JPH0771929A - ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・cvd装置 - Google Patents
ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・cvd装置Info
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- JPH0771929A JPH0771929A JP21880793A JP21880793A JPH0771929A JP H0771929 A JPH0771929 A JP H0771929A JP 21880793 A JP21880793 A JP 21880793A JP 21880793 A JP21880793 A JP 21880793A JP H0771929 A JPH0771929 A JP H0771929A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハの位置修正を速やかに簡単にしかも
正確に行い、ウェーハをパーティクルを発生することな
く確実に移替える。 【構成】 カセット2とボート9の間で複数段に載置さ
れているウェーハ3をツィーザ4により保持して搬送す
るウェーハ搬送機5に、ウェーハ検知センサ14を取付
け、ウェーハ搬送機5を上下動可能にならしめる。
正確に行い、ウェーハをパーティクルを発生することな
く確実に移替える。 【構成】 カセット2とボート9の間で複数段に載置さ
れているウェーハ3をツィーザ4により保持して搬送す
るウェーハ搬送機5に、ウェーハ検知センサ14を取付
け、ウェーハ搬送機5を上下動可能にならしめる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はカセット及びボート上に
多段に載置されているウェーハの位置を検知する方法及
びカセットからボートにウェーハを搬送し、該ボートを
反応管内に搬入してウェーハを加熱処理し、反応管内よ
りボートを搬出して処理済みウェーハをボートからウェ
ーハカセットに搬送する縦型拡散・CVD装置に関す
る。
多段に載置されているウェーハの位置を検知する方法及
びカセットからボートにウェーハを搬送し、該ボートを
反応管内に搬入してウェーハを加熱処理し、反応管内よ
りボートを搬出して処理済みウェーハをボートからウェ
ーハカセットに搬送する縦型拡散・CVD装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の縦型拡散・CVD装置を図1を参
照して説明する。カセット収納ラック1内のカセット2
から複数段に載置されているウェーハ3をカセット2に
向かって動かしたチャック部6のツィーザ4により保持
してウェーハ搬送機5を回転し、シールキャップ7上に
載せられた石英キャップ8上のボート9に移替え、シー
ルキャップ7をボート昇降機(図示せず)により上昇し
てボート9を反応管10内に搬入し、ウェーハ3をヒー
タ11により加熱し、ガス導入口12より反応ガス又は
不活性ガスを導入し、ガス排気口13から排気する。
照して説明する。カセット収納ラック1内のカセット2
から複数段に載置されているウェーハ3をカセット2に
向かって動かしたチャック部6のツィーザ4により保持
してウェーハ搬送機5を回転し、シールキャップ7上に
載せられた石英キャップ8上のボート9に移替え、シー
ルキャップ7をボート昇降機(図示せず)により上昇し
てボート9を反応管10内に搬入し、ウェーハ3をヒー
タ11により加熱し、ガス導入口12より反応ガス又は
不活性ガスを導入し、ガス排気口13から排気する。
【0003】ウェーハ3の加熱処理(不純物拡散処理、
アニール処理、熱酸化処理、化学気相成長反応)が終了
すると、反応管10内を不活性ガス雰囲気に置換しシー
ルキャップ7をボート昇降機により下降してボート9を
反応管10より搬出し、ボート9に載置されているウェ
ーハ3の温度が100℃以下に下がったところで、ボー
ト9から複数段に載置されているウェーハ3をボート9
に向かって動かしたチャック部6のツィーザ4により保
持してウェーハ搬送機5を回転しカセット収納ラック1
内のカセット2に移替えることになる。
アニール処理、熱酸化処理、化学気相成長反応)が終了
すると、反応管10内を不活性ガス雰囲気に置換しシー
ルキャップ7をボート昇降機により下降してボート9を
反応管10より搬出し、ボート9に載置されているウェ
ーハ3の温度が100℃以下に下がったところで、ボー
ト9から複数段に載置されているウェーハ3をボート9
に向かって動かしたチャック部6のツィーザ4により保
持してウェーハ搬送機5を回転しカセット収納ラック1
内のカセット2に移替えることになる。
【0004】このような装置においてカセット収納ラッ
ク1にカセット2を搬送するときに搬送機の動作誤差に
よりカセット2が揺れてウェーハ3が多少位置ずれする
ことがある。又、ボート9上のウェーハ3はウェーハの
加熱処理中に位置ずれすることがある。更にチャック部
6にウェーハ3をすくい上げて保持する、石英製又は表
面がテフロン(商標名)コーティングされているツィー
ザ4を取付けるのは作業者であるため、ツィーザ4を直
角になるように取付けるが、ツィーザ4が傾いて取付け
られていても作業者が気付かない場合がある。
ク1にカセット2を搬送するときに搬送機の動作誤差に
よりカセット2が揺れてウェーハ3が多少位置ずれする
ことがある。又、ボート9上のウェーハ3はウェーハの
加熱処理中に位置ずれすることがある。更にチャック部
6にウェーハ3をすくい上げて保持する、石英製又は表
面がテフロン(商標名)コーティングされているツィー
ザ4を取付けるのは作業者であるため、ツィーザ4を直
角になるように取付けるが、ツィーザ4が傾いて取付け
られていても作業者が気付かない場合がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来、カセット2又は
ボート9上のウェーハ3の位置ずれは目視により判断し
ていたので、位置修正に熟練及び多大の時間と労力を要
し、かつ位置修正を正確に行うことができないため、ウ
ェーハ3を確実に移替えることができず、ウェーハ3が
ボート9やカセット2に接触することに起因してパーテ
ィクルが発生するという課題がある。又、ツィーザ4が
傾いて取付けられている場合も、ウェーハ3を保持して
移替えることができなくなるという課題がある。
ボート9上のウェーハ3の位置ずれは目視により判断し
ていたので、位置修正に熟練及び多大の時間と労力を要
し、かつ位置修正を正確に行うことができないため、ウ
ェーハ3を確実に移替えることができず、ウェーハ3が
ボート9やカセット2に接触することに起因してパーテ
ィクルが発生するという課題がある。又、ツィーザ4が
傾いて取付けられている場合も、ウェーハ3を保持して
移替えることができなくなるという課題がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明方法は上記の課題
を解決するため、図1に示すようにカセット2とボート
9の間で複数段に載置されているウェーハ3をツィーザ
4により保持して搬送するウェーハ搬送機5に距離測定
可能なウェーハ検知センサ14を取付け、このウェーハ
搬送機5を上方又は下方に移動することによりウェーハ
3の上下の間隔d及び/又は前後の寸法差aを測定する
ことを特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するた
め、第2図に示すようにカセット2と、反応管10内に
搬入出されるボート9の間で複数段に載置されているウ
ェーハ3をツィーザ4により保持して搬送するウェーハ
搬送機5と、反応管10内にボート9を搬入出するボー
ト昇降機を備えた縦型拡散・CVD装置において、カセ
ット2及びボート9上のウェーハ3の端面を検知するウ
ェーハ検知センサ14を上下動可能にならしめたウェー
ハ搬送機5に取付け、このウェーハ検知センサ14の出
力に位置検出装置16を接続してなる。又、本発明装置
は同じ課題を解決するため、図4に示すようにカセット
2と、反応管10内に搬入出されるボート9の間で複数
段に載置されているウェーハ3をツィーザ4により保持
して搬送するウェーハ搬送機5と、反応管10内にボー
ト9を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・CV
D装置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送
機5のツィーザ4の傾き量q又は図5に示すようにピッ
チPを検出するセンサ15を有する組立精度の自己自動
検査システムを具備してなる。
を解決するため、図1に示すようにカセット2とボート
9の間で複数段に載置されているウェーハ3をツィーザ
4により保持して搬送するウェーハ搬送機5に距離測定
可能なウェーハ検知センサ14を取付け、このウェーハ
搬送機5を上方又は下方に移動することによりウェーハ
3の上下の間隔d及び/又は前後の寸法差aを測定する
ことを特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するた
め、第2図に示すようにカセット2と、反応管10内に
搬入出されるボート9の間で複数段に載置されているウ
ェーハ3をツィーザ4により保持して搬送するウェーハ
搬送機5と、反応管10内にボート9を搬入出するボー
ト昇降機を備えた縦型拡散・CVD装置において、カセ
ット2及びボート9上のウェーハ3の端面を検知するウ
ェーハ検知センサ14を上下動可能にならしめたウェー
ハ搬送機5に取付け、このウェーハ検知センサ14の出
力に位置検出装置16を接続してなる。又、本発明装置
は同じ課題を解決するため、図4に示すようにカセット
2と、反応管10内に搬入出されるボート9の間で複数
段に載置されているウェーハ3をツィーザ4により保持
して搬送するウェーハ搬送機5と、反応管10内にボー
ト9を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・CV
D装置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送
機5のツィーザ4の傾き量q又は図5に示すようにピッ
チPを検出するセンサ15を有する組立精度の自己自動
検査システムを具備してなる。
【0007】
【作用】カセット2又はボート9上のウェーハ3にウェ
ーハ検知センサ14を対向させ、ウェーハ搬送機5を上
方又は下方に移動させることによりカセット2又はボー
ト9上に複数段に載置されたウェーハ3の上下の位置、
上下の間隔d、ウェーハ3までの距離a1 ,a2 及び前
後の寸法差aがウェーハ検知センサ14により自動的に
測定されることになる。これによりカセット2はボート
9上のウェーハ3の位置ずれが目視によらずウェーハ検
知センサ14により自動的に検知されるので、位置修正
を速やかに簡単にしかも正確に行うことができ、ウェー
ハ3をパーティクルを発生することなく確実に移替える
ことができることになる。又、チャック部6にツィーザ
4のピッチPを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備
えている場合、ウェーハ検知センサ14によりウェーハ
3の間隔dを測定できるため、ツィーザ4のピッチをウ
ェーハ間隔に自動的に調節することができる。又、セン
サ15によりツィーザ4の傾き量q又はピッチPが検出
され、この検出信号を基に自己自動検査システム(図示
せず)により組立精度の自己自動検査が行われことにな
る。
ーハ検知センサ14を対向させ、ウェーハ搬送機5を上
方又は下方に移動させることによりカセット2又はボー
ト9上に複数段に載置されたウェーハ3の上下の位置、
上下の間隔d、ウェーハ3までの距離a1 ,a2 及び前
後の寸法差aがウェーハ検知センサ14により自動的に
測定されることになる。これによりカセット2はボート
9上のウェーハ3の位置ずれが目視によらずウェーハ検
知センサ14により自動的に検知されるので、位置修正
を速やかに簡単にしかも正確に行うことができ、ウェー
ハ3をパーティクルを発生することなく確実に移替える
ことができることになる。又、チャック部6にツィーザ
4のピッチPを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備
えている場合、ウェーハ検知センサ14によりウェーハ
3の間隔dを測定できるため、ツィーザ4のピッチをウ
ェーハ間隔に自動的に調節することができる。又、セン
サ15によりツィーザ4の傾き量q又はピッチPが検出
され、この検出信号を基に自己自動検査システム(図示
せず)により組立精度の自己自動検査が行われことにな
る。
【0008】
【実施例】図1は本発明方法及び装置の第1実施例の構
成を示す説明図である。図1において1はカセット収納
ラックで、該ラック1内に複数個のカセット2が収納さ
れている。9はボート、5はチャック部6の複数枚、例
えば3枚のツィーザ4によりカセット2から3枚のウェ
ーハ3を保持して回転しボート9に移替えるウェーハ搬
送機である。ボート9は石英キャップ8上に載置され、
この石英キャップ8はボート昇降機(図示せず)に昇降
されるシールキャップ7上に設置されている。10はウ
ェーハの熱処理を行う反応管、11はヒータ、12,1
3はそれぞれ反応ガス又は不活性ガスを導入するガス導
入口及び排気するガス排気口である。
成を示す説明図である。図1において1はカセット収納
ラックで、該ラック1内に複数個のカセット2が収納さ
れている。9はボート、5はチャック部6の複数枚、例
えば3枚のツィーザ4によりカセット2から3枚のウェ
ーハ3を保持して回転しボート9に移替えるウェーハ搬
送機である。ボート9は石英キャップ8上に載置され、
この石英キャップ8はボート昇降機(図示せず)に昇降
されるシールキャップ7上に設置されている。10はウ
ェーハの熱処理を行う反応管、11はヒータ、12,1
3はそれぞれ反応ガス又は不活性ガスを導入するガス導
入口及び排気するガス排気口である。
【0009】このような縦型拡散・CVD装置において
ウェーハ搬送機5のチャック部6上に距離測定可能なウ
ェーハ検知センサ14が取付けられ、ウェーハ搬送機5
は上下方向に移動できる構成になっている。カセット2
又はボート9上のウェーハ3にウェーハ検知センサ14
を対向させ、ウェーハ搬送機5を上方又は下方に移動さ
せることによりカセット2又はボート9上に複数段に載
置されたウェーハ3の上下の位置、上下の間隔d、ウェ
ーハ3までの距離a1 ,a2 及び前後の寸法差aがウェ
ーハ検知センサ14により自動的に測定されることにな
る。この場合、ウェーハ3の前後の寸法差aはウェーハ
端面迄の距離を検出することによりウェーハ搬送機5の
端面からウェーハ3の端面までの距離a1 とa2 の差と
して得られる。更にウェーハ検知センサ14によりウェ
ーハ3までの距離a1 ,a2 を測定してウェーハ搬送機
5のx軸方向の移動距離を(ウェーハまでの距離)+
(ツィーザのウェーハ保持のための長さ)とすれば、ウ
ェーハ全てにおいてツィーザ4のウェーハを保持する長
さが一様になり、ツィーザ4の基部から保持しているウ
ェーハの先端までの長さも一様になり、ボート9にウェ
ーハ3を載置するときボート9へウェーハ3を一様な奥
行きに載置することができるようになる。また、自動的
にこれらの距離を合わせられるので、ウェーハ搬送機5
のティーチング時間が大幅に減少する。
ウェーハ搬送機5のチャック部6上に距離測定可能なウ
ェーハ検知センサ14が取付けられ、ウェーハ搬送機5
は上下方向に移動できる構成になっている。カセット2
又はボート9上のウェーハ3にウェーハ検知センサ14
を対向させ、ウェーハ搬送機5を上方又は下方に移動さ
せることによりカセット2又はボート9上に複数段に載
置されたウェーハ3の上下の位置、上下の間隔d、ウェ
ーハ3までの距離a1 ,a2 及び前後の寸法差aがウェ
ーハ検知センサ14により自動的に測定されることにな
る。この場合、ウェーハ3の前後の寸法差aはウェーハ
端面迄の距離を検出することによりウェーハ搬送機5の
端面からウェーハ3の端面までの距離a1 とa2 の差と
して得られる。更にウェーハ検知センサ14によりウェ
ーハ3までの距離a1 ,a2 を測定してウェーハ搬送機
5のx軸方向の移動距離を(ウェーハまでの距離)+
(ツィーザのウェーハ保持のための長さ)とすれば、ウ
ェーハ全てにおいてツィーザ4のウェーハを保持する長
さが一様になり、ツィーザ4の基部から保持しているウ
ェーハの先端までの長さも一様になり、ボート9にウェ
ーハ3を載置するときボート9へウェーハ3を一様な奥
行きに載置することができるようになる。また、自動的
にこれらの距離を合わせられるので、ウェーハ搬送機5
のティーチング時間が大幅に減少する。
【0010】これよりカセット2又はボート9上のウェ
ーハ3の上下方向及び前後方向の位置ずれが目視によら
ずウェーハ検知センサ14により自動的に検知されるの
で、位置修正を速やかに簡単にしかも正確に行うことが
でき、ウェーハ3をパーティクルを発生することなく確
実に移替えることができることになる。又、ウェーハ検
知センサ14の出力を利用して位置修正(補正)の自動
化も達成可能である。又、チャック部6にツィーザ4の
ピッチPを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備えて
いる場合、ウェーハ検知センサ14によりウェーハ3の
間隔dを測定できるため、ツィーザ4のピッチをウェー
ハ間隔に自動的に調節することができる。ウェーハの前
後の寸法差aを測定することにより機械組立精度の自己
自動検査も行うことが可能である。
ーハ3の上下方向及び前後方向の位置ずれが目視によら
ずウェーハ検知センサ14により自動的に検知されるの
で、位置修正を速やかに簡単にしかも正確に行うことが
でき、ウェーハ3をパーティクルを発生することなく確
実に移替えることができることになる。又、ウェーハ検
知センサ14の出力を利用して位置修正(補正)の自動
化も達成可能である。又、チャック部6にツィーザ4の
ピッチPを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備えて
いる場合、ウェーハ検知センサ14によりウェーハ3の
間隔dを測定できるため、ツィーザ4のピッチをウェー
ハ間隔に自動的に調節することができる。ウェーハの前
後の寸法差aを測定することにより機械組立精度の自己
自動検査も行うことが可能である。
【0011】図2は本発明装置の第2実施例の1部の構
成を示す説明図である。この第2実施例は、図1に示す
縦型拡散・CVD装置において、カセット2上及びボー
ト9上のウェーハ3の端面を検知するウェーハ検知セン
サ14を上下動可能にならしめたウェーハ搬送機5のチ
ャック部6上に取付け、ウェーハ検知センサ14の出力
に位置検出装置16を接続してなる。上記構成の第2実
施例においてカセット2又はボート9上のウェーハ3に
ウェーハ検知センサ14を対向させ、ウェーハ搬送機5
を上方又は下方に移動させることによりカセット2又は
ボート9上のウェーハ3の端面がウェーハ検知センサ1
4により検知され、この検知信号が位置検出装置16に
入力されてカセット2又はボート9上のウェーハ3の位
置が自動的に算出される。このようにカセット2及びボ
ート9上のウェーハ3の位置を自動的に算出できるの
で、人手がかからず、位置修正又は位置調節を迅速にし
かも正確に行うことができる。ウェーハ3が大きく位置
ずれしている場合はエラーとして作業者に報知すること
ができる。又、ウェーハの位置データを基にボート9の
定位置の自己自動検査を行うことができる。
成を示す説明図である。この第2実施例は、図1に示す
縦型拡散・CVD装置において、カセット2上及びボー
ト9上のウェーハ3の端面を検知するウェーハ検知セン
サ14を上下動可能にならしめたウェーハ搬送機5のチ
ャック部6上に取付け、ウェーハ検知センサ14の出力
に位置検出装置16を接続してなる。上記構成の第2実
施例においてカセット2又はボート9上のウェーハ3に
ウェーハ検知センサ14を対向させ、ウェーハ搬送機5
を上方又は下方に移動させることによりカセット2又は
ボート9上のウェーハ3の端面がウェーハ検知センサ1
4により検知され、この検知信号が位置検出装置16に
入力されてカセット2又はボート9上のウェーハ3の位
置が自動的に算出される。このようにカセット2及びボ
ート9上のウェーハ3の位置を自動的に算出できるの
で、人手がかからず、位置修正又は位置調節を迅速にし
かも正確に行うことができる。ウェーハ3が大きく位置
ずれしている場合はエラーとして作業者に報知すること
ができる。又、ウェーハの位置データを基にボート9の
定位置の自己自動検査を行うことができる。
【0012】図3は本発明装置の第3実施例の1部の構
成を示す説明図である。この第3実施例は図2に示す縦
型拡散・CVD装置において、チャック部6のツィーザ
4の向きを変えるモータ17にエンコーダ18を連結
し、このエンコーダ18の出力と位置検出装置16の出
力をモータ17のコントローラ19の入力に接続してな
る。上記構成の第3実施例において、カセット2上のウ
ェーハ3にウェーハ検知センサ14を対向させ、カセッ
ト2上のウェーハ3の端面がウェーハ検知センサ14に
より検知され、この検知信号が位置検出装置16に入力
されてカセット2上のウェーハ3の位置が自動的に算出
される。カセット2上のウェーハ3の端面を検知した
後、ウェーハ搬送機5をモータ17により回転してウェ
ーハ検知センサ14をボート9上のウェーハ3に対向さ
せ、ボート9上のウェーハ3の端面がウェーハ検知セン
サ14により検知され、この検知信号が位置検出装置1
6に入力されてボート9上のウェーハ3の位置が自動的
に算出される。
成を示す説明図である。この第3実施例は図2に示す縦
型拡散・CVD装置において、チャック部6のツィーザ
4の向きを変えるモータ17にエンコーダ18を連結
し、このエンコーダ18の出力と位置検出装置16の出
力をモータ17のコントローラ19の入力に接続してな
る。上記構成の第3実施例において、カセット2上のウ
ェーハ3にウェーハ検知センサ14を対向させ、カセッ
ト2上のウェーハ3の端面がウェーハ検知センサ14に
より検知され、この検知信号が位置検出装置16に入力
されてカセット2上のウェーハ3の位置が自動的に算出
される。カセット2上のウェーハ3の端面を検知した
後、ウェーハ搬送機5をモータ17により回転してウェ
ーハ検知センサ14をボート9上のウェーハ3に対向さ
せ、ボート9上のウェーハ3の端面がウェーハ検知セン
サ14により検知され、この検知信号が位置検出装置1
6に入力されてボート9上のウェーハ3の位置が自動的
に算出される。
【0013】モータ17の回転量がエンコーダ18によ
り検出され、この回転量信号(エンコーダ値)と位置検
出装置16の出力信号がコントローラ19に入力され、
モータ17が制御されてボート9上のウェーハ3の位置
が自動調節される。ボート9上のウェーハ3の端面を検
知した後、ウェーハ搬送機5をモータ17により回転し
てウェーハ検知センサ14をカセット2上のウェーハ3
に対向させ、カセット2上のウェーハ3の端面がウェー
ハ検知センサ14により検知され、上記と同様にカセッ
ト2上のウェーハ3の位置が自動調節される。又、カセ
ット2及びボート9上のウェーハ3の検知データを基に
組立精度の自己自動検査を行うことができる。
り検出され、この回転量信号(エンコーダ値)と位置検
出装置16の出力信号がコントローラ19に入力され、
モータ17が制御されてボート9上のウェーハ3の位置
が自動調節される。ボート9上のウェーハ3の端面を検
知した後、ウェーハ搬送機5をモータ17により回転し
てウェーハ検知センサ14をカセット2上のウェーハ3
に対向させ、カセット2上のウェーハ3の端面がウェー
ハ検知センサ14により検知され、上記と同様にカセッ
ト2上のウェーハ3の位置が自動調節される。又、カセ
ット2及びボート9上のウェーハ3の検知データを基に
組立精度の自己自動検査を行うことができる。
【0014】図4(A)は第4実施例におけるウェーハ
搬送機のチャック部とそのツィーザの傾き量を検知する
センサの正面図、図4(B)は同じくセンサにより検出
するツィーザの基部と先端部の2位置を示す平面図、図
4(C)は同じくツィーザが下方に傾いている場合を示
す側面図である。この第4実施例は、図2に示す縦型拡
散・CVD装置において、上下動可能にならしめたウェ
ーハ搬送機5のチャック部6のツィーザ4の基部4Aと
先端部4Bをそれぞれ検出しツィーザ4の傾き量qを検
出する2つのセンサ15を有する組立精度の自己検査シ
ステム(図示せず)を具備してなる。上記構成の第4実
施例においてチャック部6にツィーザ4を人手により目
視で直角に取り付けるのであるが、必ずしも直角に取り
付けられていない。チャック部6に取付けたツィーザの
基部4Aと先端部4Bがそれぞれ図示された2つのセン
サ15によりウェーハ搬送機5を上方又は下方に移動さ
せて検出され比較されてツィーザ4の傾き量qが検出さ
れ、自己検査システムにより組立精度の自己自動検査が
行われることになる。又ツィーザ4の傾き量qが設定範
囲外の時はエラーとして作業者にブザー等で知らせるこ
とになる。センサ1つで、チャック部6を前後してツィ
ーザ4の基部4Aと先端部4Bをそれぞれ検出し、ツィ
ーザ4の傾き量qを検出するようにしてもよい。
搬送機のチャック部とそのツィーザの傾き量を検知する
センサの正面図、図4(B)は同じくセンサにより検出
するツィーザの基部と先端部の2位置を示す平面図、図
4(C)は同じくツィーザが下方に傾いている場合を示
す側面図である。この第4実施例は、図2に示す縦型拡
散・CVD装置において、上下動可能にならしめたウェ
ーハ搬送機5のチャック部6のツィーザ4の基部4Aと
先端部4Bをそれぞれ検出しツィーザ4の傾き量qを検
出する2つのセンサ15を有する組立精度の自己検査シ
ステム(図示せず)を具備してなる。上記構成の第4実
施例においてチャック部6にツィーザ4を人手により目
視で直角に取り付けるのであるが、必ずしも直角に取り
付けられていない。チャック部6に取付けたツィーザの
基部4Aと先端部4Bがそれぞれ図示された2つのセン
サ15によりウェーハ搬送機5を上方又は下方に移動さ
せて検出され比較されてツィーザ4の傾き量qが検出さ
れ、自己検査システムにより組立精度の自己自動検査が
行われることになる。又ツィーザ4の傾き量qが設定範
囲外の時はエラーとして作業者にブザー等で知らせるこ
とになる。センサ1つで、チャック部6を前後してツィ
ーザ4の基部4Aと先端部4Bをそれぞれ検出し、ツィ
ーザ4の傾き量qを検出するようにしてもよい。
【0015】図5(A)は第5実施例におけるウェーハ
搬送機のチャック部とそのツィーザのピッチを検知する
センサの正面図、図5(B)は同じくその側面図であ
る。この第5実施例は、図2に示す縦型拡散・CVD装
置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送機5
のチャック部6のツィーザ4のピッチPを検出するセン
サ15を有する組立精度の自己検査システム(図示せ
ず)を具備してなる。上記構成の第5実施例においてチ
ャック部6にツィーザ4を人手により目視で等ピッチに
取付けるのであるが、必ずしも等ピッチに取付いていな
い。チャック部6に取付けたツィーザ4は、固定された
センサ15により検出され、ウェーハ搬送機5を上方又
は下方に移動させてツィーザ4のピッチPがセンサ15
により検出され、自己検査システムにより組立精度の自
己自動検査が行われることになる。
搬送機のチャック部とそのツィーザのピッチを検知する
センサの正面図、図5(B)は同じくその側面図であ
る。この第5実施例は、図2に示す縦型拡散・CVD装
置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送機5
のチャック部6のツィーザ4のピッチPを検出するセン
サ15を有する組立精度の自己検査システム(図示せ
ず)を具備してなる。上記構成の第5実施例においてチ
ャック部6にツィーザ4を人手により目視で等ピッチに
取付けるのであるが、必ずしも等ピッチに取付いていな
い。チャック部6に取付けたツィーザ4は、固定された
センサ15により検出され、ウェーハ搬送機5を上方又
は下方に移動させてツィーザ4のピッチPがセンサ15
により検出され、自己検査システムにより組立精度の自
己自動検査が行われることになる。
【0016】このようにウェーハ搬送機5のチャック部
6のツィーザ4の傾き量q又はピッチPをセンサ15に
より検出することによりツィーザ4の取付けの是非を判
断することができ、ツィーザ4を確かに取付けてウェー
ハ3の移替えを失敗することなく行うことができる。
6のツィーザ4の傾き量q又はピッチPをセンサ15に
より検出することによりツィーザ4の取付けの是非を判
断することができ、ツィーザ4を確かに取付けてウェー
ハ3の移替えを失敗することなく行うことができる。
【0017】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、カセット
2とボート9の間で複数段に載置されているウェーハ3
をツィーザ4により保持して搬送するウェーハ搬送機5
に、ウェーハ検知センサ14を取付け、ウェーハ搬送機
5を上下動可能にならしめたので、カセット2又はボー
ト9上のウェーハ3の上下の間隔d、前後の寸法差a又
はウェーハ3の端面をウェーハ検知センサ14により測
定することによりカセット2又はボート9上のウェーハ
3の位置ずれを目視によらず検知でき、位置修正を速や
かに簡単にしかも正確に行うことができるばかりでな
く、ウェーハ3をパーティクルを発生することなく確実
に移替えることができる。
2とボート9の間で複数段に載置されているウェーハ3
をツィーザ4により保持して搬送するウェーハ搬送機5
に、ウェーハ検知センサ14を取付け、ウェーハ搬送機
5を上下動可能にならしめたので、カセット2又はボー
ト9上のウェーハ3の上下の間隔d、前後の寸法差a又
はウェーハ3の端面をウェーハ検知センサ14により測
定することによりカセット2又はボート9上のウェーハ
3の位置ずれを目視によらず検知でき、位置修正を速や
かに簡単にしかも正確に行うことができるばかりでな
く、ウェーハ3をパーティクルを発生することなく確実
に移替えることができる。
【図1】本発明方法及び装置の第1実施例の構成を示す
説明図である。
説明図である。
【図2】本発明装置の第2実施例の1部の構成を示す説
明図である。
明図である。
【図3】本発明装置の第3実施例の1部の構成を示す説
明図である。
明図である。
【図4】(A)は第4実施例におけるウェーハ搬送機の
チャック部とそのツィーザの傾き量を検知するセンサの
正面図である (B)は同じくセンサにより検出するツィーザの基部と
先端部の2位置を示す平面図である。(C)は同じくツ
ィーザが下方に傾いている場合を示す側面図である。
チャック部とそのツィーザの傾き量を検知するセンサの
正面図である (B)は同じくセンサにより検出するツィーザの基部と
先端部の2位置を示す平面図である。(C)は同じくツ
ィーザが下方に傾いている場合を示す側面図である。
【図5】(A)は第5実施例におけるウェーハ搬送機の
チャック部とそのツィーザのピッチを検知するセンサの
正面図である。(B)は同じくその側面図である。
チャック部とそのツィーザのピッチを検知するセンサの
正面図である。(B)は同じくその側面図である。
1 カセット収納ラック 2 カセット 3 ウェーハ 4 ホールド部 4A 基部 4B 先端部 5 ウェーハ搬送機 6 チャック部 7 シールキャップ 8 石英キャップ 9 ボート 10 反応管 11 ヒータ 12 ガス導入口 13 ガス排気口 14 ウェーハ検知センサ 15 センサ 16 位置検出装置 17 回転駆動源(モータ) 18 回転量検出装置(エンコーダ) 19 コントローラ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 L
Claims (7)
- 【請求項1】 カセット(2)とボート(9)の間で複
数段に載置されているウェーハ(3)をツィーザ(4)
により保持して搬送するウェーハ搬送機(5)に、ウェ
ーハ検知センサ(14)を取付け、このウェーハ搬送機
(5)を上方又は下方に移動することによりウェーハ
(3)の上下の間隔(d)を測定することを特徴とする
ウェーハ位置検知方法。 - 【請求項2】 カセット(2)とボート(9)の間で複
数段に載置されているウェーハ(3)をツィーザ(4)
により保持して搬送するウェーハ搬送機(5)に距離測
定可能なウェーハ検知センサ(14)を取付け、このウ
ェーハ搬送機(5)を上方又は下方に移動することによ
りウェーハ(3)の前後の寸法差(a)を測定すること
を特徴とするウェーハ位置検知方法。 - 【請求項3】 ウェーハ検知センサ(14)によりウェ
ーハ(3)の上下の間隔(d)を測定し、ウェーハ
(3)を保持する複数枚のツィーザ(4)のピッチ
(P)を該測定信号によりウェーハの間隔(d)に自動
調節する自動ピッチ調節機構を具備してなる縦型拡散・
CVD装置。 - 【請求項4】 カセット(2)と、反応管(10)内に
搬入出されるボート(9)の間で複数段に載置されてい
るウェーハ(3)をツィーザ(4)により保持して搬送
するウェーハ搬送機(5)と、反応管(10)内にボー
ト(9)を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・
CVD装置において、カセット(2)及びボート(9)
上のウェーハ(3)の端面を検知するウェーハ検知セン
サ(14)を上下動可能にならしめたウェーハ搬送機
(5)に取付け、このウェーハ検知センサ(14)の出
力に位置検出装置(16)を接続してなる縦型拡散・C
VD装置。 - 【請求項5】 カセット(2)とボート(9)の間でウ
ェーハ搬送機(5)を回転してツィーザ(4)の向きを
変える回転駆動源(17)に回転量検出装置(18)を
設け、この回転量検出装置(18)の出力と位置検出装
置(16)の出力を回転駆動源(17)のコントローラ
(19)の入力に接続してなる請求項4の縦型拡散・C
VD装置。 - 【請求項6】 カセット(2)と、反応管(10)内に
搬入出されるボート(9)の間で複数段に載置されてい
るウェーハ(3)をツィーザ(4)により保持して搬送
するウェーハ搬送機(5)と、反応管(10)内にボー
ト(9)を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・
CVD装置において、上下動可能にならしめたウェーハ
搬送機(5)のツィーザ(4)の傾き量(q)を検出す
るセンサ(15)を有する組立精度の自己自動検査シス
テムを具備してなる縦型拡散・CVD装置。 - 【請求項7】 カセット(2)と、反応管(10)内に
搬入出されるボート(9)の間で複数段に載置されてい
るウェーハ(3)をツィーザ(4)により保持して搬送
するウェーハ搬送機(5)と、反応管(10)内にボー
ト(9)を搬入出するボート上下動機構を備えた縦型拡
散・CVD装置において、上下動可能にならしめたウェ
ーハ搬送機(5)のツィーザのピッチ(P)を検出する
センサ(15)を有する組立精度の自己自動検査システ
ムを具備してなる縦型拡散・CVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21880793A JPH0771929A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・cvd装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21880793A JPH0771929A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・cvd装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0771929A true JPH0771929A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16725658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21880793A Pending JPH0771929A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・cvd装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0771929A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
EP1047115A2 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
US6419439B2 (en) * | 1995-09-27 | 2002-07-16 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Indexer for magazine shelves of a magazine and wafer-shaped objects contained therein |
-
1993
- 1993-09-02 JP JP21880793A patent/JPH0771929A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6419439B2 (en) * | 1995-09-27 | 2002-07-16 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Indexer for magazine shelves of a magazine and wafer-shaped objects contained therein |
JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
EP1047115A2 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
EP1047115A3 (en) * | 1999-04-19 | 2003-06-11 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
US6925356B2 (en) | 1999-04-19 | 2005-08-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
US7158857B2 (en) | 1999-04-19 | 2007-01-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
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