JPH0766654A - Piezoelectric vibrator and manufacture therefor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To realize a piezoelectric vibrator which is excellent in characteristic and stability. CONSTITUTION:An opening part of a width b is provided along the node of the vibration of a piezoelectric element and a screen printing is performed for an organic resist 7 by a thickness of t. In the opening part, a coat 3 is formed by a thickness h which is smaller than the t by thermal spraying. This coat 3 is defined as the holding part of the piezoelectric element. Therefore, the sprayed film is difficult to be stuck to the organic resist film 7 and an excellent rectangular sprayed film 3 where the widths of upper and back surfaces are almost the same as shown in a Fig. 2 (b) can be formed. By using the upper surface of this sprayed film 3 as a fixed surface, a piezoelectric vibrator can be excellently held and the stability of the characteristic of the piezoelectric vibrator can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、圧電セラミック、水
晶、リチュウム酸ニオブ等の圧電材料を用いた圧電振動
子であって、より詳細には外部電極に保持接続するため
の導電性の突起を有した圧電振動子及びその製造方法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric vibrator using a piezoelectric material such as piezoelectric ceramics, crystal, niobium lithium, and the like. More specifically, it has a conductive protrusion for holding and connecting to an external electrode. The present invention relates to a piezoelectric vibrator having the same and a manufacturing method thereof.

【０００２】[0002]

【従来の技術】以下に、圧電セラミック、水晶、リチュ
ウム酸ニオブ等の圧電材料を用いた圧電振動子を例にと
り、図５〜７を用いて従来技術の説明を行う。2. Description of the Related Art An example of a piezoelectric vibrator using a piezoelectric material such as piezoelectric ceramics, crystal, niobium lithium and the like will be described below with reference to FIGS.

【０００３】メカニカルフィルターや発振子等に用いら
れる圧電振動子は、圧電セラミック、水晶、リチュウム
酸ニオブ等の材料で作られ、使用する周波数領域に応じ
て適切な振動モードが圧電効果により励振される。Piezoelectric vibrators used for mechanical filters, oscillators, etc. are made of materials such as piezoelectric ceramics, crystal, niobium lithium, and the like, and an appropriate vibration mode is excited by the piezoelectric effect according to the frequency range used. .

【０００４】そして、これらの圧電振動子は、振動子の
振動が抑制されないように振動振幅が０になる節の近傍
で保持されるとともに、この保持部分において例えば駆
動電源等に電気的に接続され、フィルタや発振子等とし
て構成される。These piezoelectric vibrators are held in the vicinity of the node where the vibration amplitude is 0 so that the vibration of the vibrator is not suppressed, and at the holding portion, they are electrically connected to, for example, a drive power source. , A filter, an oscillator, or the like.

【０００５】これらの節（ノード）は、理論的に面積を
持たない点または線であるので、理想的には圧電振動子
を点または線で保持することが特性上は望ましい。しか
し、実際には、圧電振動子の安定な保持を実現するため
に、ある有限な面積をもたせて点状または線状で保持し
ている。Since these nodes (nodes) are theoretically points or lines having no area, it is ideally desirable to hold the piezoelectric vibrator by points or lines in terms of characteristics. However, in actuality, in order to realize stable holding of the piezoelectric vibrator, the piezoelectric vibrator is held in a dot shape or a linear shape with a certain finite area.

【０００６】図５は、圧電セラミック等の圧電材料で作
られた長方形板型圧電振動子の斜視図であり、圧電基板
１の対抗する２つの主面に駆動用の電極２ａ、２ｂが形
成され、この電極間に電界を印加すれば、長方形板の長
手方向に長さ振動が励振される。長さ振動モードでの振
動の節は、長方形の中央部に線状に存在している。そこ
で、図５に示すように、振動の節に沿って、溶射によ
り、導電性材料からなる突起部３ａ、３ｂが形成されて
いる。FIG. 5 is a perspective view of a rectangular plate type piezoelectric vibrator made of a piezoelectric material such as piezoelectric ceramic. Driving electrodes 2a and 2b are formed on two main surfaces of the piezoelectric substrate 1 which are opposed to each other. By applying an electric field between the electrodes, longitudinal vibration is excited in the longitudinal direction of the rectangular plate. The vibration node in the length vibration mode is linearly present in the center of the rectangle. Therefore, as shown in FIG. 5, projections 3a and 3b made of a conductive material are formed by thermal spraying along the vibration node.

【０００７】図６は振動子の保持構造の概略を示したも
のである。図５で示した圧電振動子が突起部３ａ、３ｂ
を介し、外容器５ａ、５ｂの内側に設けられた外部電極
４ａ、４ｂに挟まれ接触し保持されている。さらに、外
部電極４ａ、４ｂは各々外部端子６ａ、６ｂに接続され
ている。FIG. 6 shows an outline of a holding structure for a vibrator. The piezoelectric vibrator shown in FIG. 5 has protrusions 3a and 3b.
It is sandwiched and held by the external electrodes 4a and 4b provided inside the outer containers 5a and 5b via the. Furthermore, the external electrodes 4a and 4b are connected to the external terminals 6a and 6b, respectively.

【０００８】図６に示した圧電振動子の保持状態を、突
起部３近傍の概略断面図である図７に基づき説明する。
突起部３ａの底面は電極２ａに付着し接触しており、一
方上面はその上面の微細な凹凸が図中のＡ部のように外
部電極４ａに外圧によりくい込ませられて接触してい
る。これにより、突起部３ａ、ｂが外部電極４ａ、ｂよ
りずれる事を防止している。The holding state of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 6 will be described with reference to FIG. 7 which is a schematic sectional view in the vicinity of the protrusion 3.
The bottom surface of the protruding portion 3a is attached to and in contact with the electrode 2a, while the top surface of the protruding portion 3a is in contact with the external electrode 4a by being pressed into the external electrode 4a due to external pressure, as in the portion A in the figure. This prevents the protrusions 3a and 3b from being displaced from the external electrodes 4a and 4b.

【０００９】このような突起部３ａは、一般にメタルマ
スク法を用い形成される。即ち、電極２ａ上の節となる
位置に、メタルマスクの開口部が来るようにメタルマス
クをかぶせ他の部分を覆い、その上より導電性材料を溶
射することで、図７に示すような突起部３ａが形成され
る。Such protrusions 3a are generally formed by using a metal mask method. That is, by covering the other portion with a metal mask so that the opening of the metal mask comes to a position on the electrode 2a, the projection as shown in FIG. 7 is formed by spraying a conductive material on the metal mask. The part 3a is formed.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記メタルマ
スク法で突起部を形成する場合、次のような課題が生じ
ていた。However, when the protrusions are formed by the above metal mask method, the following problems occur.

【００１１】まず第１に、使用するマスクにも溶射膜が
付着し、マスクの開口部が次第にふさがれるため、最悪
の場合数回でマスクが使い捨てとなり、マスク寿命が短
く生産コスト高となる課題を抱えていた。First, since the sprayed film adheres to the mask to be used and the opening of the mask is gradually closed, the mask becomes disposable after several times in the worst case, resulting in a short mask life and a high production cost. Was holding.

【００１２】また、第２に、形成された突起部の形状
は、図７に示すように上面部の幅ａが底面部の幅ｂより
狭く両側面が斜面となっているが、上面幅ａが狭いと圧
電振動子がシーソーの様に傾き、振動子先端等の振動部
分が外部電極４ａ、４ｂ等と接触し、振動特性が劣化す
るという課題を有していた。このため、組立調整に時間
がかかり、生産性向上の問題点となっていた。Secondly, as shown in FIG. 7, the shape of the formed protrusion is such that the width a of the upper surface portion is narrower than the width b of the bottom surface portion and both side surfaces are sloped. If the value is narrow, the piezoelectric vibrator tilts like a seesaw, and the vibrating portion such as the tip of the vibrator comes into contact with the external electrodes 4a, 4b, etc., and the vibration characteristics deteriorate. Therefore, it takes time to assemble and adjust, which is a problem of improving productivity.

【００１３】また、圧電振動子が傾かないよう上面幅ａ
を広げると底面幅ｂも広がり、今度は突起部自体が圧電
振動子の振動特性を劣化させることになるという問題が
生じていた。The upper surface width a is set so that the piezoelectric vibrator does not tilt.
However, there is a problem in that the bottom width b is also increased by widening, and the protrusion itself deteriorates the vibration characteristics of the piezoelectric vibrator this time.

【００１４】上記のように従来の構成、方法では、圧電
振動子を安定に保持する突起部を高い生産性で、しかも
安価に提供することはできなかった。As described above, according to the conventional structure and method, it has been impossible to provide the protruding portion for stably holding the piezoelectric vibrator with high productivity and at low cost.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】本願の請求項１記載の発
明は、駆動用の電極を対抗する２つの表面に設けられた
圧電基板のノード点の近傍であって前記圧電基板の電極
が設けられる表面あるいは前記の電極表面に、所要のパ
ターン開口部を有するレジスト皮膜を形成し、さらに前
記開口部に導電性材料を所要の厚さまで溶射した後、レ
ジストを剥離し、導電性の溶射皮膜突起部を形成するこ
とを特徴とする圧電振動子の製造方法である。According to the invention of claim 1 of the present application, the electrodes of the piezoelectric substrate are provided in the vicinity of the node points of the piezoelectric substrate provided on the two surfaces facing the driving electrode. On the surface to be formed or on the electrode surface, a resist film having a required pattern opening is formed, and a conductive material is sprayed to the opening to a required thickness, and then the resist is peeled off to form a conductive sprayed coating projection. A method of manufacturing a piezoelectric vibrator, comprising forming a portion.

【００１６】請求項２記載の発明は、圧電基板と、前記
圧電基板の対抗する２つの表面に設けられた駆動用の電
極と、前記圧電基板のノード点の近傍であって前記電極
が設けられる表面あるいは前記の電極表面に、所要のパ
ターン開口部を有するレジスト皮膜を形成され、前記開
口部に導電性材料を所要の厚さまで溶射され、その後レ
ジストを剥離されて、パターン形成された導電性の溶射
皮膜突起部と、前記圧電基板が前記突起部を介し接触
し、前記圧電基板を保持する外部電極を有することを特
徴とする圧電振動子である。According to a second aspect of the present invention, a piezoelectric substrate, driving electrodes provided on two surfaces of the piezoelectric substrate facing each other, and the electrode provided near a node point of the piezoelectric substrate. A resist film having a required pattern opening is formed on the surface or the electrode surface, and a conductive material is sprayed to the opening to a required thickness, and then the resist is peeled off to form a patterned conductive film. A piezoelectric vibrator comprising: a sprayed coating projection portion; and an external electrode that holds the piezoelectric substrate, the piezoelectric substrate being in contact with the piezoelectric substrate via the projection portion.

【００１７】請求項３記載の発明は、圧電基板と、前記
圧電基板の対抗する２つの表面に設けられた駆動用の電
極と、前記圧電基板のノード点の近傍であって前記電極
が設けられる表面あるいは前記の電極表面に設けられた
導電性突起部を介して、前記圧電基板が外部電極に接触
し保持される圧電振動子において、前記突起部の前記振
動子に接合し面した面の面積が、前記外部電極に接し面
した面の面積より小さいことを特徴とする圧電振動子で
ある。According to a third aspect of the present invention, the piezoelectric substrate, the driving electrodes provided on two opposing surfaces of the piezoelectric substrate, and the electrode provided near the node point of the piezoelectric substrate are provided. In a piezoelectric vibrator in which the piezoelectric substrate is held in contact with an external electrode through a conductive protrusion provided on the surface or the electrode surface, the area of the surface of the protrusion that is bonded to the oscillator and faces. Is smaller than the area of the surface in contact with the external electrode.

【００１８】[0018]

【作用】請求項１記載の発明によれば、圧電振動子の突
起部をメタルマスクを使用しないため安価に製造でき
る。また、メタルマスクよりレジストマスクは開口部の
幅を狭く容易にできるため、所望する幅の狭い突起部を
形成できる。さらに、レジストマスクが電極あるいは基
板表面に密着しているため、突起部の厚みを厚くしても
溶射時の溶射粒子の回り込み等がなく断面形状のダレの
ない溶射皮膜の突起部を形成できる。According to the first aspect of the present invention, since the projection of the piezoelectric vibrator does not use a metal mask, it can be manufactured at low cost. Further, since the resist mask can make the width of the opening narrower than that of the metal mask, it is possible to form a projection having a desired narrow width. Further, since the resist mask is in close contact with the electrode or the surface of the substrate, even if the thickness of the protruding portion is increased, the protruding portion of the sprayed coating can be formed without the sagging of the sprayed particles at the time of spraying and the sagging of the cross-sectional shape.

【００１９】請求項２記載の発明によれば、突起部の断
面形状がダレず、突起部の圧電基板側の接触面積を同じ
としたままでも従来に比べ外部電極に接する面積を確保
できるため、圧電基板が外部電極に対し傾きにくく、圧
電基板の振動部分が外部電極などに当たることがない。
従って、圧電振動子としての振動特性の安定性が向上で
きる。さらに、組立時の圧電基板の姿勢調整等が容易に
なるため生産性向上が可能な圧電振動子が実現できる。According to the second aspect of the invention, the cross-sectional shape of the protrusion does not sag, and the area in contact with the external electrode can be secured as compared with the conventional case even if the contact area of the protrusion on the piezoelectric substrate side remains the same. The piezoelectric substrate is hard to tilt with respect to the external electrode, and the vibrating portion of the piezoelectric substrate does not hit the external electrode or the like.
Therefore, the stability of the vibration characteristics of the piezoelectric vibrator can be improved. Furthermore, since the posture adjustment of the piezoelectric substrate during assembly becomes easy, a piezoelectric vibrator capable of improving productivity can be realized.

【００２０】請求項３記載の発明によれば、突起部底面
即ちの圧電基板に接し面する側の接触面積を同じとした
まま、上面即ち外部電極に接し面する側の面積を底面よ
り広く確保できるため、圧電基板が外部電極に対し傾き
にくく、圧電基板の振動部分が外部電極などに当たるこ
とがない。また、上面の面積を広げより底面の面積を狭
くすることで、圧電基板の振動への悪影響をより低減で
きる。従って、圧電振動子としての振動特性を向上させ
るとともに、その特性の安定性が向上できる。さらに、
組立時の圧電基板の姿勢調整等が容易になるため生産性
向上が可能な圧電振動子が実現できる。According to the third aspect of the present invention, the area of the bottom surface of the protrusion, that is, the surface of the side that contacts the piezoelectric substrate is kept the same, and the area of the side that contacts the external electrode is secured wider than the bottom surface. Therefore, the piezoelectric substrate is less likely to tilt with respect to the external electrode, and the vibrating portion of the piezoelectric substrate does not hit the external electrode or the like. Further, by widening the area of the top surface and narrowing the area of the bottom surface, the adverse effect on the vibration of the piezoelectric substrate can be further reduced. Therefore, the vibration characteristics of the piezoelectric vibrator can be improved and the stability of the characteristics can be improved. further,
Since it becomes easy to adjust the posture of the piezoelectric substrate when assembling, a piezoelectric vibrator capable of improving productivity can be realized.

【００２１】[0021]

【実施例】以下本発明の実施例を、添付の図面の図１〜
４に基づき説明する。尚、従来例と同一または同等の機
能を有する構成要素は同一番号を付け、詳細な説明を省
略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
It will be described based on 4. It should be noted that components having the same or equivalent functions as those of the conventional example are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【００２２】本発明の第１の実施例について、図１、２
を用い説明する。図１は、本実施例の圧電素子における
突起部近傍の断面図である。図２は、突起部の形成手順
を示す図である。A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Will be explained. FIG. 1 is a cross-sectional view of the vicinity of a protrusion in the piezoelectric element of this example. FIG. 2 is a diagram showing a procedure for forming the protrusion.

【００２３】図１、２において、１は圧電セラミック、
水晶、リチュウム酸ニオブ等の圧電基板、２は圧電基板
１上に蒸着あるいは印刷法等により設けられたＡｇ、Ａ
ｕ、Ｃｕ等の金属からなるの駆動電極、３は溶射法によ
り駆動電極２上に設けられたＭｏ、ＮｉＣｒ等金属から
なる突起部、７は駆動電極２上に設けられた開口部を有
する有機物のレジストマスクである。1 and 2, 1 is a piezoelectric ceramic,
A piezoelectric substrate 2 made of crystal, niobium lithium, or the like, 2 and Ag, A provided on the piezoelectric substrate 1 by vapor deposition or printing.
A drive electrode made of a metal such as u or Cu, 3 is a protrusion made of a metal such as Mo or NiCr provided on the drive electrode 2 by a thermal spraying method, and 7 is an organic substance having an opening provided on the drive electrode 2. Is a resist mask of.

【００２４】図１で形成された突起部の説明をする。こ
こでは、外部電極４にＣｕ、突起部３にはＣｕより硬い
Ｍｏを用いている。突起部３を溶射法により形成した理
由は、溶射皮膜の表面が粗く微細な凹凸を形成させやす
いからである。これにより、図１に示すように突起部３
の表面の粗れによる微細凹凸が外部電極４に食い込むよ
う接触し、その接触部が容易に圧電基板１がずれないよ
うにしている。The protrusion formed in FIG. 1 will be described. Here, Cu is used for the external electrode 4, and Mo that is harder than Cu is used for the protrusion 3. The reason why the protrusions 3 are formed by the thermal spraying method is that the surface of the thermal spray coating is rough and it is easy to form fine irregularities. As a result, as shown in FIG.
The fine irregularities due to the surface roughness of the electrodes contact the external electrodes 4 so as to bite into the external electrodes 4 so that the piezoelectric substrate 1 is not easily displaced at the contact portions.

【００２５】図２により、本実施例における圧電基板上
への突起の形成方法について説明する。図２（ａ）は、
駆動電極２上に、幅ｂ、高さｔの開口部を有する、有機
物のレジストマスク７を形成した状態を示した断面図で
ある。このレジストマスク７は、ここではスクリーン印
刷で形成されている。このレジストマスク７を有機物と
する理由は、第１に、一般に溶射膜が有機物などの比較
的柔らかい物質には付着しにくい性質を利用したいから
である。第２に、剥離液等でレジストマスク７は、駆動
電極２や突起部３等にダメージを与えることなく、完全
に剥離し除去できるからである。A method of forming protrusions on the piezoelectric substrate in this embodiment will be described with reference to FIG. Figure 2 (a) shows
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state where an organic resist mask 7 having an opening having a width b and a height t is formed on the drive electrode 2. The resist mask 7 is formed by screen printing here. The reason why the resist mask 7 is made of an organic substance is, firstly, because it is desired to utilize the property that the sprayed film is generally difficult to adhere to a relatively soft substance such as an organic substance. Secondly, the resist mask 7 can be completely peeled off and removed by the peeling liquid or the like without damaging the drive electrodes 2, the protrusions 3, and the like.

【００２６】さらに、図２（ｂ）はレジストマスク７を
形成した後、その上方より溶射皮膜の厚みｈ（ｈはｔ以
下）となる溶射を行った状態を示したものである。図の
ように、溶射皮膜はレジストマスク７上には、殆ど膜と
して付着せず、せいぜい溶射粒子がＱ部のようにまばら
に付着する程度である。従って、図のようにレジストマ
スク７の開口部のみに溶射皮膜が堆積し、、この堆積し
皮膜が突起部３を形成することとなる。Further, FIG. 2B shows a state in which after the resist mask 7 is formed, thermal spraying is performed from above to have a thickness h (h is t or less) of the thermal spray coating. As shown in the figure, the sprayed coating hardly adheres to the resist mask 7 as a film, and the sprayed particles adhere to the resist mask 7 sparsely like the Q portion. Therefore, as shown in the drawing, the sprayed coating is deposited only on the opening of the resist mask 7, and the deposited coating forms the protrusion 3.

【００２７】最後の図２（ｃ）は、レジスト剥離液によ
りレジストマスク７を剥離した状態を示したものであ
る。レジストマスク７は完全に除去され、その開口部に
形成された溶射皮膜が突起部３として形成される。この
突起部の形状は、側面等がダレることなくレジストマス
ク７の開口部の形状と同様になる。このようにして、前
述の図１に示す様な突起部を形成することができる。Lastly, FIG. 2 (c) shows a state in which the resist mask 7 is stripped by the resist stripping solution. The resist mask 7 is completely removed, and the sprayed coating formed on the opening is formed as the protrusion 3. The shape of the protrusion is the same as the shape of the opening of the resist mask 7 without the side surface being sagged. In this way, the protrusion as shown in FIG. 1 can be formed.

【００２８】このように従来のメタルマスクを使用せ
ず、安価なレジストマスクを使用することにより、突起
部を安定に安価に製造することができる。As described above, by using an inexpensive resist mask without using the conventional metal mask, the protrusion can be stably manufactured at low cost.

【００２９】さらに、上記のように突起部を形成するこ
とにより、図７で示した従来の突起部に生じていたダレ
がなく、上面部の幅ａが底面部の幅ｂとほぼ等しく、即
ち、従来に比べ上面部の幅が広くなり、圧電基板１が外
部電極４に対し傾きにくくなる。したがって、外部電極
４等と圧電基板１の振動部分が接触しないため、圧電振
動子としての特性及びその安定性が向上する。Further, by forming the protrusions as described above, there is no sagging that occurs in the conventional protrusion shown in FIG. 7, and the width a of the upper surface is substantially equal to the width b of the bottom, that is, The width of the upper surface is wider than in the conventional case, and the piezoelectric substrate 1 is less likely to tilt with respect to the external electrode 4. Therefore, since the external electrode 4 and the like do not come into contact with the vibrating portion of the piezoelectric substrate 1, the characteristics and stability of the piezoelectric vibrator are improved.

【００３０】次に、第２の実施例を図３を用い説明す
る。ここでは、突起部上面の幅ａが底面の幅ｂより広い
突起部を形成する場合の例を説明する。このような突起
の必要性は、次の理由よる。第１に圧電基板の振動への
影響を少なくするために突起部底面の幅または面積をで
きるだけ狭くしたい。第２に、圧電基板が外部電極に対
し傾いたり移動したりして、振動部が外部電極等に接触
しないようにするため、突起部上面の幅あるいは面積は
できるだけ広くしたい。この突起部形成の実施例を図３
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。これらは、図２（ｂ）
に示す製造工程の状態に対応している。Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. Here, an example will be described in which the width a of the upper surface of the projection is larger than the width b of the bottom surface. The need for such protrusions is due to the following reasons. First, in order to reduce the influence on the vibration of the piezoelectric substrate, it is desired to make the width or area of the bottom surface of the protrusion as narrow as possible. Secondly, the width or area of the upper surface of the protrusion should be made as wide as possible in order to prevent the vibrating portion from coming into contact with the external electrode or the like due to the piezoelectric substrate tilting or moving with respect to the external electrode. An example of forming this protrusion is shown in FIG.
Shown in (a), (b) and (c). These are shown in Fig. 2 (b).
It corresponds to the state of the manufacturing process shown in.

【００３１】第１の実施例との違いは、レジストマスク
７の開口部の幅がその底部より上部のほうが広く形成さ
れている点である。The difference from the first embodiment is that the width of the opening of the resist mask 7 is wider in the upper part than in the bottom part.

【００３２】また、上記の様にレジストマスク７の開口
部の底部の幅を上部の幅より狭くしなくても、次の実施
例のようにしてもよい。即ち、図４（ａ）、（ｂ）は、
各々図２（ｂ）、（Ｃ）に相当する製造工程の状態を示
している。違いは、レジストマスク７の厚さｔより突起
部３の厚さｈを高く、即ちｔ＜ｈとしている点である。The width of the bottom of the opening of the resist mask 7 may not be narrower than the width of the upper portion of the resist mask 7, as in the following embodiment. That is, in FIGS. 4 (a) and 4 (b),
The state of the manufacturing process corresponding to FIGS. 2B and 2C is shown, respectively. The difference is that the thickness h of the protrusion 3 is higher than the thickness t of the resist mask 7, that is, t <h.

【００３３】レジストマスク７に溶射皮膜がつきにくい
と、このようにｔ＜ｈとすると、溶射時に、溶射皮膜か
らなる突起部３は、その厚みｈがｔを越えるとともに、
越えた部分の幅が、レジストマスク開口幅ｂより広がり
ｄとなり、上面の幅ａも広くなっていく。従って、底面
の幅ｂより上面の幅ａが広い突起部３を形成できる。If it is difficult for the thermal spray coating to adhere to the resist mask 7, if t <h in this way, the projection 3 made of the thermal spray coating has a thickness h exceeding t and
The width of the exceeded portion becomes d wider than the resist mask opening width b, and the width a of the upper surface also becomes wider. Therefore, it is possible to form the protrusion 3 having a width a of the upper surface that is wider than the width b of the bottom surface.

【００３４】尚、ここで使用したレジストインキは、例
えば、太陽インキ製造（株）製の有機溶剤剥離メッキレ
ジストＸ８７等であるが、所望する開口幅ｂやレジスト
膜厚ｔあるいは耐熱温度等により、適時選定する必要が
あり、限定するものではない。要するに、溶射膜が付着
しにくく、剥離液等で、駆動電極２や突起部３等にダメ
ージを与えることなく、完全に剥離し除去でき、開口部
の幅・厚みを所望の値とできるものであればよい。The resist ink used here is, for example, an organic solvent release plating resist X87 manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd., but depending on the desired opening width b, resist film thickness t, heat resistant temperature, etc. It is necessary to select it in a timely manner, and the selection is not limited. In short, the sprayed film is hard to adhere, and can be completely peeled and removed with a peeling liquid or the like without damaging the drive electrodes 2 and the protrusions 3, and the width and thickness of the opening can be set to desired values. I wish I had it.

【００３５】尚、レジストマスクは上記の例に限らず、
ドライフィルム、フォトレジスト等を用いてもよい。こ
の場合、開口部のパターンはフォトリソグラフィー等の
方法を用い形成される。The resist mask is not limited to the above example,
You may use a dry film, a photoresist, etc. In this case, the pattern of the openings is formed by using a method such as photolithography.

【００３６】尚、上記各実施例では、駆動電極２上に突
起部３を形成したが、圧電基板１上に突起部３を形成し
た後、駆動電極２を形成してもよい。Although the projection 3 is formed on the drive electrode 2 in each of the above embodiments, the drive electrode 2 may be formed after the projection 3 is formed on the piezoelectric substrate 1.

【００３７】また、駆動電極３は上記方法のみでなく溶
射法により形成してもよい。The drive electrode 3 may be formed not only by the above method but also by a thermal spraying method.

【００３８】[0038]

【発明の効果】本発明によれば、特性の優れその安定性
も高い圧電振動子を従来より安価に実現できるととも
に、高い生産性を容易に実現できる。According to the present invention, a piezoelectric vibrator having excellent characteristics and high stability can be realized at a lower cost than before, and high productivity can be easily realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第１の実施例における主要部の断面図FIG. 1 is a sectional view of a main part in a first embodiment of the present invention.

【図２】同実施例の製造工程図FIG. 2 is a manufacturing process chart of the embodiment.

【図３】本発明の第２の実施例における突起形成工程の
説明図FIG. 3 is an explanatory view of a protrusion forming step in the second embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第３の実施例における突起形成工程の
説明図FIG. 4 is an explanatory view of a protrusion forming step in the third embodiment of the present invention.

【図５】従来例の説明に用いる圧電振動子の概略構成を
示す斜視図FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of a piezoelectric vibrator used for explaining a conventional example.

【図６】従来例の説明に用いる圧電振動子の保持構成を
示した概略断面図FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a holding structure of a piezoelectric vibrator used for explaining a conventional example.

【図７】従来例の圧電振動子の保持部の概略図FIG. 7 is a schematic view of a holding portion of a conventional piezoelectric vibrator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 圧電基板 ２ 駆動電極 ３ 突起部 ４ 外部電極 ５ 保持基板 ７ レジストマスク 1 Piezoelectric Substrate 2 Drive Electrode 3 Projection 4 External Electrode 5 Holding Substrate 7 Resist Mask

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】駆動用の電極を対抗する２つの表面に設け
られた圧電基板のノード点の近傍であって前記圧電基板
の電極が設けられる表面あるいは前記の電極表面に、所
要のパターン開口部を有するレジスト皮膜を形成し、さ
らに前記開口部に導電性材料を所要の厚さまで溶射した
後、前記レジストを剥離し、導電性の溶射皮膜突起部を
形成することを特徴とする圧電振動子の製造方法。1. A required pattern opening is provided on a surface of an electrode of the piezoelectric substrate or a surface of the electrode near the node point of the piezoelectric substrate provided on two surfaces facing the driving electrode. Forming a resist film having, and further spraying a conductive material to the opening to a required thickness, peeling the resist, forming a conductive sprayed film projections Production method. 【請求項２】圧電基板と、前記圧電基板の対抗する２つ
の表面に設けられた駆動用の電極と、前記圧電基板のノ
ード点の近傍であって前記電極が設けられる表面あるい
は前記の電極表面に、所要のパターン開口部を有するレ
ジスト皮膜を形成し、前記開口部に導電性材料を所要の
厚さまで溶射し、その後レジストを剥離してパターン形
成された導電性の溶射皮膜突起部と、前記圧電基板が前
記突起部を介し接触し、前記圧電基板を保持する外部電
極を有することを特徴とする圧電振動子。2. A piezoelectric substrate, driving electrodes provided on two opposing surfaces of the piezoelectric substrate, and a surface near the node point of the piezoelectric substrate on which the electrode is provided or the electrode surface. In, a resist film having a required pattern opening is formed, a conductive material is sprayed to the opening to a required thickness, and then the resist is peeled off to form a patterned conductive sprayed coating projection, and A piezoelectric vibrator, comprising: an external electrode that is in contact with the piezoelectric substrate via the protrusion and holds the piezoelectric substrate. 【請求項３】圧電基板と、前記圧電基板の対抗する２つ
の表面に設けられた駆動用の電極と、前記圧電基板のノ
ード点の近傍であって前記電極が設けられる表面あるい
は前記の電極表面に設けられた導電性突起部を介して、
前記圧電基板が外部電極に接触し保持される圧電振動子
において、前記突起部の前記振動子に接合し面した面の
面積が、前記外部電極に接し面した面の面積より小さい
ことを特徴とする圧電振動子。3. A piezoelectric substrate, driving electrodes provided on two opposing surfaces of the piezoelectric substrate, and a surface on which the electrode is provided or a surface of the electrode near a node point of the piezoelectric substrate. Via the conductive protrusion provided on the
In the piezoelectric vibrator in which the piezoelectric substrate is in contact with and held by an external electrode, the area of the surface of the protrusion that is in contact with the vibrator is smaller than the area of the surface in contact with the external electrode. Piezoelectric vibrator.