JPH0772557B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH0772557B2 JPH0772557B2 JP2050605A JP5060590A JPH0772557B2 JP H0772557 B2 JPH0772557 B2 JP H0772557B2 JP 2050605 A JP2050605 A JP 2050605A JP 5060590 A JP5060590 A JP 5060590A JP H0772557 B2 JPH0772557 B2 JP H0772557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- oil tank
- housing body
- cooling
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高真空排気を実現するターボ分子ポンプに関
し、特にプロセスガスによる反応生成物のポンプ内への
付着を防止するために好適なターボ分子ポンプ（以下、
TMPと略記する）に関するものである。
し、特にプロセスガスによる反応生成物のポンプ内への
付着を防止するために好適なターボ分子ポンプ（以下、
TMPと略記する）に関するものである。
［従来の技術］ 第４図はTMPの一例を示しており、筒状のハウジング本
体１と、このハウジング本体１を支持するベース２と、
前記ハウジング本体１内にあって前記ベース２に固設さ
れたモータハウジング３と、このモータハウジング３と
前記ベース２とにそれぞれ配設された対をなすボールベ
アリング４、５と、これらのボールベアリング４、５に
より両軸端部近傍を支承されたシャフト６と、このシャ
フト６に一体回転可能に固着され内周7aに前記モータハ
ウジング３を収容してなるロータ７と、このロータ７の
外周7bと前記ハウジング本体１の内周1aとの間に構成さ
れたポンプ機構たるタービン８と、前記ベース２の底部
に取着されたオイルタンク９とを具備してなる。そし
て、吸気口10から吸い込んだガスをタービン８で叩き飛
ばし、排気口11から強制排気し得るようになっている。
体１と、このハウジング本体１を支持するベース２と、
前記ハウジング本体１内にあって前記ベース２に固設さ
れたモータハウジング３と、このモータハウジング３と
前記ベース２とにそれぞれ配設された対をなすボールベ
アリング４、５と、これらのボールベアリング４、５に
より両軸端部近傍を支承されたシャフト６と、このシャ
フト６に一体回転可能に固着され内周7aに前記モータハ
ウジング３を収容してなるロータ７と、このロータ７の
外周7bと前記ハウジング本体１の内周1aとの間に構成さ
れたポンプ機構たるタービン８と、前記ベース２の底部
に取着されたオイルタンク９とを具備してなる。そし
て、吸気口10から吸い込んだガスをタービン８で叩き飛
ばし、排気口11から強制排気し得るようになっている。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、このポンプを例えば半導体デバイスのアルミ
ドライエッチングを行う半導体製造装置に適用すると、
エッチング後の反応生成物である塩化アルミニウムAlCl
3がポンプ内に付着、堆積するという不都合を生じる。
ドライエッチングを行う半導体製造装置に適用すると、
エッチング後の反応生成物である塩化アルミニウムAlCl
3がポンプ内に付着、堆積するという不都合を生じる。
具体的に説明すると、TMPではボールベアリング４、５
の冷却のために冷却水をパイプ12aを半田等によって埋
設した冷却金具12がベース２及びオイルタンク９に密着
させて配設してあり（ベースのみを冷却するようにして
いる場合もある）、ベース２を直接冷却することにより
下部ベアリング５に冷熱を与えるとともに、オイルタン
ク９内のオイルを冷却することによりそのオイルをノズ
ル6aにより吸い上げ、シャフト６に沿って上部ベアリン
グ４に供給するようにしている。しかし、図示の如くベ
ース２にはハウジング本体１の内周1aをなすスペーサ1b
やモータハウジング３等が金属接触させてあるため、ベ
ース２に伝わる冷熱の多くはロータ下端7cを含むロータ
内周7aからロータ外周7bにかけての領域Ａに蓄冷され易
く、タービン８から圧縮排気されてきたAlCl3がこの領
域Ａにて冷却されることになる。AlCl3には、第５図の
蒸気圧曲線に見られるように、圧力に応じて所定温度以
上で気相となりその温度以下で固相となる性質があるの
で（特開平１−267391号公報の記載引用）、AlCl3はこ
の領域Ａを通過する間に冷却されて第４図図示の如く周
辺に析出し、一定の使用期間内に多いときで３〜4mmに
まで成長することになる。
の冷却のために冷却水をパイプ12aを半田等によって埋
設した冷却金具12がベース２及びオイルタンク９に密着
させて配設してあり（ベースのみを冷却するようにして
いる場合もある）、ベース２を直接冷却することにより
下部ベアリング５に冷熱を与えるとともに、オイルタン
ク９内のオイルを冷却することによりそのオイルをノズ
ル6aにより吸い上げ、シャフト６に沿って上部ベアリン
グ４に供給するようにしている。しかし、図示の如くベ
ース２にはハウジング本体１の内周1aをなすスペーサ1b
やモータハウジング３等が金属接触させてあるため、ベ
ース２に伝わる冷熱の多くはロータ下端7cを含むロータ
内周7aからロータ外周7bにかけての領域Ａに蓄冷され易
く、タービン８から圧縮排気されてきたAlCl3がこの領
域Ａにて冷却されることになる。AlCl3には、第５図の
蒸気圧曲線に見られるように、圧力に応じて所定温度以
上で気相となりその温度以下で固相となる性質があるの
で（特開平１−267391号公報の記載引用）、AlCl3はこ
の領域Ａを通過する間に冷却されて第４図図示の如く周
辺に析出し、一定の使用期間内に多いときで３〜4mmに
まで成長することになる。
このため、TMPをかかるAlCl3やそれと同等の現象を生じ
るガスの排気に用いると、通常の場合に比べてより頻繁
な分解清掃作業が必要となり、メンテナンス上と稼動効
率上とにおいて極めて大きな不都合を強いられることに
なる。また、特にロータ外周7bとハウジング本体内周1a
との間では、この部位が1mm前後の極少隙間に保たれて
いることもあって、堆積した反応生成物により両者が接
触し、ポンプ自体の損傷又は破損をも招きかねない。
るガスの排気に用いると、通常の場合に比べてより頻繁
な分解清掃作業が必要となり、メンテナンス上と稼動効
率上とにおいて極めて大きな不都合を強いられることに
なる。また、特にロータ外周7bとハウジング本体内周1a
との間では、この部位が1mm前後の極少隙間に保たれて
いることもあって、堆積した反応生成物により両者が接
触し、ポンプ自体の損傷又は破損をも招きかねない。
本発明は、このような課題に着目してなされたものであ
って、上述したロータ下端を含むロータ内、外周にかけ
ての領域（以下、被着領域と称する）Ａへの反応生成物
等の付着を防止し、これによりTMPの信頼性、耐久性、
メンテナンス性等を有効に向上させることを目的として
いる。
って、上述したロータ下端を含むロータ内、外周にかけ
ての領域（以下、被着領域と称する）Ａへの反応生成物
等の付着を防止し、これによりTMPの信頼性、耐久性、
メンテナンス性等を有効に向上させることを目的として
いる。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、かかる目的を達成するために、次のような構
成を採用したものである。
成を採用したものである。
すなわち、本発明のTMPは、ハウジング本体と、このハ
ウジング本体を支持するベースと、前記ハウジング本体
内にあって前記ベースに固設されたモータハウジング
と、このモータハウジングと前記ベースとにそれぞれ配
設された対をなすボールベアリングと、これらのボール
ベアリングにより両軸端部近傍を支承されたシャフト
と、このシャフトに一体回転可能に固着され内周に前記
モータハウジングを収容してなるロータと、このロータ
と前記ハウジング本体との間に構成されたポンプ機構
と、前記ベース底部に取着されたオイルタンクとを具備
してなるTMPにおいて、前記オイルタンクの底壁下面に
冷却手段を密着させるとともに、オイルタンクとベース
の間に断熱材を介設したことを特徴とする。
ウジング本体を支持するベースと、前記ハウジング本体
内にあって前記ベースに固設されたモータハウジング
と、このモータハウジングと前記ベースとにそれぞれ配
設された対をなすボールベアリングと、これらのボール
ベアリングにより両軸端部近傍を支承されたシャフト
と、このシャフトに一体回転可能に固着され内周に前記
モータハウジングを収容してなるロータと、このロータ
と前記ハウジング本体との間に構成されたポンプ機構
と、前記ベース底部に取着されたオイルタンクとを具備
してなるTMPにおいて、前記オイルタンクの底壁下面に
冷却手段を密着させるとともに、オイルタンクとベース
の間に断熱材を介設したことを特徴とする。
［作用］ このような構成であると、オイルタンク内のオイルは冷
却手段によって底壁側から冷却され、両ボールベアリン
グはそのオイルが強制循環によって供給されたときに潤
滑とともに冷却されることになる。そして、この構成を
従来の冷却金具による冷却構造と比較すると、冷熱源を
被着領域に対してより遠い位置に持ち込んだものという
ことができる。このため、被着領域を昇温させて反応生
成物等の付着を防止することが可能になる。また、この
ような構成だけでは下部ボールベアリングに対する冷却
効果が半減する可能性があるが、本発明では更に、オイ
ルタンクとベースの間に断熱材を介設し、被着領域への
冷熱の伝達を防止するようにしているため、冷却手段の
能力を増大させて、ボールベアリングに対する冷却効果
を適正に高めることができる。
却手段によって底壁側から冷却され、両ボールベアリン
グはそのオイルが強制循環によって供給されたときに潤
滑とともに冷却されることになる。そして、この構成を
従来の冷却金具による冷却構造と比較すると、冷熱源を
被着領域に対してより遠い位置に持ち込んだものという
ことができる。このため、被着領域を昇温させて反応生
成物等の付着を防止することが可能になる。また、この
ような構成だけでは下部ボールベアリングに対する冷却
効果が半減する可能性があるが、本発明では更に、オイ
ルタンクとベースの間に断熱材を介設し、被着領域への
冷熱の伝達を防止するようにしているため、冷却手段の
能力を増大させて、ボールベアリングに対する冷却効果
を適正に高めることができる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図を参照して説
明する。なお、第４図と共通する部分には同一符号を付
し、その説明を省略する。
明する。なお、第４図と共通する部分には同一符号を付
し、その説明を省略する。
このTMPの冷却手段20は、第１図に示すように、オイル
タンク９の底壁9a下面に密着させた冷却板21と、この冷
却板21に凹設された溝21aと、この溝21a内に配設され半
田等を流し込んで固定された冷却水パイプ22とから構成
される。従来の冷却金具に相当する部材12は単に押え金
具としてある。
タンク９の底壁9a下面に密着させた冷却板21と、この冷
却板21に凹設された溝21aと、この溝21a内に配設され半
田等を流し込んで固定された冷却水パイプ22とから構成
される。従来の冷却金具に相当する部材12は単に押え金
具としてある。
このような構成であると、オイルタンク９内に充填され
ているオイルは底壁9a側から冷却されることになり、そ
のオイルがノズル6aにより吸い上げられ、シャフト６の
内周に沿って上部ボールベアリング４に供給された後、
シャフト６の外周に沿って流れて下部ボールベアリング
５に供給され、再びオイルタンクに還流することにな
る。これにより、両ボールベアリンク４、５はオイルに
よって潤滑と冷却が同時に行われるものとなる。
ているオイルは底壁9a側から冷却されることになり、そ
のオイルがノズル6aにより吸い上げられ、シャフト６の
内周に沿って上部ボールベアリング４に供給された後、
シャフト６の外周に沿って流れて下部ボールベアリング
５に供給され、再びオイルタンクに還流することにな
る。これにより、両ボールベアリンク４、５はオイルに
よって潤滑と冷却が同時に行われるものとなる。
そして、この冷却構造によると、冷却水パイプ22がベー
ス２に添設されず且つベース２に対して最も遠い位置に
配設されることになり、当該冷却水パイプ22により持ち
込まれる冷熱の被着領域Ａへの伝達効率を従来に比べて
大きく低減させることができる。このため、被着領域Ａ
に昇温効果をもたらし、その結果、反応生成物等の付着
を有効に防止することが可能になる。
ス２に添設されず且つベース２に対して最も遠い位置に
配設されることになり、当該冷却水パイプ22により持ち
込まれる冷熱の被着領域Ａへの伝達効率を従来に比べて
大きく低減させることができる。このため、被着領域Ａ
に昇温効果をもたらし、その結果、反応生成物等の付着
を有効に防止することが可能になる。
なお、このままの構造ではベース２の冷却が直接行わな
れないことにより、下部ボールベアリング５に対する冷
却効果が半減する可能性があるが、本実施例では更に、
第２図に詳細に示すようにオイルタンク９を断熱材31
（例えばJIS規格の真空用角リングゴム）を介してベー
ス２の底部に添接させ、その状態で押え金具12とオイル
タンク９との間に一定の隙間が生じるようにしている。
このため、冷却パイプ22による冷却能力を更に高めるこ
とができ、被着領域Ａに悪影響を及ぼすことなく両ボー
ルベアリング４、５に対する冷却を実効ならしめること
が可能になる。また、同様の趣旨で第３図に示す如く押
え金具12自体を断熱材製のものとしてもよい。
れないことにより、下部ボールベアリング５に対する冷
却効果が半減する可能性があるが、本実施例では更に、
第２図に詳細に示すようにオイルタンク９を断熱材31
（例えばJIS規格の真空用角リングゴム）を介してベー
ス２の底部に添接させ、その状態で押え金具12とオイル
タンク９との間に一定の隙間が生じるようにしている。
このため、冷却パイプ22による冷却能力を更に高めるこ
とができ、被着領域Ａに悪影響を及ぼすことなく両ボー
ルベアリング４、５に対する冷却を実効ならしめること
が可能になる。また、同様の趣旨で第３図に示す如く押
え金具12自体を断熱材製のものとしてもよい。
［発明の効果］ 本発明のTMPは、以上のような構成であるから、ボール
ベアリングに対する所要の冷却効果を確保しつつ、被着
領域を昇温させて反応生成物等の付着を防止することが
でき、その結果、TMPの信頼性、耐久性、メンテナンス
性等を有効に向上させる効果が得られる。
ベアリングに対する所要の冷却効果を確保しつつ、被着
領域を昇温させて反応生成物等の付着を防止することが
でき、その結果、TMPの信頼性、耐久性、メンテナンス
性等を有効に向上させる効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例を示す全体断面図、第２図は
同実施例の要部詳細を示す断面図、第３図は本発明の他
の実施例の要部詳細を示す断面図である。また、第４図
は従来例を示す第１図相当の全体断面図、第５図はAlCl
3の蒸気圧線図である。 １……ハウジング本体、1a……内周 ２……ベース、３……モータハウジング ４、５……ボールベアリング ６……シャフト、７……ロータ 7a……内周、7b……外周 ８……ポンプ機構（タービン） ９……オイルタンク、9a……底壁 20……冷却手段、31……断熱材
同実施例の要部詳細を示す断面図、第３図は本発明の他
の実施例の要部詳細を示す断面図である。また、第４図
は従来例を示す第１図相当の全体断面図、第５図はAlCl
3の蒸気圧線図である。 １……ハウジング本体、1a……内周 ２……ベース、３……モータハウジング ４、５……ボールベアリング ６……シャフト、７……ロータ 7a……内周、7b……外周 ８……ポンプ機構（タービン） ９……オイルタンク、9a……底壁 20……冷却手段、31……断熱材
Claims (1)
- 【請求項１】ハウジング本体と、このハウジング本体を
支持するベースと、前記ハウジング本体内にあって前記
ベースに固設されたモータハウジングと、このモータハ
ウジングと前記ベースとにそれぞれ配設された対をなす
ボースベアリングと、これらのボールベアリングにより
両軸端部近傍を支承されたシャフトと、このシャフトに
一体回転可能に固着され内周に前記モータハウジングを
収容してなるロータと、このロータの外周と前記ハウジ
ング本体の内周との間に構成されたポンプ機構と、前記
ベース底部に取着されたオイルタンクとを具備してなる
ターボ分子ポンプにおいて、前記オイルタンクの底壁下
面に冷却手段を密着させるとともに、オイルタンクとベ
ースの間に断熱材を介設したことを特徴とするターボ分
子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050605A JPH0772557B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050605A JPH0772557B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03253795A JPH03253795A (ja) | 1991-11-12 |
| JPH0772557B2 true JPH0772557B2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=12863601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2050605A Expired - Fee Related JPH0772557B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0772557B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3508483A1 (de) * | 1985-03-09 | 1986-10-23 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Gehaeuse fuer eine turbomolekularvakuumpumpe |
| JPS62168993A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-07-25 | Shimadzu Corp | ヒ−トパイプ冷却式タ−ボ分子ポンプ |
| JPH0318718Y2 (ja) * | 1985-11-27 | 1991-04-19 |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP2050605A patent/JPH0772557B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03253795A (ja) | 1991-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |