction tool holder (241) is aligned with only the suction tool separation station (K), and when the suction tool is mounted, only one suction tool holder (L) is provided. The angle of the suction tool stocker (230) is adjusted so that 241) matches.

識別装置（260）は吸引具ストッカ（230）に保持された
吸引具（93）の種類識別記号（265）を読み取り、その
情報を制御装置（215）に伝える。制御装置（215）はこ
の情報をメモリに蓄え、プログラムに従って装置の動作
を進める際、必要に応じて読み出す。さて種類識別記号
（265）の構成であるが、これは、識別装置（260）がノ
ッチ（266）を暗部と認識することを利用して、ノッチ
（266）の存在と不存在を２進記号の（1,0）に対応さ
せ、第22図に示すように３ビットで計７種を定義する。
３個所ともノッチ（266）を刻むのは、識別装置（260）
の受け取る情報が暗部情報ばかりということになり、吸
引具（93）そのものが存在しない場合と区別できないた
め、採用しない。種類識別記号（265）の読み取りは、
部品装着装置（10）の運転を開始する前に吸引具ストッ
カ（230）の保持するすべての吸引具（93）について行
ない、その結果に基いて動作シーケンスを組む。識別装
置（260）は、設置場所を適当に選べば、真空吸着装置
（70）に装着された吸引具（93）の種類を識別するのに
も用いることができる。The identification device (260) reads the type identification symbol (265) of the suction tool (93) held in the suction tool stocker (230) and transmits the information to the control device (215). The control device (215) stores this information in a memory and reads it out as needed when the operation of the device is advanced according to the program. The configuration of the type identification symbol (265) is based on the fact that the identification device (260) recognizes the notch (266) as a dark part, and uses the binary symbol to indicate the presence or absence of the notch (266). Corresponding to (1,0) of, a total of 7 types are defined with 3 bits as shown in FIG.
Engraving the notches (266) at all three locations is the identification device (260).
Since the only information received by the device is the dark space information and it cannot be distinguished from the case where the suction tool (93) itself does not exist, it is not used. To read the type identification symbol (265),
Before starting the operation of the component mounting device (10), all the suction tools (93) held by the suction tool stocker (230) are carried out, and an operation sequence is formed based on the result. The identification device (260) can also be used to identify the type of the suction tool (93) attached to the vacuum suction device (70) if the installation location is appropriately selected.

−−吸引具認識ステーション−− 吸引具認識ステーション（Ｏ）には吸引具認識装置（28
0）を配置する。吸引具認識装置（280）は第25図に示す
ように構成されており、以下これについて説明する。
（281）は固定デッキで、その上面には、２個の視覚セ
ンサ（282）（283）と２個の照射ユニット（284）（28
5）を固定する。視覚センサ（282）と照射ユニット（28
4）、視覚ユニット（283）と照射ユニット（285）がそ
れぞれペアをなす。視覚センサ（282）（283）は、その
配置方向が互に直交するように置かれ、照射ユニット
（284）（285）は、自らのペアとする視覚センサ（28
2）（283）と正対する形で置かれる。視覚センサ（28
2）（283）と照射ユニット（284）（285）の構成は、部
品認識ステーション（Ｆ）に配置した視覚センサ（20
2）（203）及び照射ユニット（204）（205）の構成と同
じであるが、ただ視覚センサ（282）の受光窓が垂直に
長く、照射ユニット（284）の照射スリットも垂直方向
に開口している点で、部品認識装置（200）とは異な
る。照射ユニット（284）の発する平行光と照射ユニッ
ト（285）の発する平行光とは直角に交差し、視覚セン
サ（282）と照射ユニット（285）の間隙を通り抜けて視
覚センサと照射ユニットによる囲いの中に侵入した真空
吸着装置（70）（第23図には吸着軸（92）の先端部分の
み示す）は、光の交差部に吸引具（93）をさらすように
して停止する。吸引具（93）は、まさにこれから部品装
着作業に向かおうとしているところのものであり、視覚
センサ（282）はこの吸引具（93）の先端高さを計測す
る。その計測結果に基いて、部品認識ステーション
（Ｆ）のエレベータ（201）が昇降し、部品（１）の計
測高さが調整されることになる。エレベータ（201）の
動作は、当然のことながら、先端高さを計測した吸引具
（93）が部品認識ステーション（Ｆ）に到着する時点で
生じる。視覚センサ（283）は吸引具（93）の太さを計
測し、その計測値に基いて吸引具（93）の種類が識別さ
れる。--- Suction tool recognition station --- The suction tool recognition station (O) has a suction tool recognition device (28
Place 0). The suction tool recognition device (280) is configured as shown in FIG. 25, which will be described below.
(281) is a fixed deck, on the top of which two visual sensors (282) (283) and two irradiation units (284) (28
5) Fix. Vision sensor (282) and irradiation unit (28
4) The visual unit (283) and the irradiation unit (285) form a pair. The visual sensors (282) (283) are placed so that the arrangement directions thereof are orthogonal to each other, and the irradiation units (284) (285) have their own visual sensors (28).
2) It is placed so as to face (283). Vision sensor (28
2) The structure of the (283) and the irradiation unit (284) (285) is the same as that of the visual sensor (20) arranged in the component recognition station (F).
2) Same as the configuration of (203) and irradiation unit (204) (205), but the light receiving window of the visual sensor (282) is vertically long, and the irradiation slit of the irradiation unit (284) is also opened in the vertical direction. Is different from the component recognition device (200). The parallel light emitted by the irradiation unit (284) and the parallel light emitted by the irradiation unit (285) intersect at a right angle, pass through the gap between the visual sensor (282) and the irradiation unit (285), and are enclosed by the visual sensor and the irradiation unit. The vacuum suction device (70) (only the tip of the suction shaft (92) is shown in FIG. 23) that has penetrated into the vacuum suction device (70) is stopped by exposing the suction tool (93) to the intersection of light. The suction tool (93) is about to move toward component mounting work, and the visual sensor (282) measures the tip height of the suction tool (93). Based on the measurement result, the elevator (201) of the component recognition station (F) moves up and down, and the measurement height of the component (1) is adjusted. The operation of the elevator (201) naturally occurs when the suction tool (93) whose tip height has been measured arrives at the component recognition station (F). The visual sensor (283) measures the thickness of the suction tool (93), and the type of the suction tool (93) is identified based on the measured value.

−−全体的動作−− 部品供給ステーション（Ａ）で部品（１）を吸着した真
空吸着装置（70）は、吸着軸角度調整ステーション
（Ｃ）で吸着軸（92）の角度を、部品装着ステーション
（Ｉ）で求められることになる部品角度に合わせて、調
整される。吸着軸（92）の角度調整のみで部品（１）の
角度を精密に設定することにはしていないので、この場
合の角度調整はある程度大まかで良い。すなわち、摩擦
ホイール（177）のスリップを十分許容できる。真空吸
着装置（70）は次に部品方向調整ステーション（Ｄ）に
到着する。ここでは部品方向調整装置（190）が、所定
の方位を指向し、方向調整爪（192）を開いた状態で待
機している。降下して来た部品（１）を方向調整爪（19
2）で挾めば、大まかに角度の定まっていた部品（１）
は、今度は精密に所定の方向へ向けられる。このように
して角度の定まった部品（１）は、部品認識ステーショ
ン（Ｆ）で真空吸着装置（70）に対する位置ずれ量を計
測される。また、正しい姿勢で吸着されているかどうか
の識別もここで行なわれる。部品認識ステーション
（Ｆ）を出た真空吸着装置（70）は部品装着ステーショ
ン（Ｉ）へと向かい、部品（１）の位置ずれデータに基
き位置補正しておいた基板（２）に部品（１）を押しつ
け、基板（２）に塗布してあった接着剤に部品（１）を
付着させた後、部品（１）を残して上昇する。吸着した
部品（１）の姿勢が異常であれば、真空吸着装置（70）
は部品装着ステーション（Ｉ）では降下することなく部
品投棄ステーション（Ｊ）に移動し、ここで部品（１）
を捨てる。またこのステーションでは吸着軸（92）が角
度原点に戻される。真空吸着装置（70）に現在取り付け
られている吸引具（93）が、次回の部品装着作業にも使
用できる種類のものであれば、真空吸着装置（70）は吸
引具ストッカ（230）（231）の上空を素通りする。そう
でなければ、真空吸着装置（70）は吸引具ストッカ（23
0）又は（231）で吸引具（93）を交換する。吸引具スト
ッカ（230）（231）は交互に使用される。つまり、「第
１の」と仮称する真空吸着装置（70）が吸引具分離ステ
ーション（Ｋ）で吸引具（93）を分離した場合、「第１
の」真空吸着装置（70）は吸引具装着ステーション
（Ｌ）で新たな吸引具（93）を拾い上げることになる
が、これと同時に、すぐ後に続く「第２の」の真空吸着
装置（70）が、吸引具分離ステーション（Ｋ）で吸引具
（70）を外すという訳には行かない。それは、前述のよ
うに吸引具保持部（241）が吸引具装着ステーション
（Ｌ）の中心に一致する時には吸引具分離ステーション
（Ｋ）では両者の不一致が生じているからであり、かか
る不一致が生じない構成であったとしても、空の吸引具
保持部（241）が吸引具分離ステーション（Ｋ）に巡っ
て来ているとは限らないからである。従って「第２の」
真空吸着装置（70）は吸引具ストッカ（231）を使って
吸引具（93）の交換を行なうことになる。「第２の」真
空吸着装置（70）が吸引具（93）の交換を要さなけれ
ば、「第３の」真空吸着装置（70）が「第１の」真空吸
着装置（70）に引き続き吸引具ストッカ（230）を使用
することは、勿論可能である。このようにして次回の部
品装着作業に必要な吸引具（93）を装備した真空吸着装
置（70）は、吸引具認識ステーション（Ｏ）でその吸引
具（93）に関する検査を受けた後、部品供給ステーショ
ン（Ａ）に戻って、新たな部品装着作業を開始する。--- Overall operation --- The vacuum suction device (70) that has sucked the component (1) at the component supply station (A) changes the angle of the suction axis (92) at the suction axis angle adjustment station (C) to the component mounting station. It is adjusted according to the component angle that will be obtained in (I). Since the angle of the component (1) is not precisely set only by adjusting the angle of the suction shaft (92), the angle adjustment in this case may be roughly rough. That is, slippage of the friction wheel (177) can be sufficiently tolerated. The vacuum suction device (70) next arrives at the component direction adjusting station (D). Here, the component direction adjusting device (190) points in a predetermined direction and stands by with the direction adjusting claw (192) open. Adjust the direction adjusting claw (19)
Parts that had a roughly fixed angle if sandwiched in 2) (1)
Are now precisely oriented. In the component recognition station (F), the amount of positional deviation of the component (1) whose angle is thus determined with respect to the vacuum suction device (70) is measured. In addition, it is also performed here to discriminate whether or not it is adsorbed in the correct posture. The vacuum suction device (70) exiting the component recognition station (F) heads to the component mounting station (I), and the component (1) is placed on the board (2) whose position has been corrected based on the positional deviation data of the component (1). ) Is pressed to attach the component (1) to the adhesive applied to the substrate (2), and then the component (1) is left and the component (1) is lifted. If the posture of the sucked component (1) is abnormal, the vacuum suction device (70)
Moves to the parts disposal station (J) without descending at the parts mounting station (I), where the parts (1)
Throw away. At this station, the suction shaft (92) is returned to the angle origin. If the suction tool (93) currently attached to the vacuum suction device (70) is of a type that can also be used for the next component mounting work, the vacuum suction device (70) will use the suction tool stocker (230) (231). ) Pass through the sky. Otherwise, the vacuum suction device (70) is the suction tool stocker (23
Replace the suction tool (93) with 0) or (231). The suction tool stockers (230) (231) are used alternately. That is, when the vacuum suction device (70) tentatively called “first” separates the suction tool (93) at the suction tool separation station (K), “first”
The vacuum suction device (70) picks up a new suction device (93) at the suction device mounting station (L), but at the same time, it immediately follows the "second" vacuum suction device (70). However, the suction tool (70) cannot be removed at the suction tool separation station (K). This is because, as described above, when the suction tool holder (241) coincides with the center of the suction tool attachment station (L), the suction tool separation station (K) and the suction tool separation station (K) do not coincide with each other. This is because the empty suction tool holder (241) does not always come around to the suction tool separation station (K) even if the suction tool holding section (241) does not exist. Therefore, the "second"
The vacuum suction device (70) uses the suction tool stocker (231) to replace the suction tool (93). If the "second" vacuum suction device (70) does not require replacement of the suction tool (93), the "third" vacuum suction device (70) continues to the "first" vacuum suction device (70). It is of course possible to use the suction tool stocker (230). In this way, the vacuum suction device (70) equipped with the suction tool (93) required for the next component mounting operation receives the inspection of the suction tool (93) at the suction tool recognition station (O) and then Returning to the supply station (A), a new component mounting work is started.

（ト） 発明の効果 以上のように本発明は、個々の吸引具に種類識別記号を
付したから、多種類の吸引具を１個づつ種類チェックし
て、誤りなく使い分けることができる。また、種類識別
は光学的センシングにより行なうから、吸引具交換作業
の高速化に十分対応でき、また種類識別記号は面の凹凸
により表したので、光学的センシングに用いるセンサは
安価なものとできる。(G) Effect of the Invention As described above, according to the present invention, since the type identification symbols are attached to the individual suction tools, it is possible to check the types of the various suction tools one by one and use them properly without error. Further, since the type identification is performed by optical sensing, it is possible to sufficiently cope with speeding up of suction tool replacement work, and since the type identification symbol is represented by the unevenness of the surface, the sensor used for optical sensing can be inexpensive.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装着ユニットの
断面図、第２図は部品装着装置を構成する複数個のユニ
ットの配置説明図、第３図は作業ステーションの配置説
明図、第４図は各作業ステーションにおける作業内容を
示す展開図的説明図、第５図は真空吸着装置の主要部分
の正面図、第６図は第５図中の要部の断面図、第７図は
ブレーキ解除装置と吸着軸角度調整装置を関連させて描
いた、第６図と同じ個所の断面図、第８図は部品方向調
整装置の平面図、第９図は真空切替バルブとバルブ切替
装置の個所の平面図、第10図は真空切替バルブの断面図
にして、第９図のＸ−Ｘ線に沿って切断したもの、第11
図及び第12図は第９図及び第10図と同様の平面図及び断
面図にして、異なる動作状態を示すもの、第13図は吸引
具ストッカの平面図、第14図は吸引具ストッカの断面図
にして、第13図中のXIV−XIV線に沿って切断したもの、
第15図は第13図と異なる動作状態における吸引具ストッ
カの平面図、第16図は第13図中のXVI−XVI線に沿って切
断した断面図、第17図は第16図と同様の断面図にして異
なる動作状態のもの、第18図は真空吸着装置、吸引具ス
トッカ、及び角度規正装置の、各々一部を示す斜視図、
第19図及び第20図は角度規正装置の作用説明図、第21図
は吸引具の斜視図、第22図は吸引具に付した種類識別記
号の説明図、第23図は部品認識装置の斜視図、第24図は
視覚センサに対する照射ユニットの照射メカニズム説明
図、第25図は吸引具認識装置の斜視図である。 （１）……部品、（２）……基板、（10）……部品装着
装置、（Ａ）……部品供給装置、（21）……部品供給装
置、（Ｉ）……部品装着装置、（30）……基板支持装
置、（70）……真空吸着装置、（93）……吸引具、（6
0）……支持装置、（84）……駆動装置、（230）（23
1）……吸引具ストッカ、（265）……種類識別記号、
（260）……識別装置。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a cross-sectional view of a mounting unit, FIG. 2 is a layout explanatory view of a plurality of units constituting a component mounting apparatus, and FIG. 4, FIG. 4 is an exploded view of the work contents at each work station, FIG. 5 is a front view of the main part of the vacuum suction device, FIG. 6 is a cross-sectional view of the main parts in FIG. 5, and FIG. The drawing is a cross-sectional view of the same location as in Fig. 6, in which the brake release device and the suction shaft angle adjusting device are drawn in association with each other. Fig. 8 is a plan view of the component direction adjusting device. FIG. 10 is a plan view of a portion of the apparatus, FIG. 10 is a cross-sectional view of the vacuum switching valve, and is cut along the line XX in FIG.
FIGS. 12 and 13 are plan views and sectional views similar to FIGS. 9 and 10, showing different operating states, FIG. 13 is a plan view of the suction tool stocker, and FIG. 14 is a suction tool stocker. A sectional view, cut along the line XIV-XIV in FIG. 13,
FIG. 15 is a plan view of the suction tool stocker in an operation state different from FIG. 13, FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line XVI-XVI in FIG. 13, and FIG. 17 is similar to FIG. FIG. 18 is a perspective view showing a part of each of a vacuum suction device, a suction tool stocker, and an angle regulating device, which are sectional views showing different operating states.
FIGS. 19 and 20 are operation explanatory views of the angle regulating device, FIG. 21 is a perspective view of the suction tool, FIG. 22 is an explanatory view of a type identification symbol attached to the suction tool, and FIG. 23 is a part recognition device. FIG. 24 is a perspective view showing the irradiation mechanism of the irradiation unit with respect to the visual sensor, and FIG. 25 is a perspective view of the suction tool recognition device. (1) ... Component, (2) ... Substrate, (10) ... Component mounting device, (A) ... Component supplying device, (21) ... Component supplying device, (I) ... Component mounting device, (30) …… Substrate support device, (70) …… Vacuum suction device, (93) …… Suction tool, (6
0) …… Supporting device, (84) …… Drive device, (230) (23
1) …… Suction tool stocker, (265) …… Type identification code,
(260) …… Identification device.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】次の構成要素を備えた部品装着装置。 （ａ） 部品供給ステーションに配置した部品供給装置 （ｂ） 部品装着ステーションに配置した基板支持装置 （ｃ） 着脱可能な吸引具に部品を吸着して、前記部品
供給装置から前記基板支持装置上の基板へ、部品のピッ
クアンドプレース作業を行なうべく配備した真空吸着装
置 （ｄ） 前記真空吸着装置を、作業ステーションから作
業ステーションへと移動させる支持装置 （ｅ） 前記支持装置に支持された真空吸着装置を、所
定の停止位置で目標物に接近させ、また、そこから離脱
させる駆動装置 （ｆ） 複数個の吸引具保持部を有し、これらの吸引具
保持部をもって、真空吸着装置からの吸引具受け取り、
または、真空吸着装置への吸引具供給を行なう吸引具ス
トッカ （ｇ） 個々の吸引具に付した面の凹凸により表された
種類識別記号 （ｈ） 光学センシングにより、前記吸引具ストッカに
保持された、または真空吸着装置に装着された吸引具の
種類識別記号を読み取る識別装置。1. A component mounting apparatus having the following components. (A) A component supply device arranged in a component supply station (b) A substrate supporting device arranged in a component mounting station (c) A component is sucked by a removable suction tool, and the component supplying device is arranged on the substrate supporting device. Vacuum suction device provided for picking and placing parts on a substrate (d) Support device for moving the vacuum suction device from a work station to a work station (e) Vacuum suction device supported by the support device A drive device for causing the object to approach a target object at a predetermined stop position and separating the object from the target object (f) having a plurality of suction tool holders, and these suction tool holders hold the suction tool from the vacuum suction device Acceptance,
Alternatively, a suction tool stocker for supplying the suction tool to the vacuum suction device (g) A type identification symbol represented by the unevenness of the surface attached to each suction tool (h) Held on the suction tool stocker by optical sensing , Or an identification device that reads the type identification symbol of the suction tool attached to the vacuum suction device.