JPH0754772A - クライオポンプの運転方法 - Google Patents
クライオポンプの運転方法Info
- Publication number
- JPH0754772A JPH0754772A JP19982993A JP19982993A JPH0754772A JP H0754772 A JPH0754772 A JP H0754772A JP 19982993 A JP19982993 A JP 19982993A JP 19982993 A JP19982993 A JP 19982993A JP H0754772 A JPH0754772 A JP H0754772A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- gas
- inert gas
- hydrogen
- exhaust duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は、クライオポンプの温度が再生時、
或いは運転時に上昇しても水素が爆発しないような安全
対策を立てた運転方法を行うことを目的とする。 【構成】 クライオポンプ１内の吸着フィン２に吸着し
た可燃ガス３が離脱する場合、可燃ガス３と希釈用の不
活性ガス４との混合気体５を形成する割合が、混合気体
５と空気との爆発限界外になるように、クライオポンプ
１内に不活性ガス４を導入するようにクライオポンプ１
を運転する。
或いは運転時に上昇しても水素が爆発しないような安全
対策を立てた運転方法を行うことを目的とする。 【構成】 クライオポンプ１内の吸着フィン２に吸着し
た可燃ガス３が離脱する場合、可燃ガス３と希釈用の不
活性ガス４との混合気体５を形成する割合が、混合気体
５と空気との爆発限界外になるように、クライオポンプ
１内に不活性ガス４を導入するようにクライオポンプ１
を運転する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンな高真空用ポ
ンプとして最近半導体工場で多く用いられるクライオポ
ンプとその安全対策に関する。
ンプとして最近半導体工場で多く用いられるクライオポ
ンプとその安全対策に関する。
【０００２】近年のクライオポンプは、ガスの吸着量の
増大が要求され、それに伴って半導体工場で用いられる
爆発性の高いガスの吸着量も比例して増大することとな
る。そのため、これらの爆発性ガスに対する安全対策を
早急に行う必要がある。
増大が要求され、それに伴って半導体工場で用いられる
爆発性の高いガスの吸着量も比例して増大することとな
る。そのため、これらの爆発性ガスに対する安全対策を
早急に行う必要がある。
【０００３】
【従来の技術】図７は従来例の説明図である。図におい
て、１はクライオポンプ、２は吸着フィン、３は可燃ガ
ス、４は不活性ガス、５は混合気体、９はリリーフ弁、
15は高真空処理装置である。
て、１はクライオポンプ、２は吸着フィン、３は可燃ガ
ス、４は不活性ガス、５は混合気体、９はリリーフ弁、
15は高真空処理装置である。
【０００４】図７にクライオポンプ１の作用説明図を示
す。クライオポンプ１の内部には多数の吸着フィン２が
層状に積み重ねられている。吸着フィン２はステンレス
等の金属板上に微細な多孔質の活性炭を接着材を用いて
厚く塗布してある。そして、活性炭は多孔質のために、
水素等の可燃ガス３を大量に吸着する。
す。クライオポンプ１の内部には多数の吸着フィン２が
層状に積み重ねられている。吸着フィン２はステンレス
等の金属板上に微細な多孔質の活性炭を接着材を用いて
厚く塗布してある。そして、活性炭は多孔質のために、
水素等の可燃ガス３を大量に吸着する。
【０００５】そして２週間から１ケ月程度使用して、水
素ガス等の吸着性が低下したら、再生処理として、吸着
板２の圧縮ヘリウムによる極低温での冷却を停止し、常
温にして、吸着していた可燃ガス３を離脱させる。場合
によっては常温以上に加熱した不活性ガス４を導入し
て、吸着していた可燃ガス３を全部追い出す。
素ガス等の吸着性が低下したら、再生処理として、吸着
板２の圧縮ヘリウムによる極低温での冷却を停止し、常
温にして、吸着していた可燃ガス３を離脱させる。場合
によっては常温以上に加熱した不活性ガス４を導入し
て、吸着していた可燃ガス３を全部追い出す。
【０００６】そのため、再生時には大量の水素等の可燃
ガス３が発生して、排気ダクト13内の空気中に含まれる
酸素と混合すると、水素が空気中に４〜７５％の割合に
なった時には水素と酸素が急激に反応して爆発を起こし
てしまう。
ガス３が発生して、排気ダクト13内の空気中に含まれる
酸素と混合すると、水素が空気中に４〜７５％の割合に
なった時には水素と酸素が急激に反応して爆発を起こし
てしまう。
【０００７】従来のクライオポンプ１においては、可燃
ガス３である水素の吸着能力が６リットル程度と低いた
め、再生等のためにクライオポンプ１内の吸着フィン２
の温度が上昇しても、離脱した水素が爆発するような事
は無かった。
ガス３である水素の吸着能力が６リットル程度と低いた
め、再生等のためにクライオポンプ１内の吸着フィン２
の温度が上昇しても、離脱した水素が爆発するような事
は無かった。
【０００８】ところが、近年のクライオポンプ１では、
半導体処理雰囲気の高真空化の要求に対処して、水素等
可燃ガス３の爆発性気体の吸着能力を大きくするため
に、吸着フィン２の吸着面積を大きくしたり、吸着剤と
して用いる活性炭の付着量を多くしたり、活性炭を微粉
化して吸着炭そのものの吸着能力を向上する等の改善策
を講じてきた。
半導体処理雰囲気の高真空化の要求に対処して、水素等
可燃ガス３の爆発性気体の吸着能力を大きくするため
に、吸着フィン２の吸着面積を大きくしたり、吸着剤と
して用いる活性炭の付着量を多くしたり、活性炭を微粉
化して吸着炭そのものの吸着能力を向上する等の改善策
を講じてきた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、水素等
の爆発性気体の吸着能力が１２リットル以上、場合によ
っては３０リットルというのもあり、従来に比べて、２
〜５倍にも活性炭の水素吸着能力が向上したため、クラ
イオポンプの温度が上昇した場合、離脱した爆発性気体
と空気中の酸素の割合が爆発限界に入ると、急激に反応
して爆発を起こ可能性が非常に高い状況となってきた。
の爆発性気体の吸着能力が１２リットル以上、場合によ
っては３０リットルというのもあり、従来に比べて、２
〜５倍にも活性炭の水素吸着能力が向上したため、クラ
イオポンプの温度が上昇した場合、離脱した爆発性気体
と空気中の酸素の割合が爆発限界に入ると、急激に反応
して爆発を起こ可能性が非常に高い状況となってきた。
【００１０】すなわち、従来のクライオポンプでは水素
の吸着量は６〜１２リットルであったが、最近のクライ
オポンプでは１２〜３０リットルに達しており、水素は
空気に対して４〜７５％と広い割合の範囲で爆発するの
で、離脱した水素が酸素と反応して爆発する可能性が非
常に高くなってきた。
の吸着量は６〜１２リットルであったが、最近のクライ
オポンプでは１２〜３０リットルに達しており、水素は
空気に対して４〜７５％と広い割合の範囲で爆発するの
で、離脱した水素が酸素と反応して爆発する可能性が非
常に高くなってきた。
【００１１】従って、クライオポンプの温度上昇が生じ
た場合には、水素が爆発するという問題が生じてきた。
本発明は、以上の点を鑑み、クライオポンプの温度が上
昇しても水素が爆発しないような安全対策を立てた運転
方法を行うことを目的とする。
た場合には、水素が爆発するという問題が生じてきた。
本発明は、以上の点を鑑み、クライオポンプの温度が上
昇しても水素が爆発しないような安全対策を立てた運転
方法を行うことを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】図１〜図２は本発明の原
理説明図であり、図１に可燃ガス＋不活性ガスの空気中
の爆発限界を示し、図２に凝縮気体の蒸気圧を示す。ま
た、図３〜図６は本発明の実施例の説明図である。
理説明図であり、図１に可燃ガス＋不活性ガスの空気中
の爆発限界を示し、図２に凝縮気体の蒸気圧を示す。ま
た、図３〜図６は本発明の実施例の説明図である。
【００１３】図において、１はクライオポンプ、２は吸
着フィン、３は可燃ガス、４は不活性ガス、５は混合気
体、６は空気、７は水素濃度検出器（水素センサ）、８
は温度計、９はリリーフ弁、10はコントローラ、11はバ
ルブ、12はメイン排気ダクト、13は排気ダクト，14は排
気チャンバ、15は真空処理装置、16は警報器、17は天
井、18は床面である。
着フィン、３は可燃ガス、４は不活性ガス、５は混合気
体、６は空気、７は水素濃度検出器（水素センサ）、８
は温度計、９はリリーフ弁、10はコントローラ、11はバ
ルブ、12はメイン排気ダクト、13は排気ダクト，14は排
気チャンバ、15は真空処理装置、16は警報器、17は天
井、18は床面である。
【００１４】前述の図７に示すようなクライオポンプ１
の冷却フィン２に吸着された水素は、液体窒素で１０〜
２０Ｋ（絶対温度）に冷却されており、蒸気圧は図２に
示すように１Torr以下である。また、酸素は２５Ｋ以上
で離脱を始める。
の冷却フィン２に吸着された水素は、液体窒素で１０〜
２０Ｋ（絶対温度）に冷却されており、蒸気圧は図２に
示すように１Torr以下である。また、酸素は２５Ｋ以上
で離脱を始める。
【００１５】また、可燃ガスの水素と希釈した不活性ガ
スの窒素の混合気体は、例えば、水素の１０倍の窒素ガ
スで吸着した場合、空気と混合した時の爆発限界は図１
に示すように、４０から７５％の間で、それより混合ガ
スの割合が多いと酸素欠乏の状態で、またそれより混合
ガスの割合が少ないと水素欠乏の状態で、混合ガスの爆
発の危険性はなくなる。
スの窒素の混合気体は、例えば、水素の１０倍の窒素ガ
スで吸着した場合、空気と混合した時の爆発限界は図１
に示すように、４０から７５％の間で、それより混合ガ
スの割合が多いと酸素欠乏の状態で、またそれより混合
ガスの割合が少ないと水素欠乏の状態で、混合ガスの爆
発の危険性はなくなる。
【００１６】そのため, 本発明では、図１に示すよう
に、空気に対する可燃ガス３＋不活性ガス４の混合気体
５の割合を、可燃ガス３を不活性ガス４で希釈すること
によって、空気に対する混合気体５の爆発限界の範囲を
狭め、水素欠乏状態にして、混合気体５の爆発を防いで
いる。
に、空気に対する可燃ガス３＋不活性ガス４の混合気体
５の割合を、可燃ガス３を不活性ガス４で希釈すること
によって、空気に対する混合気体５の爆発限界の範囲を
狭め、水素欠乏状態にして、混合気体５の爆発を防いで
いる。
【００１７】上記のような、水素ガスの爆発防止のため
に不活性ガス４である例えば窒素を可燃ガス３である水
素の希釈用に用いるクライオポンプ１の安全対策の運転
方法として、本発明では、クライオポンプ１の温度をモ
ニタリングして、温度が上昇した場合には、窒素等の不
活性ガス４を自動的に導入して水素等の爆発性気体の濃
度を薄める方法、また、排気ダクト13のラインにも不活
性ガス４を導入して排気ライン内の爆発を防ぐ方法、或
いは、クライオポンプ１内で高濃度の水素を吸着する前
に、装置の稼働を低下させないようなサイクル運転を行
う方法、更に、水素濃度をモニター測定して、濃度が上
昇した場合には不活性ガス４を導入する方法等を実施す
る。
に不活性ガス４である例えば窒素を可燃ガス３である水
素の希釈用に用いるクライオポンプ１の安全対策の運転
方法として、本発明では、クライオポンプ１の温度をモ
ニタリングして、温度が上昇した場合には、窒素等の不
活性ガス４を自動的に導入して水素等の爆発性気体の濃
度を薄める方法、また、排気ダクト13のラインにも不活
性ガス４を導入して排気ライン内の爆発を防ぐ方法、或
いは、クライオポンプ１内で高濃度の水素を吸着する前
に、装置の稼働を低下させないようなサイクル運転を行
う方法、更に、水素濃度をモニター測定して、濃度が上
昇した場合には不活性ガス４を導入する方法等を実施す
る。
【００１８】即ち、本発明の目的は、図１に示すよう
に、クライオポンプ１内の吸着フィン２に吸着した可燃
ガス３が離脱する場合、クライオポンプ１内の可燃ガス
３と希釈用の不活性ガス４との混合気体５を形成する割
合が、混合気体５とメイン排気ダクト12内の空気６との
爆発限界外になるように、クライオポンプ１内に不活性
ガス４を導入することにより、図３に示すように、クラ
イオポンプ１内の吸着フィン２の温度を常時モニタリン
グして、吸着フィン２の温度が設定範囲限界を超えた場
合には、クライオポンプ１内に不活性ガス４を導入する
ことにより、図４に示すように、クライオポンプ１の吸
着フィン２に吸着した可燃ガス３を再生処理により離脱
する場合には、クライオポンプ１からの排気ダクト13内
へも、不活性ガス４を導入することにより、図５に示す
ように、クライオポンプ１を用いた高真空処理装置15の
排気ダクト13内に水素濃度検出器７を設け、排気ダクト
13内の可燃ガス３の濃度が許容限界値を越した場合に
は、排気ダクト13内に不活性ガス４を導入することによ
り、図６に示すように、複数のクライオポンプ１を用い
る高真空処理装置15において、予備のクライオポンプ１
を併用し、順次再生処理を行うサイクル運転を行うこと
により達成される。
に、クライオポンプ１内の吸着フィン２に吸着した可燃
ガス３が離脱する場合、クライオポンプ１内の可燃ガス
３と希釈用の不活性ガス４との混合気体５を形成する割
合が、混合気体５とメイン排気ダクト12内の空気６との
爆発限界外になるように、クライオポンプ１内に不活性
ガス４を導入することにより、図３に示すように、クラ
イオポンプ１内の吸着フィン２の温度を常時モニタリン
グして、吸着フィン２の温度が設定範囲限界を超えた場
合には、クライオポンプ１内に不活性ガス４を導入する
ことにより、図４に示すように、クライオポンプ１の吸
着フィン２に吸着した可燃ガス３を再生処理により離脱
する場合には、クライオポンプ１からの排気ダクト13内
へも、不活性ガス４を導入することにより、図５に示す
ように、クライオポンプ１を用いた高真空処理装置15の
排気ダクト13内に水素濃度検出器７を設け、排気ダクト
13内の可燃ガス３の濃度が許容限界値を越した場合に
は、排気ダクト13内に不活性ガス４を導入することによ
り、図６に示すように、複数のクライオポンプ１を用い
る高真空処理装置15において、予備のクライオポンプ１
を併用し、順次再生処理を行うサイクル運転を行うこと
により達成される。
【００１９】
【作用】本発明では、前述のように、自動的に不活性ガ
スを排気系統に導入する等の種々の方法で水素ガスを希
釈して混合気体の爆発限界内に達する濃度から遠ざける
ため、水素が空気と反応して爆発する可能性を著しく低
減出来る。
スを排気系統に導入する等の種々の方法で水素ガスを希
釈して混合気体の爆発限界内に達する濃度から遠ざける
ため、水素が空気と反応して爆発する可能性を著しく低
減出来る。
【００２０】また、吸着板への水素吸着を低減するよう
なサイクル運転を常時行って、水素の爆発の可能性を低
くしている。
なサイクル運転を常時行って、水素の爆発の可能性を低
くしている。
【００２１】
【実施例】図３〜６は本発明の原理説明図兼第一から第
四の実施例の説明図である。図において、図において、
１はクライオポンプ、２は吸着フィン、３は可燃ガス、
４は不活性ガス、５は混合気体、６は空気、７は水素濃
度検出器、８は温度計、９はリリーフ弁、10はコントロ
ーラ、11はバルブ、12はメイン排気ダクト、13は排気ダ
クト、14は排気チャンバ、15は高真空処理装置、16は警
報器、17は天井、18は床面である。
四の実施例の説明図である。図において、図において、
１はクライオポンプ、２は吸着フィン、３は可燃ガス、
４は不活性ガス、５は混合気体、６は空気、７は水素濃
度検出器、８は温度計、９はリリーフ弁、10はコントロ
ーラ、11はバルブ、12はメイン排気ダクト、13は排気ダ
クト、14は排気チャンバ、15は高真空処理装置、16は警
報器、17は天井、18は床面である。
【００２２】図３に本発明の第一の実施例を示す。第一
の実施例では、温度計８を用いて、クライオポンプ１内
の吸着フィン２の温度を常時モニタリングして、運転
中、吸着フィン２の温度が設定範囲限界を超えた異常時
の場合、或いは、再生時の吸着フィン２の冷却を停止し
ている場合には、温度計８で感知して、連動するコント
ローラ10で判断し、バルブ駆動信号を発信してバルブ11
を開き、窒素等の不活性ガス４をクライオポンプ１内に
送って、可燃ガス３を不活性ガス４で希釈してより水素
欠乏領域に移行させる。
の実施例では、温度計８を用いて、クライオポンプ１内
の吸着フィン２の温度を常時モニタリングして、運転
中、吸着フィン２の温度が設定範囲限界を超えた異常時
の場合、或いは、再生時の吸着フィン２の冷却を停止し
ている場合には、温度計８で感知して、連動するコント
ローラ10で判断し、バルブ駆動信号を発信してバルブ11
を開き、窒素等の不活性ガス４をクライオポンプ１内に
送って、可燃ガス３を不活性ガス４で希釈してより水素
欠乏領域に移行させる。
【００２３】図４に本発明の第二の実施例を示す。図４
に示すように、クライオポンプ１の吸着フィン２に吸着
した水素等の可燃ガス３を再生処理により離脱させる場
合には、吸着した可燃ガス３の量が多くなり、排気ダク
ト13内にも大量の可燃ガス３が流出して、メイン排気ダ
クト12からの空気６中の酸素と爆発限界の濃度割合にな
る恐れがあるため、排気ダクト13内の数箇所から窒素等
の不活性ガス４を直接に導入して窒素と水素の混合気体
５が空気６中の酸素と爆発を起こさないようにする。
に示すように、クライオポンプ１の吸着フィン２に吸着
した水素等の可燃ガス３を再生処理により離脱させる場
合には、吸着した可燃ガス３の量が多くなり、排気ダク
ト13内にも大量の可燃ガス３が流出して、メイン排気ダ
クト12からの空気６中の酸素と爆発限界の濃度割合にな
る恐れがあるため、排気ダクト13内の数箇所から窒素等
の不活性ガス４を直接に導入して窒素と水素の混合気体
５が空気６中の酸素と爆発を起こさないようにする。
【００２４】図５に本発明の第三の実施例を示す。図５
に示すように、クライオポンプ１を用いた高真空処理装
置15の排気ダクト13内に水素濃度検出器７を設け、排気
ダクト13内の可燃ガス３の濃度が許容限界値を越した場
合には、警報器16により警報を発し、自動、或いは手動
でバルブ11を開き、排気ダクト13内に窒素等の不活性ガ
ス４を導入して、可燃ガス３を不活性ガス４で希釈す
る。
に示すように、クライオポンプ１を用いた高真空処理装
置15の排気ダクト13内に水素濃度検出器７を設け、排気
ダクト13内の可燃ガス３の濃度が許容限界値を越した場
合には、警報器16により警報を発し、自動、或いは手動
でバルブ11を開き、排気ダクト13内に窒素等の不活性ガ
ス４を導入して、可燃ガス３を不活性ガス４で希釈す
る。
【００２５】図６に本発明の第四の実施例を示す。クラ
イオポンプ１を用いた高真空処理装置15としてのＩＩ装
置のメインチャンバに従来は３台の既存のクライオホン
プ1aを使用していた場合、本発明では、図６（ａ）に示
すように、更に予備の４台目のクライオポンプ1bを追加
して取り付け、ＩＩ装置のメインチャンバ７の運転時に
は、常時、何れかの３台のクライオポンプ１を運転して
高真空排気を行い、その間に残りの１台のクライオポン
プ１の吸着フィンの再生を、例えば８時間かけて行う。
イオポンプ１を用いた高真空処理装置15としてのＩＩ装
置のメインチャンバに従来は３台の既存のクライオホン
プ1aを使用していた場合、本発明では、図６（ａ）に示
すように、更に予備の４台目のクライオポンプ1bを追加
して取り付け、ＩＩ装置のメインチャンバ７の運転時に
は、常時、何れかの３台のクライオポンプ１を運転して
高真空排気を行い、その間に残りの１台のクライオポン
プ１の吸着フィンの再生を、例えば８時間かけて行う。
【００２６】そして、例えば、図６（ｂ）に示すよう
に、一週間おきに次々と再生する場合には、次の１台が
再生する必要が生じる１週間後まで待機（スタンバイ）
させておく。
に、一週間おきに次々と再生する場合には、次の１台が
再生する必要が生じる１週間後まで待機（スタンバイ）
させておく。
【００２７】このようにして、４台のクライオポンプ１
の内、１台は常にスタンバイさせてその間に、再生処理
を行い、クライオポンプ１内の吸着フィン２の液体ヘリ
ウムによる冷却を停止し、吸着フィン２から水素ガスを
全て離脱させるが、常時、クライオポンプを交代で再生
しているため、これにより離脱した水素の濃度は許容限
界以下の濃度にしかならない。
の内、１台は常にスタンバイさせてその間に、再生処理
を行い、クライオポンプ１内の吸着フィン２の液体ヘリ
ウムによる冷却を停止し、吸着フィン２から水素ガスを
全て離脱させるが、常時、クライオポンプを交代で再生
しているため、これにより離脱した水素の濃度は許容限
界以下の濃度にしかならない。
【００２８】実施例では可燃ガス３として水素を、また
不活性ガス４として窒素を用いた例を示したが、可燃ガ
ス３を希釈する不活性ガス４としては勿論炭酸ガスやア
ルゴンガス等を用いることも出来る。
不活性ガス４として窒素を用いた例を示したが、可燃ガ
ス３を希釈する不活性ガス４としては勿論炭酸ガスやア
ルゴンガス等を用いることも出来る。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
各種の方法でクライオポンプから離脱した水素と空気中
の酸素の比率を爆発限界濃度以下に抑えることが可能と
なり、クライオポンプ運転時、或いは再生時の装置内、
或いは排気ダクト内の混合気体の爆発を予防出来るた
め、高真空処理装置を用いた半導体プロセスの安全確保
に寄与するところが大きい。
各種の方法でクライオポンプから離脱した水素と空気中
の酸素の比率を爆発限界濃度以下に抑えることが可能と
なり、クライオポンプ運転時、或いは再生時の装置内、
或いは排気ダクト内の混合気体の爆発を予防出来るた
め、高真空処理装置を用いた半導体プロセスの安全確保
に寄与するところが大きい。
【図１】 可燃ガス＋不活性ガスの空気中の爆発限界
【図２】 凝縮気体の蒸気圧
【図３】 本発明の第一の実施例の説明図
【図４】 本発明の第二の実施例の説明図
【図５】 本発明の第三の実施例の説明図
【図６】 本発明の第四の実施例の説明図
【図７】 従来例の説明図
１ クライオポンプ ２ 吸着フィン ３ 可燃ガス ４ 不活性ガス ５ 混合気体 ６ 空気 ７ 水素濃度検出器 ８ 温度計 ９ リリーフ弁 10 コントローラ 11 バルブ 12 メイン排気ダクト 13 排気ダクト 14 排気チャンバ 15 高真空処理装置 16 警報器 17 天井 18 床面
Claims (5)
- 【請求項１】 クライオポンプ(1) 内の吸着フィン(2)
に吸着した可燃ガス(3) が離脱する場合、該クライオポ
ンプ(1) 内の該可燃ガス(3) と希釈用の不活性ガス(4)
との混合気体(5) を形成する割合が、該混合気体(5) と
メイン排気ダクト(12)中の空気(6) との爆発限界外にな
るように、該クライオポンプ(1) 内に該不活性ガス(4)
を導入することを特徴とするクライオポンプの運転方
法。 - 【請求項２】 前記クライオポンプ(1) 内の前記吸着フ
ィン(2) の温度を常時モニタリングして、該吸着フィン
(2) の温度が設定範囲の限度を超えた場合には、該クラ
イオポンプ(1) 内に前記不活性ガス(4) を導入すること
を特徴とする請求項１記載のクライオポンプの運転方
法。 - 【請求項３】 前記クライオポンプ(1) の前記吸着フィ
ン(2) に吸着した前記可燃ガス(3) を再生処理により脱
着する場合には、該クライオポンプ(1) に接続された排
気ダクト(6) 内にも、前記不活性ガス(4) を導入するこ
とを特徴とする請求項１、又は、２記載のクライオポン
プの運転方法。 - 【請求項４】 前記クライオポンプ(1) を用いた高真空
処理装置(15)の前記排気ダクト(6) 内に水素濃度検出器
(7) を設けて、該排気ダクト(6) 内の前記可燃ガス(3)
の濃度が許容限界値を越した場合には、該排気ダクト内
(6) 内に前記不活性ガス(4) を導入することを特徴とす
る請求項１、又は、２、又は３記載のクライオポンプの
運転方法。 - 【請求項５】 複数のクライオポンプ(1) を用いる高真
空処理装置(15)において、予備のクライオポンプ(1) を
併用し、順次再生処理を行うサイクル運転を行うことを
特徴とする請求項１記載のクライオポンプの運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19982993A JPH0754772A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | クライオポンプの運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19982993A JPH0754772A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | クライオポンプの運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0754772A true JPH0754772A (ja) | 1995-02-28 |
Family
ID=16414341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19982993A Pending JPH0754772A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | クライオポンプの運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754772A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103291585A (zh) * | 2012-03-01 | 2013-09-11 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及其再生方法 |
| JP2019137597A (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 大陽日酸株式会社 | 水素濃縮方法及び装置 |
-
1993
- 1993-08-12 JP JP19982993A patent/JPH0754772A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103291585A (zh) * | 2012-03-01 | 2013-09-11 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及其再生方法 |
| JP2019137597A (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 大陽日酸株式会社 | 水素濃縮方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100858077B1 (ko) | 가스 공급 장치, 이온 주입 장치, 가스 시약 공급 방법, 흡탈착 방법 및 반도체 제조 설비 | |
| US5707424A (en) | Process system with integrated gas storage and delivery unit | |
| JP4934526B2 (ja) | 気体化合物の貯蔵と送出のシステム | |
| US6605134B2 (en) | Method and apparatus for collecting rare gas | |
| US5417236A (en) | Automated process gas supply system for evacuating a process line | |
| US20020078824A1 (en) | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system | |
| WO1999028023A1 (fr) | Procede et appareil de recuperation de gaz rare | |
| US5357760A (en) | Hybrid cryogenic vacuum pump apparatus and method of operation | |
| JP7198676B2 (ja) | 希ガス回収システムおよび希ガス回収方法 | |
| US2757840A (en) | Method of and apparatus for evacuating vessels | |
| JPH0754772A (ja) | クライオポンプの運転方法 | |
| CA2007363C (en) | Getter materials for the vacuum insulation of liquid hydrogen storage vessels or transport lines | |
| EP0262130B1 (en) | Device for the sorption, storage and release of hydrogen isotopes | |
| JPH07253272A (ja) | ガス分離装置 | |
| JP2000274356A (ja) | クライオポンプの再生装置および再生方法 | |
| JPH11267240A (ja) | 消火方法および消火装置 | |
| JPH03106432A (ja) | 真空装置の脱ガス方法及び脱ガス装置 | |
| JP2020143646A (ja) | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法 | |
| JP3072226B2 (ja) | デカボランガス供給システムにおけるデカボラン供給方法 | |
| JPH0791368A (ja) | クライオポンプの制御方法 | |
| JP4393626B2 (ja) | 気体システム系の被毒防止装置 | |
| JPH01203033A (ja) | 輸送容器装置及びこれを用いた輸送方法 | |
| JP3172767B2 (ja) | 選択的ガス排気方法 | |
| JPH11229030A (ja) | 還元真空熱処理設備とその制御方法 | |
| JPH0348772B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020813 |