JPH07319B2 - Transfer mode press - Google Patents
Transfer mode pressInfo
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- JPH07319B2 JPH07319B2 JP23526785A JP23526785A JPH07319B2 JP H07319 B2 JPH07319 B2 JP H07319B2 JP 23526785 A JP23526785 A JP 23526785A JP 23526785 A JP23526785 A JP 23526785A JP H07319 B2 JPH07319 B2 JP H07319B2
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- air
- cylinder
- pressure
- rod
- transfer mold
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- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明はトランスファモールドプレスに関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a transfer mold press.
レジンモールド型半導体装置の製造における封止（パッ
ケージ）にあっては、一般にトランスファモールドプレ
スが用いられている。この装置では、チップ搭載，ワイ
ヤ張りが終了したリードフレームをモールド型（成形
型）の上型と下型との間に挟んだ（型締め）後、上型中
央のポット内に投入されかつ下型中央のカル上に載るレ
ジンタブレットを、プランジャで加圧加熱して溶融さ
せ、溶けたレジンを上・下型によって形成されたレジン
流路（メインランナ，サブランナ，ゲート）を通してキ
ャビティ内に送り込み、キャビティ内に位置するリード
フレーム部分をレジンで被うようになっている。また、
キャビティおよびレジン流路内のレジンはキュア処理さ
れて硬化するので、硬化した成形品は上型と下型とが引
き離された（型開き）後取り出される。A transfer mold press is generally used for sealing (package) in the manufacture of a resin mold type semiconductor device. In this device, the lead frame, on which the chips have been mounted and the wire tension has been completed, is sandwiched (mold clamping) between the upper mold and the lower mold of the mold (molding die), then placed in the pot in the center of the upper mold, and The resin tablet that is placed on the cull in the center of the mold is heated and melted by the plunger, and the melted resin is sent into the cavity through the resin flow path (main runner, sub runner, gate) formed by the upper and lower molds. The lead frame portion located in the cavity is covered with resin. Also,
Since the resin in the cavity and the resin flow path is cured and cured, the cured molded product is taken out after the upper mold and the lower mold are separated (mold open).
ところで、前記トランスファモールドプレスは、たとえ
ば、工業調査会発行「電子材料」1981年別冊号、昭和56
年11月10日発行、P171にも記載されているように、型締
め圧力が100ton〜200ton程度となる大型のものが一般的
で、何れも油圧により作動する構造となっている。By the way, the transfer mold press is described in, for example, “Electronic Materials”, 1981, separate volume, published by Industrial Research Society, 1981.
As described in P171, issued on November 10, 2012, large-sized ones with a mold clamping pressure of 100 to 200 tons are generally used, and all of them are hydraulically operated.
しかし、油圧を用いるトランスファモールドプレスは、
以下に述べるような点において好ましくないことが本発
明者によってあきらかとされた。However, the transfer mold press using hydraulic pressure is
The present inventor has made clear that it is not preferable in the following points.
（１）油圧駆動系は油圧ポンプ，モータ，油タンクのよ
うな大型の部品を必要とするので、装置全体が大型で高
価になり、重量も増大し、据付等のレイアウトが制限さ
れる。たとえば、型締め圧力が200ton程度のものは、総
重量が約6tonにも達し、上記のような欠点が顕著に現れ
ている。(1) Since the hydraulic drive system requires large parts such as a hydraulic pump, a motor, and an oil tank, the entire device becomes large and expensive, the weight increases, and the layout such as installation is limited. For example, when the mold clamping pressure is about 200 tons, the total weight reaches about 6 tons, and the above drawbacks are conspicuous.
（２）半導体装置の製造におけるレジンモールドは、上
・下型の型締め圧力は30ton程度で充分である。そこ
で、半導体装置製造用のトランスファモールドプレスと
して小型化を図ろうとした場合、従来構造では期待でき
る程の小型化および小型化に伴う製造コストの低減が達
成出来ない。すなわち、型締め圧力を低くするようにし
ても、油圧駆動系は前述のように大型部品である油圧ポ
ンプ，モータ，油タンク等の部品を必要とするため、油
圧系ユニットの小型化に限界があり、トランスファモー
ルドプレス全体の小型化は難しい。また、これは、装置
製造コストの面においても、型締め圧力の減少に比例し
て装置製造コストが低くなるということがないことを意
味する。(2) With regard to the resin mold used in the manufacture of semiconductor devices, a clamping pressure of about 30 tons is sufficient for the upper and lower molds. Therefore, when the size of the transfer mold press for manufacturing a semiconductor device is reduced, the conventional structure cannot achieve the expected size reduction and the reduction of the manufacturing cost due to the size reduction. That is, even if the mold clamping pressure is reduced, the hydraulic drive system requires parts such as the large-sized parts such as the hydraulic pump, the motor, and the oil tank as described above. Yes, it is difficult to downsize the entire transfer mold press. Also, in terms of the apparatus manufacturing cost, this also means that the apparatus manufacturing cost does not decrease in proportion to the decrease in the mold clamping pressure.
（３）上記（２）のように、トランスファモールドプレ
スの小型化が難しいことから、従来のトランスファモー
ルドプレスは工場内での据付面積が大きくなり、製造の
ライン化に適しない。(3) Since it is difficult to reduce the size of the transfer mold press as in the above (2), the conventional transfer mold press has a large installation area in the factory and is not suitable for production line production.
（４）従来のトランスファモールドプレスは油圧を用い
ているため、油の洩れ等によって周辺環境を汚染するこ
とが多い。(4) Since the conventional transfer mold press uses hydraulic pressure, it often contaminates the surrounding environment due to oil leakage or the like.
本発明の目的は、小型かつ軽量で安価なトランスファモ
ールドプレスを提供することにある。An object of the present invention is to provide a transfer mold press that is small, lightweight and inexpensive.
本発明の他の目的は、周辺環境を清潔に保つことができ
るトランスファモールドプレスを提供することにある。Another object of the present invention is to provide a transfer mold press capable of keeping the surrounding environment clean.
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。The above and other objects and novel characteristics of the present invention are
It will be apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。The outline of a typical one of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
すなわち、本発明のトランスファモールドプレスにあっ
ては、一対の上・下型の開閉はエアーを入力とし、かつ
油圧を出力とする出力増倍型のエアーハイドロ・ユニッ
トによって行う構造となっているため、大型部品である
油圧ポンプ，油圧モータ，油タンクが不要となり、全体
を小型軽量とすることができるとともに、高価な前述の
ような部品の廃止および構造の簡素化によって装置コス
トの低減が達成でき、かつ油による環境汚染を防ぐこと
ができる。That is, the transfer mold press of the present invention has a structure in which the opening and closing of the pair of upper and lower molds is performed by an output multiplication type air-hydro unit that inputs air and outputs hydraulic pressure. , Large parts such as hydraulic pump, hydraulic motor, and oil tank are not required, and the entire size can be made smaller and lighter, and the cost reduction can be achieved by eliminating the expensive parts mentioned above and simplifying the structure. Moreover, it is possible to prevent environmental pollution due to oil.
第１図は本発明の一実施例によるトランスファモールド
プレスの概要を示す一部を断面とする正面図、第２図は
同じくエアーハイドロ・ユニットを示す油圧回路図、第
３図は同じく型締め時の予圧状態を示すトランスファモ
ールドプレスの正面図、第４図は同じく予圧動作時の油
圧回路図、第５図は同じく型締め時の増圧状態を示すト
ランスファモールドプレスの正面図、第６図は同じく増
圧動作時の油圧回路図である。FIG. 1 is a partially sectional front view showing the outline of a transfer mold press according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a hydraulic circuit diagram showing the same air-hydro unit, and FIG. Fig. 4 is a front view of the transfer mold press showing the preload state of Fig. 4, Fig. 4 is a hydraulic circuit diagram of the same during preload operation, Fig. 5 is a front view of the transfer mold press showing the increased pressure state during mold clamping, and Fig. 6 is Similarly, it is a hydraulic circuit diagram at the time of pressure increasing operation.
このトランスファモールドプレスは、第１図に示される
ように、箱型の架台１を有していて、この架台１の中央
に固定台２を有している。この固定台２の四隅にはそれ
ぞれ支柱からなるタイロッド３が垂設され、各タイロッ
ド３はその上端を固定板４を支持している。この固定板
４の中央には、トランスファシリンダー５が支持枠６を
介して倒立状態で取り付けられている。そして、このト
ランスファシリンダー５のシリンダーロッド７は、前記
固定板４を貫通して固定板４の下方に突出している。ま
た、固定板４の下面には上型８が取り付けられている。
前記シリンダーロッド７はその先端（下端）をこの上型
８内に侵入させ、上型８内に投入されるレジンタブレッ
トを加圧してレジンモールドを行うようになっている。As shown in FIG. 1, this transfer mold press has a box-shaped pedestal 1, and a fixed pedestal 2 at the center of this pedestal 1. Tie rods 3 each of which is a column are vertically provided at four corners of the fixing base 2, and each tie rod 3 supports a fixing plate 4 at its upper end. At the center of the fixed plate 4, a transfer cylinder 5 is mounted in an inverted state via a support frame 6. The cylinder rod 7 of the transfer cylinder 5 penetrates through the fixed plate 4 and projects below the fixed plate 4. An upper die 8 is attached to the lower surface of the fixed plate 4.
The cylinder rod 7 has its tip (lower end) inserted into the upper mold 8 and presses the resin tablet put into the upper mold 8 to perform resin molding.
一方、前記タイロッド３には摺動自在となる可動板９が
取り付けられている。この可動板９の上面には下型10が
取り付けられている。また、この可動板９は、前記固定
台２の下面側に配設されたエアーハイドロ・ユニット11
における増圧機構付エアーシリンダー12の固定台２から
上方に突出するシリンダーロッド13の先端に支持されて
いる。したがって、前記可動板９は前記シリンダーロッ
ド13の上昇によって上昇し、下降によって下降するよう
になっていて、上昇によって上型８と下型10との間で型
締めを行い、下降によって型開きを行うようになってい
る。On the other hand, a movable plate 9 which is slidable is attached to the tie rod 3. A lower mold 10 is attached to the upper surface of the movable plate 9. The movable plate 9 is an air-hydro unit 11 arranged on the lower surface side of the fixed base 2.
It is supported by the tip of a cylinder rod 13 protruding upward from the fixed base 2 of the air cylinder 12 with the pressure increasing mechanism. Therefore, the movable plate 9 rises when the cylinder rod 13 ascends and descends when the cylinder rod 13 descends. The mold plate is clamped between the upper mold 8 and the lower mold 10 when the cylinder plate 13 is lifted, and the mold opening is performed when the mold is lowered. I am supposed to do it.
エアーハイドロ・ユニット11は、第２図に示されるよう
な構造となっている。すなわち、増圧機構付エアーシリ
ンダー12内には、前記可動板９に直接作用するシリンダ
ーロッド13と、増圧ロッド14とが同軸上に連続して配設
されている。前記シリンダーロッド13のピストン15が摺
動するシリンダー16の外側には、シリンダー16と同心円
的に設けられたリング状空間17からなる空油圧切換コン
バータ部18が設けられている。また、この空油圧切換コ
ンバータ部18内には、油19（図中油は点々で示されてい
る。）が充填されている。この油19は連通孔20を介して
ロッドガイド孔21にまで及んでいる。ロッドガイド孔21
は前記増圧ロッド14を案内する孔であるとともに、前記
ピストン15が摺動するシリンダー16の一端（下端）に連
通状態にある。したがって、前記連通孔20の位置から増
圧ロッド14が外れた状態（第２図および第４図参照）に
なると、空油圧切換コンバータ部18内の油19は、ロッド
ガイド孔21内に流入して前記シリンダー16内に入り、ピ
ストン15を押し上げて可動板９を上昇させるようになっ
ている。このピストン15の上昇および下降は、それぞれ
前記増圧機構付エアーシリンダー12に設けられ、かつ前
記空油圧切換コンバータ部18の油19の上部に存在するエ
アー領域に臨むシリンダーロッド前進側ポート22と、前
記シリンダー16に連通するシリンダーロッド後退側ポー
ト23への方向切換電磁弁24を介するエアー25供給によっ
て行われる。なお、このエアー25の方向切換電磁弁24へ
の供給は、方向切換電磁弁24を工場内を流れるように配
設された工場配管26に接続することによって行われる。The air-hydro unit 11 has a structure as shown in FIG. That is, in the air cylinder 12 with the pressure increasing mechanism, the cylinder rod 13 directly acting on the movable plate 9 and the pressure increasing rod 14 are coaxially and continuously arranged. On the outside of the cylinder 16 on which the piston 15 of the cylinder rod 13 slides, an air-hydraulic switching converter unit 18 including a ring-shaped space 17 concentrically provided with the cylinder 16 is provided. The air-hydraulic switching converter section 18 is filled with oil 19 (oil is shown by dots in the figure). The oil 19 reaches the rod guide hole 21 through the communication hole 20. Rod guide hole 21
Is a hole for guiding the pressure boosting rod 14, and is in communication with one end (lower end) of the cylinder 16 on which the piston 15 slides. Therefore, when the pressure-increasing rod 14 is disengaged from the position of the communication hole 20 (see FIGS. 2 and 4), the oil 19 in the air-hydraulic switching converter section 18 flows into the rod guide hole 21. The cylinder 15 is moved into the cylinder 16 and the piston 15 is pushed up to raise the movable plate 9. The ascent and descent of the piston 15 are provided on the air cylinder 12 with the pressure increasing mechanism, respectively, and the cylinder rod advancing side port 22 facing the air region existing above the oil 19 of the air-hydraulic switching converter unit 18, Air 25 is supplied to the cylinder rod retreating port 23 communicating with the cylinder 16 via the direction switching solenoid valve 24. The air 25 is supplied to the direction switching solenoid valve 24 by connecting the direction switching solenoid valve 24 to a factory pipe 26 arranged so as to flow in the factory.
他方、前記増圧ロッド14のピストン27が往復動するシリ
ンダー28の両端側には、増圧ロッド前進側ポート29およ
び増圧ロッド後退側ポート30がそれぞれ設けられている
とともに、この部位には方向切換電磁弁31からエアー25
が送り込まれるようになっていて、増圧ロッド14の前進
および後退を行うようになっている。前記方向切換電磁
弁31へのエアー25の供給は、前記方向切換電磁弁24と同
様に方向切換電磁弁31を工場配管26に接続することによ
って行われる。なお、図中の32は配管である。On the other hand, a pressure boosting rod advancing side port 29 and a pressure boosting rod retreating side port 30 are respectively provided at both ends of a cylinder 28 in which the piston 27 of the pressure boosting rod 14 reciprocates, and a direction is provided at this portion. Switching solenoid valve 31 to air 25
The pressure booster rod 14 is moved forward and backward. The air 25 is supplied to the direction switching solenoid valve 31 by connecting the direction switching solenoid valve 31 to the factory pipe 26, like the direction switching solenoid valve 24. In the figure, 32 is a pipe.
このようなエアーハイドロ・ユニット11にあっては、可
動板９を上昇させて、型締め時に増圧を行う場合は、第
３図および第４図に示されるように、最初に前記方向切
換電磁弁24の切り換えによって、シリンダーロッド13が
上昇させられる。この場合は、空油圧切換コンバータ部
18内の油19がシリンダー16内に流入することから、短時
間でシリンダーロッド13は上昇し、型締めが行われる。
その後、第５図および第６図に示されるように、前記方
向切換電磁弁31の切り換えによって、シリンダー28内に
エアー25が送り込まれ、増圧ロッド14は上昇する。この
際、増圧ロッド14は上昇に伴って前記連通孔20を塞ぎ、
かつ油19が充満しているシリンダー16内に進むため、こ
のシリンダー16内の非圧縮流体である油19が加圧され
る。増圧ロッド14の直径はピストン27の外径に比較して
遥かに小さい。このため、ピストン27が受ける全圧力が
このピストン27面よりもその断面積が小さな空間（増圧
ロッド14が臨むシリンダー16空間）に閉じ込められた油
19に加わるため、パスカルの原理によって油19の単位面
積あたりに加わる圧力は断面積に反比例して増加し、シ
リンダーロッド13は強い力で上方に押し上げられ、強力
な力で型締めが行われることになる。In such an air-hydro unit 11, when the movable plate 9 is raised to increase the pressure during mold clamping, as shown in FIGS. 3 and 4, first, the direction switching electromagnetic By switching the valve 24, the cylinder rod 13 is raised. In this case, the air-hydraulic switching converter section
Since the oil 19 in 18 flows into the cylinder 16, the cylinder rod 13 rises in a short time and the mold is clamped.
Thereafter, as shown in FIGS. 5 and 6, by switching the direction switching solenoid valve 31, the air 25 is sent into the cylinder 28 and the pressure increasing rod 14 rises. At this time, the pressure-increasing rod 14 closes the communication hole 20 as it rises,
In addition, the oil 19 which is an incompressible fluid in the cylinder 16 is pressurized because it goes into the cylinder 16 filled with the oil 19. The diameter of the booster rod 14 is much smaller than the outer diameter of the piston 27. For this reason, the total pressure received by the piston 27 is confined in a space whose cross-sectional area is smaller than the surface of the piston 27 (space of the cylinder 16 facing the pressure increasing rod 14).
Since it is added to 19, the pressure applied per unit area of oil 19 increases in inverse proportion to the cross-sectional area due to Pascal's principle, cylinder rod 13 is pushed upward with a strong force, and mold clamping is performed with a strong force. become.
なお、前記トランスファシリンダー５は、前記エアーハ
イドロ・ユニット11と同様な駆動系あるいは空圧系によ
って駆動するようになっていて、トランスファモールド
プレス全体の駆動は、工場配管26内を流れるエアー（５
〜６気圧）を利用して行われる。The transfer cylinder 5 is driven by a drive system or a pneumatic system similar to the air-hydro unit 11, and the entire transfer mold press is driven by the air (5
~ 6 atm) is used.
〔効果〕 （１）本発明のトランスファモールドプレスは、その駆
動系は空圧を利用して行われるため、油圧駆動のよう
に、油圧ポンプ，モータ，油タンク等の大型となる部品
は不要となり、装置全体の小型軽量が達成できるという
効果が得られる。[Effects] (1) In the transfer mold press of the present invention, since the drive system is performed by using pneumatic pressure, large parts such as a hydraulic pump, a motor, an oil tank, etc., unlike hydraulic drive, are unnecessary. Therefore, the effect that the overall size and weight of the device can be achieved can be obtained.
（２）本発明のトランスファモールドプレスは、増圧の
ために、エアーハイドロ・ユニット構造となっている
が、このエアーハイドロ・ユニット構造は、増圧のため
に使用する油は、シリンダーの外側に同心円的に設けら
れたリング状空間の空油圧切換コンバータ部に充填され
ていて、増圧時に前記空油圧切換コンバータ部とシリン
ダー内を移動するだけであるため、増圧機構付エアーシ
リンダー12の外形もそれほど大型とはならないという効
果が得られる。(2) The transfer mold press of the present invention has an air-hydro unit structure for increasing the pressure. With this air-hydro unit structure, the oil used for increasing the pressure is on the outside of the cylinder. Since the air-hydraulic pressure switching converter in the ring-shaped space provided concentrically is filled and only moves between the air-hydraulic pressure switching converter and the inside of the cylinder when the pressure is increased, the outer shape of the air cylinder 12 with the pressure boosting mechanism. The effect is that it is not so large.
（３）上記（１）および（２）により、本発明のトラン
スファモールドプレスはその構造が簡素にできるため、
装置の製造コストの軽減が達成できるという効果が得ら
れる。(3) Since the structure of the transfer mold press of the present invention can be simplified by the above (1) and (2),
The effect that the manufacturing cost of the device can be reduced can be obtained.
（４）上記（１）〜（３）により、本発明のトランスフ
ァモールドプレスは小型軽量となるため、自動化ライン
に組み込み易いという効果が得られる。(4) Due to the above (1) to (3), the transfer mold press of the present invention is small and lightweight, so that the effect of being easily incorporated into an automation line can be obtained.
（５）上記（４）により、本発明のトランスファモール
ドプレスは、小型となるため、据付面積の縮小化が達成
できるという効果が得られる。(5) Due to the above (4), the transfer mold press of the present invention becomes small in size, so that the effect that the installation area can be reduced can be obtained.
（６）本発明のトランスファモールドプレスは、工場配
管内を流れるエアーを使用できるため、配管のために特
別な設備や工事を必要としないという効果が得られる。(6) Since the transfer mold press of the present invention can use the air flowing in the factory piping, there is an effect that no special equipment or construction is required for the piping.
（７）上記（１）および（２）により、本発明のトラン
スファモールドプレスは、エアーを駆動源とし、必要最
小限の油は閉ループ内を移動する構造となっていること
から、油洩れの心配もなく、周辺環境を油で汚染するお
それもないという効果が得られる。(7) Due to the above (1) and (2), the transfer mold press of the present invention has a structure in which air is used as a driving source and a minimum necessary amount of oil moves in a closed loop. Moreover, there is no risk of contaminating the surrounding environment with oil.
（８）上記（１）〜（７）により、本発明のトランスフ
ァモールドプレスによれば、レジンモールドのコストの
低減が達成できるという相乗効果が得られる。(8) According to the above (1) to (7), the transfer mold press of the present invention has a synergistic effect that the cost of the resin mold can be reduced.
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Nor.
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造に
おけるレジンモールド技術に適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではない。In the above description, the case where the invention made by the present inventor is mainly applied to the resin mold technology in the manufacturing of a semiconductor device which is the field of application of the invention has been described, but the invention is not limited thereto.
本発明は少なくとも物品の一部あるいは全部をレジンで
モールドする技術には適用できる。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a technique of molding at least a part or all of an article with a resin.
第１図は本発明の一実施例によるトランスファモールド
プレスの概要を示す一部を断面とする正面図、 第２図は同じくエアーハイドロ・ユニットを示す油圧回
路図、 第３図は同じく型締め時の予圧状態を示すトランスファ
モールドプレスの正面図、 第４図は同じく予圧動作時の油圧回路図、 第５図は同じく型締め時の増圧状態を示すトランスファ
モールドプレスの正面図、 第６図は同じく増圧動作時の油圧回路図である。 １……架台、２……固定台、３……タイロッド、４……
固定板、５……トランスファシリンダー、６……支持
枠、７……シリンダーロッド、８……上型、９……可動
板、10……下型、11……エアーハイドロ・ユニット、12
……増圧機構付エアーシリンダー、13……シリンダーロ
ッド、14……増圧ロッド、15……ピストン、16……シリ
ンダー、17……リング状空間、18……空油圧切換コンバ
ータ部、19……油、20……連通孔、21……ロッドガイド
孔、22……シリンダーロッド前進側ポート、23……シリ
ンダーロッド後退側ポート、24……方向切換電磁弁、25
……エアー、26……工場配管、27……ピストン、28……
シリンダー、29……増圧ロッド前進側ポート、30……増
圧ロッド後退側ポート、31……方向切換電磁弁、32……
配管。FIG. 1 is a partially sectional front view showing the outline of a transfer mold press according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a hydraulic circuit diagram showing the same air-hydro unit, and FIG. 4 is a front view of the transfer mold press showing the preload state of FIG. 4, FIG. 4 is a hydraulic circuit diagram during the preload operation, FIG. 5 is a front view of the transfer mold press showing the increased pressure state during the mold clamping, and FIG. Similarly, it is a hydraulic circuit diagram at the time of pressure increasing operation. 1 ... Stand, 2 ... Fixed stand, 3 ... Tie rod, 4 ...
Fixed plate, 5 ... Transfer cylinder, 6 ... Support frame, 7 ... Cylinder rod, 8 ... Upper mold, 9 ... Movable plate, 10 ... Lower mold, 11 ... Air-hydro unit, 12
...... Air cylinder with pressure increasing mechanism, 13 ...... Cylinder rod, 14 ...... Pressure increasing rod, 15 ...... Piston, 16 ...... Cylinder, 17 ...... Ring space, 18 ...... Pneumatic-hydraulic switching converter section, 19 ...... … Oil, 20 …… Communication hole, 21 …… Rod guide hole, 22 …… Cylinder rod forward port, 23 …… Cylinder rod backward port, 24 …… Direction switching solenoid valve, 25
…… Air, 26 …… Factory piping, 27 …… Piston, 28 ……
Cylinder, 29 ... Booster rod forward port, 30 ... Booster rod backward port, 31 ... Direction switching solenoid valve, 32 ...
Piping.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｌ 31:34 (72)発明者 津久井 哲男 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会社 日立製作所高崎工場内 (72)発明者 中村 順一 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会社 日立製作所高崎工場内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI Technical indication location B29L 31:34 (72) Inventor Tetsuo Tsukui 111 Nishiyote-cho, Takasaki-shi, Gunma Hitachi Takasaki, Ltd. Inside the factory (72) Inventor Junichi Nakamura 111 Nishiyokote-cho, Takasaki-shi, Gunma Hitachi, Ltd. Takasaki factory
Claims (2)
上に載るレジンタブレットを加圧溶融させ前記上・下型
によって形成されたレジン流路を通してキャビティ内に
前記レジンを送り込むプランジャとを備えるトランスフ
ァモールドプレスであって、少なくとも前記上・下型の
開閉はエアーを制御源とするエアーハイドロ・ユニット
により行われていることを特徴とするトランスファモー
ルドプレス。1. A plunger for pressing and melting a pair of upper and lower molds and a resin tablet placed on the cull of the lower mold and feeding the resin into a cavity through a resin flow path formed by the upper and lower molds. A transfer mold press comprising: a transfer mold press, wherein at least opening and closing of the upper and lower molds is performed by an air-hydro unit whose control source is air.
を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
トランスファモールドプレス。2. The transfer mold press according to claim 1, wherein the air-hydro unit has a pressure boosting device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23526785A JPH07319B2 (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Transfer mode press |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23526785A JPH07319B2 (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Transfer mode press |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295207A JPS6295207A (en) | 1987-05-01 |
| JPH07319B2 true JPH07319B2 (en) | 1995-01-11 |
Family
ID=16983558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23526785A Expired - Lifetime JPH07319B2 (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Transfer mode press |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07319B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1985
- 1985-10-23 JP JP23526785A patent/JPH07319B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6295207A (en) | 1987-05-01 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |