JPH07335382A - 薄膜el素子 - Google Patents

薄膜el素子

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JPH07335382A
JPH07335382A JP6132261A JP13226194A JPH07335382A JP H07335382 A JPH07335382 A JP H07335382A JP 6132261 A JP6132261 A JP 6132261A JP 13226194 A JP13226194 A JP 13226194A JP H07335382 A JPH07335382 A JP H07335382A
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light emitting
light
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emitting layer
thin film
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JP6132261A
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Mikihiro Noma
幹弘 野間
Akiyoshi Mikami
明義 三上
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Sharp Corp
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    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/14Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高い発光強度の紫外光を得る。 【構成】 透光性基板1の一方表面1aには、透明電極
2、第1絶縁層3、EL発光層4、第2絶縁層5および
金属電極6がこの順に積層される。EL発光層4の母材
としては、一般式Zn(1-x)MgxSで表される化合物が
選ばれ、発光中心としてはGdまたはGd化合物が選ば
れる。母材として選ばれる化合物の組成比xは0.33
≦x<1の範囲に選ばれ、また好ましくは0.4≦x≦
0.8の範囲に選ばれる。したがって、母材のバンドギ
ャップエネルギが発光中心のバンドギャップエネルギよ
りも大きくなり、発光した光が母材によって吸収される
ことがなくなって、高い発光強度の紫外光が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外領域(波長200
nm〜400nm)の発光が得られる薄膜EL(エレク
トロルミネッセント)素子に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜EL素子は、エレクトロルミネッセ
ンス(電界発光)現象を利用した自発光型のデバイスで
あり、平面・薄型のデバイスが実現できることから実用
化に向けての検討、たとえばカラー表示を行う表示デバ
イスとしての検討が行われている。カラー表示を行うた
めには、高純度でかつ高輝度な赤、青、緑の発光が必要
であるけれども、現行の薄膜EL素子では充分な青色発
光が得られない。そこで高純度でかつ高輝度な青色発光
を得る1つの手法として、紫外光を発光する薄膜EL素
子と、PL(フォトルミネッセント)素子とを組合わせ
たデバイスが検討されている。
【0003】紫外光を発光する薄膜EL素子とPL素子
とを組合わせたデバイスの例は、本件出願人による特公
昭63−18319号公報に開示されている。該公報に
よれば、電界印加に応答して紫外領域のEL発光を生じ
るEL発光層を励起光源とし、前記EL発光層からの励
起光の照射によってPL発光を生じるPL発光層を発光
源とし、前記EL発光層とPL発光層とを重畳するよう
に配置することによって、広範囲の発光色を任意に選定
することのできる面発光素子が提供できる。EL発光層
材料としては、ZnS:GdまたはZnS:GdF3
どが用いられ、PL発光層材料としては、Y23:E
u,YVO4:Eu,CaWO4:Pd,Sr227
Eu,Zn2SiO4:Mn,LaPO4:CeまたはL
aPO4 :Tbなどが用いられる。
【0004】紫外光を発光するEL発光層材料として
は、前記ZnS:GdやZnS:GdF3の他に、Zn
2:Gdなども公知であり、このような材料は、たと
えば「Jpn.J.Appl.Phys.Vol.31
(1992)」(pp.51〜59)に記載されてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような紫外光を発光するEL発光層とPL発光層とを
組合わせたデバイスでは、充分なPL発光強度を得るた
めのEL発光強度が得られないという問題がある。前述
したZnS:GdまたはZnS:GdF3 を用いた薄膜
EL素子では、実用化に対して充分なEL発光が得られ
ず、このため前記面発光素子は実用化されていない。
【0006】また、前述したZnF2 :Gdを用いた薄
膜EL素子は、発光寿命が比較的短く、さらに発光強度
の安定性が低いことから、この材料についても実用化に
は至っていない。
【0007】本発明の目的は、発光強度の高い紫外光が
得られる薄膜EL素子を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対の電極間
に少なくともEL発光層が配置され、前記EL発光層は
母材と当該母材中に添加される発光中心を含んで成る薄
膜EL素子において、前記母材として、一般式Zn(1-x)
MgxS(0<x<1)で表される化合物が選ばれ、前
記発光中心として、GdまたはGd化合物が選ばれるこ
とを特徴とする薄膜EL素子である。
【0009】また本発明は、前記母材として選ばれる化
合物の組成比xが、0.33≦x<1の範囲に選ばれる
ことを特徴とする。
【0010】また本発明は、前記母材として選ばれる化
合物の組成比xが、0.4≦x≦0.8の範囲に選ばれ
ることを特徴とする。
【0011】
【作用】本発明に従えば、一対の電極間に少なくともE
L発光層が配置される薄膜EL素子の前記EL発光層を
構成する母材として、一般式Zn(1-x)MgxS(0<x
<1)で表される化合物を用い、発光中心としてGdま
たはGd化合物を用いることによって、EL発光として
紫外光が得られるとともに、発光波長帯域を変えること
なく、母材の組成を自由に選ぶことができる。
【0012】また好ましくは、母材として選ばれる化合
物の組成比xが0.33≦x<1の範囲に選ばれる。こ
れによって、母材のバンドギャップエネルギが、発光中
心となるGd原子のバンドギャップエネルギ(4.0e
V相当)よりも大きくなる。一般に母材として用いられ
る材料は半導体であり、半導体にはそのバンドギャップ
エネルギよりも高エネルギの光を吸収するという性質が
あるけれども、前述したような比率に選ぶことによっ
て、発光した光が母材によって吸収されることはなく、
したがって高い発光強度の紫外光が得られる。
【0013】さらに好ましくは、前記組成比xは、0.
4≦x≦0.8の範囲に選ばれる。組成比xをこのよう
な範囲に選ぶことによって、より高い発光強度の紫外光
が得られることが確認された。
【0014】このような高い発光強度の紫外光が得られ
る薄膜EL素子は、たとえばPL素子と組合わせて用い
られ、電圧印加によってEL発光を生じる前記薄膜EL
素子を励起光源とし、前記薄膜EL素子からの光によっ
てPL発光を生じるPL素子を発光源として用いられ
る。このようなデバイスでは、励起光源とされる本発明
の薄膜EL素子から高い発光強度の紫外光が生じるの
で、充分なPL発光強度が得られ、たとえば表示装置の
発光表示部または光源として好適に用いられる。
【0015】
【実施例】図1は、本発明の一実施例である薄膜EL素
子7の構成を示す断面図である。薄膜EL素子7は、透
光性基板1、透明電極2、第1絶縁層3、EL発光層
4、第2絶縁層5および金属電極6を含んで構成され
る。たとえばガラスで実現される透光性基板1の一方表
面1aには、透明電極2が形成される。透明電極2は、
たとえば200nmの膜厚のITO(インジウム錫酸化
物)膜で実現される。透明電極2の表面には第1絶縁層
3が形成される。第1絶縁層3は、たとえば200nm
の膜厚に形成され、たとえば前記透明電極2上に形成さ
れるSiO2 膜と前記SiO2膜上に形成されるSi3
4膜とから成る。
【0016】第1絶縁層3の表面には、EL発光層4が
形成される。EL発光層4は、一般式Zn(1-x)Mgx
(0<x<1)で表される化合物を母材とし、当該母材
中に少なくとも発光中心としてGdF3 を添加したEL
発光層材料から成る。EL発光層4は、たとえば800
nmの膜厚に形成される。EL発光層4の表面には、第
2絶縁層5が形成される。第2絶縁層5は、たとえば2
00nmの膜厚に形成され、たとえば前記EL発光層4
上に形成されるSi34膜と前記Si34膜上に形成さ
れるSiO2 膜とから成る。第2絶縁層5の表面には、
金属電極6が形成される。金属電極6は、たとえば15
0nmの膜厚のAl膜で実現される。
【0017】なお、前記透明電極2としては前述したI
TOの他に、AlをドープしたZnOを用いてもよく、
また第1および第2絶縁層3,5としては前述した材料
の他に、Ta25またはAl23などを用いてもよい。
透明電極2、第1絶縁層3、EL発光層4および第2絶
縁層5とされる薄膜は、たとえばスパッタリング法、電
子ビーム蒸着法などの薄膜形成法によって成膜される。
また、金属電極6とされるAl薄膜は、たとえば抵抗加
熱蒸着法によって成膜される。また、EL発光層4の発
光中心としては、前述したGdF3 などのGdのフッ化
物の他に、Gdの塩化物を用いてもよく、また母材中に
Gd単体とF単体とを個別に添加してもよい。
【0018】このようにして形成される薄膜EL素子7
の電極2,6を交流電源8に接続して、EL発光層4が
発光し始める閾値電圧以上の交流電圧(たとえば200
V程度)を印加すると、EL発光層4でエレクトロルミ
ネッセンス現象が生じる。この現象によって生じた光
は、前記透光性基板1の一方表面1aとは反対の他方表
面1b側から出射する。すなわち、EL発光層4で生じ
た光は、第1絶縁層3、透明電極2、透光性基板1の順
に透過して出射する。なお、EL発光層4の第2絶縁層
5側に出射した光は第2絶縁層5を透過して金属電極6
で反射し、再び第2絶縁層5を透過して、EL発光層
4、第1絶縁層3、透明電極2および透光性基板1の順
に透過する。印加電圧が閾値電圧未満の時には、EL発
光層4ではエレクトロルミネッセンス現象は生じない。
したがって、印加電圧を制御することによって、発光/
非発光状態を得ることができる。
【0019】前記EL発光層4は、たとえば以下のよう
にして作成される。ZnSとMgSとを(1−x):x
の比率(モル比)で混合する。この混合物に1モル%の
GdF3 を添加し、当該混合物を加圧成形した後、Ar
ガス雰囲気中、900℃で1時間焼結処理し、ペレット
を作成する。焼結することによって大部分のZnSとM
gSとが化学反応してZn(1-x)MgxS化合物となる。
このようにして作成されたペレットを用いて電子ビーム
蒸着法によってEL発光層4を成膜する。以下に、EL
発光層4の母材であるZn(1-x)MgxSの組成比xの検
討結果について説明する。
【0020】図2は、発光中心となるGd原子のエネル
ギ準位を示す図である。Gd原子の発光は、Gdの原子
核を中心として回転運動している電子が内殻遷移すると
きに生じる。原子の状態は、4つの量子数n,l,mお
よびsの組合わせで表される。ここで、nは主量子数、
lは軌道角運動量の量子数、mは磁気量子数、sはスピ
ン角運動量の量子数を表す。また、原子全体の状態は、
全軌道角運動量L、全スピン角運動量Sおよび全角運動
量Jを用いて、2S+1J の形で表される。なお、前記全
軌道角運動量Lは、L=1,2,3,4,5,…に対応
してS,P,D,F,G,H,…で表される。全軌道角
運動量Lが大きいほどエネルギが大きいことを意味して
いる。
【0021】Gd原子の発光時には、原子全体の状態が
67/2 状態から 8S状態へ遷移し、そのバンドギャッ
プエネルギは4.0eVである。また、生じる光は、3
10nmの波長の紫外光である。このような内容は、
「物性1963年7月号」(pp.387〜397)、
および「応用物理第40巻第6号(1971)」(p
p.669〜678)に記載されている。
【0022】Gd原子の発光は電子の内殻遷移によって
生じるので、Gd原子近傍の母材原子の種類による発光
波長帯域の変化がほとんどない。したがって発光波長帯
域を変えることなく、母材の組成を自由に選ぶことがで
きる。
【0023】一般に、母材として用いられる材料は半導
体であり、半導体にはそのバンドギャップエネルギより
も高エネルギの波長の光を吸収する性質がある。したが
って、Gd原子の発光を効率よく取出すためには、Gd
原子のバンドギャップエネルギ(4.0eV)以上のバ
ンドギャップエネルギを有する母材を選ぶのが好まし
い。
【0024】本実施例のEL発光層4の母材となるZn
SおよびMgSのうちのMgSはZnSと同じ閃亜鉛鉱
型の結晶系を有し、そのバンドギャップエネルギは4.
6eVである。また、MgSはZnSと混晶を作る。こ
のため、母材中のZnとMgの比率を変えることによっ
て、母材のバンドギャップエネルギを制御することがで
きる。このような内容は、たとえば「Jpn.J.Ap
pl.Phys.Vol.32(1993)」(pp.
678〜680)に記載されている。このことから、E
L発光層中のZn(1-x)MgxSの組成比を変えることに
よって、母材のバンドギャップエネルギをGd原子のバ
ンドギャップエネルギよりも大きくすることができる。
【0025】図3は、Zn(1-x)MgxSの組成比xと、
バンドギャップエネルギとの関係を示すグラフである。
横軸は、組成比xを示し、縦軸はバンドギャップエネル
ギを表す。組成比x=0はZnSの場合を示し、組成比
x=1はMgSの場合を示す。x=0のとき、すなわち
ZnSのときのバンドギャップエネルギは3.7eVで
あり、x=1のとき、すなわちMgSのときのバンドギ
ャップエネルギは4.6eVである。バンドギャップエ
ネルギは、ZnとMgとの比率に対してほぼ直線的に変
化するので、母材であるZn(1-x)MgxSのバンドギャ
ップエネルギEgは、Eg=0.9x+3.7で求めら
れる。このことから、Egが4.0eVとなる組成比x
は0.33であることがわかり、Zn(1-x)MgxSの組
成比xを0.33≦x<1の範囲に選ぶことが好まし
い。
【0026】図4は、Zn(1-x)MgxSの組成比xと、
作成された薄膜EL素子7の発光強度との関係を示すグ
ラフである。この結果から、組成比xが0.4≦x≦
0.8の範囲のとき、特に優れた発光強度が得られるこ
とが確認された。
【0027】図5は、Zn0.4Mg0.6S(x=0.6)
で表される化合物を母材としたときの薄膜EL素子7の
発光スペクトルを示すグラフである。図示されるように
紫外領域内の310nmに最も強いピークを有する発光
が得られることが確認された。
【0028】図6は、本発明に基づく薄膜EL素子とP
L素子とを組合わせることによって作成される面発光素
子18の構成を示す断面図である。面発光素子18は透
光性基板11、PL発光層12、透明電極13、第1絶
縁層14、EL発光層15、第2絶縁層16および金属
電極17を含んで構成される。たとえばガラスで実現さ
れる透光性基板11の一方表面11aには、PL発光層
12が形成される。PL発光層12は、紫外光によって
可視光帯域の蛍光を生じる性質を有する材料を既知の薄
膜形成法で成膜して作成される。用いられる材料として
は、前記性質を有する種々の蛍光体材料が挙げられ、た
とえば、赤色発光材料としてはEuをドープしたY
23、EuをドープしたYVO4 が挙げられ、青色発光
材料としてはPdをドープしたCaWO4 、Euをドー
プしたSr227 が挙げられ、緑色発光材料としては
MnをドープしたZn2SiO4、CeまたはTbをドー
プしたLaPO4 が挙げられる。
【0029】PL発光層12が形成された透光性基板1
1の一方表面11aには、前記PL発光層12を覆って
透明電極13が形成され、透明電極13上には、第1絶
縁層14、EL発光層15、第2絶縁層16および金属
電極17がこの順に形成される。透明電極13、第1絶
縁層14、EL発光層15、第2絶縁層16および金属
電極17は、前述した薄膜EL素子7の透明電極2、第
1絶縁層3、EL発光層4、第2絶縁層5、および金属
電極6と同様にして形成される。
【0030】このようにして形成される面発光素子18
は、EL発光層15を励起光源とし、PL発光層12を
発光源としたものであり、EL発光層15からの励起光
によってPL発光層12が発光する。EL発光層15
は、本実施例に基づいて形成されるので、強い発光強度
の紫外光が生じる。したがって、比較的強いPL発光強
度を得ることができる。
【0031】なお、特開平3−207786号公報に
は、EL発光層の母材としてZn(1-x)MgxS(0≦x
≦0.2)を用い、発光中心としてPr3+を用いた例が
開示されているけれども、これは可視光領域の白色発光
を得ることを目的としたものであり、本件の高い発光強
度の紫外光を得るものとは異なるものである。
【0032】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、EL発光
層の母材として一般式Zn(1-x)MgxS(0<x<1)
で表される化合物が選ばれ、発光中心としてGdまたは
Gd化合物が選ばれる。また好ましくは、前記母材とし
て選ばれる化合物の組成比xは0.33≦x<1の範囲
に選ばれ、さらに好ましくは0.4≦x≦0.8の範囲
に選ばれる。したがって、母材のバンドギャップエネル
ギが発光中心のバンドギャップエネルギよりも大きくな
り、発光した光が母材によって吸収されることはなく、
高い発光強度の紫外光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である薄膜EL素子7の構成
を示す断面図である。
【図2】Gd原子のエネルギ準位を示す図である。
【図3】Zn(1-x)MgxSの組成比xと、バンドギャッ
プエネルギとの関係を示すグラフである。
【図4】前記組成比xと薄膜EL素子7の発光強度との
関係を示すグラフである。
【図5】Zn0.4Mg0.6Sで表される化合物を母材とし
て用いた時の薄膜EL素子7の発光スペクトルを示すグ
ラフである。
【図6】本発明に基づく薄膜EL素子とPL素子とを組
合わせることによって作成される面発光素子18の構成
を示す断面図である。
【符号の説明】 1,11 透光性基板 2,13 透明電極 3,14 第1絶縁層 4,15 EL発光層 5,16 第2絶縁層 6,17 金属電極 7 薄膜EL素子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の電極間に少なくともEL発光層が
    配置され、前記EL発光層は母材と当該母材中に添加さ
    れる発光中心とを含んで成る薄膜EL素子において、 前記母材として、一般式Zn(1-x)MgxS(0<x<
    1)で表される化合物が選ばれ、 前記発光中心として、GdまたはGd化合物が選ばれる
    ことを特徴とする薄膜EL素子。
  2. 【請求項2】 前記母材として選ばれる化合物の組成比
    xが、0.33≦x<1の範囲に選ばれることを特徴と
    する請求項1記載の薄膜EL素子。
  3. 【請求項3】 前記母材として選ばれる化合物の組成比
    xが、0.4≦x≦0.8の範囲に選ばれることを特徴
    とする請求項2記載の薄膜EL素子。
JP6132261A 1994-06-14 1994-06-14 薄膜el素子 Pending JPH07335382A (ja)

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JP6132261A JPH07335382A (ja) 1994-06-14 1994-06-14 薄膜el素子
US08/463,730 US5670839A (en) 1994-06-14 1995-06-05 Thin-film luminescence device utilizing Zn.sub.(1-x) Mgx S host material compound activated by gadolinium or a gadolinium compound

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