JPH076754U - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は、マクロ観察からミクロ観察への移行
を自動化し、欠陥部の座標入力を簡単化する外観検査装
置の提供を目的とする。 【構成】本外観検査装置は、マクロ観察系１７、ミクロ
観察系１８、マクロ観察系１７及びミクロ観察系１８の
双方の観察領域内を移動可能なステージ１４，１５と、
マクロ観察系１７の像を取り込む第１の画像入力手段２
２と、ミクロ観察系１８の像を取込む第２の画像入力手
段２７と、取込んだ像を可視化するモニタ手段３９とを
備えている。またマクロ観察系１８で取込まれ表示され
た像の注目部位を座標指定手段４１で指定し、その入力
座標をステージ制御手段でステージ上の座標へ変換し、
さらに注目部位をミクロ観察系１８の光軸位置へ移動さ
せるステージ制御量を算出するものとした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエハ，液晶ガラス基板等の被検体の外観検査に用いる外観検査装 置に係り、さらに詳しくはマクロ観察系とミクロ観察系を同一ステージ上に配し てマクロ観察系からミクロ観察系への切換えを行うことのできる外観検査装置に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハ，液晶ガラス基板等の製造工程では、各膜付け工程，パターン焼付け工 程及びエッチング工程毎に基板上の欠陥の有無を検査している。例えば、液晶の ＴＦＴ基板の検査では、各工程毎にマクロ観察を行って基板上の欠陥を検出し、 基板上に欠陥を発見したならばその欠陥部にマークを付けておく。次に、マクロ 観察で発見した欠陥部を顕微鏡によるミクロ観察により詳細に検査していた。

【０００３】 ところが、マクロ観察とミクロ観察とは独立したステージ上で各々個別に実施 しており、しかもミクロ観察ではマクロ観察で付けたマークを頼りに，目視にて ，基板上の欠陥部（マーク）をミクロ観察系に備えられた対物レンズの光軸位置 へ位置付けしなければならず、その作業が極めて煩雑であった。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

以上のような技術背景において、本出願人は特願平４−１３２５７７号におい て、同一ステージ上にマクロ観察系とミクロ観察系とを配し、マクロ観察で発見 した欠陥部を容易にミクロ観察系の光軸下へ移動可能に構成した外観検査装置を 提案している。

【０００５】 かかる装置は、図１３に示すように、装置本体１、装置本体１に対しＸ方向へ 移動自在に取付けられたステージ２、装置本体１に保持されステージ２上に配置 されたマクロ観察系３，装置本体１に保持されマクロ観察系３に隣接するステー ジ２上に配置されたミクロ観察系４，マクロ観察系３及びミクロ観察系４の相互 間の相対座標を表示する座標表示装置５等とを備えている。

【０００６】 このような装置では、マクロ観察系３において発見された欠陥部を順次スポッ ト照明装置６のスポット照明位置Ｓに配置し、その都度、フットスイッチ７を押 して座標表示装置５に座標入力する。欠陥部をミクロ観察系へ移動する場合は、 基板をステージ２に載せたままステージ２をミクロ観察系へ移動し、座標表示装 置５に表示される相対座標が０になるようにステージ２を移動させることにより 欠陥部を対物レンズ８の光軸位置に一致させることができる。

【０００７】 しかしながら、上述した外観検査装置は、基板上に発見した欠陥部の座標入力 を行うために、欠陥部をスポット照明位置Ｓに配置しなければならない。現実に は、大型のステージ２を動かして基板上に落としたスポットに欠陥部を重ね合わ せる作業が必要である。その様な作業は大型のステージ２を微動調整しなければ ならないため観察者に多大な負担を強いていた。

【０００８】 また基板上に落としたスポットに欠陥部を重ね合わせる作業は、ステージ２上 の基板に覆い被さるような姿勢で欠陥を探すこととなるので、作業者から基板上 に塵が落下する可能性が高いという問題がある。

【０００９】 本考案は、以上のような実情に鑑みてなされたもので、マクロ観察からミクロ 観察への移行を自動化することができ、欠陥部の座標入力に際してステージ操作 を削減することができ、作業者から基板上に塵が落下する可能性を低減でき、し かも欠陥の分類や数等の工程の品質管理に必要データを獲得することのできる外 観検査装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案の外観検査装置は、マクロ観察領域に配置さ れた被検体からの物体光を取込んで所定倍率で拡大又は縮小した被検体像を形成 するマクロ観察系と、ミクロ観察領域に配置された被検体からの物体光を取込ん でマクロ観察系よりも大きな倍率で拡大した拡大像を形成するミクロ観察系と、 前記被検体を載置した状態で前記マクロ観察系及び前記ミクロ光学系の双方の観 察領域内を移動可能なステージと、前記マクロ観察系により形成された被検体像 を画像信号に変換する第１の画像入力手段と、前記ミクロ観察系により形成され た被検体像を画像信号に変換する第２の画像入力手段と、前記第１の画像入力手 段及び前記第２の画像入力手段で変換された各被検体像の画像信号を可視化する モニタ手段と、前記マクロ観察系で取込まれ前記モニタ手段で表示された被検体 像の注目部位を座標指定すると共に各指定座標を記憶する座標指定手段と、ステ ージ原点に対する前記ミクロ観察系の光軸位置が予め記憶され、前記座標指定手 段に記憶した注目部位の指定座標をステージ上の座標へ変換し、その変換座標と 前記ミクロ観察系の光軸位置とステージの現在位置とから前記注目部位を前記ミ クロ観察系の光軸位置へ移動させるステージ制御量を算出するステージ制御手段 とを具備する構成とした。

【００１１】 また本発明の外観検査装置は、上記の構成に加え、前記モニタ手段により被検 体像が表示されるモニタ画面上に、今回座標入力対象となっているエリアに隣接 するエリアの一部まで表示するエリア表示手段と、前記座標入力対象のエリア外 に前記座標指定手段で既に座標指定済みの注目部位があれば当該注目部位に座標 入力済みのマークを表示し、かつ、座標入力対象のエリア内で前記座標指定手段 による座標入力があればその部分に逐次座標入力済みマークを表示するマーク表 示手段とを具備する構成とした。

【００１２】

【作用】

本考案の外観検査装置によれば、マクロ観察系により形成された被検体像が第 １の画像入力手段により画像信号に変換され、その画像信号がモニタ手段により 可視化される。モニタ手段に表示された被検体像の注目部位が座標指定手段によ り座標指定されると当該指定座標が記憶される。ステージ制御手段では注目部位 の指定座標がステージ上の座標へ変換され、その変換座標とミクロ観察系の光軸 位置とステージ位置とから注目部位をミクロ観察系の光軸位置へ移動させるため のステージ制御量が算出される。この算出されたステージ制御量でステージを駆 動すれば、注目部位がミクロ観察系の光軸位置へ移動できるものとなる。

【００１３】 また本考案の外観検査装置によれば、モニタ手段のモニタ画面上にエリア表示 手段によって座標入力対象エリアに隣接エリアの一部も合わせて表示させる。こ の表示画面に対してマーク表示手段が次のような加工を加える。すなわち、座標 入力対象エリア外に座標指定手段で既に座標指定済みの注目部位があれば当該注 目部位に座標入力済みのマークが表示される。また指定エリア内で座標指定手段 による座標入力があればその部分に逐次座標入力済みマークが表示される。

【００１４】

【実施例】

以下、本考案の実施例について説明する。 図１は本考案の一実施例に係る外観検査装置の機能構成を示しており、図２は 同装置の外観を示している。

【００１５】 本実施例の外観検査装置は、顕微鏡基台１１の上端面に一対のガイドレール１ ２がＹ方向に向けて配設されており、そのガイドレール１２にＹステージ１３が 摺動自在に載置されている。Ｙステージ１３の中央部は方形状に開口しており、 開口部を挟んで一対のガイドレール１４がＸ方向に向けて配設されている。ガイ ドレール１４にはＸステージ１５がＸ方向へ移動自在に載置されている。以下、 Ｙステージ１４，Ｘステージ１５を包括して呼ぶ場合は、ＸＹステージと呼ぶ。

【００１６】 ＸＹステージの上方には顕微鏡基台１１に固定されたアーム１６が設けられて いる。Ｘステージ１５の移動領域上方には、Ｘ方向の一端側にアーム１６に保持 されたマクロ観察系１７が配置され、Ｘ方向の他端側にアーム１６に保持された ミクロ観察系１８が配置されている。

【００１７】 マクロ観察系１７は、観察光軸を中心にマクロ観察領域Ｓをマクロ照明するマ クロ照明装置１９、広視野，低倍率（１／４０〜１／５程度）のＴＶレンズ２１ 、そのＴＶレンズ２１を介して取り込まれた基板像をＴＶ信号に変換するマクロ ＴＶカメラ２２を備えている。

【００１８】 ミクロ観察系１８は、観察光軸（対物光軸）を中心にミクロ観察領域を照明す るミクロ照明装置２３、対物レンズ２４及び接眼レンズ２５等からなる顕微鏡、 対物レンズ２５から取り込まれた欠陥像をＴＶカメラレンズ２６を介して受光面 に投影しＴＶ信号に変換するミクロＴＶカメラ２７を備えている。

【００１９】 本外観検査装置は、図１に示すように、ＸＹステージを移動させるための動力 源となるモータ３１を備えている。コンピュータ３２がコントローラ３３に指令 を与えることにより、コントローラ３３がドライバ３４を介してモータ３１の駆 動量を制御している。

【００２０】 ＸＹステージの側面にはスケール３５が設けられており、そのスケール３５の 目盛りをセンサ３６が読み取ってスケールカウンタ３７へ出力している。スケー ルカウンタ３７のカウント値はコントローラ３３を介してコンピュータ３２に入 力されている。

【００２１】 マクロＴＶカメラ２２及びミクロＴＶカメラ２７からの各ＴＶ信号は切換器３ ８に入力する。この切換器３８は、コンピュータ３２から与えられる切換信号に よりいずれか一方のＴＶ信号を選択して表示装置３９へ送出する。

【００２２】 またコンピュータ３２には座標指定手段の一部を構成するマウス４１が接続さ れており、表示装置３９の画面上にマウスマークが画像処理回路４２により表示 されるようになっている。なお、本実施例で座標という場合は、ＸＹステージに 関して予め設定した原点からの位置を言うものとする。

【００２３】 マウス４１は、座標入力を指示する入力ボタン４１ａと，入力座標を取消すた めの取消しボタン４１ｂとが設けられている。さらにコンピュータ３２には、フ ロッピーディスク４３，キーボード４４が接続されている。

【００２４】 なお、マクロ照明装置１９による照明領域Ｓは直径１００ｍｍ程度にしている 。これはマクロＴＶカメラ２２のＴＶレンズ２１の倍率を１／１０として、マク ロＴＶカメラ２２の撮像管の大きさを２／３インチとすると、実受光面が８×６ ｍｍ程度であるから、８×６ｍｍの長方形の対角長１０ｍｍにレンズ倍率を掛け た値である。ただし、この設定は液晶パターンとカメラの大きさとに起因したモ アレを考慮して設定すべきであり、ここでは説明を判り易くするため上述の設定 とした。実際の１エリアの寸法は、８０×６０ｍｍ（ＴＶカメラ２２の受光面上 での８×６ｍｍに対応）である。

【００２５】 本実施例では、図５に示すように、基板１０を６×５のマトリクス状に分割し 、Ａ１，Ａ２，……，Ｆ５，Ｆ６の順番で順次マクロ観察していくようにプログ ラムを組んでおく。そのため、マクロ観察系１７の光軸とミクロ観察系１８の対 物レンズ２４の光軸との間の距離Ｌ１、及びＸステージ１３及びＹステージ１５ に設定された原点座標を予めコンピュータ３２に記憶し、さらに各エリアに関し てエリア中心がＴＶカメラ２２の光軸中心に一致（モニタ画面の中心と合致する ）する座標を求めてコンピュータ３２に予め設定しておく。

【００２６】 次に、以上のように構成された本実施例の動作について、図３及び図４を参照 して説明する。 コンピュータ３２がキーボード４４からマクロ観察要求を受信すると、スケー ルカウンタ３７の値からＸＹステージの現在の座標を判断し、ＸＹステージの座 標とエリアＡ１の中心座標とが一致するように、コントローラ３３に指令を送出 し、コントローラ３３でドライバ３４を制御する。それと同時に、切換器３８に 対して切換信号を送出してマクロＴＶカメラ２２からのＴＶ信号を選択して表示 装置３９に入力する。その結果、図６に示すように、表示装置３９のモニタ画面 Ｍには、エリアＡ１の中心がモニタ中心Ｏに来たマクロ観察像（基板像）が表示 される。また同一画面Ｍ上にマウスマークＱが表示される。

【００２７】 ここで、観察者はマウス４１を操作しモニタ画面Ｍ上の欠陥部にマウスマーク Ｑを重ね合わせ、マウス４１の入力ボタン４１ａを押す。 マウス４１の入力ボタン４１ａが押されると、モニタ画面Ｍ上でのマウスマー ク位置とモニタ中心Ｏとの距離Ｌ２が画像処理回路４２で読み取られる。その読 取られた距離Ｌ２をＴＶレンズ２１の倍率に対応した値に変換し、ＸＹステージ 上での座標に変換する。この様にして求めた欠陥部の入力座標は、欠陥部番号と 共に記憶部に記憶される。欠陥部番号はシリアル番号でナンバリングするものと する。コンピュータ３２は、欠陥部の座標入力と同時に、キーボード４４から欠 陥の種類を受け付ける。例えば、キーボードの数字キー（１番から３０番）に対 して欠陥の種類を予め割り付けておく。そして１番キーならば「キズ」、２番キ ーならば「パーティクル」といった具合にコンピュータ側で欠陥の種類を認識す る。

【００２８】 コンピュータ３２では、欠陥の種類に応じて予め格納しておいた異なる形状の マークをモニタ画面上の欠陥部に重ねて表示させる。図６に示す例では、「キズ 」と認識した欠陥部を丸いマークＲで表示している。

【００２９】 次に、当該エリアＡ１での座標入力の終了指示があれば、次のエリアＡ２へ移 行する。エリア変更は、ＸＹステージの現在の座標と移動後の座標とが予め判っ ているので、隣接エリアの中心をモニタ画面中心に一致させ得るステージ制御量 を予め設定しておく。そのステージ制御量だけモータ３１を駆動することにより 、隣接するエリアの中心がモニタ画面の中心に一致するだけＸＹステージが移動 する。

【００３０】 以上の様にして全エリアのマクロ観察が完了したならば、ミクロ観察要求を待 ってミクロ観察を実行する。 コンピュータ３２は、キーボード４４からのミクロ観察要求を受信すると、切 換器３８へ切換信号を送出してミクロＴＶカメラ２７のＴＶ信号を表示装置３９ へ入力し、かつマクロ観察時に記憶した欠陥部の入力座標を欠陥部番号の若い番 号から順に読み込む。そして、スケールカウンタ３７のカウント値と、ＸＹステ ージの原点に対するミクロ観察系の光軸位置座標と、読込んだ欠陥部の入力座標 とから当該欠陥部をミクロ観察系の光軸位置へ移動させるのに必要なステージ制 御量を算出し、その算出したステージ制御量に応じてモータ３１を駆動する。

【００３１】 上記ステージ制御量によって駆動されたＸＹステージにより、欠陥部がミクロ 観察系の光軸直下へ来ると、光軸上に配した欠陥部が照明装置２３にてスポット 照明される。その照明された欠陥部の像が顕微鏡の観察光学系（対物レンズ２４ 等）により高倍率で拡大されミクロＴＶカメラ２７の受光面に結像する。

【００３２】 ここで、実際には、一回のステージ制御で高倍率の対物レンズ２４による画像 取り込みは行わず、マクロ観察での座標精度を考慮して一回目のステージ制御で は比較的低倍（５×，１０×）の対物レンズでピント合わせを行う。次に、モニ タ画面上に写し出された欠陥像をモニタ画面中心に持ってきてから、高倍率の対 物レンズに切換え、詳細な観察を実施する。

【００３３】 次に、コンピュータ３２は、キーボード４４から欠陥部の変更指示を待って、 変更指示が入力されたならば記憶している欠陥部が残っているか否か判断し、残 っていれば次の欠陥部番号の入力座標を読み込む。またマクロ観察で入力した座 標を全て読出して残っていなければ、ミクロ観察を終了する。

【００３４】 なお、以上のようにして欠陥部の座標と種類が入力されると、必要に応じてヒ ストグラム，円グラフ等を作成するアプリケーションプログラムを起動し、加工 データを前工程へフィードバックしたり、後工程の準備に使用する。

【００３５】 この様に本実施例によれば、マクロ観察像をモニタ画面上に表示し、その画面 上でマウス４１を使って欠陥部を指定し、その指定した欠陥部の位置をステージ 上での座標に自動変換して記憶し、ミクロ観察へ移行したときに順次欠陥部をミ クロ観察系の光軸直下へ移動するようにＸＹステージを制御するので、欠陥部の 座標入力作業が極めて簡単化され、またミクロ観察時に欠陥部を肉眼で探す必要 がなくなりゴミ等が観察者から基板１０上に落ちることがなくなるので、コンタ ミ性が改善されることとなる。

【００３６】 また、本実施例によれば、マクロ観察における欠陥部の座標入力時に欠陥の種 類まで入力するので、欠陥の種類及び数等の品質管理に必要なデータを獲得する ことができる。

【００３７】 ところで、マクロ観察エリア（座標入力範囲）をモニタ画面全面に表示してし まうと、該当エリアと隣接エリアとの境にある欠陥は観察しずらく、また隣接エ リアまで表示すると入力済みか否か判らなくなる可能性がある。

【００３８】 そこで、図７，図９に示すような座標入力画面の方式をとればその様な問題を 解決できる。上記実施例では、マクロＴＶカメラのＴＶレンズ２１に１／１０× の倍率のものを用いて単一エリアをモニタ画面全面に表示したが、本変形例では 例えば、ＴＶレンズ２１に１／１５×の倍率のものを用い、該当エリア（８０ｍ ｍ×６０ｍｍ）に対応する部分にモニタ画面上で枠囲いをして座標入力対象範囲 とそれ以外の領域とを区分けする。

【００３９】 図７及び図９を参照して、エリアＣ４を座標入力対象エリアとしてモニタ表示 する際の処理について説明する。 本変形例では、エリアＣ４の中心をマクロ観察系の光軸位置に配置し、１エリ アよりも大きな実視野を有するＴＶレンズを介してマクロ観察像を取込む。その 取込んだマクロ観察像を、座標入力対象エリアとなるエリアＣ４の中心をモニタ 中心としてモニタ画面に表示する。

【００４０】 次に、モニタ画面Ｍ上に、座標入力対象エリアであるエリアＣ４の領域Ｎを示 す枠を重ねて表示する。観察者は、領域Ｎの中を座標入力対象エリアであると認 識することができる。

【００４１】 一方、モニタ画面Ｍに表示されたマクロ画像のうちエリアＣ４以外の領域に入 力済みの欠陥部があるか否か判断する。Ａ１〜Ｃ３まではマクロ観察済みである ので、それらのエリア内には入力済みの欠陥部がある可能性がある。エリアＣ４ 以外の領域に入力済みの欠陥部がある場合には、該当する欠陥部に重ねて入力済 みマークＲを表示させる。

【００４２】 そしてエリアＣ４に対して欠陥部の座標入力があれば、その入力座標を欠陥部 番号と共に記憶し、かつ当該部位に入力済みマークを表示する。 この様な本変形例によれば、座標入力対象エリアの周囲領域まで同一画面に表 示し、かつ周囲領域に欠陥部の座標入力済みのものがあれば入力済みマークを表 示させるようにしたので、隣接するエリアとの境界部において入力済みか否かの 判断が容易になり、入力落ち，或いは２度入力などのミスを防止できる。

【００４３】 また、図８に示すように、エリア変更時の１ステップ当たりの移動量を上述し た実施例のものに比べ小さくし、隣接するエリアの一部を表示するようにする。 この場合は上記実施例と同様に１／１０×のＴＶレンズを用いることができる。 図８では、斜線で示すエリアＡ２を座標入力対象エリアとしており、エリアＡ１ とエリアＡ２の境界にある欠陥アは、エリアＡ１の検査時に入力済みであること が画面から認識できる。

【００４４】 上記実施例のマクロ観察系では、集束光を基板１０に照射していたが、特に集 束しない照明光であっても良い。 図１０〜図１１（ａ）（ｂ）は、上記実施例のマクロ観察系における照明装置 の変形例を示している。

【００４５】 図１０に示す変形例は、光ファイバー５１から出射した光をハーフミラー５２ でレンズ５３に入射して、干渉光を基板１０に照射する干渉光学系の例である。 この干渉光学系によって照明された基板１０からの反射光をＴＶカメラで取込ん で表示する。

【００４６】 この変形例は、主に膜ムラの検査をするものである。また、ＴＶレンズ２１が ファイバ５１の光出射光からコリメータレンズ５３までの距離，即ち、コリメー タレンズ５３の焦点距離と共役な位置に配置された場合、ＴＶレンズ２１が図示 しない照明装置からのフィラメント像を取り込んでしまうため膜ムラの検査を行 うことができない。そこでＴＶレンズ２１は共役の位置に配置されずに、共役な 位置よりもコリメータレンズ５３の光軸に対して離れた位置に配置されている。

【００４７】 図１１（ａ）（ｂ）に示す変形例は、多数の光ファイバーをリニアに束ねたフ ァイバー群５４を、基板１０と平行に近い角度で照射するようにしたものである 。基板１０に対して斜めに入射した光の反射光をレンズ５５で集光してＴＶレン ズ２１に入射してマクロ観察像を得る。

【００４８】 この変形例によれば、基板１０のＬＣＤパターンが消え、ゴミ，キズの部分で の反射光のみがＴＶカメラに入射するため、ＴＶカメラ２２の受光面におけるモ アレの影響を除去できる利点がある。

【００４９】 図１２には、上記実施例においてマウスに代わる座標入力手段の変形例が示さ れている。本変形例は、トラックボール５５内蔵のボックス５６に、Ａ〜Ｄのア ルファベットキーと、１〜４の数字キーと、欠陥の種類を類別するＡ−１〜Ａ− ４のキーと、座標入力指示のための入力ボタン及び取り消しのための取消ボタン とを備えている。例えば、コンピュータ側では、Ａ−１はキズ大，Ａ−２はキズ 小，Ａ−３はゴミ大，Ａ−４はゴミ小と認識する等、各キーの種類を判別して各 キーに割り付けられた個々の処理を実行するようにしておく。

【００５０】 またはモニタ画面上に欠陥の種類に対応した１〜３０の数字を表示し、欠陥入 力後に当該数字に合いマークを合わせて入力し、この入力からコンピュータが欠 陥の種類を認識し、かつ観察者にも後から認識できるように構成しても良い。

【００５１】 また座標入力手段は、マウスに限るものではなく、例えばデジタイザーと呼ば れる信号線の入ったパネルを用いることもできる。パネルにプローブを当てるこ とによりパネルのプローブ位置に対応してモニタ画面上の対応位置にマークが現 れるようにする。 本考案は上記実施例に限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範 囲内で種々変形実施可能である。

【００５２】

【考案の効果】

以上詳記したように本考案によれば、マクロ観察からミクロ観察への移行を自 動化することができ、欠陥部の座標入力に際してステージ操作を削減することが でき、作業者から基板上に塵が落下する可能性を低減でき、しかも欠陥の分類や 数等の工程の品質管理に必要データを獲得することのできる外観検査装置を提供 できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る外観検査装置の機能構
成図である。

【図２】図１に示す外観検査装置の外観図である。

【図３】図１に示す外観検査装置の動作内容の一部を示
すフローチャートである。

【図４】図１に示す外観検査装置の動作内容の他の一部
を示すフローチャートである。

【図５】基板をマクロ観察する際の分割状態を示す図で
ある。

【図６】マクロ観察像が表示されたモニタ画面を示す図
である。

【図７】モニタ画面におけるマクロ観察像の表示方式の
変形例を示す図である。

【図８】モニタ画面におけるマクロ観察像の表示方式の
他の変形例を示す図である。

【図９】図７に示す変形例の動作内容の要部を示すフロ
ーチャートである。

【図１０】図１に示す外観検査装置における照明装置の
変形例を示す図である。

【図１１】図１に示す外観検査装置における照明装置の
他の変形例を示す図である。

【図１２】図１に示す外観検査装置における座標入力手
段の変形例を示す図である。

【図１３】マクロ観察系とミクロ観察系とを連動させた
外観検査装置の斜視図である。

【符号の説明】

１０…基板、１３…Ｙステージ、１５…Ｘステージ、１
７…マクロ観察系、１８…ミクロ観察系、１９…マクロ
照明装置、２１，２６…ＴＶレンズ、２２…マクロＴＶ
カメラ、２３…ミクロ照明装置、２４…対物レンズ、２
７…ミクロＴＶカメラ、３２…コンピュータ、３９…表
示装置、４１…マウス。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 マクロ観察領域に配置された被検体から
   の物体光を取込んで所定倍率で拡大した被検体像を形成
   するマクロ観察系と、 ミクロ観察領域に配置された被検体からの物体光を取込
   んでマクロ観察系よりも大きな倍率で拡大した拡大像を
   形成するミクロ観察系と、 前記被検体を載置した状態で前記マクロ観察系及び前記
   ミクロ光学系の双方の観察領域内を移動可能なステージ
   と、 前記マクロ観察系により形成された被検体像を画像信号
   に変換する第１の画像入力手段と、 前記ミクロ観察系により形成された被検体像を画像信号
   に変換する第２の画像入力手段と、 前記第１の画像入力手段及び前記第２の画像入力手段で
   変換された各被検体像の画像信号を可視化するモニタ手
   段と、 前記マクロ観察系で取込まれ前記モニタ手段で表示され
   た被検体像の注目部位を座標指定すると共に各指定座標
   を記憶する座標指定手段と、 ステージ原点に対する前記ミクロ観察系の光軸位置が予
   め記憶され、前記座標指定手段に記憶した注目部位の指
   定座標をステージ上の座標へ変換し、その変換座標と前
   記ミクロ観察系の光軸位置とステージの現在位置とから
   前記注目部位を前記ミクロ観察系の光軸位置へ移動させ
   るステージ制御量を算出するステージ制御手段と、 を具備したことを特徴とする外観検査装置。
2. 【請求項２】 前記モニタ手段により被検体像が表示さ
   れるモニタ画面上に、今回座標入力対象となっているエ
   リアに隣接するエリアの一部まで表示するエリア表示手
   段と、 前記座標入力対象のエリア外に前記座標指定手段で既に
   座標指定済みの注目部位があれば当該注目部位に座標入
   力済みのマークを表示し、かつ、座標入力対象のエリア
   内で前記座標指定手段による座標入力があればその部分
   に逐次座標入力済みマークを表示するマーク表示手段
   と、 を具備したことを特徴とする請求項１記載の外観検査装
   置。