JPH0734346Y2 - Correlation type flow meter - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、流れの情報を流路の上流側と下流側とで検出
してその相互相関値から流量を測定する相関式流量計に
関するものである。[Detailed Description of the Invention] "Industrial application field" The present invention relates to a correlation type flow meter which detects flow information on the upstream side and downstream side of a flow path and measures the flow rate from the cross-correlation value. Is.

「従来の技術」 従来知られている相関式流量計としては、例えば、実開
昭60-21925号公報、実開昭60-25920号公報に記載された
ものがある。これら流量計は、流れの方向に間隔を老い
た複数箇所に、この流れの変化に対応する検出信号、例
えば、超音波の伝播特性、あるいは流体の静電容量等を
出力するセンサを設けておき、これら各センサの測定デ
ータの相関関係から、流体に生じた“流れの乱れ”が各
センサに検出される時間差を演算し、よって流体の流量
を知ることができるようになっている。"Prior Art" Conventionally known correlation type flowmeters include those disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 60-21925 and Japanese Utility Model Laid-Open No. 60-25920. These flowmeters are provided with sensors that output detection signals corresponding to the change in the flow, such as ultrasonic wave propagation characteristics or fluid capacitance, at a plurality of locations spaced apart in the flow direction. From the correlation of the measurement data of each sensor, the time difference in which the "turbulence of the flow" generated in the fluid is detected by each sensor is calculated, and the flow rate of the fluid can be known.

第４図は、センサに超音波式センサを用いた前記従来の
相関式流量計の一例を示す図である。図中、符号１は流
量の測定が行なわれる配管であり、この配管１には、そ
の流れ方向に間隔を置いて上流側センサ２、下流側セン
サ３が設けられている。これら上流側センサ２及び下流
側センサ３は互いに同一の構成とされており、配管１の
外周に配設された超音波発信器（以下、単に発信器と称
する）2a、3aと、配管１を挾んで発信器2a、3aと相対向
する位置に配設され、発信器2a、3aから発信される超音
波信号を受信する超音波受信器（以下、単に受信器と称
する）2b、3bとから構成されている。FIG. 4 is a diagram showing an example of the conventional correlation type flow meter using an ultrasonic sensor as a sensor. In the figure, reference numeral 1 is a pipe for measuring the flow rate, and the pipe 1 is provided with an upstream side sensor 2 and a downstream side sensor 3 at intervals in the flow direction. The upstream side sensor 2 and the downstream side sensor 3 have the same configuration as each other, and the ultrasonic wave transmitters (hereinafter simply referred to as transmitters) 2a and 3a arranged on the outer circumference of the pipe 1 and the pipe 1 are connected to each other. From the ultrasonic receivers (hereinafter, simply referred to as receivers) 2b, 3b which are arranged at positions facing the transmitters 2a, 3a and which receive the ultrasonic signals transmitted from the transmitters 2a, 3a. It is configured.

前記各センサ２、３の発信器2a、3aには超音波源４が接
続され、この超音波源４の駆動により、各発信器2a、3a
から各受信器2b、3bに向って超音波が発信され、この超
音波は管路を横断して各受信器2b、3bにより受信され、
ここで電気信号に変換される。An ultrasonic source 4 is connected to the transmitters 2a and 3a of the sensors 2 and 3, respectively, and by driving the ultrasonic source 4, the transmitters 2a and 3a are connected.
From the ultrasonic wave is transmitted toward each receiver 2b, 3b, this ultrasonic wave is received by each receiver 2b, 3b across the duct,
Here, it is converted into an electric signal.

また、各受信器2b、3bには信号処理器5a、5bが接続され
ており、各受信器2b、3bからの電気信号が入力されるよ
うになっている。配管１内の流体の流れに乱れが生じて
この入力信号が変調を受けると、信号処理器5a、5bから
その乱れ信号がA/D変換器６にてA/D変換され、相関演算
器７に出力される。そして、前記相関演算器７は、信号
処理器5a、5bから入力された“流れの乱れ”信号の相互
相関演算を行って、前記両センサ２、３間における“流
れの乱れ”信号の時間遅れτを測定結果として出力する
のである。Further, signal processors 5a and 5b are connected to the receivers 2b and 3b, respectively, so that electric signals from the receivers 2b and 3b are input. When turbulence occurs in the fluid flow in the pipe 1 and this input signal is modulated, the turbulence signal is A / D converted by the A / D converter 6 from the signal processors 5a and 5b, and the correlation calculator 7 Is output to. Then, the correlation calculator 7 performs a cross-correlation calculation of the "flow turbulence" signals input from the signal processors 5a and 5b, and delays the "flow turbulence" signal between the two sensors 2 and 3. τ is output as the measurement result.

以下に、このような構成を有する相関式流量計による前
記時間差の演算方法をより具体的に説明する。各センサ
は、流体の流れ方向に所定の間隔を置いて配設されてい
るから、これらセンサが流れの乱れを検出するタイミン
グには、流速及び上流側、下流側センサ間の間隔に比例
する時間遅れτが生じる。また、各受信器2b、3bにより
測定される信号は、時間ｔを変数とする関数ｆ（ｔ）お
よびｇ（ｔ）で表される波形となり、これらの関数ｆ
（ｔ）、ｇ（ｔ）は、前記時間遅れτに相当する位相差
をもったほぼ同一の波形（厳密には、流体及び流路によ
り若干変形した波形）となる。従って、これらｆ
（ｔ）、ｇ（ｔ）の間には前記時間遅れτを変数とする
相互相関関係が成立する。Hereinafter, a method of calculating the time difference by the correlation type flow meter having such a configuration will be described more specifically. Since each sensor is arranged at a certain interval in the direction of fluid flow, the timing at which these sensors detect flow turbulence is a time proportional to the flow velocity and the interval between the upstream and downstream sensors. There is a delay τ. The signals measured by the receivers 2b and 3b have waveforms represented by the functions f (t) and g (t) having the time t as a variable.
(T) and g (t) have substantially the same waveform with a phase difference corresponding to the time delay τ (strictly speaking, a waveform slightly deformed by the fluid and the flow path). Therefore, these f
Between (t) and g (t), a cross-correlation with the time delay τ as a variable is established.

よって、関数ｆ（ｔ）とｇ（ｔ−τ）との積を一定の区
間〔0,T〕に亙って時間ｔで積分した式 が最大となる場合（両関数の位相差が無くなる場合）の
τｍを求めれば、これがセンサ間での流れの乱れが検出
される時間遅れτの実測値となる。実際には、次式で与
えられる値Ｒ（τ）が最大値を取るときのτｍ＝ｍ×Δ
ｔを時間遅れτの実測値とすればよい（第５図参照）。Therefore, an expression obtained by integrating the product of the function f (t) and g (t-τ) over a certain interval [0, T] at time t When τm is maximized (when the phase difference between both functions is eliminated), τm is obtained, and this is the measured value of the time delay τ at which the turbulence of the flow between the sensors is detected. Actually, τm = m × Δ when the value R (τ) given by the following equation takes the maximum value
It suffices to use t as the actual measurement value of the time delay τ (see FIG. 5).

（Ｎ＝T/Δｔ） そして、前記上流側及び下流側のセンサ間の距離をＬと
すれば、この区間における流体の流速Ｖは、 Ｖ＝L/τｍ …（３） により与えられ、さらに流路内での流速がほぼ均一であ
ると仮定し、流路の断面積をＳとすれば、前記区間にお
ける流体の流量Ｑは、 Ｑ＝Ｖ・Ｓ …（４） により求めることができる。 (N = T / Δt) Then, if the distance between the upstream side sensor and the downstream side sensor is L, the flow velocity V of the fluid in this section is given by V = L / τm (3) Assuming that the flow velocity in the passage is substantially uniform and the cross-sectional area of the passage is S, the flow rate Q of the fluid in the section can be obtained by the following equation: Q = V · S (4)

「考案が解決しようとする問題点」 ところで、上記のような相関式流量計においては、“流
れの乱れ”を上流側センサと下流側センサのそれぞれが
検知して、それらの時間差から流速を算出して流量を知
るわけであるが、一般に良く知られているように、“流
れの乱れ”は、流体の流速の小さい範囲、いわゆるレイ
ノズル数の小さいところでは発生しにくい。したがっ
て、測定すべき流体の流速が小さい場合は、“流れの乱
れ”を検出するのが困難となる上、ノイズの影響も受け
易くなり測定誤差が生じ易いといった問題があった。“Problems to be solved by the device” In the correlation type flow meter as described above, the “turbulence of flow” is detected by each of the upstream side sensor and the downstream side sensor, and the flow velocity is calculated from the time difference between them. Although the flow rate is known, "flow turbulence" is less likely to occur in a range where the flow velocity of the fluid is small, that is, where the Reynolds number is small, as is well known. Therefore, when the flow velocity of the fluid to be measured is small, it is difficult to detect the "turbulence of the flow", and it is also susceptible to noise, which causes a measurement error.

本考案は上記の事情に鑑みてなされたもので、レイノズ
ル数の小さい流れの状態においても確実な測定ができる
相関式流量計の実現を目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to realize a correlation type flow meter capable of performing reliable measurement even in a flow state with a small Reynolds number.

「問題点を解決するための手段」 本考案は、流体の流路の流れ方向に相互に間隔を置いた
複数箇所に、流れの変化に対応する検出信号を出力する
センサを配設し、これら各センサの検出信号の相互相関
値から前記流体の流量を測定する相関式流量計におい
て、前記各センサの上流側に位置する流路の内壁に凹凸
を形成したことを特徴とするものである。"Means for Solving Problems" The present invention provides sensors for outputting a detection signal corresponding to a change in flow at a plurality of locations spaced from each other in the flow direction of a fluid flow path. In the correlation type flow meter for measuring the flow rate of the fluid from the cross-correlation value of the detection signal of each sensor, unevenness is formed on the inner wall of the flow channel located on the upstream side of each sensor.

「作用」 前記凹凸により流体は、レイノズル数が小さい領域にお
いても強制的に流れの乱れが発生した状態とされる。し
かも、管内面がある程度以上粗くなった場合には、ムー
ディ（Moody）線図にも示されるように管摩擦係数がレ
イノイズ数によらず一定となるから、これにより安定し
た正確な測定がなされる。"Operation" Due to the unevenness, the fluid is forced to generate flow turbulence even in a region where the Reynolds number is small. Moreover, when the inner surface of the pipe becomes rough to a certain extent or more, the pipe friction coefficient becomes constant regardless of the ray noise number as shown in the Moody diagram, so that stable and accurate measurement can be performed. .

「実施例」 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第１図は本考案を超音波式相関流量計に適用した例を示
したもので、図中、符号10は流量の測定が行なわれる配
管である。また第２図は第１図のＩ−Ｉ断面図を示すも
のである。FIG. 1 shows an example in which the present invention is applied to an ultrasonic correlation flow meter. In the figure, reference numeral 10 is a pipe for measuring the flow rate. FIG. 2 is a sectional view taken along the line II of FIG.

配管10の外周に上流側センサ11が設けられる一方、その
下流側（図中右側）には、前記上流側センサ11から管軸
方向に間隔を置いて下流側センサ12が設けられている。
これら上流側センサ11および下流側センサ12は互いに同
一の構成とされており、配管10の外周に配設された発信
器11a,12aと、配管10を挾んで発信器11a,12aと相対向す
る位置に配設され、発信器11a,12aから発信される超音
波信号を受信する受信器11b,12bとからなるものであ
る。An upstream sensor 11 is provided on the outer circumference of the pipe 10, while a downstream sensor 12 is provided on the downstream side (right side in the figure) of the pipe 10 at a distance from the upstream sensor 11 in the pipe axis direction.
The upstream side sensor 11 and the downstream side sensor 12 have the same configuration as each other, and the transmitters 11a and 12a arranged on the outer circumference of the pipe 10 and the transmitters 11a and 12a that face the pipe 10 face each other. The receivers 11b and 12b are arranged at positions and receive ultrasonic signals transmitted from the transmitters 11a and 12a.

前記各センサ11、12の発信器11a,12aには超音波源13が
接続されている。この超音波源13の駆動により、各発信
器11a,12aから各受信器11b,12bに向って超音波が発信さ
れ、この超音波は管路を横断して各受信器11b,12bによ
り受信され、ここで電気信号に変換される。An ultrasonic source 13 is connected to the transmitters 11a and 12a of the sensors 11 and 12, respectively. By driving this ultrasonic source 13, ultrasonic waves are transmitted from each transmitter 11a, 12a toward each receiver 11b, 12b, and this ultrasonic wave is received by each receiver 11b, 12b across the pipeline. , Where it is converted to an electrical signal.

各受信器11b,12bには信号処理器14a,14bが接続されてお
り、前記受信器11b,12bからの電気信号がこれら信号処
理器14a,14bにより所定の電気信号にされた後、相関演
算器15に入力されて相互相関演算処理を受けるようにな
っている。Each of the receivers 11b, 12b is connected to a signal processor 14a, 14b, the electrical signals from the receivers 11b, 12b are converted into predetermined electrical signals by the signal processors 14a, 14b, and then the correlation operation is performed. It is input to the device 15 and subjected to the cross-correlation calculation processing.

そして、前記両センサ11、12の上流側における配管10の
内部には、その内面に沿った凹凸形成体17が設けられて
いる。該凹凸形成体17の本実施例におけるものは第３図
に示す如くのもので、ステンレス製の有孔板（パンチン
グメタル）を丸めて円筒状に形成したものである。Inside the pipe 10 on the upstream side of both the sensors 11 and 12, an unevenness forming body 17 is provided along the inner surface thereof. The concavo-convex forming body 17 in this embodiment is as shown in FIG. 3, and is formed by rolling a perforated plate (punching metal) made of stainless steel into a cylindrical shape.

以上のように構成された相関式流量計では、配管10内を
流れる流体は、前記上流側および下流側センサ11、12が
設置された場所に到達する以前に凹凸形成体17が設けら
れた領域を通過する。すなわち、配管10は凹凸形成体17
が設置された部分において管内壁を粗く形成されたもの
と同様の作用を示し、その結果、ここを通過する流体
は、乱れが小さい状態で流れてきた場合でも乱れが大き
く生じることとなる。流体は、この凹凸形成体17の設置
された部分の通過後に前記上流側センサ11および下流側
センサ12が付設された部分を通過するため、流れの乱れ
を大きく生じた状態で前記上流側センサ11部、さらに続
いて下流側センサ12部を通過するのである。In the correlation type flowmeter configured as described above, the fluid flowing in the pipe 10 is a region where the unevenness forming body 17 is provided before reaching the place where the upstream side and downstream side sensors 11 and 12 are installed. Pass through. That is, the pipe 10 is the unevenness forming body 17
The same action as that in which the inner wall of the pipe is roughly formed is exhibited in the portion where the is installed, and as a result, the fluid passing therethrough is greatly disturbed even if it flows in a state where the disturbance is small. Since the fluid passes through the portion where the upstream-side sensor 11 and the downstream-side sensor 12 are attached after passing through the portion where the concavo-convex forming body 17 is installed, the upstream-side sensor 11 in the state where the flow turbulence is greatly generated Part, and then the downstream side sensor 12 part.

このように強制的に流れの乱れを生じさせると、前記セ
ンサ11、12による乱れの検出レベルを十分に大きくし
て、定常的なノイズから“流れの乱れ信号”を際立たせ
ることができる。また、前記相関演算器15による相互相
関演算の際に、前記受信器11b、12bに検出される乱れ以
外のノイズの影響を排除することができ、これらの相乗
効果により、流れの乱れ信号とノイズとの間のSN比がわ
るい場合であってもノイズの影響を排除して確実に流量
（流速）を測定することができる。しかも、測定値に密
接に関係する管内流速分布に影響を及ぼす管摩擦係数
は、ムーディ（Moody）線図にも示されるように、管内
面がある程度以上粗くなるとレイノズル数によらず一定
値となることから、より安定で正確な測定を行うことが
できる。When the flow turbulence is forcibly generated in this way, the turbulence detection level of the sensors 11 and 12 can be made sufficiently high, and the "flow turbulence signal" can be distinguished from the steady noise. Further, when performing the cross-correlation calculation by the correlation calculator 15, it is possible to eliminate the influence of noise other than the turbulence detected by the receivers 11b and 12b. Even if the signal-to-noise ratio between and is poor, the influence of noise can be eliminated and the flow rate (flow velocity) can be measured reliably. Moreover, as shown in the Moody diagram, the coefficient of pipe friction that affects the flow velocity distribution in the pipe, which is closely related to the measured value, becomes constant regardless of the Reynolds number when the inner surface of the pipe becomes rough to some extent. Therefore, more stable and accurate measurement can be performed.

ところで、前記上流側センサ11および下流側センサ12
は、これらを既設の配管10にあとから付設することも可
能であるが、通常ではこれらセンサ11、12は予めフラン
ジ結合可能とされた短管10aに付設されて、この短管10a
を流路における流量測定位置に接続すればよい構成とな
っている。従って、センサ11、12の近傍には殆どの場合
フランジ部19が存在し、このため、前記凹凸形成体17は
このフランジ部19から簡単に配管10内に挿着することが
できる。また、同じ理由で交換も簡単である。By the way, the upstream side sensor 11 and the downstream side sensor 12
It is also possible to attach these to the existing pipe 10 later, but normally, these sensors 11 and 12 are attached to the short pipe 10a that can be flange-joined in advance, and this short pipe 10a is attached.
Is connected to the flow rate measurement position in the flow path. Therefore, the flange portion 19 is present in the vicinity of the sensors 11 and 12 in most cases, so that the concavo-convex forming body 17 can be easily inserted into the pipe 10 through the flange portion 19. Also, replacement is easy for the same reason.

本実施例では凹凸形成体17として、上記したように有孔
板より形成した円筒体のものを使用しているが、流れの
乱れの大きさは、この有孔板に形成される孔18の大きさ
や数、配列、さらには有孔板の全長等により自由に変え
ることができる。しかも、この有孔板（凹凸形成体17）
は、配管10の断面を横切ることなくその流路に沿って形
成されているものであるから、流体の大きな圧力損失を
生ずることなく流れの乱れを発生することができる。In this embodiment, as the unevenness forming body 17, a cylindrical body formed of a perforated plate as described above is used, but the size of the turbulence of the flow depends on the size of the holes 18 formed in the perforated plate. It can be freely changed depending on the size, the number, the arrangement, and the total length of the perforated plate. Moreover, this perforated plate (concavo-convex body 17)
Is formed along the flow path without traversing the cross section of the pipe 10, so that the turbulence of the flow can be generated without causing a large pressure loss of the fluid.

「考案の変形実施例」 上記実施例では、凹凸形成体17を有孔板により形成した
円筒体としているが、この凹凸形成体17は、前記上流側
センサ11のさらに上流側において配管10の内壁部を凹凸
状とするものであればよく、上記実施例の他に例えば下
記のような手段によるものであってもよい。"Modified Embodiment of the Invention" In the above-mentioned embodiment, the concavo-convex forming body 17 is a cylindrical body formed by a perforated plate. Any means may be used as long as the portion has an uneven shape, and the following means may be used in addition to the above embodiment.

（ａ）配管内面に、管内壁より若干内部に突出するよう
なリング体を適宜な間隔で装着したもの。(A) A ring body that is attached to the inner surface of the pipe at appropriate intervals so as to project slightly inward from the inner wall of the pipe.

（ｂ）配管内面に、粒状体をランダムに付設したもの。(B) A granular material is randomly attached to the inner surface of the pipe.

（ｃ）配管内面に直接、溝加工や腐食加工により凹凸を
形成したもの。(C) An unevenness formed directly on the inner surface of the pipe by groove processing or corrosion processing.

また、本実施例では、管内流体の流れの乱れを検出する
センサを超音波式のものとしているが、静電容量式、電
磁式のものなどであってもよい。さらに、上記実施例に
おいては流れの乱れを流路の上流側および下流側の２箇
所にて測定するものとしたが、さらに多数箇所に同様の
センサを設けてそれらの相関値を求めるようにしてもよ
い。Further, in the present embodiment, the ultrasonic type sensor is used for detecting the turbulence of the flow of the fluid in the pipe, but it may be a capacitance type or electromagnetic type sensor. Further, in the above embodiment, the turbulence of the flow is measured at two points on the upstream side and the downstream side of the flow path, but similar sensors are provided at a larger number of points to obtain the correlation value between them. Good.

「考案の効果」 以上説明したように、本考案は、流体の流路の流れ方向
に相互に間隔を置いた複数箇所に流れの変化に対応する
検出信号を出力するセンサを配設し、これら各センサの
検出信号の相互相関値から前記流体の流量を測定する相
関式流量計において、前記各センサの上流側に位置する
流路の内壁に凹凸を形成したものであるから、管内の流
体がレイノルズ数の小さい流れの状態であっても十分に
大きな流れの乱れを発生させることができ、流れの乱れ
を検出するセンサによる検出レベルを上げ、延いては相
関演算器による相互相関演算すなわち流量の測定を容易
にかつ正確に実施することが可能となる。また、強制的
に流れに乱れを与えるため管内壁部に形成する凹凸は管
壁面に直接形成するのは無論、凹凸形成体を別体として
取り付け、交換可能に構成することができるばかりでな
く、その凹凸の大きさつまり粗さは、流体の流速、流
量、粘性等に応じて任意に設定することができるから、
管内面がある程度以上粗くなると測定値に密接に関係す
る管内流速分布に影響を及ぼす管摩擦係数がレイノズル
数によらず一定値となる、といった作用を利用してより
安定した正確な測定を行うことも可能である。しかも、
凹凸は管路断面を横断して設けられるものではなく流路
方向に沿って形成されるものであるから、流体の圧力損
失をできるだけ小さいものとしつつ乱れを与えることが
できる、等の優れた効果を奏するものである。[Advantages of the Invention] As described above, the present invention provides sensors that output a detection signal corresponding to a change in flow at a plurality of locations spaced from each other in the flow direction of a fluid flow path. In a correlation type flow meter that measures the flow rate of the fluid from the cross-correlation value of the detection signal of each sensor, since the unevenness is formed on the inner wall of the flow path located on the upstream side of each sensor, the fluid in the pipe is Even in a flow with a small Reynolds number, a sufficiently large flow turbulence can be generated, the detection level of the sensor that detects the flow turbulence is increased, and the cross correlation calculation by the correlation calculator, that is, the flow rate It becomes possible to perform the measurement easily and accurately. Further, in order to forcibly give rise to turbulence in the flow, the irregularities formed on the inner wall of the pipe are of course formed directly on the wall surface of the pipe, and of course, the irregularity-forming body can be attached as a separate body and made replaceable. The size of the unevenness, that is, the roughness can be arbitrarily set according to the flow velocity, flow rate, viscosity, etc. of the fluid.
Perform more stable and accurate measurement by utilizing the effect that if the inner surface of the pipe becomes rough to a certain extent or more, the pipe friction coefficient, which affects the flow velocity distribution in the pipe that is closely related to the measured value, becomes a constant value regardless of the Reynolds number. Is also possible. Moreover,
Since the unevenness is formed not along the cross section of the pipe line but along the direction of the flow path, it is possible to provide turbulence while making the pressure loss of the fluid as small as possible. Is played.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本考案の一実施例を示すもので、相関式流量計
の一部断面を含む正面図、第２図は第１図におけるＩ−
Ｉ断面図、第３図は凹凸形成体の斜視図、第４図は従来
の相関式流量計の一例を示す一部断面を含む正面図、第
５図は流れの乱れの時間遅れと相互相関の演算結果との
関係を示す図である。 10……配管、11……上流側センサ（センサ）、12……下
流側センサ（センサ）、15……相関演算器、17……凹凸
形成体（凹凸）。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and is a front view including a partial cross section of a correlation type flow meter, and FIG. 2 is a line I- in FIG.
I sectional view, FIG. 3 is a perspective view of the concavo-convex shaped body, FIG. 4 is a front view including a partial cross section showing an example of a conventional correlation type flow meter, and FIG. 5 is a time delay of flow turbulence and cross-correlation. It is a figure which shows the relationship with the calculation result of. 10 ... Piping, 11 ... Upstream sensor (sensor), 12 ... Downstream sensor (sensor), 15 ... Correlation calculator, 17 ... Concavo-convex forming body (concavo-convex).

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】流体の流路の流れ方向に相互に間隔を置い
た複数箇所に、流れの変化に対応する検出信号を出力す
るセンサが配設され、これら各センサの検出信号の相互
相関値から前記流体の流量を測定する相関式流量計にお
いて、前記各センサの上流側に位置する流路の内壁に凹
凸を形成したことを特徴とする相関式流量計。1. A sensor for outputting a detection signal corresponding to a change in flow is arranged at a plurality of locations spaced apart from each other in a flow direction of a fluid, and a cross-correlation value of the detection signal of each sensor is provided. In the correlation type flow meter for measuring the flow rate of the fluid, the correlation type flow meter is characterized in that unevenness is formed on the inner wall of the flow path located on the upstream side of each sensor.