JPH0745021Y2 - プローブの接点構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、被測定物として例えば電子回路部品等の入出
力端子に接触させて電気特性や性能等を検査する際に用
いられるプローブの接点構造に関するものである。

［従来の技術］ 例えば電子回路部品の入出力端子に接触させてその電気
特性を検査する場合には、第２図（ａ），（ｂ），
（ｃ）に示すプローブが用いられていた。

このプローブはタングステンよりなる丸棒部材20の中途
位置が折曲され、その先端部が研磨により先細に成形さ
れて電子回路部品の入出力端子に所定の接触面積をもっ
て接触する針部21と、一方の面に信号導体22が形成され
るとともに、他方の面がアース導体23をなし、信号導体
22と導通するように針部21を固定する板状誘電体24とが
電子回路部品の入出力端子の数に対応して設けられ、各
板状誘電体24は電子回路部品の入出力端子の各位置に対
応して固定部材25に所定間隔を置いて固定されており、
電子回路部品の各特性検査を行なう際には、針部21の撓
みによって各入出力端子に対する接触荷重を得ていた。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来のプローブでは、被測定物
である電子回路部品の入出力端子と適切な接触荷重を得
るために針部21を長く形成して撓みを取っているが、こ
の針部21が長いが故にインピーダンスに大きな乱れが生
じるという問題があった。

また、針部21の直径が太いことから先端部にテーパ26を
付けて各針部21を扇状に並べる必要があるため、多くの
針部21を高密度に実装することができなかった。

また、入出力端子との接触荷重は、針部21の撓みにより
決まるため、針部21の加工精度が直接接触荷重に影響し
ていた。

しかしながら、この種のプローブの針部21は研磨曲げ工
程を経て製造されるため寸法上のバラツキが多くしたが
って接触荷重にもバラツキあった。

また、入出力に対しての位置合わせを、はんだ付け作業
で行っていたため、非常に困難であった。

また、使用時に針部21が変形し位置ずれを起こしやすい
ため測定不良を招く虞があった。

さらに、被測定物の入出力端子と接触する際には、針部
21の針先が入出力端子に当たることになるので、入出力
端子が非常に傷つき易いという問題があった。また、針
部21の曲がりによる位置ずれを起こして検査不良を招く
虞があった。

そこで、本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、高密度実装が可能で、接点を小
さく構成してインピーダンスの乱れを小さくでき、被測
定物の検査面を傷付けることなく、また、位置ずれを起
こして検査不良を招くことなく、被測定物の電気特性や
性能等の検査を行なうことができるプローブの接点構造
を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案による請求項１のプロ
ーブの接点構造は、一方の面に形成された信号導体５
と、他方の面に形成されたアース導体６とを有し、被測
定物の検査面８に対して垂直に配置され、該検査面に対
して上下に移動可能な板状誘電体１と、 前記信号導体の先端部における前記板状誘電体の板厚端
面に固定され、前記検査面に接触する接点部９を有する
金属ワイヤ10あるいはリボンからなる接点部材とを備え
たことを特徴としている。

請求項２のプローブの接点構造は、請求項１のプローブ
の接点構造において、前記板状誘電体の板厚部分を含む
前記信号導体の先端部端面に該信号導体と導通する接点
部導体７を形成し、該接点部導体における板厚部分に前
記接点部材を固定したことを特徴としている。

［作用］ 請求項１のプローブの接点構造において、一方の面に信
号導体５が、他方の面にアース導体６が形成された板状
誘電体１は、被測定物の検査面８の上下に移動可能に検
査面８に対して垂直に配置される。検査面８と接触する
接点部９を有する金属ワイヤ10（あるいはリボン）から
なる接点部材は、信号導体５の先端部における板状誘電
体１の板厚端面に固定される。これにより、接点部９を
小さく構成してインピーダンスの乱れを小さくすること
ができる。しかも、限られたスペースでの高密度実装が
可能になる。また、従来の針状の接点とは異なり、接点
部９は被測定物の検査面８に対して面接触するので、検
査面８を傷付けたり、針部の変形により位置ずれを起こ
して検査不良を招く虞がない。

請求項２のプローブの接点構造において、板状誘電体１
の板厚部分を含む信号導体５の先端部端面には、信号導
体５と導通する接点部導体７が形成されている。この接
点部導体７における板厚部分に接点部材を固定すること
により、接点部材を板状誘電体に固定する際の取付面を
十分にとることができる。

［実施例］ 第１図（ａ）は本考案によるプローブの接点構造の一実
施例を示す側面図、第１図（ｂ）は同プローブの正面
図、第１図（ｃ）は同プローブの平面図である。

この実施例による多ピンプローブは、被測定物として例
えばウェハ状の電子回路部品等のように複数配設された
入出力端子に接触させて電気特性や性能等の検査を行な
っており、板状誘電体１、ガイドピン２を備えて概略構
成されるプローブ３が固定板４に複数取付けられたもの
である。

板状誘電体１は被測定物の検査面に対して垂直に配置さ
れ、例えばアルミナ基板からなり、一方の面には所定端
部より先端部1aに向けて信号導体５が形成され、他方の
面にはアース導体６が形成されており、マイクロストリ
ップ構造をなしている。また、信号導体５の先端部及び
この先端部と対面するアース導体６面には、アース導体
６と導通を持たずに信号導体５と導通する接点部導体７
が形成されている。さらに、板状誘電体１には信号導体
５の終端である先端部1aに被測定物の検査面８と接触し
て導通を図る接点部９が設けられている。この接点部９
は曲げ加工された接点部材である金属ワイヤ10（あるい
はリボン）の一部からなるもので、金属ワイヤ10の両端
はボンディングあるいはハンダ等の接着手段によって接
点部導体７の板厚端面に各々固定されている。

なお、板状誘電体１の下端部1bは接点部９の検査面８と
の導通時に検査面８と接触しないように傾斜している。
さらに、この板状誘電体１の上端部1cにはガイドピン２
を取付けるための切欠部11が２カ所に形成されている。

円柱形状のガイドピン２は一端に切欠凹部2aが形成され
ており、ガイドピン２は切欠凹部2aが板状誘電体１の切
欠部11に嵌合された状態でハンダ等の固定材により板状
誘電体１と固定されている。

以上のように、板状誘電体１とガイドピン２を備えて構
成されるプローブ３は、ガイドピン２の取付位置に応じ
てガイドピン２よりも大径に形成された固定板４の２個
一対の取付穴12に各ガイドピン２が挿通されて取付けら
れており、板状誘電体１はガイドピン２を介して摺動保
持されている。また、各プローブ３のガイドピン２には
交互に抜止め用のストッパ部材13が取付けられており、
固定板４の下面4aと板状誘電体１の上端部1cとの間は所
定の距離が保たれている。さらに、ガイドピン２が取付
けられた固定板４の取付穴12,12間には、スプリング14
を保持するための保持穴15が形成されている。

スプリング14は一端が板状誘電体１の上端部1cに当接し
た状態で保持穴15に保持されており、接点部９が被測定
物の検査面８と接触して各ガイドピン２が取付穴12に沿
って摺動し、板状誘電体１が上方に移動した際に、弾性
力によって検査面に一定の荷重を加えている。

以上のように構成される多ピンプローブでは、被測定物
の電気特性や性能等を検査するにあたって、接点部９に
被測定物の検査面８が接触すると、板状誘電体１が押し
上げられて各ガイドピン２が取付穴12に沿って摺動す
る。そして、この摺動動作によって縮められたスプリン
グ14の弾性力により、接点部９を介して検査面８に対し
一定の荷重が加えられ、接点部９より信号導体５を介し
て信号が導かれ、図示しない測定器によって被測定物の
信号の検査が行なわれる。

従って、上述した実施例では、板状誘電体１が移動する
構成で、接点部９を有する金属ワイヤあるいはリボンが
板状誘電体１の板厚端面である接点部導体７に固定され
ているので、接点部９を十分に小さく構成することがで
き、これによってインピーダンスの乱れを従来に比べて
小さくすることができる。また、接点部９が板状誘電体
１の端面からはみ出さない構成なので、限られたスペー
スでの高密度実装が可能となる。

また、接点部９は接点部材である金属ワイヤ10の曲げ加
工によって形成されているので、検査面８とは略円筒側
面で接触することになり、従来の針タイプの接点のよう
に検査面８に対して大きく深い傷を付ける虞がない。ま
た、検査面８とは面接触するので、従来の針タイプの接
点に比べて接触が安定し、釘の変形等による位置ずれが
なく、検査不良を招く虞もない。

ところで、上述した実施例では、板状誘電体１の先端部
端面に信号導体５と導通する接点部導体７を形成し、こ
の接点部導体７に接点部材である金属ワイヤ（あるいは
リボン）10を固定する構成について説明したが、超音波
ハンダが適用できる場合には、接点部導体７を形成する
ことなく、信号導体５に直接接点部材である金属ワイヤ
（あるいはリボン）10を固定することができる。

また、上述した実施例では、板状誘電体１を移動可能な
構造とするため、板状誘電体１に固定されたガイドピン
２が固定板４の取付穴12に沿って移動する構成を例にと
って説明したが、例えば板状誘電体１の一端を弾性を有
する部材で保持する構成としてもよい。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案による請求項１のプローブ
の接点構造は、接点部を有する接点部材が、検査面に対
して垂直に配置されて上下移動可能な板状誘電体の板厚
端面に固定された構成なので、接点を小さく構成してイ
ンピーダンスの乱れを小さくすることができる。しか
も、板状誘電体は検査面に対して垂直に配置され、接点
部は板状誘電体からはみ出さないので、限られたスペー
スでの高密度実装が可能になる。また、従来の針状の接
点とは異なり、接点部は被測定物の検査面に対して面接
触するので、検査面に大きな傷を付けたり、針部の変形
による位置ずれを起こして検査不良を招く虞がなく、常
に安定した接触が得られる。

請求項２のプローブの接点構造は、信号導体の板厚部分
を含む先端部端面に信号導体と導通する接点部導体を形
成し、接点部導体における板厚部分に接点部材を固定し
た構成なので、接点部材を板状誘電体に固定する際の取
付面を十分にとることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本考案によるプローブ
の接点構造の一実施例を示す図、第２図（ａ），
（ｂ），（ｃ）は従来のプローブの接点構造の一例を示
す図である。 １……板状誘電体、５……信号導体、６……アース導
体、７……接点部導体、８……検査面、９……接点部、
10……接点部材としての金属ワイヤ（あるいはリボ
ン）。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】一方の面に形成された信号導体（５）と、
   他方の面に形成されたアース導体（６）とを有し、被測
   定物の検査面（８）に対して垂直に配置され、該検査面
   に対して上下に移動可能な板状誘電体（１）と、 前記信号導体の先端部における前記板状誘電体の板厚端
   面に固定され、前記検査面に接触する接点部（９）を有
   する金属ワイヤ（10）あるいはリボンからなる接点部材
   とを備えたことを特徴とするプローブの接点構造。
2. 【請求項２】前記板状誘電体の板厚部分を含む前記信号
   導体の先端部端面に該信号導体と導通する接点部導体
   （７）を形成し、該接点部導体における板厚部分に前記
   接点部材を固定した請求項１記載のプローブの接点構
   造。