JPH07503083A - 圧力補正された流れ増幅ポペットバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 圧力補正された流れ増幅ポペットバルブ技術分野 本発明は概してはポペットバルブタイプの油圧制御弁に関して、より詳細には圧 力補正された流れ増幅ポペットバルブに関する。

背景技術 低漏洩油圧制御弁の一タイプは広くポペットバルブと呼ばれている。そのような ポペットバルブは低減された直径の端部を有する円筒状のバルブ部材を有し、こ の端部がバルブシートに着座するようになっている。入口ボートから入ってバル ブを通り、出口ポートへ至る流体の流れは、バルブ部材をバルブシートから離れ るように制御下で動かすことにより制御される。ポペットバルブの基本的なタイ プは入口ポート圧力をバルブ部材の裏側にある制御室に通じさせるためにバルブ 部材に設けられた絞り通路を有する。制御室の流体圧力は弁閉力を生じさせ、バ ルブ部材をバルブシートに対して押しつける。さらに、スプリングがあまねく使 用され、入口、制御室、出口圧力が全て等しいときにバルブ部材をバルブシート に対して押しつける。

ポペットバルブ部材の開放位置を制御するための一つの方法は、制御室を、パイ ロットバルブの変化可能な調整オリフィスを介して、出口ポートと通じさせるこ とである。可変の調整オリフィスは、制御室の流体圧力が入口圧力と等しく、且 つポペットバルブ部材が制御室の圧力によってバルブシートに押しつけられるよ うにした、常時閉型のものである。ポペットバルブ部材の開放は、制御室を出口 ボートと通じさせるために、変化可能な調整オリフィスを制御下で開放すること である。これは、制御圧力がバランス圧力以下になると入口圧力がバルブ部材を バルブシートから離れるように押すように、バルブ部材の絞りスロットを通る圧 力ドロップを生じさせる０バルブ部材の開放の程度は絞りスロットを通る流れを 調節するためにパイロットバルブの変化可能な調整オリフィスを通る流れを制御 することによって実質的に制御される。この制御方法は米国特許第４５３５８０ ９号に記載されている。このようなデザインの問題点の一つは、ポペットバルブ を通る流れが入口ボートと出口ボートとの間てそれぞれ増減する圧力ドロップに 応じて増減することである。入口ボートと出口ボートとの間の圧力ドロップは油 圧システムの他の回路による負荷及び／又はポンプ圧力の変化とともに変化する 。

ポペットバルブ部材の位置を制御するためのもう一つの方法が上記米国特許第４ ５３５８０９号に記載されており、これは、上記した変化可能な調整オリフィス と直列に圧力低減バルブを加えたものである。圧力低減バルブは変化可能な調整 オリフィスを横切る一定の圧力ドロップを維持する。そのデザインの絞りスロッ トはいつも開いていて制御室を加圧し且つバルブ部材をバルブシートに押しつけ ている。バルブ部材がバルブシートに着座しているときのスロットを通る開放の 程度は機械加工精度の公差に依存する。しかし、この制御の流れにより、出口流 れは入口ポートと出口ボートとの間の圧力ドロップの上昇とともに減少する。

本発明は上記問題点の一つあるいは幾つかを克服することに向けられたものであ る。

発明の開示 本発明の一つの特徴においては、圧力補正された流れ増幅ポペットバルブは、入 口ボートと、出口ボートと、円筒状のボアと、該ボアに摺動可能に挿入され制御 室を形成するスプール部分を有する長いバルブ部材とからなる。バルブ部材は入 口ボートが出口ポートから遮断される閉鎖位置と入口ボートと出口ボートとの間 に主流調整オリフィスが形成される開放位置との間を動くことができる。バルブ 部材はは入口ボートと制御室との間に可変オリフィスを含む。制御室を出口ボー トと通じさせるために流れ調整通路手段が設けられる。バルブ手段が該流れ調整 通路手段を通る流体の流れを制御下で調整する。該流れ調整通路手段と並列に制 御室から出口ボートへ制限された補正流路を設定するための手段が設けられる。

流れ増幅ポペットバルブは、バルブの出力流れが負荷圧力又は入力圧力の変化に かかわらずパイロットバルブの与えられた開口において実質的に一定に維持され るように補正されるのが望ましい。

図面の簡単な説明 図１は説明の都合のために一部が断面図で示された本発明の実施例を示す略図で ある。

図２は図１の線２−２に沿ってとったいくらか拡大した断面図である。

図３から図６は本発明の他の実施例を示す略図である。

発明を実施するための最良の形態 圧力補正された流れ増幅ポペットバルブは総括的に参照数字１０によって示され ており、複合のバルブ本体１１とバルブ部材１２とを含む。バルブ本体１１は一 対の同心円の円筒状ボア１３．１４と、一対の軸線方向に間をあけて配置された 環状部Ｉ６、Ｉ７と、環状部１７と通じる入口ボート１９と、円筒状ボア１４と 通じる出口ポート２１と、円筒状ボア１４と出口ボート２１との間に設けられる バルブシート２２とを含む。円筒状ボア１４はボア２６に適切に着座した環状ス リーブ２４に形成される。複数の流れ調整ボート２７がスリーブ２４を通って延 び、−環状部１７を円筒状ボア１４に通じさせる。

バルブ部材１２は円筒状ボア１３．１４にそれぞれ摺動可能に配置され且つそれ らの間に環状リアクション表面３１を形成する一対の同心円のスプール部分２８ ．２９を有する。制御室３２は環状部１６とスプール部分２８の端部とによって 形成される。スプール部分２８の端部の面積はリアクション表面３１の面積より も実質的に大きい。スプール部分２９は円錐端部部分３４で終端し、ボート２７ と協働して主流調整オリフィス３５を提供する。一対の可変面積流量制御オリフ ィス３６がスプール部分２８に設けられ、入口ポー）１９を制御室３２と通じさ せる。オリフィス３６は、一対の対角線上に延びる通路３８を介して入口ボート １９に結合される一対の軸線方向に延びる矩形状のスロット３７の形体で形成さ れる。図２により明瞭に示されるように、スロット３７の最小流量面積ａはいつ も開放されていて、入口ボー）１９を制御室３２と通じさせる。

バルブ部材１２とバルブ本体１１との間に配置された軽量スプリング３９が円錐 端部部分３４を弾性的に押圧してバルブシート２２とシール係合させる。

圧力補正された可変容積ポンプ４１が入口ボート１９に接続され、モータ４２が 出口ボート２１に接続される。

ポペットバルブＩＯは、制御室３２を出口ボート２１に通じさせる流量調整通路 手段４３と、流量調整通路手段４３を通る流体の流れを制御するバルブ手段４４ と、流量調整通路手段４３とは並列に制御室３２から出口ボート２１へ延びる制 限された補正流路４６を形成するための手段４５とを含む。流量調整通路手段４ ３は制御室３２と出口ボー）２１に接続されてこれらの間を延びる調整通路４７ を含む。バルブ手段４４は調整通路４７に直列に配置された圧力減少バルブ４８ と流れ調整バルブ４９とを含む。流れ調整バルブ４９は調整通路４７を通る流れ を遮断する閉鎖位置と調整通路４７を通る流体の流れを調整するために可変の調 整オリフィス５０を形成する無限に可変の開放位置との間を動くことができる。

圧力減少バルブ４８はその開放位置において流れ調整バルブ４９を横切る実質的 に一定の圧力ドロップを維持する。

流路４６はバルブ４８．４９の両側で調整通路４７に接続された補正通路５１を 含む。設定手段４５は流路４６の補正通路５１を通る流体の流れを制御するため の手段５２を含む。調整手段５２は補正通路５１に直列に配置された補正オリフ ィス５３と補正バルブ５４とを含む。補正バルブ５４は補正通路５１を通る流体 の流れを調節的に制御するために閉鎖位置と開放位置との間を動くことができる 。補正オリフィス５３は補正バルブ５４が全開位置にあるときに補正通路５１を 通る最大の流路面積を設定する。

この実施例においては、圧力調整バルブ４８と補正バルブ５４とは位置、Ａ、Ｂ 、Ｃの間で動くことのできる単一のバルブとして示されている。そのような運動 はパイロット作動、電磁作動、機械的な作動等のあらゆる好適な手段によって行 うことができる。あるいは、圧力調整バルブ４８と補正バルブ５４とはシーケン ス的に作動される別個のバルブとすることかできる。さらに、補正オリフィス５ ３は補正バルブ５４内に組み込まれ、補正バルブ５４の最大開放面積によって設 定されることができる。

本発明の圧力補正された流れ増幅ポペットバルブのその他の実施例は、図３から 図６に開示されている。留意すべきは、第１実施例の同じ参照数字がこれらの実 施例の類似して構成された対応する部材を示すために使用されている。

図３の実施例においては、補正通路５１が円筒状のボア１３を出口ボート２１と 接続し、補正バルブ５４がバルブ部材１２のスプール部分２８に設けられたスロ ット５７によって形成される。スロット５７は制御室３２と連続的に通じている 。補正通路５１を通る連通は端部部分３４がバルブシート２２に着座するときに スプール部分２８によって遮断される。

図４の実施例は、設定手段４５が、バルブ部材１２の端部部分３４が減少した直 径の部分５８によってスプール部分２０から軸線方向に分離され、バルブシート ２２がバルブシートスリーブ２４に形成された環状室５９によってボート２７か ら軸線方向に間隔をあけられ、そして補正通路５１がボア１３を環状部５９と通 じさせている点を除くと、図３の実施例と同様である。

図５の実施例においては、補正通路５１、オリフィス５３、及び補正バルブ６２ がバルブ部材１２内に配置される。より詳細には、補正バルブ６２が、軸線方向 のボア６６内に摺動可能に配置されたピストン６４を有するポペットバルブ６３ を含み、且つ開口６８を介して入口ボート１９と通しる作動室６７を形成する。

ポペットバルブ６３の円錐弁部分６９は制御室に開放された室７３に配置された スプリング７２によってバルブシー１−７１に付勢されている。補正通路５１は バルブシー１−７１に隣接するボア６６を出口ポート２１に通じさせる。

図６の実施例においては、バルブ手段４４は調整通路４７に配置された固定のオ リフィス７４と、この固定のオリフィス７４を横切る圧力ドロップを制御下で変 化させるために同調整通路４７のオリフィス７４よりも上流側に配置された圧力 調整バルブ７６とを含む。補正バルブ５４は圧力調整バルブ７６にビルトインで 形成され、且つ図１の実施例と同様に補正流路４６の補正通路５１に配置される 。

産業上の利用可能性 図１の実施例においては、調整バルブ４９及び補正バルブ５４の両者が図１に文 字へによって示された閉鎖位置にあり、流体は入口ボート１９から通路３８及び スロット３７を通って制御室３２に流れる。通路４７．５１を通る流体の流れは ないので、制御室３２の流体圧力は入口ボート１９の流体圧力と実質的に等しい 。制御室３２の流体圧力にさらされているバルブ部材１２の面積はリアクシタン 表面３１０面積よりも大きく、バルブ部材１２は下向きに押圧されて端部部分３ ４がバルブシート２２とシール係合する。入口ボー１−１９の流体圧力と出口ボ ート２１の流体圧力とが等しいならば、スプリング３９がバルブ部材をシール位 置に保持する。

本発明の図１の実施例の使用においては、ポペットバルブ１ｏの作動は最初に補 正バルブ５４をＡ位置からＢ位置へ制御下で動かすことによって開始される。こ れは、入口ボート１９から、通路３８、スロット３７の全体的な開放面積ａ、制 御室３２、補正通路５１、オリフィス５３、及び補正バルブ５４を通って、出口 ボート２１へ制御下で流体の流れを設定する。補正バルブの位置へと位置Ｂとの 間の運動は、オリフィス５３が流路４６の補正通路５１を流れることのできる流 体の量を制限する間に補正通路５１を通る流体を調節的に（ｍｏｄｕｌａｔａｂ ｌｙ）制御する。この実施例においては、位置Ｂにある調整バルブ４９を通る流 れはまだ遮断されている。補正通路５１を通る流体の流れはかなり低く、概して 端部部分２８をバルブシート２２から離れさせるようにバルブ部材１２を持ち上 げるのに十分な圧力ドロップを生じさせるはとてはない。そのような低い流れは 切迫した流れと呼ばれる。

補正バルブ５４と調整バルブ４９とがＢ位置からＣ位置へさらに動くとき、流路 ４６を通る流体の流れはオリフィス５３の大きさのために増加しない。しかし、 調整バルブ４９のＢ位置とＣ位置との間の運動は調整オリフィス５０を開放し、 制御室３２と出口ポート２１との間の通路４７を通る流体の流れを、制御室３２ と入口ボート１９との圧力ドロップを生じさせるのに十分に設定する。調整バル ブ４７の調整オリフィス５０を通るある小さな調整流れにおいては、バルブ部材 １２は上向きに動き、端部部分２８をバルブシート２２から持ち上げるが、スリ ーブ２４の調整ボート２７のいずれをも覆うことはない。調整オリフィス５ｏを 通る調節的な流れの増加及びバルブ部材の増加する運動とともに、スプール部分 ２９がボート２７を露出させ始め、入口ポート１９がら主流調節オリフィス３５ を通って出口ボート２１への流れを設定する。バルブ部材１２の上向き運動、従 ってボート２７の開口の程度は、入口ボート１９と制御室３２との間の流れによ って定められ、この流れはまた流れ調整バルブ４９の開口の程度によって調節的 に制御される。調整バルブ４９の定常状態の位置において、スロット３７を通る 流れは通路４７と通路５１とを通る全体的な流れと等しい。さらに、メインオリ フィス３５を通る流れは調整オリフィス５ｏを通る流れよりも比例的な量だけ大 きい。

圧力減少バルブ３７はその通常のように作動して調整バルブ４９を横切る一定の 圧力ドロップを維持する。流路４６に圧力減少バルブ３７と並列に配置された補 正オリフィス５３と調整バルブ５４との組合せは、ポペットバルブを完全に補正 するものである。よって、入口ポート１９と出口ボート２１とを通る流体の流れ は、入口ボート１９と出口ポート２１との間の圧力差にかかわらず、調整バルブ ４９の与えられた設定において実質的に一定になる。

概して、ポペットバルブを完全に補正するためには、補正オリフィス５３の大き さはいつも開放しているスロット３７の全体的な面ｆＪ！ａよりもわずかに小さ いてあろう。しかし、補正オリフィス５３と全体的な面積ａとの大きさの関係は バルブ部材１２に作用する閉鎖流れ力及びバルブ部材とボア１３との間の流体の 洩れ量を補正するために変えることができる。流れの力の大きさ及び洩れ量に従 って、補正オリフィス５３の大きさは、スロット３７の全体的な面積ａよりもわ ずかに小さい、等しい、あるいはわずかに大きい、とすることがでのる。実際に は、補正オリフィス５３の大きさは、補正バルブがＢ位置又はＣ位置にあり且つ 補正通路５１を通る流体の流れが補正オリフィスによって制限されるときに端部 部分３４が着座を維持するように選択されるのが好ましい。

さらには、出口ボート２１からの出口流れは、常に開放しているスロット３７の 面積ａに対する補正オリフィス５３の大きさを変えることによって、入口ボート １９と出口ボート２１との間の増加する圧力ドロップとともにわざと増加又は減 少するようにすることができる。

図３の実施例の使用においては、ポペットバルブＩＯの開放位置への作動は調整 バルブ４９の流れ調整オリフィス５０を開放することによって開始される。調整 オリフィス５０を通るある小さな調整された流れにおいて、バルブ部材１２は上 向きに動いて端部部分３４をバルブシート２２から離れさせ、スロット３７が補 正通路５１と通じる。切迫した流れの一部分が補正通路５１を通り、残りの部分 が調整通路４７を通る。調整オリフィス５０を通る調整された流れの増加はバル ブ部材１２を続けて上昇させる。バルブ部材１２の予め定められた位置において 、固定のオリフィス５３が補正通路５１を通る流体の流れを制限する。そのわず かに後で、スプール部分２９が調節ボート２７を露出させ、よって入口ボー）＋ ９からボート２７を通って出口ボート２１への流体が流れるようになる。

図４の実施例の作動は実質的に図３の実施例の作動と同じである。しかし、この 実施例では、補正通路５１は、端部部分３４がバルブシート２２に着座している ときに出口ボート２１から積極的に遮断されている。よって、スプール部分２８ を越えた洩れは出口ボー）２１から積極的に遮断される。バルブ部材１２の最初 の上向きの運動は端部部分３４を持ち上げて、よって直ちに補正通路５１と出口 ポート２１との間の連通を達成する。

図５の実施例を参照すると、調整バルブ４９が遮断位置にあり且つ端部部分３４ がバルブシート２２に着座している状態で、制御室３２の圧力は入口ポー）１９ の圧力と等しい。よってポペットバルブ６３はスプリング７２によって図示の閉 鎖位置に押圧される。調整バルブ４９の調整オリフィス５０は最初に開放されて 調整通路４７を通る調整された流れを開始させ、スロット３７を横切る圧力ドロ ップのために制御室３２の圧力は減少する。ある小さな圧力ドロップにおいて、 ポペットバルブ６３は開いて制御室３２から補正通路５１及びオリフィス５３を 通って出口ボート２１への流れを許容する。予め定められた圧力ドロップにおい て、ポペットバルブ６３は全開になる。補正オリフィス５３は補正バルブ５３の 開放位置における補正通路５１を通る流体の量を制限する。補正通路５１を通る 流体の最大の流量が設定された後、付加的な調整の流れとともに、バルブ部材１ ２は上向きに動いて端部部分３４をバルブシート２２から離れさせ、そして最終 的にスプール部分２９がボート２７を露出させて入口ポート１９からボート２７ を通って出口ボート２１への主流を開始させる。

図６の実施例の作動は組合せられた流れ調整バルブ７６と補正バ、゛１ブ５４と を同時に動かすことによって開始される。補正バルブ５４の初期運動は補正通路 ５Ｉを通って制御室３２から出口ボート２１への流れを許容する。予め定められ た点において、補正通路５１を通る流量が固定のオリフィス５３の大きさと適合 するようになり、補正バルブ５４をさらに大きく開いても補正通路５１を通る流 量には効果がなくなる。これが起きたわずかに後で、圧力調整バルブ７６が開い て調整通路４７を通る流体の流れを許容し、入口ボート１９と制御室３２との間 に圧力ドロップが生じる。前述したように、調整通路４７を通る流量の増加とと もに、バルブ部材１２は端部部分３４がバルブシート２２から離れるのに十分に 最初に上向きに動き、スプール部分２９が続いてポート２７を露出させて入口ポ ート１９から出口ボート２１への流れを開始する。圧力調整バルブ７６は調整バ ルブを開放位置へ動かすためにそれに与えられた入力に比例して固定のオリフィ ス７４を横切る圧力ドロップを制御下で変化させるように作動する。

上記したように、本発明の構造はポペットバルブが完全に圧力補正された改善さ れた圧力補正された流れ増幅ポペットバルブを提供するものであることが容易に 明白であろう。これは、調整流路のバルブ手段と並列に配置された補正通路に補 正バルブと補正オリフィスとを設け、主流が入口ボートと出口ポートとの間に設 定される前に、補正通路を通る小さな流れがメーンバルブ部材のスロットを通る ことができる流量と基本的に等しいようにすることによって達成される。

本発明のその他の特徴、目的、及び利点は図面の簡単な説明、及び添付の請求の 範囲の記載から得られることができる。

補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８） 平成６年２月１５日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．入口ポート（１９）と、 出口ポート（２１）と、 円筒状のボア（１３）と、 該ボア（１３）に摺動可能に挿入され制御室（３２）を形成するスプール部分（ ２８）を有する長いバルブ部材（１２）と、該バルブ部材（１２）は入口ポート （１９）が出口ポート（２１）から遮断される閉鎖位置と入口ポート（１９）と 出口ポート（２１）との間に主流調整オリフィス（３５）が形成される開放位置 との間を動くことができ、該スプール部分（２８）は入口ポート（１９）と制御 室（３２）との間に可変オリフィス（３６）を有し、制御室（３２）を出口ポー ト（２１）と通じさせる流れ調整通路手段（４３）と、 該流れ調整通路手段（４３）を通る流体の流れを制御下で調整するためのバルブ 手段（４４）と、 該流れ調整通路手段（４３）と並列に制御室（３２）から出口ポート（２１）へ 制限された補正流路（４６）を設定するための手段（４５）と、 以上を備えた圧力補正された流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ２．該設定手段（４５）は補正流路（４６）を通る流体の流れを制御するための 手段（５２）を含む請求項１に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ３．該制御手段（５２）は、流体が補正流路（４６）を流れるのを許容される開 放位置と補正流路（４６）を通る流体が遮断される閉鎖位置との間を動くことの できる補正バルブ（５４、６２）を含む請求項２に記載の流れ増幅ポペットバル ブ（１０）。 ４．該制御手段（５２）は補正流路（４６）に配置された補正オリフィス（５３ ）を含む請求項３に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ５．該補正オリフィス（５３）は圧力調整バルブ（５４）の閉鎖位置において補 正流路（４６）を通る流体の流れを制限するために最大の流路面積を設定する請 求項４に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ６．入口ポート（１９）と出口ポート（２１）との間に配置された環状のバルブ シート（２２）を含み、バルブ部材（１２）がバルブ部材（１２）の閉鎖位置に おいてバルブシート（２２）とシール係合する端部部分（３４）を有する請求項 ５に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ７．バルブシート（２２）と該端部部分（３４）の一方が円錐形状を有する請求 項６に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ８．第１のボア（１３）と同軸線上の第２の円筒状のボア（１４）と、入口ポー ト（１９）を該第２のボア（１４）に通じさせる複数のポート（２７）とを含み 、バルブ部材（２２）が該第２のボア（１４）に摺動可能に配置される第２のス プール部分（２９）を含み、該第２のスプール部分（２９）及び該ポート（２７ ）がバルブ部材（１２）が開放位置にあるときに主流調整オリフィス（３５）を 形成するように協働する請求項６に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ９．該貨幣のオリフィス（３６）が第２のスプール部分（２８）に配置され且つ 入口ポート（１９）と連続的に通じる軸線方向に延びるスロット（３７）を含む 請求項８に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １０．該ポート（２７）がバルブシート（２２）から軸線方向に間隔をあけて配 置され、バルブ部材（１２）の開放位置への運動がそれを通る連通を達成する請 求項９に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １１．軸線方向に延びるスロット（３７）が常に制御室（３２）に開放している 最低の流路面積を有し、補正オリフィス（５３）が該最低の流路面積と実質的に 等しい面積を有する請求項１０に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １２．該バルブ手段（４４）が、流れ調整通路手段（４３）に配置され且つ流れ 調整通路手段（４３）を通る流体を遮断する閉鎖位置と流れ調整通路手段（４３ ）を通る可変の連通を速成する無限に可変の開放位置との間を動くことができる 流れ調整バルブ（４９）と、該流れ調整バルブ（４９）の開放位置において該流 れ語調バルブ（４９）を横切る実質的に一定の圧力ドロップを維持するために該 流れ調整バルブ（４９）と直列の流れ関係で該流れ調整通路手段（４３）に配置 された圧力減少バルブ（４４）を含む請求項１０に記載の流れ増幅ポペットバル ブ（１０）。 １３．該補正流路（４６）が制御室（３２）を出口ポート（２１）に通じさせる 補正通路（５１）を含み、該補正オリフィス（５３）及び補正バルブ（５４）が 該補正通路に配置される請求項１２に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １４．該流れ調整バルブ（４９）及び該補正バルブ（５４）の運動がシーケンス 的であり、該流れ調整バルブ（４９）が開く前に該補正バルブ（５４）が最初に 開き且つ該補正通路（５１）を通る最大の流量を達成する位置へ達する請求項１ ３に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １５．該補正流路（４６）が第１のボア（１３）を出口ポート（２１）と通じさ せる補正通路（５１）を含み、該補正バルブ（５４）が、第１のスプール部分（ ２８）と、該第１のスプール部分（２８）に配置されて制御室（３２）と連続的 に連通する流量調節通路（５７）とを含む請求項１０に記載の流れ増幅ポペット バルブ（１０）。 １６．流量調節通路（５７）が、バルブ部材（１２）が閉鎖位置にあるときに補 正通路（５１）から遮断され、バルブ部材（１２）が開放位置に達する前に補正 通路（５１）に連通する請求項１５に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １７．該バルブ手段（４４）が、流れ調整通路手段（４３）に配置され且つ流れ 調整通路手段（４３）を通る流体を遮断する閉鎖位置と流れ調整通路手段（４３ ）を通る可変の連通を達成する無限に可変の開放位置との間を動くことができる 流れ調整バルブ（４９）と、該流れ調整バルブ（４９）の開放位置において該流 れ調整バルブ（４９）を横切る実質的に一定の圧力ドロップを維持するために該 流れ調整バルブ（４９）と直列の流れ関係で該流れ調整通路手段（４３）に配置 された圧力減少バルブ（４４）を含む請求項１６に記載の流れ増幅ポペットバル ブ（１０）。 １８．補正流路（４６）が、バルブ部材（１２）が閉鎖位置にあるときに出口ポ ート（２１）から遮断され、バルブ部材（１２）が開放位置にあにときに出口ポ ート（２１）に連通する環状室（５９）を形成する手段と、第１のボア（１３） を環状室（５９）に通じさせる補正通路（５１）とを含み、該補正バルブ（５４ ）が、第１のスプール部分（２８）と、該第１のスプール部分（２８）に配置さ れて制御室（３２）と連続的に連通する流量調節通路（５７）とを含む請求項１ ０に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 １９．流量調節通路（５７）が、バルブ部材（１２）が閉鎖位置にあるときに補 正通路（５１）から遮断され、バルブ部材（１２）が開放位置に達する前に補正 通路（５１）に連通する請求項１８に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ２０．該バルブ手段（４４）が、流れ調整通路手段（４３）に配置され且つ流れ 調整通路手段（４３）を通る流体を遮断する閉鎖位置と流れ調整通路手段（４３ ）を通る可変の連通を達成する無限に可変の開放位置との間を動くことができる 流れ調整バルブ（４９）と、該流れ調整バルブ（４９）の開放位置において該流 れ調整バルブ（４９）を横切る実質的に一定の圧力ドロッブを維持するために該 流れ調整バルブ（４９）と直列の流れ関係で該流れ調整通路手段（４３）に配置 された圧力減少バルブ（４４）を含む請求項１９に記載の流れ増幅ポペットバル ブ（１０）。 ２１．補正流路（４６）がバルブ部材（１２）に配置され且つ出口ポート（２１ ）と連続的に連通する補正通路（５１）を含み、該補正バルブ（６２）がバルブ 部材（１２）に設けられたボア（６６）と該バルブ部材（１２）のボア（６６） に配置されたポペットバルブ（６３）を含み、該ポペットバルブ（６３）がその 閉鎖位置において制御室（３２）と補正通路（５１）との連通を遮断し且つその 開放位置において制御室（３２）と補正通路（５１）との連通を達成する請求項 １０に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ２２．該バルブ部材（１２）のボア（６６）に隣接したバルブシート（７１）と 補正バルブ（６２）の関頭位置においてバルブシート（７１）とシール係合する 円錐形状部分（６９）とを含み、スプリング（７２）が補正バルブ（６２）を閉 鎖位置へ弾性的に付勢する請求項２１に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０） 。 ２３．該ポペットバルブ（６３）は、該バルブ部材（１２）のボア（６６）に摺 動可能に配置され、作動室（６７）を形成するピストン（６４）と、入口ポート （２１）を該作動室（６４）と通じさせる開口（６８）とを含む請求項２１に記 載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。 ２４．該バルブ手段（４４）が、流れ調整通路手段（４３）に配置された固定の オリフィス（７４）と、該固定のオリフィス（７４）と直列に配置され且つ圧力 調整バルブに与えられた入力に比例して固定のオリフィス（７４）を横切る可変 の圧力ドロップを維持するように作用する圧力調整バルブ（７６）とを含む請求 項１０に記載の流れ増幅ポペットバルブ（１０）。