JPH0755892A - Ic testing device - Google Patents
Ic testing deviceInfo
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- JPH0755892A JPH0755892A JP5207428A JP20742893A JPH0755892A JP H0755892 A JPH0755892 A JP H0755892A JP 5207428 A JP5207428 A JP 5207428A JP 20742893 A JP20742893 A JP 20742893A JP H0755892 A JPH0755892 A JP H0755892A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、被試験対象の試験を精
度よく行えるＩＣ試験装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC tester capable of accurately testing a test object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＩＣ試験装置は、アナログ信号処理部を
有する被試験対象（以下ＤＵＴと略す）のＩＣを試験す
るためにアナログ信号を加えたり、ＤＵＴから出力され
るアナログ信号の測定を行いＤＵＴの機能試験を行う。
そして、ＤＵＴに出力するアナログ信号が高周波になる
と、通過する電子素子および伝送路長などによりアナロ
グ信号の減衰量が問題となる。すなわち、信号発生器か
らアナログ信号を発生し、ＤＵＴに所望のアナログ信号
を加えたつもりであっても、そのＤＵＴに至るまでの伝
送路長や電子素子により減衰するので、実際にＤＵＴに
加えられるアナログ信号は減衰してしまう。同様に、Ｄ
ＵＴからアナログ信号が出力されたとしても、アナログ
信号を測定する測定器までに信号が減衰してしまう。そ
のため、ＤＵＴが良品のものでも、アナログ信号の減衰
により、ＤＵＴから正常な信号が出力されず、誤って不
良品と判断されてしまう。従って、アナログ信号の振幅
を調整する必要がある。2. Description of the Related Art An IC test apparatus adds an analog signal to test an IC of a device under test (hereinafter abbreviated as DUT) having an analog signal processing section and measures an analog signal output from the DUT. Perform functional test of.
When the analog signal output to the DUT has a high frequency, the amount of attenuation of the analog signal becomes a problem due to the passing electronic elements and the transmission path length. That is, even if an analog signal is generated from a signal generator and a desired analog signal is intended to be added to the DUT, it is actually added to the DUT because it is attenuated by the transmission path length up to the DUT and electronic elements. The analog signal will be attenuated. Similarly, D
Even if the analog signal is output from the UT, the signal is attenuated by the measuring instrument that measures the analog signal. Therefore, even if the DUT is a good product, a normal signal is not output from the DUT due to the attenuation of the analog signal, and the product is erroneously determined as a defective product. Therefore, it is necessary to adjust the amplitude of the analog signal.
【０００３】ＩＣ試験装置の構成図を図３に示す。図に
おいて、１は本体で、装置の制御を行う制御部や計測モ
ジュール２などを有する。計測モジュール２は、アナロ
グ信号を出力する信号発生器やアナログ信号を測定する
測定器などである。３はテストヘッドで、本体１に接続
される。４はパフォーマンスボードで、テストヘッド３
のスプリングコンタクトピン５に接続し、テストヘッド
３とＤＵＴ６を接続する。そして、測定モジュール２は
同軸ケーブル７を介してテストヘッド３内の同軸ケーブ
ル８に接続される。また、同軸ケーブル８はスプリング
コンタクトピン５に接続されている。A block diagram of an IC test apparatus is shown in FIG. In the figure, reference numeral 1 denotes a main body, which has a control unit for controlling the apparatus, a measurement module 2, and the like. The measurement module 2 is a signal generator that outputs an analog signal, a measuring instrument that measures an analog signal, or the like. A test head 3 is connected to the main body 1. 4 is a performance board, test head 3
Then, the test head 3 and the DUT 6 are connected. Then, the measurement module 2 is connected to the coaxial cable 8 in the test head 3 via the coaxial cable 7. The coaxial cable 8 is connected to the spring contact pin 5.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】通常、計測モジュール
２の校正は、同軸ケーブル７についてのみ校正を行う。
つまり、アナログ信号を発生する場合は、計測モジュー
ル２から同軸ケーブル７を介して出力される信号が、Ｄ
ＵＴ６の入力端に実際に出力したい信号になるように校
正する。また、アナログ信号を測定する場合は、同軸ケ
ーブル７を介して計測モジュール２に入力される信号が
同軸ケーブル８から同軸ケーブル７に入力された信号の
振幅レベルと測定結果が同じになるように校正を行う。
しかし、実際のＤＵＴ６の測定において、テストヘッド
３における同軸ケーブル８とスプリングコンタクトピン
５などの減衰分が誤差となってしまうという問題点があ
った。Normally, in the calibration of the measuring module 2, only the coaxial cable 7 is calibrated.
That is, when an analog signal is generated, the signal output from the measurement module 2 via the coaxial cable 7 is D
Calibrate so that the signal actually output to the input end of UT6 is obtained. When measuring an analog signal, calibration is performed so that the signal input to the measurement module 2 via the coaxial cable 7 has the same amplitude level as the signal input from the coaxial cable 8 to the coaxial cable 7 and the measurement result. I do.
However, in the actual measurement of the DUT 6, there is a problem that the attenuation amount of the coaxial cable 8 and the spring contact pin 5 in the test head 3 causes an error.
【０００５】本発明の目的は、テストヘッドにおけるア
ナログ信号の減衰量を把握することにより、被試験対象
の試験を精度よく行えるＩＣ試験装置を実現することに
ある。An object of the present invention is to realize an IC test apparatus which can accurately test a test object by grasping the amount of analog signal attenuation in the test head.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、被試験対象に
対してアナログ信号をテストヘッドを介して入力あるい
は出力を行い、被試験対象の試験を行うＩＣ試験装置に
おいて、前記テストヘッドにおけるアナログ信号の減衰
量を扱う周波数ごとに記憶する記憶部と、この記憶部の
減衰量に基づいて、アナログ信号の振幅を扱う周波数に
応じて調整する制御部と、を具備したことを特徴とする
ものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an IC test apparatus for inputting or outputting an analog signal to an object to be tested through a test head to test the object to be tested. It is characterized by comprising: a storage unit that stores the signal attenuation amount for each frequency; and a control unit that adjusts the amplitude of the analog signal based on the attenuation amount of the storage unit according to the frequency. Is.
【０００７】[0007]
【作用】このような本発明では、制御部が記憶部のテス
トヘッドによる減衰量に基づいて、アナログ信号の振幅
の補正を行う。In the present invention as described above, the control unit corrects the amplitude of the analog signal based on the amount of attenuation by the test head of the storage unit.
【０００８】[0008]
【実施例】以下図面を用いて本発明を説明する。図１は
本発明の一実施例を示した構成図である。図において、
９はテストシステムコントローラ（以下ＴＳＣと略す）
で、装置の制御全体を司る。１０，１１はＴＳＣ９に接
続されたモジュールコントローラ（以下ＭＣと略す）
で、計測モジュールの制御を司る。１２は計測モジュー
ルである信号発生器で、ＭＣ１０に制御されアナログ信
号を発生する。１３は計測モジュールである信号測定器
で、ＭＣ１１に制御されアナログ信号の測定を行う。１
４，１５は同軸ケーブルで、それぞれ信号発生器１２，
信号測定器１３に接続される。１６はテストヘッドで、
信号発生器１２あるいは信号測定器１３がそれぞれ同軸
ケーブル１４，１５を介して接続される。また、テスト
ヘッド１６はＴＳＣ９が接続されている。１７はコネク
タ１８を有する計測ボードで、テストヘッド１６の減衰
量を計測するときにテストヘッド１６に接続する。１９
はパフォーマンスボードで、ＤＵＴ２０の試験を行うと
きにテストヘッド１６に接続する。２１はメモリで、信
号測定器１３の測定結果を格納する。The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure,
9 is a test system controller (hereinafter abbreviated as TSC)
Then, it controls the entire device. 10 and 11 are module controllers connected to the TSC 9 (hereinafter abbreviated as MC)
Controls the measurement module. A signal generator 12 is a measurement module and is controlled by the MC 10 to generate an analog signal. Reference numeral 13 is a signal measuring device which is a measuring module and is controlled by the MC 11 to measure an analog signal. 1
4, 15 are coaxial cables, which are signal generators 12,
It is connected to the signal measuring device 13. 16 is a test head,
The signal generator 12 or the signal measuring device 13 is connected via coaxial cables 14 and 15, respectively. The test head 16 is connected to the TSC 9. Reference numeral 17 denotes a measurement board having a connector 18, which is connected to the test head 16 when measuring the attenuation amount of the test head 16. 19
Is a performance board, which is connected to the test head 16 when the DUT 20 is tested. Reference numeral 21 denotes a memory, which stores the measurement result of the signal measuring device 13.
【０００９】テストヘッド１６において、２２はテスト
ヘッド１６のパネルで、同軸ケーブルを接続するコネク
タ２３，２４が設けられている。コネクタ２３とコネク
タ２４は、互いに接続されている。２５は同軸ケーブル
で、コネクタ２４と接続し、スプリングコンタクトピン
２６と接続する。そして、スプリングコンタクトピン２
６が計測ボード１７あるいはパフォーマンスボード１９
に接続する。２７は記憶部であるメモリで、テストヘッ
ド１６の減衰量、つまり、同軸ケーブル２５とスプリン
グコンタクトピン２６におけるアナログ信号の減衰量を
扱う周波数ごとに記憶する。ここで、メモリ２７の減衰
量に基づいて、アナログ信号の振幅を扱う周波数に応じ
て調整する制御部はＴＳＣ９，ＭＣ１０，１１である。
また、コネクタ１８，２３，２４およびパネル２２で
は、信号は減衰しないものと仮定して説明する。In the test head 16, a panel 22 of the test head 16 is provided with connectors 23 and 24 for connecting coaxial cables. The connector 23 and the connector 24 are connected to each other. A coaxial cable 25 is connected to the connector 24 and to the spring contact pin 26. And the spring contact pin 2
6 is a measurement board 17 or a performance board 19
Connect to. Reference numeral 27 denotes a memory which is a storage unit and stores the attenuation amount of the test head 16, that is, the attenuation amount of the analog signal in the coaxial cable 25 and the spring contact pin 26 for each frequency. Here, the control units for adjusting the amplitude of the analog signal based on the attenuation amount of the memory 27 in accordance with the frequency are TSC 9, MC 10, and 11.
Further, it is assumed that signals are not attenuated in the connectors 18, 23, 24 and the panel 22.
【００１０】このような装置の動作を以下で説明する。
まず、テストヘッド１６の減衰量を求める動作を示す。
始めに、同軸ケーブル１４をコネクタ２３に接続し、同
軸ケーブル１５をコネクタ２４に接続する。そして、Ｔ
ＳＣ９は、ＭＣ１０を介して信号発生器１２に一定周期
の正弦波を出力させる。また、ＴＳＣ９は、ＭＣ１１を
介して信号測定器１３に同軸ケーブル１４，コネクタ２
３，２４，同軸ケーブル１５と通過した信号発生器１２
からの信号を測定する。ＴＳＣ９は、信号測定器１３の
測定結果を基に減衰量を求めメモリ２１に格納する。そ
して、ＴＳＣ９は異なる周波数の正弦波について上記の
動作を行い、減衰量を求めメモリ２１に各周波数ごとに
対応する減衰量を格納する。The operation of such a device will be described below.
First, the operation of obtaining the attenuation amount of the test head 16 will be described.
First, the coaxial cable 14 is connected to the connector 23, and the coaxial cable 15 is connected to the connector 24. And T
The SC 9 causes the signal generator 12 to output a sine wave having a constant period via the MC 10. Further, the TSC 9 connects the signal measuring instrument 13 to the coaxial cable 14 and the connector 2 via the MC 11.
3, 24, coaxial cable 15 and signal generator 12 passing through
Measure the signal from. The TSC 9 calculates the attenuation amount based on the measurement result of the signal measuring device 13 and stores it in the memory 21. Then, the TSC 9 performs the above-mentioned operation for sinusoidal waves of different frequencies, obtains the attenuation amount, and stores the attenuation amount corresponding to each frequency in the memory 21.
【００１１】次に、テストヘッド１６に計測ボード１７
を接続する。そして、同軸ケーブル２５をコネクタ２４
に接続し、計測ボード１７のコネクタ１８に同軸ケーブ
ル１５を接続する。そして、ＴＳＣ９は、ＭＣ１０を介
して信号発生器１２に一定周期の正弦波を出力させる。
また、ＴＳＣ９は、ＭＣ１１を介して信号測定器１３に
同軸ケーブル１４，コネクタ２３，２４，同軸ケーブル
２５，スプリングコンタクトピン２６，コネクタ１８，
同軸ケーブル１５と通過した信号発生器１２からの信号
を測定する。ＴＳＣ９は、信号測定器１３の測定結果を
基に減衰量を求めメモリ２１に格納する。そして、ＴＳ
Ｃ９は異なる周波数の正弦波について上記の動作を行
い、減衰量を求めメモリ２１に各周波数ごとに対応する
減衰量を格納する。Next, the test head 16 and the measurement board 17 are attached.
Connect. Then, the coaxial cable 25 is connected to the connector 24
Then, the coaxial cable 15 is connected to the connector 18 of the measurement board 17. Then, the TSC 9 causes the signal generator 12 to output a sine wave having a constant period via the MC 10.
In addition, the TSC 9 connects the coaxial cable 14, the connectors 23 and 24, the coaxial cable 25, the spring contact pin 26, the connector 18, to the signal measuring device 13 via the MC 11.
The signals from the coaxial cable 15 and the passed signal generator 12 are measured. The TSC 9 calculates the attenuation amount based on the measurement result of the signal measuring device 13 and stores it in the memory 21. And TS
The C9 performs the above-mentioned operation for sine waves of different frequencies, calculates the attenuation amount, and stores the attenuation amount corresponding to each frequency in the memory 21.
【００１２】同軸ケーブル１５をコネクタ２４に接続し
た場合の減衰量と、同軸ケーブル１５をコネクタ１８に
接続した場合の減衰量とにより、ＴＳＣ９はテストヘッ
ド１６の減衰量を求めテストヘッド１６内のメモリ２７
に格納する。The TSC 9 calculates the attenuation amount of the test head 16 based on the attenuation amount when the coaxial cable 15 is connected to the connector 24 and the attenuation amount when the coaxial cable 15 is connected to the connector 18, and the memory in the test head 16 is obtained. 27
To store.
【００１３】次にテストヘッド１６の減衰量の求め方を
具体例をあげて説明する。図２は図１の装置のメモリ２
１，２７に格納されるデータ例を示す図である。図にお
いて、周波数は信号発生器１２が出力する正弦波の周波
数、同軸ケーブル１４の減衰量と装置の減衰量とは、メ
モリ２１に格納されるデータである。そして、テストヘ
ッド１６の減衰量はテストヘッド１６のメモリ２７に格
納されるデータである。例えば、信号発生器１２が発生
する正弦波の周波数が１０ＭＨｚのときについて説明す
る。このとき、同軸ケーブル１５をコネクタ２４に接続
した場合、つまり、同軸ケーブル１４の減衰量は−０．
６ｄＢｍである。そして、同軸ケーブル１５をコネクタ
１８に接続した場合、つまり、装置の減衰量は−１．６
ｄＢｍである。このデータをメモリ２１から上記のデー
タを取り出して、ＴＳＣ９はテストヘッド１６の減衰量
を求める。テストヘッド１６の減衰量は、（装置の減衰
量）−（同軸ケーブル１４の減衰量）である。つまり、
テストヘッド１６の減衰量は、−１．６−（−０．６）
＝−１．０ｄＢｍとなる。これをテストヘッド１６内の
メモリ２７に格納する。Next, how to obtain the attenuation amount of the test head 16 will be described with reference to a concrete example. FIG. 2 shows the memory 2 of the device of FIG.
It is a figure which shows the data example stored in 1 and 27. In the figure, the frequency is the frequency of the sine wave output from the signal generator 12, and the attenuation amount of the coaxial cable 14 and the attenuation amount of the device are data stored in the memory 21. The attenuation amount of the test head 16 is the data stored in the memory 27 of the test head 16. For example, the case where the frequency of the sine wave generated by the signal generator 12 is 10 MHz will be described. At this time, when the coaxial cable 15 is connected to the connector 24, that is, the attenuation amount of the coaxial cable 14 is −0.
It is 6 dBm. When the coaxial cable 15 is connected to the connector 18, that is, the attenuation amount of the device is -1.6.
dBm. This data is retrieved from the memory 21 and the TSC 9 obtains the attenuation amount of the test head 16. The attenuation amount of the test head 16 is (attenuation amount of device)-(attenuation amount of coaxial cable 14). That is,
The attenuation of the test head 16 is -1.6-(-0.6)
= -1.0 dBm. This is stored in the memory 27 in the test head 16.
【００１４】ＤＵＴ２０の試験を行う動作を以下で説明
する。計測ボード１７を取り外して、パフォーマンスボ
ード１９をテストヘッド１６に接続する。ＴＳＣ９はＤ
ＵＴ２０に与える信号の周波数に対応する減衰量をメモ
リ２７から取り出して、信号の補正値を求める。そし
て、ＭＣ１０を介して信号発生器１２に補正したアナロ
グ信号を出力させる。すなわち、１０ＭＨｚで、−５ｄ
Ｂｍの振幅のアナログ信号をＤＵＴ２０に与える場合
は、（ＤＵＴ２０に与える振幅）−（テストヘッド１６
の減衰量）であるので、−５−（−１．０）＝−４ｄＢ
ｍとなる。このレベルでＴＳＣ９はＭＣ１０を介して信
号発生器１２にアナログ信号を出力させる。そして、テ
ストヘッド１６でアナログ信号は減衰して−５ｄＢｍの
信号がＤＵＴ２０の入力端に入力される。The operation of testing the DUT 20 is described below. The measurement board 17 is removed and the performance board 19 is connected to the test head 16. TSC9 is D
The amount of attenuation corresponding to the frequency of the signal given to the UT 20 is retrieved from the memory 27, and the correction value of the signal is obtained. Then, the corrected analog signal is output to the signal generator 12 via the MC 10. That is, at 10 MHz, -5d
When an analog signal having an amplitude of Bm is given to the DUT 20, (amplitude given to the DUT 20)-(test head 16
Attenuation amount), so that -5 − (− 1.0) = − 4 dB
m. At this level, the TSC 9 causes the signal generator 12 to output an analog signal via the MC 10. Then, the analog signal is attenuated by the test head 16 and a signal of -5 dBm is input to the input end of the DUT 20.
【００１５】また、ＤＵＴ２０から出力されるアナログ
信号の測定は、ＴＳＣ９がＤＵＴ２０から出力される周
波数の減衰量をメモリ２７から取り出す。そして、ＴＳ
Ｃ９は、信号測定器１３がＤＵＴ２０からの信号を測定
した結果に対して減衰量の補正を行う。Further, in the measurement of the analog signal output from the DUT 20, the TSC 9 extracts the attenuation amount of the frequency output from the DUT 20 from the memory 27. And TS
C9 corrects the attenuation amount with respect to the result of measuring the signal from the DUT 20 by the signal measuring device 13.
【００１６】このように、テストヘッド１６内のメモリ
２７より、アナログ信号の周波数に対応するテストヘッ
ド１６の減衰量を取り出して、アナログ信号の補正を行
うので、精度のよい試験が行える。As described above, since the attenuation amount of the test head 16 corresponding to the frequency of the analog signal is retrieved from the memory 27 in the test head 16 and the analog signal is corrected, an accurate test can be performed.
【００１７】[0017]
【発明の効果】本発明によれば、テストヘッドの減衰量
を扱う周波数ごとに記憶する記憶部を設けたので、アナ
ログ信号の補正が行え、精度のよい試験が行えるという
効果がある。As described above, according to the present invention, since the storage section for storing the attenuation amount of the test head for each frequency is provided, the analog signal can be corrected and the test can be performed with high accuracy.
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１の装置のメモリ２１，２７に格納されるデ
ータ例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of data stored in memories 21 and 27 of the apparatus shown in FIG.
【図３】ＩＣ試験装置の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of an IC test apparatus.
９ ＴＳＣ １０，１１ ＭＣ １６ テストヘッド ２０ ＤＵＴ ２７ メモリ 9 TSC 10,11 MC 16 test head 20 DUT 27 memory
Claims (1)
トヘッドを介して入力あるいは出力を行い、被試験対象
の試験を行うＩＣ試験装置において、 前記テストヘッドにおけるアナログ信号の減衰量を扱う
周波数ごとに記憶する記憶部と、 この記憶部の減衰量に基づいて、アナログ信号の振幅を
扱う周波数に応じて調整する制御部と、を具備したこと
を特徴とするＩＣ試験装置。1. An IC test apparatus for inputting or outputting an analog signal to a device under test via a test head to perform a test of the device under test, for each frequency that handles an attenuation amount of the analog signal in the test head. An IC test apparatus comprising: a storage unit that stores the data in a memory; and a control unit that adjusts the amplitude of the analog signal based on the attenuation amount of the storage unit according to the frequency.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20742893A JP3159347B2 (en) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | IC test equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20742893A JP3159347B2 (en) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | IC test equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755892A true JPH0755892A (en) | 1995-03-03 |
| JP3159347B2 JP3159347B2 (en) | 2001-04-23 |
Family
ID=16539597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20742893A Expired - Fee Related JP3159347B2 (en) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | IC test equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3159347B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004301562A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Nec Corp | Active load pull measuring method and active load pull measuring circuit |
-
1993
- 1993-08-23 JP JP20742893A patent/JP3159347B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004301562A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Nec Corp | Active load pull measuring method and active load pull measuring circuit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3159347B2 (en) | 2001-04-23 |
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