JPH0770585B2 - ウェ−ハ支持方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 円板状のウェーハの両面の検査あるいは処理を行う際の
ウェーハの支持方法に関し、 ウェーハに外力が掛かって損傷したり汚染したりしない
ようにすることを目的とし、 円板状ウェーハの回りに配設された複数の回転車のそれ
ぞれの外周側面に、該ウェーハの厚みよりも広い幅を有
する溝が設けられ、該ウェーハと略平行となる該溝の側
壁上に、該ウェーハの外周端面と該溝の底面との間に遊
びを残すように該ウェーハを支持するように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、円板状のウェーハを回転させたり、傾倒させ
たり、転倒させたりできるウェーハ支持方法に関する。

半導体装置などの製造においては、通常、製造途上の基
板に円板状のウェーハを用い、これに種々の加工を施
す。そして加工の状態や加工中に発生し不良の原因とな
るマイクロクラックの有無などを調べるため、工程の要
所にウェーハの表面を観察する検査が挿入される。その
観察においては、表面の反射状態が影響するためウェー
ハを面方向に回転させたり傾斜させたりすることがあ
り、またマイクロクラックの発生が片面に限られないた
め、その観察は両面を対象にする必要がある。

このため上記観察を行う際のウェーハの支持は、上記条
件の全てを満たせるようにするのが望ましい。

〔従来の技術〕

上記観察を行う場合に、通常用いられるウェーハ支持の
方法は、ウェーハをピンセットで挟み持つものである。

この方法は、ウェーハの両面観察が可能であるが、操作
が不安定であり且つウェーハを損傷させ易いので望まし
いものではない。

これに代わるものとして、第３図の側面図に示す如くウ
ェーハＷを真空チャックＣに吸着させて支持する方法が
ある。

この方法は、チャックＣを動かすことによりウェーハを
安定に面方向回転させたり傾けたりすることが出来て観
察に便利である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながらこの方法は、チャックＣがウェーハＷの一
面に接するため、両面観察を行う場合にはウェーハＷを
裏返しにしてチャックし直す必要があり、またチャック
ＣがウェーハＷの表面を汚染する問題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、本発明を説明する第１図と第２図に示し
たように、円板状ウェーハの回りに配設された複数の回
転車のそれぞれの外周側面に、該ウェーハの厚みよりも
広い幅を有する溝が設けられ、該ウェーハと略平行とな
る該溝の側壁上に、該ウェーハの外周端面と該溝の底面
との間に遊びを残すように該ウェーハを支持するように
構成されたウェーハ支持方法によって解決される。

〔作用〕

本発明においては、ウェーハＷの周縁部を複数の回転車
２、３の溝１の側壁に乗せて支持するようにしている。
また、ウェーハＷの外周端面が溝１の底面と遊びを残し
て支持するようにしている。

こゝで、溝１を凵字型に見立てたときに、側壁は側面を
示し、底面は底部を示している。従って、回転車の外周
側面に設けられた溝１は匚字型になるので、側壁はウェ
ーハＷと略平行な上下の面となり、底面はウェーハＷの
表面と略垂直で、外周端面と略平行となる面となる。

その結果、ウェーハＷは周縁部のみで支持されるので表
裏面が開放状態になるとともに、回転車２、３の何れか
を回転させてウェーハＷを回しても、回転車２、３を支
持する基体11を回転させてウェーハＷを傾けたり裏返し
にしたりしても、ウェーハＷに異常な外力が掛からな
い。その結果、ウェーハＷの損傷が防げるとともに、破
片などの付着による汚染も減少させることができる。

〔実施例〕

以下、模式的に示す第２図の平面図を用い本発明方法の
適用実施例となるウェーハ支持装置について説明する。
なお同図の実線はウェーハＷを支持した状態を示し、破
線はウェーハＷを解放した状態を示す。

第２図において、２および３は第１図図示の溝１を有し
ウェーハＷを支持する回転車であり、２個の回転車２お
よび４個の回転車３が、溝１を同一平面内にあるように
してウェーハＷ周縁の略６等分位置に配置される。そし
て回転車２の回転がウェーハＷを面方向に回転させる。
回転車の上記配置は、ウェーハＷにファセットが設けら
れている場合にもウェーハＷの支持および回転に支障を
来さないようにしている。

回転車２は、Ｙ字状基体11の根元部に固定されたエアシ
リンダ12の駆動により図の上下方向に移動する補助基体
12に取付けられている。

回転車３は、２個が１組になり、基体11の先端部に支点
13を有するレバー14の先端部（図で上側）に取付けられ
ている。

レバー14の反対側先端部と補助基体21との間には、補助
基体21側がエアシリンダ12側に寄るように斜めになって
両端部のそれぞれがピンジョイントされたレバー15が設
けられている。

また補助基体21には、回転車２にベルト結合するベルト
車22とベルト車22を回転させるモータ23が取付けられて
いる。

従って上記構成は、エアシリンダ12の駆動により補助基
体21を図の上方向に移動させると、実線で示す如くに回
転車２および３がウェーハＷを周囲から挟んで両面開放
の状態に支持し、下方向に移動させると、破線で示す如
くにウェーハＷを解放する。

支持の際には、補助基体21の上方向の移動が適宜の位置
で止まるようにして溝１の底面とウェーハＷの外周面と
の間に遊びが残るようにしてあり、回転車２および３が
ウェーハＷの外周面を押しつけることがない。これは溝
１の幅がウェーハＷの厚さより広いことと相俟ってウェ
ーハＷに外力が加わわらないようにしたもので、例えば
ウェーハＷの縁における欠けの発生などウェーハＷが損
傷するのを防止している。

また、支持した状態でウェーハＷを回転させる回転車２
の回転は、モータ23の駆動によって得ることが出来る。

本支持装置は、ウェーハＷを裏返しにしたり傾斜させた
りするために、第２図の上下方向中心線を軸に基体11を
回転させるモータ31と、基体11の根元を支点に先端を図
に垂直な方向に振らせることの出来る駆動機構（図示省
略）とを具えている。

また本支持装置を使用する際のウェーハＷの支持および
解放には、例えば、載置面がウェーハＷより小さく且つ
上下可能なウェーハ載置用ステージと組み合わせると良
い。

即ち、上側点に位置するステージに載置されたウェーハ
Ｗに対して支持操作を行い、支持状態になったところで
ステージを下側に退避させれば、ウェーハＷの面方向回
転は言うまでもなく傾斜や裏返しも自由に行うことが出
来る。ウェーハＷの解放は支持の場合と逆の操作を行え
ば良い。

ステージを上下動させる代わりに、本支持装置を上下動
させても良い。

かくして本支持装置は、ウェーハＷを両面開放の状態に
支持して、回転、裏返し、傾斜させることが可能であ
り、然もその間におけるウェーハＷの損傷や汚染を減少
させることが出来る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ウェーハの周縁部を回転車に設けた溝
の側壁に乗せ、外周端面と溝の底面と遊びを持たさせ支
持しているので、回転させても、裏返しや傾斜させて
も、ウェーハの周縁部に異常な外力が掛からない。

従って、ウェーハの周縁を損傷したりその破片で汚染し
たりさせることなく、ウェーハの両面を開放させること
ができ、両面観察などを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を説明する平面図（ａ）と部分拡大
側断面図（ｂ）、 第２図は本発明方法の適用実施例となるウェーハ支持装
置を模式的に示す平面図、 第３図は従来方法例を説明する側面図、 である。 図において、 １は溝、 ２、３は回転車、 11は基体、 12はエアシリンダ、 13は支点、 14、15はレバー、 21は補助基体、 22はベルト車、 23、31はモータ、 Ｗはウェーハ、 Ｃは真空チャック、 である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円板状ウェーハの回りに配設された複数の
   回転車のそれぞれの外周側面に、該ウェーハの厚みより
   も広い幅を有する溝が設けられ、該ウェーハと略平行と
   なる該溝の側壁上に、該ウェーハの外周端面と該溝の底
   面との間に遊びを残すように該ウェーハを支持すること
   を特徴とするウェーハ支持方法。