JPH0754859B2 - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0754859B2 JPH0754859B2 JP999886A JP999886A JPH0754859B2 JP H0754859 B2 JPH0754859 B2 JP H0754859B2 JP 999886 A JP999886 A JP 999886A JP 999886 A JP999886 A JP 999886A JP H0754859 B2 JPH0754859 B2 JP H0754859B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- gas
- circulation path
- tube
- discharge tube
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はガスレーザ発振装置に係り、特に軸流形の装置
に関する。
に関する。
軸流形のガスレーザ発振装置は従来第２図に示すような
構成になっている。すなわち、二組の主放電電極が内部
に設けられているガス放電管（１）を有し、このガス放
電管（１）の両端には光共振器（2a），（2b）が気密に
取り付けられている。上記主放電電極は陽極（3a），
（3b）とこれらにそれぞれ対向して設けられている陰極
（4a），（4b）からなり、陰極（4a），（4b）側に安定
化抵抗（5a），（5b）を介して高圧直流電源（６）に接
続され、ガス放電管（１）の管軸方向に沿って放電動作
が行われるようになっている。また、上記ガス放電管
（１）にはコ字状の供給管（７）が光共振器（2a），
（2b）と陽極（3a），（3b）のそれぞれの間の管壁部分
にその両端を接続して閉ループを形成している。さら
に、ガスレーザ管（１）の陰極（4a），（4b）間に相当
する管壁部分と供給管（７）との間には環流管（８）が
接続されている。この環流管（８）には一対の熱交換器
（9a），（9b）とこれらの間に位置して送風機（10）が
接続されている。上記供給管（７）と環流管（８）とで
ガス放電管（１）を共用し、途中で２方向に分れた後合
流する循環路が形成されている。なお、ガスレーザ管
（１）に近い位置に接続された一方の熱交換器（9a）に
は排気装置としての真空ポンプ（11）が、また、他方の
熱交換器（9b）にはガスレーザ管（１）内にガスレーザ
媒質を供給するための供給装置（12）が接続されてい
る。
構成になっている。すなわち、二組の主放電電極が内部
に設けられているガス放電管（１）を有し、このガス放
電管（１）の両端には光共振器（2a），（2b）が気密に
取り付けられている。上記主放電電極は陽極（3a），
（3b）とこれらにそれぞれ対向して設けられている陰極
（4a），（4b）からなり、陰極（4a），（4b）側に安定
化抵抗（5a），（5b）を介して高圧直流電源（６）に接
続され、ガス放電管（１）の管軸方向に沿って放電動作
が行われるようになっている。また、上記ガス放電管
（１）にはコ字状の供給管（７）が光共振器（2a），
（2b）と陽極（3a），（3b）のそれぞれの間の管壁部分
にその両端を接続して閉ループを形成している。さら
に、ガスレーザ管（１）の陰極（4a），（4b）間に相当
する管壁部分と供給管（７）との間には環流管（８）が
接続されている。この環流管（８）には一対の熱交換器
（9a），（9b）とこれらの間に位置して送風機（10）が
接続されている。上記供給管（７）と環流管（８）とで
ガス放電管（１）を共用し、途中で２方向に分れた後合
流する循環路が形成されている。なお、ガスレーザ管
（１）に近い位置に接続された一方の熱交換器（9a）に
は排気装置としての真空ポンプ（11）が、また、他方の
熱交換器（9b）にはガスレーザ管（１）内にガスレーザ
媒質を供給するための供給装置（12）が接続されてい
る。
以上の構成によってレーザ発振を行わせる際は、必ず古
いガスレーザ媒質を真空ポンプ（11）により十分に排気
し、10-1Torr程度以下まで真空度を下げてからガスを注
入して用いる。また、ガスレーザ媒質ガスは数種類のガ
スを混合したものが用いられるが、たとえば連続発振時
をパルス発振時ではそれぞれに対する最適な混合ガスの
比率は異なるのが一般的であり、これらの発振形態を切
り換える際も真空ポンプにより排気してから新しいガス
レーザ媒質を満たすようにしている。ところが、真空ポ
ンプの能力および装置の容積等にもよるが、十分な真空
度まで排気させる際、10Torrくらいまでは数十秒で到達
するが、10-1Torrまでは10分程度かかり、装置の立ち上
げや発振形態の切り換えに要する時間は殆どこの時間に
費やされてしまいスピーディに行なえなかった。
いガスレーザ媒質を真空ポンプ（11）により十分に排気
し、10-1Torr程度以下まで真空度を下げてからガスを注
入して用いる。また、ガスレーザ媒質ガスは数種類のガ
スを混合したものが用いられるが、たとえば連続発振時
をパルス発振時ではそれぞれに対する最適な混合ガスの
比率は異なるのが一般的であり、これらの発振形態を切
り換える際も真空ポンプにより排気してから新しいガス
レーザ媒質を満たすようにしている。ところが、真空ポ
ンプの能力および装置の容積等にもよるが、十分な真空
度まで排気させる際、10Torrくらいまでは数十秒で到達
するが、10-1Torrまでは10分程度かかり、装置の立ち上
げや発振形態の切り換えに要する時間は殆どこの時間に
費やされてしまいスピーディに行なえなかった。
本発明は必要以上の排気能力をもつ装置を使うことな
く、排気速度を速め瞬敏な立ち上げ等を可能としたガス
レーザ発振装置を提供することを目的とする。
く、排気速度を速め瞬敏な立ち上げ等を可能としたガス
レーザ発振装置を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕 上記目的を達成するためにガスレーザ媒質を循環させる
送風機の後段に排気装置を設けた構成にし、送風機を排
気装置の補助手段と動作させるようにしたものである。
送風機の後段に排気装置を設けた構成にし、送風機を排
気装置の補助手段と動作させるようにしたものである。
以下、一実施例を示す第１図に基いて本発明を説明す
る。なお、第２図と共通する部分には同一符号を付し詳
細な説明は省略する。すなわち、第２図に示す従来構成
と異なる箇所はガス放電管（１）に近い側の一方の熱交
換器（9a）に供給装置（12）が接続され、他方の熱交換
器（9b）に真空ポンプ（11）が接続された点と、この他
方の熱交換器（9b）を経た環流管（８）の中途部にソレ
ノイドバルブ等からなる開閉弁（15）が接続された点に
ある。なお、上記の構成において、供給装置（12）は熱
交換器（9a）以外の箇所に接続してもよい。
る。なお、第２図と共通する部分には同一符号を付し詳
細な説明は省略する。すなわち、第２図に示す従来構成
と異なる箇所はガス放電管（１）に近い側の一方の熱交
換器（9a）に供給装置（12）が接続され、他方の熱交換
器（9b）に真空ポンプ（11）が接続された点と、この他
方の熱交換器（9b）を経た環流管（８）の中途部にソレ
ノイドバルブ等からなる開閉弁（15）が接続された点に
ある。なお、上記の構成において、供給装置（12）は熱
交換器（9a）以外の箇所に接続してもよい。
以上の構成において、たとえば発振形態を切り換える際
の排気操作について説明する。先ず、主放電電極への電
力供給を停止して放電を中断させるとともに送風機（1
0）の作動を停止した後、開閉弁（15）を開にした状態
で真空ポンプ（11）にて内部圧力が10Torr程度になるく
らいまで排気する。次に、開閉弁（15）を閉にし、送風
機（10）を作動させる。これにより送風機（10）は循環
作用を行わずメカニカルブースタポンプとして作用す
る。したがって、真空ポンプ（11）の排気作用が一段と
促進され、短時間にガス放電管（１）および供給管
（７）、環流管（８）の循環路を含んだ装置内を10-1To
rr以下の圧力にすることができるようになった。
の排気操作について説明する。先ず、主放電電極への電
力供給を停止して放電を中断させるとともに送風機（1
0）の作動を停止した後、開閉弁（15）を開にした状態
で真空ポンプ（11）にて内部圧力が10Torr程度になるく
らいまで排気する。次に、開閉弁（15）を閉にし、送風
機（10）を作動させる。これにより送風機（10）は循環
作用を行わずメカニカルブースタポンプとして作用す
る。したがって、真空ポンプ（11）の排気作用が一段と
促進され、短時間にガス放電管（１）および供給管
（７）、環流管（８）の循環路を含んだ装置内を10-1To
rr以下の圧力にすることができるようになった。
必要以上の排気能力をもつ排気装置を使うことなく短時
間に十分な排気ができるようになったため、装置の立ち
上げや発振形態の切り換えをスピーディに行えるように
なった。
間に十分な排気ができるようになったため、装置の立ち
上げや発振形態の切り換えをスピーディに行えるように
なった。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
例を示す構成図である。 （１）……ガス放電管、（2a），（2b）……光共振器 （７）……供給管（循環路）、（８）……環流管（循環
路） （10）……送風機、（11）……真空ポンプ（排気装置） （12）……供給装置、（15）……開閉弁
例を示す構成図である。 （１）……ガス放電管、（2a），（2b）……光共振器 （７）……供給管（循環路）、（８）……環流管（循環
路） （10）……送風機、（11）……真空ポンプ（排気装置） （12）……供給装置、（15）……開閉弁
Claims (4)
- 【請求項１】ガス放電管と、このガス放電管の両端側に
相対向して設けられた光共振器と、上記ガスレーザ管に
封入されたガスレーザ媒質と、上記ガスレーザ管に接続
されガスレーザ媒質の通路となる循環路と、この循環路
に接続し封入されたガスレーザ媒質を循環させる送風機
と、この送風機から出たガスレーザ媒質が通る循環路に
接続された開閉弁と、上記送風機を経て上記開閉弁に至
る間の循環路に接続された排気装置と、上記ガス放電管
内にガスレーザ媒質を供給する供給装置とを備えたこと
を特徴とするガスレーザ発振装置。 - 【請求項２】上記循環路はガスレーザ媒質を所定温度に
保つ手段が付加されていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。 - 【請求項３】ガス放電管は少なくとも一以上の主放電電
極を備えていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のガスレーザ発振装置。 - 【請求項４】ガス放電管内における放電方向とガスレー
ザ媒質の流れ方向が同方向になることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP999886A JPH0754859B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP999886A JPH0754859B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169485A JPS62169485A (ja) | 1987-07-25 |
| JPH0754859B2 true JPH0754859B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=11735509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP999886A Expired - Lifetime JPH0754859B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754859B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2645439B1 (fr) * | 1989-04-07 | 1991-06-21 | Oreal | Procede de preparation de capsules d'alginate(s) particulierement adaptees a un usage cosmetique, appareil pour sa mise en oeuvre et composition cosmetique contenant lesdites capsules |
| US5204111A (en) * | 1989-04-07 | 1993-04-20 | L'oreal | Process for the preparation of alginate capsules, apparatus for producing said capsules and cosmetic compositions containing said capsules |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP999886A patent/JPH0754859B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62169485A (ja) | 1987-07-25 |
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