JPH0758172A - 半導体装置試験用ユニバーサルバーンインボード - Google Patents

半導体装置試験用ユニバーサルバーンインボード

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JPH0758172A
JPH0758172A JP5199849A JP19984993A JPH0758172A JP H0758172 A JPH0758172 A JP H0758172A JP 5199849 A JP5199849 A JP 5199849A JP 19984993 A JP19984993 A JP 19984993A JP H0758172 A JPH0758172 A JP H0758172A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体装置のスタティックバーンインに際し
て、被試験半導体装置の品種ごとに専用のサブボードを
必要とせず、しかも低コスト性に優れ、且つ、サブボー
ドを使用する場合でも、そのサブボードは、構造が単純
で設計変更が容易な低コスト性に優れたものであるよう
にすることのできるユニバーサルバーンインボードを提
供する。 【構成】ICソケットS1 〜Sn の各リード端子J11
n24 を予め高位電源電圧VCCに接続しておくプルアッ
プ用抵抗Rと、各ソケットの周辺部に配置され配線基板
端部の高位電源端子、グランド電源端子及び制御信号端
子に接続されるジャンパー端子JV1 〜JVn 、JG1
〜JGn 、JC1 〜JCn とを設け、ジャンパー線など
により、高位電源電位VCC、グランド電位GND及び制
御信号CLK供給用のリード端子に接続されたプルアッ
プ用抵抗Rを実質的に作用を無効化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置をバーンイ
ンするための試験装置とバーンインされる被試験半導体
装置との間に介在して、試験装置から供給される電源電
圧や信号を被試験半導体装置に伝達するための半導体装
置試験用ユニバーサルバーンインボードに関し、特に、
スタティックバーンインに用いられる半導体装置試験用
ユニバーサルバーンインボードに関する。
【0002】
【従来の技術】ICなど半導体装置のバーンインは、半
導体装置の製造工程中でその初期不良を除去し特性を安
定化する目的で行われるものであって、バーンイン実施
時には通常、試験される半導体装置(以下、DUT:デ
バイス アンダー テスト Device Under
Testと記す)を高温環境下に置き、試験装置から
電源電圧及び信号を供給して所定の時間動作状態に保持
する。
【0003】上記のバーンインには、例えばクロック信
号やリセット信号などの制御信号用入力端子のみならず
それ以外のデータ信号用入出力端子にも、通常の信号処
理同作時と同様の信号波形を与えて行うダイナミックバ
ーンインと、データ信号用入出力端子には直流電圧を与
えて行うスタティックバーンインとがあり、前者は主
に、DRAMやSRAMのような半導体メモリなどに対
して行われる、一方、後者は主に、マイクロコンピュー
タやゲートアレイなどの論理ICに対して行われる。本
発明は後者のスタティックバーンインに関るものである
が、いずれの場合にもバーンイン実施時には、DUTは
バーンインボード(以下、ボードと記す)と称される配
線基板に搭載されたICソケットに差込まれ、試験装置
から、ボードのエッジコネクタ端子、配線及びソケット
のリード端子を介して電源電圧や信号を供給される。バ
ーンイン終了後、DUTはソケットから取り外され次の
工程に移される。
【0004】ところで半導体装置においては、外部端子
(高位電源端子、低位電源端子或いは信号入出力端子な
ど)の配列が製品の品種ごとに異るので、ボードとして
は、従来、品種ごとに専用のボードを用いるのが普通で
あった。しかしながらこの場合、上記専用ボードを品種
数に対応して多数準備しなければならないことから、設
計・製作、管理或いは用済み後の廃棄などに多大な費用
が必要となるので、一枚で全品種のバーンインを行うこ
とのできるユニバーサルバーンインボード(以下、ユニ
バーサルボードと記す)に対する需要が生じてきてい
る。
【0005】このようなユニバーサルボードとしては、
例えば特開昭61ー34482号公報に開示されたもの
がある。上記公報記載のユニバーサルボードには、配線
基板に搭載されるICソケットと配線基板のエッジコネ
クタ部(入力パルス及び電源供給部)のそれぞれに、入
出力ピン切換え部が設けられている。これら入出力ピン
切換え部はそれぞれ、互いに対置された一対のラッピン
グピンの組を複数組備えている。このラッピングピンの
組数は、ソケットに対して設けられるものの場合には、
ソケットのピン数分で有り、又、エッジコネクタ部に対
して設けられるものの場合には、電源電圧数と入力信号
数とを合した数分である。バーンイン実施時には、ソケ
ットに装着されたDUTの外部端子配列に合せて、必要
なラッピングピン対をジャンパー線でショートすること
によってソケットとエッジコネクタ部とを接続し、バー
ンインに必要な電源電圧や信号をDUTに供給する。上
記のジャンパー線はラッピングピンに着脱可能にされて
いるので、DUTの品種に応じて電源電圧や信号の供給
を切り換ることができ、一枚のユニバーサルボードで全
ての品種の半導体装置のバーンインを行うことができ
る。
【0006】上に述べたユニバーサルボードは、ダイナ
ミックバーンインに用いられるボードであるが、スタテ
ィックバーンイン用のユニバーサルボードとしては、図
4にその模式的平面図を示すものがある。図4を参照す
ると、ユニバーサルボード1上に、ICソケットSが搭
載されている。ユニバーサルボード1の端部には、ソケ
ット1個分の端子を備えたコネクタ部2が設けられてお
り、ソケットSの全てのリード端子は、このユニバーサ
ルボード1に設けられた配線3により、コネクタ部2に
引き出されている。バーンイン実施時には、このユニバ
ーサルボード1のコネクタ部2に品種ごとに専用のサブ
ボード4を接続する。サブボード4はユニバーサルボー
ド1と試験装置(図示せず)との間に介在して、試験装
置から電源電圧の供給を受けDUTに給電するが、その
ボード上にはプルアップ用抵抗Rが多数設けられてお
り、DUTの信号用入出力端子にはこの抵抗Rを介して
高位電源電位VCCを供給し、一方、DUTの高位電源端
子及びグランド端子には、試験装置からの電位VCC及び
GNDを直接供給するようにされている。スタティック
バーンインの場合はダイナミックバーンインとは異っ
て、信号入出力端子には直流電位を供給すれば良いの
で、ユニバーサルボード及びサブボードの構成は、ダイ
ナミックバーンイン用のものに比べて簡単になる。但
し、この場合、ユニバーサルボード1は一種類で済む
が、サブボード4は、プルアップ用抵抗R、高位電源電
位VCC給電用の短絡配線及びグランド電位GND給電用
の短絡配線の配置を、DUTの品種ごとに合せて設計す
ることになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、スタ
ティックバーンインに図4に示す従来のユニバーサルボ
ードを用いる場合には、半導体装置の品種ごとに専用の
サブボードを用いざるを得ない。ところが、このサブボ
ードにはDUTのピン数に応じた多数のプルアップ用抵
抗が必要であり、又、サブボードを新たに開発しようと
すると現状で2〜3カ月程度の期間が必要であることか
ら、設計・製作に多大の時間と費用を要するので、ボー
ドを共用化した効果が薄れてしまう。特に、以下に述べ
るようにピン数の非常に多い論理ICにおいては、その
影響が大きい。メモリICは、その機能及びチップ上で
の回路のレイアウトに規則性が強く、従ってICとして
のピン数もたかだか30ピン前後であるのに対して、論
理ICの場合、上記の規則性が少ないことから、ピン数
が、例えば300ピン前後にも達するものもある。これ
らの数値例から、論理ICにおける上記影響の大きさが
容易に理解されよう。しかも、論理ICは近年その機能
が高まるのに伴って、ますます多品種化、多ピン化され
てきていることから、ボードの共通化の必要性はますま
す高まってきている。
【0008】従って、本発明の目的は、スタティックバ
ーンインに際して、DUTの品種ごとに専用のサブボー
ドを必要とせず、しかも、配線基板端部のエッジコネク
タ部から各ICソケット迄の配線が単純な低コスト性に
優れた半導体装置試験用ユニバーサルバーンインボード
を提供することを目的とするものである。
【0009】更に、本発明の他の目的は、DUTの品種
切換え時の給電経路変更の間違いをより起り難くするた
めに、サブボードと組合せて使用することが可能であり
ながら、そのサブボードは、構造が単純で設計変更が容
易な低コスト性に優れたものであるようにすることので
きる半導体装置試験用ユニバーサルバーンインボードを
提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置試験
用ユニバーサルバーンインボードは、バーンインに供せ
られる被試験半導体装置を着脱するためのICソケット
を備え、端部にはそれぞれ外部から供給される高位電源
電圧、低位電源電圧及び制御用信号を受け取るための高
位電源電圧端子、低位電源電圧端子及び信号端子が設け
られた配線基板を含んでなる半導体装置試験用ユニバー
サルバーンインボードにおいて、それぞれ前記ICソケ
ットのリード端子のそれぞれと前記高位電源電圧端子と
の間に設けられ、前記ICソケットの全リード端子を予
め前記高位電源電圧端子に接続しておく複数のプルアッ
プ用抵抗と、それぞれ前記ICソケットの周辺部に配置
され、前記配線基板上に配設された導電配線により前記
高位電源電圧端子、前記低位電源電圧端子及び前記信号
端子に接続される接続端子とを設け、前記ICソケット
のリード端子とそのICソケットの周辺部に設けられた
前記接続端子とを、外部から付加する接続手段を介して
接続可能な構造にすることにより、前記プルアップ用抵
抗のうち、前記被試験半導体装置に前記高位電源電圧、
前記低位電源電圧及び前記制御用信号を与えるべきリー
ド端子に接続されたプルアップ用抵抗の作用を無効化で
きるようにしたことを特徴とする。
【0011】
【実施例】次に、本発明の好適な実施例について、図面
を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施例の
回路図である。又、図2(a)及び(b)はそれぞれ、
本実施例の平面図及び側面図である。図1並びに図2
(a)及び(b)を参照すると、本実施例では、ユニバ
ーサルボード1に、DUTを装着するためのICソケッ
トS1 〜Sn が搭載されており、それぞれのソケット周
辺に各リード端子ごとにプルアップ用抵抗Rが実装され
ている。尚、ソケットは一例として24ピンをものを図
示しているが、ソケットのピン数はこれに限られるもの
ではない。図1に示す回路図は、ジャンパー線などのプ
ルアップ抵抗無効化手段が接続されていない状態の回路
を示し、全ソケットの全リード端子J11〜Jn24 はそれ
ぞれ、プルアップ用抵抗Rを介して高位電源端子(電位
CC)5に接続されている。
【0012】各ソケットのそれぞれの周辺には、それぞ
れ、配線基板端部のエッジコネクタ部6の高位電源端
子、低位電源端子及び信号端子のそれぞれから配線基板
上に布設した配線で引き出してきた、高位電源用ジャン
パー端子JV1 〜JVn 、グランド用ジャンパー端子J
1 〜JGn 及び信号用ジャンパー端子JC1 〜JCn
が設けられている。尚、以下の説明では、説明の便宜
上、n個の全ソケットS1〜Sn のうち、1番目のソケ
ットS1 を例にして説明する。
【0013】この状態において、ユニバーサルボード1
の裏面から図2(b)に示すようなジャンパー線7を、
ソケットS1 のリード端子J11〜J124 と各ジャンパー
端子JV1 、JG1 、JC1 に装着する。このとき、ジ
ャンパー線7で結線する部分は、DUTの外部端子配列
に合せて選択する。例えば、DUTの第12ピンがグラ
ンド端子であり、第24ピンが高位電源端子であり、第
13ピンにクロック信号CLKを入力する場合には、ソ
ケットのリード端子J112 とグランド用ジャンパー端子
JG1 との間、ソケットのリード端子J124 と高位電源
用ジャンパー端子JV1 との間及びソケットのリード端
子J113 と信号用ジャンパー端子JC1との間をそれぞ
れ、ジャンパー線7で短絡することにより、DUTに対
してその端子配列に即した給電を行うことができる。
尚、上記のジャンパー線は、ソケットのリード端子及び
ジャンパー端子に脱着できるような構造となっている。
【0014】本実施例によれば、DUTの品種ごとに専
用のサブボードを使用することなしに、ジャンパー線の
変更だけで簡単に給電経路の変更することができる。し
たがって、サブボードの設計・製作に掛かる時間・費用
が不要であり、新種のDUTにも柔軟にしかも低コスト
で対応することができる。
【0015】本実施例におけるユニバーサルボードで
は、配線基板端部のエッジコネクタ部6から各ソケット
1 〜Sn の各リード端子J11 〜Jn24 への配線数
は、電源配線数(本実施例の場合は、高位電源電位VCC
用及びグランド電位GND用の2本)と、最低限必要な
制御信号数(同、クロック信号CLK用の1本)の計3
本で済む。従って、ユニバーサルボードの配線は非常に
単純であり、品種切替え時のジャンパー線の装着も簡単
に済む。
【0016】このような効果は、本発明の対象とすると
ころが、スタティックバーンイン用のユニバーサルボー
ドであることに因る。すなわち、スタティックバーンイ
ンにおいては、パルス波を与えるべき信号はDUTの状
態設定に必要な制御信号のみであり、データ信号として
は直流電位を与えれば良い。ところで、通常、論理IC
に用いられる制御信号は、クロック信号、リセット信号
などであり、その数は多くない。これらに加えて例え
ば、試験モード設定用の特別な制御信号を入力するとし
ても、合計でせいぜい2〜3本の配線でよい。このた
め、配線基板上の布線数が少なくて済むのである。
【0017】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。図3は、本発明の第2の実施例における、ソケッ
ト1個当りの部分の側面図である。同図を参照すると、
本実施例では、第1の実施例におけるジャンパー線7の
替りに、ユニバーサルボード1の裏面にDUTの品種別
に専用のサブボード8を取り付けている。このサブボー
ド8には、DUTの品種ごとの端子配列に対応して短絡
配線が設けられており、接続が必要なピンにのみピンソ
ケット9を装着することによって、サブボード上の短絡
配線を介してICソケットのリード端子と各ジャンパー
端子とを接続できる構造となっている。第1の実施例に
おいては、DUTの品種切替え時のジャンパー線装着の
際に、わずかとはいえ装着ミスが起る可能性があるのに
対して、本実施例によればその可能性は皆無となる。し
かも、本実施例で用いるサブボードは、単に短絡配線を
備えるだけという単純な構造であるので、簡単に設計で
きる。又、製作に要する時間・費用も少なくて済む。
【0018】尚、本実施例では、ピンを立てピンソケッ
トを使用する例について述べたが、この方法以外にも、
スタッキングコネクタを使用する方法や、或いは、ユニ
バーサルボード側に金めっきを施したパッドだけを形成
しておき、面実装タイプのスタッキングコネクにより接
触させる方法などを用いてもよい。
【0019】尚また、第1の実施例及び第2の実施例に
おいては、必要な接続は全て短絡配線としたが、本発明
はこれに限られるものではない。実質的にプルアップ用
抵抗の作用を無効にすればよいのであるから、短絡配線
に限らず場合によっては、プルアップ用抵抗より十分低
い抵抗で接続してもよい。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置試験用ユニバーサルバーンインボードは、ICソケッ
トの各リード端子を予め高位電源電圧端子に接続してお
くプルアップ用抵抗と、ICソケットの周辺部に配置さ
れ、配線基板上に配設された配線により配線基板端部の
高位電源電圧端子、低位電源電圧端子及び制御信号端子
に接続されるジャンパー端子とを備えており、ICソケ
ットの任意のリード端子とそのICソケットの周辺部に
設けられた任意のジャンパー端子とが、外部から付加す
る接続手段を介して接続可能な構造にされている。
【0021】これにより本発明によれば、ICソケット
の全リード端子に設けられたプルアップ用抵抗のうち、
DUTに高位電源電圧、低位電源電圧及び制御用信号を
与えるべきリード端子に接続されたプルアップ用抵抗の
作用を無効化できる。したがって、スタティックバーン
インにおいて、DUTの品種ごとに専用のサブボードを
必要とせず、しかも、配線基板端部のエッジコネクタ部
から各ICソケット迄の配線が単純な低コスト性に優れ
た半導体装置試験用ユニバーサルバーンインボードを提
供することができ。
【0022】更に、DUTの品種切換え時の給電経路変
更の間違いをより起り難くするために、サブボードと組
合せて使用することが可能でありながら、そのサブボー
ドは、構造が単純で設計変更が容易な低コスト性に優れ
たものであるようにすることのできる半導体装置試験用
ユニバーサルバーンインボードを提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の回路図である。
【図2】分図(a)は、第1の実施例のユニバーサルボ
ードの平面図である。分図(b)は、第1の実施例のユ
ニバーサルボードの側面図である。
【図3】本発明の第2の実施例におけるソケット1個当
りの側面図である。
【図4】従来のスタティック用ユニバーサルボード及び
サブボードの一例の模式的平面図である。
【符号の説明】
1 ユニバーサルボード 2 コネクタ部 3 配線 4 サブボード 5 高位電源端子 6 エッジコネクタ部 7 ジャンパー線 8 サブボード 9 ピンソケット S1 ,…,Sn ICソケット J11,…,Jn24 リード端子 JV1 ,…JVn ,JG1 ,…JGn ,JC1 ,…JC
n ジャンパー端子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 バーンインに供せられる被試験半導体装
    置を着脱するためのICソケットを備え、端部にはそれ
    ぞれ外部から供給される高位電源電圧、低位電源電圧及
    び制御用信号を受け取るための高位電源電圧端子、低位
    電源電圧端子及び信号端子が設けられた配線基板を含ん
    でなる半導体装置試験用ユニバーサルバーンインボード
    において、 それぞれ前記ICソケットのリード端子のそれぞれと前
    記高位電源電圧端子との間に設けられ、前記ICソケッ
    トの全リード端子を予め前記高位電源電圧端子に接続し
    ておく複数のプルアップ用抵抗と、 それぞれ前記ICソケットの周辺部に配置され、前記配
    線基板上に配設された導電配線により前記高位電源電圧
    端子、前記低位電源電圧端子及び前記信号端子に接続さ
    れる接続端子とを設け、 前記ICソケットのリード端子とそのICソケットの周
    辺部に設けられた前記接続端子とを、外部から付加する
    接続手段を介して接続可能な構造にすることにより、 前記プルアップ用抵抗のうち、前記被試験半導体装置に
    前記高位電源電圧、前記低位電源電圧及び前記制御用信
    号を与えるべきリード端子に接続されたプルアップ用抵
    抗の作用を無効化できるようにしたことを特徴とする半
    導体装置試験用ユニバーサルバーンインボード。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体装置試験用ユニバ
    ーサルバーンインボードにおいて、 前記ICソケット及び前記接続端子を、前記接続手段と
    してジャンパー線を用いることが可能な構造にして、無
    効化されるプルアップ用抵抗が、前記被試験半導体装置
    ごとにその被試験半導体装置の端子配列に適合するよう
    に変更可能にしたことを特徴とする半導体装置試験用ユ
    ニバーサルバーンインボード。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の半導体装置試験用ユニバ
    ーサルバーンインボードにおいて、 前記ICソケット及び前記接続端子を、前記接続手段と
    して、無効化されるプルアップ用抵抗が前記被試験半導
    体装置の端子配列に適合するように予め接続部材が設け
    られた専用のサブボードを交換して用いることが可能な
    構造にしたことを特徴とする半導体装置試験用ユニバー
    サルバーンインボード。
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