JPH073266Y2 - Vertical muffle furnace - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、たとえば炭素系の複合材料を不活性ガスのも
とで高温焼成するための竪型マッフル炉、特に、大形の
被処理物を処理する場合に採用して好適なマッフル炉に
関するものである。[Detailed Description of the Invention] "Industrial field of application" The present invention relates to a vertical muffle furnace for burning a carbon-based composite material at high temperature under an inert gas, especially for a large object to be treated. The present invention relates to a muffle furnace that is suitable for use in the treatment of

「従来の技術」 従来より、被処理物を不活性ガス雰囲気下で熱処理する
ための炉として各種のマッフル炉が実用化されている。
マッフル炉は、真空を保持可能な耐熱金属からなるマッ
フル（真空容器）を備えていて、その内部に被処理物が
収納されるようになっており、マッフル内を一旦真空と
した後に不活性ガスを導入することでマッフル内を不活
性ガスに置換し、その状態でマッフルの外部から加熱を
行って被処理物を加熱処理するようにしたものである。"Prior Art" Conventionally, various muffle furnaces have been put into practical use as furnaces for heat-treating an object under an inert gas atmosphere.
The muffle furnace is equipped with a muffle (vacuum container) made of heat-resistant metal capable of holding a vacuum, and the object to be treated is housed inside the muffle furnace. Is introduced to replace the inside of the muffle with an inert gas, and in that state, heating is performed from the outside of the muffle to heat the object to be treated.

「考案が解決しようとする課題」 ところで、現在までに実用化されている上記のようなマ
ッフル炉はいずれも実験室規模の小形のものに過ぎず、
大形の被処理物を工業的規模で処理し得るものはいまだ
実用化が困難であった。"Problems to be solved by the invention" By the way, all of the above-mentioned muffle furnaces that have been put into practical use are small laboratory-scale ones.
It was still difficult to put into practical use a large-scale object to be processed on an industrial scale.

それは、マッフルを大形化した場合には、マッフルを安
定して支持することが困難になること、大形大重量の被
処理物をマッフル内に効率的かつ安定に装入しかつそこ
から取り出すための有効な装入装置の開発が不可欠であ
ること、マッフルとその開口部を塞ぐための炉蓋との間
のシール性能を確保することが困難になること、等に起
因しており、それらの点をいかにして解決するかが大形
のマッフル炉を実用化するうえでの課題であった。It is difficult to support the muffle stably when the size of the muffle is increased. Efficiently and stably load and remove the large and heavy object to be processed from the muffle. It is necessary to develop an effective charging device for this purpose, and it becomes difficult to secure the sealing performance between the muffle and the furnace lid for closing its opening. How to solve this point was a problem in putting a large-sized muffle furnace into practical use.

本考案は、上記の課題を解決し、特に大形の被処理物を
工業的規模で処理し得るマッフル炉を提供することを目
的としている。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a muffle furnace capable of processing a large-sized object on an industrial scale.

「課題を解決するための手段」 本考案は、下端に開口部を有するとともにその周囲にフ
ランジが設けられている竪型円筒状のマッフルと、その
マッフルを床面より高い位置に支持するための架台と、
前記マッフルの直下において昇降して前記開口部を開閉
する炉蓋と、その炉蓋を昇降させるためのリフタと、前
記炉蓋の上面側に設けられた炉床とを具備し、前記マッ
フルは、前記フランジと前記架台の上部とを連結する連
結部材を介して前記架台より吊り下げられた形態で支持
される一方、前記炉蓋は、下端に開口部を有するととも
にその周囲に前記マッフルのフランジに密着するフラン
ジが設けられた竪型円筒状とされていて、この炉蓋をマ
ッフルの下部内側に装着するとともにそれらのフランジ
どうしを密着させることでマッフルの開口部を閉じるよ
うに構成し、かつ、前記フランジ間にシール部材を介装
するとともに、それらフランジの冷却手段を備えてなる
ことを特徴とするものである。[Means for Solving the Problems] The present invention is directed to a vertical cylindrical muffle having an opening at the lower end and a flange provided around the opening, and for supporting the muffle at a position higher than the floor surface. A cradle,
A furnace lid that moves up and down directly below the muffle to open and close the opening, a lifter for raising and lowering the furnace lid, and a hearth provided on the upper surface side of the furnace lid, the muffle, While being supported in a form suspended from the gantry via a connecting member that connects the flange and the upper part of the gantry, the furnace lid has an opening at the lower end and a flange of the muffle around the opening. It is configured as a vertical cylindrical shape provided with a flange to be in close contact with, and this furnace lid is attached to the inside of the lower part of the muffle, and the flanges are in close contact with each other to close the opening of the muffle, and, A seal member is interposed between the flanges, and cooling means for the flanges is provided.

「作用」 本考案のマッフル炉では、炉蓋の上面側に設けた炉床に
被処理物を載置し、リフタによって炉蓋を上昇させるこ
とで被処理物をマッフル内に装入するとともに、炉蓋を
マッフルの下部内側に装着した状態でマッフルおよび炉
蓋の双方に設けられているフランジどうしを密着させ、
それらの間に介装されたシール部材によってマッフルを
真空保持可能に閉じる。[Operation] In the muffle furnace of the present invention, the object to be processed is placed on the hearth provided on the upper surface side of the furnace lid, and the object is loaded into the muffle by raising the furnace lid by the lifter. With the furnace lid attached to the inside of the lower part of the muffle, the flanges provided on both the muffle and the furnace lid are in close contact,
A seal member interposed between them closes the muffle so that it can be held in a vacuum.

これにより、上記炉蓋が装着されるマッフルの下部は上
部に比して十分に低温に保持されるとともに、上記のフ
ランジは冷却手段によって冷却されるので、シール部材
の熱損傷が防止されて真空シール性能が確保される。As a result, the lower portion of the muffle to which the furnace lid is attached is kept at a temperature sufficiently lower than that of the upper portion, and the flange is cooled by the cooling means, so that heat damage to the seal member is prevented and the vacuum is reduced. The sealing performance is secured.

また、マッフルの下端に設けられたフランジが連結部材
を介して架台に連結されることで、マッフルは架台より
吊り下げられた形態で設けられていることから、マッフ
ルはそれ自身の荷重が加わることがないことは勿論、被
処理物は炉蓋に支持され、その炉蓋はマッフルのフラン
ジもしくはリフタに支持されるので、それらの重量もマ
ッフルには加わることがなく、マッフルに無理な力が加
わったり熱応力が生じることがない。Further, since the flange provided at the lower end of the muffle is connected to the gantry via the connecting member, the muffle is provided in a form suspended from the gantry, so that the muffle is applied with its own load. Of course, since the object to be processed is supported by the furnace lid and the furnace lid is supported by the flange or lifter of the muffle, their weight is not added to the muffle, and an unreasonable force is applied to the muffle. No thermal stress is generated.

「実施例」 以下、本考案の一実施例を第１図および第２図を参照し
て説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.

第１図は本実施例のマッフル炉の全体概略構成を示す立
断面図、第２図はその要部拡大図であって、図中符号１
は炉体、２は炉体１の内部に設けられたマッフル（真空
容器）、３は炉蓋、４は炉体１およびマッフル２を床面
より高い位置に支持している架台、５は上記の炉蓋３を
昇降させるためのリフタである。FIG. 1 is an elevational sectional view showing the overall schematic structure of the muffle furnace of this embodiment, and FIG.
Is a furnace body, 2 is a muffle (vacuum container) provided inside the furnace body, 3 is a furnace lid, 4 is a pedestal supporting the furnace body 1 and the muffle 2 at a position higher than the floor surface, and 5 is the above 2 is a lifter for moving the furnace lid 3 up and down.

上記の炉体１は、内面全体に断熱材６が取り付けられて
いるとともに、その内側にはマッフル２を外側から加熱
するための多数のヒータ７…が取り付けられている。そ
れらヒータ７…は、ゾーンコントロールが可能なように
複数のゾーンに分けておくことが好ましい。In the furnace body 1, the heat insulating material 6 is attached to the entire inner surface, and a large number of heaters 7 for heating the muffle 2 from the outside are attached to the inside thereof. It is preferable that the heaters 7 are divided into a plurality of zones so that zone control can be performed.

上記のマッフル２は耐熱金属からなるもので、下端に開
口部を有するとともに上面が凸状の鏡板とされた竪型円
筒状とされている。また、上記炉蓋３は、マッフル２と
同様に耐熱金属からなり、その形状は、マッフル２と同
様に下端に開口部を有するとともに上面が凸状の鏡板と
された竪型円筒状とされているが、上記マッフル２より
は小径かつ高さ寸法が低くされていて、この炉蓋３全体
がマッフル２の下部内側に装着されるようになってい
る。The muffle 2 is made of a heat-resistant metal and has a vertical cylindrical shape having an opening at the lower end and a convex end plate. Like the muffle 2, the furnace lid 3 is made of a heat-resistant metal and has a vertical cylindrical shape with an opening at the lower end and a convex end plate like the muffle 2. However, the muffle 2 has a smaller diameter and a smaller height, and the entire furnace lid 3 is mounted inside the lower portion of the muffle 2.

マッフル２の下端、炉蓋３の下端には、その詳細を第２
図に示すように、それぞれ全周にわたってフランジ8,9
が形成されているとともに、マッフル２のフランジ８に
は炉蓋３をクランプするためのクランパ10…が取り付け
られていて、炉蓋３がマッフル２の下部内側に装着され
るとそれらフランジ8,9どうしが密着するようになって
おり、その状態でクランパ10…により炉蓋３がマッフル
２に対して締結されるようになっている。そして、その
ようにして炉蓋３が閉じられたときには、双方のフラン
ジ8,9相互間に介装されているＯリング（シール部材）1
1によってマッフル２内の真空が保持されるとともに、
双方のフランジ8,9は、内部に冷却水が通される水冷部
（冷却手段）12,13によって十分に低温に保持され、こ
れによってＯリング11が熱損傷を受けることが防止され
るようになっている。The details on the lower end of the muffle 2 and the lower end of the furnace lid 3 are
As shown in the figure, flanges 8 and 9 are
And a clamper 10 for clamping the furnace lid 3 is attached to the flange 8 of the muffle 2, and when the furnace lid 3 is mounted inside the lower portion of the muffle 2, these flanges 8 and 9 are formed. The furnace lid 3 and the muffle 2 are fastened to each other by the clampers 10 ... In this state. Then, when the furnace lid 3 is closed in this way, the O-ring (sealing member) 1 interposed between the flanges 8 and 9 of both sides.
The vacuum in the muffle 2 is maintained by 1 and
Both flanges 8 and 9 are kept at a sufficiently low temperature by water cooling parts (cooling means) 12 and 13 through which cooling water is passed, so that O-ring 11 is prevented from being damaged by heat. Has become.

上記炉蓋３のフランジ９上面には炉床サポート20が立設
され、それら炉床サポート20の上端部には炉床21が設け
られていて、この炉床21上に被処理物22が載置されるよ
うになっている。そして、炉床21上に載置された被処理
物22は、炉蓋３とともに前記リフタ５により昇降し、こ
れによって、炉蓋３の開閉と同時に被処理物22のマッフ
ル２への装入、取り出しが行えるようになっている。A hearth support 20 is erected on the upper surface of the flange 9 of the hearth lid 3, and a hearth 21 is provided on the upper end of the hearth support 20. An object 22 is placed on the hearth 21. It is supposed to be placed. Then, the object to be processed 22 placed on the hearth 21 is moved up and down by the lifter 5 together with the furnace lid 3, whereby the object to be processed 22 is loaded into the muffle 2 at the same time when the furnace lid 3 is opened and closed. It can be taken out.

なお、上記の炉床サポート20は、図示されるように上下
に２分割されていて、その下部20aは通常の耐熱鋼（SUS
304等）により形成されているが、より高温にさらされ
る上部20bはより耐熱性に優れる高耐熱鋼（SUS310S等）
により形成されている。このようにしておくことによ
り、炉床サポート20全体の耐熱性を確保しながらコスト
の点で有利であるし、また、保守も容易となる。The hearth support 20 is divided into upper and lower parts as shown in the figure, and the lower part 20a is made of normal heat-resistant steel (SUS).
The upper part 20b that is exposed to higher temperatures has higher heat resistance (SUS310S, etc.)
It is formed by. By doing so, it is advantageous in terms of cost while ensuring the heat resistance of the entire hearth support 20, and maintenance is also easy.

一方、前記架台４は、４本の柱部材30…と、それらの上
端相互間に架け渡された４本の水平部材31…からなる矩
形フレーム状のもので、前記炉体１はその下端が水平部
材31…により支持されて設けられている。そして、それ
ら水平部材31…の内側には水平部材32…が並設され、こ
れら水平部材32…の下面からは連結部材33…が垂設さ
れ、これら連結部材33…の下端が上記マッフル２のフラ
ンジ８の上面に連結されている。これによって、マッフ
ル２は、フランジ８、連結部材33…、水平部材32…を介
して上記架台４の水平部材31…から吊り下げられた形態
で設けられている。On the other hand, the gantry 4 has a rectangular frame-like shape composed of four pillar members 30 ... And four horizontal members 31 ... It is supported and provided by the horizontal members 31. Horizontal members 32 are arranged side by side inside the horizontal members 31, and connecting members 33 are vertically provided from the lower surfaces of the horizontal members 32. The lower ends of the connecting members 33 ... It is connected to the upper surface of the flange 8. As a result, the muffle 2 is provided so as to be suspended from the horizontal member 31 of the gantry 4 via the flange 8, the connecting member 33, and the horizontal member 32.

さらに、前記リフタ５は、第１図に示すように、走行台
車40と、リンク41aおよび油圧シリンダ41bによって構成
されたいわゆるパンタグラフ式の昇降機構41と、その昇
降機構41によって昇降させられる昇降台42とからなるも
のであって、この昇降台42の上面側に、第２図に示され
るように上記炉蓋３のフランジ９が連結棒50…により昇
降台42に対して離接可能に連結された構成とされてい
る。そして、各連結棒50…の周囲には、炉蓋３を昇降台
42に対して押し上げるように付勢するコイルバネ51…が
それぞれ装着されており、これによって、リフタ５によ
って炉蓋３が上昇させられてそのフランジ９がマッフル
２のフランジ８に押し付けられた際には、コイルバネ51
…が縮んでフランジ8,9どうしが全周にわたって密着す
るとともに、マッフル２や炉蓋３に無理な力が加わるこ
とが防止されるようになっている。Further, as shown in FIG. 1, the lifter 5 includes a traveling carriage 40, a so-called pantograph type elevating mechanism 41 composed of a link 41a and a hydraulic cylinder 41b, and an elevating table 42 that is moved up and down by the elevating mechanism 41. The flange 9 of the furnace lid 3 is connected to the lift table 42 by a connecting rod 50 so as to be detachable from the lift table 42, as shown in FIG. It has been configured. Further, the furnace lid 3 is lifted around the connecting rods 50 ...
Coil springs 51 ... that urge them to be pushed up against 42 are mounted respectively, whereby when the furnace lid 3 is raised by the lifter 5 and its flange 9 is pressed against the flange 8 of the muffle 2. , Coil spring 51
... is contracted and the flanges 8 and 9 are in close contact with each other over the entire circumference, and it is prevented that excessive force is applied to the muffle 2 and the furnace lid 3.

なお、図中の符号60はマッフル２内を真空とするための
排気管、61はマッフル２内に不活性ガスを導入するため
のガス導入管、62,63は処理終了後に冷却ガスを炉体１
内に導入するためのバングである。また、70はマッフル
２の下部外面（炉体１より下部に露出している部分）に
取り付けられている断熱材、71はマッフル２の外部とな
る炉蓋３の内側に取り付けられている断熱材である。In the figure, reference numeral 60 is an exhaust pipe for creating a vacuum in the muffle 2, 61 is a gas introduction pipe for introducing an inert gas into the muffle 2, and 62 and 63 are cooling bodies for cooling gas after the processing is completed. 1
It is a bang to be introduced inside. Further, 70 is a heat insulating material attached to the outer surface of the lower portion of the muffle 2 (a portion exposed below the furnace body 1), and 71 is a heat insulating material attached to the inside of the furnace lid 3 which is the outside of the muffle 2. Is.

上記構成のマッフル炉により、被処理物22に対して処理
を行う場合の作業手順を説明する。An operation procedure when the object 22 is processed by the muffle furnace having the above configuration will be described.

まず、リフタ５の昇降台42およびそれに連結されている
炉蓋３を下降させておき、炉床21上に被処理物22を載置
する。そして、リフタ５を走行させてマッフル２の直下
に導き、昇降機構41を作動させて昇降台42を上昇させ、
炉蓋３のフランジ９をマッフル２のフランジ８に密着さ
せたら、クランパ10…により炉蓋３をマッフル２に対し
てクランプする。これによって被処理物22がマッフル２
内に装入されるとともに、マッフル２は真空保持可能に
閉じられる。First, the lift table 42 of the lifter 5 and the furnace lid 3 connected to the lift table 42 are lowered, and the object 22 is placed on the furnace floor 21. Then, the lifter 5 is run to guide it directly below the muffle 2, and the lifting mechanism 41 is operated to raise the lifting table 42,
When the flange 9 of the furnace lid 3 is brought into close contact with the flange 8 of the muffle 2, the furnace lid 3 is clamped to the muffle 2 by the clampers 10. As a result, the object to be processed 22 becomes a muffle 2
The muffle 2 is closed so as to be able to hold a vacuum while being charged therein.

そこで、排気管60を通して図示しない排気ポンプにより
マッフル２内から排気を行ってたとえば0.1〜0.5Torr程
度の真空（残留酸素濃度が100〜1,000ppm程度）とな
し、その後、ガス導入管61を通してマッフル２内に不活
性ガスを導入する。これによって、マッフル２内が不活
性ガスに置換される。Therefore, the muffle 2 is evacuated through the exhaust pipe 60 by an exhaust pump (not shown) to form a vacuum of about 0.1 to 0.5 Torr (residual oxygen concentration is about 100 to 1,000 ppm), and then the muffle 2 is passed through the gas introduction pipe 61. Inert gas is introduced. As a result, the inside of the muffle 2 is replaced with the inert gas.

続いて、ヒータ７…に通電してマッフル２を外側から加
熱すれば、被処理物22は不活性ガス中で加熱処理され
る。Then, the heaters 7 are energized to heat the muffle 2 from the outside, so that the object to be processed 22 is heat-treated in an inert gas.

処理が終了したら、排気管60を通してマッフル２内の不
活性ガスを排気し、これを図示しない冷却器に通して冷
却した後にガス導入管61を通してマッフル２内に戻すこ
とで、被処理物22を冷却する。また、同時に、バング6
2,63を開いて炉体１内に外気を導入し、マッフル２を外
部からも冷却する。When the processing is completed, the inert gas in the muffle 2 is exhausted through the exhaust pipe 60, passed through a cooler (not shown) to be cooled, and then returned to the inside of the muffle 2 through the gas introduction pipe 61 to remove the object 22 to be treated. Cooling. Also, at the same time, bang 6
2, 63 are opened and the outside air is introduced into the furnace body 1, and the muffle 2 is also cooled from the outside.

冷却が完了したら、クランパ10…を外して炉蓋３のクラ
ンプを解除し、リフタ５により炉蓋３および被処理物22
を下降させる。これによって被処理物22がマッフル２か
ら取り出されるので、リフタ５を次工程に移動させれ
ば、この被処理物22に対する作業が完了する。When the cooling is completed, the clampers 10 are removed to release the clamp on the furnace lid 3, and the lifter 5 is used to remove the furnace lid 3 and the object to be processed 22.
To lower. As a result, the object 22 to be processed is taken out from the muffle 2, so that the work on the object 22 to be processed is completed by moving the lifter 5 to the next step.

上記のマッフル炉によれば、炉蓋３の上面側に炉床21を
設けたので、リフタ５によって炉蓋３を昇降させること
でマッフル２を開閉すると同時に被処理物22のマッフル
２内への装入および取り出しを行うことができ、被処理
物22が大形で大重量の場合であっても安定して装入、取
り出しを行うことが可能であるとともに、極めて作業効
率が良い。According to the muffle furnace described above, since the hearth 21 is provided on the upper surface side of the furnace lid 3, the lifter 5 moves the furnace lid 3 up and down to open and close the muffle 2, and at the same time, to move the object 22 into the muffle 2. Loading and unloading can be performed, and even when the object to be processed 22 is large and heavy, stable loading and unloading can be performed, and work efficiency is extremely good.

また、炉蓋３をマッフル２の下部内側に装着する竪型円
筒状のものとしたので、炉蓋３が装着されるマッフル２
の下部の部分（炉体１の下部に露出している部分）の温
度はさほど高温とはならず、しかも、マッフル２の下端
に設けられているフランジ８、そのフランジ８に密着す
る炉蓋３のフランジ９はそれぞれ水冷部12,13により十
分に低温に保持されるので、Ｏリング11が熱損傷を受け
ることが少なく、その結果、真空シール性能を長期にわ
たって確実に維持でき、また保守の点でも有利である。Further, since the furnace lid 3 is of a vertical cylindrical shape to be mounted inside the lower portion of the muffle 2, the muffle 2 to which the furnace lid 3 is mounted is
The temperature of the lower portion (the portion exposed to the lower portion of the furnace body 1) is not so high, and moreover, the flange 8 provided at the lower end of the muffle 2 and the furnace lid 3 that is in close contact with the flange 8 Since the flanges 9 of are kept at sufficiently low temperatures by the water cooling parts 12 and 13, respectively, the O-ring 11 is less likely to be damaged by heat, and as a result, the vacuum sealing performance can be reliably maintained for a long period of time, and maintenance is required But it is advantageous.

さらに、上記のマッフル２は、その下端に設けられたフ
ランジ８に連結部材33が連結され、その連結部材33を介
して架台４から吊り下げられた形態で支持されており、
かつ、被処理物22の重量を炉蓋３によって受け、その炉
蓋３をクランパ10…によってマッフル２のフランジ８に
締結する構造であるから、マッフル２自身や炉蓋３、被
処理物22の重量はフランジ８および連結部材33を介して
架台４に直接的に伝達されることになる。したがって、
マッフル２にはそれらの重量が加わることがないばかり
か、マッフル２の熱変形は拘束されず、しかもフランジ
8,9は低温に保持されてその熱変形も少ないことから、
マッフル２やフランジ8,9、連結部材33等に無理な力が
加わったり熱応力が生じることがない。Further, the muffle 2 is supported in a form in which the connecting member 33 is connected to the flange 8 provided at the lower end of the muffle 2 and is suspended from the mount 4 via the connecting member 33.
Further, since the weight of the object to be treated 22 is received by the furnace lid 3, and the furnace lid 3 is fastened to the flange 8 of the muffle 2 by the clamper 10, the muffle 2 itself, the furnace lid 3 and the object 22 to be treated are The weight is directly transmitted to the gantry 4 via the flange 8 and the connecting member 33. Therefore,
Not only are those weights not added to the muffle 2, the thermal deformation of the muffle 2 is not constrained, but also the flange
Since 8 and 9 are kept at low temperature and their thermal deformation is small,
No unreasonable force or thermal stress is applied to the muffle 2, the flanges 8 and 9, the connecting member 33, and the like.

このことは、たとえばマッフル２の上部や高さ方向中間
部を架台４に支持した場合にあっては、支持部より下部
の部分の重量がマッフル２にそのまま加わるし、また支
持部においてはマッフル２の熱変形が拘束されて熱応力
が生じてしまう恐れがあることを考慮すると、特に大形
大重量の被処理物を処理する場合において有利である。This means that, for example, when the upper part of the muffle 2 or the middle part in the height direction is supported by the gantry 4, the weight of the part lower than the supporting part is added to the muffle 2 as it is, and in the supporting part, the muffle 2 is added. Considering that there is a possibility that the thermal deformation of (1) is restricted and a thermal stress is generated, it is particularly advantageous when processing a large and large object to be processed.

なお、炉蓋３をマッフル２に対して締結するためのクラ
ンパ10を省略し、炉蓋３をマッフル２の下部内側に装着
した後も、炉蓋３をそのままリフタ５によってマッフル
２に対して押圧しておくようにしても良い。この場合
は、フランジ８に対しても炉蓋３および被処理物22の重
量が加わることがない。The clamper 10 for fastening the furnace lid 3 to the muffle 2 is omitted, and even after the furnace lid 3 is mounted inside the lower portion of the muffle 2, the furnace lid 3 is pressed against the muffle 2 by the lifter 5 as it is. You may leave it. In this case, the weight of the furnace lid 3 and the workpiece 22 is not applied to the flange 8.

「考案の効果」 以上で詳細に説明したように、本考案は、炉蓋をリフタ
によって昇降させてマッフルの開口部を開閉するように
構成するとともに、その炉蓋の上面側に炉床を設けたか
ら、開口部を開閉すると同時に被処理物のマッフル内へ
の装入、取り出しを行うことができ、被処理物が大形で
大重量の場合であっても安定して装入、取り出しを行う
ことが可能であるとともに作業性に優れる、という効果
を奏し、また、マッフルの下端に設けたフランジと架台
とを連結する連結部材を介してマッフルを架台の上部よ
り吊り下げた形態で支持するようにしたから、マッフル
や炉蓋、被処理物の重量が連結部材を介して架台に直接
的に伝達され、したがって、マッフルに無理な力が加わ
ったり熱応力が生じることが有効に防止される、という
利点があり、さらに、炉蓋をマッフルの下部内側に装着
してフランジどうしを密着させることでマッフルの開口
部を閉じるように構成し、しかも、フランジ間にシール
部材を介装するとともに、それらフランジの冷却手段を
備えたから、フランジは十分に低温に保持され、その結
果、シール部材の熱損傷が防止されて真空シール性能を
長期にわたって確実に維持できる、という効果を奏し、
以上のことから、特に大形大重量の被処理物を工業的規
模で処理するための炉として用いて好適である。[Advantage of the Invention] As described in detail above, the present invention is configured such that the furnace lid is lifted and lowered by the lifter to open and close the opening of the muffle, and the hearth is provided on the upper surface side of the furnace lid. Therefore, it is possible to load and unload the object to be processed into the muffle at the same time when the opening is opened and closed, and to stably load and unload the object even if the object is large and heavy. The muffle can be supported and the workability can be excellent, and the muffle can be supported by being suspended from the upper part of the frame through a connecting member that connects the flange provided at the lower end of the muffle and the frame. Therefore, the muffle, the furnace lid, and the weight of the object to be processed are directly transmitted to the pedestal through the connecting member, and therefore, it is possible to effectively prevent the muffle from exerting an unreasonable force or causing thermal stress. That In addition, the furnace lid is attached to the inside of the lower part of the muffle so that the flanges are in close contact with each other to close the opening of the muffle, and a sealing member is interposed between the flanges. Since the cooling means is provided, the flange is maintained at a sufficiently low temperature, and as a result, it is possible to prevent heat damage to the sealing member and reliably maintain the vacuum sealing performance for a long period of time.
From the above, it is particularly suitable for use as a furnace for processing large and heavy objects on an industrial scale.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図および第２図は本考案に係るマッフル炉の一実施
例を示すもので、第１図は全体概略構成を示す立断面
図、第２図は要部拡大断面図である。 １……炉体、２……マッフル、３……炉蓋、４……架
台、５……リフタ、７……ヒータ、8,9……フランジ、1
0……クランパ、11……Ｏリング（シール部材）、12,13
……水冷部（冷却手段）、20……炉床サポート、21……
炉床、22……被処理物、30……柱部材、31,32……水平
部材、33……連結部材、40……走行台車、41……昇降機
構、42……昇降台、50……連結棒、51……コイルバネ、
60……排気管、62……ガス導入管。1 and 2 show an embodiment of a muffle furnace according to the present invention. FIG. 1 is an elevational sectional view showing the overall schematic structure, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of an essential part. 1 ... Furnace body, 2 ... Muffle, 3 ... Furnace lid, 4 ... Stand, 5 ... Lifter, 7 ... Heater, 8,9 ... Flange, 1
0 …… Clamper, 11 …… O-ring (seal member), 12,13
...... Water cooling part (cooling means), 20 …… Hearth support, 21 ……
Hearth, 22 …… Processing object, 30 …… Column member, 31,32 …… Horizontal member, 33 …… Coupling member, 40 …… Truck carriage, 41 …… Lift mechanism, 42 …… Lift platform, 50… … Connecting rod, 51… Coil spring,
60 ... Exhaust pipe, 62 ... Gas introduction pipe.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】下端に開口部を有するとともにその周囲に
フランジが設けられている竪型円筒状のマッフルと、そ
のマッフルを床面より高い位置に支持するための架台
と、前記マッフルの直下において昇降して前記開口部を
開閉する炉蓋と、その炉蓋を昇降させるためのリフタ
と、前記炉蓋の上面側に設けられた炉床とを具備し、前
記マッフルは、前記フランジと前記架台の上部とを連結
する連結部材を介して前記架台より吊り下げられた形態
で支持される一方、前記炉蓋は、下端に開口部を有する
とともにその周囲に前記マッフルのフランジに密着する
フランジが設けられた竪型円筒状とされていて、この炉
蓋をマッフルの下部内側に装着するとともにそれらのフ
ランジどうしを密着させることでマッフルの開口部を閉
じるように構成し、かつ、前記フランジ間にシール部材
を介装するとともに、それらフランジの冷却手段を備え
てなることを特徴とする竪型マッフル炉。1. A vertical cylindrical muffle having an opening at the lower end and a flange provided around the opening, a pedestal for supporting the muffle at a position higher than the floor surface, and immediately below the muffle. A furnace lid that moves up and down to open and close the opening, a lifter that raises and lowers the furnace lid, and a hearth floor provided on an upper surface side of the furnace lid, and the muffle includes the flange and the gantry. While being supported in a form suspended from the pedestal through a connecting member that connects the upper part of the furnace lid, the furnace lid has an opening at the lower end and a flange that is in close contact with the flange of the muffle is provided around the opening. It is configured as a vertical cylinder, and the furnace lid is attached to the inside of the lower part of the muffle and the flanges of these furnaces are in close contact with each other to close the opening of the muffle. , With interposed a sealing member between the flange, vertical muffle furnace characterized by comprising a cooling means thereof flange.