JPH0743759A - Higher harmonic wave generator - Google Patents

Higher harmonic wave generator

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JPH0743759A
JPH0743759A JP20840193A JP20840193A JPH0743759A JP H0743759 A JPH0743759 A JP H0743759A JP 20840193 A JP20840193 A JP 20840193A JP 20840193 A JP20840193 A JP 20840193A JP H0743759 A JPH0743759 A JP H0743759A
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JP
Japan
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resonator
harmonic
temperature
holding member
fundamental wave
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JP20840193A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Nonaka
寧 野中
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To suppress the fluctuation of a nonlinear optical effect by preventing the damage of a nonlinear optical material by external impact and making the precise temp. control of the nonlinear optical material possible. CONSTITUTION:A KN resonator is embedded in a holding material 8 having a recessed part and is fixed by an adhesive having a good thermal conductivity or low melting point solder of about 120 deg.C melting temp. This holding member 8 is placed and fixed on a Peltier element for the KN resonator, is positioned and adjusted onto the optical axis of a semiconductor laser 1 and is fixed onto a substrate 5.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザ等のレー
ザ光源からの基本波を非線形光学材料によって高調波へ
変換する高調波発生装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a harmonic generator for converting a fundamental wave from a laser light source such as a semiconductor laser into a harmonic by a non-linear optical material.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体レーザ等のレーザ光源から
出射される基本波を、非線形光学材料に通して、第2高
調波や第3高調波等を得る高調波発生装置が種々提案さ
れている。従来の非線形光学材料を用いた高調波発生装
置の一例として、半導体レーザを用いた第2高調波発生
装置を図3に示す。
2. Description of the Related Art In recent years, various harmonic generators have been proposed which obtain a second harmonic, a third harmonic, etc. by passing a fundamental wave emitted from a laser light source such as a semiconductor laser through a non-linear optical material. . As an example of a conventional harmonic generator using a non-linear optical material, a second harmonic generator using a semiconductor laser is shown in FIG.

【0003】この第2高調波発生装置は、波長860n
mのレーザ光を発する半導体レーザ(以下、LDとす
る)1を用いており、非線形光学材料4としてKNbO
3 結晶のモノリシック型リング共振器(以下、KN共振
器とする)を用いている。KN共振器は、KN共振器用
温度制御素子6であるペルチェ素子上に直接載置され、
同ペルチェ素子6上の温度センサー7であるサーミスタ
を用いて温度制御される。
This second harmonic generator has a wavelength of 860n.
A semiconductor laser (hereinafter, referred to as LD) 1 that emits a laser beam of m is used, and KNbO is used as the nonlinear optical material 4.
A three- crystal monolithic ring resonator (hereinafter referred to as KN resonator) is used. The KN resonator is directly mounted on the Peltier element which is the temperature control element 6 for the KN resonator,
The temperature is controlled by using a thermistor which is a temperature sensor 7 on the Peltier device 6.

【0004】LD1用ペルチェ素子6で温度制御された
LD1から発せられた基本波11は、コリメートレンズ
2で平行光となり、モードマッチングレンズ3を通過し
てKN共振器に入射する。その基本波がKN共振器内を
特定の方向に通過するとき、基本波の一部が波長430
nmの第2高調波10に変換され、KN共振器から出射
する。
The fundamental wave 11 emitted from the LD 1 whose temperature is controlled by the Peltier element 6 for LD 1 is collimated by the collimator lens 2 and passes through the mode matching lens 3 to enter the KN resonator. When the fundamental wave passes through the KN resonator in a specific direction, part of the fundamental wave has a wavelength of 430.
It is converted into the second harmonic wave 10 of nm and emitted from the KN resonator.

【0005】この時、KN共振器内で発生する微量な逆
回りの基本波の散乱光をLD1に戻すことにより、共振
周波数にLD発振周波数をロックさせる光帰還制御法が
行われている。これにより高調波出力の安定化がはから
れている。このような構成により、基本波を効率よく第
2高調波に変換する第2高調波発生装置が実現してい
る。
At this time, an optical feedback control method is used in which the LD oscillation frequency is locked to the resonance frequency by returning a small amount of scattered light of the counterclockwise fundamental wave generated in the KN resonator to the LD1. As a result, the harmonic output is stabilized. With such a configuration, the second harmonic generation device that efficiently converts the fundamental wave into the second harmonic is realized.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】KNbO3 結晶を用い
たモノリシック型のKN共振器は、衝撃によりツインを
生じ使用不能となりやすい。そのため、従来の第2高調
波発生装置では、光軸調整時などのKN共振器取扱い時
には、衝撃を与えないよう細心の注意を払わなければな
らず、またその固定にも困難を要した。
A monolithic KN resonator using a KNbO 3 crystal is apt to become unusable due to a twin caused by impact. Therefore, in the second harmonic generation device of the related art, when handling the KN resonator such as when adjusting the optical axis, it is necessary to pay close attention not to give a shock, and it is difficult to fix the KN resonator.

【0007】一方、この第2高調波発生装置ではKN共
振器の精密温度制御が重要である。光帰還制御法では、
共振周波数にLDの周波数をロックさせているが、KN
共振器は屈折率に温度依存性があるため、KN共振器の
温度変化は即共振周波数の変化に現れる。そのため、K
N共振器の精密温度制御は非常に重要であり、0.01
℃レベルの精密温度制御により基本波の共振条件や高調
波発生の位相整合条件を維持し続け、高調波出力の変動
を抑制しなければならない。
On the other hand, precise temperature control of the KN resonator is important in this second harmonic generator. In the optical feedback control method,
The LD frequency is locked to the resonance frequency, but KN
Since the refractive index of the resonator has temperature dependency, the temperature change of the KN resonator immediately appears as the change of the resonance frequency. Therefore, K
Precise temperature control of N resonator is very important.
It is necessary to maintain the resonance condition of the fundamental wave and the phase matching condition of the harmonic generation by the precise temperature control at the ° C level to suppress the fluctuation of the harmonic output.

【0008】しかしながら前記従来の装置では、雰囲気
温度変化1℃あたり共振周波数が400MHz変動し、
雰囲気温度±1℃でも1時間ほどで高調波出力が減少も
しくは停止してしまうという問題があった。
However, in the above-mentioned conventional apparatus, the resonance frequency fluctuates by 400 MHz per 1 ° C. change in ambient temperature,
Even at an ambient temperature of ± 1 ° C, there is a problem that the harmonic output decreases or stops in about 1 hour.

【0009】この原因として、装置の設置されている雰
囲気の温度が変化することで、KN共振器用ペルチェ素
子上のKN共振器の温度と、温度制御用サーミスタの温
度に差が生じてしまい、KN共振器の温度を一定に保て
ないことが考えられた。このため、KN共振器の取扱い
を容易にし、温度制御もさらに精密に行うことができる
KN共振器固定構造を有する高調波発生装置が望まれ
た。
The cause of this is that the temperature of the atmosphere in which the apparatus is installed changes, which causes a difference between the temperature of the KN resonator on the Peltier element for the KN resonator and the temperature of the temperature control thermistor, which causes KN. It was considered that the temperature of the resonator could not be kept constant. Therefore, there has been a demand for a harmonic generator having a KN resonator fixing structure that enables easy handling of the KN resonator and further precise temperature control.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、前述の問題点
を解決すべくなされたものであり、基本波発生用のレー
ザ光源と、基本波を高調波へ変換する非線形光学材料を
含みかつ基本波を共振させる共振器とを備えてなる高調
波発生装置において、前記非線形光学材料を良熱伝導性
の材料からなる保持部材の凹部に光学面以外の部分を埋
設し、前記保持部材に温度センサーと温度制御素子を設
けたことを特徴とする高調波発生装置を提供するもので
ある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and includes a laser light source for generating a fundamental wave and a non-linear optical material for converting the fundamental wave into a harmonic wave. In a harmonic generator comprising a resonator that resonates a fundamental wave, a portion other than an optical surface is embedded in a concave portion of a holding member made of a material having good thermal conductivity, and the nonlinear optical material has a temperature of the holding member. It is intended to provide a higher harmonic wave generator having a sensor and a temperature control element.

【0011】本発明の好ましい態様として、前記保持部
材の温度制御素子と接触しない面を断熱性材料により覆
ったことを特徴とする。
In a preferred aspect of the present invention, the surface of the holding member that is not in contact with the temperature control element is covered with a heat insulating material.

【0012】本発明の熱伝導性の良好な材料からなる保
持部材としては、銅やアルミ製のものが好ましく用いら
れる。また、本発明のKN共振器等の非線形光学材料の
保持部材の凹部への埋設固定には、熱伝導性接着剤或い
は低融点半田等が好ましく用いられる。本発明の温度制
御素子にはペルチェ素子が、温度センサーにはサーミス
タが好ましく用いられる。
As the holding member made of a material having good thermal conductivity according to the present invention, one made of copper or aluminum is preferably used. Further, a thermal conductive adhesive or low melting point solder is preferably used for embedding and fixing the holding member of the nonlinear optical material such as the KN resonator of the present invention in the recess. A Peltier element is preferably used for the temperature control element of the present invention, and a thermistor is preferably used for the temperature sensor.

【0013】前記非線形光学材料は、基本波が入射する
面と高調波が出射する面、すなわち光学面は保持部材に
完全に埋設しない。少なくとも、基本波の入射部と高調
波の出射部は外部に露出させておく必要がある。また、
非線形光学材料としては、KNbO3 、LiNbO3
KTiOPO4 、KH2 PO4 、β−BaB24 等の
非線形光学結晶、その他有機非線形光学材料等が好まし
く使用できる。
In the nonlinear optical material, the surface on which the fundamental wave is incident and the surface on which the harmonics are emitted, that is, the optical surface is not completely embedded in the holding member. At least the fundamental wave incident part and the harmonic wave emitting part must be exposed to the outside. Also,
Non-linear optical materials include KNbO 3 , LiNbO 3 ,
Nonlinear optical crystals such as KTiOPO 4 , KH 2 PO 4 , β-BaB 2 O 4 and other organic nonlinear optical materials can be preferably used.

【0014】前記共振器としては、非線形光学材料内部
で基本波を共振させるモノリシック型共振器、あるいは
複数の共振器用ミラー間の基本波の光軸上に非線形光学
材料を配置したディスクリート型共振器のいずれでもよ
いが、モノリシック型の方が保持部材への固定のしやす
さ、小型化、基本波損失、光軸調整作業等の容易さなど
の点で好ましい。
The resonator is a monolithic resonator that resonates a fundamental wave inside a nonlinear optical material, or a discrete resonator in which a nonlinear optical material is arranged on the optical axis of the fundamental wave between a plurality of resonator mirrors. Either of them may be used, but the monolithic type is preferable in terms of easiness of fixing to the holding member, size reduction, fundamental wave loss, easiness of optical axis adjustment work, and the like.

【0015】基本波の光源としては、LD、YAGレー
ザ、YLFレーザ等の固体レーザ、Arレーザ等のガス
レーザ、その他各種の固体、液体、ガスレーザが使用で
きるが、小型、低コスト、出力の安定性等の点でLDが
好ましく使用できる。
As the light source of the fundamental wave, solid-state lasers such as LD, YAG laser and YLF laser, gas lasers such as Ar laser and various other solid, liquid and gas lasers can be used, but they are small in size, low in cost and stable in output. LD is preferably used in view of the above.

【0016】また、本発明は第2高調波発生装置ばかり
でなく、より高次の高調波発生装置にも適用可能であ
る。
Further, the present invention can be applied not only to the second harmonic generator but also to higher harmonic generators.

【0017】[0017]

【作用】本発明の高調波発生装置は、まずKN共振器等
の非線形光学材料を保持部材に埋設固定し、保持部材ご
と取り扱うことにより、外部からの直接的衝撃から保護
する効果を持ち、光軸調整などで問題となっていたKN
共振器の取扱いの困難さを軽減することができる。
The harmonic generating device of the present invention has the effect of protecting a direct impact from the outside by first imbedding and fixing a nonlinear optical material such as a KN resonator in a holding member and handling the holding member together. KN had a problem with axis adjustment
The difficulty of handling the resonator can be reduced.

【0018】また、非線形光学材料を熱伝導性の良好な
材料で作成された保持部材ごと温度制御することによ
り、保持部材が均熱化されてモジュールの雰囲気温度の
変化の影響を受けにくくなり、KN共振器の設定温度の
保持能力が向上する。さらに、保持部材を断熱性の良好
な材料で覆うことにより、保持部材自体も雰囲気温度変
化の影響が少なくなり、均熱化が促進され、KN共振器
の設定温度保持能力を高める。
Further, by controlling the temperature of the non-linear optical material together with the holding member made of a material having good thermal conductivity, the holding member is soaked and less susceptible to the change in the ambient temperature of the module. The ability to hold the set temperature of the KN resonator is improved. Furthermore, by covering the holding member with a material having a good heat insulating property, the holding member itself is less affected by changes in the ambient temperature, promotes soaking, and enhances the set temperature holding ability of the KN resonator.

【0019】また、温度センサーを保持部材の非線形光
学材料用凹部に近接して設けた穴に挿入して設置するこ
とにより、温度センサーに対する雰囲気温度変化の直接
の影響を防ぐことができ、また温度センサーのリード線
からの熱伝導による制御温度のずれを軽減する効果も有
し、設定温度の保持性能をさらに高められる。
Further, by inserting the temperature sensor into the hole provided near the concave portion for the non-linear optical material of the holding member and installing the temperature sensor, it is possible to prevent the temperature sensor from being directly affected by a change in the ambient temperature, It also has the effect of reducing the deviation of the control temperature due to heat conduction from the lead wire of the sensor, and further enhances the holding performance of the set temperature.

【0020】[0020]

【実施例】本発明の実施例を図1、2示し、以下に詳し
く説明する。図1には本発明を第2高調波発生装置に適
用した一実施例が示されている。なお、本発明は第2高
調波発生装置に限定されるものではなく、非線形光学材
料を用いたより高次の高調波発生装置にも適用できる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention is shown in FIGS. FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to a second harmonic generation device. The present invention is not limited to the second harmonic generation device, and can be applied to a higher harmonic generation device using a nonlinear optical material.

【0021】図1の温度制御素子6には、小型で効率よ
く精密に温度制御できるペルチェ素子を、温度センサー
7にはサーミスタを用いている。この第2高調波発生装
置は、基板5上にレーザ光源としてLD1を、LD1の
温度制御素子6であるLD1用ペルチェ素子を付帯して
固定してあり、コリメートレンズ2、モードマッチング
レンズ3、非線形光学材料4が順次光軸上に配列固定さ
れている。
The temperature control element 6 shown in FIG. 1 is a Peltier element which is small in size and can control the temperature efficiently and precisely, and the temperature sensor 7 is a thermistor. In this second harmonic generation device, an LD1 as a laser light source is fixed on a substrate 5 with a Peltier element for LD1 which is a temperature control element 6 of the LD1, fixed, a collimating lens 2, a mode matching lens 3, and a nonlinear. The optical materials 4 are sequentially arranged and fixed on the optical axis.

【0022】本発明の非線形光学材料4からなる共振器
は、その形態(3角リング型共振器、V字型共振器、8
の字リング型共振器、往復型共振器等)は特に限定され
ず、有効な非線形光学効果を発現するものであればよ
い。
The resonator made of the nonlinear optical material 4 of the present invention has a form (triangular ring resonator, V-shaped resonator, 8
The ring-shaped resonator, the reciprocating resonator, etc.) are not particularly limited as long as they exhibit an effective nonlinear optical effect.

【0023】図1の実施例では、非線形光学結晶である
KNbO3 結晶のモノリシック型3角リング共振器が用
いられている。基本波の入射側に位置する一方のモノリ
シック型共振器端面は球面状に形成されており、基本波
を92%反射する反射膜が蒸着されて球面ミラーとされ
ている。第2高調波の出射側に位置する共振器の端面
は、同じく球面状に形成されており、基本波を99%以
上反射する膜が蒸着され、第2高調波を90%以上透過
する反射膜が蒸着された球面ミラーとされている。
In the embodiment shown in FIG. 1, a monolithic triangular ring resonator of KNbO 3 crystal which is a nonlinear optical crystal is used. One end face of the monolithic resonator located on the incident side of the fundamental wave is formed in a spherical shape, and a reflecting film that reflects 92% of the fundamental wave is vapor-deposited to form a spherical mirror. The end face of the resonator located on the emission side of the second harmonic is also formed into a spherical shape, and a film that reflects 99% or more of the fundamental wave is vapor-deposited and a reflective film that transmits 90% or more of the second harmonic. Is a spherical mirror that is vapor-deposited.

【0024】この入射面と出射面をその両端にそれぞれ
となりあって持つ全反射面との3面でモノリシックリン
グ共振器を形成している。特にこのKN共振器の場合、
0.01℃レベルで精密温度制御される。
A monolithic ring resonator is formed by three surfaces, that is, a total reflection surface having the entrance surface and the exit surface at both ends thereof. Especially in the case of this KN resonator,
Precise temperature control at the level of 0.01 ° C.

【0025】本例のKN共振器は、凹部を有した保持部
材8に埋設されており、熱伝導性の良好な接着剤、もし
くは溶融温度120℃程度の低融点半田で固定されてい
る。そしてその保持部材8は、KN共振器用ペルチェ素
子上に載置固定されており、LD1の光軸上に位置調整
されて基板5に固定してある。
The KN resonator of this example is embedded in a holding member 8 having a recess, and is fixed by an adhesive having good thermal conductivity or a low melting point solder having a melting temperature of about 120 ° C. The holding member 8 is mounted and fixed on the Peltier element for the KN resonator, and is positionally adjusted on the optical axis of the LD 1 and fixed to the substrate 5.

【0026】本発明の基板5は剛性に優れたものであ
り、LD、レンズ、共振器等の光学系を固定できるもの
であり、特に本例ではLD1およびKN共振器用のペル
チェ素子の非温度制御面とは直接には熱的接触をしない
構造となっている。それぞれのペルチェ素子の非温度制
御面には、基板の材質とは異なる熱伝導性の良い金属ブ
ロックを接着させ、基板5にはめ込んだ構造にして固定
部との熱的分離を図っている。さらに基板5材料に低熱
膨張金属を用いることにより、基板5の熱膨張による光
軸距離変化を軽減している。
The substrate 5 of the present invention is excellent in rigidity and can fix the optical system such as LD, lens and resonator. Especially, in this example, non-temperature control of the Peltier element for LD1 and KN resonator. It has a structure that does not make direct thermal contact with the surface. A metal block having a good thermal conductivity different from the material of the substrate is adhered to the non-temperature control surface of each Peltier element, and the metal block is fitted into the substrate 5 so as to be thermally separated from the fixed portion. Further, by using a low thermal expansion metal for the material of the substrate 5, the change in the optical axis distance due to the thermal expansion of the substrate 5 is reduced.

【0027】本例のLD1は、この実施例では波長86
0nm、単一縦、単一横モードで、非点収差の少ない基
本波を出射するものが用いられている。また、基本波の
出射端面および出射面に対向する面はそれぞれ5%、9
0%の反射防止膜が真空蒸着法により施されている。L
D1の形状は、缶パッケージタイプ或いはチップタイプ
が用いられ、チップタイプのほうがより精密な温度制御
が可能である。
The LD 1 of this embodiment has a wavelength of 86 in this embodiment.
A 0 nm, single longitudinal, single transverse mode that emits a fundamental wave with little astigmatism is used. Further, the emission end face of the fundamental wave and the face facing the emission face are 5% and 9%, respectively.
A 0% antireflection film is applied by a vacuum evaporation method. L
As the shape of D1, a can package type or a chip type is used, and the chip type enables more precise temperature control.

【0028】LD1用ペルチェ素子は、LD1のホルダ
ー底面とほぼ同等の面積の接触面を有するものが好まし
く、これはLD1をホルダーと共に均熱化して精密温度
制御するためである。また、LD用ペルチェ素子制御用
サーミスタは、LD1の発光点にできるだけ近い位置に
設置されるのが好ましい。
The LD1 Peltier element preferably has a contact surface having an area substantially equal to the bottom surface of the holder of the LD1 for the purpose of soaking the LD1 together with the holder for precise temperature control. The LD Peltier element controlling thermistor is preferably installed at a position as close as possible to the light emitting point of the LD 1.

【0029】LD1から出射される基本波8は、基板5
上に固定されたコリメートレンズ2で平行なビームとさ
れる。その平行ビームは、基板5上に固定されたモード
マッチングレンズ3で絞られ、モノリシック型リング共
振器内の共振モードと入射ビームとを整合している。
The fundamental wave 8 emitted from the LD 1 is the substrate 5
The collimating lens 2 fixed on the upper side forms parallel beams. The parallel beam is focused by the mode matching lens 3 fixed on the substrate 5 to match the incident mode with the resonance mode in the monolithic ring resonator.

【0030】さらにこの例では、KN共振器内で発生す
る微量な逆回りの基本波光をLD1に戻すことにより、
共振周波数にLD発振周波数をロックさせる光帰還制御
法を用いている。これにより高調波出力の安定化がはか
られている。この装置により第2高調波発生を行ったと
ころ、光帰還周波数ロック時の共振周波数変動は、雰囲
気温度変化1℃あたり50MHzに抑制できており、こ
れは即ち図3示した従来の第2高調波発生装置と比較し
て、KN共振器の温度制御の精密性が約8倍に向上した
ものである。
Further, in this example, by returning a small amount of counter-rotating fundamental wave light generated in the KN resonator to LD1,
An optical feedback control method that locks the LD oscillation frequency to the resonance frequency is used. As a result, the harmonic output is stabilized. When the second harmonic generation is performed by this device, the resonance frequency fluctuation when the optical feedback frequency is locked can be suppressed to 50 MHz per 1 ° C. change in the ambient temperature, which is the second harmonic of the related art shown in FIG. Compared with the generator, the precision of temperature control of the KN resonator is improved by about 8 times.

【0031】これらの構成から、本発明の第2高調波発
生装置は、KN共振器の光軸調整時におけるKN共振器
破損はほとんどなくなり、雰囲気温度±4℃において、
高調波出力は10mW以上で出力変動も約±5%以内に
抑えられ、連続10時間以上の安定出力が得られた。
With these configurations, in the second harmonic generation device of the present invention, the KN resonator is hardly damaged when the optical axis of the KN resonator is adjusted, and the ambient temperature ± 4 ° C.
The harmonic output was 10 mW or more, the output fluctuation was suppressed within about ± 5%, and the stable output was obtained for 10 hours or more continuously.

【0032】図2は、図1の第2高調波発生装置におい
て、保持部材を断熱性を持つ樹脂9等で覆う形で基板5
に保持固定したものである。さらにKN共振器温度制御
用サーミスタを、保持部材8に設けた所定の深さの穴に
挿入して固定したものである。KN共振器の精密温度制
御性がより向上し、光帰還周波数ロック時の共振周波数
変動は、雰囲気温度変化1℃あたり30MHzに抑制で
きた。これにより、雰囲気温度±5℃において、高調波
出力は10mW以上で出力変動も約±5%以内に抑えら
れ、連続10時間以上の安定出力が得られた。
FIG. 2 shows a substrate 5 in which the holding member is covered with a resin 9 having a heat insulating property in the second harmonic generator of FIG.
It is held and fixed to. Furthermore, a KN resonator temperature control thermistor is inserted and fixed in a hole of a predetermined depth provided in the holding member 8. The precision temperature controllability of the KN resonator was further improved, and the resonance frequency fluctuation when the optical feedback frequency was locked could be suppressed to 30 MHz per 1 ° C. change in the ambient temperature. As a result, at an ambient temperature of ± 5 ° C., the harmonic output was 10 mW or more, the output fluctuation was suppressed within about ± 5%, and stable output for 10 hours or more was obtained continuously.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明の高調波発生装置は、保持部材に
非線形光学材料を埋設して固定するため、光軸調整等の
作業時に衝撃を受けることによる非線形光学材料損傷の
発生率が減少する。また、保持部材ごと温度制御するこ
とにより、非線形光学材料の精密温度制御を可能にし非
線形光学効果の変動を抑制する。
In the harmonic generator of the present invention, since the non-linear optical material is embedded and fixed in the holding member, the occurrence rate of the non-linear optical material damage due to impact during the work such as optical axis adjustment is reduced. . Further, by controlling the temperature of each holding member, it is possible to control the precise temperature of the nonlinear optical material and suppress the fluctuation of the nonlinear optical effect.

【0034】特に、保持部材を断熱材で覆うことにより
保持部材の均熱化を促進し、雰囲気温度変化に対する精
密温度制御性を向上させる。さらに、温度制御用センサ
ーを保持部材に設けた穴に挿入して固定することによ
り、温度制御性が向上し精密温度性御性をより向上させ
ることが可能である。
Particularly, by covering the holding member with a heat insulating material, soaking of the holding member is promoted, and precision temperature controllability with respect to changes in the ambient temperature is improved. Furthermore, by inserting and fixing the temperature control sensor into the hole provided in the holding member, it is possible to improve temperature controllability and further improve precision temperature controllability.

【0035】そしてこれらの効果は、高調波発生装置の
使用温度許容幅を拡大するという効果も導く。本発明の
高調波発生装置は、その形態を高調波発生モジュールと
した場合、光ディスクや光磁気ディスク等の光記録媒体
の光情報記録検出用光源として、実用的な光記録媒体の
情報読み取り装置が実現可能である。本発明は、この
外、本発明の効果を損しない範囲で種々の応用が可能で
ある。
These effects also lead to the effect of expanding the allowable temperature range of the harmonic generator. When the harmonic generator of the present invention is a harmonic generator module, a practical information reading device for an optical recording medium is used as a light source for detecting optical information recording of an optical recording medium such as an optical disk or a magneto-optical disk. It is feasible. In addition to the above, the present invention can be applied in various ways within a range that does not impair the effects of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の高調波発生装置の一実施例を示す斜視
図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a harmonic generator of the present invention.

【図2】本発明の高調波発生装置の他の実施例を示す斜
視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing another embodiment of the harmonic generator of the present invention.

【図3】従来の高調波発生装置の一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a conventional harmonic generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:半導体レーザ(LD) 2:コリメートレンズ 3:モードマッチングレンズ 4:非線形光学材料 5:基板 6:温度制御素子 7:温度センサー 8:保持部材 9:断熱材 10:高調波 11:基本波 12:レンズホルダー 1: Semiconductor laser (LD) 2: Collimating lens 3: Mode matching lens 4: Non-linear optical material 5: Substrate 6: Temperature control element 7: Temperature sensor 8: Holding member 9: Heat insulating material 10: Harmonic wave 11: Fundamental wave 12 : Lens holder

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基本波発生用のレーザ光源と、基本波を高
調波へ変換する非線形光学材料を含みかつ基本波を共振
させる共振器とを備えてなる高調波発生装置において、
前記非線形光学材料を良熱伝導性の材料からなる保持部
材の凹部に光学面以外の部分を埋設し、前記保持部材に
温度センサーと温度制御素子を設けたことを特徴とする
高調波発生装置。
1. A harmonic generation device comprising a laser light source for generating a fundamental wave, and a resonator including a nonlinear optical material for converting the fundamental wave into a harmonic and resonating the fundamental wave,
A harmonic generation device characterized in that a portion other than an optical surface is embedded in a concave portion of a holding member made of a material having good thermal conductivity and the nonlinear optical material is provided with a temperature sensor and a temperature control element.
【請求項2】前記保持部材の温度制御素子と接触しない
面を断熱性材料により覆った請求項1記載の高調波発生
装置。
2. The harmonic generator according to claim 1, wherein a surface of the holding member that is not in contact with the temperature control element is covered with a heat insulating material.
JP20840193A 1993-07-30 1993-07-30 Higher harmonic wave generator Pending JPH0743759A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005111710A1 (en) * 2004-05-14 2005-11-24 Stratophase Ltd Apparatus for heating a flat plate crystal for a laser
WO2009116134A1 (en) 2008-03-18 2009-09-24 三菱電機株式会社 Laser light source module

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