JPH075319Y2 - High vacuum sealing device - Google Patents

High vacuum sealing device

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JPH075319Y2
JPH075319Y2 JP1989006395U JP639589U JPH075319Y2 JP H075319 Y2 JPH075319 Y2 JP H075319Y2 JP 1989006395 U JP1989006395 U JP 1989006395U JP 639589 U JP639589 U JP 639589U JP H075319 Y2 JPH075319 Y2 JP H075319Y2
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JP
Japan
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gasket
flange
sealing device
vacuum sealing
high vacuum
Prior art date
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JP1989006395U
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Japanese (ja)
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JPH0298264U (en
Inventor
博司 山口
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高エネルギー物理学研究所長
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Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案はフランジとガスケットを用いる高真空シール装
置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention relates to a high vacuum sealing device using a flange and a gasket.

(従来の技術) 現在、高真空及び超高真空に一般的に用いられているフ
ランジとガスケットを用いるシール装置には、コーンフ
ラットフランジ型と、ヘリコフレックス型とが代表的で
ある。
(Prior Art) Currently, a cone flat flange type and a helicopter type are typical as a sealing device using a flange and a gasket which are generally used for high vacuum and ultra high vacuum.

コーンフラットフランジ型のシール装置は、第1図に示
すように鈍角ナイフエッジ4を有するフランジ1,1の対
向する***部3,3の間にリング状のガスケット2を挟み
込み、多数のボルトナット5で締付ける。その為、エッ
ジ4がガスケット2に喰込み、さらにガスケット2を歪
めてエッジ4のテーパー部6に押し付け、さらに***部
3の面に強く押し当てて密封する構造となっている。
As shown in FIG. 1, the cone-flat flange type sealing device has a ring-shaped gasket 2 sandwiched between opposed ridges 3 and 3 of flanges 1 and 1 having obtuse knife edges 4 and a large number of bolts and nuts 5. Tighten with. Therefore, the structure is such that the edge 4 bites into the gasket 2, the gasket 2 is further distorted and pressed against the tapered portion 6 of the edge 4, and further strongly pressed against the surface of the raised portion 3 to seal.

ヘリコフレックス型又はトライパック型のシール装置
は、ピッチの小さい円形断面のコイルスプリング(3〜
5mmφ、インコネル又はステンレス鋼)7の外側にC字
状の純アルミニューム板を被せた構造である。これを対
称なフランジ1,1のガスケット収容溝9に挟み込み、圧
接して締付け、コイルスプリング7の弾性で密封する構
造である。
The helicopter-type or tripak-type sealing device is a coil spring (3 to
5 mmφ, Inconel or stainless steel) 7 is covered with a C-shaped pure aluminum plate. The structure is such that this is sandwiched in the gasket receiving groove 9 of the symmetrical flanges 1, 1 and is pressed into contact and tightened to be sealed by the elasticity of the coil spring 7.

(考案が解決しようとする課題) 前述したシール装置でも夫々の利点を持って有用なもの
であるが、今後高真空電子加速器に於いてはハドロン又
は重イオン等のビーム加速、それを利用する実験室のビ
ーム輸送路等は、ビーム強度と運転時間に応じた残留放
射線量の増加が見込まれる。また、ビーム強度と加速エ
ネルギーを増強する現在の傾向に伴って、装置全体の残
留放射能が蓄積され、線量も高くなってくる。その為に
保守改善の際シール装置の作業時間を短縮し、然も確実
に密封するシール装置が要望されている。また、将来、
そのような條件の下で遠隔操作又はロボットによりシー
ル装置を着脱することが考えられ、その場合、簡便で、
締付トルクが小さく、シール性が確実なシール装置が要
望されている。
(Problems to be solved by the invention) Although the above-mentioned sealing devices are also useful with their respective advantages, in future high-vacuum electron accelerators, beam acceleration of hadrons or heavy ions, etc. The residual radiation dose is expected to increase depending on the beam intensity and the operating time of the beam transportation path in the room. In addition, with the current tendency to increase the beam intensity and acceleration energy, the residual radioactivity of the entire device is accumulated and the dose becomes higher. For this reason, there is a demand for a sealing device that shortens the working time of the sealing device during maintenance and ensures reliable sealing. Also in the future,
Under such conditions, it is conceivable to attach / detach the sealing device by remote control or robot, in which case it is simple and
There is a demand for a sealing device with a small tightening torque and a reliable sealing property.

従来のガスケット型のシール装置は、ガスケットに喰込
むエッジ4が鈍角である為締付トルクが大きく、フラン
ジ歪を避ける為ボルトの本数が多く、確実で有効な型式
であるが、作業時間が多く取られる欠点がある。また、
加熱ガスを吸う場合、締付トルクが大きい為、クランプ
チェーンでの締付けは殆んど不可能である。クランプチ
ェーンは、装置の加熱脱ガスの必要がないならばアルミ
ニューム製のもので十分であるが、加熱脱ガスが必要な
ときはステンレス鋼製のものとして締付ブロック数の多
いものが必要である。
The conventional gasket-type sealing device has a large tightening torque because the edge 4 that digs into the gasket is an obtuse angle, and has a large number of bolts to avoid flange distortion. There are drawbacks taken. Also,
When sucking heated gas, the tightening torque is large, so tightening with a clamp chain is almost impossible. The clamp chain may be made of aluminum if heating degassing of the equipment is not necessary, but when heating degassing is required, stainless steel one with a large number of tightening blocks is required. is there.

また、従来のボルト式のシール装置は、遠隔操作の機構
が複雑になり、さらに加速器の場合フランジ前後に種々
の機器が配置され、ビーム軸方向の空間に制限されるこ
とが多く、殆ど実施不可能である。
In addition, the conventional bolt-type sealing device has a complicated remote operation mechanism, and in the case of an accelerator, various devices are arranged in front of and behind the flange, which often limits the space in the beam axis direction. It is possible.

ヘリコフレックス又はトライパック型のシール装置は、
コイルスプリングを有する為、比較的小さい締付トルク
で密封が可能であり、また、非円形の形状の密封部にも
容易に適応できる利点があるが、シール材のAl等に擦り
傷を生じる危険があり、擦り傷が密封性に致命傷となる
管理上の難問題がある。
Helicoflex or try pack type sealing device
Since it has a coil spring, it can be sealed with a relatively small tightening torque, and it has the advantage that it can be easily applied to a non-circular shaped sealing part, but there is a risk of scratches on the sealing material such as Al. However, there is a problem in management that the scratches are fatal to the sealing property.

(課題を解決するための手段) 本考案は構造が簡単で、脱着が簡便で、締付トルクが小
さく、作業時間が短く、しかも密封性が確実な高真空シ
ール装置を提供する。
(Means for Solving the Problems) The present invention provides a high-vacuum sealing device which has a simple structure, is easily attached and detached, has a small tightening torque, a short working time, and has a reliable hermeticity.

本考案は密封部がフランジとガスケットとを有する高真
空シール装置において、フランジの外周縁部にガスケッ
トと当接する部分に、ガスケットを挟むように一組の鋭
角の等脚ナイフエッジを設けて成るものである。
The present invention is a high-vacuum sealing device in which a sealing portion has a flange and a gasket, in which a pair of acute-angled equal-edged knife edges are provided so as to sandwich the gasket at a portion contacting the gasket at an outer peripheral edge portion of the flange. Is.

フランジがガスケットと当接する部分には***部を設け
ることが好ましく、ガスケット収容溝を設けても良い。
It is preferable to provide a raised portion at a portion where the flange contacts the gasket, and a gasket receiving groove may be provided.

フランジが円形の場合には、ナイフエッジは同心円状と
すると、好都合であり、ガスケットはフランジの密封部
の形状に応じて、適宜な平面形状例えばリング状とする
ことができ、非リング形状とすることもできる。或い
は、断面形状をコーンフラット型又はコイルスプリング
型とすることもできる。
When the flange is circular, it is convenient to make the knife edge concentric, and the gasket can have an appropriate planar shape, for example, a ring shape, depending on the shape of the sealing portion of the flange, and a non-ring shape. You can also Alternatively, the cross-sectional shape may be a cone flat type or a coil spring type.

ガスケットの材質は従来既知の任意の材質を用いること
ができる。例えば銅、アルミニウム等である。
As the material of the gasket, any conventionally known material can be used. For example, copper, aluminum, or the like.

本考案の高真空シール装置は、ガスケットの外周縁部端
面にV字型の溝を付け、この溝に外方に延びるガイドリ
ングを嵌合させ、ガスケットをガイドリングによってフ
ランジ上に支持することができる。
The high-vacuum sealing device of the present invention is provided with a V-shaped groove on the end face of the outer peripheral edge of the gasket, a guide ring extending outward is fitted in the groove, and the gasket is supported on the flange by the guide ring. it can.

(作用) 本考案の高真空シール装置は、シール時にガスケットに
鋭角なナイフエッジを喰込ませる為、締付トルクが小さ
く、シール性が確実であり、作業時間を短縮することが
できる。
(Operation) In the high vacuum sealing device of the present invention, since a sharp knife edge is inserted into the gasket during sealing, the tightening torque is small, the sealing property is reliable, and the working time can be shortened.

ガイドリングを設けて、ガスケットをガイドリングによ
ってフランジ上に支持すると、ガスケットをフランジに
よって締付ける場合、ガイドリングがガスケットを支承
すると共にガスケットがフランジから外れ難くなって、
締付け作業が容易となり、促進される。
When the guide ring is provided and the gasket is supported on the flange by the guide ring, when the gasket is tightened by the flange, the guide ring supports the gasket and the gasket is difficult to come off from the flange.
The tightening work is facilitated and facilitated.

本考案の高真空シール装置は、超高真空シール装置に特
に適している。
The high vacuum sealing device of the present invention is particularly suitable for an ultra high vacuum sealing device.

(実施例) 以下、本考案を図面につきさらに詳細に説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

実施例1 第3図に示す実施例において、フランジ1は同心円状の
ガスケット溝2の中間に角度約30〜40°の等脚ナイフエ
ッジ4を有している。このナイフエッジ4は保護の為フ
ランジ面より約0.5〜0.6mm低く設けてある。対向した対
称のフランジ1,1のガスケット収容溝9,9にリング状の銅
板のガスケット5を挿入し、従来のボルト又はクランプ
チェーン11によってフランジ1,1を締付ける。銅ガスケ
ット2はそのときフランジ1,1のナイフエッジ4,4に喰込
み、フランジ部を確実にシールする。フランジのガスケ
ット収容溝9を構成する***分3は、外部から物が当ら
ないようにナイフエッジ4を保護する機能をも兼ねてい
る。
Embodiment 1 In the embodiment shown in FIG. 3, the flange 1 has an equipodal knife edge 4 having an angle of about 30-40 ° in the middle of a concentric gasket groove 2. The knife edge 4 is provided about 0.5 to 0.6 mm lower than the flange surface for protection. The ring-shaped copper plate gasket 5 is inserted into the gasket receiving grooves 9, 9 of the opposed symmetrical flanges 1, 1 and the flanges 1, 1 are tightened by a conventional bolt or clamp chain 11. The copper gasket 2 then bites into the knife edges 4,4 of the flanges 1,1 to ensure sealing of the flanges. The raised portion 3 forming the gasket receiving groove 9 of the flange also has a function of protecting the knife edge 4 so that an object is not hit from the outside.

実施例2 高真空シール装置はフランジが水平である場合は問題な
いが、通常フランジを垂直にして用いることが多い。そ
の際、ガスケット収容溝に取付けたガスケットが往々に
して脱落することがある。それを防ぐ為、第3図に示す
ようにガスケット2の厚さ方向の外径にV字形の溝4を
入れ、フランジ1の円周方向に溝14と同じ深さの切込み
12を3〜4カ所入れる。コーンフラット型ガスケット2
のガイドリング10は断面形状L型で、厚さ0.1〜0.2mmの
弾性材で、第2図に示したようにフランジ1の外方から
入れるようになっている。ガイドリング10の内側に巾数
mmの突起13を3〜4カ所設け、ガスケット2の切込み12
に入れ、切込み12からガイドリング10を若干回して、ガ
スケット2から外れないようにする。
Example 2 The high vacuum sealing device has no problem when the flange is horizontal, but usually the flange is used vertically. At that time, the gasket attached to the gasket accommodating groove is often dropped. In order to prevent this, as shown in FIG. 3, a V-shaped groove 4 is formed in the outer diameter of the gasket 2 in the thickness direction, and a notch having the same depth as the groove 14 is formed in the circumferential direction of the flange 1.
Put 12 in 3-4 places. Cone flat type gasket 2
The guide ring 10 has an L-shaped cross section, is made of an elastic material having a thickness of 0.1 to 0.2 mm, and is inserted from the outside of the flange 1 as shown in FIG. Number of widths inside guide ring 10
Providing 3 to 4 mm protrusions 13 and notch 12 in the gasket 2
, And then slightly turn the guide ring 10 from the notch 12 so that it will not come off from the gasket 2.

(考案の効果) 本考案の高真空シール装置は、ナイフエッジが鋭角であ
る為、比較的小さい締付力で、短時間で容易に確実に良
好に密封が達成できる。これによって従来のガスケット
にエッジ部分を喰込ませるコーンフラットフランジより
もボルトの本数が少なくて済み、クランプチェーンを用
いることも可能である。また、構造が簡単であるので、
製造維持が安価であり、ガスケット等の管理に過度に神
経質にならなくても良い利点がある。
(Effect of the Invention) Since the knife edge of the high vacuum sealing device of the present invention is an acute angle, it is possible to easily and reliably achieve good sealing in a short time with a relatively small tightening force. As a result, the number of bolts is smaller than that of the conventional cone flat flange that allows the edge portion to be embedded in the gasket, and it is possible to use a clamp chain. Also, since the structure is simple,
Manufacturing is inexpensive, and there is an advantage that it is not necessary to be excessively nervous in managing gaskets and the like.

さらに、ガスケット外径側にV字型の溝を入れ、ガイド
リングを取付けると、結合の場合にフランジの面合せの
ときに、ガスケットの落下を防止することができる。
Further, if a V-shaped groove is formed on the outer diameter side of the gasket and a guide ring is attached, the gasket can be prevented from dropping when the flanges are aligned in the case of coupling.

さらにまた、短時間に容易に小さい締付力で確実に密封
できる為、将来、加速器等の高放射線線量下での保守改
善等の作業に導入される遠隔操作又はロボットの作業
を、比較的に容易に実施することができる。
Furthermore, since it is possible to easily and reliably seal with a small tightening force in a short time, it is possible to perform remote operation or robot work that will be introduced in the future such as maintenance and improvement work under high radiation dose such as accelerators. It can be easily implemented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は従来コーンフラットフランジ型の真空シール装
置を示す線図的縦断面図、 第2図は従来のヘリコフレックスフランジ型の真空シー
ル装置を示す線図的縦断面図、 第3図は本考案装置の一例を示す線図的縦断面図、 第4図は本考案装置の他の例を示す線図的平面図、 第5図はそのV−V線上の線図的横断面図である。 1…フランジ、2…ガスケット 3…フランジの***部、4…ナイフエッジ 5…ボルトナット、6…エッジ4のテーパー部 7…コイルスプリング、8…C型アルミ板 9…ガスケット収容溝、10…ガイドリング 11…クランプチェーン、12…切込み 13…突起、14…V字型溝
FIG. 1 is a schematic vertical sectional view showing a conventional cone flat flange type vacuum sealing device, FIG. 2 is a schematic vertical sectional view showing a conventional helicoflex flange type vacuum sealing device, and FIG. FIG. 4 is a diagrammatic vertical sectional view showing an example of the devising device, FIG. 4 is a diagrammatic plan view showing another example of the devising device, and FIG. 5 is a diagrammatic transverse sectional view taken along the line VV. . 1 ... Flange, 2 ... Gasket 3 ... Flange ridge, 4 ... Knife edge 5 ... Bolt nut, 6 ... Edge 4 taper section 7 ... Coil spring, 8 ... C type aluminum plate 9 ... Gasket accommodating groove, 10 ... Guide Ring 11 ... Clamp chain, 12 ... Notch 13 ... Protrusion, 14 ... V-shaped groove

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】密封部がフランジとガスケットとを有し、
フランジの外周縁部にガスケットと当接する部分にガス
ケットを挟むように一組の30〜40°の等脚ナイフエッジ
を設けて成る高真空シール装置において、ガスケットの
外周縁部端面にV字型の溝を付け、この溝に外方に延び
るガイドリングを嵌合させて成る高真空シール装置。
1. The sealing portion has a flange and a gasket,
In a high vacuum sealing device having a set of 30-40 ° equal leg knife edges so as to sandwich the gasket at the outer peripheral edge of the flange so as to sandwich the gasket, a V-shaped end face of the outer peripheral edge of the gasket is provided. A high-vacuum sealing device that has a groove and a guide ring that extends outward is fitted into this groove.
【請求項2】実用新案登録請求の範囲1記載の高真空シ
ール装置において、ナイフエッジを保護の為フランジ面
より低く設けて成る高真空シール装置。
2. The high vacuum sealing device according to claim 1 for utility model registration, wherein the knife edge is provided lower than the flange surface for protection.
【請求項3】実用新案登録請求の範囲1記載の高真空シ
ール装置において、フランジがガスケットと当接する部
分にガスケットを収容する***部又はガスケット収容溝
を設けて成る高真空シール装置。
3. The high vacuum sealing device according to claim 1, wherein the flange is provided with a raised portion or a gasket receiving groove for receiving the gasket at a portion where the flange contacts the gasket.
JP1989006395U 1989-01-25 1989-01-25 High vacuum sealing device Expired - Lifetime JPH075319Y2 (en)

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JP1989006395U JPH075319Y2 (en) 1989-01-25 1989-01-25 High vacuum sealing device

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JPH0298264U JPH0298264U (en) 1990-08-06
JPH075319Y2 true JPH075319Y2 (en) 1995-02-08

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