JPH0751505A - 水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置 - Google Patents

水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置

Info

Publication number
JPH0751505A
JPH0751505A JP20089493A JP20089493A JPH0751505A JP H0751505 A JPH0751505 A JP H0751505A JP 20089493 A JP20089493 A JP 20089493A JP 20089493 A JP20089493 A JP 20089493A JP H0751505 A JPH0751505 A JP H0751505A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hollow fiber
aqueous solution
fiber membrane
dissolved gas
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20089493A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Uchida
誠 内田
Kenji Shinkawa
健二 新川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP20089493A priority Critical patent/JPH0751505A/ja
Publication of JPH0751505A publication Critical patent/JPH0751505A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】 水の濡れ特性が濡れ角度90°以上で且つ膜の細孔径が
0.05μm以下の疎水性高分子からの多孔質中空糸膜
の一方を水溶液と接し、他方を減圧する際、該水溶液を
加温して水溶液中の溶存ガスを除去する方法及び該方法
を実施する装置に関する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、水溶液中に存在する溶
存ガスの除去方法、特に半導体の洗浄用水、清涼飲料水
用水或はボイラー等の配管を腐食させる大きな要因とな
っている溶存酸素の除去や、水道水や井戸水に溶存する
揮発性の有機物(特にクロロホルム、ジクロロブロモホ
ルム等のトリハロメタンや1,1,1−トリクロロエタ
ン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等の揮
発性の有機ハロゲン物質)を除去する方法及び装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来の溶存ガス除去方法には、溶液の入
った容器を減圧にする方法や、薬品処理により溶存ガス
を除去する方法及び装置が知られている。
【0003】このような装置では、溶存ガスの完全除去
が困難で且つ除去時間が長いなどの問題があるため最近
では疎水性の多孔質膜を用いた溶存ガス除去装置が提案
されている(特開昭62−42707号公報)。
【0004】又均質層をその両側から多孔質層で挟み込
んだ三層構造の複合中空糸膜で溶存ガスを除去する方法
が知られている(実開平3−7908号、特開平3−1
69303号各公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら前記の中空糸
膜を用いた方法では、膜面積に対応した溶存ガス除去性
能を維持するものの、中空糸膜と溶液の界面に形成され
る境膜抵抗が大きいために、中空糸膜のガス透過性能を
高めても除去効率が向上することはなく、除去装置が大
型化する問題点があった。
【0006】本発明の目的は、上記問題点を解決し長時
間使用しても溶存ガスの除去性能が低下することのな
い、除去効率の高い方法及び小型の除去装置を提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、下記の
通りである。
【0008】(1)水の濡れ特性が濡れ角度90°以上
であり且つ膜の細孔径が0.05μm以下である疎水性
高分子よりなる多孔質中空糸膜の一方を水溶液と接し、
他方を減圧するに際し、該中空糸膜と接する水溶液の温
度を加温することを特徴とする水溶液中の溶存ガス除去
方法。
【0009】(2)中空糸膜が、均質層をその両側から
多孔質層で挟み込んだ三層構造であって、均質層を構成
する素材の酸素透過速度が0.8×10-5(cm3 (S
TP)/cm2 ・sec・cmHg)以上の性能を有す
る複合中空糸膜である上記(1)に記載の方法。
【0010】(3)容器と該容器内に位置する中空糸膜
と、該中空糸膜の短部を支持し、中空糸膜の中空部に連
通する空間と中空糸膜の外表面に連通する空間とを隔離
する隔壁を有し、中空糸膜の外表面と容器内壁面とで構
成される空間に溶存ガスを含む水溶液を流すための導入
口及び導出口又は該空間を減圧にするための減圧口と中
空糸膜中空部に溶存ガスを含む水溶液を流すための導入
口及び導出口又は該中空部を減圧状態にするための脱気
口を設けた水溶液中の溶存ガス除去モジュールAと該モ
ジュールAの水溶液導入口の前に水溶液を加温する装置
Bを設けたことを特徴とする水中の溶存ガス除去装置。
【0011】(4)空間の減圧状態をモジュールAへ導
入する水溶液の飽和水蒸気圧に維持することを特徴とす
る上記(3)に記載の装置。
【0012】(5)モジュールAが中空糸膜をラッセル
編み状或はすだれ編み状に編成したシート状物であるこ
とを特徴とする上記(3)に記載の装置。
【0013】(6)モジュールAに充填する中空糸膜の
充填量を、容器両端の接着剤で囲まれた空間の容積中に
占める中空糸膜の容積率を20〜50%の範囲内にする
ことを特徴とする上記(3)に記載の装置。
【0014】本発明に用いる多孔質中空糸膜はポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリ4−メチルペンテン−1等
のポリオレフィン、テトラフルオロエチレンやフッ化ビ
ニリデン等のフッ素系ポリマー、ポリスチレン、ポリエ
ーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトン等の疎水性
高分子よりなるものであり、該中空糸膜の細孔内部に水
が侵入することを防ぐために表面の水の濡れ特性が濡れ
角度が高いほど良く90°以上であることが必要であ
る。
【0015】更には該中空糸膜の細孔径は長期間使用す
ることを目的とすると、小さいほど水の表面張力が高い
ために水が侵入し難いことから、細孔径が0.05μm
以下の多孔質膜が好ましい。
【0016】これら疎水性の多孔質中空糸膜は長時間使
用すると水蒸気が疎水性中空糸膜細孔内部に凝縮して細
孔内部が完全に水で埋もれてしまい、その結果水が中空
糸膜から漏れてしまう危険性がある。
【0017】中空糸膜構造としては、均質層をその両側
から多孔質層で挟み込んだ三層構造であって、均質層を
構成する素材の酸素透過速度が0.8×10-5(cm3
(STP)/cm2 ・sec・cmHg)以上の性能を
有する複合中空糸膜が、本発明では更に好ましい中空糸
膜である。
【0018】酸素透過速度が0.8×10-5(cm
3 (STP)/cm2 ・sec・cmHg)未満では水
中に溶存するガスの均質膜を透過する速度が遅く効率的
に溶存ガスを除去することが出来ない。
【0019】このような複合中空糸膜は、例えば多重円
筒型の紡糸ノズルを用いて均質膜を形成するポリマーと
多孔質膜を形成するポリマーとを交互に配置し溶融紡糸
し、次いで均質膜を多孔質化することなく多孔質膜だけ
を多孔質化する条件で延伸する方法により製造される。
【0020】均質層を構成するポリマー素材としては、
ガス透過性の優れたシリコンゴム系ポリマーを始めとし
て、ポリジメチルシロキサン、シリコンとポリカーボネ
ートの共重合体等のシリコンゴム系ポリマー、ポリ4−
メチルペンテン−1、低密度ポリエチレン等のポリオレ
フィン系ポリマー、パーフルオロアルキル系ポリマー等
のフッ素含有ポリマー、エチルセルロース等セルロース
系ポリマー、ポリフェニレンオキサイド、ポリ4−ビニ
ルピリジン、ウレタン系ポリマー及びこれらポリマー素
材の共重合体或はブレンド体等の各種ポリマーを挙げる
ことが出来る。
【0021】多孔質層を構成するポリマー素材として
は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ3−メチルブ
テン−1、ポリ4−メチルペンテン−1等のポリオレフ
ィン系ポリマー、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフ
ルオロエチレン等のフッ素系ポリマー、ポリスチレン、
ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトン等の
疎水性ポリマーが挙げられる。
【0022】均質層を構成するポリマー素材と、多孔質
層を構成するポリマー素材との組み合わせについては特
に限定されず、異種のポリマーは勿論同種のポリマーで
あっても良い。
【0023】均質層が多孔質層で物理的に挟み込まれた
サンドイッチ構造を有しているので、両膜間の接着性が
悪くとも、実用上の弊害は生じない。
【0024】多孔質膜或は複合中空糸膜へ導入する溶存
ガスを含有する水溶液を加温することにより、中空糸膜
と水との境界に形成される境膜抵抗が小さくなり、又水
中での溶存ガスの拡散定数が増大し、且つ複合中空糸膜
に於ては均質膜のガス透過係数が大きくなることにより
脱気効率が急激に増大する。
【0025】加温する方法としては、中空糸膜モジュー
ルへ導入する水溶液を一般的に用いられている熱交換器
を通水させ加温する方法、モジュール全体を加温する方
法があるがその方法にはとらわれない。
【0026】但し水温に比べモジュール内ガス側の温度
が大幅に低い場合には、ガス側空隙に凝縮水が溜まり膜
面積を減少させるから、ガス側と水温に大きな温度差が
生じないように保温することが重要である。
【0027】又凝縮水による糸束の集束化による膜面積
の低下を防ぐ方法として、中空糸膜をラッセル編成ある
いはすだれ状に編成すること、又中空糸膜の充填量を容
器両端の接着剤で囲まれた空間の容積中に占める中空糸
膜の容積率を20〜50%(好ましくは25〜45%)
の範囲内にすること等が考えられる。
【0028】ラッセル編み或はすだれ編み状に編成する
と中空糸膜を経て糸でシート状に加工するため中空糸膜
間が経糸の太さ分だけ空間を維持することが出来る。こ
のため中空糸膜を1本づつ編むことが好ましいが何本か
をまとめて編んでもよい。
【0029】中空糸膜の充填量を容器両端の接着剤で囲
まれた空間の容積中に占める中空糸膜の容積率を、20
%未満にすると必要な膜面積を確保するには容積が大き
くなり、50%を越えると凝縮水が中空糸膜間に残存し
脱気に有効な膜面積が減少してしまう。
【0030】減圧状態を、モジュールへ導入する水溶液
の飽和水蒸気圧以下に設定すると、中空糸膜を透過する
水蒸気量が急激に増大し、真空ポンプの排気量が非常に
大きなものを必要とする。
【0031】又飽和水蒸気圧以上の減圧度では、ガス側
に脱気したガス成分が残存し、ガス分圧に対応した気液
平衡濃度までしか除去することが出来ない。
【0032】このため減圧度としてはモジュールへ導入
する水溶液の飽和水蒸気圧が最適である。このような減
圧度を維持する方法としては、シール性の高い水封式の
真空ポンプを用いることにより容易に達成できる。
【0033】図1は本発明の水溶液中の溶存ガスを除去
するのに適する装置の一例であり、1は気密性及び水密
性を有する容器であり、該容器の内部には多数本の中空
糸膜2が所定の間隔をおいてその両端部がポッティング
剤3により支持固定されるように配設されている。
【0034】容器1の両端には前記ポッティング剤によ
り支持固定された中空糸膜2と容器1の内壁間に形成さ
れる空隙部にそれぞれ連通する溶存ガスを含む水溶液の
導入口4及び導出口5が設けてある。
【0035】前記ポッティング剤により、前記多数本の
中空糸膜2,2,2,・・・・・,2間に形成される空
隙と前記溶存ガスを含む水溶液の導入口4及び導出口5
とを遮断する隔壁3を形成する。
【0036】更に容器1の周面の一部には、前記中空糸
膜2,2,2,・・・・,2間に形成される空隙とを連
通する脱溶存ガス及び水蒸気口6が形成され、該脱溶存
ガス及び水蒸気口6は水封式の真空ポンプ7と接続され
ている。
【0037】更に容器1はガス温あるいは水温を低下さ
せぬように保温カバー8で覆われている。溶存ガスを含
む水溶液を容器1へ導入する導入口4は水温の加温装置
9と接続されており、所定の水温へ設定しモジュールへ
溶存ガスを含む水溶液を導入することが出来る。
【0038】本発明者等は、水溶液中の溶存ガスを除去
する方法及び装置を用いて検討を行った結果、驚くべき
ことに水温を上げることにより溶存ガスが非常に高い効
率で除去できることを見いだしたものである。水温は効
率及びエネルギーコストから20〜80℃、好ましくは
25〜60℃より好ましくは30〜50℃である。
【0039】
【作用】かかる構成により、本発明の方法及び装置によ
れば溶存ガスを含む水溶液は加温された後に中空糸の中
空部(又は外表面)を流れると同時に中空糸膜の外表面
(又は中空部)が減圧されているために前記溶存ガスは
ガスとなって中空糸膜を効率的に透過し、外部に排出さ
れる。又水蒸気の排気量が少なく小型の水封式真空ポン
プで装置化できる。従って、本発明の方法及び装置を用
いることにより、非常に小さなスペースで溶存ガスを除
去することが可能である。
【0040】
【実施例】以下実施例により本発明を具体的に説明す
る。
【0041】「溶存ガス除去率」は各々の成分に対して
次式より計算した。 溶存ガスx除去率(%)={1−(Cxi−Cxo)/
x } Cxi;装置に入る水の中に含まれる溶存ガスxの濃度 Cxo;装置から出る水の中に含まれる溶存ガスxの濃度
【0042】「中空糸膜の酸素ガス透過速度」はガスク
ロマトグラフィーにより測定した。
【0043】参考例1 同心円状に配置された3つの吐出口を有する中空糸製造
用ノズルに対し、内層と外層に供給するポリマー素材と
して高密度ポリエチレン(三井石油化学工業(株)社製
Hizex2200J)を、中間層に供給するポリマ
ー素材としてセグメント化ポリウレタン(Therme
dics Inc.製 TecoflexEG80A)
を用い、吐出温度165℃、巻き取り速度180m/m
inで紡糸した。
【0044】得られた中空糸未延伸糸を100℃で1時
間アニール処理をした。次いでアニール処理糸を室温下
で80%延伸し、引き続き105℃に加熱された加熱炉
中で熱延伸倍率が130%になるまで熱延伸を行って、
複合中空糸膜を得た。
【0045】得られた複合中空糸膜は、図2に示すよう
な最内層から順次多孔質層、均質層、多孔質層の三層構
造であり、内径が200μm、厚みが最内層から25μ
m、1μm、25μmの同心円状であった。
【0046】該複合中空糸膜の多孔質層表面を走査型電
子顕微鏡で観察した結果、幅0.06〜0.09μm、
長さ0.1〜0.5μmのスリット状の孔が形成されて
いた。この中空糸膜の酸素透過速度は1.2×10
-5(cm3 (STP)/cm2 ・sec・cmHg)で
あった。
【0047】参考例2 同心円状に配置された吐出口を有する中空糸製造用ノズ
ルに対し、供給するポリマー素材として高密度ポリエチ
レン(三井石油化学工業(株)社製 Hizex220
0J)を用い、吐出温度155℃、巻き取り速度150
m/minで紡糸した。
【0048】得られた中空糸未延伸糸を110℃で1時
間アニール処理をした。次いでアニール処理糸を室温下
で150%延伸し、引き続き115℃に加熱された加熱
炉中で熱延伸倍率が200%になるまで熱延伸を行っ
て、中空糸膜を得た。
【0049】得られた中空糸膜は、内径が200μm、
厚みが60μmの同心円状であった。該中空糸膜の多孔
質層表面を走査型電子顕微鏡で観察した結果、幅0.0
4〜0.08μm、長さ0.1〜0.2μmのスリット
状の孔が形成されていた。この中空糸膜の酸素透過速度
は1.0×10-2(cm3 (STP)/cm2 ・sec
・cmHg)であった。
【0050】実施例1 図1に示す装置を用いて、水中に溶存する酸素の除去率
の測定を行った。溶存ガスを酸素ガスに代表させ、酸素
ガスを6ppm含んだ水を水温25℃及び35℃、流速
0.64l/minで導入し、各水温に於て飽和水蒸気
圧未満、飽和水蒸気圧及び飽和水蒸気圧以上の減圧度で
各々減圧した状態で参考例1,2より得られた中空糸膜
を図3に示すラッセル編みシートを充填率40%で作製
し、図1の装置に組み込み水溶液を流した。
【0051】評価した結果、装置出口の溶存酸素濃度の
結果及び装置の脱気効率を表1に示した。参考例1,2
どちらの中空糸膜を用いても、水温を上げることにより
装置出口の溶存酸素濃度は低下しており、脱気効率は上
昇している。
【0052】
【発明の効果】本発明は、溶存ガスを含む水溶液を僅か
に加温することによって水溶液中の溶存ガスを効率的に
除去することができる。又減圧度を飽和水蒸気圧に設定
することにより、小排気量の真空ポンプで運転できコン
パクトな装置を提供することが可能である。
【0053】
【表1】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の水溶液中の溶存ガス除去装置の一例を
示す模式図である。
【図2】多孔質層、均質層、多孔質層の三層構造からな
る複合中空糸膜の一例を示す模式図である。
【図3】中空糸膜をラッセル編成した一例を示す模式図
である。
【図4】中空糸膜をラッセル編成した一例を示す模式図
である。
【図5】中空糸膜をすだれ編成した一例を示す模式図で
ある。
【符号の説明】
1 容器 2 中空糸膜 3 接着部 4 水導入口 5 水導出口 6 ガス導出口 7 真空ポンプ 8 保温カバー 9 加温装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C02F 1/20 A

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水の濡れ特性が濡れ角度90°以上であ
    り且つ膜の細孔径が0.05μm以下である疎水性高分
    子よりなる多孔質中空糸膜の一方を水溶液と接し、他方
    を減圧するに際し、該中空糸膜と接する水溶液の温度を
    加温することを特徴とする水溶液中の溶存ガス除去方
    法。
  2. 【請求項2】 中空糸膜が、均質層をその両側から多孔
    質層で挟み込んだ三層構造であって、均質層を構成する
    素材の酸素ガス透過速度が0.8×10-5(cm3 (S
    TP)/cm2 ・sec・cmHg)以上の性能を有す
    る複合中空糸膜であることを特徴とする請求項1に記載
    の方法。
  3. 【請求項3】 容器と該容器内に位置する中空糸膜と、
    該中空糸膜の端部を接着剤で支持し、中空糸膜の中空部
    に連通する空間と中空糸膜の外表面に連通する空間とを
    隔離する隔壁を有し、中空糸膜の外表面と容器内壁面と
    で構成される空間に溶存ガスを含む水溶液を流すための
    導入口及び導出口又は該空間を減圧するための減圧口と
    中空糸膜中空部に溶存ガスを含む水溶液を流すための導
    入口及び導出口又は該中空部を減圧状態にするための脱
    気口を設けた水溶液中の溶存ガス除去モジュールAと該
    モジュールAの水溶液導入口の前に水溶液を加温する加
    温装置Bを設けたことを特徴とする水溶液中の溶存ガス
    除去装置。
  4. 【請求項4】 空間の減圧状態をモジュールAに導入す
    る水溶液の飽和水蒸気圧に維持することを特徴とする請
    求項3に記載の装置。
  5. 【請求項5】 モジュールAが中空糸膜をラッセル編み
    状或はすだれ編み状に編成したシート状物であることを
    特徴とする請求項3に記載の装置。
  6. 【請求項6】 モジュールAに充填する中空糸膜の充填
    量を容器両端の接着剤で囲まれた空間の容積中に占める
    中空糸膜の容積率を20〜50%の範囲内にすることを
    特徴とする請求項3に記載の装置。
JP20089493A 1993-08-12 1993-08-12 水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置 Pending JPH0751505A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20089493A JPH0751505A (ja) 1993-08-12 1993-08-12 水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20089493A JPH0751505A (ja) 1993-08-12 1993-08-12 水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0751505A true JPH0751505A (ja) 1995-02-28

Family

ID=16432029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20089493A Pending JPH0751505A (ja) 1993-08-12 1993-08-12 水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0751505A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000033245A (ja) * 1998-05-11 2000-02-02 Sumitomo Electric Ind Ltd フッ素樹脂複合膜及びその製造方法
JP2001526098A (ja) * 1997-12-22 2001-12-18 セルガード,インコーポレイティド 液体中のガス泡と溶解されたガスとを除去する装置
JP2002370006A (ja) * 2001-06-15 2002-12-24 Mitsubishi Rayon Co Ltd 液体の処理装置及び処理方法
WO2004024639A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-25 Chemitreat Pte Ltd Method of removing organic impurities from water
JP2007075729A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Tama Tlo Kk 油溶性物質の分離回収装置および分離回収方法
JP2012161793A (ja) * 2000-06-02 2012-08-30 Celgard Inc 膜接触装置による液体の脱ガス
JP2012171191A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Mimaki Engineering Co Ltd 脱気システムおよびインクジェット記録装置
JP2017124392A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 旭化成株式会社 多孔性中空糸膜、多孔性中空糸膜の製造方法、及び浄水方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001526098A (ja) * 1997-12-22 2001-12-18 セルガード,インコーポレイティド 液体中のガス泡と溶解されたガスとを除去する装置
JP2000033245A (ja) * 1998-05-11 2000-02-02 Sumitomo Electric Ind Ltd フッ素樹脂複合膜及びその製造方法
JP2012161793A (ja) * 2000-06-02 2012-08-30 Celgard Inc 膜接触装置による液体の脱ガス
JP2014159032A (ja) * 2000-06-02 2014-09-04 Celgard Inc 膜接触装置による液体の脱ガス
JP2002370006A (ja) * 2001-06-15 2002-12-24 Mitsubishi Rayon Co Ltd 液体の処理装置及び処理方法
WO2004024639A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-25 Chemitreat Pte Ltd Method of removing organic impurities from water
GB2408737A (en) * 2002-09-12 2005-06-08 Chemitreat Pte Ltd Method of removing organic impurities from water
JP2005538827A (ja) * 2002-09-12 2005-12-22 ケミトリート ピーティーイー リミテッド 水からの有機不純物除去方法
GB2408737B (en) * 2002-09-12 2006-06-07 Chemitreat Pte Ltd Method of removing organic impurities from water
JP2007075729A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Tama Tlo Kk 油溶性物質の分離回収装置および分離回収方法
JP2012171191A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Mimaki Engineering Co Ltd 脱気システムおよびインクジェット記録装置
JP2017124392A (ja) * 2016-01-12 2017-07-20 旭化成株式会社 多孔性中空糸膜、多孔性中空糸膜の製造方法、及び浄水方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2969075B2 (ja) 脱気装置
EP0299381B2 (en) Membrane-type artificial lung and method of using it
JPH0751505A (ja) 水溶液中の溶存ガス除去方法及び装置
JPH07121340B2 (ja) 中空繊維膜
JPH0771795A (ja) 中空糸膜式加湿器
JP2725311B2 (ja) 中空糸膜型気液接触装置
JP3540417B2 (ja) 液中の溶存ガスの除去方法
JPH0760082A (ja) 超純水の比抵抗調整方法及び装置
JPH10298470A (ja) インクの脱気方法及びインク脱気装置
JPH08942A (ja) 脱湿用中空糸膜モジュール
JPH0788304A (ja) 溶存ガス除去およびガス給気モジュール
JPH06134210A (ja) 脱気膜モジュール
JPH0638894B2 (ja) 逆浸透分離膜処理装置
JP3224409B2 (ja) 脱気用中空糸膜モジュール
JP2858262B2 (ja) 溶存ガスの除去方法
JP3753448B2 (ja) 外部灌流型水中溶存ガス除去中空糸膜モジュール
JP3734585B2 (ja) 脱気装置
JPH02164425A (ja) 複合中空糸膜
JPH1147564A (ja) 気体溶解及び溶存気体除去モジュール
JPH09262406A (ja) 作動油の脱気方法
JPH0632239Y2 (ja) 分離膜処理装置付き小型ボイラー
JP2974999B2 (ja) 膜型人工肺
JPH10296005A (ja) 液体の超脱気方法及びその脱気装置
JPH07284758A (ja) 水中溶存ガス除去装置
JPH09150041A (ja) 外部灌流型気液接触モジュール