JPH0735988B2 - 動的面出入り測定装置 - Google Patents
動的面出入り測定装置Info
- Publication number
- JPH0735988B2 JPH0735988B2 JP25011490A JP25011490A JPH0735988B2 JP H0735988 B2 JPH0735988 B2 JP H0735988B2 JP 25011490 A JP25011490 A JP 25011490A JP 25011490 A JP25011490 A JP 25011490A JP H0735988 B2 JPH0735988 B2 JP H0735988B2
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- Japan
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- reflected light
- mirror
- incident
- light
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザプリンタ等に使用される回転多面鏡、
振動鏡等の光偏向器の評価装置に関するものである。
振動鏡等の光偏向器の評価装置に関するものである。
（従来の技術） 従来、光偏向器では、その回転精度及び面の倒れがその
特性として重要視されてきたが、反射面の回転中心から
の位置が変動する（以下これを面出入りと称する）と、
これらの特性に影響を及ぼすので、この面出入りを回転
中に測定する方法として、第３図に示すように入射及び
反射光路を光偏向器28の回転軸を含む面内にあるように
構成された光源24、光学系25、ビームスプリッタ26、ト
リガ検出器27とトリガ発生時点で光がミラーに角度を持
つように入射反射するように構成された光源21、光学系
22、ビーム位置検出器23を含む面位置検出系とを備え、
トリガ発生時点の検出器23の出力から面出入りを測定す
る面出入り測定装置が提案されていた。
特性として重要視されてきたが、反射面の回転中心から
の位置が変動する（以下これを面出入りと称する）と、
これらの特性に影響を及ぼすので、この面出入りを回転
中に測定する方法として、第３図に示すように入射及び
反射光路を光偏向器28の回転軸を含む面内にあるように
構成された光源24、光学系25、ビームスプリッタ26、ト
リガ検出器27とトリガ発生時点で光がミラーに角度を持
つように入射反射するように構成された光源21、光学系
22、ビーム位置検出器23を含む面位置検出系とを備え、
トリガ発生時点の検出器23の出力から面出入りを測定す
る面出入り測定装置が提案されていた。
（発明が解決しようとする課題） 従来提案されている面出入り測定装置では、光源21から
出た光を直接検出器23上に集光するようになっていた。
このような構成では第４図に示すようにミラー面が28a
から28bに距離ｄだけ移動した時、ミラーからの出射光
の主光線はL22からL23に移動し、焦点位置はF21からF22
に移動し、検出器への入射点はF21からS21へ移動し、そ
の移動量X2から面出入り量を求めていた。ところがミラ
ー面の表面は完全な平面とはなり得ないため、表面状態
のリップル等によりL24のようにミラーからの出射光の
角度誤差が発生すると入射点はS22となり、誤差Y2が発
生してしまい、正確な測定ができないという問題があっ
た。
出た光を直接検出器23上に集光するようになっていた。
このような構成では第４図に示すようにミラー面が28a
から28bに距離ｄだけ移動した時、ミラーからの出射光
の主光線はL22からL23に移動し、焦点位置はF21からF22
に移動し、検出器への入射点はF21からS21へ移動し、そ
の移動量X2から面出入り量を求めていた。ところがミラ
ー面の表面は完全な平面とはなり得ないため、表面状態
のリップル等によりL24のようにミラーからの出射光の
角度誤差が発生すると入射点はS22となり、誤差Y2が発
生してしまい、正確な測定ができないという問題があっ
た。
（課題を解決するための手段） 本発明は、前記課題を解決すべくなされたもので実施例
に対応する第１図及び第２図で説明すると、本発明によ
る動的面出入り測定装置は、ミラーの回転により光を走
査する光偏向器９の回転中心線を含む面内に入射及び反
射光路を含み、その反射光の通過時点を検出しトリガ信
号を発生するトリガ検出系5,6,7,8と、ミラー面に垂直
でない入射及び反射光路をもち前記トリガ検出系によっ
てトリガ信号が発生した時点の入射・反射光を含む面内
で反射光にほぼ垂直方向の反射光の位置を検出する面位
置検出系1,2,3,4とを備えた動的面出入り測定装置にお
いて、前記面位置検出系の光学系として、入射光L1はミ
ラー面9a上に焦点を持ち、反射光光学系３はミラー9a上
の焦点O1と共役な像F1を反射光位置検出器４上に結ぶ光
学系としたことを特徴とする動的面出入り測定装置であ
る。
に対応する第１図及び第２図で説明すると、本発明によ
る動的面出入り測定装置は、ミラーの回転により光を走
査する光偏向器９の回転中心線を含む面内に入射及び反
射光路を含み、その反射光の通過時点を検出しトリガ信
号を発生するトリガ検出系5,6,7,8と、ミラー面に垂直
でない入射及び反射光路をもち前記トリガ検出系によっ
てトリガ信号が発生した時点の入射・反射光を含む面内
で反射光にほぼ垂直方向の反射光の位置を検出する面位
置検出系1,2,3,4とを備えた動的面出入り測定装置にお
いて、前記面位置検出系の光学系として、入射光L1はミ
ラー面9a上に焦点を持ち、反射光光学系３はミラー9a上
の焦点O1と共役な像F1を反射光位置検出器４上に結ぶ光
学系としたことを特徴とする動的面出入り測定装置であ
る。
（作用） この場合ミラー面9a上の焦点O1と検出器４上の像点F1が
共役であるので、ミラー面9aの表面状態によって反射光
の角度が変化しても、必ず反射光L2は検出器４上の像点
F1に集光する。また、面出入りがあったときには、ミラ
ー面上の反射点が移動するため像点も移動するので移動
量により面出入りが検出できる。
共役であるので、ミラー面9aの表面状態によって反射光
の角度が変化しても、必ず反射光L2は検出器４上の像点
F1に集光する。また、面出入りがあったときには、ミラ
ー面上の反射点が移動するため像点も移動するので移動
量により面出入りが検出できる。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例であって、1,5は光源、２は
ミラー面上に入射光を集光する光学系、３は出射光を検
出器上に集光する光学系、４はビーム位置検出器、６は
トリガ検出器８上に出射光を集光する光学系、７はビー
ムスプリッタ、８はトリガ検出器、９は回転多面鏡であ
る。光源５から出てトリガ検出器８に入る光は回転多面
鏡９の回転軸を含む面内にあるのでトリガ検出器８は面
出入りの影響を受けずトリガ信号を発生する。この時光
源１から出ている光は、ビーム位置検出器４に入射する
構成になっている。光源１から出た光は光学系２でミラ
ー面上に集光され、その反射光は光学系３によりビーム
位置検出器４上に集光され入射する。トリガ発生時点で
のミラー面の方向は一定であるのでそのときのビーム位
置検出器の出力の変動は面出入りによるものと考えら
れ、これから面出入りを測定できる。
ミラー面上に入射光を集光する光学系、３は出射光を検
出器上に集光する光学系、４はビーム位置検出器、６は
トリガ検出器８上に出射光を集光する光学系、７はビー
ムスプリッタ、８はトリガ検出器、９は回転多面鏡であ
る。光源５から出てトリガ検出器８に入る光は回転多面
鏡９の回転軸を含む面内にあるのでトリガ検出器８は面
出入りの影響を受けずトリガ信号を発生する。この時光
源１から出ている光は、ビーム位置検出器４に入射する
構成になっている。光源１から出た光は光学系２でミラ
ー面上に集光され、その反射光は光学系３によりビーム
位置検出器４上に集光され入射する。トリガ発生時点で
のミラー面の方向は一定であるのでそのときのビーム位
置検出器の出力の変動は面出入りによるものと考えら
れ、これから面出入りを測定できる。
次に第２図を用いて、光路を詳細に説明する。入射光L1
はミラー面9a上で焦点O1を結び、反射光L2は光学系３に
より検出器４上で焦点F1を結ぶ。ここでミラー面9bに示
すように面出入りが発生すると反射は光路L3に移動し、
見かけの焦点はO1からO2に移動しそれと共役な検出器４
上の焦点はF1からF2に移動する。そのことにより検出器
４上の光入射点はS1となり、F1とS1の距離X1から面出入
り量ｄが求められる。さらに、ミラー面の状態により反
射光がL4のように角度誤差を発生してもそのときの検出
器４上の光入射点はS2となり、S1とS2の差Y1は、従来の
方法でのY2に比べ極めて小さく高精度な測定ができる。
はミラー面9a上で焦点O1を結び、反射光L2は光学系３に
より検出器４上で焦点F1を結ぶ。ここでミラー面9bに示
すように面出入りが発生すると反射は光路L3に移動し、
見かけの焦点はO1からO2に移動しそれと共役な検出器４
上の焦点はF1からF2に移動する。そのことにより検出器
４上の光入射点はS1となり、F1とS1の距離X1から面出入
り量ｄが求められる。さらに、ミラー面の状態により反
射光がL4のように角度誤差を発生してもそのときの検出
器４上の光入射点はS2となり、S1とS2の差Y1は、従来の
方法でのY2に比べ極めて小さく高精度な測定ができる。
（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によれば従来の方法
に比べ、光偏向器の反射面の状態に影響されにくい高精
度な面出入り測定器を構成できる。
に比べ、光偏向器の反射面の状態に影響されにくい高精
度な面出入り測定器を構成できる。
第１図は本発明の構成図、第２図は本発明の原理図、第
３図は従来例の構成図、第４図は従来例の原理図であ
る。 1,2,21,24…光源 2,3,6,22,25…集光光学系 4,23…ビーム位置検出器 7,26…ビームスプリッタ 8,27…トリガ検出器 9,28…光偏向器（回転多面鏡） 9a,9b,28a,28b…ミラー面 L1,L2,L3,L4,L21,L22,L23,L24…光路
３図は従来例の構成図、第４図は従来例の原理図であ
る。 1,2,21,24…光源 2,3,6,22,25…集光光学系 4,23…ビーム位置検出器 7,26…ビームスプリッタ 8,27…トリガ検出器 9,28…光偏向器（回転多面鏡） 9a,9b,28a,28b…ミラー面 L1,L2,L3,L4,L21,L22,L23,L24…光路
Claims (1)
- 【請求項１】ミラーの回転により光を走査する光偏向器
の回転中心軸を含む面内に入射及び反射光路を含み、そ
の反射光の通過時点を検出してトリガ信号を発生するト
リガ検出系と、ミラー面に垂直でない入射及び反射光路
をもち前記トリガ検出系によってトリガ信号が発生した
時点の入射・反射光を含む面内で反射光にほぼ垂直方向
の反射光の位置を検出する面位置検出系とを備えた動的
面出入り測定装置において、前記面位置検出系の光学系
として、入射光はミラー面上に焦点を持ち、反射光光学
系はミラー上の焦点と共役な像を反射光位置検出器上に
結ぶ光学系としたことを特徴とする動的面出入り測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25011490A JPH0735988B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 動的面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25011490A JPH0735988B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 動的面出入り測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130239A JPH04130239A (ja) | 1992-05-01 |
| JPH0735988B2 true JPH0735988B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=17203039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25011490A Expired - Lifetime JPH0735988B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 動的面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735988B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084331A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータの偏心測定装置 |
| JP4661167B2 (ja) * | 2004-11-02 | 2011-03-30 | パナソニック株式会社 | ポリゴンミラーモータの測定装置 |
| JP4745796B2 (ja) * | 2005-11-07 | 2011-08-10 | キヤノン株式会社 | 光偏向装置の偏心測定装置及び偏心調整装置及びそれらを用いた走査光学装置及び画像形成装置 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25011490A patent/JPH0735988B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04130239A (ja) | 1992-05-01 |
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