JPH0754583B2 - Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium - Google Patents
Method and apparatus for manufacturing magnetic recording mediumInfo
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- JPH0754583B2 JPH0754583B2 JP21781587A JP21781587A JPH0754583B2 JP H0754583 B2 JPH0754583 B2 JP H0754583B2 JP 21781587 A JP21781587 A JP 21781587A JP 21781587 A JP21781587 A JP 21781587A JP H0754583 B2 JPH0754583 B2 JP H0754583B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体の製造方法及び製造装置に係り、
特にハード磁気ディスクの塗膜面を研削加工して、所定
の膜厚および良好なる仕上げ面の形成が得られる磁気記
録媒体の製造方法及び装置に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium,
In particular, the present invention relates to a method and apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, which can grind a coating surface of a hard magnetic disk to obtain a predetermined film thickness and an excellent finished surface.
近年、磁気ディスクの記録密度は高密度化し、それに伴
い磁性膜の膜厚は薄膜化している。また磁気ヘッドの磁
気ディスクに対する浮上間隔は例えば0.3ミクロン以下
と非常に狭くなっている。In recent years, the recording density of magnetic disks has been increased, and the film thickness of magnetic films has been reduced accordingly. The flying distance of the magnetic head with respect to the magnetic disk is very narrow, for example, 0.3 micron or less.
従って、磁気ディスクには良好なる磁性膜であってその
膜厚の均一性と、塗膜面の高精度な平滑性が要求され
る。このために、磁気ディスクの塗膜面を均一に研削加
工することが重要となっている。Therefore, the magnetic disk is required to have a good magnetic film and have a uniform film thickness and a highly precise smoothness of the coating film surface. For this reason, it is important to uniformly grind the coated surface of the magnetic disk.
従来、磁気ディスクの塗膜面の研削加工を行なう方法と
しては、例えば特開昭60-106028号公報や特開昭60-1060
29号公報に記載されているように、研削テープを用いる
方法が知られている。Conventionally, as a method of grinding the coating surface of a magnetic disk, for example, JP-A-60-106028 and JP-A-60-1060 are known.
As described in Japanese Patent No. 29, a method using a grinding tape is known.
すなわち、この技術は磁気ディスクの塗膜面を研削する
ために研削テープを用い、供給リールにセットした研削
テープの一端側を巻取リールに巻取るために両リールを
モータによって適宜に駆動するものである。研削テープ
は回転する磁気ディスクに対し円周方向に走行させつつ
押し付け部材により磁気ディスクに圧接され、磁気ディ
スクの表面の研削加工がおこなわれる。That is, this technique uses a grinding tape to grind the coating surface of a magnetic disk, and drives both reels by a motor as appropriate to wind one end of the grinding tape set on the supply reel to a take-up reel. Is. The grinding tape is pressed against the magnetic disk by a pressing member while traveling in the circumferential direction with respect to the rotating magnetic disk, and the surface of the magnetic disk is ground.
しかしながら、上記の従来技術においては、磁気ディス
クの磁性膜の研削加工を行なう際の加工状態の安定性に
ついては特に配慮されたおらず、以下の様な問題が生ず
る。However, in the above-mentioned prior art, no particular consideration is given to the stability of the processing state when the magnetic film of the magnetic disk is ground, and the following problems occur.
第一の問題として、研削テープの走行不安定に起因する
研削のバラつきがある。The first problem is variation in grinding due to unstable running of the grinding tape.
研削テープは、砥粒と例えばウレタン系樹脂からなるバ
インダの混合物をベースに塗布・乾燥させ、一定の巻き
付けトルクすなわち一定の巻きの強さでロール状に巻か
れている。しかるにこの巻き付けトルクを一定に管理す
ることが難かしく、そのため巻き付けトルクのばらつき
が生ずる。巻き付けトルクが強いと供給リール側へのテ
ンションが強くなり、磁気ディスク表面への研削テープ
の走行速度が所定の供給速度より低下する。逆にこのト
ルクが弱いと巻取リール側へのテンションが大きくな
り、研削テープの走行速度が所定の速度より上昇する。The grinding tape is coated on a base with a mixture of abrasive grains and a binder made of urethane resin, dried, and wound into a roll with a constant winding torque, that is, a constant winding strength. However, it is difficult to control the winding torque to be constant, so that the winding torque varies. When the winding torque is strong, the tension on the supply reel side becomes strong, and the running speed of the grinding tape on the surface of the magnetic disk becomes lower than the predetermined supply speed. On the contrary, if this torque is weak, the tension on the take-up reel side increases and the running speed of the grinding tape rises above a predetermined speed.
また、研削テープの走行に従い供給側および巻取側リー
ルの研削テープの巻き径、すなわち巻取量の変化が生ず
る。このため、供給リールと巻取リールに固定されたモ
ータによりテープの走行速度が決定される方式において
は、研削テープの巻き径の変化により、研削テープの走
行速度も変動し、安定なる状態のもとで研削加工ができ
ない。Further, as the grinding tape runs, the winding diameter of the grinding tape on the supply-side reel and the winding-side reel changes, that is, the winding amount changes. For this reason, in the system in which the traveling speed of the tape is determined by the motors fixed to the supply reel and the take-up reel, the traveling speed of the grinding tape also fluctuates due to the change in the winding diameter of the grinding tape, and a stable state can be obtained. Can't grind with.
第二の問題としては、研削テープの表面粗さの不均一に
起因する研削性の不安定がある。The second problem is instability of grindability due to uneven surface roughness of the grinding tape.
研削テープの研削性の良し悪しは、研削に作用する砥粒
を樹脂が被っている程度により左右される。研削テープ
はリールにロール状に巻き付けられているため、ロール
状に巻き付けられた内周部においては、砥粒の極端な突
起物が潰され研削性が低下する。このため、研削テープ
の巻き径により研削テープの研削性が異なり、安定なる
加工状態の下で磁気ディスクを研削加工することができ
ない。Whether the grinding tape has good grindability depends on the degree to which the resin covers the abrasive grains that act on the grinding. Since the grinding tape is wound around the reel in a roll shape, the extreme projections of the abrasive grains are crushed in the inner peripheral portion wound in the roll shape, and the grindability deteriorates. For this reason, the grindability of the grinding tape differs depending on the winding diameter of the grinding tape, and the magnetic disk cannot be ground under a stable working condition.
本発明の目的は、研削テープの巻き付けトルクや巻き径
変化に起因するテンション状態の変動があっても、研削
テープを設定速度において安定なる走行をさせることが
でき、かつ、研削テープの研削性を一定にして安定なる
加工状態のもとで磁気記録媒体表面の研削加工を行なう
ことができる磁気記録媒体の製造方法及びその装置を提
供することにある。An object of the present invention is to enable the grinding tape to run stably at a set speed even if there is a change in the tension state due to a winding torque of the grinding tape or a change in winding diameter, and to improve the grindability of the grinding tape. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, which can grind the surface of the magnetic recording medium under a constant and stable processing state.
上記目的は、好ましくは研削テープを走行させつつ磁気
ディスクに圧接せしめて磁気ディスクの研削加工をおこ
なうに際し、研削加工をする前の研削テープ走路に、所
定圧で研削テープを挾んで配置された給圧手段を設えて
なる。この挾圧手段は好ましくは少なくとも一対のクラ
ンプローラであり、このクランプローラを駆動源に連結
して駆動させることにより達成される。The above-mentioned purpose is preferably to feed the grinding tape with a predetermined pressure in the grinding tape running path before grinding when the grinding process is performed by pressing the magnetic tape against the magnetic disk while grinding the magnetic disk. It is equipped with pressure means. The pressing means is preferably at least a pair of clamp rollers, and is achieved by connecting the clamp rollers to a drive source and driving them.
上述の構成において、磁気ディスクの塗膜面を研削加工
するに際し、一対のクランプローラを駆動しながら研削
テープを走行させる。クランプローラは駆動源に連結さ
れており安定的に駆動するようにしたので、速度変動の
ない研削テープの走行が行なえる。In the above configuration, when the coated surface of the magnetic disk is ground, the grinding tape is run while driving the pair of clamp rollers. Since the clamp roller is connected to the drive source and is driven stably, the grinding tape can be run without speed fluctuation.
また、クランプローラは研削テープを押え付けた状態で
研削テープの送り出しをおこなう。ここでクランプロー
ラは所定圧を常に加えているのでクランプローラで研削
テープの研削面の砥粒を被っているバインダ樹脂量を均
等に延ばしつつ砥粒の極端な突起物を潰す処理（以下、
「カレンダリング処理」という。）を行い研削テープの
研削性を一定に保つことができる。The clamp roller feeds the grinding tape while the grinding tape is being pressed. Since the clamp roller constantly applies a predetermined pressure here, a process of crushing the extreme protrusions of the abrasive grains while uniformly extending the amount of the binder resin covering the abrasive grains on the grinding surface of the grinding tape with the clamp roller (hereinafter,
It is called "calendering process". ) Can be performed to keep the grindability of the grinding tape constant.
以下図面を参照して発明の一実施例のついて説明する。 An embodiment of the invention will be described below with reference to the drawings.
第１図から第７図は、磁気ディスクの塗膜面の研削加工
を行なう際の第一の実施例を説明するための図である。FIGS. 1 to 7 are views for explaining the first embodiment when grinding the coating surface of the magnetic disk.
第１図において、磁気ディスク１は非磁性基板の両面に
磁性塗料が塗布された段階のものであり図示されていな
いディスク駆動軸に固定される。研削テープ４は砥粒と
ウレタン系樹脂の混合物をテープベースに塗布・乾燥さ
せたものであり、予めロール状に巻かれている。クラン
プローラユニット２は、研削テープ４を挾んで磁気ディ
スクの表側及び裏側に配置されたクランプローラ21,22
を備える。クランプローラ21は研削テープ４の研削面と
接するものでありタイヤ砥粒が含まれているウレタンゴ
ム、あるいはステンレス、アルミスチール材によるあや
目状を有するローレット状のローラにより構成される。
一方、クランプローラ22はウレタンゴムで構成されてい
る。これはクランプローラ21,22共に硬質性の材質を用
いると研削テープ４が走行時にスリップしてしまうから
である。In FIG. 1, the magnetic disk 1 is at a stage where magnetic coating is applied to both surfaces of a non-magnetic substrate and is fixed to a disk drive shaft (not shown). The grinding tape 4 is a tape base coated with a mixture of abrasive grains and urethane resin and dried, and is wound in a roll shape in advance. The clamp roller unit 2 includes clamp rollers 21, 22 arranged on the front side and the back side of the magnetic disk with the grinding tape 4 interposed therebetween.
Equipped with. The clamp roller 21 is in contact with the grinding surface of the grinding tape 4 and is composed of urethane rubber containing tire abrasive grains, or a knurled roller having a corrugated shape made of stainless steel or aluminum steel material.
On the other hand, the clamp roller 22 is made of urethane rubber. This is because when the clamp rollers 21 and 22 are made of a hard material, the grinding tape 4 slips during traveling.
クランプローラ22は、各々駆動源である供給モータ６の
駆動軸に固定され、第４図のｃ方向に適宜に回転駆動さ
れる。磁気ディスクの裏側の研削テープ走行系のモータ
は図示していない。クランプローラ21は第４図に示され
ているようにレバー10に固定されている。レバー10はシ
ャフト11を中心としてｃ方向に回転可動であり、レバー
10の一端はシリンダ13から出たピストン12に当接してい
る。ピストン12は、高圧空気によりｆ方向にレバー10を
押しつけ、これによりクランプローラ21は研削テープ４
を介してクランプローラ22に、約４〜５kg/cm2の押え力
で押しあてられる。The clamp rollers 22 are fixed to the drive shafts of the supply motors 6 serving as drive sources, and are appropriately rotated in the direction c of FIG. The motor of the grinding tape running system on the back side of the magnetic disk is not shown. The clamp roller 21 is fixed to the lever 10 as shown in FIG. The lever 10 is rotatable around the shaft 11 in the c direction,
One end of 10 is in contact with a piston 12 coming out of a cylinder 13. The piston 12 presses the lever 10 in the f direction by the high pressure air, which causes the clamp roller 21 to move to the grinding tape 4
It is pressed against the clamp roller 22 with a pressing force of about 4 to 5 kg / cm 2 via.
ゴムローラ５は、研削テープ４を磁気ディスク１の塗膜
面に押し付けるための部材であり、例えばニトリルゴム
よりなるものである。巻取リール９は供給モータ６の駆
動源からベルト機構７を介して駆動される。The rubber roller 5 is a member for pressing the grinding tape 4 against the coating surface of the magnetic disk 1, and is made of, for example, nitrile rubber. The take-up reel 9 is driven from the drive source of the supply motor 6 via the belt mechanism 7.
次に本実施例の動作について説明する。磁気ディスク１
は、所定の低速度にてａ方向に回転される。研削テープ
４は、第２図，第３図に示すようにクランプローラ22に
よって駆動されて、供給リール８からクランプローラユ
ニット２、ゴムローラ５、ガイドローラ３を介して巻取
リール９へとｂ方向に走行する。クランプローラ21は、
研削テープ４との摩擦抵抗によりｄ方向に回転する。研
削テープ４は、一定の圧力でクランプされると同時に、
クランプローラユニット２により走行速度が決定され
る。Next, the operation of this embodiment will be described. Magnetic disk 1
Is rotated in the a direction at a predetermined low speed. The grinding tape 4 is driven by the clamp roller 22 as shown in FIGS. 2 and 3, and is moved from the supply reel 8 to the take-up reel 9 via the clamp roller unit 2, the rubber roller 5, and the guide roller 3 in the b direction. Drive to. The clamp roller 21
It rotates in the d direction due to the frictional resistance with the grinding tape 4. The grinding tape 4 is clamped at a constant pressure and at the same time
The traveling speed is determined by the clamp roller unit 2.
クランプローラユニット２により送り出された研削テー
プ４は、ｂ方向に走行しつつ研削面の背面からゴムロー
ラ５により磁気ディスク１に押し当てられ、磁気ディス
ク１の塗膜面の研削加工をする。この際、図示されては
いないが発熱、加工ムラ等を防ぐために研削液供給ノズ
ルにより純水あるいは研削液が磁気ディスク１の塗膜面
に供給される。磁気ディスク１の研削加工を終了した研
削テープ４はガイドローラ３によって案内され巻取リー
ル９に巻き取られる。The grinding tape 4 delivered by the clamp roller unit 2 is pressed against the magnetic disk 1 by the rubber roller 5 from the back surface of the grinding surface while traveling in the b direction, and grinds the coating surface of the magnetic disk 1. At this time, although not shown, pure water or a grinding liquid is supplied to the coating surface of the magnetic disk 1 by a grinding liquid supply nozzle in order to prevent heat generation, processing unevenness, and the like. The grinding tape 4 which has finished the grinding process of the magnetic disk 1 is guided by the guide roller 3 and wound on the winding reel 9.
以上、本実施例によれば研削テープ４をクランプローラ
ユニット２で送り出しを行なうため、供給リール８にお
ける研削テープ４の巻き付けトルクや巻き径変化による
テンション状態の変動があっても、押し付け部材である
ゴムローラ５に対しては一定なるテンション状態のも
と、常時安定した走行速度で磁気ディスク１の研削加工
を行なうことができる。さらに、クランプローラユニッ
ト２により研削テープ４のカレンダリング処理をするこ
とにより、研削テープ４の研削面を砥粒の状態を一定に
することができ、研削性を一定に保つことができる。As described above, according to the present embodiment, since the grinding tape 4 is sent out by the clamp roller unit 2, the pressing tape is a pressing member even if the winding torque of the grinding tape 4 on the supply reel 8 or the tension state changes due to a change in winding diameter. With respect to the rubber roller 5, it is possible to always grind the magnetic disk 1 at a stable traveling speed under a constant tension state. Further, by performing the calendering process of the grinding tape 4 by the clamp roller unit 2, the grinding surface of the grinding tape 4 can have a constant state of abrasive grains, and the grindability can be kept constant.
従って、本実施例により高精度で磁気ディスク１の磁性
膜の膜厚を実現でき、かつ凹凸の少ない良好なる仕上げ
面が形成される。Therefore, according to this embodiment, it is possible to realize the film thickness of the magnetic film of the magnetic disk 1 with high accuracy and to form a good finished surface with less unevenness.
第５図は、本実施例のクランプローラユニット２により
カレンダリング処理を行なった後の研削テープ４の表面
プロファイルを、従来との比較において表わす図であ
る。この図の（１）から、クランプローラ21,22により
研削テープ４の極端な突起部が潰されていることがわか
る。FIG. 5 is a diagram showing a surface profile of the grinding tape 4 after the calendering process is performed by the clamp roller unit 2 of the present embodiment in comparison with the conventional one. It can be seen from (1) in this figure that the extreme protrusions of the grinding tape 4 are crushed by the clamp rollers 21 and 22.
第６図は研削テープ４の巻き径と表面粗さとの関係のグ
ラフである。横軸は、研削テープ４の供給リール８にお
ける巻き径であり、95mmは研削テープ４の残量が多い時
を、35mmは残量が少ない時である。縦軸は研削テープの
表面粗さであり、これは研削テープ４の凹部と凸部の先
端との差により示したものである。尚Rmaxとは粒径の最
大値を表わす。この図より、従来の研削テープ４は、供
給リール８の巻き径ととに研削テープ４の表面粗さが変
化するのに対し、本実施例による研削テープ４は、巻き
径の変化に関らず一定であることがわかる。FIG. 6 is a graph showing the relationship between the winding diameter of the grinding tape 4 and the surface roughness. The horizontal axis represents the winding diameter of the grinding tape 4 on the supply reel 8, where 95 mm is when the remaining amount of the grinding tape 4 is large and 35 mm is when the remaining amount is small. The vertical axis represents the surface roughness of the grinding tape, which is indicated by the difference between the concave and convex tips of the grinding tape 4. Rmax represents the maximum value of the particle size. From this figure, in the conventional grinding tape 4, the surface roughness of the grinding tape 4 changes depending on the winding diameter of the supply reel 8, while the grinding tape 4 according to the present embodiment is independent of the change in winding diameter. It turns out that it is constant.
第７図は、研削テープ４の供給リール８における巻き径
と、本実施例により研削加工された磁気ディスク１の磁
性膜の膜厚公差との関係をグラフで示した図である。こ
こで、膜厚公差とは、研削加工後の磁性膜の膜厚で、最
厚部と最薄部との差である。本実施例によると、巻き径
の変化に関らずほぼ一定で、しかも5/100μｍ以内と従
来に比べ良好なる値であることがわかる。FIG. 7 is a graph showing the relationship between the winding diameter of the grinding tape 4 on the supply reel 8 and the film thickness tolerance of the magnetic film of the magnetic disk 1 ground according to this embodiment. Here, the film thickness tolerance is the film thickness of the magnetic film after grinding, and is the difference between the thickest part and the thinnest part. According to this example, it is understood that the value is almost constant regardless of the change in the winding diameter, and is within 5/100 μm, which is a better value than the conventional value.
次に、本発明の第二の実施例を第８図，第９図により説
明する。本実施例は、本発明の構成を用いて、前述した
第一の実施例により研削加工された磁気ディスク１の表
面に残っている微小突起物を除去することにより、さら
に良好なる平滑性を実現せんとするものである。装置自
体は前述したものとは別個のものであるが、その装置の
基本的な構成は第一の実施例に示したものと似ており、
第７図，第８図において第１図〜第４図のものと同一部
分又は相当部分は同一符号で示してある。ここで第一の
実施例と異なる点は、研削テープ14に砥粒面が細かく幅
の狭いダイヤ入り研削テープを用いる点と、研削テープ
14を磁気ディスク１に押し付けるのに第１図におけるゴ
ムローラ５の代わりに、ノズル11から噴出する例えば窒
素ガスである高圧ガスを利用する点である。高圧ガスは
ホース16により供給される。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, by using the constitution of the present invention, fine protrusions remaining on the surface of the magnetic disk 1 ground by the above-mentioned first embodiment are removed, thereby realizing a better smoothness. It is something to do. Although the device itself is different from the one described above, the basic configuration of the device is similar to that shown in the first embodiment,
In FIGS. 7 and 8, the same or corresponding parts as those in FIGS. 1 to 4 are designated by the same reference numerals. Here, the difference from the first embodiment is that the grinding tape 14 uses a diamond-containing grinding tape having a fine abrasive grain surface and a narrow width.
In order to press 14 onto the magnetic disk 1, instead of the rubber roller 5 in FIG. 1, a high pressure gas such as nitrogen gas ejected from the nozzle 11 is used. The high pressure gas is supplied by the hose 16.
磁気ディスク１は、高速（1000〜2000rpm）で回転させ
て、研削テープ14を走行させつつ高圧ガスにより磁気デ
ィスク１に圧接する。ノズル15と磁気ディスク１との距
離は２〜10mmを有する。ここで押し付け部材にゴムロー
ラを用いなかったのは、本実施例ではディスク１を高速
回転させるため、ゴムローラでは追従性が悪く振動や浮
きあがり等が生じるからである。研削テープ14は磁気デ
ィスクの半径方向、すなわち第８図のｇ方向に揺動され
る。揺動させる方法としては、第８図において供給リー
ル８、巻取リール９、クランプローラユニット２、研削
テープ14、ノズル15等の研削テープ走行系全体を同一の
搭載台にのせて、この台をｇ方向に可動させることによ
り行なわれる。本実施例では磁気ディスクの塗膜面の研
削ではなく塗膜面表面の微小突起物を除去することにあ
るので、研削液を使わずに乾式での加工が可能である。The magnetic disk 1 is rotated at a high speed (1000 to 2000 rpm), and while the grinding tape 14 is running, the magnetic disk 1 is pressed against the magnetic disk 1 by the high pressure gas. The distance between the nozzle 15 and the magnetic disk 1 is 2 to 10 mm. The reason why the rubber roller is not used as the pressing member is that the disk 1 is rotated at a high speed in the present embodiment, so that the rubber roller has a poor followability and causes vibration and floating. The grinding tape 14 is swung in the radial direction of the magnetic disk, that is, in the g direction in FIG. As a method of swinging, as shown in FIG. 8, the entire grinding tape running system including the supply reel 8, the take-up reel 9, the clamp roller unit 2, the grinding tape 14, the nozzle 15 and the like is placed on the same mounting base, and this mounting base is moved. It is performed by moving in the g direction. In this embodiment, since the fine protrusions on the surface of the coating surface are removed instead of grinding the coating surface of the magnetic disk, dry processing is possible without using a grinding liquid.
以上、第二の実施例による製造工程を追加することによ
り、磁気ディスク１の表面の微小突起物を効果的に除去
することができ、良好な平滑性を有する磁気ディスク１
が実現される。また、第一の実施例における磁気ディス
ク１の高速回転時のゴムローラ５の追従性維持の問題が
解消される。As described above, by adding the manufacturing process according to the second embodiment, the minute protrusions on the surface of the magnetic disk 1 can be effectively removed, and the magnetic disk 1 having good smoothness.
Is realized. Further, the problem of maintaining the followability of the rubber roller 5 when the magnetic disk 1 rotates at a high speed in the first embodiment is solved.
尚、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の変
形をして実施することができる。It should be noted that various modifications can be implemented without departing from the gist of the present invention.
例えば、前述の各実施例は、磁性膜が付着された磁気デ
ィスクに対する場合について述べたが、本発明はもちろ
ん、磁性膜が付着される前の磁気ディスク基板や、その
他の磁気記録媒体に対しても適用することが可能であ
り、前述の実施例の場合と同様な作用、効果が得られ
る。For example, although the above-mentioned embodiments have been described with respect to the magnetic disk to which the magnetic film is attached, the present invention is not limited to the magnetic disk substrate before the magnetic film is attached and other magnetic recording media. Can also be applied, and the same operation and effect as in the case of the above-described embodiment can be obtained.
また、本実施例の如く磁気ディスクの両面を同時に加工
するのではなく、ディスクの片面のみを加工することも
可能である。研削テープのテープ幅は、研削条件、研削
テープの材質等に応じて適宜変えることができる。研削
テープの押し付け部材は、スプリングや高圧水流など他
の押圧手段を用いてもよい。Further, it is possible to process only one side of the disk instead of simultaneously processing both sides of the magnetic disk as in this embodiment. The tape width of the grinding tape can be appropriately changed depending on the grinding conditions, the material of the grinding tape, and the like. As the pressing member for the grinding tape, other pressing means such as a spring or a high-pressure water stream may be used.
さらには、クランプローラユニットに駆動軸を連結して
直接駆動せずに、カレンダリング処理のみをおこなわ
せ、研削テープの走行には別に設けた駆動手段を用いる
ことも可能である。例えば、駆動用に別のクランプロー
ラユニットを付加したり、供給リール、巻取リールに駆
動用モータを直結し、これを制御することもできる。Further, it is possible to perform only the calendering process without directly driving the clamp roller unit by connecting the drive shaft to the clamp roller unit, and use a separately provided drive means for running the grinding tape. For example, another clamp roller unit for driving may be added, or a driving motor may be directly connected to the supply reel and the take-up reel to control them.
以上、詳細に説明したように、本発明によれば研削テー
プをクランプローラユニットを通して走行させるため、
研削テープを設定速度において速度変動のない安定した
走行が可能となり、さらに磁気ディスクの研削前に研削
テープのカレンダリング処理をおこない研削テープの研
削性を常に一定に保つことができる。この結果高精度の
膜厚公差、良好なる平滑性を有する磁気記録媒体を製造
することが可能となる。As described above in detail, according to the present invention, since the grinding tape is run through the clamp roller unit,
The grinding tape can be stably run at the set speed without speed fluctuation, and further, the calendering processing of the grinding tape can be performed before grinding the magnetic disk to keep the grindability of the grinding tape constant at all times. As a result, it becomes possible to manufacture a magnetic recording medium having highly accurate film thickness tolerance and good smoothness.
第１図は本発明の第一の実施例に係る磁気ディスクの製
造装置を示す斜視図、第２図は第１図の正面図、第３図
は第１図の側面図、第４図はクランプローラユニットの
詳細を示す側面図、第５図は研削テープ表面の粗さプロ
フィルを示す図、第６図は研削テープの巻き径と表面精
度の関係をグラフで表わす図、第７図は研削テープの巻
き径と加工後の磁気ディスクの膜厚精度をグラフで表わ
す図、第８図は本発明の第二の実施例に係る磁気ディス
クの製造装置の正面図、第９図は第８図の側面図であ
る。 １……磁気ディスク、２……クランプローラユニット、
21,22……クランプローラ、５……ゴムローラ、６……
供給モータ、８……供給リール、９……巻取リール。FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic disk manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, FIG. 3 is a side view of FIG. 1, and FIG. FIG. 5 is a side view showing the details of the clamp roller unit, FIG. 5 is a view showing the roughness profile of the surface of the grinding tape, FIG. 6 is a graph showing the relationship between the winding diameter of the grinding tape and the surface accuracy, and FIG. FIG. 8 is a graph showing the tape winding diameter and the film thickness accuracy of the magnetic disk after processing, FIG. 8 is a front view of a magnetic disk manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is FIG. FIG. 1 ... Magnetic disk, 2 ... Clamp roller unit,
21,22 …… Clamp roller, 5 …… Rubber roller, 6 ……
Supply motor, 8 ... Supply reel, 9 ... Take-up reel.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川久保 洋一 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 河村 喜雄 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Yoichi Kawakubo, 1-280 Higashi Koikeku, Kokubunji, Tokyo Metropolitan Research Center, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Yoshio Kawamura 1-280 Higashi Koikeku, Kokubunji, Tokyo Hitachi, Ltd. Central Research Center
Claims (9)
ための研削テープを走行させつつ該媒体に圧接せしめ
て、該媒体の研削加工を行なう磁気記録媒体の製造方法
において、前記研削加工する前の研削テープ走路中に所
定の力で研削テープを挟んで挟圧手段を設け、研削テー
プのカレンダリング処理をすることを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。1. A method of manufacturing a magnetic recording medium, wherein a surface of a magnetic recording medium is pressed against the surface of a magnetic recording medium while the tape is pressed while the tape is running. A method of manufacturing a magnetic recording medium, characterized in that a pressing means is provided to sandwich a grinding tape with a predetermined force in a path of the preceding grinding tape, and calendering processing of the grinding tape is performed.
プローラから成る特許請求の範囲第１項に記載の磁気記
録媒体の製造方法。2. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the pinching means comprises at least a pair of clamp rollers.
プローラの押圧力を調整することを特徴とする特許請求
の範囲第２項に記載の磁気記録媒体の製造方法。3. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 2, wherein the pressing force of the clamp roller is adjusted during the calendering process.
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の磁気記
録媒体の製造方法。4. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the grinding tape is run at a constant speed.
プを供給する受給手段と、研削加工のために研削テープ
を前記磁気記録媒体の表面に押圧する押圧手段と、研削
テープを巻き取る巻取手段とを有する磁気記録媒体の製
造装置において、研削するテープの走路中にあって前記
押圧手段の手前に配置された研削テープを所定の力で挟
む押圧手段を有することを特徴とする磁気記録媒体の製
造装置。5. A receiving means for supplying a grinding tape guided to the surface of the magnetic recording medium, a pressing means for pressing the grinding tape against the surface of the magnetic recording medium for grinding, and a winding for winding the grinding tape. A magnetic recording medium manufacturing apparatus having a take-out means, the magnetic recording medium having a pressing means for sandwiching a grinding tape arranged in front of the pressing means in a path of a tape to be ground with a predetermined force. Media manufacturing equipment.
クランプローラの少なくとも一方は、軟質性の材質から
なる特許請求の範囲第５項記載の磁気記録媒体の製造装
置。6. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 5, wherein the pressing means is a clamp roller, and at least one of the clamp rollers is made of a soft material.
動手段により駆動されることを特徴とする特許請求の範
囲第６項に記載の磁気記録媒体の製造装置。7. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 6, wherein at least one of the clamp rollers is driven by a driving means.
ガスであることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記
載の磁気記録媒体の製造装置。8. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 5, wherein the pressing means is a rubber roller or a high pressure gas.
段及び前記クランプローラは、共通の搭載台に乗せられ
ており、前記搭載台は磁気ディスクの半径方向に移動可
能であることを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載
の磁気記録媒体の製造装置。9. The supply means, the pressing means, the winding means and the clamp roller are mounted on a common mounting table, and the mounting table is movable in the radial direction of the magnetic disk. An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 6.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21781587A JPH0754583B2 (en) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21781587A JPH0754583B2 (en) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6462817A JPS6462817A (en) | 1989-03-09 |
| JPH0754583B2 true JPH0754583B2 (en) | 1995-06-07 |
Family
ID=16710171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21781587A Expired - Lifetime JPH0754583B2 (en) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754583B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06155271A (en) * | 1992-11-16 | 1994-06-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | Burnishing of magnetic disc and device therefor |
-
1987
- 1987-09-02 JP JP21781587A patent/JPH0754583B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6462817A (en) | 1989-03-09 |
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