JPH0734341U - Pressure sensor - Google Patents
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- JPH0734341U JPH0734341U JP7111593U JP7111593U JPH0734341U JP H0734341 U JPH0734341 U JP H0734341U JP 7111593 U JP7111593 U JP 7111593U JP 7111593 U JP7111593 U JP 7111593U JP H0734341 U JPH0734341 U JP H0734341U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】雰囲気温度に対する温度補償を高精度に行い、
金属蒸気レーザ管内の圧力を高精度に検知する圧力セン
サを提供することにある。
【構成】金属蒸気レーザ装置における金属蒸気レーザ管
内のキャリアガス圧力を検知する圧力センサであって、
前記圧力センサは圧力検知部と温度補償部からなり、前
記圧力検知部は前記金属蒸気レーザ管と接続された第１
の収納部と該第１の収納部内に設置された第１の圧力検
知素子よりなり、前記温度補償部は前記第１の収納部と
同一形状であって隔壁により隔離されて第１の収納部と
接続された第２の収納部と該第２の収納部内に設置され
た第２の圧力検知素子よりなり、かつ前記第２の収納部
内には前記金属蒸気レーザ管内のキャリアガスの初期圧
力と等しい圧力のキャリアガスを封止する。
(57) [Summary] [Purpose] Perform temperature compensation with respect to the ambient temperature with high accuracy,
It is to provide a pressure sensor that detects the pressure inside a metal vapor laser tube with high accuracy. A pressure sensor for detecting a carrier gas pressure in a metal vapor laser tube in a metal vapor laser device, comprising:
The pressure sensor includes a pressure detection unit and a temperature compensation unit, and the pressure detection unit is a first unit connected to the metal vapor laser tube.
And a first pressure detecting element installed in the first storage part, the temperature compensating part having the same shape as the first storage part and separated by a partition wall. And a second pressure detecting element installed in the second storage portion, and the second storage portion has an initial pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube. Seal the carrier gas of equal pressure.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、金属蒸気レーザ装置における金属蒸気レーザ管内のキャリアガス 圧力を検知する圧力センサに関するものである。 The present invention relates to a pressure sensor for detecting a carrier gas pressure in a metal vapor laser tube in a metal vapor laser device.
【０００２】[0002]
金属蒸気レーザ装置は、レーザ管内に金属とキャリアガスとを封入し、当該金 属の蒸気を利用してレーザ発振を起こさせるものである。 現在において、実用化されている金属蒸気レーザ装置としては、放電の陽光柱 部分を用いてレーザ発振させるいわゆる陽光柱型があり、具体的には、キャリア ガスとしてヘリウムを、金属としてカドミウムを用いてなる陽光柱型のＨｅ−Ｃ ｄレーザ装置が知られている。 このＨｅ−Ｃｄレーザ装置は、波長３２５ｎｍの紫外線や波長４２２ｎｍの短 波長域の可視光線を連続発振することができる。 よって、例えばフォトレジストを感光するための光源、ＣＴにより得られたデ ータを用いて人体の構造や骨の模型を作成する際の光硬化用の光源、螢光分析の ための光源等として、種々の分野での利用が期待されている。 The metal vapor laser device encloses a metal and a carrier gas in a laser tube and uses the vapor of the metal to cause laser oscillation. Currently, the metal vapor laser device that has been put into practical use is a so-called positive column type in which laser oscillation is performed using the positive column part of the discharge. Specifically, helium is used as the carrier gas and cadmium is used as the metal. The following positive column type He-Cd laser device is known. This He-Cd laser device can continuously oscillate ultraviolet light having a wavelength of 325 nm and visible light having a short wavelength region of 422 nm. Therefore, for example, as a light source for exposing a photoresist, a light source for photocuring when creating a model of a human body structure or bone using data obtained by CT, a light source for fluorescence analysis, etc. It is expected to be used in various fields.
【０００３】 図４は陽光柱型金属蒸気レーザ装置の説明図である。１は金属蒸気レーザ管、 ２は金属溜であり、加熱されることにより金属蒸気レーザ管１に金属蒸気が供給 される。３はカソード電極、４はアノード電極である。５は圧力センサであって 金属蒸気レーザ管内のキャリアガスの圧力を検知し、６はキャリアガスを金属蒸 気レーザ管１に供給するキャリアガス供給器である。 一般に、金属蒸気レーザ装置においては、使用時間の経過に伴い金属蒸気が金 属蒸気レーザ管１の内壁等に凝結する際にキャリアガスがトラップされてキャリ アガス圧力が低下するため、レーザ出力が不安定となりやすい。 これを防止するため、圧力センサ５によりキャリアガスの圧力を検知し、その 検知信号により不図示の制御手段によって金属蒸気レーザ管１に接続されたキャ リアガス供給器６を制御して適宜キャリアガスを金属蒸気レーザ管１に供給して いる。FIG. 4 is an explanatory diagram of a positive column type metal vapor laser device. 1 is a metal vapor laser tube, 2 is a metal reservoir, and the metal vapor is supplied to the metal vapor laser tube 1 by being heated. Reference numeral 3 is a cathode electrode, and 4 is an anode electrode. Reference numeral 5 is a pressure sensor for detecting the pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube, and 6 is a carrier gas supplier for supplying the carrier gas to the metal vapor laser tube 1. Generally, in a metal vapor laser device, when the metal vapor is condensed on the inner wall of the metal vapor laser tube 1 with the lapse of use time, the carrier gas is trapped and the carrier gas pressure is lowered, so that the laser output is unsatisfactory. It tends to be stable. In order to prevent this, the pressure of the carrier gas is detected by the pressure sensor 5, and the detection signal is used to control the carrier gas supply device 6 connected to the metal vapor laser tube 1 by the control means (not shown) to appropriately generate the carrier gas. It is supplied to the metal vapor laser tube 1.
【０００４】 従来、特に市販のＨｅ−Ｃｄレーザ装置においては、金属蒸気レーザ管１内部 のヘリウムガス圧力を検知するための圧力センサ５としてピラニゲージやサーミ スタ真空計が用いられてきた。 ガスの熱伝導は、一般に１０ｔｏｒｒ以下の低圧では圧力に比例する。この特 性を利用すると、例えばガスの熱伝導率の変化を当該ガス雰囲気中の発熱体の温 度変化で検知してこれを電気的に測定することにより、当該ガスの圧力測定が可 能となる。ピラニゲージは線条を発熱体および抵抗温度計としたものであり、サ ーミスタ真空計は線条の代わりにビーズ状のサーミスタを使用する圧力センサー である。 具体的には、まずどちらの場合においても線条またはサーミスタといった素子 を気体中に設置し、電流を流して発熱させておく。雰囲気圧力が変化すると素子 からの発熱量が変化し、抵抗値も変化する。この抵抗値の変化を電気的に検知す ることにより、ガス圧力を測定している。Conventionally, particularly in a commercially available He—Cd laser device, a Pirani gauge or a thermistor vacuum gauge has been used as the pressure sensor 5 for detecting the helium gas pressure inside the metal vapor laser tube 1. The heat transfer of gas is generally proportional to the pressure at low pressures below 10 torr. By utilizing this characteristic, it is possible to measure the pressure of the gas by, for example, detecting the change in the thermal conductivity of the gas by detecting the temperature change of the heating element in the gas atmosphere and electrically measuring this. Become. A Pirani gauge uses a filament as a heating element and a resistance thermometer, and a thermistor vacuum gauge is a pressure sensor that uses a beaded thermistor instead of the filament. Specifically, in either case, first, an element such as a wire or a thermistor is placed in the gas, and an electric current is applied to generate heat. When the atmospheric pressure changes, the amount of heat generated from the element also changes and the resistance value also changes. The gas pressure is measured by electrically detecting this change in resistance.
【０００５】 これらの真空センサは線条またはサーミスタといった素子の温度変化を利用し てガスの圧力を検知しているので、検知対象のガス圧力の変化のみならず例えば 金属蒸気レーザ管１の外部雰囲気の温度変化によっても、抵抗値が変化する。従 って正確にガスの圧力変化だけに素子を応答させるためには温度補償手段が必要 となる。Since these vacuum sensors detect the gas pressure by utilizing the temperature change of an element such as a wire or thermistor, not only the change of the gas pressure of the detection target but also the external atmosphere of the metal vapor laser tube 1, for example. The resistance value also changes depending on the temperature change. Therefore, a temperature compensating means is required in order to make the device accurately respond to only the pressure change of the gas.
【０００６】 図５は圧力センサ５としてサーミスタ真空計を用いた従来例である。５１は圧 力検知用サーミスタであり金属蒸気レーザ管１内に封止されている。５２は温度 補償用サーミスタであり、圧力検知用サーミスタ５１との雰囲気温度差が少なく なるように圧力検知用サーミスタ５１に近接する金属蒸気レーザ管外部に有機樹 脂１００等によって接着されている。圧力検知用サーミスタ５１および温度補償 用サーミスタ５２はブリッジ回路の各一辺を形成しており、この回路構成によっ て温度補償が行われる。尚、図中７はブリッジ回路の等価回路を示し、Ｒは抵抗 、Ｅは電源である。またこの等価回路７は制御回路１０３と接続されており、キ ャリアガス供給器６を制御する。FIG. 5 shows a conventional example using a thermistor vacuum gauge as the pressure sensor 5. A pressure detecting thermistor 51 is sealed in the metal vapor laser tube 1. Reference numeral 52 denotes a temperature compensating thermistor, which is adhered to the outside of the metal vapor laser tube adjacent to the pressure detecting thermistor 51 by an organic resin 100 or the like so as to reduce the atmospheric temperature difference from the pressure detecting thermistor 51. The pressure detecting thermistor 51 and the temperature compensating thermistor 52 form one side of the bridge circuit, and temperature compensation is performed by this circuit configuration. In the figure, 7 is an equivalent circuit of the bridge circuit, R is a resistor and E is a power supply. The equivalent circuit 7 is also connected to the control circuit 103 and controls the carrier gas supply device 6.
【０００７】 また図６は圧力センサ５としてピラニゲージ１０１を用いた従来例である。温 度補償は、ピラニゲージ１０１と同等の特性を実現するための複雑な温度補償回 路１０２を構成して行っている。 あるいは温度補償回路１０２のかわりに、サーミスタ真空計のときと同様、ピ ラニゲージ１０１の近傍や側部に設置した温度補償用ピラニゲージを使用して温 度補償を行っている。FIG. 6 shows a conventional example using a Pirani gauge 101 as the pressure sensor 5. The temperature compensation is performed by configuring a complicated temperature compensation circuit 102 for realizing the same characteristics as the Pirani gauge 101. Alternatively, instead of the temperature compensating circuit 102, temperature compensation is performed using a temperature compensating Pirani gauge installed near or on the side of the Pirani gauge 101 as in the thermistor vacuum gauge.
【０００８】[0008]
図５のような圧力センサ５としてサーミスタ真空計を用いた従来例では、圧力 検知用サーミスタ５１が存在する金属蒸気レーザ管内部は通常１０ｔｏｒｒ以下 のキャリアガス雰囲気である。一方、温度補償用サーミスタ５２が存在する部分 の雰囲気は一気圧の大気および有機樹脂１００であるので、熱伝導が両者で大き く異なる。よって金属蒸気レーザ管１の外部雰囲気の温度差が少なくなるように 両者を近接させても、精度のよい温度補償は困難となる問題がある。 In the conventional example using a thermistor vacuum gauge as the pressure sensor 5 as shown in FIG. 5, the inside of the metal vapor laser tube in which the pressure detecting thermistor 51 is present is usually a carrier gas atmosphere of 10 torr or less. On the other hand, the atmosphere in the portion where the temperature compensating thermistor 52 is present is the atmosphere of 1 atm and the organic resin 100, and therefore the heat conduction differs greatly between the two. Therefore, there is a problem that accurate temperature compensation becomes difficult even if the two are brought close to each other so that the temperature difference of the atmosphere outside the metal vapor laser tube 1 becomes small.
【０００９】 一方、図６のように圧力センサ５としてピラニゲージ１０１を用いた従来例で は、温度補償を行う場合には、複雑な温度補償回路１０２を構成する必要がある という問題がある。 また温度補償用ピラニゲージを使用する場合においても、通常ピラニゲージは 長さが１０ｃｍ程度と大きく、例え温度補償用ピラニゲージをピラニゲージ１０ １の近傍や側部に設置したとしても両者の雰囲気温度差はあまり小さくはならず 、精度のよい温度補償は困難となる。On the other hand, in the conventional example in which the Pirani gauge 101 is used as the pressure sensor 5 as shown in FIG. 6, there is a problem that a complicated temperature compensating circuit 102 needs to be configured when temperature compensation is performed. Even when the temperature compensating Pirani gauge is used, the length of the Pirani gauge is usually as large as about 10 cm, and even if the temperature compensating Pirani gauge is installed near or on the side of the Pirani gauge 101, the atmospheric temperature difference between the two is too small. However, accurate temperature compensation becomes difficult.
【００１０】 さらに、一般に金属蒸気レーザ装置においては、その動作時に金属蒸気レーザ 管１内部より発熱し、特にカソード電極３の側においては高温が発生する。よっ て、金属蒸気レーザ管１の内部においても外部においても温度勾配が発生し前記 のような温度補償に影響してしまう。Further, generally, in a metal vapor laser device, heat is generated from the inside of the metal vapor laser tube 1 during its operation, and a high temperature is generated particularly on the cathode electrode 3 side. As a result, a temperature gradient is generated both inside and outside the metal vapor laser tube 1, which affects the temperature compensation as described above.
【００１１】 そこで本考案はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、雰囲気 温度に対する温度補償を高精度に行い、金属蒸気レーザ管内の圧力を高精度に検 知する圧力センサを提供することにある。Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a pressure sensor that performs temperature compensation with respect to the ambient temperature with high accuracy and detects the pressure in the metal vapor laser tube with high accuracy. To do.
【００１２】[0012]
かかる目的を達成するために、本考案は、金属蒸気レーザ装置における金属蒸 気レーザ管内のキャリアガス圧力を検知する圧力センサであって、前記センサは 圧力検知部と温度補償部からなり、前記圧力検知部は前記金属蒸気レーザ管と接 続された第１の収納部と該第１の収納部内に設置された第１の圧力検知素子より なり、前記温度補償部は前記第１の収納部と同一形状であって隔壁により隔離さ れて第１の収納部と接続された第２の収納部と該第２の収納部内に設置された第 ２の圧力検知素子よりなり、かつ前記第２の収納部内には前記金属蒸気レーザ管 内のキャリアガスの初期圧力と等しい圧力のキャリアガスを封止する。 In order to achieve such an object, the present invention is a pressure sensor for detecting a carrier gas pressure in a metal vapor laser tube in a metal vapor laser device, the sensor comprising a pressure detector and a temperature compensator. The detection unit includes a first storage unit connected to the metal vapor laser tube and a first pressure detection element installed in the first storage unit, and the temperature compensation unit includes the first storage unit. The second storage unit has the same shape and is separated by a partition wall and connected to the first storage unit, and the second pressure detection element is installed in the second storage unit. A carrier gas having a pressure equal to the initial pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube is sealed in the housing portion.
【００１３】 また、前記圧力検知部と温度補償部をそれぞれ設置した第１の収納部と第２の 収納部は、レーザ動作時の発熱の影響をうけぬよう接続手段により金属蒸気レー ザ管本体と所定の距離をもって接続されていることが望ましい。The first storage part and the second storage part, in which the pressure detecting part and the temperature compensating part are respectively installed, are connected to the metal vapor laser tube main body by connecting means so as not to be affected by heat generation during laser operation. It is desirable to be connected with a predetermined distance.
【００１４】 さらに前記第１の収納部と第２の収納部を第３の収納部で包含し、前記第３の 収納部は真空排気されていることが望ましい。Further, it is preferable that the first storage part and the second storage part are included in a third storage part, and the third storage part is evacuated.
【００１５】[0015]
本考案の圧力センサは、金属蒸気レーザ管と接続された第１の収納部とその内 部に設置された第１の圧力検知素子とで構成される圧力検知部と、第１の収納部 と同一形状であって隔壁により隔離されて第１の収納部と接続された第２の収納 部とその内部に設置された第２の圧力検知素子とで構成される温度補償部からな る。そして、前記第２の収納部内には前記金属蒸気レーザ管内のキャリアガスの 初期圧力と等しい圧力のキャリアガスが封止されている。 従って、温度補償部と金属蒸気レーザ管と接続された圧力検知部は外部雰囲気 の温度差が少なく、両者における熱伝導も同様であるので精度のよい温度補償を 実現する。また圧力センサとしてピラニゲージを用いた例のように複雑な温度補 償回路を構成する必要がなくなる。 The pressure sensor of the present invention comprises a first storage part connected to a metal vapor laser tube and a first pressure detection element installed in the first storage part, and a first storage part. The temperature compensating section is composed of a second accommodating section having the same shape and separated by a partition wall and connected to the first accommodating section, and a second pressure sensing element installed inside the second accommodating section. A carrier gas having a pressure equal to the initial pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube is sealed in the second storage portion. Therefore, the temperature compensating unit and the pressure detecting unit connected to the metal vapor laser tube have a small temperature difference in the external atmosphere, and the heat conduction between them is similar, so that accurate temperature compensation is realized. Further, it is not necessary to configure a complicated temperature compensation circuit as in the example using a Pirani gauge as the pressure sensor.
【００１６】 また、前記圧力検知部と温度補償部をそれぞれ設置した第１の収納部と第２の 収納部は、レーザ動作時の発熱の影響をうけぬよう接続手段により金属蒸気レー ザ管本体と所定の距離をもって接続すると、金属蒸気レーザ装置の動作時に金属 蒸気レーザ管の内部や外部において温度勾配が発生しても温度補償に影響が低減 される。The first storage part and the second storage part, in which the pressure detecting part and the temperature compensating part are respectively installed, are connected by means of a connecting means so as not to be affected by heat generated during laser operation. If a temperature gradient is generated inside or outside the metal vapor laser tube during the operation of the metal vapor laser device, the influence on the temperature compensation can be reduced by connecting it with a predetermined distance.
【００１７】 さらに前記第１の収納部と第２の収納部を第３の収納部で包含し、前記第３の 収納部を真空排気すれば、第１の収納部と第２の収納部は真空により外部雰囲気 と断熱されるので、外部雰囲気の影響を受けずに精度のよい温度補償を実現する 。特にこのような構成の圧力センサにおいては、金属蒸気レーザ管と所定の距離 を設けなくても、金属蒸気レーザ装置動作時の金属蒸気レーザ管の内部や外部に 発生する温度勾配が温度補償に及ぼす影響を低減する。Further, if the first storage part and the second storage part are included in a third storage part and the third storage part is evacuated, the first storage part and the second storage part are separated from each other. Since it is insulated from the external atmosphere by the vacuum, accurate temperature compensation is realized without being affected by the external atmosphere. Especially in a pressure sensor with such a configuration, the temperature compensation generated by the temperature gradient generated inside or outside the metal vapor laser tube during the operation of the metal vapor laser device has an effect on the temperature compensation without providing a predetermined distance from the metal vapor laser tube. Reduce the impact.
【００１８】[0018]
以下に図面に示す実施例に基づいて本考案を具体的に説明する。 図１は本考案の一実施例である圧力センサの説明図である。ここに示す圧力セ ンサは、図４の金属蒸気レーザ装置の圧力センサ５に相当する。５３は圧力検知 部であり、金属蒸気レーザ管１と接続された第１の収納部５４とその内部に設置 された圧力検知用サーミスタ５５よりなる。５６は温度補償部であり、第１の収 納部５４と接続された第２の収納部５７と内部に設置された温度補償用サーミス タ５８よりなる。第１の収納部５４と第２の収納部５７は同一形状であって、隔 壁５９により隔離される。 圧力検知部５３は金属蒸気レーザ管１と接続されているので、金属蒸気レーザ 管１内のキャリアガスの圧力と同一圧力である。また温度補償部５６は金属蒸気 レーザ管１内のキャリアガスの初期圧力と等しい圧力もしくは実質上等しい圧力 のキャリアガスが封止される。 The present invention will be described in detail below based on the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention. The pressure sensor shown here corresponds to the pressure sensor 5 of the metal vapor laser device of FIG. Reference numeral 53 denotes a pressure detection unit, which includes a first storage unit 54 connected to the metal vapor laser tube 1 and a pressure detection thermistor 55 installed therein. Reference numeral 56 denotes a temperature compensating unit, which includes a second accommodating unit 57 connected to the first accommodating unit 54 and a temperature compensating thermistor 58 installed inside. The first storage portion 54 and the second storage portion 57 have the same shape and are separated by the partition wall 59. Since the pressure detector 53 is connected to the metal vapor laser tube 1, the pressure is the same as the pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube 1. The temperature compensator 56 is sealed with a carrier gas having a pressure equal to or substantially equal to the initial pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube 1.
【００１９】 ブリッジ回路の等価回路７の各一辺を抵抗Ｒとともに形成する圧力検知部５３ 内の圧力検知用サーミスタ５５および温度補償部５６内の温度補償用サーミスタ ５８は、電源Ｅにより電流が流され発熱する。金属蒸気レーザ管１内のキャリア ガス圧力が変化すると圧力検知用サーミスタ５５の発熱量が変化し、その抵抗値 も変化する。従ってブリッジ回路７より金属蒸気レーザ管１内の圧力は電気信号 として検出される。この等価回路７は制御回路１０３と接続されており、図３に 示す金属蒸気レーザ管１に接続されたキャリアガス供給器６を制御して適宜キャ リアガスを金属蒸気レーザ管１に供給する。A current is supplied from a power supply E to a pressure detection thermistor 55 in the pressure detection unit 53 and a temperature compensation thermistor 58 in the temperature compensation unit 56, which form each side of the equivalent circuit 7 of the bridge circuit together with the resistor R. Fever. When the carrier gas pressure in the metal vapor laser tube 1 changes, the amount of heat generated by the pressure detecting thermistor 55 changes, and its resistance value also changes. Therefore, the pressure in the metal vapor laser tube 1 is detected by the bridge circuit 7 as an electric signal. The equivalent circuit 7 is connected to the control circuit 103 and controls the carrier gas supplier 6 connected to the metal vapor laser tube 1 shown in FIG. 3 to supply carrier gas to the metal vapor laser tube 1 as appropriate.
【００２０】 ここで、第１の収納部５４と第２の収納部５７は隔壁５９を介して接続され、 かつ同一形状であって、また第２の収納部５７は金属蒸気レーザ管１内のキャリ アガスの初期圧力と等しい圧力のキャリアガスが封止されている。 従って、温度補償部５６と金属蒸気レーザ管１と接続された圧力検知部５３は 外部雰囲気の温度差が少なく、両者における熱伝導も同様となり、ブリッジ回路 の等価回路７において精度のよい温度補償を実現することができる。 そして圧力センサ５としてピラニゲージを用いた場合のような複雑な温度補償 回路を必要としない。 尚、第２の収納部５７は、第１の収納部５４と実質的に等しい熱伝導状態を実 現するのであれば必ずしも同一形状である必要はなく、例えば断面形状が円形、 方形であっても良いことは明白である。Here, the first accommodating portion 54 and the second accommodating portion 57 are connected via a partition wall 59 and have the same shape, and the second accommodating portion 57 is inside the metal vapor laser tube 1. Carrier gas with a pressure equal to the initial pressure of the carrier gas is sealed. Therefore, the temperature compensating unit 56 and the pressure detecting unit 53 connected to the metal vapor laser tube 1 have a small temperature difference in the external atmosphere, and the heat conduction between them is also the same, so that the temperature compensation in the equivalent circuit 7 of the bridge circuit is accurate. Can be realized. In addition, a complicated temperature compensation circuit unlike the case where a Pirani gauge is used as the pressure sensor 5 is not required. The second accommodating portion 57 does not have to have the same shape as long as it achieves substantially the same heat conduction state as the first accommodating portion 54. For example, the cross sectional shape is circular or square. It is clear that good is also.
【００２１】 特に図２に示す別の実施例のように、圧力センサ５を例えばフレキシブルな金 属管のような接続手段８を介して、金属蒸気レーザ管１と所定の距離をもって接 続すると、金属蒸気レーザ装置の動作時に金属蒸気レーザ管の内部や外部におい て温度勾配が発生しても温度補償に影響が低減される。Particularly, as in another embodiment shown in FIG. 2, when the pressure sensor 5 is connected to the metal vapor laser tube 1 at a predetermined distance via the connecting means 8 such as a flexible metal tube, Even if a temperature gradient is generated inside or outside the metal vapor laser tube during the operation of the metal vapor laser device, the influence on the temperature compensation is reduced.
【００２２】 また図３に示す別の実施例のように、圧力検知部５３の第１の収納部５４と温 度補償部５６の第２の収納部５７を第３の収納部９で包含し、第３の収納部９を 真空排気すれば、第１の収納部５４と第２の収納部５７は真空により外部雰囲気 と断熱されるので、外部雰囲気の影響を受けずに精度のよい温度補償を実現する ことができる。 特にこのような構成の圧力センサにおいては、金属蒸気レーザ管本体と所定の 距離を設けなくても、金属蒸気レーザ装置動作時の金属蒸気レーザ管１の内部や 外部に発生する温度勾配が温度補償に及ぼす影響を低減することができる。Further, as in another embodiment shown in FIG. 3, the third storage portion 9 includes the first storage portion 54 of the pressure detection portion 53 and the second storage portion 57 of the temperature compensation portion 56. When the third storage portion 9 is evacuated, the first storage portion 54 and the second storage portion 57 are insulated from the external atmosphere by the vacuum, so that the temperature compensation can be performed accurately without being affected by the external atmosphere. Can be realized. In particular, in the pressure sensor having such a configuration, the temperature gradient generated inside or outside the metal vapor laser tube 1 during the operation of the metal vapor laser device is temperature-compensated even if the metal vapor laser tube main body is not provided with a predetermined distance. Can be reduced.
【００２３】 本願の効果を確認するために、圧力５ｔｏｒｒのヘリウムガスが封止された直 径２０ｍｍ、長さ５００ｍｍの円筒状石英容器に、ピラニゲージと本願の図１で 示した構成の圧力センサと容量可変型圧力計を接続し、圧力変動を観察した。 ここで容量可変型圧力計は基準圧力計として用いた。２４時間観察したところ 、ピラニゲージでは基準圧力計の指示値に対して±１ｔｏｒｒ以上の指示値の変 動が観察されたのに対し、本考案の圧力センサにおいては±０．５ｔｏｒｒ以内 の指示値の変動であった。In order to confirm the effect of the present application, a Pirani gauge and a pressure sensor having the configuration shown in FIG. 1 of the present application were placed in a cylindrical quartz container having a diameter of 20 mm and a length of 500 mm sealed with helium gas at a pressure of 5 torr. A variable capacity pressure gauge was connected and the pressure fluctuation was observed. Here, the variable capacity pressure gauge was used as a reference pressure gauge. When observed for 24 hours, the Pirani gauge showed a change of ± 1 torr or more with respect to the reference value of the reference pressure gauge, whereas the pressure sensor of the present invention had a change of ± 0.5 torr or less. It was fluctuating.
【００２４】[0024]
以上説明したように、本考案の圧力センサは、金属蒸気レーザ管と接続された 第１の収納部とその内部に設置された第１の圧力検知素子とで構成される圧力検 知部と、第１の収納部と同一形状であって隔壁により隔離されて第１の収納部と 接続された第２の収納部とその内部に設置された第２の圧力検知素子とで構成さ れる温度補償部からなり、前記第２の収納部内には前記金属蒸気レーザ管内のキ ャリアガスの初期圧力と等しい圧力のキャリアガスが封止されていて、温度補償 部と金属蒸気レーザ管と接続された圧力検知部は外部雰囲気の温度差が少なく、 両者における熱伝導も同様であるので、精度のよい温度補償を実現することがで きる。また圧力センサとしてピラニゲージを用いた例のように複雑な温度補償回 路が不要となる。 As described above, the pressure sensor of the present invention includes a pressure detection unit including a first storage unit connected to a metal vapor laser tube and a first pressure detection element installed therein. Temperature compensation composed of a second storage part having the same shape as the first storage part and separated by a partition wall and connected to the first storage part, and a second pressure sensing element installed inside the second storage part. And a carrier gas having a pressure equal to the initial pressure of the carrier gas in the metal vapor laser tube is sealed in the second storage section, and the pressure detection unit is connected to the temperature compensation section and the metal vapor laser tube. Since there is little temperature difference in the external atmosphere of the parts and the heat conduction between them is the same, it is possible to realize accurate temperature compensation. In addition, a complicated temperature compensation circuit as in the example using a Pirani gauge as the pressure sensor is unnecessary.
【００２５】 また、前記圧力検知部と温度補償部をそれぞれ設置した第１の収納部と第２の 収納部は、レーザ動作時の発熱の影響をうけぬよう接続手段により金属蒸気レー ザ管と所定の距離をもって接続すれば、金属蒸気レーザ装置の動作時に金属蒸気 レーザ管の内部や外部において温度勾配が発生しても温度補償に影響が低減する ことができる。In addition, the first storage unit and the second storage unit, in which the pressure detection unit and the temperature compensation unit are installed, respectively, are connected to the metal vapor laser tube by connecting means so as not to be affected by heat generation during laser operation. If they are connected with a predetermined distance, even if a temperature gradient occurs inside or outside the metal vapor laser tube during the operation of the metal vapor laser device, the influence on the temperature compensation can be reduced.
【００２６】 さらに前記第１の収納部と第２の収納部を第３の収納部で包含し、前記第３の 収納部を真空排気すれば、第１の収納部と第２の収納部は真空により外部雰囲気 と断熱されるので、外部雰囲気の影響を受けずに精度のよい温度補償を実現する ことができる。 特にこのような構成の圧力センサにおいては、金属蒸気レーザ管と所定の距離 を設けなくても、金属蒸気レーザ装置動作時の金属蒸気レーザ管の内部や外部に 発生する温度勾配が温度補償に及ぼす影響を低減することができる。Further, if the first storage part and the second storage part are included in a third storage part and the third storage part is evacuated, the first storage part and the second storage part are separated. Since vacuum is insulated from the external atmosphere, accurate temperature compensation can be realized without being affected by the external atmosphere. Especially in a pressure sensor with such a configuration, the temperature compensation generated by the temperature gradient generated inside or outside the metal vapor laser tube during the operation of the metal vapor laser device has an effect on the temperature compensation without providing a predetermined distance from the metal vapor laser tube. The influence can be reduced.
【図１】本考案の一実施例である圧力センサの説明図で
ある。FIG. 1 is an explanatory diagram of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention.
【図２】本考案の別の実施例である圧力センサの説明図
である。FIG. 2 is an explanatory view of a pressure sensor which is another embodiment of the present invention.
【図３】本考案のさらに別の実施例である圧力センサの
説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of a pressure sensor which is still another embodiment of the present invention.
【図４】陽光柱型金属蒸気レーザ装置の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a positive column type metal vapor laser device.
【図５】圧力センサとしてサーミスタ真空計を用いた従
来例である。FIG. 5 is a conventional example using a thermistor vacuum gauge as a pressure sensor.
【図６】圧力センサとしてピラニゲージを用いた従来例
である。FIG. 6 is a conventional example using a Pirani gauge as a pressure sensor.
１ 金属蒸気レーザ管 ２ 金属溜 ３ カソード電極 ４ アノード電極 ５ 圧力センサ ５１ 圧力検知用サーミスタ ５２ 温度補償用サーミスタ ５３ 圧力検知部 ５４ 第１の収納部 ５５ 圧力検知用サーミスタ ５６ 温度補償部 ５７ 第２の収納部 ５８ 温度補償用サーミスタ ５９ 隔壁 ６ キャリアガス供給器 ７ ブリッジ回路の等価回路 ８ 接続手段 ９ 第３の収納部 １００ 有機樹脂 １０１ ピラニゲージ １０２ 温度補償回路 １０３ 制御回路 Ｒ 抵抗 Ｅ 電源 1 Metal Vapor Laser Tube 2 Metal Reservoir 3 Cathode Electrode 4 Anode Electrode 5 Pressure Sensor 51 Pressure Detection Thermistor 52 Temperature Compensation Thermistor 53 Pressure Detection Section 54 First Storage Section 55 Pressure Detection Thermistor 56 Temperature Compensation Section 57 Second Storage part 58 Temperature compensating thermistor 59 Partition wall 6 Carrier gas supply device 7 Equivalent circuit of bridge circuit 8 Connecting means 9 Third storage part 100 Organic resin 101 Pirani gauge 102 Temperature compensation circuit 103 Control circuit R Resistance E Power supply
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 羽田 博成 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Hironari Haneda 1194 Sado, Bessho-cho, Himeji-shi, Hyogo Ushio Electric Co., Ltd.
Claims (5)
ザ管内のキャリアガス圧力を検知する圧力センサであっ
て、 前記センサは圧力検知部と温度補償部からなり、 前記圧力検知部は前記金属蒸気レーザ管と接続された第
１の収納部と該第１の収納部内に設置された第１の圧力
検知素子よりなり、 前記温度補償部は前記第１の収納部と同一形状であって
隔壁により隔離されて第１の収納部と接続された第２の
収納部と該第２の収納部内に設置された第２の圧力検知
素子よりなり、 かつ前記第２の収納部内には前記金属蒸気レーザ管内の
キャリアガスの初期圧力と等しい圧力のキャリアガスが
封止されていることを特徴とする圧力センサ。1. A pressure sensor for detecting a carrier gas pressure in a metal vapor laser tube in a metal vapor laser apparatus, wherein the sensor comprises a pressure detecting section and a temperature compensating section, and the pressure detecting section is the metal vapor laser tube. A first accommodating part connected to the first accommodating part and a first pressure sensing element installed in the first accommodating part, and the temperature compensating part has the same shape as the first accommodating part and is separated by a partition wall. A second pressure sensing element installed in the second storage part and a second storage part connected to the first storage part, and in the second storage part, the metal vapor laser tube A pressure sensor characterized in that a carrier gas having a pressure equal to the initial pressure of the carrier gas is sealed.
た第１の収納部と第２の収納部が接続手段により金属蒸
気レーザ管と所定の距離をもって接続されていることを
特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。2. A first storage part and a second storage part, which are respectively provided with a pressure detection part and a temperature compensation part, are connected to a metal vapor laser tube with a predetermined distance by a connecting means. Item 1. The pressure sensor according to Item 1.
部で包含し、前記第３の収納部が真空排気されているこ
とを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧力セ
ンサ。3. The first storage part and the second storage part are contained in a third storage part, and the third storage part is evacuated to vacuum. The pressure sensor described in.
がサーミスタであることを特徴とする請求項１、請求項
２または請求項３に記載の圧力センサ。4. The pressure sensor according to claim 1, wherein the first pressure detecting element and the second pressure detecting element are thermistors.
リウムであることを特徴とする請求項１、請求項２、請
求項３または請求項４に記載の圧力センサ。5. The pressure sensor according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the metal vapor is cadmium and the carrier gas is helium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7111593U JPH0734341U (en) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7111593U JPH0734341U (en) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | Pressure sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0734341U true JPH0734341U (en) | 1995-06-23 |
Family
ID=13451249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7111593U Pending JPH0734341U (en) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | Pressure sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734341U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114354021A (en) * | 2021-12-27 | 2022-04-15 | 武汉航空仪表有限责任公司 | Anti-interference pressure transmitting circuit |
| WO2022196438A1 (en) * | 2021-03-15 | 2022-09-22 | Ｓｅｍｉｔｅｃ株式会社 | Atmospheric-pressure detecting sensor, atmospheric-pressure detecting device, and method for manufacturing atmospheric-pressure detecting device |
-
1993
- 1993-12-06 JP JP7111593U patent/JPH0734341U/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022196438A1 (en) * | 2021-03-15 | 2022-09-22 | Ｓｅｍｉｔｅｃ株式会社 | Atmospheric-pressure detecting sensor, atmospheric-pressure detecting device, and method for manufacturing atmospheric-pressure detecting device |
| JPWO2022196438A1 (en) * | 2021-03-15 | 2022-09-22 | ||
| CN114354021A (en) * | 2021-12-27 | 2022-04-15 | 武汉航空仪表有限责任公司 | Anti-interference pressure transmitting circuit |
| CN114354021B (en) * | 2021-12-27 | 2024-05-24 | 武汉航空仪表有限责任公司 | Anti-interference pressure transmitting circuit |
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