JPH0783794A - Positioning mechanism of large-sized liquid crystal panel - Google Patents
Positioning mechanism of large-sized liquid crystal panelInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、検査ステージにおけ
る大型液晶パネルの位置決め機構に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning mechanism for a large liquid crystal panel on an inspection stage.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶パネルは技術の進歩により、大型の
ものが開発されて各方面に多用されている。液晶パネル
は、表面に微小な画素がマトリックス状に形成されたも
ので、これが形成された段階で検査装置により検査され
る。図３(a) は大型液晶パネル（以下単に液晶パネルと
いう）１の外観を示し、縦横の寸法ｗY ，ｗX は、例え
ば３００ｍｍ，４００ｍｍの方形をなし、その厚さｄは
約１ｍｍである。液晶パネル１はガラス基板11をベース
とし、その表面に対してフォトリソグラフ法により、微
小な薄膜トランジスタや、抵抗、コンデンサ、画素電極
などよりなる各画素12が形成される。図３(b) は液晶パ
ネル１に対する検査ステージの概略の構成を示す。検査
ステージは、液晶パネル１を載置する載置板２と、載置
板２をｘ，ｙ，ｚ移動するＸ，Ｙ，Ｚ移動機構３、およ
び載置板２の上方に設けた検査光学系４を具備する。2. Description of the Related Art Due to technological progress, large-sized liquid crystal panels have been developed and widely used in various fields. The liquid crystal panel is one in which minute pixels are formed in a matrix on the surface, and is inspected by an inspection device when the pixels are formed. FIG. 3 (a) shows the appearance of a large-sized liquid crystal panel (hereinafter simply referred to as a liquid crystal panel) 1. Vertical and horizontal dimensions w Y and w X are, for example, 300 mm and 400 mm squares, and their thickness d is about 1 mm. . The liquid crystal panel 1 has a glass substrate 11 as a base, and on the surface thereof, each pixel 12 including a minute thin film transistor, a resistor, a capacitor, a pixel electrode and the like is formed by a photolithography method. FIG. 3B shows a schematic structure of an inspection stage for the liquid crystal panel 1. The inspection stage includes a mounting plate 2 on which the liquid crystal panel 1 is mounted, X, Y, and Z moving mechanisms 3 for moving the mounting plate 2 in x, y, and z, and inspection optics provided above the mounting plate 2. The system 4 is provided.
【０００３】検査においては、被検査の液晶パネル１は
載置板２に載置されて位置決めされ、移動機構３により
ｘまたはｙ移動して、その所定の区分範囲を検査光学系
４に位置合わせし、さらにｚ移動（昇降）して焦点合わ
せ（合焦）した後、この区分範囲が検査される。これが
終了するとさらにｘまたはｙ移動し、次の区分範囲に対
する検査が逐次になされて全面が検査される。In the inspection, the liquid crystal panel 1 to be inspected is placed and positioned on a placing plate 2 and is moved x or y by a moving mechanism 3 to align a predetermined division range with the inspection optical system 4. Then, after further z movement (elevation) and focusing (focusing), this section range is inspected. When this is completed, it moves further x or y, and the inspection for the next section range is sequentially performed to inspect the entire surface.
【０００４】図４は載置板２に載置された液晶パネル１
と、これに対する位置決め機構５の平面図を示す。液晶
パネル１の２長辺を１Ａ，１Ｂ、２短辺を１Ｃ，１Ｄと
し、長辺をＸ方向、短辺をＹ方向として載置されたとす
る。長辺１Ａに対して、それぞれストッパＳta，Ｓtbを
有する位置決めエアシリンダ５a ，５b が、また長辺１
Ｂに対して押圧エアシリンダ５c ，５d がそれぞれ配設
される。エアシリンダ５a ，５c 、および５b と５d と
は、それぞれＹ方向の作用線Ｃ1 ，Ｃ2 上にあり、これ
らの押圧力または反力に対する液晶パネル１の作用点
は、ｐa ，ｐc 、およびｐb ，ｐd である。一方、短辺
１Ｃ，１Ｄに対して、ストッパＳteを有する位置決めエ
アシリンダ５e と押圧エアシリンダ５f とが、Ｘ方向の
作用線Ｃ3上にそれぞれ配設され、力の作用点はｐe ，
ｐf である。位置決めにおいては、まず各エアシリンダ
５a 〜５f を反対方向に動作してそれぞれの押圧棒51を
待避し、ついで液晶パネル１を図示しないハンドリング
機構により搬送して、載置台２の凡その位置に載置す
る。ここで、各位置決めエアシリンダ５a ，５b および
５e を動作すると各押圧棒51が移動し、それぞれの先端
がストッパＳta，Ｓtb，Ｓteにより一定の位置決め位置
に停止する。ついで各押圧エアシリンダ５c ，５d およ
び５f の動作により、それぞれの押圧棒51が長辺１Ｂと
短辺１Ｄの作用点ｐc ，ｐd ，ｐf を押圧し、液晶パネ
ル１は移動して図示の状態に位置決めされるものであ
る。FIG. 4 shows a liquid crystal panel 1 mounted on a mounting plate 2.
And the top view of the positioning mechanism 5 with respect to this. It is assumed that the two long sides of the liquid crystal panel 1 are 1A and 1B, the short sides are 1C and 1D, the long side is the X direction, and the short side is the Y direction. Positioning air cylinders 5a and 5b having stoppers St a and St b , respectively, are provided for the long side 1A and the long side 1A.
Pressing air cylinders 5c and 5d are provided for B respectively. The air cylinders 5a and 5c, and 5b and 5d are on the action lines C 1 and C 2 in the Y direction, respectively, and the action points of the liquid crystal panel 1 against these pressing forces or reaction forces are p a , p c , And p b and p d . On the other hand, the short side 1C, relative to 1D, a positioning air cylinder 5e and pressing air cylinder 5f having a stopper St e are each disposed on a line of action C 3 in the X direction, the point of application of force p e,
p f . In positioning, first, the air cylinders 5a to 5f are operated in opposite directions to retract the respective pressing rods 51, and then the liquid crystal panel 1 is conveyed by a handling mechanism (not shown) and mounted on the mounting table 2 at the approximate positions. Place. When the positioning air cylinders 5a, 5b and 5e are operated, the pressing rods 51 move, and the tips of the pressing rods 51 are stopped at the fixed positioning positions by the stoppers St a , St b and St e . Then by the operation of the pressing air cylinder 5c, 5d and 5f, the point p c of each of the pressing rod 51 long sides 1B and short 1D, p d, and presses the p f, illustrated liquid crystal panel 1 is moved It is positioned in the state of.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の載置板２
の表面は、検査光学系４に対する合焦上必要なために、
極めて平坦かつ平滑とされている。これに対して、大型
液晶パネル１は前記したように面積が大きい割に厚さｄ
が薄いため、載置板２に載置されたときこれに密着し、
両者間にはかなり大きい摩擦抵抗が生ずる。いま、液晶
パネル１がＸＹ方向に対して角度ズレして載置されたと
すると、この摩擦抵抗のために液晶パネル１は移動せ
ず、従って角度ズレが補正されない。この点を図５によ
り説明する。図５において、液晶パネル１が右側に傾斜
して載置されたとする。まず、各位置決めエアシリンダ
５a ，５b ，５e を動作すると、それぞれの押圧棒51の
先端が位置決め位置に停止する。ついで各押圧エアシリ
ンダ５c ，５d ，５f の動作により、液晶パネル１は作
用点ｐc ，ｐd ，ｐf が押圧されて移動し、作用点ｐ
a ，ｐe が押圧棒51に接触して停止する。しかし摩擦抵
抗が大きいために液晶パネル１は回転せず、従って作用
点ｐb が離間した図示の状態となる。すなわち角度ズレ
δθは補正されない。上記は液晶パネル１が右側に傾斜
した場合であるが、左側に傾斜した場合も上記と同様に
角度ズレは補正されない。一般に摩擦抵抗のある物体
を、直進力のみで移動することが困難な場合、直進力に
回転力を併用すると、物体は容易に移動できることが知
られている。これに対して、上記の位置決めエアシリン
ダ５a ，５b と、これらに対向する押圧エアシリンダ５
c ，５d とは、それぞれ同一作用線Ｃ1 ，Ｃ2 上にある
ので、ともに液晶パネル１に対する回転力がない。そこ
で、これらに回転力を持たせて液晶パネル１を回転すれ
ば、角度ズレが補正できるものと考えられる。この発明
は以上の考えのもとになされたもので、回転力が発生す
るように位置決めエアシリンダと押圧エアシリンダとを
配置し、発生した回転力により角度ズレを補正して液晶
パネル１を正しく位置決めできる、位置決め機構を提供
することを目的とする。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problem to be Solved by the Invention
Since the surface of is necessary for focusing on the inspection optical system 4,
It is extremely flat and smooth. On the other hand, the large-sized liquid crystal panel 1 has a large thickness d as described above despite its large area.
Since it is thin, when it is placed on the placing plate 2, it adheres to it,
A considerable frictional resistance occurs between the two. Now, assuming that the liquid crystal panel 1 is placed with an angle deviation with respect to the XY directions, the liquid crystal panel 1 does not move due to this frictional resistance, and therefore the angle deviation is not corrected. This point will be described with reference to FIG. In FIG. 5, it is assumed that the liquid crystal panel 1 is placed while tilting to the right. First, when the positioning air cylinders 5a, 5b, 5e are operated, the tips of the pressing rods 51 stop at the positioning positions. Then the pressing air cylinder 5c, 5d, the operation of 5f, the liquid crystal panel 1 moves the point p c, p d, p f is pressed, the point p
The a and p e come into contact with the pressing rod 51 and stop. However, since the frictional resistance is large, the liquid crystal panel 1 does not rotate, so that the action points p b are separated from each other in the illustrated state. That is, the angle deviation δθ is not corrected. The above is the case where the liquid crystal panel 1 is tilted to the right side, but when the liquid crystal panel 1 is tilted to the left side, the angle deviation is not corrected as in the above case. It is generally known that when it is difficult to move an object having frictional resistance only by a straight-ahead force, the object can be easily moved by using a rotating force together with the straight-ahead force. On the other hand, the positioning air cylinders 5a and 5b and the pressing air cylinder 5 facing them
Since c and 5d are on the same lines of action C 1 and C 2 , respectively, there is no rotational force on the liquid crystal panel 1. Therefore, it is considered that if the liquid crystal panel 1 is rotated by imparting a rotational force to these, the angular deviation can be corrected. The present invention has been made on the basis of the above idea. The positioning air cylinder and the pressing air cylinder are arranged so that a rotational force is generated, and the generated rotational force corrects the angular deviation to correct the liquid crystal panel 1. An object is to provide a positioning mechanism that can perform positioning.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は大型液晶パネ
ルの位置決め機構であって、前記の検査ステージにおい
て、載置板の表面に対して、液晶パネルの２長辺の一方
を位置決めする２個の位置決めエアシリンダと、その他
方を押圧する２個の押圧エアシリンダとを、Ｘ方向に適
当な間隔で配置し、対向する各位置決めエアシリンダと
押圧エアシリンダとが、それぞれの力の作用点に対して
互いに反対の偶力を生ずる２組のＹ方向位置決め機構
と、２短辺の一方を位置決めする１個の位置決めエアシ
リンダと、その他方を押圧する１個の押圧エアシリンダ
よりなる１組のＸ方向位置決め機構とを配設して構成さ
れる。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a positioning mechanism for a large-sized liquid crystal panel, wherein in the inspection stage, one of two long sides of the liquid crystal panel is positioned with respect to the surface of the mounting plate. Positioning air cylinders and two pressing air cylinders that press the other are arranged at appropriate intervals in the X direction, and the opposing positioning air cylinders and pressing air cylinders are the points of action of their respective forces. A pair of Y-direction positioning mechanisms that generate opposite couples to each other, one positioning air cylinder that positions one of the two short sides, and one pressing air cylinder that presses the other And an X-direction positioning mechanism.
【０００７】[0007]
【作用】上記の位置決め機構においては、各位置決めエ
アシリンダと押圧エアシリンダの位置決めおよび押圧作
用は従来と同様である。ただし、載置板に対して液晶パ
ネルが傾斜して載置された場合は、載置板に配設された
２組のＹ方向位置決め機構は、その２個の位置決めエア
シリンダと２個の押圧エアシリンダとが、それぞれＸ方
向に適当な間隔で配置され、対向する各位置決めエアシ
リンダと押圧エアシリンダとが、それぞれの力の作用点
に対して互いに反対方向の偶力を生ずる。この反対偶力
は液晶パネルに対して反対方向の回転力となるが、液晶
パネルは傾斜しているために一方の偶力のみが作用する
ので、液晶パネルは摩擦抵抗にかかわらず回転し、角度
ズレが補正されて載置板に正しく位置決めされる。In the above positioning mechanism, the positioning and pressing action of each positioning air cylinder and the pressing air cylinder is the same as the conventional one. However, when the liquid crystal panel is mounted with an inclination with respect to the mounting plate, the two sets of Y-direction positioning mechanisms disposed on the mounting plate have two positioning air cylinders and two pressing air cylinders. The air cylinders are arranged at appropriate intervals in the X direction, and the positioning air cylinders and the pressing air cylinders facing each other generate couples in opposite directions with respect to the action points of the respective forces. This opposite couple is a rotating force in the opposite direction to the liquid crystal panel, but since the liquid crystal panel is inclined, only one couple acts, so the liquid crystal panel rotates regardless of the frictional resistance, and the angle The misalignment is corrected and the plate is correctly positioned on the mounting plate.
【０００８】[0008]
【実施例】図１はこの発明の一実施例における位置決め
機構５’の平面図を示し、図２は図１に対する角度ズレ
の補正方法の説明図である。図１において、位置決め機
構５’の構成部品は、前記した図４の位置決め機構５と
同一で、同一符号とする。ただし、液晶パネル１の２長
辺１Ａ，１Ｂに対する位置決めエアシリンダ５a ，５b
と、押圧エアシリンダ５c ，５d の配置位置が異なる。
すなわち、エアシリンダ５a と５c とは、図４の作用線
Ｃ1 に対してＸ方向に適当な間隔ＬX をなして、外側と
内側にそれぞれ配置される。同様にエアシリンダ５b と
５d とは、作用線Ｃ2 に対して間隔ＬX をなして内側と
外側にそれぞれ配置され、従って、これらのエアシリン
ダの作用点はｐa ’，ｐc ’，ｐb ’，ｐd ’ に移動
する。以上により、２組のＹ方向の位置決め機構が構成
される。次に、２短辺１Ｃ，１Ｄに対する位置決めエア
シリンダ５e と押圧エアシリンダ５f とは、従来と同様
に作用線Ｃ3 上に配置されて１組のＸ方向位置決め機構
が構成される。1 is a plan view of a positioning mechanism 5'according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view of a method for correcting an angle deviation with respect to FIG. In FIG. 1, the components of the positioning mechanism 5 ′ are the same as those of the positioning mechanism 5 shown in FIG. However, positioning air cylinders 5a, 5b for the two long sides 1A, 1B of the liquid crystal panel 1
And the arrangement positions of the pressing air cylinders 5c and 5d are different.
That is, the air cylinders 5a and 5c are arranged on the outer side and the inner side, respectively, with an appropriate distance L X in the X direction with respect to the line of action C 1 in FIG. Similarly, the air cylinders 5b and 5d are arranged on the inner side and the outer side, respectively, at a distance L X with respect to the line of action C 2 , so that the action points of these air cylinders are p a ', p c ', p. Move to b ', p d '. With the above, two sets of positioning mechanisms in the Y direction are configured. Next, 2 short sides 1C, a positioning air cylinder 5e and pressing air cylinder 5f for 1D, 1 pair of X-direction positioning mechanism is arranged on the conventional as well as the line of action C 3 is formed.
【０００９】以下、上記の位置決め機構５’による液晶
パネル１の位置決め動作を説明する。まず、載置板２に
対して液晶パネル１が傾斜せずに載置されたときは、図
４で説明したと同様に問題なく位置決めされる。しか
し、傾斜して載置されたときは、その角度ズレが補正さ
れて正しく位置決めされる。この補正方法を図２により
やや詳細に説明する。図２(a) は、液晶パネル１が載置
板２に対して右側に傾斜して載置された場合を示し、各
エアシリンダが動作してもまだ角度ズレδθが残って、
作用点ｐb ’のみが離間している状態（図５と同一）と
する。いまエアシリンダ５c の押圧力をＦc とすると、
作用点ｐa ’に接触しているエアシリンダ５a には、押
圧力Ｆc に対する反力Ｆa が生ずる。両エアシリンダは
作用線Ｃ1 に対して間隔ＬX をなして反対の位置に配置
されているので、押圧力Ｆc と反力Ｆa により間隔ＬX
に比例する偶力ＭL が発生し、これが作用線Ｃ1 とＣ3
の交点Ｏ13に対する回転力となる。この回転力により液
晶パネル１は、交点Ｏ13を中心として左回りに回転して
角度ズレδθが補正される。この場合、左側の位置決め
エアシリンダ５bは作用点ｐb ’に接触していないの
で、押圧エアシリンダ５d の押圧力Ｆd に対する反力Ｆ
c が生せず、従って偶力も発生せず回転作用がなされな
い。上記に対して、図(b) は液晶パネル１が載置板２に
対して左側に傾斜して載置された場合を示し、この場合
は、位置決めエアシリンダ５a は作用点ｐa ’に接触し
ていないので偶力は生じないが、エアシリンダ５d の押
圧力Ｆd と、エアシリンダ５b の反力Ｆb とにより偶力
ＭR が発生し、液晶パネル１は中心点Ｏ23を中心として
右回りに回転して角度ズレが補正される。以上の各補正
により、液晶パネル１は右側または左側のいずれに傾斜
して載置されても、大きい摩擦抵抗にかかわらず載置板
２に対して正しく位置決めされる。なお上記の間隔ＬX
は試行実験により求められるが、前記の大きさの大型液
晶パネルの場合は、ＬX として例えば約１０ｍｍが適当
であることが確認されている。また、上記の位置決め機
構５’は大型液晶パネル１に限らず、これと同様な他の
板状物に対しても適用できることは明らかである。The positioning operation of the liquid crystal panel 1 by the positioning mechanism 5'will be described below. First, when the liquid crystal panel 1 is mounted on the mounting plate 2 without being inclined, the liquid crystal panel 1 is positioned without any problem as described with reference to FIG. However, when it is placed at an angle, the angular deviation is corrected and the positioning is performed correctly. This correction method will be described in some detail with reference to FIG. FIG. 2 (a) shows a case where the liquid crystal panel 1 is placed while being inclined to the right side with respect to the placing plate 2, and even if each air cylinder is operated, an angular deviation δθ remains,
It is assumed that only the action point p b 'is separated (same as in FIG. 5). The pressing force of the air cylinder 5c When F c Now,
A reaction force F a with respect to the pressing force F c is generated in the air cylinder 5a which is in contact with the action point p a ′. Since both the air cylinder is arranged at a position opposite at an interval L X relative to the line of action C 1, distance L X by the pressing force F c and the reaction force F a
Proportional to couple M L is generated, which action line C 1 and C 3
Becomes the rotational force with respect to the intersection point O 13 . Due to this rotational force, the liquid crystal panel 1 rotates counterclockwise about the intersection O 13 and the angular deviation δθ is corrected. In this case, since the left side of the positioning air cylinder 5b is not in contact with the p b 'acting point, the reaction force against the pressing force F d of the pressing air cylinder 5d F
c is not generated, and therefore a couple is not generated and no rotating action is performed. On the other hand, FIG. 2 (b) shows the case where the liquid crystal panel 1 is placed while being inclined to the left side with respect to the placing plate 2, and in this case, the positioning air cylinder 5a comes into contact with the action point p a '. Since a couple is not generated, a couple M R is generated by the pressing force F d of the air cylinder 5 d and the reaction force F b of the air cylinder 5 b, and the liquid crystal panel 1 is centered on the center point O 23. Rotate clockwise to correct the angle deviation. With the above corrections, the liquid crystal panel 1 is properly positioned with respect to the mounting plate 2 regardless of the large frictional resistance, regardless of whether the liquid crystal panel 1 is mounted on the right side or the left side. Note that the above interval L X
Is determined by a trial experiment, but it has been confirmed that L x of about 10 mm is suitable for a large-sized liquid crystal panel of the above size. Further, it is obvious that the positioning mechanism 5'is not limited to the large-sized liquid crystal panel 1 and can be applied to other plate-like objects similar to this.
【００１０】[0010]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置決め機構においては、載置板に載置された大型液晶パ
ネルの２長辺に対して、互いに反対方向の偶力を発生す
る２組のＹ方向位置決め機構が配設され、右側または左
側に傾斜した液晶パネルは、大きい摩擦抵抗にかかわら
ず、この反対方向の偶力により左回りまたは右回りに回
転して角度ズレが補正され、この２組のＹ方向位置決め
機構と、２短辺に対して配設された１組のＸ方向位置決
め機構とにより、載置板に対して正しく位置決めされる
もので、大型液晶パネルの検査装置に寄与するところに
は大きいものがある。As described above, in the positioning mechanism according to the present invention, two sets of couples that generate couples in opposite directions with respect to the two long sides of the large liquid crystal panel mounted on the mounting plate are provided. The Y-direction positioning mechanism is provided, and the liquid crystal panel tilted to the right or left side is rotated counterclockwise or clockwise by the couple in the opposite direction to correct the angular deviation, regardless of the large friction resistance. A set of Y-direction positioning mechanisms and a set of X-direction positioning mechanisms arranged on the two short sides ensure proper positioning with respect to the mounting plate, which contributes to a large liquid crystal panel inspection device. There is a big one there.
【図１】 この発明の位置決め機構５’の一実施例にお
ける平面図を示す。FIG. 1 shows a plan view of an embodiment of a positioning mechanism 5'of the present invention.
【図２】 図１に対する角度ズレの補正方法の説明図
で、(a) は液晶パネル１が右側に傾斜した場合、(b) は
同じく左側に傾斜した場合をそれぞれ示す。2A and 2B are explanatory diagrams of a method for correcting an angle deviation with respect to FIG. 1, where FIG. 2A shows a case where the liquid crystal panel 1 is tilted to the right side, and FIG. 2B is a case where it is tilted to the left side.
【図３】 (a) は大型液晶パネル１の外観図、(b) は検
査ステージの概略の構成図である。3A is an external view of the large liquid crystal panel 1, and FIG. 3B is a schematic configuration diagram of an inspection stage.
【図４】 載置板２に載置された液晶パネル１と、これ
に対する従来の位置決め機構５の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a liquid crystal panel 1 mounted on a mounting plate 2 and a conventional positioning mechanism 5 for the liquid crystal panel 1.
【図５】 位置決め機構５が液晶パネル１の角度ズレを
補正できない理由の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of the reason why the positioning mechanism 5 cannot correct the angle deviation of the liquid crystal panel 1.
【符号の説明】 １…大型液晶パネル、単に液晶パネル、11…ガラス基
板、12…画素、１Ａ，１Ｂ…液晶パネルの長辺、１Ｃ，
１Ｄ…短辺、２…載置板、３…Ｘ，Ｙ，Ｚ移動機構、４
…検査光学系、５…従来の位置決め機構、５’…この発
明の位置決め機構、５a ，５b ，５e …位置決めエアシ
リンダ、５c ，５d ，５f …押圧エアシリンダ、51…押
圧棒、Ｓta，Ｓtb，Ｓte…ストッパ、ｐa 〜ｐf ，ｐ
a ’〜ｐd ’…力の作用点、Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 …作用
線、Ｏ…中心点、Ｏ13，Ｏ23…交点、Ｆa ，Ｆb ，Ｆe
…反力、Ｆc ，Ｆd ，Ｆ… 押圧力。[Explanation of Codes] 1 ... Large liquid crystal panel, simply liquid crystal panel, 11 ... Glass substrate, 12 ... Pixel, 1A, 1B ... Long side of liquid crystal panel, 1C,
1D ... Short side, 2 ... Mounting plate, 3 ... X, Y, Z moving mechanism, 4
... Inspection optical system, 5 ... Conventional positioning mechanism, 5 '... Positioning mechanism of the present invention, 5a, 5b, 5e ... Positioning air cylinders, 5c, 5d, 5f ... Pressing air cylinders, 51 ... Pressing rods, St a , St b, St e ... stopper, p a ~p f, p
a '~p d' ... force action point, C 1, C 2, C 3 ... line of action, O ... center point, O 13, O 23 ... intersection, F a, F b, F e
... Reaction force, Fc , Fd , F ... Pressing force.
Claims (1)
方向の２長辺とＹ方向の２短辺を有する方形の大型液晶
パネルを、位置決め機構により位置決めして、検査を行
う検査装置において、前記載置板の表面に、前記２長辺
の一方を位置決めする２個の位置決めエアシリンダと、
該２長辺の他方を押圧する２個の押圧エアシリンダと
を、Ｘ方向に適当な間隔で配置し、対向する該各位置決
めエアシリンダと押圧エアシリンダとが、それぞれの力
の作用点に対して互いに反対の偶力を生ずる２組のＹ方
向位置決め機構と、前記２短辺の一方を位置決めする１
個の位置決めエアシリンダと、該２短辺の他方を押圧す
る１個の押圧エアシリンダよりなる１組のＸ方向位置決
め機構とを配設して構成されたことを特徴とする、大型
液晶パネルの位置決め機構。1. An X mounted on a mounting plate of an inspection stage.
A large-sized rectangular liquid crystal panel having two long sides in the Y direction and two short sides in the Y direction is positioned by a positioning mechanism to perform an inspection, and one of the two long sides is placed on the surface of the mounting plate. Two positioning air cylinders for positioning,
Two pressing air cylinders that press the other of the two long sides are arranged at appropriate intervals in the X direction, and the positioning air cylinders and the pressing air cylinders that face each other act on the points of action of the respective forces. And two sets of Y-direction positioning mechanisms that generate couples opposite to each other and one of the two short sides are positioned 1
A large-sized liquid crystal panel, characterized in that a plurality of positioning air cylinders and a set of X-direction positioning mechanisms composed of one pressing air cylinder that presses the other of the two short sides are arranged. Positioning mechanism.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25231993A JPH0783794A (en) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | Positioning mechanism of large-sized liquid crystal panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25231993A JPH0783794A (en) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | Positioning mechanism of large-sized liquid crystal panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0783794A true JPH0783794A (en) | 1995-03-31 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP25231993A Pending JPH0783794A (en) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | Positioning mechanism of large-sized liquid crystal panel |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0783794A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2811238A1 (en) | 2000-07-04 | 2002-01-11 | Tomy Co Ltd | Interactive dog/robot game having stimulus detector and drive elements with command element providing interactive response following action point sequence. |
| US6587751B2 (en) | 1999-05-10 | 2003-07-01 | Sony Corporation | Robot device and method for controlling the robot's emotions |
| JP2006153844A (en) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Samsung Electronics Co Ltd | Panel inspection device |
| KR101035982B1 (en) * | 2008-12-05 | 2011-05-23 | (주)리드 | frame alignment unit and framer system for manufacturing solar cell module having the same |
-
1993
- 1993-09-14 JP JP25231993A patent/JPH0783794A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6587751B2 (en) | 1999-05-10 | 2003-07-01 | Sony Corporation | Robot device and method for controlling the robot's emotions |
| FR2811238A1 (en) | 2000-07-04 | 2002-01-11 | Tomy Co Ltd | Interactive dog/robot game having stimulus detector and drive elements with command element providing interactive response following action point sequence. |
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