JPH0755408A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
- Publication number
- JPH0755408A JPH0755408A JP6111444A JP11144494A JPH0755408A JP H0755408 A JPH0755408 A JP H0755408A JP 6111444 A JP6111444 A JP 6111444A JP 11144494 A JP11144494 A JP 11144494A JP H0755408 A JPH0755408 A JP H0755408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring
- measuring device
- scale
- sensor
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
盛板の測定目盛を走査ユニットで磁気抵抗素子を用いて
走査し、目盛板に沿って相対運動する二つの物体の相対
位置を測定する位置測定装置にあって、出力信号の振幅
を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で発
生させることにある。 【構成】 走査ユニットがこの走査ユニットと測定目盛
の間の間隔dを測定する磁気抵抗素子41を有するセン
サ3を保有し、センサ3の出力端に測定目盛によって変
調されない測定信号Sd が出力し、測定信号の振幅は走
査ユニットと測定目盛の間の間隔dに依存する。
Description
信号を形成する磁気抵抗素子を用いて走査ユニットによ
り目盛板の測定目盛を走査し、目盛板に沿って相対運動
する二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置に関
する。
で加工すべき加工品に対する工具の相対位置を測定する
ために使用される。
相対的に移動する物体の相対位置を測定する磁気位置測
定装置が開示されている。この装置では、走査装置の周
期的な測定目盛がそれぞれ4つの磁気抵抗素子から成る
二つのグループにより原点対称な出力信号を発生させる
ために走査される。位相角 0°と 180°の出力信号を有
する二つのグループの4つの磁気抵抗素子は直列回路に
して第一分割ブリッジ回路に、また位相角 90°と 270
°の出力信号を有する二つのグループの磁気抵抗素子は
直列回路にして第二分割ブリッジ回路に結線されてい
る。両方の分割ブリッジ回路の中間タップには、後続す
る評価装置で位置測定値を得るため 90°相対位相差を
有する二つの原点対称な出力信号が出力する。
幅が測定目盛と走査ユニットの間の距離に強く依存す
る。振幅が変化すると、後で行われる出力信号の補間を
困難にする。
頭に述べた種類の位置測定装置にあって、出力信号の振
幅を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で
発生させることにある。
により、冒頭に述べた種類の位置測定装置にあって、走
査ユニット2と測定目盛1の間の間隔dを測定する磁気
抵抗素子41を備えたセンサ3が走査ユニット2に設け
てあり、センサ3の出力端に測定目盛1で変調されてい
ない測定信号Sd を出力し、この測定信号の振幅が走査
ユニット2と測定目盛1の間の間隔dに依存することに
よって解決されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
の発明をより詳しく説明する。図1には測長装置が模式
的に示してある。この装置では磁気材料の目盛板の測定
目盛1が多数の磁気抵抗素子21,22,23,24を
有する走査ユニット2で走査される。測定目盛1は測定
方向Xに連続する逆極の磁気領域NとSで構成されてい
る。この磁気領域の境界には二つのN極NNあるいはS
極SSが隣接する。測定目盛1はN極とS極の間の極間
隔で規定される目盛周期tを有する。
ため、測定目盛1はパーマロイで構成される磁気抵抗素
子21,22,23,24でX方向に走査される。これ
等の磁気抵抗素子21,22,23,24の電気抵抗は
測定目盛1の磁場強度に依存する。抵抗の変化は約 2%
である。比較的小さい抵抗変化と温度による抵抗変化に
よる信号のドリフトを補償するため、多くの素子21,
22,23,24がホィーストン・ブリッジにして接続
されている。対向する素子21,24あるいは22,2
3はそれぞれ半目盛周期tあるいは 180°の位相差を有
する。この回路を図2に示す。
るいは案内部に固定されているか、またはそこに直接取
り付けてある。走査ユニット2は測定目盛1に対してX
方向に移動する移動台の上にある。これ等の両方の物体
が相対移動する時、走査ユニット2は測定目盛1あるい
は測定目盛1のホルダー上を摺動する。それにもかかわ
らず、これ等の摺動部材の磨耗や、他の影響により、実
際には測定目盛1と走査ユニット2の間の間隔dは変わ
る。Z方向の間隔の変化は、測定目盛1をX方向に走査
する場合、磁気抵抗素子21,22,23,24の抵抗
変化の減少あるいは増大の原因にもなる。この間隔変化
は、位置に依存する出力信号S1 の信号振幅の変化の原
因ともなる。信号振幅のこの変化を図3に示す。図3a
の走査信号S1 の信号変化は最適な一定間隔dで生じ
る。この間隔dが大きくなると、信号振幅が減少する。
これは図3bから読み取れる。
償された擾乱場に無関係なアナログ調整量が必要であ
る。これには、この発明により、出力端に測定目盛1に
よりできる限り変調されていない測定信号Sd を発生さ
せるセンサ3が提唱されている。そして、この測定信号
の信号振幅が走査ユニット2と測定目盛1の間の間隔d
に依存している。
る。この場合、センサ3は分圧回路で構成されている。
分圧回路の有効分岐路4には磁気抵抗素子41が配設さ
れている。この素子の抵抗は間隔dに依存して変わる。
分圧回路の補償分離路5は、抵抗値が間隔dに無関係な
抵抗51を有する。間隔に依存する測定信号Sd として
は有効分岐路4の電圧を使用する。
信号Sd を求めると、特に有利である。図5と図6に
は、これに対する実施例が示してある。有効分岐路4の
磁気抵抗素子411〜418が測定目盛1に対して配置
され、この測定目盛1を走査する。この装置は測定目盛
1によって得られた測定信号Sd ができる限り変調され
ないように選択される。これに対する回路を図6に示
す。補償分岐路5の抵抗も同じように磁気抵抗素子51
1,512である。これ等の素子は素子411〜418
のようにその感度軸をY軸方向に配置している。素子5
11,512は抵抗が間隔dに無関係であるように設計
される。これは、素子511,512を特に広く形成す
ることによって達成される。この実施例では、測定目盛
の目盛周期tは 200μm で、素子411〜418の諸元
は下記のようになる。つまり、 厚さ= 100 nm, 幅= 25 μm, 長さ= 1.5 mm 素子511,512の諸元は下記のようになる。つま
り、 厚さ= 100 nm, 幅= 200μm, 長さ= 3 mm この設計では、素子511,512が素子411〜41
8に比べてより高い感度を有するので、磁気飽和の動作
範囲にある。走査時に生じる間隔dを動作範囲と定義す
る。説明する実施例では、有効分岐路4の全抵抗が補償
分岐路5の全抵抗に等しい。素子411〜418および
511,512が同じ材料のパーマロイで作製されてい
るので、温度変化は測定信号Sd に影響を与えない。
ある。有効分岐路4の磁気抵抗素子411,412,4
13,414は測定目盛1のそれぞれ1目盛を走査する
ように配設されている。全ての素子411〜414は互
いに並列に接続されている。それ故、測定信号Sd は測
定目盛1で殆ど変調されない。補償分岐路5では、測定
目盛1を走査する場合、磁場が変化しても磁気抵抗素子
513,514,515の抵抗が変化しないように、素
子513,514,515が配設されている。磁気抵抗
素子513,514,515の長手軸は測定方向Xに、
つまり磁気に敏感でない方向に向けてある。
じないように、磁気抵抗素子を測定目盛から空間的に離
して配設する。例えば、有効分岐路の素子のホルダーの
裏側に配設する。増分位置測定系では、補償分岐路の磁
気抵抗素子を増分トラックと基準マークトラックの間に
配設する。多数のトラックを有する絶対位置測定系でも
同じように二つのトラックの間に配置することができ
る。補償分岐路の磁気抵抗素子は磁気的にも隔離されて
いるので、磁場が作用しない。
16が測定目盛1に対してでなく、基準マーク6に対し
て配設されていて、この基準マーク6を走査する有利な
実施例が示してある。補償分岐路5には、多数の磁気抵
抗素子516が測定方向Xに間隔を開けて隣合わせに配
設され、互いに並列に接続されている。基準マーク61
を通過する場合、基準マーク61の磁場強度が少数の素
子516にのみ作用し、そこで抵抗の変化を与える。4
つの素子516を並列接続することにより、この抵抗変
化が補償分岐路5の全抵抗に影響を与えない。見通しを
良くするため、図8に補償分岐路5の一つの素子516
しか示しいない。
に対して図7の補償分岐路5の素子513,514,5
15の装置が配設されていて、この基準マークトラック
6を走査する。
6の代わりに、他の抵抗素子も採用できる。これ等の素
子は有効分岐路4の素子411〜418と同じ温度特性
であるが、磁気に感じない。材料としては、例えば銅が
適している。図9には、補償分離路5が高抵抗の導入導
線517,518で構成されているこの種の実施例が示
してある。これ等の導入導線517,518は素子41
1〜414と同じホルダーに装着されている。同じ温度
特性とは、温度変化がある場合、抵抗が同じように変化
することを意味する。
路4で一つまたはそれ以上の磁気抵抗素子411〜41
8を必要とする。それ等の素子411〜418は、磁気
抵抗素子21〜24に加えて、位置に依存する走査信号
を形成するために必要となる。この発明の他の構成によ
れば、センサ3の有効分岐路4に加えて、位置測定装置
の既存の磁気抵抗素子21〜24を使用できる。
が示してある。磁気抵抗素子411〜414が測定目盛
1を走査する。これ等の素子は全ブリッジに接続され、
出力端に正弦波状の走査信号S1 が出力する。この走査
信号の振幅は測定方向Xで測定目盛1に対する走査ユニ
ット2の位置を規定する。この種の装置は、既に図1と
図2に説明した。増分位置測定装置では、方向識別のた
め、90°位相のずれた走査信号S2 を使用する必要があ
る。これには、磁気抵抗素子415〜418の他の全ブ
リッジが使用される。この発明によれば、両方の全ブリ
ッジを電圧側で並列に接続し、センサが先の実施例で既
に説明した補償分岐路5と共に完成する。間隔に依存す
る測定信号Sd は両方の全ブリッジの並列回路から取り
出せる。特に良好で高調波を含まない測定信号Sd を得
るため、多数の全ブリッジを並列接続してもよい。その
場合、個々の全ブリッジは互いに位相のずれた、測定方
向Xに対して位置に依存する走査信号S1,S2 を発生す
る。
の可能性が図10に示してある。位置測定装置で生じた
位置に依存する正弦波状の走査信号S1 とS2 がセンサ
3の整流回路7に導入される。ここでも、測定信号Sd
は多数の走査信号S1,S2 を整流すると、特に高調波を
含まない。
る。測定目盛1に平行に、磁気補助トラック8が設けて
ある。このトラックの極方向は測定方向Xに垂直に移行
する。センサ3は再び一つまたはそれ以上の磁気抵抗素
子を有する有効分岐路4で構成されている。これ等の素
子は補助トラック8を走査して出力端に間隔に依存する
測定信号Sd が出力するように構成され配置されてい
る。ここでも、センサ3は測定目盛と補助トラックの磁
場に依存しない全抵抗を有する補償分岐路5によって完
全になる。補償分岐路5は既に説明した実施例のように
構成される。補償分岐路の素子は図示のように補助トラ
ック8と測定目盛1も走査する。
号Sd に変化を与えないと言う大きな利点がある。温度
変化による測定信号Sd の変化を甘受するなら、説明し
た装置の場合、補償分岐路を省き、有効分岐路に一定電
流を供給することができる。有効分岐路の電圧は間隔に
依存する測定信号Sd である。
3が走査ユニット2で位置測定装置の磁気抵抗素子2
1,22に対して配置されているかを示す。簡単に図示
するため、素子の二つ21,22のみを示す。センサ3
が位置P1 にあると、走査ユニット2が傾いた場合で
も、平均間隔dを与える正しい測定信号Sd が得られ
る。センサ3の有効分岐路の個々の磁気抵抗素子が一方
で位置P2 とP3 あるいはP2,P3 とP4,P5 に配置し
ても、同じように正しい測定信号Sd が得られる。有効
分岐路4の素子41の面重心が磁気抵抗素子21〜24
の面重心に一致すると、平均間隔dを規定する正しい測
定信号Sd が得られる。
置の走査信号S1,S2 の調整に特に有利に採用される。
これは、例えば(測定方向Xに関する)走査信号S1,S
2 の信号振幅を測定信号Sd に応じて増幅する増幅器を
介して行われるか、あるいは磁気抵抗素子21〜24の
給電電圧を可変して行われる。
2と測定目盛1との間の間隔dを測定信号Sd に応じて
可変することにある。これは、走査ユニットを駆動ユニ
ットに連結し、この駆動ユニットをZ方向に追従させて
行われる。駆動ユニットは、欧州特許第 0 242 492 A号
明細書で周知のように、コイル装置ないしは圧電素子で
ある。
測定目盛1の間の間隔を示す。このセンサを用いると、
X方向とZ方向の同時測定が可能となる二次元座標系も
提供できる。
測角装置に採用できる。
置測定装置で得られる利点は、特に簡単なセンサ装置に
より測定目盛で変調されない測定信号を発生させ、この
信号の信号振幅が走査ユニットと測定目盛の間の間隔に
依存する点にある。そして、この測定信号により、位置
測定装置の位置に依存する出力信号の信号振幅を簡単に
調節できる。
と (b)を示すグラフである。
である。
る。
である。
る。
サの配置図である。
る。
図である。
図である。
1〜515磁気抵抗素子 51 抵抗 61 基準マーク t 目盛周期 d 測定目盛と走査ユニットの間の間隔 P1 〜P5 センサの位置 S1,S2 位置に依存する走査信号 Sd 測定信号
Claims (17)
- 【請求項1】 位置に依存する走査信号(S1,S2 )を
形成する磁気抵抗素子(21〜24)を用いて走査ユニ
ット(2)により目盛板の測定目盛を走査し、目盛板に
沿って相対運動する二つの物体の相対位置を測定する位
置測定装置において、走査ユニット(2)と測定目盛
(1)の間の間隔(d)を測定する磁気抵抗素子(4
1)を備えたセンサ(3)が走査ユニット(2)に設け
てあり、センサ(3)の出力端に測定目盛(1)で変調
されていない測定信号(Sd )を出力し、この測定信号
の振幅が走査ユニット(2)と測定目盛(1)の間の間
隔(d)に依存することを特徴とする位置測定装置。 - 【請求項2】 測定目盛(1)で変調される磁気抵抗素
子(41)の走査信号(S1,S2 )の少なくとも一つを
整流回路(7)に導入し、間隔に依存する測定信号(S
d )が前記整流回路(7)の出力端に出力することを特
徴とする請求項1に記載の位置測定装置。 - 【請求項3】 センサ(3)の磁気抵抗素子(43)は
測定装置の磁気抵抗素子(21〜24)であり、これ等
の磁気抵抗素子は同時に目盛板に沿った位置を測定する
ために使用されることを特徴とする請求項1または2に
記載の位置測定装置。 - 【請求項4】 センサ(3)は分圧回路で構成され、抵
抗が走査ユニット(2)と測定目盛(1)の間の間隔
(d)に応じて変わる少なくとも一つの磁気抵抗素子
(41)を有効分岐路(4)に接続し、走査ユニット
(2)と測定目盛(1)の間の間隔(d)に無関係であ
る抵抗素子(51)を他の補償分岐路(5)の分圧回路
に設け、間隔に依存する測定信号として有効分岐路
(4)の電圧(Sd )が使用されることを特徴とする請
求項1〜3のいずれか1項に記載の位置測定装置。 - 【請求項5】 分圧器の有効分岐路(4)内の前記少な
くとも一つの磁気抵抗素子(41)は測定目盛(1)に
対向させて配設してあり、この測定目盛(1)を走査す
ることを特徴とする請求項4に記載の位置測定装置。 - 【請求項6】 測定目盛(1)の傍に磁気補助トラック
(8)を配設し、この補助トラックが分圧器の有効分岐
路(4)の少なくとも一つの磁気抵抗素子(41)で走
査されることを特徴とする請求項4に記載の位置測定装
置。 - 【請求項7】 補償分岐路(5)の磁気抵抗素子は磁気
抵抗素子(511〜516)であることを特徴とする請
求項4〜6のいずれか1項に記載の位置測定装置。 - 【請求項8】 補償分岐路(5)の磁気抵抗素子(51
1〜515)は測定目盛(1)に対向させて配設してあ
り、この測定目盛(1)を走査し、その場合、磁気抵抗
素子(511〜515)は測定目盛(1)に対する間隔
(d)に応じて抵抗が変化しないように、設計され配置
されていることを特徴とする請求項7に記載の位置測定
装置。 - 【請求項9】 補償分岐路(5)の磁気抵抗素子(51
1〜515)の長手軸は測定方向Xに向けて延びるよう
に配設されていることを特徴とする請求項8に記載の位
置測定装置。 - 【請求項10】 補償分岐路(5)の磁気抵抗素子(5
11,512)は大きな磁気感度を有し、磁気飽和の動
作範囲内にあることを特徴とする請求項8に記載の位置
測定装置。 - 【請求項11】 補償分岐路(5)の磁気抵抗素子(5
16)は測定目盛(1)とは空間的に離して配設されて
いるので、測定目盛(1)の磁場は磁気抵抗素子(51
6)に作用しないことを特徴とする請求項8に記載の位
置測定装置。 - 【請求項12】 補償分岐路(5)の多数の磁気抵抗素
子(516)は基準マーク(6)に対向させて配置して
あり、これ等の基準マークを走査することを特徴とする
請求項11に記載の位置測定装置。 - 【請求項13】 補償分岐路(5)の少なくとも一つの
抵抗素子(517,518)は有効分岐路(4)の少な
くとも一つの磁気抵抗素子(411〜414)と同じ温
度特性を有するが、磁場に感じない材料で構成されてい
ることを特徴とする請求項4に記載の位置測定装置。 - 【請求項14】 抵抗素子は電気接続導線(517,5
18)で形成されていることを特徴とする請求項13に
記載の位置測定装置。 - 【請求項15】 間隔(d)を検出するセンサ(3)は
目盛板に沿った位置を測定するために使用される磁気抵
抗素子(21〜24)の配置の面重心にあることを特徴
とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の位置測定
装置。 - 【請求項16】 センサ(3)の間隔に依存する出力信
号(Sd )は測定目盛(1)で変調され、位置に依存す
る走査信号(S1,S2 )の振幅を制御するために使用さ
れることを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に
記載の位置測定装置。 - 【請求項17】 センサ(3)の間隔に依存する出力信
号(Sd )は、走査ユニット(2)と測定目盛(1)の
間の間隔(d)を可変する駆動ユニットに導入されるこ
とを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の
位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4319322:6 | 1993-06-11 | ||
DE4319322A DE4319322C2 (de) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Positionsmeßeinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0755408A true JPH0755408A (ja) | 1995-03-03 |
JP2846814B2 JP2846814B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=6490088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6111444A Expired - Fee Related JP2846814B2 (ja) | 1993-06-11 | 1994-05-25 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5627466A (ja) |
EP (1) | EP0628789B1 (ja) |
JP (1) | JP2846814B2 (ja) |
AT (1) | ATE156587T1 (ja) |
DE (2) | DE4319322C2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100725753B1 (ko) * | 2006-09-06 | 2007-06-08 | 한국기초과학지원연구원 | 스핀소자를 이용한 진폭변조 소자 및 방법 |
JP2007155617A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Denso Corp | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 |
JP2012500406A (ja) * | 2008-08-15 | 2012-01-05 | イーテーカー ドクター カッセン ゲーエムベーハー | 位置決めシステム |
JP2013506118A (ja) * | 2009-09-24 | 2013-02-21 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 角度センサからの複数の信号を評価する方法 |
WO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
WO2015087726A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、磁気式エンコーダ装置、および磁気センサ |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4001989B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2007-10-31 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置の走査部材 |
DE19712622C5 (de) * | 1997-03-26 | 2010-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung und Verfahren zur automatischen Korrektur fehlerbehafteter Abtastsignale inkrementaler Positionsmeßeinrichtungen |
DE19800805B4 (de) * | 1998-01-12 | 2006-12-14 | Siemens Ag | Verfahren und Sensoranordnung zur Generierung eines Referenzsignals |
DE19912877A1 (de) | 1998-04-14 | 1999-10-21 | Hdt Industrieplanung Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle des Einbauluftspaltes eines aktiven Sensors |
SE513428C2 (sv) * | 1999-01-07 | 2000-09-11 | Forskarpatent I Uppsala Ab | Lägesgivare |
DE10032143C2 (de) | 1999-09-30 | 2002-07-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Ferraris-Sensor und Verfahren zum Betrieb eines Ferraris-Sensors |
ATE371167T1 (de) * | 2000-02-17 | 2007-09-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung und verfahren zu deren betrieb |
EP1195880B1 (de) * | 2000-10-04 | 2003-09-17 | Nti Ag | Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements |
DE10213941A1 (de) * | 2002-03-28 | 2003-10-30 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement und Gradiometeranordnung, deren Verwendung zum Messen von Magnetfeldgradienten und Verfahren hierzu |
DE10320990A1 (de) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Induktiver Drehwinkelsensor und damit ausgestatteter Drehgeber |
DE102005036161A1 (de) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Feldmodulierende Winkelmesseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb |
DE102005058597A1 (de) * | 2005-12-07 | 2007-06-28 | Sick Stegmann Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Justierung einer Positions- und/oder Geschwindigkeitsmesseinrichtung |
EP2138806A1 (de) | 2008-06-27 | 2009-12-30 | SICK STEGMANN GmbH | Positionsmessvorrichtung |
KR101427543B1 (ko) * | 2010-07-30 | 2014-08-07 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 자성체 검출 장치 |
US11506732B2 (en) * | 2010-10-20 | 2022-11-22 | Infineon Technologies Ag | XMR sensors with serial segment strip configurations |
WO2013153986A1 (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-17 | 三菱電機株式会社 | 磁気センサ装置 |
JP6464907B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-02-06 | Tdk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置の使用構造 |
JP6359710B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2018-07-18 | アナログ・デヴァイシズ・グローバル | 磁界検出器のためのオフセット補償 |
DE102018114913A1 (de) | 2018-06-21 | 2019-12-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Drehgeber mit einer entlang einer Längsachse verschiebbaren Sensoreinrichtung |
CN111300076B (zh) * | 2020-02-17 | 2021-08-17 | 湖北文理学院 | 一种可调整机床精度的机床导轨装置及调整方法 |
CN115077571A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-09-20 | 苏州纳芯微电子股份有限公司 | 运动数据检测装置及其传感器电路 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7309590A (nl) * | 1973-07-10 | 1975-01-14 | Philips Nv | Inrichting voor het sturen van de positie van een magneetkop ten opzichte van een te volgen informatiespoor. |
FR2472304A1 (fr) * | 1979-12-19 | 1981-06-26 | Cii Honeywell Bull | Procede pour commander le gain des circuits amplifiant les signaux delivres par une tete de lecture associee a un support d'informations et dispositif pour le mettre en oeuvre |
JPS6086412A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | Hitachi Ltd | 磁気検出装置 |
US4725776A (en) * | 1984-01-25 | 1988-02-16 | Matsushita Electric Industry Co., Ltd. | Magnetic position detector using a thin film magnetoresistor element inclined relative to a moving object |
JPS6145922A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-06 | Hitachi Ltd | 位置検出センサ |
DE3435867A1 (de) * | 1984-09-29 | 1986-04-10 | Bosch Gmbh Robert | Differentialsensor |
JPH0660824B2 (ja) * | 1985-08-14 | 1994-08-10 | 株式会社日立製作所 | 絶対位置検出装置 |
EP0242492B1 (en) * | 1985-12-28 | 1992-08-05 | Yamaha Corporation | An improved non-contact type pattern sensor |
JPH02271216A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Hitachi Metals Ltd | 磁気式エンコーダ |
DE4014885C2 (de) * | 1989-05-13 | 1995-07-13 | Aisan Ind | Drehwinkelaufnehmer |
DE3941473A1 (de) * | 1989-12-15 | 1991-06-20 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und vorrichtung zur ueberpruefung eines hall-sensorsystems |
US5079663A (en) * | 1990-01-29 | 1992-01-07 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor with track following capability |
JP3037380B2 (ja) * | 1990-08-30 | 2000-04-24 | 日立金属株式会社 | 磁気式エンコーダ |
JP3029657B2 (ja) * | 1990-09-28 | 2000-04-04 | カヤバ工業株式会社 | 位置検出装置 |
US5038130A (en) * | 1990-11-06 | 1991-08-06 | Santa Barbara Research Center | System for sensing changes in a magnetic field |
JP2924236B2 (ja) * | 1991-03-20 | 1999-07-26 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | 磁気センサおよび位置検出装置 |
US5351003A (en) * | 1993-04-02 | 1994-09-27 | General Motors Corporation | Temperature compensated magnetoresistive position sensor |
-
1993
- 1993-06-11 DE DE4319322A patent/DE4319322C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-25 JP JP6111444A patent/JP2846814B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-05-27 US US08/250,369 patent/US5627466A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-07 AT AT94108691T patent/ATE156587T1/de not_active IP Right Cessation
- 1994-06-07 EP EP94108691A patent/EP0628789B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-07 DE DE59403609T patent/DE59403609D1/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155617A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Denso Corp | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 |
JP4604992B2 (ja) * | 2005-12-07 | 2011-01-05 | 株式会社デンソー | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 |
KR100725753B1 (ko) * | 2006-09-06 | 2007-06-08 | 한국기초과학지원연구원 | 스핀소자를 이용한 진폭변조 소자 및 방법 |
JP2012500406A (ja) * | 2008-08-15 | 2012-01-05 | イーテーカー ドクター カッセン ゲーエムベーハー | 位置決めシステム |
JP2013506118A (ja) * | 2009-09-24 | 2013-02-21 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 角度センサからの複数の信号を評価する方法 |
US9080896B2 (en) | 2009-09-24 | 2015-07-14 | Continental Automotive Gmbh | Method for analyzing signals from an angle sensor |
WO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
WO2015087726A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、磁気式エンコーダ装置、および磁気センサ |
JPWO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2017-03-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4319322C2 (de) | 1998-04-23 |
EP0628789B1 (de) | 1997-08-06 |
JP2846814B2 (ja) | 1999-01-13 |
US5627466A (en) | 1997-05-06 |
ATE156587T1 (de) | 1997-08-15 |
DE4319322A1 (de) | 1994-12-15 |
EP0628789A1 (de) | 1994-12-14 |
DE59403609D1 (de) | 1997-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0755408A (ja) | 位置測定装置 | |
US4612502A (en) | Magnetic length or angle measuring system having improved magnetic sensor arrangement | |
JP2619593B2 (ja) | 位置測定装置 | |
US5804963A (en) | Inductive displacement sensor with a cursor and a movable coupling scale | |
CA1109538A (en) | Electronic coordinate position digitizing system | |
US6400138B1 (en) | Reduced offset high accuracy induced current absolute position transducer | |
US7847542B2 (en) | Magnetoresistive sensor for determining an angle or a position | |
US4944028A (en) | Non-contact type pattern sensor with variable clearance compensation | |
JP2819507B2 (ja) | 磁気的測定システム | |
US4589038A (en) | Position sensor | |
JPH0379648B2 (ja) | ||
US5955882A (en) | Magnetic position measuring device using a plurality of sensors and a scale | |
US5430374A (en) | Position measuring system using two groups of magnetoresistors spaced differently | |
EP1014041B1 (en) | Inductive position transducer having high accuracy and reduced offset | |
US6326782B1 (en) | Two dimensional magnetoresistive position sensor | |
US5821517A (en) | Magnetic encoder for reading marks on an associated magnetic track | |
JP3171998B2 (ja) | 絶対値測定目盛り装置 | |
US5841275A (en) | Magnetic measuring system having a particularly oriented auxiliary field | |
US6373242B1 (en) | GMR sensor with a varying number of GMR layers | |
US20220397590A1 (en) | Current Sensor Comprising a Magnetic Field Sensor in a V-Shaped Arrangement | |
US20070186432A1 (en) | Measuring device for linear position recording | |
JP3220278B2 (ja) | 位置検出装置 | |
US4273448A (en) | Measuring method and apparatus | |
JP2628338B2 (ja) | アブソリュート型エンコーダ | |
US6188217B1 (en) | Inductive measurement device for determining dimensions of objects |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980922 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071030 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081030 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081030 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091030 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |