JPH0755940A - レーザードップラー速度計 - Google Patents
レーザードップラー速度計Info
- Publication number
- JPH0755940A JPH0755940A JP5229430A JP22943093A JPH0755940A JP H0755940 A JPH0755940 A JP H0755940A JP 5229430 A JP5229430 A JP 5229430A JP 22943093 A JP22943093 A JP 22943093A JP H0755940 A JPH0755940 A JP H0755940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- moving object
- light
- incident angle
- laser doppler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 38
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/50—Systems of measurement based on relative movement of target
- G01S17/58—Velocity or trajectory determination systems; Sense-of-movement determination systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
- G01S7/4812—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver transmitted and received beams following a coaxial path
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/491—Details of non-pulse systems
- G01S7/4912—Receivers
- G01S7/4917—Receivers superposing optical signals in a photodetector, e.g. optical heterodyne detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
き、汎用性の高いレーザードップラー速度計を得るこ
と。 【構成】 レーザー光を所定の入射角で移動物体に入射
させ、該移動物体からの散乱光の周波数偏移に基づい
て、前記移動物体の移動速度の変化を検出するレーザー
ドップラー速度計において、レーザー光の出射面にワー
キングディスタンス可変部材を設けたこと。
Description
の移動物体(以下、被測定物と称す)の速度変化を非接
触に検出するレーザードップラー速度計に関するもので
ある。
は、被測定物にレーザー光を照射し、被測定物からの散
乱光の周波数が、被測定物の移動速度に比例して偏移
(シフト)する効果(ドップラー効果)を利用して前記
被測定物の移動速度を検出するものである。
を示す説明図である。
レーザー光は、コリメーターレンズ2を通過して平行光
束3となり、ビームスプリッター4によって二光束5a
および2bに分割されてミラー6aおよび6bで反射さ
れた後、速度Vで移動している被測定物7に入射角θで
二光束照射される。
乱光は、集光レンズ8を介して光検出器9で検出され
る。このとき、二光束による散乱光の周波数は、移動速
度Vに比例して各々+Δf、−Δfのドップラーシフト
を受ける。ここで、レーザー光の波長をλとすれば、Δ
fは次の(1)式で与えられる。
互いに干渉し合って光検出器9の受光面での明暗の変化
をもたらし、その周波数F(以下、ドップラー周波数と
呼ぶ)は次の(2)式で与えられる。
測定すれば、(2)式に基づいて被測定物7の移動速度
Vを求めることができる。
は、(2)式から明らかなようにドップラー周波数Fは
レーザーの波長λに反比例でいるので、連続発信が可能
で、波長が安定したレーザー光源を使用する必要があっ
た。このようなレーザー光源としてはHe−Ne等のガ
スレーザーが良く使用されるが、レーザー発信器が大き
くまた電源に高圧が必要で、装置が大きく高価になる。
また、コンパクトディスク、ビデオディスク、光ファイ
バー通信等に使用されているレーザーダイオード(半導
体レーザー)は超小型で駆動も容易であるが、温度依存
性を有するという問題点があった。
ク;光半導体素子編から引用したレーザーダイオードの
標準的な温度依存性の一例を示す図であり、波長が連続
的に変化している部分は、主としてレーザーダイオード
の活性層の屈折率の温度変化によるもので、0.05〜
0.06nm/℃である。一方、波長が不連続に変化し
ている部分は縦モードホッピングと呼ばれ0.2〜0.
3nm/℃である。
ドを一定温度に制御する方法が採られる。この方法では
ヒーター、放熱器、温度センサー等の温度制御部材をレ
ーザーダイオードに小さな熱抵抗で取付け、精密に温度
制御を行う必要があり、レーザードップラー速度計が比
較的大型で、またコスト高になるとともに、前述の縦モ
ードホッピングによる不安定を完全には除去できない。
速度計として、レーザー光源からのレーザー光を回折格
子に入射し、得られる回折光のうち、0次以外の+n
次、−n次(nは1,2,…)の二つの回折光を、この
二光束の成す角度と同じ交差角で被測定物7に照射し、
この被測定物7からの散乱光をフォトディテクターで検
出する方式が特願平1−83208号公報に提案されて
いる。
子10にレーザー光Iを格子の配列方向tに垂直に入射
した時の回折例を示し、回折角θ0 は次の(3)式で与
えられる。
る。
定物7い入射角がθ0になるように2光束照射した図で
ある。そして、被測定物7からの散乱光は集光レンズ8
を介して光検出器9に入射する。この光検出器9の出力
信号のドップラー周波数Fは前述の(2)および(4)
からの次の(5)式で与えられる。
は、レーザー光Iの波長λに依存せず、回折格子10の
格子ピッチdに反比例し、この格子ピッチdは充分安定
にしうるので、被測定物7の速度のみに比例する。この
場合、回折格子10は反射型の回折格子にしても同様で
ある。
0号の特許出願による光学系の要部概略図である。同図
において、1はレーザーダイオード、2はレーザーダイ
オード1から出射されたレーザー光を平行光束3とする
コリメーターレンズ、7は被測定物、10は平行光束3
を入射する回折格子、11,12は焦点距離がfの凸レ
ンズであり、回折格子10から凸レンズ11までの距離
aと凸レンズ12から被測定物7までの距離bの和が焦
点距離fの2倍、つまりa+b=2fの関係を満足する
ように配置され、レーザードップラー速度計101を構
成している。
ード1からのレーザー光はコリメーターレンズ2を通過
することによって直径2mmφの平行光束3となり、格
子ピッチ3.2μmの透過型回折格子10の格子配列方
向に垂直に入射し、±1次の回折光5a,5bを回折角
θ=12°で出射する。この光束5a,5bを焦点距離
f(=15mm)の凸レンズ11に入射すると、図の様
な光束13a,13bが得られる。
m)離れたもう1つの凸レンズ12に入射すると、再び
平行光14a,14bとなり、前述の回折格子10から
の回折角θと等しい角度で2mmφのスポット径となっ
て速度V(mm/sec)で矢示7aに移動する被測定
物7に照射する。
2および集光レンズ8を介して効率よく光検出器9の受
光部9aに集光し、この光検出器9からの受光信号を受
けた演算検出器14で次の(6)式により、ドップラー
周波数Fを検出する。
より、bは比較的長くなり、ワーキングディスタンスを
大きくすることができ、レーザードップラー速度計設置
の自由度が大きくなる。
来のレーザードップラー速度計は小形化を図ると、ワー
キングディスタンスに限度があり、使用用途によっては
ワーキングディスタンスが足りない場合が生じるという
問題点があった。
長さを要するため、小型化に限度があるという問題点が
あった。
光を被測定物に照射すると、被測定物表面の微細な凹凸
による散乱光は、ランダムな位相変調を受けて観察面上
に斑点模様、いわゆるスペックルパターンを形成する。
レーザードップラー速度計においては、被測定物が移動
すると、光検出器の検出面上でのドップラーシフトによ
る明暗の変化が、スペックルパターンの流れによる不規
則な明暗の変化で変調され、また、光検出器の出力信号
は被測定物の透過率(あるいは反射率)の変化によって
も変調を受ける。
は、一般にスペックルパターンの流れによる明暗の変化
の周波数および被測定物の透過率(あるいは反射率)の
変化の周波数は、前述(5)式で示されるドップラー周
波数に比べて低周波であるため、光検出器の出力をハイ
パスフィルターに通して、低周波成分を電気的に除去
し、ドップラー信号のみを取り出す方法が用いられてい
る。しかし、被測定物の速度が遅くてドップラー周波数
が低いと、低周波変動成分との周波数差が小さくなり、
ハイパスフィルターが使えず、被測定物の速度が測定で
きないという問題点があった。
低速度から高速度まで対応させようとすると、対応すべ
きドップラー周波数の幅が大きくなり、電気回路の規模
が大きくなるといった問題点もあった。
ドップラー速度計を得ることを目的とする。
よれば、レーザー光を所定の入射角θで移動物体に入射
させ、該移動物体からの散乱光の周波数偏移に基づい
て、前記移動物体の移動速度の変化を検出するレーザー
ドップラー速度計にいおいて、前記レーザー光の出射面
にワーキングディスタンス可変部材を設けたことによ
り、用途に応じてワーキングディスタンスを変えること
ができ、より汎用性の高いレーザードップラー速度計を
得ることができる。
ー光を所定の入射角θで移動物体に入射させ該移動物体
からの散乱光の周波数偏移に基づいて、前記移動物体の
移動速度の変化を検出するレーザードップラー速度計に
おいて、前記レーザー光の波長λの変化に応じて前記入
射角θが変化し、sinθ/λをほぼ一定とする光学系
を有し、この光学系を前記レーザー光を回折させて±n
次(n=1,2,3…)の回折光を形成する回折格子と
焦点距離fが等しい2枚のレンズとにより構成し、前記
2枚のレンズの間で前記回折光の光路を折り返し、この
折り返した回折光の光路に対応する前記2枚レンズの間
隔を焦点距離fの2倍にしたことにより、光路を短かく
して小型化を図ることができる。
光を所定の入射角θで移動物体に入射させて所定間隔の
干渉縞を形成し、前記移動物体からの散乱光の周波数偏
移に基づいて前記移動物体の移動速度の変化を検出する
レーザードップラー速度計において、レーザー光の出射
面に取付ける干渉縞間隔可変部材を備えたことにより、
速度に対応するドップラー周波数の比率を選択すること
ができ、広範囲の速度測定が可能になり、汎用性がより
向上する。
のレーザー光を所定の入射角θ1で移動物体に入射させ
て所定間隔の干渉縞を形成し、前記移動物体からの散乱
光の周波数F1の偏移に基づいて、前記移動物体の速度
Vの変化を F1=2Vsinθ1/λ の関係より検出するレーザードップラー速度計におい
て、前記レーザー光の出射面に取付け可能になっている
入射角可変部材が入射角θ1を入射角θ2にし、前記移
動物体からの散乱光の周波数F1の偏移に基づいて、前
記移動物体の速度Vの変化を F2=2Vsinθ2/λ の関係に変換することにより、前記請求項5乃至7の発
明と同様の効果が得られる。
り、前記図12に示す従来例と同一部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。図1において、50はワー
キングディスタンス可変部材である。このワーキングデ
ィスタンス可変部材50は両端面を斜面に形成した一対
の反射プリズム21a,21bを光軸と直交して直線状
に配置した構成であり、レーザードップラー速度計10
1の光出射面に例えばビスにより着脱可能に取付けられ
る。
ップラー速度計101から出射された光束14a,14
bは、反射プリズム21a,21bの第1の斜面21a
−1,21b−1および第2の斜面21a−2,21b
−2で交差角2θを維持したまま折返され、光束15
a,15bとなって被測定物7に入射角θで照射され
る。この場合、ワーキングディスタンス(W.D)を約
70mmとしている。そして、被測定物7からの散乱光
は凹レンズ22、凸レンズ12および集光レンズ8によ
り効率よく光検出器9の受光部9aへと集光させる。
回折角と等しいので、前記(6)式と同一ドップラー信
号が検出される。そして、本実施例1ではワーキングデ
ィスタンスが約70mmのワーキングディスタンス可変
部材50を用いているが、このワーキングディスタンス
の異なるワーキングディスタンス可変部材50と交換す
ることにより、任意にワーキングディスタンスを変える
ことができ、汎用性が向上する。
り、前記図1に示す実施例1と同一部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。図2において、51はワー
キングディスタンス可変部材である。このワーキングデ
ィスタンス可変部材51は同一焦点距離f’のレンズ2
3、24を2f’の間隔で配置した構成であって、アフ
ォーカル光学系になっている。そして、レンズ12とレ
ンズ23との間の距離a’、レンズ24と被測定物7と
の間の距離b’とすると、次の(7)式の関係が成り立
つ。
ら出射された光束14a,14bはワーキングディスタ
ンス可変部材51のレンズ23,24を透過し、光束1
6a,16bとなって被測定物7に入射角θで照射され
る。
=15mm,f’=13mmと設定すると、b=40m
mとなり、また、集光光学系もそのまま結像関係が成立
するため、容易にワーキングディスタンスを変えること
ができる。
射角θが回折角と等しいので、前記(6)式と同一のド
ップラー信号が検出される。また、ワーキングディスタ
ンス可変部材51は前記実施例1と同様、レンズマウン
トとしてレーザードップラー速度計101の光出射面に
マウント装着可能になっている。
として、焦点距離が等しい2枚のレンズ23,24を使
用したが、焦点距離が異なる2枚のレンズを用いても平
行光束14a,14bは平行光束のまま被測定物7へ入
射され、ワーキングディスタンスを変えることができ
る。しかし、この場合は、被測定物7への入射角θが回
折角と等しくなくなるので、(6)式とは同一でないド
ップラー信号が検出されることになる。
その正面図であり、前記図1,図2の実施例1,2と同
一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図3
において、26a,26b,27a,27bは反射ミラ
ーであり、凸レンズ12および集光レンズ8により効率
よく取り込んだ被測定物7からの錯乱光を反射させ、光
軸に対し垂直方向に設置された光検出器9の受光部9a
へと集光させている。
27bの間隔をl0 、レンズ11、12の間隔をl1 と
すると、回折光13a,13bの光路に対応するレンズ
11,12の間隔が焦点距離fの2倍となっているた
め、次に(8)式の関係となる。
まであり、前記図12に示す従来例と同一の光学性能を
備えている。
b,27a,27bによる回折光13a,13bの1往
復折返しにより、レンズ11,12間隔を約1/2にし
ているが、例えば、同一ミラーで2往復折返すと、次の
(9)式のように、 l1 +410 =2f …(9) となり、レンズ11,12間隔l1 をより小さくするこ
とができる。
の小型化について説明しているが、小型化することなく
同一の大きさで、ワーキングディスタンスを大きく取る
ことも可能である。
り、前記図1,図2の実施例1,2と同一部分には同一
符号を付して重複説明を省略する。図5において、52
は干渉縞間隔可変部材(入射角可変部材)である。
1のレンズ29と焦点距離f2のレンズ30を、レンズ
間隔f1+f2で配置した構成であって、アフォーカス
光学系になっている。
は入射角θ1で交差し、以下の関係で干渉縞P1は次の
(10)式で与えられる。
置f1で収束し、レンズ30を透過すると再び平行光束
になり、入射角θ2で再交差する。この時、像高H1は
次の(11)式で与えられる。
μmとした場合は、上記の(11),(12)式より、 f1/f2=2.159 …(13) となるようなレンズ29、30を設定すればよい。
(6)式から、 F=V/0.8(kHz) …(14) へと変換される。
1=3.2μmとした場合は、上記の(11),(1
2)式より、 f2/f1=2.159 …(15) となるようなレンズ29、30を設定すればよい。
(6)式から、 F=V/3.2(kHz) …(16) へと変換される。
可変部材(入射角可変部材)53の光学系を示すもの
で、この干渉縞間隔可変部材53の焦点距離f1の両凹
レンズ31と焦点距離f2の両凸レンズ32とによる構
成であって、アフォーカル光学系となっている。
ップラー速度計101に装着した本発明の実施例5を示
す光学系の要部概要図であり、本実施例5の場合、レン
ズ間隔が短くなるため、小型化に有利である。
材)53はレンズマウントとして、レーザードップラー
速度計101の光出射面にマウント装着可能になってお
り、逆向きに取付けできるようにしておけば、1つの干
渉縞間隔可変部材(入射角可変部材)53で干渉縞間隔
を大きくすることも、小さくすることもできる。
発明によれば、ワーキングディスタンス可変部材を取付
け可能に構成したので、用途に応じてワーキングディス
タンスを変えることができ、より汎用性の高いレーザー
ドップラー速度計を得ることができる。
長λの変化に応じて前記入射角θが変化し、sinθ/
λをほぼ一定とする光学系を有し、この光学系を、前記
レーザー光を回折させて±n次(n=1,2,3…)の
回折光を形成する回折格子と焦点距離fが等しい2枚の
レンズとにより構成し、前記2枚のレンズの間で前記回
折光の光路を折り返し、この折り返した回折光の光路に
対応する前記2枚のレンズの間隔を焦点距離fの2倍に
したので、2枚のレンズ間隔を小さくすることが可能と
なり、従来と同一の光学性能を備えながら、小型化を実
現できる。また、大きさを変えることなく、ワーキング
ディスタンスを大きくすることができる。
光の出射面に取付ける干渉縞間隔可変部材を備えたの
で、速度に対応するドップラー周波数の比率を選択する
ことができ、広範囲の速度測定が可能になり、より汎用
性の高い測定器となるなどの効果がある。
光の出射面に取付け可能になっている入射角可変部材が
入射角θ1を入射角θ2にし、被測定物からの散乱光の
周波数F1の偏移に基づいて、前記被測定物の速度Vの
変化を、F2=2Vsinθ2/λの関係に変換するよ
うに構成したので、前記請求項5乃至7の発明と同様の
効果が得られる。
図。
図。
図。
図。
た時の回折例図。
射した図。
示す要部概要図。
Claims (11)
- 【請求項1】 レーザー光を所定の入射角θで移動物体
に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数偏移に基
づいて、前記移動物体の移動速度の変化を検出するレー
ザードップラー速度計にいおいて、前記レーザー光の出
射面にワーキングディスタンス可変部材を設けたことを
特徴とするレーザードップラー速度計。 - 【請求項2】 前記ワーキングディスタンス可変部材
は、プリズムまたはミラーと集光レンズとで構成したこ
とを特徴とする請求項1記載のレーザードップラー速度
計。 - 【請求項3】 前記ワーキングディスタンス可変部材
は、アフォーカル系レンズ群により構成したことを特徴
とする請求項1記載のレーザードップラー速度計。 - 【請求項4】 波長λのレーザー光を所定の入射角θで
移動物体に入射させ該移動物体からの散乱光の周波数偏
移に基づいて、前記移動物体の移動速度の変化を検出す
るレーザードップラー速度計において、前記レーザー光
の波長λの変化に応じて前記入射角θが変化し、sin
θ/λをほぼ一定とする光学系を有し、この光学系を、
前記レーザー光を回折させて±n次(n=1,2,3
…)の回折光を形成する回折格子と焦点距離fが等しい
2枚のレンズとにより構成し、前記2枚のレンズの間で
前記回折光の光路を折り返し、この折り返した回折光の
光路に対応する前記2枚のレンズの間隔を焦点距離fの
2倍にしたことを特徴とするレーザードップラー速度
計。 - 【請求項5】 レーザー光を所定の入射角θで移動物体
に入射させて所定間隔の干渉縞を形成し、前記移動物体
からの散乱光の周波数偏移に基づいて前記移動物体の移
動速度の変化を検出するレーザードップラー速度計にお
いて、前記レーザー光の出射面に取付ける干渉縞間隔可
変部材を備えたことを特徴とするレーザードップラー速
度計。 - 【請求項6】前記干渉縞間隔可変部材は、焦点距離の異
なるアフォーカル系レンズ群により構成したことを特徴
とする請求項5記載のレーザードップラー速度計。 - 【請求項7】 前記干渉縞間隔可変部材は正逆反転して
取付け可能になっていることを特徴とする請求項5のレ
ーザードップラー速度計。 - 【請求項8】 波長λのレーザー光を所定の入射角θ1
で移動物体に入射させて所定間隔の干渉縞を形成し、前
記移動物体からの散乱光の周波数F1の偏移に基づい
て、前記移動物体の速度Vの変化を F1=2Vsinθ1/λ の関係より検出するレーザードップラー速度計におい
て、 前記レーザー光の出射面に取付け可能になっている入射
角可変部材が入射角θ1を入射角θ2にし、前記移動物
体からの散乱光の周波数F1の偏移に基づいて、前記移
動物体の速度Vの変化を F2=2Vsinθ2/λ の関係に変換することを特徴とするレーザードップラー
速度計。 - 【請求項9】 前記入射角可変部材は焦点距離の異なる
アフォーカル系レンズ群により構成されていることを特
徴する請求項8記載のレーザードップラー速度計。 - 【請求項10】 前記干渉縞間隔可変部材は正逆反転し
て取付け可能になっていることを特徴とする請求項8記
載のレーザードップラー速度計。 - 【請求項11】 波長λのレーザー光を所定の入射角θ
で移動物体に入射させ、前記移動物体からの散乱光の周
波数偏移に基づいて、前記移動物体の移動速度の変化を
検出するレーザードップラー速度計において、前記レー
ザー光の波長λの変化に応じて前記入射角θが変化し、
sinθ/λをほぼ一定とする光学系を有し、この光学
系を、前記レーザー光を回折させて±n次(n=1,
2,3…)の回折光を形成する回折格子と焦点距離fが
等しい2枚のレンズとにより構成し、前記2枚レンズの
間隔を焦点距離fの2倍とし、前記回折格子と前記一方
のレンズとの間隔を前記焦点距離より小さく設定したこ
とを特徴とする請求項1乃至請求項10記載のいずれか
のレーザードップラー速度計。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05229430A JP3082533B2 (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | レーザードップラー速度計 |
US08/285,529 US5552879A (en) | 1993-08-23 | 1994-08-04 | Doppler velocimeter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05229430A JP3082533B2 (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | レーザードップラー速度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0755940A true JPH0755940A (ja) | 1995-03-03 |
JP3082533B2 JP3082533B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=16892109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05229430A Expired - Fee Related JP3082533B2 (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | レーザードップラー速度計 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5552879A (ja) |
JP (1) | JP3082533B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019011999A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 株式会社小野測器 | レーザドップラ速度計のアダプタ、及び、レーザドップラ速度計システム |
JP2019184538A (ja) * | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 株式会社小野測器 | アダプタ、及び、レーザドップラ速度計システム |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3647135B2 (ja) * | 1996-04-15 | 2005-05-11 | キヤノン株式会社 | 光学式変位情報測定装置 |
US5883384A (en) * | 1996-04-16 | 1999-03-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotational displacement information detection apparatus |
JP2877119B2 (ja) * | 1996-12-26 | 1999-03-31 | 日本電気株式会社 | 移動体の速度測定装置 |
DE19829659C1 (de) * | 1998-07-02 | 1999-10-14 | Leica Geosystems Ag | Laser-Entfernungsmesser |
US6654102B1 (en) | 1998-09-28 | 2003-11-25 | California Institute Of Technology | Miniature optical sensor |
JP2002066780A (ja) | 2000-08-30 | 2002-03-05 | Canon Inc | レーザ加工装置 |
EP1520181B1 (en) * | 2002-07-05 | 2005-11-09 | Kamstrup A/S | Laser doppler anemometry with diffractive optical elements |
US7126586B2 (en) * | 2004-09-17 | 2006-10-24 | Microsoft Corporation | Data input devices and methods for detecting movement of a tracking surface by detecting laser doppler self-mixing effects of a frequency modulated laser light beam |
US7777866B1 (en) | 2006-07-25 | 2010-08-17 | Kyrazis Demos T | Fixed difference, dual beam laser Doppler velocimetry |
WO2008143989A2 (en) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Allview Research Llc | Motion measurement and synchronication using a scanning interferometer with gratings |
US7450222B1 (en) | 2007-07-02 | 2008-11-11 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Correlated-intensity velocimeter for arbitrary reflector |
US10294919B2 (en) | 2013-04-25 | 2019-05-21 | Demos T. Kyrazis | Predictive blade adjustment |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4632548A (en) * | 1985-01-18 | 1986-12-30 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Projection lens scanning laser velocimeter system |
US5216478A (en) * | 1989-03-31 | 1993-06-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Doppler velocity meter |
JP2911523B2 (ja) | 1990-02-16 | 1999-06-23 | キヤノン株式会社 | レーザードップラー速度計 |
JP2911516B2 (ja) | 1990-02-02 | 1999-06-23 | キヤノン株式会社 | レーザードップラー速度計 |
JP2924301B2 (ja) | 1990-05-21 | 1999-07-26 | キヤノン株式会社 | 速度計 |
JP2998172B2 (ja) | 1990-05-21 | 2000-01-11 | キヤノン株式会社 | ドップラー速度計 |
JP2801360B2 (ja) * | 1990-05-21 | 1998-09-21 | キヤノン株式会社 | ドツプラ速度計 |
JP2990891B2 (ja) | 1990-09-21 | 1999-12-13 | キヤノン株式会社 | 変位情報検出装置及び速度計 |
US5272512A (en) * | 1990-09-21 | 1993-12-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information detection apparatus |
JP2962819B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1999-10-12 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置 |
-
1993
- 1993-08-23 JP JP05229430A patent/JP3082533B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-08-04 US US08/285,529 patent/US5552879A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019011999A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 株式会社小野測器 | レーザドップラ速度計のアダプタ、及び、レーザドップラ速度計システム |
JP2019184538A (ja) * | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 株式会社小野測器 | アダプタ、及び、レーザドップラ速度計システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3082533B2 (ja) | 2000-08-28 |
US5552879A (en) | 1996-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0632292B1 (en) | Velocimeter and position information detection apparatus | |
US4970388A (en) | Encoder with diffraction grating and multiply diffracted light | |
JPH0755940A (ja) | レーザードップラー速度計 | |
JP2779102B2 (ja) | 多重波長干渉計装置 | |
US7209291B2 (en) | Optical displacement sensor | |
JPH05322911A (ja) | ドップラー速度計及び変位情報検出装置 | |
JPH06300520A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JPH02231525A (ja) | エンコーダー | |
JPH01284715A (ja) | エンコーダー | |
JP3548275B2 (ja) | 変位情報測定装置 | |
US6859267B2 (en) | Laser doppler anemometry with diffractive optical elements | |
JPH046884B2 (ja) | ||
JPH02262064A (ja) | レーザードップラー速度計 | |
JPS59163517A (ja) | 光学式スケ−ル読取装置 | |
JPH04230885A (ja) | 速度計 | |
JPH0425791A (ja) | ドップラー速度計 | |
JP3397429B2 (ja) | 速度計及び変位情報測定装置 | |
JP3044865B2 (ja) | 変位情報検出装置及び速度計 | |
JPH07229913A (ja) | 速度計 | |
US5256885A (en) | Doppler velocimeter having a diffraction grating and dual lens groups with identical focal distances | |
EP0458274B1 (en) | Apparatus and method for detecting an information of the displacement of an object. | |
JP2990891B2 (ja) | 変位情報検出装置及び速度計 | |
JPH07325096A (ja) | 速度計及び位置情報検出装置 | |
JPH03229155A (ja) | レーザードップラー速度計 | |
JPH0425787A (ja) | ドップラー速度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070630 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080630 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080630 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100630 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110630 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120630 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120630 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130630 Year of fee payment: 13 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |