JPH07332910A - Displacement detector - Google Patents
Displacement detectorInfo
- Publication number
- JPH07332910A JPH07332910A JP13053994A JP13053994A JPH07332910A JP H07332910 A JPH07332910 A JP H07332910A JP 13053994 A JP13053994 A JP 13053994A JP 13053994 A JP13053994 A JP 13053994A JP H07332910 A JPH07332910 A JP H07332910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- deviation
- displacement
- detection
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は検出コイルのインダク
タンス変化に基づいて変位を検出する変位検出器に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a displacement detector which detects displacement based on a change in inductance of a detection coil.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の変位検出器において、検出コイル
のインピーダンス変化に基づいて変位を検出するものは
知られている。図11に従来の変位検出器の要部構成図
を示し、(a)図は変位検出器の構成図、(b)図は等
価回路図を示す。2. Description of the Related Art There is known a conventional displacement detector that detects displacement based on a change in impedance of a detection coil. FIG. 11 shows a configuration diagram of a main part of a conventional displacement detector, FIG. 11 (a) is a configuration diagram of the displacement detector, and FIG. 11 (b) is an equivalent circuit diagram.
【0003】図11において、従来の変位検出器61
は、対象物の変位に対応して変位(変位量x1、x2)
するコア63と、コア63を取囲むよう配置され、変位
方向に対称な2個の検出コイル62A、62Bとを備え
た変位センサ、検出コイル62Aおよび検出コイル62
Bの一端を接続した接続点と接地(GND)間に接続さ
れた交流電源VS、検出コイル62Aおよび検出コイル
62Bのそれぞれもう一端(端子D1、D2)と接地
(GND)間に接続された2個の基準抵抗rfとから構
成される。In FIG. 11, a conventional displacement detector 61 is provided.
Is the displacement corresponding to the displacement of the object (displacement x1, x2)
Displacement sensor including a core 63 and a pair of detection coils 62A and 62B that are arranged so as to surround the core 63 and are symmetrical in the displacement direction, a detection coil 62A and a detection coil 62.
AC power source V S connection point at one end and connected to which is connected between a ground (GND) of B, which are connected between the respective other end of the detection coil 62A and the detection coil 62B (terminal D1, D2) and ground (GND) It is composed of two reference resistors rf.
【0004】このように構成された(a)図の従来の変
位検出器61は、(b)図に示すインダクタンスL1、
L2、および2個の基準抵抗rfのそれぞれの素子を一
辺としたブリッジ回路の等価回路で表わされる。なお、
インダクタンスL1、L2は、例えばコア63がx1だ
け変位した場合の検出コイル62A、62Bのインダク
タンスを表わし、コア63が中立位置にある状態ではイ
ンダクタンスL1、L2は等しい値(L1=L2=L)
に設定されている。The conventional displacement detector 61 shown in FIG. 6A constructed as described above has an inductance L1 shown in FIG.
It is represented by an equivalent circuit of a bridge circuit in which each element of L2 and the two reference resistors rf is one side. In addition,
The inductances L1 and L2 represent, for example, the inductances of the detection coils 62A and 62B when the core 63 is displaced by x1, and the inductances L1 and L2 are equal values (L1 = L2 = L) when the core 63 is in the neutral position.
Is set to.
【0005】(b)図の等価回路に交流電源VS(例え
ば、波高値VI、周波数fの正弦波)を印加すると、端
子D1および端子D2からそれぞれ数1で表わされる、
インピーダンスの変化に対応した出力電圧VO1、V02が
検出される。When an AC power source V S (for example, a crest value V I and a sine wave having a frequency f) is applied to the equivalent circuit of FIG. 2B, the terminals D1 and D2 are expressed by the following equation 1, respectively.
Output voltages V O1 and V 02 corresponding to changes in impedance are detected.
【0006】[0006]
【数1】 [Equation 1]
【0007】また、コア63の変位(x1、x2)に対
応した検出出力V0は、VO1とV02の偏差(VO1−
V02)から算出される。なお、コア63の変位がない場
合(中立位置)、インダクタンスL1、L2は等しく
(L1=L2)、対応するインピーダンスも等しくなり
検出出力V0は0となる。Further, the detection output V 0 corresponding to the displacement (x1, x2) of the core 63 is a deviation (V O1 −) between V O1 and V 02.
It is calculated from V 02 ). When the core 63 is not displaced (neutral position), the inductances L1 and L2 are equal (L1 = L2), the corresponding impedances are also equal, and the detection output V 0 is 0.
【0008】このように、従来の変位検出器61は、対
象物の変位に対応して変位センサのコア63が変位する
と、検出コイル62Aと検出コイル62Bのインダクタ
ンス(L1、L2)が変化して対応するインピーダンス
も変化するため、ブリッジ回路で電圧VO1とV02の偏差
V0を検出することにより、対象物の変位量が検出でき
るとしている。As described above, in the conventional displacement detector 61, when the core 63 of the displacement sensor is displaced corresponding to the displacement of the object, the inductances (L1, L2) of the detection coils 62A and 62B change. Since the corresponding impedance also changes, the displacement amount of the object can be detected by detecting the deviation V 0 between the voltages V O1 and V 02 with the bridge circuit.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】従来の変位検出器61
は、コア63の変位(x1、x2)に伴って生じる磁束
の変化による検出コイル62Aおよび62Bのインピー
ダンス変化を利用しているため、インピーダンス変化を
効率よく検出できない課題がある。DISCLOSURE OF THE INVENTION Conventional displacement detector 61
Uses the impedance change of the detection coils 62A and 62B due to the change of the magnetic flux caused by the displacement (x1, x2) of the core 63, there is a problem that the impedance change cannot be detected efficiently.
【0010】コア63の中立位置における検出コイル6
2Aおよび62Bのインピーダンス(Z)は、検出コイ
ル(62A、62B)のインダクタンスをL、内部抵抗
をr、交流電源の周波数をfとすると、数2で表わされ
る。Detection coil 6 in the neutral position of core 63
Impedance (Z) of 2A and 62B is expressed by Equation 2 where L is the inductance of the detection coils (62A, 62B), r is the internal resistance, and f is the frequency of the AC power supply.
【0011】[0011]
【数2】 [Equation 2]
【0012】数2から明らかなように、インピーダンス
Zは、内部抵抗rとリアクタンス2πf*Lのベクトル
和であり、インダクタンスLの変化分ΔLを精度よく検
出するためには、内部抵抗rおよび交流電源VSの周波
数fを小さくする必要がある。As is clear from the equation (2), the impedance Z is the vector sum of the internal resistance r and the reactance 2πf * L, and in order to accurately detect the change ΔL of the inductance L, the internal resistance r and the AC power source are required. It is necessary to reduce the frequency f of VS.
【0013】しかし、検出コイル(62A、62B)を
形成するためにワイヤを巻線にすると、内部抵抗rは大
きくなる。また、ブリッジ回路を励磁して検出出力を得
るためには、周波数をfを高くする必要があり、周波数
をfを高くすると鉄損等により内部抵抗rが大きくな
る。However, when the wire is wound to form the detection coils (62A, 62B), the internal resistance r increases. Further, in order to excite the bridge circuit to obtain the detection output, it is necessary to increase the frequency f, and if the frequency f is increased, the internal resistance r increases due to iron loss or the like.
【0014】このように、コイルブリッジを用いた従来
の変位検出器は、磁束変化によるインピーダンス変化が
精度よく検出できず、変位量を高感度に検出できない課
題がある。As described above, the conventional displacement detector using the coil bridge has a problem that the impedance change due to the magnetic flux change cannot be detected accurately and the displacement amount cannot be detected with high sensitivity.
【0015】この発明はこのような課題を解決するため
なされたもので、その目的は対象物の変位量を高精度な
らびに高感度で検出することができる変位検出器を提供
することにある。The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a displacement detector capable of detecting a displacement amount of an object with high accuracy and high sensitivity.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
この発明に係る変位検出器は、変位可能なコアと、コア
の近傍に配置され、コアの変位に対応してインダクタン
スが変化する検出コイルと、検出コイルと直列に接続さ
れる基準抵抗と、基準抵抗と検出コイルの直列回路の両
端に印加するパルス電源とを備え、直列回路の基準抵抗
両端の過渡応答電圧に基づいてコアの変位量を検出する
ことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a displacement detector according to the present invention comprises a displaceable core and a detection coil which is arranged in the vicinity of the core and whose inductance changes in accordance with the displacement of the core. And a reference resistance connected in series with the detection coil and a pulse power supply applied to both ends of the series circuit of the reference resistance and the detection coil, and the displacement of the core based on the transient response voltage across the reference resistance of the series circuit. Is detected.
【0017】また、この発明に係る変位検出器は、中立
位置から両方向に変位可能なコアと、中立位置からコア
の変位方向に対称に配置され、コアの変位に対応してイ
ンダクタンスが差動で変化する2個の検出コイルと、2
個の検出コイルのそれぞれに直列に接続される2個の基
準抵抗と、2個の基準抵抗と2個の検出コイルから構成
されるブリッジ回路と、このブリッジ回路に印加するパ
ルス電源と、ブリッジ回路の2個の基準抵抗それぞれの
両端の過渡応答電圧の偏差電圧を検出する偏差電圧検出
手段とを備え、偏差電圧に基づいてコアの変位量と変位
方向を検出することを特徴とする。Further, the displacement detector according to the present invention is arranged symmetrically with the core displaceable in both directions from the neutral position and in the displacement direction of the core from the neutral position, and the inductance is differential according to the displacement of the core. Two changing detection coils and two
Two reference resistors connected in series to each of the detection coils, a bridge circuit composed of two reference resistors and two detection coils, a pulse power supply applied to this bridge circuit, and a bridge circuit Deviation voltage detecting means for detecting the deviation voltage of the transient response voltage across each of the two reference resistances, and the displacement amount and the displacement direction of the core are detected based on the deviation voltage.
【0018】さらに、この発明に係る変位検出器の偏差
電圧検出手段は、2個の基準抵抗それぞれの両端の過渡
応答電圧の偏差の最大値を検出する最大偏差電圧演算手
段と、最大偏差電圧演算手段からの最大偏差電圧を変位
量に変換する変位量変換手段とを備えたことを特徴とす
る。Further, the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the present invention is the maximum deviation voltage calculating means for detecting the maximum deviation of the transient response voltage across each of the two reference resistors, and the maximum deviation voltage calculating means. And a displacement amount conversion means for converting the maximum deviation voltage from the means into a displacement amount.
【0019】また、この発明に係る変位検出器の偏差電
圧検出手段は、2個の基準抵抗それぞれの両端の立下り
過渡応答電圧の偏差の最大値を検出する立下り最大偏差
電圧検出手段と、2個の基準抵抗それぞれの両端の立上
り過渡応答電圧の偏差の最大値を検出する立上り最大偏
差電圧検出手段と、立下り最大偏差電圧検出手段からの
出力と立上り最大偏差電圧検出手段からの出力との最大
値偏差を出力する偏差出力手段と、最大値偏差を変位量
に変換する変位量変換手段とを備えたことを特徴とす
る。Further, the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the present invention includes the maximum falling deviation voltage detecting means for detecting the maximum value of the deviation of the falling transient response voltage across each of the two reference resistors, A rising maximum deviation voltage detecting means for detecting the maximum value of the deviation of the rising transient response voltage across each of the two reference resistors; an output from the falling maximum deviation voltage detecting means and an output from the rising maximum deviation voltage detecting means. Deviation output means for outputting the maximum value deviation and displacement amount conversion means for converting the maximum value deviation into a displacement amount.
【0020】[0020]
【作用】この発明に係る変位検出器は、変位可能なコ
ア、コアの変位量に対応してインダクタンスが変化する
検出コイル、基準抵抗を備え、パルス電源を印加してイ
ンダクタンスと基準抵抗に対応した過渡応答電圧を検出
することにより、インダクタンスの絶対値を検出できる
ので、コアの変位量に対するインダクタンスの変化を過
渡応答電圧で検出することができる。A displacement detector according to the present invention comprises a displaceable core, a detection coil whose inductance changes according to the amount of displacement of the core, and a reference resistance. A pulse power supply is applied to correspond to the inductance and the reference resistance. Since the absolute value of the inductance can be detected by detecting the transient response voltage, the change in the inductance with respect to the amount of displacement of the core can be detected by the transient response voltage.
【0021】また、この発明に係る変位検出器は、変位
可能なコア、コアの変位量に対応してインダクタンスが
差動で変化する2個の検出コイル、2個の基準抵抗、偏
差電圧検出手段を備え、2個の検出コイルと2個の基準
抵抗とでブリッジ回路を構成し、ブリッジ回路にパルス
電源を印加してブリッジ回路出力の過渡応答電圧を検出
し、過渡応答電圧の偏差電圧を偏差電圧検出手段で検出
するので、コアの変位量に対するインダクタンスの差動
変化を過渡応答電圧で検出することができる。Further, the displacement detector according to the present invention comprises a displaceable core, two detection coils whose inductance changes differentially corresponding to the amount of displacement of the core, two reference resistors, and deviation voltage detection means. Is equipped with two detection coils and two reference resistors to form a bridge circuit, and a pulse power supply is applied to the bridge circuit to detect the transient response voltage of the bridge circuit output, and the deviation voltage of the transient response voltage is deviated. Since it is detected by the voltage detecting means, it is possible to detect the differential change of the inductance with respect to the displacement amount of the core by the transient response voltage.
【0022】さらに、この発明に係る変位検出器の偏差
電圧検出手段は、過渡応答電圧の偏差の最大値を検出す
る最大偏差電圧演算手段と、最大偏差電圧演算手段から
の最大偏差電圧を変位量に変換する変位量変換手段とを
備えたので、変位量を大きな電圧値で検出することがで
きる。Further, the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the present invention detects the maximum value of the deviation of the transient response voltage and the maximum deviation voltage from the maximum deviation voltage calculating means. Since the displacement amount converting means for converting into the displacement amount is provided, the displacement amount can be detected with a large voltage value.
【0023】また、この発明に係る変位検出器の偏差電
圧検出手段は、立下り最大偏差電圧検出手段、立上り最
大偏差電圧検出手段、偏差出力手段、変位量変換手段を
備え、パルスの立下りおよび立上り時の過渡応答電圧の
偏差の最大値を検出し、さらにそれぞれの最大値の偏差
を検出して変位量に変換するので、変位量をより大きな
電圧値で検出することができる。Further, the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the present invention is provided with a falling maximum deviation voltage detecting means, a rising maximum deviation voltage detecting means, a deviation output means, and a displacement amount converting means. Since the maximum value of the deviation of the transient response voltage at the time of rising is detected and the deviation of each maximum value is detected and converted into the displacement amount, the displacement amount can be detected with a larger voltage value.
【0024】[0024]
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図1は請求項1に係る変位検出器の構成図
であり、(a)図に変位検出器の要部構成図、(b)図
に等価回路図、(c)図に過渡応答電圧波形を示す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1A and 1B are configuration diagrams of a displacement detector according to claim 1, wherein FIG. 1A is a configuration diagram of a main portion of the displacement detector, FIG. 1B is an equivalent circuit diagram, and FIG. 1C is a transient response voltage waveform. Show.
【0025】変位検出器1は、検出コイル2と、検出コ
イル2の内部に対象物の変位量に対応した変位(X1、
X2)をする非磁性体よりなるコア3を備え、検出コイ
ル2の一端2aにはパルス電源5を接続し、検出コイル
2の他の一端2bには基準抵抗RFを接続して基準抵抗
RFの両端(2b端―GND間)から過渡応答電圧VOを
検出するよう構成する。The displacement detector 1 includes a detection coil 2 and a displacement (X1,
X2) includes a core 3 made of a non-magnetic material, one end 2a of the detection coil 2 is connected to a pulse power source 5, and the other end 2b of the detection coil 2 is connected to a reference resistor R F to connect a reference resistor R The transient response voltage V O is detected from both ends of F (between 2b end and GND).
【0026】コア3が検出コイル2の中立位置にある状
態のインダクタンスをL、基準抵抗RFを検出コイル2
の内部抵抗rより充分大きな値に設定すると、内部抵抗
rは無視でき、(b)図の等価回路(積分回路)が得ら
れる。(b)の回路に半周期(T/2)がインダクタン
スLと基準抵抗RFで決定される時定数τ(=L/RF)
よりも充分大きなパルス電源(波高値VI)の立下り電
圧で駆動すると、時間tK後の過渡応答電圧VOは数3で
表わされる。When the core 3 is in the neutral position of the detection coil 2, the inductance is L and the reference resistance R F is the detection coil 2.
If the value is set to be sufficiently larger than the internal resistance r of, the internal resistance r can be ignored and the equivalent circuit (integration circuit) of FIG. In the circuit of (b), a half cycle (T / 2) is determined by the inductance L and the reference resistance R F. Time constant τ (= L / R F ).
When driven by the falling voltage of the pulse power supply (peak value V I ) which is sufficiently larger than the above, the transient response voltage V O after the time t K is expressed by Equation 3.
【0027】[0027]
【数3】 [Equation 3]
【0028】一方、コア3がX1変位して検出コイル2
のインダクタンスがΔLだけ減少した(L−ΔL)状態
で、パルス電源(波高値VI)の立下り電圧で駆動する
と、時間tK後の過渡応答電圧VO1は数4で表わされ
る。On the other hand, the core 3 is displaced by X1 and the detection coil 2 is moved.
When the pulse power supply (peak value V I ) is driven by the falling voltage in a state in which the inductance of is reduced by ΔL (L−ΔL), the transient response voltage V O1 after the time t K is expressed by Equation 4.
【0029】[0029]
【数4】 [Equation 4]
【0030】コア3が中立位置にある状態(変位量が
0)の過渡応答電圧VO(数3)からインダクタンスL
を算出して記憶しておき、コア3がX1変位した場合の
過渡応答電圧VO1(数4)からインダクタンス(L−Δ
L)を算出した後、偏差を演算してコア3の変位量X1
に対するインダクタンスの変化量ΔLを数5で表わすこ
とができる。The inductance L is calculated from the transient response voltage V O (Equation 3) when the core 3 is in the neutral position (displacement amount is 0).
Is calculated and stored, and the inductance (L−Δ) is calculated from the transient response voltage V O1 ( Equation 4) when the core 3 is displaced by X1.
After calculating L), the deviation is calculated and the displacement amount X1 of the core 3 is calculated.
The change amount ΔL of the inductance with respect to can be expressed by Equation 5.
【0031】[0031]
【数5】 [Equation 5]
【0032】数5より、コア3の変位量X1に対応した
インダクタンスの変化量ΔLは、時間tKを一定とする
と、過渡応答電圧VO、VO1とパルス電源5の波高値VI
との比に対応した値となる。From Equation 5, the change amount ΔL of the inductance corresponding to the displacement amount X1 of the core 3 is the transient response voltages V O and V O1 and the peak value V I of the pulse power supply 5 when the time t K is constant.
It becomes the value corresponding to the ratio with.
【0033】従って、インダクタンスの変化量ΔLは、
パルス電源5の波高値VI、および周波数f=(1/
T)と無関係な値で検出でき、変位量X1を検出でき
る。また、インダクタンスの変化量ΔLは、過渡応答電
圧VO、VO1と対応するので、過渡応答電圧VO、VO1を
検出することにより、変位量X1を検知することができ
る。Therefore, the change amount ΔL of the inductance is
The peak value V I of the pulse power supply 5 and the frequency f = (1 /
It is possible to detect the displacement amount X1 with a value irrelevant to T). Further, the amount of change ΔL of inductance, transient response voltage V O, so corresponding to the V O1, by detecting the transient response voltage V O, V O1, it is possible to detect the displacement amount X1.
【0034】なお、以上はパルス電源5の立下り電圧で
駆動した実施例について説明したが、パルス電源5の立
上り電圧で駆動した場合もVO、VO1に対応した過渡応
答電圧を検出することにより、変位量X1を検知するこ
とができる。Although the above description has been given of the embodiment in which the pulse power source 5 is driven by the falling voltage, the transient response voltage corresponding to V O and V O1 should be detected even when the pulse power source 5 is driven by the rising voltage. Thus, the displacement amount X1 can be detected.
【0035】このように、請求項1に係る変位検出器
は、過渡応答電圧に基づいて変位量を検出することがで
きる。As described above, the displacement detector according to the first aspect can detect the displacement amount based on the transient response voltage.
【0036】次に、請求項2に係る変位検出器について
説明する。図2は請求項2に係る変位検出器の構成図で
あり、(a)図に変位センサの構成図、(b)図に
(a)の検出コイルと基準抵抗で構成したブリッジ回路
図を示す。Next, a displacement detector according to claim 2 will be described. 2A and 2B are configuration diagrams of a displacement detector according to claim 2, wherein FIG. 2A is a configuration diagram of a displacement sensor, and FIG. 2B is a bridge circuit diagram including the detection coil and the reference resistor of FIG. 2A. .
【0037】変位センサ11は、中立位置から両方向に
変位する非磁性体からなるコア13と、コア13の変位
方向に対称に配置され、コア13の変位に対応してイン
ダクタンスが差動で変化する検出コイル12Aおよび検
出コイル12Bから構成し、検出コイル12Aおよび検
出コイル12Bの一端を接続し、検出コイル12Aおよ
び検出コイル12Bの他端をそれぞれ基準抵抗RFの一
端に接続し、さらに2個の基準抵抗RFの他端同士を接
続して接地(GND)し、電気的な等価回路である
(b)図のブリッジ回路14を構成する。The displacement sensor 11 is symmetrically arranged in the displacement direction of the core 13 and the core 13 made of a non-magnetic material which is displaced in both directions from the neutral position, and the inductance changes differentially according to the displacement of the core 13. It is composed of the detection coil 12A and the detection coil 12B, one end of the detection coil 12A and the detection coil 12B are connected, the other ends of the detection coil 12A and the detection coil 12B are connected to one end of the reference resistance R F , respectively, and two more The other ends of the reference resistors R F are connected to each other and grounded (GND) to form a bridge circuit 14 of FIG. 1B which is an electrically equivalent circuit.
【0038】また、検出コイル12Aおよび検出コイル
12Bの接続部と、2個の基準抵抗RFの接続部との間
にパルス電源15(波高値VI)を印加し、検出コイル
12Aと基準抵抗RFの接続部、および検出コイル12
Bと基準抵抗RF接続部をそれぞれ検出端子S1、S2
として取り出す。Further, the pulse power supply 15 (peak value V I ) is applied between the connecting portion of the detecting coil 12A and the detecting coil 12B and the connecting portion of the two reference resistors R F , and the detecting coil 12A and the reference resistor are connected. R F connection and detection coil 12
B and the reference resistance R F connection part are connected to the detection terminals S1 and S2, respectively.
Take out as.
【0039】(b)図の等価回路において、検出コイル
12A、12BのインダクタンスをそれぞれL1、L2
とすると、パルス電源15印加によるブリッジ回路14
の検出端子S1、S2は、それぞれ接地端子(GND)
を基準としたLR積分回路を構成し、検出電圧VS1、V
S2は波高値VIに対する過渡応答電圧となる。また、検
出端子S1、S2の検出電圧VDは検出電圧VS1とVS2
の偏差(VS1−VS2)となる。In the equivalent circuit of FIG. 9B, the inductances of the detection coils 12A and 12B are set to L1 and L2, respectively.
Then, the bridge circuit 14 by applying the pulse power supply 15
Detection terminals S1 and S2 are ground terminals (GND), respectively.
Is used as a reference, and the detection voltage V S1 , V
S2 is a transient response voltage with respect to the peak value V I. Further, the detection voltage V D at the detection terminals S1 and S2 is the detection voltages V S1 and V S2.
Deviation (V S1 −V S2 ).
【0040】図3に変位センサの一実施例構成図を示
す。図3において、変位センサ11は、筒状ケースの長
手方向に移動可能なコア13と、コア13の移動方向に
配置され、コア13を囲むよう対称に配置された2個の
検出コイル12A、12Bと、コア13、検出コイル1
2A、12Bを収容するケースから構成する。また、ケ
ース内部でブリッジ回路14の配線がなされ、図2に示
す検出端子S1、S2およびパルス電源15の供給端子
VIがケース外部に配線で取り出すよう構成する。な
お、接地端子(GND)はケース接地とするか、検出端
子S1、S2と同様にケース内部に設けて配線で外部に
取り出すようにしてもよい。FIG. 3 shows a block diagram of an embodiment of the displacement sensor. In FIG. 3, a displacement sensor 11 includes a core 13 that is movable in the longitudinal direction of a cylindrical case, and two detection coils 12A and 12B that are arranged in the moving direction of the core 13 and that are symmetrically arranged so as to surround the core 13. , Core 13, detection coil 1
It is composed of a case that houses 2A and 12B. The bridge circuit 14 is wired inside the case, and the detection terminals S1 and S2 and the supply terminal V I of the pulse power supply 15 shown in FIG. 2 are wired outside the case. The ground terminal (GND) may be grounded to the case, or may be provided inside the case and taken out by wiring like the detection terminals S1 and S2.
【0041】図4に請求項2に係る変位検出器の過渡応
答電圧波形図を示す。(a)図にパルス電源の立下り波
形と立上り波形のデューティが等しい場合の過渡応答電
圧波形、(b)図にパルス電源の立下り波形と立上り波
形のデューティが異なる場合の過渡応答電圧波形を示
す。なお、(a)図はパルス電源の立下り波形の期間
(T/2)が積分回路の時定数よりも充分長く、時間T
/2では過渡応答電圧が0Vに達するよう設定するのに
対し、(b)図はパルス電源の立下り波形の期間(T
1)が短く、過渡応答電圧が0Vにならないよう設定す
る。また、(a)図および(b)図ともに、パルス電源
の立上り波形の期間は、積分回路の時定数よりも充分長
く、時間Tまたは時間T2で過渡応答電圧は波高値VI
に達するよう設定する。FIG. 4 shows a transient response voltage waveform diagram of the displacement detector according to the second aspect. Figure (a) shows the transient response voltage waveform when the duty of the falling waveform of the pulse power supply is the same as that of the rising waveform, and (b) shows the transient response voltage waveform when the duty of the falling waveform and the rising waveform of the pulse power supply are different. Show. In the figure (a), the period (T / 2) of the falling waveform of the pulse power supply is sufficiently longer than the time constant of the integrating circuit, and the time T
In the case of / 2, the transient response voltage is set to reach 0V, whereas the graph (b) shows the falling waveform period (T
1) is short and the transient response voltage is set to 0V. Further, in both FIGS. (A) and (b), the period of the rising waveform of the pulse power supply is sufficiently longer than the time constant of the integrating circuit, and the transient response voltage has a peak value V I at time T or time T2.
Set to reach.
【0042】変位検出器10を搭載した対象物が変位
し、図2の変位センサ11のコア13が中立位置から検
出コイ12A側にX1変位し、変位X1に伴って、例え
ば検出コイル12AのインダクタンスL(中立位置のイ
ンダクタンス)が減少してL1となり、検出コイル12
BのインダクタンスLが増加してL2となるとすると、
インダンタンスL1<L2の関係から、端子S1および
端子S2の過渡応答電圧VS1の時定数(L1/RF)が
過渡応答電圧VS2の時定数(L2/RF)より小さくな
り、図4に示す過渡応答電圧VS1のパルス電源に対する
立下りおよび立上りは、過渡応答電圧VS2に対して速く
なる。The object on which the displacement detector 10 is mounted is displaced, and the core 13 of the displacement sensor 11 shown in FIG. 2 is displaced X1 from the neutral position toward the detection coil 12A, and along with the displacement X1, the inductance of the detection coil 12A, for example. L (inductance at the neutral position) decreases to L1, and the detection coil 12
If the inductance L of B increases to L2,
From the relationship of inductance L1 <L2, the time constant (L1 / R F ) of the transient response voltage V S1 at the terminals S1 and S2 becomes smaller than the time constant (L2 / R F ) of the transient response voltage V S2 , and FIG. falling and for the pulse power of the transient response voltage V S1 shown in rise is faster with respect to the transient response voltage V S2.
【0043】コア13がX1側に変位した場合、検出端
子S1、S2両端の検出電圧VD(=VS1−VS2)は、
パルス電源の立下り期間はマイナス(−)、パルス電源
の立上り期間はプラス(+)の極性で検出される。ま
た、図2の変位センサ11のコア13がX2側に変位す
る場合には、検出電圧VD(=VS1−VS2)は、上記と
反対の関係となり、パルス電源の立下り期間はプラス
(+)、パルス電源の立上り期間はマイナス(−)で検
出される。When the core 13 is displaced toward the X1 side, the detection voltage V D (= V S1 −V S2 ) across the detection terminals S1 and S2 becomes
The falling period of the pulse power supply is detected with a negative (-) polarity, and the rising period of the pulse power supply is detected with a positive (+) polarity. When the core 13 of the displacement sensor 11 shown in FIG. 2 is displaced to the X2 side, the detection voltage V D (= V S1 −V S2 ) has the opposite relationship to the above, and the falling period of the pulse power supply is positive. (+), The rising period of the pulse power supply is detected as a minus (-).
【0044】このように、検出電圧VD(=VS1−
VS2)の絶対値によりX1、X2の変位量、検出電圧V
Dの符号により変位方向が検出できる。Thus, the detection voltage V D (= V S1 −
V S2 ) absolute value, X1 and X2 displacement, detection voltage V
The displacement direction can be detected by the sign of D.
【0045】図4において、検出電圧VDをパルス電源
の立下り期間で検出するよう構成すると、(a)図では
時間tMで絶対値が最大(符号はマイナス)の検出電圧
VD(=VDMAX-)が検出でき、(b)図では時間T1に
おける検出電圧VDが検出できる。なお、(b)図で時
間T1をtMに設定することにより(a)図と同じ検出
電圧VD(=VDMAX-)を検出するよう構成することがで
きる。In FIG. 4, if the detection voltage V D is configured to be detected during the falling period of the pulse power supply, the detection voltage V D (= negative) having the maximum absolute value at time t M in FIG. V DMAX- ) can be detected, and the detection voltage V D at time T1 can be detected in FIG. In addition, by setting the time T1 to t M in the diagram (b), it is possible to detect the same detection voltage V D (= V DMAX− ) as that in the diagram (a).
【0046】また、(a)図では、検出電圧VDをパル
ス電源の立上り期間で検出するようにも構成することが
でき、絶対値が最大(符号はプラス)の検出電圧V
D(=VD MAX+)が検出できる。Further, in FIG. 7A, the detection voltage V D can also be configured to be detected during the rising period of the pulse power supply, and the detection voltage V D having the maximum absolute value (plus sign).
D (= V D MAX + ) can be detected.
【0047】このように、変位センサ11の変位量が同
じであっても、検出電圧VDの最大値を検出するよう設
定することにより、高感度の変位検出器10を構成す
る。As described above, even if the displacement amount of the displacement sensor 11 is the same, by setting so as to detect the maximum value of the detection voltage V D , the high-sensitivity displacement detector 10 is constructed.
【0048】図5は請求項2に係る変位検出器の偏差電
圧検出手段を含めた全体ブロック構成図である。図5に
おいて、変位検出器10は、変位センサ11、パルス電
源15、偏差電圧検出手段16を備え、検出端子S1、
S2間の検出電圧VDおよびパルス電源15の端子Po
からのパルス情報VI(例えば、立上り、立下り情報、
波高値VI情報)に基づいて偏差電圧検出手段16が検
出電圧VDの最大値(VDMAX-またはVDMAX+)を検出
し、検出電圧VDに対応した変位量Xに変換して出力す
るよう構成する。FIG. 5 is an overall block diagram including the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the second aspect. In FIG. 5, the displacement detector 10 includes a displacement sensor 11, a pulse power source 15, and a deviation voltage detecting means 16, and a detection terminal S1.
The detection voltage V D between S2 and the terminal Po of the pulse power supply 15
From the pulse information V I (eg, rising, falling information,
The deviation voltage detection means 16 detects the maximum value (V DMAX− or V DMAX + ) of the detection voltage V D based on the peak value V I information), converts it to the displacement amount X corresponding to the detection voltage V D , and outputs it. Configure as follows.
【0049】図6は請求項3に係る変位検出器の偏差電
圧検出手段の要部ブロック構成図である。偏差電圧検出
手段16はマイクロプロセッサを基本に構成し、偏差電
圧記憶手段16A、立下りパルス検出手段16B、タイ
マ手段16C、最大偏差電圧演算手段17、変位量変換
手段18を備え、変位センサ11が検出した検出電圧V
Dに基づいてパルス電源15の立下り期間内の最大偏差
電圧VDMAX-を演算し、最大偏差電圧VDMAX-を変位量X
に変換して出力するよう構成する。FIG. 6 is a block diagram of the essential parts of the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the third aspect. The deviation voltage detecting means 16 is basically composed of a microprocessor, and comprises deviation voltage storing means 16A, falling pulse detecting means 16B, timer means 16C, maximum deviation voltage calculating means 17, displacement amount converting means 18, and the displacement sensor 11 is Detection voltage V detected
Calculates the maximum deviation voltage V DMAX- in the falling period of the pulsed power supply 15 based on D, the displacement X of the maximum deviation voltage V DMAX-
It is configured to be converted to and output.
【0050】偏差電圧記憶手段16AはA/D変換器、
差動増幅器、書換え可能なRAM等のメモリおよび切替
回路等を備え、変位センサ11が検出した検出電圧VD
を立下りパルス検出手段16Bから提供される立下り情
報TD、立上り情報TUに基づいてパルス電源15(波高
値VI)の立下り期間(図4の時間T/2、または時間
T1)に所定回数だけ取込み、ディジタル値で記憶す
る。検出電圧VDの取込み回数は、例えばマイクロプロ
セッサからの制御で発生されるサンプリングパルスのタ
イミングで行うよう構成する。The deviation voltage storage means 16A is an A / D converter,
The detection voltage V D detected by the displacement sensor 11 includes a differential amplifier, a rewritable memory such as RAM, and a switching circuit.
Based on the falling information T D and the rising information T U provided from the falling pulse detection means 16B, the falling period of the pulse power supply 15 (peak value V I ) (time T / 2 in FIG. 4 or time T1). Are stored a digital value for a predetermined number of times. The number of times the detection voltage V D is fetched is set, for example, at the timing of the sampling pulse generated under the control of the microprocessor.
【0051】また、偏差電圧記憶手段16Aは、切替回
路のスイッチ動作によりパルス電源15(波高値VI)
の立下り期間中は検出電圧VDをメモリに記憶、立上り
期間中は検出電圧VDをメモリに記憶しないよう制御す
るとともに、立上り情報TUを受けた後はメモリに記憶
した検出電圧VDの検出電圧データVDMを最大偏差電圧
演算手段17に順次出力する。Further, the deviation voltage storage means 16A causes the pulse power supply 15 (peak value V I ) by the switching operation of the switching circuit.
Falling during the period stores the detection voltage V D in the memory of, together during the rising period to control so as not to store the detection voltage V D in the memory, the detection voltage V D after receiving the rising information T U is stored in the memory The detected voltage data V DM of the above is sequentially output to the maximum deviation voltage calculation means 17.
【0052】最大偏差電圧演算手段17はコンパレー
タ、最大値を記憶するメモリ等で構成し、偏差電圧記憶
手段16Aから順次供給される検出電圧データVDMを比
較演算し、より大きな検出電圧データVDMを記憶するこ
とにより、検出電圧データVDMの最大値として最大偏差
電圧VDMAX-を変位量変換手段18に提供する。The maximum deviation voltage calculation means 17 is composed of a comparator, a memory for storing the maximum value, etc., and compares the detection voltage data V DM sequentially supplied from the deviation voltage storage means 16 A to calculate a larger detection voltage data V DM. Is stored , the maximum deviation voltage V DMAX- is provided to the displacement amount conversion means 18 as the maximum value of the detection voltage data V DM .
【0053】立下りパルス検出手段16Bは、パルス電
源15の立下りおよび立上り(例えば、エッジ)を検出
し、立下り情報TDおよび立上り情報TUを偏差電圧記憶
手段16Aおよびタイマ手段16Cに出力する。タイマ
手段16Cは、立下り情報TDに基づいて計時を開始
し、立上り情報TUで計時を中止し、計時したタイマ信
号TKを変位量変換手段18に提供する。The falling pulse detecting means 16B detects a falling edge and a rising edge (eg, an edge) of the pulse power supply 15 and outputs the falling edge information T D and the rising edge information T U to the deviation voltage storing means 16A and the timer means 16C. To do. Timer means 16C starts counting based on the falling information T D, stops counting at the rising information T U, to provide a timer signal T K which is timed to the displacement amount conversion unit 18.
【0054】変位量変換手段18はROM等のメモリを
備え、理論値(演算値)または実験値に基づいて予め設
定した最大偏差電圧VDMAX-と、対応する変位量Xのデ
ータを記憶しておき、最大偏差電圧演算手段17からの
最大偏差電圧VDMAX-に対応する変位量信号Xを出力す
る。The displacement amount conversion means 18 is provided with a memory such as a ROM and stores the maximum deviation voltage V DMAX- preset based on a theoretical value (calculated value) or an experimental value and data of the corresponding displacement amount X. Then , the displacement amount signal X corresponding to the maximum deviation voltage V DMAX- is output from the maximum deviation voltage calculating means 17.
【0055】また、最大偏差電圧VDMAX-の符号につい
ては、変位量変換手段18が使用するパルス電源15の
立下り期間TDOを書換え可能なRAM等のメモリに予め
記憶しておき、タイマ手段16Cから供給されるタイマ
信号TKと立下り期間TDOが等しい場合には変位量信号
Xにマイナス(−)符号情報を付加して出力するよう構
成することにより検出する。ただし、この構成の場合に
は図4の(a)図のパルス電源の立下り期間と立上り期
間を異なる値に設定し、パルス電源15の立下り期間ま
たは立上り期間を区別できるよう設定する。Regarding the sign of the maximum deviation voltage V DMAX- , the falling period T DO of the pulse power supply 15 used by the displacement amount converting means 18 is stored in advance in a rewritable memory such as a RAM and the timer means is used. When the timer signal T K supplied from 16C is equal to the falling period T DO, it is detected by adding the minus (-) sign information to the displacement amount signal X and outputting it. However, in the case of this configuration, the falling period and the rising period of the pulse power supply in FIG. 4A are set to different values so that the falling period or the rising period of the pulse power supply 15 can be distinguished.
【0056】なお、検出電圧データVDMに、大きさ(電
圧値)と符号のディジタル情報が含まれるよう構成し、
ディジタルの符号情報を変位量信号Xに含めて出力する
よう構成してもよい。The detected voltage data V DM is configured to include digital information of magnitude (voltage value) and sign,
The digital sign information may be included in the displacement amount signal X and output.
【0057】また、図4の(b)図に対応する偏差電圧
検出手段16は、最大偏差電圧演算手段17およびタイ
マ手段16Cを削除し、立下りパルス検出手段16Bの
立上り情報TUに基づいて偏差電圧記憶手段16Aが偏
差電圧VDを記憶して検出電圧データVDMを直接変位量
変換手段18に送り、変位量変換手段18のROMに予
め設定した検出電圧データVDMに対応する変位量Xを出
力するよう構成することもできる。The deviation voltage detecting means 16 corresponding to FIG. 4B has the maximum deviation voltage calculating means 17 and the timer means 16C deleted, and is based on the rising information T U of the falling pulse detecting means 16B. The deviation voltage storage means 16A stores the deviation voltage V D and sends the detection voltage data V DM directly to the displacement amount conversion means 18, and the displacement amount corresponding to the detection voltage data V DM preset in the ROM of the displacement amount conversion means 18. It can also be configured to output X.
【0058】このように、請求項3に係る変位検出器の
偏差電圧検出手段16は、パルス電源15の立下り期間
中に変位センサ11が検出した検出電圧VDを記憶し、
記憶した検出電圧VDに基づいて最大値を最大偏差電圧
VDMAX-として検出し、最大偏差電圧VDMAX-に対応した
変位量信号Xを符号とともに出力するので、変位の大き
さを高感度に検出するとともに、変位方向を検出するこ
とができる。As described above, the deviation voltage detecting means 16 of the displacement detector according to the third aspect stores the detection voltage V D detected by the displacement sensor 11 during the falling period of the pulse power supply 15,
The stored based on the detection voltage V D detects the maximum value as the maximum difference voltage V DMAX-, a displacement signal X corresponding to the maximum difference voltage V DMAX- since outputs with the code, the magnitude of displacement with high sensitivity In addition to the detection, the displacement direction can be detected.
【0059】図7は請求項4に係る変位検出器の偏差電
圧検出手段の要部ブロック構成図である。図7におい
て、偏差電圧検出手段21はマイクロプロセッサを基本
に構成し、偏差電圧記憶手段22、立下り、立上りパル
ス検出手段23、立下り偏差電圧検出手段24、立上り
偏差電圧検出手段25、偏差出力手段26、周期検出手
段27、変位量変換手段18を備え、変位センサ11が
検出した検出電圧VDのパルス電源15のそれぞれ立下
り期間中の最大偏差電圧VDMAX-、および立上り期間中
の最大偏差電圧VDMAX+を検出し、さらに最大偏差電圧
VDMAX-と最大偏差電圧VDMAX+の偏差を偏差出力VDOと
して検出した後、偏差出力VDOを対応した変位量信号X
Oに変換して出力するよう構成する。FIG. 7 is a block diagram of the essential portion of the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the fourth aspect. In FIG. 7, the deviation voltage detecting means 21 is basically constituted by a microprocessor, and the deviation voltage storing means 22, the falling edge, the rising pulse detecting means 23, the falling deviation voltage detecting means 24, the rising deviation voltage detecting means 25, and the deviation output. Means 26, cycle detecting means 27, displacement amount converting means 18, and the maximum deviation voltage V DMAX- during the falling period and the maximum deviation voltage during the rising period of the pulse power supply 15 of the detection voltage V D detected by the displacement sensor 11 respectively. After detecting the deviation voltage V DMAX + and further detecting the deviation between the maximum deviation voltage V DMAX- and the maximum deviation voltage V DMAX + as the deviation output V DO , the deviation output V DO is used as the corresponding displacement amount signal X.
Configure to convert to O and output.
【0060】偏差電圧記憶手段22は、図6の偏差電圧
記憶手段16Aと同様にA/D変換器、差動増幅器、書
換え可能なRAM等のメモリおよび切替回路等を備え、
変位センサ11が検出した検出電圧VDを立下り、立上
りパルス検出手段23から提供される立下り情報TD、
立上り情報TUに基づいてパルス電源15(波高値VI)
の立下り期間(図4の時間T/2、または時間T1)お
よび図4(a)図の立上り期間(T/2〜T)に所定回
数だけ取込み、それぞれ立下り期間および立上り期間の
検出電圧VDをディジタル値でメモリに記憶する。The deviation voltage storage means 22 is provided with an A / D converter, a differential amplifier, a memory such as a rewritable RAM, a switching circuit, etc., like the deviation voltage storage means 16A of FIG.
The detection voltage V D detected by the displacement sensor 11 falls, and the falling information T D provided from the rising pulse detection means 23,
Pulse power supply 15 (peak value V I ) based on the rising information T U
For a predetermined number of times during the falling period (time T / 2 or time T1 in FIG. 4) and the rising period (T / 2 to T) in FIG. 4A, and the detected voltage in the falling period and the rising period, respectively. Store V D as a digital value in memory.
【0061】また、偏差電圧記憶手段22は、メモリに
記憶した立下り期間および立上り期間の検出電圧VDの
検出電圧データVDM-、VDM+を、それぞれ立下り偏差電
圧検出手段24および立上り偏差電圧検出手段25に供
給する。Further, the deviation voltage storage means 22 stores the detection voltage data V DM− and V DM + of the detection voltage V D in the falling period and the rising period, which are stored in the memory, respectively into the falling deviation voltage detecting means 24 and the rising deviation. It is supplied to the voltage detecting means 25.
【0062】立下り偏差電圧検出手段24および立上り
偏差電圧検出手段25は、それぞれコンパレータ、最大
値を記憶するメモリ等で構成し、立下り、立上りパルス
検出手段23から提供される立下り情報TD、立上り情
報TUをトリガとして偏差電圧記憶手段22から提供さ
れる検出電圧データVDM-、VDM+を取込んで順次比較演
算し、より大きな検出電圧データVDM-、VDM+を記憶す
ることにより、最大偏差電圧VDMAX-および最大偏差電
圧VDMAX+を偏差出力手段26に提供する。The falling deviation voltage detecting means 24 and the rising deviation voltage detecting means 25 are respectively composed of a comparator, a memory for storing the maximum value, etc., and falling information T D provided from the falling / rising pulse detecting means 23. , The detection information V DM− , V DM + provided from the deviation voltage storage means 22 is triggered by the rising information T U , and sequentially compared and calculated to store larger detection voltage data V DM− , V DM +. Thus, the maximum deviation voltage V DMAX− and the maximum deviation voltage V DMAX + are provided to the deviation output means 26.
【0063】偏差出力手段26は演算増幅器等の比較回
路で構成し、周期検出手段27が出力するパルス電源1
5の周期に対応した周期信号TSに基づき、図4(a)
図に示すパルス一周期分(時間T)の最大偏差電圧V
DMAX-と最大偏差電圧VDMAX+の偏差(=VDMAX-−V
DMAX+)を演算し、偏差出力VDOを変位量変換手段18
に供給する。なお、最大偏差電圧VDMAX-と最大偏差電
圧VDMAX+は互いに符号が異なる値なので、VDMAX-およ
びVDMAX+の絶対値が等しいとすると、偏差出力VDOは
最大偏差電圧VDMAX-または最大偏差電圧VDMAX+の2倍
の値で検出できる。The deviation output means 26 is composed of a comparison circuit such as an operational amplifier, and the pulse power source 1 output by the cycle detection means 27 is used.
5A based on the periodic signal T S corresponding to the period of FIG.
Maximum deviation voltage V for one pulse cycle (time T) shown in the figure
Deviation between DMAX- and maximum deviation voltage V DMAX + (= V DMAX- −V
DMAX + ) is calculated, and the deviation output V DO is calculated as the displacement amount conversion means 18
Supply to. Since the maximum deviation voltage V DMAX- and the maximum deviation voltage V DMAX + have mutually different signs, if the absolute values of V DMAX- and V DMAX + are equal, the deviation output V DO is the maximum deviation voltage V DMAX- or the maximum deviation. It can be detected at a value twice the voltage V DMAX + .
【0064】変位量変換手段18は図6に示すものと同
じ構成で、理論値(演算値)または実験値に基づいて予
め設定した偏差出力VDO(=VDMAX-−VDMAX+)と、対
応する変位量Xのデータを記憶しておき、偏差出力手段
26から供給される偏差出力VDOに対応する変位量XO
を出力する。The displacement amount converting means 18 has the same structure as that shown in FIG. 6, and corresponds to the deviation output V DO (= V DMAX− −V DMAX + ) preset based on the theoretical value (calculated value) or the experimental value. The data of the displacement amount X to be stored is stored and the displacement amount X O corresponding to the deviation output V DO supplied from the deviation output means 26.
Is output.
【0065】周期検出手段27はタイマ回路等で構成
し、立下り、立上り検出手段23からの立下り情報
TD、立上り情報TUに基づいてパルス電源15のパルス
周期Tを検出し、周期信号TSを偏差出力手段26に出
力する。The period detecting means 27 is composed of a timer circuit or the like, detects the pulse period T of the pulse power supply 15 based on the falling information T D and the rising information T U from the falling and rising detecting means 23, and outputs the periodic signal. and outputs the T S to the differential output unit 26.
【0066】このように、請求項4に係る変位検出器の
偏差電圧検出手段21は、パルス電源15の立下り期間
中および立上り期間中に、それぞれ変位センサ11が検
出した検出電圧VDM-、VDM+を記憶し、それぞれ立下り
期間中および立上り期間中に記憶した検出電圧VDM-、
VDM+の最大値を最大偏差電圧VDMAX-、最大偏差電圧V
DMAX+として検出し、最大偏差電圧VDMAX-と最大偏差電
圧VDMAX+の偏差を演算して偏差出力VDOを求め、偏差
出力VDOに対応した変位量信号XOを出力するので、変
位の大きさをより高感度に検出できる。As described above, the deviation voltage detecting means 21 of the displacement detector according to the fourth aspect detects the detection voltage V DM− detected by the displacement sensor 11 during the falling period and the rising period of the pulse power supply 15, respectively. V DM + is stored, and the detection voltage V DM− stored during the falling period and the detected voltage stored during the rising period, respectively.
The maximum value of V DM + is the maximum deviation voltage V DMAX- , the maximum deviation voltage V
DMAX + detected as calculates the maximum deviation voltage V DMAX- and the maximum difference voltage V DMAX + deviation a deviation output V DO, since outputs a displacement signal X O corresponding to the differential output V DO, the size of the displacement Can be detected with higher sensitivity.
【0067】また、変位の方向は偏差出力VDOの符号に
基づいて設定し、例えば符号がマイナス(−)ならば図
2のX1方向に対応させ、符号がプラス(+)ならば図
2のX2方向に対応させることができる。The direction of displacement is set based on the sign of the deviation output V DO . For example, if the sign is minus (-), it corresponds to the X1 direction of FIG. 2, and if the sign is plus (+), it is shown in FIG. It can correspond to the X2 direction.
【0068】なお、上記実施例では変位センサのコアを
非磁性体で構成したが、磁性体で構成してもよい。Although the core of the displacement sensor is made of a non-magnetic material in the above embodiment, it may be made of a magnetic material.
【0069】また、偏差電圧検出手段は、変位センサが
検出したアナログの過渡応答電圧の偏差(検出電圧
VD)をA/D変換変換器でディジタル値に変換して処
理したが、過渡応答電圧をアナログ値のまま処理するこ
ともできる。図8にアナログ回路で構成した偏差電圧検
出手段の一実施例ブロック構成図を示す。Further, the deviation voltage detecting means converts the deviation (detection voltage V D ) of the analog transient response voltage detected by the displacement sensor into a digital value by the A / D conversion converter and processes it. Can also be processed as an analog value. FIG. 8 shows a block diagram of an embodiment of the deviation voltage detecting means constituted by an analog circuit.
【0070】図8において、偏差電圧検出手段31は、
変位センサ11で検出した過渡応答電圧VS1、VS2それ
ぞれの立下り期間(図4の(b)図参照)の時間T1に
おける電圧値(ボトム電圧)をアナログ値で保持するボ
トムホールド回路32および33と、ボトムホールド回
路32および33からのそれぞれのボトム電圧VD1、V
D2の偏差(VD1−VD2)を演算して増幅し、変位量信号
Xを出力する比較回路33とから構成する。In FIG. 8, the deviation voltage detecting means 31 is
A bottom hold circuit 32 that holds an analog value of the voltage value (bottom voltage) at the time T 1 of each falling period (see FIG. 4B) of each of the transient response voltages V S1 and V S2 detected by the displacement sensor 11. And 33 and the bottom voltages V D1 and V D from the bottom hold circuits 32 and 33, respectively.
It is composed of a comparator circuit 33 which calculates and amplifies a deviation (V D1 −V D2 ) of D2 and outputs a displacement amount signal X.
【0071】偏差電圧検出手段31はアナログ回路で構
成するため、変位量信号Xの絶対値から変位量、変位量
信号Xの符号(プラス、マイナス)から変位方向を検出
する。Since the deviation voltage detecting means 31 is composed of an analog circuit, it detects the displacement amount from the absolute value of the displacement amount signal X, and detects the displacement direction from the sign (plus or minus) of the displacement amount signal X.
【0072】次に、変位検出器をトルク検出器に応用し
た実施例を示す。図9にこの発明に係る変位検出器を応
用したトルク検出器の要部ブロック構成図、図10にト
ルク検出器の各機能部波形図を示す。図9において、ト
ルク検出器40は、変位検出器を応用したトルクセンサ
41およびトルク検出手段46から構成する。Next, an embodiment in which the displacement detector is applied to a torque detector will be shown. FIG. 9 shows a block diagram of a main part of a torque detector to which the displacement detector according to the present invention is applied, and FIG. 10 shows a waveform diagram of each functional part of the torque detector. In FIG. 9, the torque detector 40 is composed of a torque sensor 41 and a torque detecting means 46 to which a displacement detector is applied.
【0073】トルクセンサ41は、インプットシャフト
42、アウトプットシャフト43、インプットシャフト
42とアウトプットシャフト43を結合するトーション
バー(図省略)、変位センサを構成するコア44、コイ
ル45A、コイル45Bおよび図示しない2個の基準抵
抗を備える。The torque sensor 41 includes an input shaft 42, an output shaft 43, a torsion bar (not shown) connecting the input shaft 42 and the output shaft 43, a core 44, a coil 45A, a coil 45B and a not-shown 2 which constitute a displacement sensor. Equipped with individual reference resistors.
【0074】インプットシャフト42とアウトプットシ
ャフト43にトルク(T)が作用すると、トーションバ
ーにトルク(T)に比例した捩れ角(θT)が生じる。
この捩れ角(θT)は、両シャフトに結合されたピンと
コア44に設けられたスパイラル溝および縦溝(いずれ
も図示せず)の作用により、シャフト軸方向のコア44
の変位(xT)に変換される。When the torque (T) acts on the input shaft 42 and the output shaft 43, a torsion angle (θ T ) proportional to the torque ( T ) is generated in the torsion bar.
This twist angle (θ T ) is determined by the action of the pin connected to both shafts and the spiral groove and vertical groove (not shown) provided in the core 44, and the core 44 in the axial direction of the shaft 44 is rotated.
To the displacement (x T ) of
【0075】コア44の変位(xT)は、既に説明した
コイル45A、コイル45Bのインダクタンス変化(Δ
LT)として検出され、インダクタンス変化(ΔLT)は
コイル45A、コイル45Bおよび2個の基準抵抗で構
成されるブリッジ回路に印加されるパルス電圧VIの過
渡応答電圧VS1、VS2として検出する。The displacement (x T ) of the core 44 corresponds to the change in the inductance of the coils 45A and 45B (Δ
L T ) and the inductance change (ΔL T ) is detected as transient response voltages V S1 and V S2 of the pulse voltage V I applied to the bridge circuit composed of the coil 45A, the coil 45B and two reference resistors. To do.
【0076】このように、この発明に係る変位検出器の
変位センサを用いてトルクセンサ41を構成し、トルク
(T)を捩れ角(θT)に変換し、この捩れ角(θT)を
コア44の変位(xT)に変換することができるので、
この変位(xT)から対応するコイルのインダクタンス
変化(ΔLT)として検知し、インダクタンス変化(Δ
LT)を対応するパルス過渡応答電圧VS1、VS2として
検出することができる。As described above, the torque sensor 41 is constructed by using the displacement sensor of the displacement detector according to the present invention, the torque (T) is converted into the twist angle (θ T ), and the twist angle (θ T ) is converted. Since it can be converted into the displacement (x T ) of the core 44,
Detected from this displacement (x T ) as the inductance change (ΔL T ) of the corresponding coil, the inductance change (ΔL T )
L T ) can be detected as the corresponding pulse transient response voltages V S1 and V S2 .
【0077】トルク検出手段46は、トルクセンサ41
にパルス電圧VIを供給するパルス発生回路51と、ト
ルクセンサ41で検出したパルス過渡応答電圧VS1、V
S2に含まれる高周波のスイッチングノイズ(NS)を除
去してパルス過渡応答電圧Va(VS1、VS2)を出力す
る1次のCRローパスフィルタ47A、47Bと、パル
ス過渡応答電圧Va(VS1、VS2)のボトム電圧VT1、
VT2を保持して出力するボトムホールド回路48A、4
8Bと、ボトム電圧VT2とボトム電圧VT1との偏差(V
T2−VT1)を演算してゲインG1だけ増幅し、偏差電圧
Vbを出力する差動増幅器49と、偏差電圧Vbを反転
させ、基準電圧(例えば、2.5V)シフトさせたトル
ク検出電圧VTを検出する反転増幅器50とから構成す
る。The torque detecting means 46 is the torque sensor 41.
Pulse generator circuit 51 for supplying a pulse voltage V I to the pulse transient response voltages V S1 and V S detected by the torque sensor 41.
The high-frequency switching noise (N S ) contained in S2 is removed to output the pulse transient response voltage Va (V S1 , V S2 ) and the primary CR low-pass filters 47A and 47B, and the pulse transient response voltage Va (V S1 , V S2 ) bottom voltage V T1 ,
Bottom hold circuits 48A and 4A for holding and outputting V T2
8B, the deviation between the bottom voltage V T2 and the bottom voltage V T1 (V
T2- V T1 ) to calculate a gain G1 and amplify the gain G1 to output a deviation voltage Vb, and the deviation voltage Vb is inverted and the reference voltage (for example, 2.5 V) shifted torque detection voltage V And an inverting amplifier 50 for detecting T.
【0078】このように、トルク検出手段46は、トル
クセンサ41に作用するトルク(T)(絶対値および方
向)に対応する値をトルク検出電圧VTの絶対値で検出
するよう構成し、例えばトルク(T)が左方向に作用す
るとトルク検出電圧VTが減少し、右方向に作用すると
トルク検出電圧VTが増加するような図10の(f)図
に示す直線で表わされる特性を設定する。In this way, the torque detecting means 46 is configured to detect the value corresponding to the torque (T) (absolute value and direction) acting on the torque sensor 41 by the absolute value of the torque detection voltage V T , for example, When the torque (T) acts in the left direction, the torque detection voltage V T decreases, and when it acts in the right direction, the torque detection voltage V T increases, and the characteristic represented by the straight line shown in FIG. 10 (f) is set. To do.
【0079】したがって、予め設計値や実験値に基づい
て求めたトルク(T)とトルク検出電圧VTの変換テー
ブルをデータとしてROM等のメモリに記憶しておけ
ば、トルク検出手段46が検出したトルク検出電圧VT
(絶対値)に基づいてトルクセンサ41に作用するトル
ク(T)を検出することができる。Therefore, if the conversion table of the torque (T) obtained based on the design value or the experimental value in advance and the torque detection voltage V T is stored in the memory such as the ROM as the data, the torque detecting means 46 detects it. Torque detection voltage V T
The torque (T) acting on the torque sensor 41 can be detected based on the (absolute value).
【0080】図10にトルク検出手段46の機能ブロッ
クの波形を示す。(a)図はパルス発生回路51のパル
ス電圧VI出力波形、(b)図はトルクセンサ41のブ
リッジ回路で検出したパルス過渡応答電圧VS1、VS2波
形であり、パルス電圧VIの立下りおよび立上りにパル
ス発生回路51の出力回路51B(例えば、スイッチン
グ・トランジスタ)のスイッチングノイズNSが含まれ
る。FIG. 10 shows waveforms of functional blocks of the torque detecting means 46. (A) drawing the pulse voltage V I output waveform of the pulse generating circuit 51, (b) drawing a pulse transient response voltage V S1, V S2 waveform detected by the bridge circuit of the torque sensor 41, the pulse voltage V I stand The switching noise N S of the output circuit 51B (for example, switching transistor) of the pulse generation circuit 51 is included in the falling and rising.
【0081】(c)図はローパスフィルタ47A、47
Bを通過したパルス過渡応答電圧Va(VS1、VS2)波
形であり、スイッチングノイズNSが除去される。
(d)図にボトム電圧VT1およびボトム電圧VT2波形を
示し、(e)図はボトム電圧VT2とボトム電圧VT1の偏
差(VT2−VT1)をゲインG1だけ増幅した偏差電圧V
b波形を示す。FIG. 10C shows the low-pass filters 47A and 47A.
It is the waveform of the pulse transient response voltage Va (V S1 , V S2 ) that has passed through B, and the switching noise N S is removed.
The waveforms of the bottom voltage V T1 and the bottom voltage V T2 are shown in the diagram (d), and the deviation voltage V obtained by amplifying the deviation (V T2 −V T1 ) between the bottom voltage V T2 and the bottom voltage V T1 by the gain G1 is shown in the diagram (e).
The b waveform is shown.
【0082】(f)図は偏差電圧Vbを反転させ基準電
圧(例えば、2.5V)だけシフトさせたトルク検出電
圧VT波形であり、トルク(T)が0の場合にはトルク
検出電圧VTが基準電圧(2.5V)で、トルク(T)
の方向と大きさに対応してリニアに変化する。FIG. 6 (f) shows a torque detection voltage V T waveform obtained by inverting the deviation voltage Vb and shifting it by a reference voltage (for example, 2.5 V). When the torque (T) is 0, the torque detection voltage V T is shown. T is the reference voltage (2.5V) and torque (T)
Changes linearly according to the direction and size of.
【0083】なお、実施例ではトルク検出手段46をア
ナログ回路で構成したが、ディジタル回路で構成するこ
ともできる。また、マイクロプロセッサを用いて演算、
判定等の処理をソフト対応で構成することもできる。Although the torque detecting means 46 is composed of an analog circuit in the embodiment, it may be composed of a digital circuit. In addition, calculation using a microprocessor,
It is also possible to configure processing such as determination with software.
【0084】[0084]
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る変
位検出器は、変位可能なコア、コアの変位量に対応して
インダクタンスが変化する検出コイル、基準抵抗を備
え、パルス電源を印加してインダクタンスと基準抵抗に
対応した過渡応答電圧を検出することにより、インダク
タンスの絶対値を検出でき、コアの変位に対するインダ
クタンスの変化をパルス電源の波高値および周波数と無
関係に検出することができるので、コアの変位量を正確
に検出することができる。As described above, the displacement detector according to the present invention comprises a displaceable core, a detection coil whose inductance changes according to the amount of displacement of the core, and a reference resistance. By detecting the transient response voltage corresponding to the inductance and reference resistance, the absolute value of the inductance can be detected, and the change in the inductance with respect to the core displacement can be detected independently of the peak value and frequency of the pulse power supply. It is possible to accurately detect the amount of displacement of the core.
【0085】また、この発明に係る変位検出器は、変位
可能なコア、コアの変位量に対応してインダクタンスが
差動で変化する2個の検出コイル、2個の基準抵抗、偏
差電圧検出手段を備え、2個の検出コイルと2個の基準
抵抗とでブリッジ回路を構成し、ブリッジ回路にパルス
電源を印加してブリッジ回路出力の過渡応答電圧を検出
し、過渡応答電圧の偏差電圧を偏差電圧検出手段で検出
し、コアの変位量に対するインダクタンスの差動変化を
過渡応答電圧で検出することができるので、コアの変位
量を高感度に検出することができる。Further, the displacement detector according to the present invention comprises a displaceable core, two detection coils whose inductance changes differentially corresponding to the amount of displacement of the core, two reference resistors, and deviation voltage detection means. Is equipped with two detection coils and two reference resistors to form a bridge circuit, and a pulse power supply is applied to the bridge circuit to detect the transient response voltage of the bridge circuit output, and the deviation voltage of the transient response voltage is deviated. Since the differential response of the inductance with respect to the displacement amount of the core can be detected by the transient response voltage by the voltage detection means, the displacement amount of the core can be detected with high sensitivity.
【0086】さらに、この発明に係る変位検出器の偏差
電圧検出手段は、過渡応答電圧の偏差の最大値を検出す
る最大偏差電圧演算手段と、最大偏差電圧演算手段から
の最大偏差電圧を変位量に変換する変位量変換手段とを
備え、変位量を大きな電圧値で検出することができるの
で、高感度の変位検出器を実現することができる。Further, the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the present invention detects the maximum value of the deviation of the transient response voltage and the maximum deviation voltage from the maximum deviation voltage calculating means. Since the displacement amount converting means for converting into the displacement amount can be detected and the displacement amount can be detected with a large voltage value, a highly sensitive displacement detector can be realized.
【0087】また、この発明に係る変位検出器の偏差電
圧検出手段は、立下り最大偏差電圧検出手段、立上り最
大偏差電圧検出手段、偏差出力手段、変位量変換手段を
備え、パルスの立下りおよび立上り時の過渡応答電圧の
偏差の最大値を検出し、さらにそれぞれの最大値の偏差
を検出して変位量に変換して、変位量をより大きな電圧
値で検出することができるので、より高感度の変位検出
器を実現することができる。Further, the deviation voltage detecting means of the displacement detector according to the present invention is provided with a falling maximum deviation voltage detecting means, a rising maximum deviation voltage detecting means, a deviation output means, and a displacement amount converting means, and a pulse falling and The maximum value of the deviation of the transient response voltage at the time of rising is detected, and the deviation of each maximum value is detected and converted into the displacement amount, so that the displacement amount can be detected with a larger voltage value. A sensitive displacement detector can be realized.
【0088】よって、高精度および高感度で変位量を検
出することができる変位検出器を提供することができ
る。Therefore, it is possible to provide a displacement detector capable of detecting a displacement amount with high accuracy and high sensitivity.
【図1】請求項1に係る変位検出器の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a displacement detector according to claim 1.
【図2】請求項2に係る変位検出器の構成図FIG. 2 is a configuration diagram of a displacement detector according to claim 2;
【図3】変位センサの一実施例構成図FIG. 3 is a block diagram of an embodiment of a displacement sensor.
【図4】請求項2に係る変位検出器の過渡応答電圧波形
図FIG. 4 is a transient response voltage waveform diagram of the displacement detector according to claim 2;
【図5】請求項2に係る変位検出器の偏差電圧検出手段
を含めた全体ブロック構成図FIG. 5 is an overall block configuration diagram including a deviation voltage detecting means of the displacement detector according to claim 2;
【図6】請求項3に係る変位検出器の偏差電圧検出手段
の要部ブロック構成図FIG. 6 is a block diagram of a main part of a deviation voltage detecting means of a displacement detector according to a third aspect of the present invention.
【図7】請求項4に係る変位検出器の偏差電圧検出手段
の要部ブロック構成図FIG. 7 is a block diagram of a main part of a deviation voltage detecting means of the displacement detector according to claim 4;
【図8】アナログ回路で構成した偏差電圧検出手段の一
実施例ブロック構成図FIG. 8 is a block configuration diagram of an embodiment of a deviation voltage detection unit configured by an analog circuit.
【図9】この発明に係る変位検出器を応用したトルク検
出器の要部ブロック構成図FIG. 9 is a block diagram of a main part of a torque detector to which the displacement detector according to the present invention is applied.
【図10】トルク検出器の各機能部波形図FIG. 10 is a waveform diagram of each functional unit of the torque detector.
【図11】従来の変位検出器の要部構成図FIG. 11 is a configuration diagram of a main part of a conventional displacement detector.
1,10…変位検出器、2,12A,12B,45A,
45B…検出コイル、3,13,44…コア、5、15
…パルス電源、11…変位センサ、14…ブリッジ回
路、16,21,31…偏差電圧検出手段、16A,2
2…偏差電圧記憶手段、16B…立下りパルス検出手
段、16C…タイマ手段、17…最大偏差電圧演算手
段、18…変位量変換手段、23…立下り、立上りパル
ス検出手段、24…立下り偏差電圧検出手段、25…立
上り偏差電圧検出手段、26…偏差出力手段、27…周
期検出手段、32,33,48A,48B…ボトムホー
ルド回路、33…比較回路、40…トルク検出器、41
…トルクセンサ、46…トルク検出手段、L,L1,L
2…インダクタンス、RF…基準抵抗、TD…立下り情
報、TS…周期信号、TU…立上り情報、VI…パルス電
源波高値、VD…検出電圧、VDM,VDM-,VDM+…検出
電圧データ、VDMAX-,VDMAX+…最大偏差電圧、VDO…
偏差出力、VO,VO1,VS1,VS2…過渡応答電圧、X
1,X2…変位、X,XO…変位量信号。1, 10 ... Displacement detector, 2, 12A, 12B, 45A,
45B ... Detection coil, 3, 13, 44 ... Core, 5, 15
... pulse power source, 11 ... displacement sensor, 14 ... bridge circuit, 16, 21, 31 ... deviation voltage detecting means, 16A, 2
2 ... Deviation voltage storage means, 16B ... Falling pulse detecting means, 16C ... Timer means, 17 ... Maximum deviation voltage calculating means, 18 ... Displacement amount converting means, 23 ... Falling / rising pulse detecting means, 24 ... Falling deviation Voltage detection means, 25 ... Rising deviation voltage detection means, 26 ... Deviation output means, 27 ... Cycle detection means, 32, 33, 48A, 48B ... Bottom hold circuit, 33 ... Comparison circuit, 40 ... Torque detector, 41
... torque sensor, 46 ... torque detecting means, L, L1, L
2 ... Inductance, R F ... Reference resistance, T D ... Fall information, T S ... Period signal, T U ... Rise information, V I ... Pulse power supply peak value, V D ... Detection voltage, V DM , V DM- , V DM + ... detection voltage data, V DMAX- , V DMAX + ... maximum deviation voltage, V DO ...
Deviation output, V O , V O1 , V S1 , V S2 ... Transient response voltage, X
1, X2 ... Displacement, X, XO ... Displacement amount signal.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 順一 埼玉県和光市中央1丁目4番1号 株式会 社本田技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Junichi Yoshida 1-4-1 Chuo, Wako City, Saitama Stock Company Honda R & D Co., Ltd.
Claims (4)
置され、コアの変位に対応してインダクタンスが変化す
る検出コイルと、この検出コイルと直列に接続される基
準抵抗と、この基準抵抗と前記検出コイルの直列回路の
両端に印加するパルス電源とを備え、前記直列回路の前
記基準抵抗両端の過渡応答電圧に基づいて前記コアの変
位量を検出することを特徴とする変位検出器。1. A displaceable core, a detection coil which is arranged in the vicinity of this core and whose inductance changes according to the displacement of the core, a reference resistance connected in series with this detection coil, and this reference resistance. And a pulse power supply applied to both ends of a series circuit of the detection coil, and detecting the displacement amount of the core based on a transient response voltage across the reference resistance of the series circuit.
と、中立位置から前記コアの変位方向に対称に配置さ
れ、コアの変位に対応してインダクタンスが差動で変化
する2個の検出コイルと、この2個の検出コイルのそれ
ぞれに直列に接続される2個の基準抵抗と、この2個の
基準抵抗と前記2個の検出コイルから構成されるブリッ
ジ回路と、このブリッジ回路に印加するパルス電源と、
前記ブリッジ回路の前記2個の基準抵抗それぞれの両端
の過渡応答電圧の偏差電圧を検出する偏差電圧検出手段
とを備え、前記偏差電圧に基づいて前記コアの変位量と
変位方向を検出することを特徴とする変位検出器。2. A core which is displaceable in both directions from a neutral position, and two detection coils which are symmetrically arranged in the displacement direction of the core from the neutral position and whose inductance changes differentially in response to the displacement of the core. , Two reference resistors connected in series to each of the two detection coils, a bridge circuit composed of the two reference resistors and the two detection coils, and a pulse applied to the bridge circuit Power supply,
Deviation voltage detecting means for detecting a deviation voltage of the transient response voltage across each of the two reference resistors of the bridge circuit, and detecting the displacement amount and the displacement direction of the core based on the deviation voltage. Characteristic displacement detector.
準抵抗それぞれの両端の過渡応答電圧の偏差の最大値を
検出する最大偏差電圧演算手段と、この最大偏差電圧演
算手段からの最大偏差電圧を変位量に変換する変位量変
換手段とを備えたことを特徴とする請求項2記載の変位
検出器。3. The maximum deviation voltage calculating means for detecting the maximum deviation of the transient response voltage across the respective two reference resistors, and the maximum deviation from the maximum deviation voltage calculating means. The displacement detector according to claim 2, further comprising a displacement amount conversion unit that converts a voltage into a displacement amount.
準抵抗それぞれの両端の立下り過渡応答電圧の偏差の最
大値を検出する立下り最大偏差電圧検出手段と、前記2
個の基準抵抗それぞれの両端の立上り過渡応答電圧の偏
差の最大値を検出する立上り最大偏差電圧検出手段と、
前記立下り最大偏差電圧検出手段からの出力と前記立上
り最大偏差電圧検出手段からの出力との最大値偏差を出
力する偏差出力手段と、この最大値偏差を変位量に変換
する変位量変換手段とを備えたことを特徴とする請求項
2記載の変位検出器。4. The maximum deviation voltage detecting means for detecting the maximum deviation of the falling transient response voltage across both ends of each of the two reference resistors, the deviation voltage detecting means;
Rising maximum deviation voltage detection means for detecting the maximum value of the deviation of the rising transient response voltage across each of the reference resistors,
Deviation output means for outputting a maximum value deviation between the output from the maximum falling deviation voltage detecting means and the output from the maximum rising deviation voltage detecting means; and a displacement amount converting means for converting the maximum deviation into a displacement amount. The displacement detector according to claim 2, further comprising:
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13053994A JP3330450B2 (en) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | Displacement detector |
US08/458,280 US5712563A (en) | 1994-06-13 | 1995-06-02 | Steering torque sensor utilizing a displacement detector having a pulse power supply |
GB9511799A GB2290384B (en) | 1994-06-13 | 1995-06-09 | Displacement detector |
DE19521531A DE19521531C2 (en) | 1994-06-13 | 1995-06-13 | Stroke detector and steering torque sensor using this |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13053994A JP3330450B2 (en) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | Displacement detector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07332910A true JPH07332910A (en) | 1995-12-22 |
JP3330450B2 JP3330450B2 (en) | 2002-09-30 |
Family
ID=15036711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13053994A Expired - Lifetime JP3330450B2 (en) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | Displacement detector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3330450B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19858147A1 (en) * | 1998-06-24 | 1999-12-30 | Mitsubishi Electric Corp | Circuit for detecting inductance alterations of coil, used to determine position of object on basis of magnetic flux alteration |
US6121769A (en) * | 1997-08-22 | 2000-09-19 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for detecting malfunction of displacement detector |
JP2011075497A (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | Position detecting method of movable element of electromagnetic actuator, and detection device therefor |
JP2017173320A (en) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | Detector circuit for electromagnetic inductive displacement sensor, in particular for touch plate |
-
1994
- 1994-06-13 JP JP13053994A patent/JP3330450B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6121769A (en) * | 1997-08-22 | 2000-09-19 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for detecting malfunction of displacement detector |
DE19858147A1 (en) * | 1998-06-24 | 1999-12-30 | Mitsubishi Electric Corp | Circuit for detecting inductance alterations of coil, used to determine position of object on basis of magnetic flux alteration |
DE19858147C2 (en) * | 1998-06-24 | 2002-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | Induktivitätsänderungs detection circuit |
JP2011075497A (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | Position detecting method of movable element of electromagnetic actuator, and detection device therefor |
JP2017173320A (en) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | Detector circuit for electromagnetic inductive displacement sensor, in particular for touch plate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3330450B2 (en) | 2002-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5712563A (en) | Steering torque sensor utilizing a displacement detector having a pulse power supply | |
JP3691551B2 (en) | Current sensor based on compensation principle | |
KR20070030130A (en) | Exciting coil driving circuit of magnetic sensor | |
JP3248832B2 (en) | Sensor circuit | |
US4896110A (en) | Differential transformer for detecting the displacement of a probe using the combined output of two modes of operation | |
JP4623289B2 (en) | Current sensor | |
JPH07332910A (en) | Displacement detector | |
JP4281124B2 (en) | Peak detector | |
JP3161133B2 (en) | Force detection device | |
JP2004239828A (en) | Flux gate magnetic field sensor | |
JP3399185B2 (en) | Magnetic detection device and magnetic detection method | |
US10371759B2 (en) | Magnetic field detection sensor | |
JP2007121125A (en) | Current detector and capacitance measurement device | |
JP4672277B2 (en) | measuring device | |
CN117388562B (en) | Variable magneto-inductive current sensor and calibration method thereof | |
JP4214574B2 (en) | Sensor circuit | |
JPS5868615A (en) | Output circuit of magnetic type rotary encoder | |
JP2000338207A (en) | Driving circuit of magnetic impedance effect element | |
JP2532351B2 (en) | Position detector using differential transformer | |
JP2002006014A (en) | Magnetic sensor | |
JP3794122B2 (en) | Magnetic detector | |
JP2816528B2 (en) | Torque detector | |
JPH0894383A (en) | Displacement detector | |
JPH0537248Y2 (en) | ||
JPH09166437A (en) | Magnetism detection apparatus and signal conversion method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020709 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080719 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090719 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100719 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100719 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110719 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110719 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120719 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120719 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130719 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140719 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |