JPH0737398A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH0737398A
JPH0737398A JP5178330A JP17833093A JPH0737398A JP H0737398 A JPH0737398 A JP H0737398A JP 5178330 A JP5178330 A JP 5178330A JP 17833093 A JP17833093 A JP 17833093A JP H0737398 A JPH0737398 A JP H0737398A
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JP
Japan
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circuit
spare
fuse
word line
clock signal
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Withdrawn
Application number
JP5178330A
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English (en)
Inventor
Taneo Kobayashi
胤雄 小林
Yukihiro Fujimoto
幸宏 藤本
Tsukasa Shiratori
司 白鳥
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 クロック信号、及びまたは冗長メモリセルを
使用したことを検出する回路手段からの信号を用いてス
ペアデコード回路を活性化することにより、冗長メモリ
セルに流れる不必要な電流を抑制して、消費電力の低減
化を図った半導体集積回路を提供することを目的とす
る。 【構成】 冗長メモリセルMSjkを備えたメモリセル
アレイ1と、アドレス信号Addをデコードして冗長メ
モリセルMSjkに対するスペアワード線WLSjを選
択するスペアデコード回路5とを具備し、スペアデコー
ド回路5は、クロック信号CLKに同期して当該スペア
デコード回路5を活性化するスペアデコーダ活性化回路
11と、ヒューズを切断することにより、特定アドレス
に対して所定のスペアワード線WLSjを選択するヒュ
ーズ選択回路12とを有して構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体メモリを備えた
半導体集積回路に関し、特に、大容量の半導体メモリを
有する、或いは半導体メモリを同一チップ上に混載した
半導体集積回路において、冗長メモリセルのスペアワー
ド線をデコードするためのスペアデコード回路の制御信
号として、クロック信号、及びまたは冗長メモリセルを
使用したことを検出する回路手段からの信号を用いて該
スペアデコード回路を活性化することにより、冗長メモ
リセルに流れる不必要な電流を抑制して、消費電力の低
減化を図った半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路に搭載される半導
体メモリの大容量化が進み、不良ビットを冗長メモリセ
ルで置き換える、冗長回路の技術が不可欠となってい
る。また、論理回路と共にオンチップに搭載される半導
体メモリも容量が増大しており、冗長回路技術は集積回
路技術の1つとして重要となってきている。更に、半導
体メモリの低消費電力化の要求も強く、可能な限り消費
電流を低減する技術が重要となっている。
【0003】図8は、従来の冗長メモリセルを備えた半
導体集積回路におけるスペアデコード回路の一構成例で
ある。
【0004】同図において、従来のスペアデコード回路
101は、スペアデコード活性化回路111、ワード線
バッファ回路113、及びヒューズ選択回路112から
構成され、スペアデコード活性化回路111に対して、
チップ活性化信号CEだけが制御信号として供給されて
いる。
【0005】このような構成のスペアデコード回路10
1では、チップが活性化されている時には、スペアデコ
ード回路101は、チップ活性化信号CEにより活性化
されており、常にスペアデコード回路101に定常電流
が流れる。また、冗長メモリセルを利用しなくてもよい
場合でも、冗長メモリセルに対して定常電流を流してし
まい、当該半導体集積回路全体の消費電流の増加につな
がっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
冗長メモリセルを備えた半導体集積回路では、該冗長メ
モリセルのスペアワード線をデコードするためのスペア
デコード回路において、当該半導体集積回路チップが活
性化されている時には、スペアデコード回路は、チップ
活性化信号により常に活性化され、冗長メモリセルに対
して定常電流を流すこととなり、当該半導体集積回路全
体の消費電流が増大するという問題があった。
【0007】本発明は、上記問題点を解決するもので、
その目的は、冗長メモリセルのスペアワード線をデコー
ドするためのスペアデコード回路の制御信号として、ク
ロック信号、及びまたは冗長メモリセルを使用したこと
を検出する回路手段からの信号を用いて該スペアデコー
ド回路を活性化することにより、冗長メモリセルに流れ
る不必要な電流を抑制して、消費電力の低減化を図った
半導体集積回路を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の第1の特徴は、図1に示す如く、冗長メモ
リセルMSjk(j=1〜m,k=1〜p;m,pは任
意の正整数)を備えたメモリセルアレイ1と、アドレス
信号Addをデコードして前記冗長メモリセルMSjk
に対するスペアワード線WLSjを選択するスペアデコ
ード回路5とを具備し、前記スペアデコード回路5は、
クロック信号CLKに同期して当該スペアデコード回路
5を活性化するスペアデコーダ活性化回路11と、ヒュ
ーズを切断することにより、特定アドレスに対して所定
のスペアワード線WLSjを選択するヒューズ選択回路
12とを具備することである。
【0009】また、本発明の第2の特徴は、請求項1に
記載の半導体集積回路において、図7に示す如く、前記
スペアデコード回路5は、特定のスペアワード線WLS
jを使用する旨を示すために切断する第2のヒューズS
Fjを備え、前記第2のヒューズSFjが切断されたこ
とを検出して使用検出信号SIGNを出力する第2ヒュ
ーズ回路14を具備し、前記スペアデコーダ活性化回路
11は、クロック信号CLKに同期して前記使用検出信
号SIGNに基づき当該スペアデコード回路5を活性化
することである。
【0010】また、本発明の第3の特徴は、請求項1ま
たは2に記載の半導体集積回路において、図2(1)に
示す如く、前記クロック信号CLKは、システムクロッ
クSCLKであることである。
【0011】更に、本発明の第4の特徴は、請求項1ま
たは2に記載の半導体集積回路において、図2(2)に
示す如く、前記スペアデコード回路5は、前記アドレス
信号Addinの値が変化したことを検出するアドレス
変化検知回路8を具備し、前記クロック信号CLKは、
前記アドレス変化検知回路14の出力ACLKであるこ
とである。
【0012】
【作用】本発明の第1の特徴の半導体集積回路では、図
1に示す如く、スペアデコード回路5を、各スペアワー
ド線SLj毎に、スペアデコーダ活性化回路11、ヒュ
ーズ選択回路12、及びワード線バッファ回路13から
成るブロック6jを備えて構成している。尚、スペアデ
コーダ活性化回路11を全ブロック61〜6mに共通と
して、ブロック6jをヒューズ選択回路12及びワード
線バッファ回路13から成る構成とすることも考えられ
る。
【0013】メモリセルアレイ1において、不良の発生
したメモリセルを冗長メモリセルに置き換える場合に
は、特定アドレスでスペアワード線WSLjを選択する
ようにヒューズ選択回路12のヒューズを切断して、ス
ペアデコーダ活性化回路11でクロック信号CLKに同
期して当該スペアデコード回路5(信号線51)を活性
化して、更にワード線バッファ回路13によりスペアワ
ード線WSLjの駆動能力を高めてメモリセルアレイ1
に供給している。
【0014】このように、クロック信号CLKを調整す
ることによりスペアデコード回路5の活性化時間を制御
することができ、スペアデコード回路5に流れる電流を
低減することができ、結果として、冗長メモリセルに流
れる不必要な電流を抑制して、消費電力の低減化を図っ
た半導体集積回路を実現できる。
【0015】また、本発明の第2の特徴の半導体集積回
路では、図7に示す如く、スペアデコード回路5を、第
1の特徴の半導体集積回路に第2ヒューズ回路14を付
加した構成としている。
【0016】特定のスペアワード線WLSjを使用する
場合には、第2のヒューズSFjを切断し、第2ヒュー
ズ回路14は第2のヒューズSFjが切断されたことを
検出して使用検出信号SIGNを出力し、スペアデコー
ダ活性化回路11では、クロック信号CLKに同期して
使用検出信号SIGNに基づき当該スペアデコード回路
5を活性化するようにしている。
【0017】これにより、冗長メモリを使用する場合に
は、これを検知して、第1の特徴の半導体集積回路と同
様に、クロック信号CLKの調整によりスペアデコード
回路5の活性化時間を制御して、スペアデコード回路5
に流れる電流を低減することができる。
【0018】また、本発明の第3の特徴の半導体集積回
路では、図2(1)に示す如く、クロック信号CLK
を、システムクロックSCLKを基に生成し、クロック
信号CLKの調整によりスペアデコード回路5の活性化
時間を制御して、スペアデコード回路5に流れる電流を
低減する。
【0019】同期式のメモリの場合には、外部から入力
されるクロック信号(SysCLK)があるので、これ
を利用して必要な時間だけスペアデコード回路5を活性
化し、流れる電流を低減することができる。
【0020】更に、本発明の第4の特徴の半導体集積回
路では、図2(2)に示す如く、スペアデコード回路5
に、アドレス信号Addinの値が変化したことを検出
するアドレス変化検知回路8を備えて、クロック信号C
LKをアドレス変化検知回路14からの出力ACLKと
して、該クロック信号ACLKの調整によりスペアデコ
ード回路5の活性化時間を制御して、スペアデコード回
路5に流れる電流を低減する。
【0021】非同期式のメモリの場合には、このように
内部にアドレスが変化したことを検出して制御用クロッ
クパルスを生成する手段8を備えれば、同期式と同様に
電流を軽減できる。
【0022】以上のように、本発明の冗長メモリセルを
備えた半導体集積回路によれば、スペアデコード回路5
に流れる電流を低減することが可能である。また、マイ
クロプロセッサ等のオンチップに搭載されているキャッ
シュメモリのような場合に対しても、冗長回路を持たせ
た構成を採るようになってきており、このようなメモリ
構成の分野にも本発明は有効である。
【0023】
【実施例】以下、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。
【0024】(第1の実施例)図1に本発明の第1の実
施例に係る半導体集積回路の構成図を示す。
【0025】同図に示すように、本実施例の半導体集積
回路は、冗長メモリセルの領域1sを備えたメモリセル
アレイ1、アドレスデコーダ3及び各ワード線WLi
(i=1〜n;nは任意の正整数)毎のワード線バッフ
ァ回路4iを備えたデコード回路、並びに、アドレス信
号Addをデコードして冗長メモリセルMSjkに対す
るスペアワード線WLSjを選択するスペアデコード回
路5から構成されている。尚、本実施例のメモリは同期
式のメモリを想定している。
【0026】本実施例の半導体集積回路では、スペアデ
コード回路5を、各スペアワード線SLj毎に、スペア
デコーダ活性化回路11、ヒューズ選択回路12、及び
ワード線バッファ回路13から成るブロック6jを備え
て構成している。尚、スペアデコーダ活性化回路11を
全ブロック61〜6mに共通として、ブロック6jをヒ
ューズ選択回路12及びワード線バッファ回路13から
成る構成とすることも考えられる。
【0027】スペアデコーダ活性化回路11は、チップ
活性化信号CEがアクティブである時に、クロック信号
CLKに同期して当該スペアデコード回路5を活性化す
る。また、ヒューズ選択回路12は、ヒューズを切断す
ることにより、特定アドレスに対して所定のスペアワー
ド線WLSjを選択する。
【0028】図2(1)は、同期式メモリの場合に当該
半導体集積回路内に備えられている、外部から入力され
るシステムクロックSysCLKのバッファ回路の構成
図である。バッファ回路7では、システムクロックSy
sCLKを基に、必要な遅延を与える等の調整を加え
て、スペアデコーダ活性化回路11に供給するクロック
信号CLKとして、クロック信号SCLKを生成する。
【0029】図3は、本実施例のスペアデコーダ活性化
回路11の詳細な回路構成を示す回路構成図である。ク
ロック信号CLKにより、PMOSFET(Q1)を活
性化する時間を制御して、PMOSFET(Q1)から
ヒューズ選択回路12(信号線51)に流れる定常電流
を抑制している。
【0030】また、ワード線バッファ回路13の回路例
を図4(1)及び(2)に示す。ヒューズ選択回路12
の制御により動作する信号は、駆動力が小さいのでバッ
ファしてやる必要がある(図4(1)参照)。また、ス
ペアデコーダ活性化回路11はクロック信号CLK(S
CLK)により活性化されない時間に、ハイインピーダ
ンス状態になるので、スペアデコーダ活性化回路11の
出力51を固定しておく必要がある。そのため、NOT
ゲートGN2にPMOSFET(Q3)を付加した構成
としたのが図4(2)に示す構成である。
【0031】更に、ヒューズ選択回路2の構成例を図4
(3)に示す。置き換える必要のあるデコード線に対応
する位置のヒューズFq(q=0〜r)を切断すると、
その置き換えの必要なデコード線にアクセスする場合
に、電源Vssに引かれる電流パスが無くなり、代わりに
スペアワード線を活性化することができるようになる。
【0032】本実施例では、メモリセルアレイ1におい
て、不良の発生したメモリセルを冗長メモリセルに置き
換える場合には、特定アドレスでスペアワード線WSL
jを選択するようにヒューズ選択回路12のヒューズを
切断し、スペアデコーダ活性化回路11では、チップ活
性化信号CEがアクティブの時に、クロック信号SCL
Kに同期してスペアデコード回路5(信号線51)を活
性化し、更に、ワード線バッファ回路13によりスペア
ワード線WSLjの駆動能力を高めてメモリセルアレイ
1に供給している。
【0033】以上のように本実施例の半導体集積回路で
は、クロック信号SCLKを調整することによりスペア
デコード回路5の活性化時間を制御することができ、ス
ペアデコード回路5に流れる電流を低減することがで
き、結果として、冗長メモリセルに流れる不必要な電流
を抑制して、消費電力の低減化を図った半導体集積回路
を実現できる。
【0034】(第2の実施例)第2の実施例の半導体集
積回路では、メモリが非同期式メモリである場合を想定
している。図2(2)に第2の実施例の半導体集積回路
におけるクロック信号生成手段8の構成図を示す。その
他の構成要素については、第1の実施例の半導体集積回
路と同一である。
【0035】本実施例では、非同期式メモリの場合に当
該半導体集積回路内に備えられている、外部から入力さ
れるアドレス信号Addinの値が変化したことを検出
するアドレス変化検知回路8を、クロック信号CLKの
生成手段として使用する。アドレス変化検知回路8は、
外部アドレス信号Addinを基に、必要な遅延を与え
る等の調整を加えて、スペアデコーダ活性化回路11に
供給するクロック信号CLKとして、クロック信号AC
LKを生成する。
【0036】つまり、クロック信号CLKをアドレス変
化検知回路14からの出力ACLKとして、該クロック
信号ACLKの調整によりスペアデコード回路5の活性
化時間を制御して、スペアデコード回路5に流れる電流
を低減する。
【0037】(第3の実施例)第3の実施例の半導体集
積回路では、大容量のメモリを想定している。大容量の
メモリでは、メモリセルアレイ1を幾つかのメモリブロ
ックに分割して、メモリアクセス管理が成されるのが通
常である。
【0038】本実施例の半導体集積回路では、それぞれ
のメモリブロックMBjに対して、第1の実施例と同様
に、スペアデコーダ活性化回路11、ヒューズ選択回路
12、及びワード線バッファ回路13から成るブロック
6jを備えて構成する。
【0039】図5は、本実施例のスペアデコーダ活性化
回路11の詳細な回路構成を示す回路構成図である。ス
ペアデコーダ活性化回路11に対して供給される制御信
号は、クロック信号CLK及びチップ活性化信号CEに
加えて、該ブロック6jが選択されている旨を示す信号
ブロック選択信号BSがある。
【0040】つまり、ブロック選択信号BSがアクティ
ブで、且つチップ活性化信号CEがアクティブの時に、
クロック信号SCLKまたはACLKに同期してスペア
デコード回路5(信号線51)を活性化し、更に、ワー
ド線バッファ回路13によりスペアワード線WSLjの
駆動能力を高めてメモリセルアレイ1に供給している。
【0041】これにより、幾つかのメモリブロックに分
割された大容量メモリに対しても、第1及び第2の実施
例と同様の効果を得ることができる。
【0042】(第4の実施例)図6に本発明の第4の実
施例の半導体集積回路におけるスペアデコード回路の構
成図を示す。また、図7は第4の実施例のスペアデコー
ド回路の詳細を示す回路図である。
【0043】図6及び図7に示すように、本実施例の半
導体集積回路では、スペアデコード回路5を、各スペア
ワード線SLj毎に、第2ヒューズ回路14、スペアデ
コーダ活性化回路11、ヒューズ選択回路12、及びワ
ード線バッファ回路13から成るブロック6jを備えて
構成している。
【0044】第1の実施例と同様に、スペアデコーダ活
性化回路11は、クロック信号CLKに同期して当該ス
ペアデコード回路5を活性化し、ヒューズ選択回路12
は、ヒューズを切断することにより、特定アドレスに対
して所定のスペアワード線WLSjを選択する。
【0045】第2ヒューズ回路14は、チップ活性化信
号の反転信号CE#を入力するNOTゲートGN3と、
NOTゲートGN3と電源Vss間に接続され、特定のス
ペアワード線WLSjを使用する旨を示すために切断す
る第2のヒューズSFjとを備え、特定のスペアワード
線WLSjを使用する場合には、第2のヒューズ(シグ
ネチャヒューズ)SFjが切断される。第2のヒューズ
SFjが切断されていれば電源Vssに引かれる電流パス
が無くなり、出力である使用検出信号SIGNがアクテ
ィブとなる。
【0046】スペアデコーダ活性化回路11は、使用検
出信号SIGNがアクティブである時に、クロック信号
CLKに同期して当該スペアデコード回路5を活性化す
る。また、ヒューズ選択回路12は、ヒューズを切断す
ることにより、特定アドレスに対して所定のスペアワー
ド線WLSjを選択し、更に、ワード線バッファ回路1
3によりスペアワード線WSLjの駆動能力を高めてメ
モリセルアレイ1に供給している。
【0047】このように、本実施例の半導体集積回路で
は、特定のスペアワード線WLSjを使用する場合には
第2のヒューズSFjを切断し、クロック信号CLKに
同期して使用検出信号SIGNに基づき当該スペアデコ
ード回路5を活性化するので、スペアデコード回路5に
流れる電流を低減することができる。
【0048】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、メモリセ
ルアレイにおいて不良の発生したメモリセルを冗長メモ
リセルに置き換える場合には、特定アドレスでスペアワ
ード線を選択するようにヒューズ選択回路のヒューズを
切断して、スペアデコーダ活性化回路でクロック信号に
同期して当該スペアデコード回路を活性化することとし
たので、クロック信号を調整することによりスペアデコ
ード回路の活性化時間を制御することができ、スペアデ
コード回路に流れる電流を低減することができ、結果と
して、冗長メモリセルに流れる不必要な電流を抑制し
て、消費電力の低減化を図った半導体集積回路を提供す
ることができる。
【0049】また、本発明によれば、特定のスペアワー
ド線を使用する場合には第2のヒューズを切断し、第2
ヒューズ回路は第2のヒューズが切断されたことを検出
して使用検出信号を出力し、スペアデコーダ活性化回路
では、クロック信号に同期して使用検出信号に基づき当
該スペアデコード回路を活性化することとしたので、冗
長メモリを使用する場合には、これを検知して、クロッ
ク信号の調整によりスペアデコード回路の活性化時間を
制御して、スペアデコード回路に流れる電流を低減する
ことができる。
【0050】また同期式メモリ等の場合には、外部から
のシステムクロックがあるので、これを前記クロック信
号として必要な時間だけスペアデコード回路を活性化す
るので、スペアデコード回路に流れる電流を低減するこ
とができる。
【0051】更に非同期式メモリ等の場合には、スペア
デコード回路にアドレス信号の値が変化したことを検出
するアドレス変化検知回路を備えて、該アドレス変化検
知回路の出力をクロック信号として、スペアデコード回
路の活性化時間を制御することにより、スペアデコード
回路に流れる電流を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る半導体集積回路の
構成図である。
【図2】本発明の各実施例のスペアデコード回路におけ
るクロック信号生成手段の構成図であり、図2(1)は
システムクロックから生成する場合(第1の実施例)、
図2(2)はアドレス値の変化を検知して生成する場合
(第2の実施例)の構成図である。
【図3】本発明の第1の実施例のスペアデコード回路の
回路構成図である。
【図4】本発明の各実施例のスペアデコード回路におけ
る構成要素の詳細回路図であり、図4(1)及び(2)
はワード線バッファ回路、図4(3)はヒューズ選択回
路の回路図である。
【図5】本発明の第3の実施例のスペアデコード回路の
回路構成図である。
【図6】本発明の第4の実施例の半導体集積回路におけ
るスペアデコード回路の構成図である。
【図7】本発明の第4の実施例のスペアデコード回路の
回路図である。
【図8】従来の冗長メモリセルを備えた半導体集積回路
におけるスペアデコード回路の回路構成図である。
【符号の説明】
1 メモリセルアレイ 1S 冗長メモリセルの領域 Mik(i=1〜n) メモリセル MSjk(j=1〜m) 冗長メモリセル 2 ワード線デコード回路 3 アドレスデコーダ 4i ワード線バッファ回路 5 スペアデコード回路 6j スペアデコード回路のブロック 7 バッファ回路 8 アドレス変化検知回路 11 スペアデコーダ活性化回路 12 ヒューズ選択回路 13 ワード線バッファ回路 14 第2ヒューズ回路 Add,Addin,A0 〜Ar アドレス信号 CLK クロック信号 ACLK,SCLK クロック信号 SysCLK システムクロック CE チップ活性化信号 CE# チップ活性化信号CEの反転信号 BLk,BLk# ビット線 WLi ワード線 WLSj スペアワード線 BS ブロック選択信号 51 スペアデコーダ活性化回路の出力 SIGN 使用検出信号 Q1〜Q3,Q40 〜Q4r ,Q5〜Q8 MOSFE
T GNA1 NANDゲート GN1〜GN3 NOTゲート F0 〜Fr 第1のヒューズ SFj 第2のヒューズ(シグネチャヒューズ) Vcc,Vss 電源 101 スペアデコード回路 111 スペアデコード活性化回路 112 ヒューズ回路 113 ワード線バッファ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白鳥 司 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地1 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 冗長メモリセルを備えたメモリセルアレ
    イと、 アドレス信号をデコードして前記冗長メモリセルに対す
    るスペアワード線を選択するスペアデコード回路とを有
    し、 前記スペアデコード回路は、クロック信号に同期して当
    該スペアデコード回路を活性化するスペアデコーダ活性
    化回路と、ヒューズを切断することにより、特定アドレ
    スに対して所定のスペアワード線を選択するヒューズ選
    択回路とを有することを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記スペアデコード回路は、特定のスペ
    アワード線を使用する旨を示すために切断する第2のヒ
    ューズを備え、前記第2のヒューズが切断されたことを
    検出して使用検出信号を出力する第2ヒューズ回路を有
    し、 前記スペアデコーダ活性化回路は、クロック信号に同期
    して前記使用検出信号に基づき当該スペアデコード回路
    を活性化することを特徴とする請求項1に記載の半導体
    集積回路。
  3. 【請求項3】 前記クロック信号は、システムクロック
    であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導
    体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記スペアデコード回路は、前記アドレ
    ス信号の値が変化したことを検出するアドレス変化検知
    回路を有し、 前記クロック信号は、前記アドレス変化検知回路の出力
    であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導
    体集積回路。
JP5178330A 1993-07-19 1993-07-19 半導体集積回路 Withdrawn JPH0737398A (ja)

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JP5178330A Withdrawn JPH0737398A (ja) 1993-07-19 1993-07-19 半導体集積回路

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100308196B1 (ko) * 1998-08-01 2001-11-30 윤종용 리던던시디코더회로를구비하는반도체메모리장치
KR100422421B1 (ko) * 2000-12-25 2004-03-11 엔이씨 일렉트로닉스 코포레이션 반도체 메모리 장치
KR100546176B1 (ko) * 1998-12-30 2006-04-12 주식회사 하이닉스반도체 리던던시 회로
US7209388B2 (en) 2004-11-01 2007-04-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor memory device with MOS transistors each having floating gate and control gate

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