JPH075200A - 検査用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 内部抵抗が安定し、その抵抗値も低い高性能
の検査用プローブを提供する。 【構成】 プランジャ２をスリーブ１の内周面に圧接さ
せる圧接用スプリング５を設ける。この構成のプローブ
によれば、プランジャ２は、圧接用スプリング５により
スリーブ１の内周面に常に圧接した状態で摺動すること
になる。そのため、このプローブの使用時に、プランジ
ャ２がどのような位置に後退しても、スリーブ１とプラ
ンジャ２との電気的な接続状態は変化することがない。
即ち、内部抵抗が安定するとともに、その抵抗値も低く
保たれることになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、チップ部品，ＬＳＩ等
の電気回路である被検査部品を電気的に検査する際に使
用する検査用プローブに係り、詳しくは、スリーブに嵌
合したプランジャの先端部を被検査部品の端子に接触さ
せることにより、該端子から、上記プランジャとスリー
ブとを通して電気信号を取り出すようにした検査用プロ
ーブに関する。

【０００２】

【従来の技術】図３は、従来のこの種の検査用プローブ
の一例を示す破断図である。

【０００３】図のようにこのプローブは、一端を閉じた
円筒状のスリーブ１内に、棒状のプランジャ２の後端部
を摺動自在に、かつ抜き止めして嵌合するとともに、そ
のプランジャ２を上記スリーブ１の外方へ向けて付勢し
て構成したものである。即ち、上記プランジャ２は、そ
の嵌合部分に形成された小径部２ａに、上記スリーブ１
に形成された環状のかしめ部１ａが係合することによっ
て抜き止めされ、また上記スリーブ１内に収められたコ
イルスプリング３によって、スリーブ外方へ向けて押圧
されている。さらに、上記スリーブ１とプランジャ２と
は、金属等の導電性を有する素材で形成されており、互
いに常に電気的に接続された状態にある。

【０００４】上記構成のプローブは、プランジャ２の先
端部がチップ部品の端子に接触させられることにより、
その端子からの電気信号を、プランジャ２とスリーブ１
とを通して、スリーブ１に接続された測定器へ伝達す
る。そして測定器では、その電気信号に基づいて電気回
路の品質等の検査を行う。

【０００５】また上記構成のプローブでは、プランジャ
２の先端部が電気回路の端子に接触させられた際には、
そのプランジャ２がコイルスプリング３のクッションに
より後退するため、端子に衝撃を与えることがない。

【０００６】なお、上記構成のプローブは、実際には、
同一の絶縁基板に多数立設された状態で使用されるもの
で、各プローブが、回路基板上に配設された多数の電気
回路の端子に同時に接触して、各端子からの電気信号を
測定器へ伝達する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】近年、電気回路は非常
に微細化され、それに伴って、端子からの電気信号も非
常に微弱なものになっている。従ってこのような微弱な
電気信号を取り出す検査用プローブに対しては、内部抵
抗が安定し、しかもその抵抗値が低いということが要求
される。

【０００８】しかし上記構成の検査用プローブでは、ス
リーブ１の内周面と、そのスリーブ１内に嵌合されたプ
ランジャ２の外周面とは、スリーブ１の内径とプランジ
ャ２の外径とをほぼ等しくすることによって接触させら
れている構造であるため、使用時のプランジャ２の後退
位置により、両者間の電気的な接続状態が変化すること
がある。即ち、プローブの内部抵抗が安定しないととも
に、その抵抗値も高いという問題があった。

【０００９】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、内部抵抗が安定し、その抵抗値も低
い高性能の検査用プローブを提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る検査用プローブでは、プランジャ
（２）をスリーブ（１）の内周面に圧接させる圧接用ス
プリング（５）を設けた。

【００１１】

【作用】上記構成のプローブによれば、プランジャ
（２）は、圧接用スプリング（５）によりスリーブ
（１）の内周面に常に圧接した状態で摺動することにな
る。そのため、このプローブの使用時に、プランジャ
（２）がどのような位置に後退しても、スリーブ（１）
とプランジャ（２）との電気的な接続状態は変化するこ
とがない。即ち、内部抵抗が安定するとともに、その抵
抗値も低く保たれる。

【００１２】なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照
するためのものであり、何等本発明の構成を限定するも
のではない。

【００１３】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。

【００１４】図１は、本発明に係る検査用プローブの構
成を示す横断面図である。なお、図１において、図３に
示した従来例に相当する構成部分には同一の符号を付し
た。

【００１５】図のように、一端を閉じた円筒状の細長い
スリーブ１内に、棒状のプランジャ２の後端部が摺動自
在に嵌合されている。これらのスリーブ１とプランジャ
２とは、金属等の導電性を有する素材で形成されてい
る。また上記プランジャ２は、その嵌合部分に形成され
た長手方向に長い切欠部２ａに、上記スリーブ１に形成
されたかしめ部１ａが係合することによって抜き止めさ
れるとともに、上記スリーブ１内に収められたコイルス
プリング３によって、スリーブ外方へ向けて付勢されて
いる。

【００１６】さらにこのプローブの特徴として、上記プ
ランジャ２を上記スリーブ１の内周面に圧接させる圧接
用スプリング５が設けられている。本実施例の場合、こ
の圧接用スプリング５としては、上記プランジャ２の切
欠部２ａに収まるような、湾曲した板バネ状のものが用
いられている。そしてこの板バネ状の圧接用スプリング
５は、その湾曲部分がスリーブ１の内周面に圧接するこ
とによって、プランジャ２を反対側の内周面に圧接させ
ている。

【００１７】上記構成のプローブでは、プランジャ２
は、圧接用スプリング５によりスリーブ１の内周面に常
に圧接した状態で摺動することになる。そのため、この
プローブの使用時に、プランジャ２がどのような位置に
後退しても、スリーブ１とプランジャ２との電気的な接
続状態は変化することがない。即ち、内部抵抗が安定す
るとともに、その抵抗値も低く保たれる。

【００１８】上記圧接用スプリング５の形態について
は、上記図１に示した実施例に限るものではなく、プラ
ンジャ２をスリーブ１の内周面に圧接させるようなもの
であればよい。例えば、図２（ａ）の横断面図および図
２（ｂ）の要部平面図に示す如く、スリーブ１の一部を
切り欠いて内部へ湾曲させるように突出させ、その突出
部分を片持ちにして弾性を持たせることによって圧接用
スプリング５を形成してもよい。この場合にも、圧接用
スプリング５が、プランジャ２をスリーブ１の内周面に
圧接させることによって、上記実施例の場合と同様の効
果を得ることができる。

【００１９】なお、上記プローブの使用方法について
は、従来例と同様であり、よって説明を省略する。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る検査
用プローブでは、プランジャをスリーブの内周面に圧接
させる圧接用スプリングを備えたことにより、内部抵抗
が安定し、その抵抗値も低く保たれる。従って、検査用
プローブとしての信頼性が向上し、このプローブを使用
すれば、チップ部品，ＬＳＩ等の電気回路である被検査
部品を常に高い精度で検査することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における検査用プローブの構成
を示す横断面図である。

【図２】本発明の他の実施例における検査用プローブの
構成を示す図で、（ａ）は横断面図、（ｂ）は要部平面
図である。

【図３】従来例における検査用プローブの構成を示す破
断図である。

【符号の説明】

１ スリーブ ２ プランジャ ５ 圧接用スプリング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性のスリーブ内に導電性のプランジ
   ャの後端部を摺動自在に、かつ抜き止めして嵌合すると
   ともに、該プランジャを上記スリーブの外方へ向けて付
   勢して成り、上記プランジャの先端部を被検査部品の端
   子に接触させることにより、該端子から、上記プランジ
   ャとスリーブとを通して電気信号を取り出す検査用プロ
   ーブにおいて、 上記プランジャを上記スリーブの内周面に圧接させる圧
   接用スプリングを備えたことを特徴とする検査用プロー
   ブ。