JPH0740454A

JPH0740454A - 成膜装置

Info

Publication number: JPH0740454A
Application number: JP18589493A
Authority: JP
Inventors: Takao Yamano; 隆男山野; Daisuke Horii; 大輔堀井; Hiroshi Shimada; 博島田; Bunichi Tagami; 文一田上; Takumi Yasunaga; 拓見安永; Masaaki Sato; 正昭佐藤
Original assignee: Hirano Tecseed Co Ltd; Hitachi Ltd; Hirano Steel Recycle Co
Current assignee: Hirano Tecseed Co Ltd; Hitachi Ltd; Hirano Steel Recycle Co
Priority date: 1993-07-28
Filing date: 1993-07-28
Publication date: 1995-02-10
Anticipated expiration: 2011-12-25
Also published as: JP2567800B2

Abstract

(57)【要約】【構成】装置本体（12）の前部から後部に向けて走行
する帯状基材（22）上でセラミックスシートを成形する
ための成膜装置（10）であって、帯状基材（22）の走行
路の上方において、複数のノズル組体（26）が帯状基材
（22）の走行方向に列設され、ノズル組体（26）は、吹
出多孔板（32）をエア吹出口として下部に備えた給気用
ノズル（Ｋ）と、吸入多孔板（34）をエア吸入口として
下部に備えた排気用ノズル（Ｈ）とよりなり、両多孔板
（32）（34）が、両多孔板間に空気流空間（33）を存し
た状態で、側面視ハの字状に配されている。【効果】排気用ノズル（Ｈ）と給気用ノズル（Ｋ）と
における流量を略同一とすることにより、排気用ノズル
（Ｈ）から吸い込むに量に見合った量の空気が給気用ノ
ズル（Ｋ）から供給されることになるので、帯状基材
（22）が出入りする装置本体（12）の入口、出口などか
ら空気が流入するおそれはなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は成膜装置、いわゆるキャ
スティングマシーンに関する。

【０００２】

【従来の技術】図６に基づいて、従来の成膜装置(100)
を説明する。図において、符号(102) は、例えば合成樹
脂フィルムあるいは金属薄板よりなる帯状基材である。
この帯状基材(102) は、これと併走するコンベア(104)
により、装置本体(101) の前部における入口(106) から
該装置本体(101) の内部を通って後部における出口(10
8) にまで搬送される。

【０００３】前記装置本体(101) より前方に塗工室(11
0) が配されている。塗工室(110) 内の塗工装置(112)
により、溶媒と合成樹脂あるいはセラミックスよりなる
塗液（Ｔ）が、走行する帯状基材(102) の上に均一な厚
みで塗布されていく。

【０００４】したがって、コンベア(104) により、溶媒
を含んだ未乾燥の塗膜（Ｍ）が帯状基材(102) の上に載
った状態で装置本体(101) の内部に運ばれる。

【０００５】装置本体(101) の内部における給気用ノズ
ル(115) には、給気ファン（Ｐ１）、加熱手段（Ｎ）及
びフィルター（Ｆ）が備えられている。装置本体(101)
の内部に運ばれた未乾燥の塗膜（Ｍ）における溶媒は、
前記加熱手段（Ｎ）により熱せられるとともに給気用ノ
ズル(115) から供給される熱風により蒸気として塗膜
（Ｍ）より離脱する。これにより、未乾燥の塗膜（Ｍ）
は次第に乾燥して（成膜されて）セラミックスシートあ
るいは合成樹脂フィルムとなり、装置本体(101)から搬
出される。

【０００６】未乾燥の塗膜（Ｍ）より放出される溶媒蒸
気を装置本体(101) の外部に排出するために、図に示す
ように、装置本体(101) の天井部(101ａ) に排気用ノズ
ル(116) を設けている。すなわち、排気用ノズル(116)
に吸入ファン（Ｐ２）を併設することにより、装置本体
(101) 内の空気を吸引して外部に排出し、これととも
に、塗膜（Ｍ）より放出された溶媒蒸気をも外部に排出
しようとしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記構造の成膜装置(1
00) には、次の問題があった。上記成膜装置(100) にあ
っては、排気用ノズル(116) から吸い込む量に見合った
量の加熱空気を、給気用ノズル(115) から装置本体の内
部に供給しなければならない。この給排気のバランスが
見合わなければ、帯状基材(102) が出入りする装置本体
(101) の入口(106) 、出口(108) および開閉扉（図示せ
ず）における僅かな隙間などから空気が流入し補充され
るか、あるいは流出する。すなわち、装置稼働に伴い、
塗工室(110) や装置本体(101) の後方に連続する後部乾
燥室(118) などから空気が流入したり、流出したりす
る。

【０００８】ところで、未乾燥の塗膜（Ｍ）に空気が直
接当たると、当たった部分の表面にシワや割れが発生し
易くなることがよく知られている。上述したように、入
口(106) より流入する空気は前記塗膜（Ｍ）へ直接当接
し、製品（セラミックスシート）の品質を悪化させる原
因となった。

【０００９】また、空気の制御可能な部分が少ないた
め、装置本体(101) 内部における空気の状態（温度、湿
度、流れの向き等）のコントロールが難しく、また汚染
を防止することもできず、製品の品質の安定性が計れな
かった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そこで、上記の問題点を
解決するために、次のような手段を講じた。本発明の成
膜装置は、装置本体の前部から後部に向けて走行する帯
状基材上で合成樹脂フィルムまたはセラミックスシート
を成形する装置であって、前記帯状基材の走行路の上方
において、複数のノズル組体が前記帯状基材の長手方向
に列設され、前記ノズル組体は、給気用ノズルとこれに
並設した排気用ノズルとよりなり、前記給気用ノズル
は、下部に吹出多孔板をエア吹出口として備え、前記排
気用ノズルは、下部に吸入多孔板をエア吸入口として備
え、前記両多孔板が、該両多孔板間に空気流空間を存し
た状態で、側面視ハの字状に配されてなるものである。

【００１１】請求項２のように、前記ノズル組体は、該
ノズル組体における排気用ノズルが、給気用ノズルより
も装置本体における前方に配されるように設置されてい
ることが好ましい。

【００１２】請求項３のように、前記ノズル組体を昇降
可能に設けることが好ましい。

【００１３】

【作用】本発明の成膜装置において、排気用ノズルから
吸い込む量に見合った量の空気や加熱された空気などの
媒体を、給気用ノズルから吹出多孔板を介して装置本体
の内部に供給することができる。

【００１４】乾燥に伴って未乾燥の塗膜より放出される
溶媒蒸気は、給気用ノズルより供給され空気流空間を排
気用ノズルに向けて流れる空気と合流し、一緒に吸入多
孔板を介して排気用ノズルより吸い込まれて外部に排出
される。

【００１５】上述したように、両ノズルにおける流量を
略同一とすることにより、帯状基材が出入りする装置本
体の入口、出口などから空気が流入するおそれはなくな
る。また、給気用ノズルから装置本体の内部に供給しよ
うとする空気の、例えば温度、湿度等の条件を、予め最
適な状態に設定したうえで、装置本体内部に供給するこ
とが可能となる。これにより、装置本体内部における空
気の状態のコントロールが可能となる。さらに、フィル
ターを通した空気を供給することもでき、装置本体内を
清潔に保つことができる。

【００１６】前記排気用ノズルと給気用ノズルとよりな
るノズル組体の複数個を列設することにより、１つずつ
のノズル組体について、空気の流量を少なくできる。未
乾燥状態の塗膜に対しては空気を当てないほうがよいた
め、１つずつのノズル組体について空気の流量が少なく
なれば、未乾燥の塗膜に空気が当たる可能性が少なくな
り、製品の品質向上につながる。

【００１７】前記排気用ノズルにおけるエア吸入口と、
前記給気用ノズルにおけるエア吹出口とをそれぞれ多孔
板（吹出多孔板、吸入多孔板）により構成することによ
り、前記排気用ノズルと前記給気用ノズルとによる給気
と排気とが、前記帯状基材における幅方向において均一
となる。

【００１８】本発明において使用し得る多孔板としては
特に限定はなく、厚み方向に真直ぐ貫通する貫通小孔を
多数有する板、不規則に湾曲・分岐しながら延びる貫通
小孔を多数有する板などが挙げられる。

【００１９】両多孔板を、側面視ハの字状に配すること
により、給気用ノズルより供給した空気を未乾燥の塗膜
に当てることなく、排気用ノズルに吸い込ませることが
できる。前述したように、未乾燥の塗膜に空気を当てれ
ば、当たった表面にシワや割れが発生しやすくなるが、
両多孔板を、側面視ハの字状に配することにより、給気
用ノズルより供給した空気は両多孔板間における空気流
空間を流れ、未乾燥の塗膜に空気が直接当たる可能性が
より一層少なくなり、シワや割れが発生する心配もなく
なる。

【００２０】なお、前記両多孔板がなす角度（内角）と
しては特に限定はないが、８０〜１６０度であること
が、シワや割れの発生を顕著に防ぐことができる、とい
う点で好ましく、１００〜１４０度であることがさらに
好ましい。上記角度が８０度未満の場合は溶媒蒸気の取
込効率が低下し、１６０度を超える場合は、給気用ノズ
ルより供給した空気が未乾燥の塗膜に当たる可能性が大
きくなる。

【００２１】請求項２のように、ノズル組体を、前記排
気用ノズルが前記給気用ノズルよりも前方となるように
配することにより、帯状基材の走行方向とは反対の方向
の空気流（カウンターフロー）が、ノズル組体と帯状基
材との間に発生する。これにより、放出された溶媒蒸気
を効率よく排気用ノズルに取り込め、外部に排出でき
る。

【００２２】請求項３のように、ノズル組体を昇降可能
に設ければ、溶媒の量に見合った、言い換えれば乾燥の
程度に応じた空気流の調節が独自で可能となる。例え
ば、溶媒の量が多ければノズル組体を上げて未乾燥塗膜
から放し、溶媒の量が少なければノズル組体を下げて前
記塗膜に近付けることが可能となる。

【００２３】なお、ノズル組体を昇降可能にする方法と
しては特に限定はなく、ラックとピニオンを利用する方
法、紐あるいは金属線と滑車を利用する方法、油圧シリ
ンダーやエアシリンダー等の伸縮手段を利用する方法な
ど、公知の方法を利用すればよい。

【００２４】

【実施例】以下、図１〜図５に基づいて本発明の成膜装
置（10）の一実施例を説明する。図において、符号（1
2）は装置本体である。装置本体（12）の前部と後部に
は、後述する帯状基材が出入りする入口（16）と出口
（18）が設けられている。

【００２５】符号（20）は、装置本体（12）の前方に配
された塗工室である。塗工室（20）の内部には塗工装置
（20ａ）が配されている。塗工装置（20ａ）により、溶
媒とセラミックスよりなる塗液（Ｔ）が、帯状基材の上
面に均一な厚みで塗布されていく。

【００２６】帯状基材（22）は、これと併走する無端ベ
ルト（24）により走行するものであり、上面に前記塗液
（Ｔ）よりなる未乾燥の塗膜（Ｍ）を載せた状態で装置
本体（12）の入口（16）に向かう。

【００２７】さらなる帯状基材（22）の走行により、該
帯状基材（22）上の塗膜（Ｍ）は装置本体（12）の入口
（16）から装置本体（12）の内部に入り、のち出口（1
8）から出ていく。

【００２８】加熱された空気（必ずしも加熱されている
とは限らない。通常の空気の場合もある。）を給気用ノ
ズル（48）から送り込み、塗膜（Ｍ）を熱風乾燥する。
これにより、該塗膜（Ｍ）中における溶媒が蒸発し、溶
媒蒸気として放出される。溶媒が蒸発するに伴い、塗膜
（Ｍ）が徐々に乾燥して目的のセラミックスシートとな
っていく。

【００２９】未乾燥の塗膜（Ｍ）より放出された溶媒蒸
気は、帯状基材（22）の上方に配されたノズル組体（2
6）により吸引されたのち、装置本体（12）の外部へと
排出される。

【００３０】前記したノズル組体（26）は、図１に示さ
れているように、帯状基材（22）の走行路の上方におい
て、帯状基材（22）の長手方向に複数個が列設されてい
る。前記ノズル組体（26）において、符号（28）は中空
直方体状をなす無底の箱体である。箱体（28）の内部に
は、図２および図４に明瞭に示されているように、前後
方向中央部より下方に向かって隔壁（30）が延びてい
る。この隔壁（30）を境に、後側が給気用ノズル（Ｋ）
となり、前側が排気用ノズル（Ｈ）となる。

【００３１】隔壁（30）の下端部より後方および斜め下
方に、給気用ノズル（Ｋ）におけるエア吹出口を構成す
る吹出多孔板（32）が延びており、また隔壁（30）の下
端部より前方および斜め下方に、排気用ノズル（Ｈ）に
おけるエア吸入口を構成する吸入多孔板（34）が延びて
いる。なお、本実施例の場合、両多孔板（32）（34）が
なす角度（内角）は１２０度である。

【００３２】隔壁（30）の上下方向中央部から前後方向
に、それぞれ多数の貫通穴を有するパンチングプレート
（36）（38）が延びている。

【００３３】前記した箱体（28）における天板（40）に
は、後部に給気口（42）が、前部に排気口（44）がそれ
ぞれ設けられている。給気口（42）には、蛇腹式の伸縮
自在なジョイント（46）を介して給気管（48）が連結さ
れている。一方、排気口（44）にも、蛇腹式の伸縮自在
なジョイント（47）を介して排気管（50）が連結されて
いる。給気管（48）および排気管（50）は、ともに装置
本体（12）における天井板（12ａ）を厚み方向に貫通す
るものである。

【００３４】各ノズル組体（26）より延びる給気管（4
8）は、空気吸込み側の端部にフィルタ（Ｆ）、加熱装
置（Ｎ）、吸入ファン（Ｐ１）を備えた第１本管（52）
と連通するものである。すなわち、吸入ファン（Ｐ１）
の作動により、外気がフィルタ（Ｆ）を介して第１本管
（52）に取り込まれ、加熱手段（Ｎ）によって加熱（温
度約５０℃、露点温度０〜−１０℃）されたのち、各給
気管（48）に流れ込む。そして、給気口（42）を介して
給気用ノズル（Ｋ）の内部に供給される。

【００３５】また、各ノズル組体（26）より延びる排気
管（50）は、空気吹出し側の端部に排出ファン（Ｐ２）
を備えた第２本管（54）と連通するものである。すなわ
ち、排出ファン（Ｐ２）の作動により、ノズル組体（2
6）における排気用ノズル（Ｈ）の内部の空気が吸引さ
れて排気管（50）の内部を流れ、第２本管（54）内に取
り込まれたのち排出されていく。

【００３６】給気管（48）を流れてノズル組体（26）に
おける給気ノズル（Ｋ）内に流入した空気は、矢印で示
すように、パンチングプレート（36）および吹出多孔板
（32）を順次通過する。吹出多孔板（32）を通過した空
気は、排気用ノズル（Ｈ）からの吸引を受けることによ
り、吹出多孔板（32）と吸入多孔板（34）との間におけ
る空気流空間（33）を帯状基材（22）の走行方向とは逆
の方向に流れ（この時の空気流の速度は、１ｍ／秒以
下）、のち吸入多孔板（34）とパンチングプレート（3
8）を順次通過して排気用ノズル（Ｈ）内に取り込まれ
る。排気用ノズル（Ｈ）内に取り込まれた空気は、前述
したように、排気管（50）の内部を流れ、第２本管（5
4）内に取り込まれたのち排出される。

【００３７】未乾燥の塗膜（Ｍ）より放出された溶媒蒸
気は、空気流空間（33）を流れる空気と合流し、一緒に
排気用ノズル（Ｈ）における吸入多孔板（34）から、そ
して装置本体（12）の外部へと排出される。

【００３８】なお、本実施例におけるノズル組体（26）
は、昇降可能に取付けられている。すなわち、帯状基材
（22）と吹出多孔板（32）あるいは吸入多孔板（34）と
の間隔を調節することができる。以下、その点について
説明する。

【００３９】図３に明瞭に示されているように、ノズル
組体（26）における箱体（28）の左右両側から上方に向
かって昇降棒（56）（56）がそれぞれ延び、装置本体
（12）における天井板（12ａ）を貫通している。昇降棒
（56）は、それぞれ上半分が、後述するピニオンと噛合
するラック（58）となっている（図５参照）。

【００４０】符号（60）は、帯状基材（22）の幅方向に
延びる回転軸であり、昇降棒（56）におけるラック（5
8）と噛合するピニオン（62）が軸着されている。ま
た、回転軸（60）の回転を容易にするハンドル（64）が
取付けられている。

【００４１】ハンドル（64）を回せば、回転軸（60）が
回転し、これに軸着したピニオン（62）が同時に回る。
ピニオン（62）の回転にともなって、該ピニオン（62）
と噛合する左右一組の昇降棒（56）（56）が上下移動
し、ノズル組体（26）が昇降する。

【００４２】ノズル組体（26）を昇降可能に設けること
は必ずしも必要ではないが、このようにすることによ
り、含有する溶媒の量に見合った、言い換えれば乾燥の
程度に応じた空気流の調節が独自に可能となるので好適
である。例えば、溶媒の量が多ければノズル組体（26）
を上げて未乾燥塗膜（Ｍ）から放し、溶媒の量が少なけ
ればノズル組体（26）を下げて前記塗膜（Ｍ）に近付け
る。また、装置本体（12）の出口（18）に近付くにつ
れ、含有する溶媒はもはや放出されて少なくなるので、
これに対応するように、出口（18）に近付くにつれて順
にノズル組体（26）が低くなるように調節して配するこ
ともできる。

【００４３】また、本実施例では、装置本体（12）の内
部に供給する空気を予め加熱したが、これに限らず、加
熱しないそのままの空気を供給することもできる。さら
に、帯状基材（22）の下方に加熱手段を設けることもで
きる。

【００４４】

【発明の効果】本発明の成膜装置によれば、排気用ノズ
ルと給気用ノズルとにおける流量を略同一とすることに
より、排気用ノズルから吸い込むに量に見合った量の空
気が給気用ノズルから供給されることになるので、帯状
基材が出入りする装置本体の入口、出口などからの空気
の流入及び流出のおそれはなくなる。これにより、未乾
燥の塗膜が悪影響を受ける心配はない。また、装置本体
内部における空気の状態のコントロールが可能となり、
内部の汚染も防ぐことができる。

【００４５】前記排気用ノズルと給気用ノズルとよりな
るノズル組体の複数個を列設することにより、１つずつ
のノズル組体について、空気の流量を少なくでき、また
装置本体内部における空気の状態が微調整可能となり、
製品の品質向上につながる。前記排気用ノズルにおける
エア吸入口と、前記給気用ノズルにおけるエア吹出口と
をそれぞれ多孔板により構成することにより、前記排気
用ノズルと前記給気用ノズルとによる給気と排気とが、
前記帯状基材における幅方向において均一となる。ま
た、両多孔板を、側面視ハの字状に配することにより、
空気を未乾燥の塗膜に当てることなく給気用ノズルから
供給できるとともに、排気用ノズルに吸い込ませること
ができる。

【００４６】請求項２の成膜装置にあっては、帯状基材
の走行方向とは反対の方向の空気流（カウンターフロ
ー）が、ノズル組体と帯状基材との間に発生するので、
放出された溶媒蒸気を効率よく排気用ノズルに取り込む
ことができる。

【００４７】請求項３の成膜装置にあっては、ノズル組
体の高さ調節が可能であるので、含有する溶媒の量に応
じた、言い換えれば乾燥の程度に応じた空気流の調節が
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す成膜装置の側面より見
た縦断面図である。

【図２】前図の一部を拡大した図である。

【図３】図１の成膜装置の正面縦断面図である。

【図４】ノズル組体の拡大斜視図である。

【図５】ノズル組体の昇降機構の一例を示した部分拡大
図である。

【図６】従来の成膜装置の側面より見た縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１０……成膜装置１２……装置本体２２……帯状基材２６……ノズル組体３２……吹出多孔板３４……吸入多孔板Ｈ……排気用ノズルＫ……給気用ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者堀井大輔奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の１株式会社ヒラノテクシード内 (72)発明者島田博奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の１株式会社ヒラノテクシード内 (72)発明者田上文一神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社日立製作所汎用コンピューター事業部内 (72)発明者安永拓見神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社日立製作所汎用コンピューター事業部内 (72)発明者佐藤正昭神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置本体の前部から後部に向けて走行する
帯状基材上で合成樹脂フィルムまたはセラミックスシー
トを成形する装置であって、前記帯状基材の走行路の上方において、複数のノズル組
体が前記帯状基材の長手方向に列設され、前記ノズル組体は、給気用ノズルとこれに並設した排気
用ノズルとよりなり、前記給気用ノズルは、下部に吹出多孔板をエア吹出口と
して備え、前記排気用ノズルは、下部に吸入多孔板をエア吸入口と
して備え、前記両多孔板が、該両多孔板間に空気流空間を存した状
態で、側面視ハの字状に配されてなることを特徴とする
成膜装置。
【請求項２】前記ノズル組体は、該ノズル組体における
排気用ノズルが、給気用ノズルよりも装置本体における
前方に配されるように設置されていることを特徴とする
請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】前記ノズル組体を昇降可能に設けたことを
特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。