JPH07318387A - フルイディック流量計およびフルイディック発振検出装置 - Google Patents
フルイディック流量計およびフルイディック発振検出装置Info
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- JPH07318387A JPH07318387A JP13630294A JP13630294A JPH07318387A JP H07318387 A JPH07318387 A JP H07318387A JP 13630294 A JP13630294 A JP 13630294A JP 13630294 A JP13630294 A JP 13630294A JP H07318387 A JPH07318387 A JP H07318387A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 左右の導圧孔に同圧が加わったときにおける
誤差出力を低減すると共に、外来ノイズや流体の圧力変
動に対する耐性を向上して、測定精度を向上する。 【構成】 噴流を発生させるノズルの噴出口の近傍に
は、ノズルを通過した気体の流れる方向の切り替わりを
検出するための差圧センサ37に通じる導圧孔33、3
4が設けられている。導圧孔33、34には、それぞれ
導圧管51、52の一端が接続されている。この導圧管
51、52の他端は、差圧センサ37の各圧力導入口に
接続されている。導圧管51、52間には、両者をバイ
パスするバイパス管53が設けられている。バイパス管
53は、左右の導圧孔33、34に同圧が加わったとき
に差圧センサ37に加わる左右の圧力を均等化すると共
に、外来ノイズや気体の圧力変動を相殺して、除去す
る。
誤差出力を低減すると共に、外来ノイズや流体の圧力変
動に対する耐性を向上して、測定精度を向上する。 【構成】 噴流を発生させるノズルの噴出口の近傍に
は、ノズルを通過した気体の流れる方向の切り替わりを
検出するための差圧センサ37に通じる導圧孔33、3
4が設けられている。導圧孔33、34には、それぞれ
導圧管51、52の一端が接続されている。この導圧管
51、52の他端は、差圧センサ37の各圧力導入口に
接続されている。導圧管51、52間には、両者をバイ
パスするバイパス管53が設けられている。バイパス管
53は、左右の導圧孔33、34に同圧が加わったとき
に差圧センサ37に加わる左右の圧力を均等化すると共
に、外来ノイズや気体の圧力変動を相殺して、除去す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータ等に利用さ
れるフルイディック流量計、およびこのフルイディック
流量計においてノズルを通過した流体の流れる方向の切
り替わりを検出するためのフルイディック発振検出装置
に関する。
れるフルイディック流量計、およびこのフルイディック
流量計においてノズルを通過した流体の流れる方向の切
り替わりを検出するためのフルイディック発振検出装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】フルイディック流量計は、噴流を発生さ
せるノズルの下流側に、一対の側壁によって流路拡大部
を形成すると共に、側壁の外側に設けられたリターンガ
イドによって、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に
沿ってノズルの噴出口側へ導く一対のフィードバック流
路を形成し、ノズルを通過した流体が一対のフィードバ
ック流路を交互に流れる現象(以下、フルイディック発
振という。)を利用し、ノズルを通過した流体の流れる
方向の切り替わりの周波数に基づいて流体の流量を計量
するものである。
せるノズルの下流側に、一対の側壁によって流路拡大部
を形成すると共に、側壁の外側に設けられたリターンガ
イドによって、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に
沿ってノズルの噴出口側へ導く一対のフィードバック流
路を形成し、ノズルを通過した流体が一対のフィードバ
ック流路を交互に流れる現象(以下、フルイディック発
振という。)を利用し、ノズルを通過した流体の流れる
方向の切り替わりの周波数に基づいて流体の流量を計量
するものである。
【0003】ここで、図8を参照して、ガスメータとし
て利用されるフルイディック流量計の一例について説明
する。このフルイディック流量計は、気体(ガス)を受
け入れる入口部111と気体を排出する出口部112と
を有する本体110を備えている。本体110内には隔
壁113が設けられ、この隔壁113と入口部111と
の間に第1の気体流路114が形成され、隔壁113と
出口部112との間に第2の気体流路115が形成され
ている。隔壁113には開口部116が設けられ、第1
の気体流路114内には、開口部116を閉塞可能な遮
断弁117が設けられている。また、本体110の外側
にはソレノイド118が固定され、このソレノイド11
8のプランジャ119が、本体110の側壁を貫通して
遮断弁117に接合されている。また、遮断弁117と
本体110との間におけるプランジャ119の周囲に
は、ばね120が設けられ、このばね120が遮断弁1
17を開口部116側へ付勢している。
て利用されるフルイディック流量計の一例について説明
する。このフルイディック流量計は、気体(ガス)を受
け入れる入口部111と気体を排出する出口部112と
を有する本体110を備えている。本体110内には隔
壁113が設けられ、この隔壁113と入口部111と
の間に第1の気体流路114が形成され、隔壁113と
出口部112との間に第2の気体流路115が形成され
ている。隔壁113には開口部116が設けられ、第1
の気体流路114内には、開口部116を閉塞可能な遮
断弁117が設けられている。また、本体110の外側
にはソレノイド118が固定され、このソレノイド11
8のプランジャ119が、本体110の側壁を貫通して
遮断弁117に接合されている。また、遮断弁117と
本体110との間におけるプランジャ119の周囲に
は、ばね120が設けられ、このばね120が遮断弁1
17を開口部116側へ付勢している。
【0004】第2の気体流路115内には、入口部11
1から受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノ
ズル121が設けられている。このノズル121の上流
側には気体の流れを整えるための整流部材122が設け
られている。ノズル121の下流側には、拡大された流
路を形成する一対の側壁123、124が設けられてい
る。この側壁123、124の間には、所定の間隔を開
けて、上流側に第1ターゲット125、下流側に第2タ
ーゲット126がそれぞれ配設されている。また、側壁
123、124の外側には、ノズル121を通過した気
体を各側壁123、124の外周部に沿ってノズル12
1の噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流路1
27、128を形成するリターンガイド129が配設さ
れている。また、フィードバック流路127、128の
各出口部分と出口部112との間には、リターンガイド
129の背面と本体110とによって、一対の排出路1
31、132が形成されている。また、ノズル121の
噴出口の近傍には、ノズル121を通過した気体の流れ
る方向の切り替わりを検出するための差圧センサに通じ
る導圧孔133、134が設けられている。
1から受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノ
ズル121が設けられている。このノズル121の上流
側には気体の流れを整えるための整流部材122が設け
られている。ノズル121の下流側には、拡大された流
路を形成する一対の側壁123、124が設けられてい
る。この側壁123、124の間には、所定の間隔を開
けて、上流側に第1ターゲット125、下流側に第2タ
ーゲット126がそれぞれ配設されている。また、側壁
123、124の外側には、ノズル121を通過した気
体を各側壁123、124の外周部に沿ってノズル12
1の噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流路1
27、128を形成するリターンガイド129が配設さ
れている。また、フィードバック流路127、128の
各出口部分と出口部112との間には、リターンガイド
129の背面と本体110とによって、一対の排出路1
31、132が形成されている。また、ノズル121の
噴出口の近傍には、ノズル121を通過した気体の流れ
る方向の切り替わりを検出するための差圧センサに通じ
る導圧孔133、134が設けられている。
【0005】図9は図8における導圧孔133、134
および差圧センサを含む断面を拡大して示す断面図であ
る。この図に示すように、本体110の底部の外側に
は、圧電膜等を用いて差圧を検出する差圧センサ137
が設けられている。また、導圧孔133、134には、
それぞれ導圧管151、152の一端が接続されてい
る。この導圧管151、152の他端は、差圧センサ1
37の各圧力導入口に接続されている。そして、この差
圧センサ137によって、導圧孔133と導圧孔134
における差圧を検出して、この差圧の変化に基づいてフ
ルイディック発振を検出するようになっている。また、
導圧管151、152および差圧センサ137は、本体
110の底部の外側に固定されたケース155によって
覆われている。
および差圧センサを含む断面を拡大して示す断面図であ
る。この図に示すように、本体110の底部の外側に
は、圧電膜等を用いて差圧を検出する差圧センサ137
が設けられている。また、導圧孔133、134には、
それぞれ導圧管151、152の一端が接続されてい
る。この導圧管151、152の他端は、差圧センサ1
37の各圧力導入口に接続されている。そして、この差
圧センサ137によって、導圧孔133と導圧孔134
における差圧を検出して、この差圧の変化に基づいてフ
ルイディック発振を検出するようになっている。また、
導圧管151、152および差圧センサ137は、本体
110の底部の外側に固定されたケース155によって
覆われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図8に示す
フルイディック流量計では、導圧孔133、134に同
圧が加わったとき、すなわち差圧が零のときでも、差圧
センサ137の圧電膜の左右の不均等などにより、圧電
膜の左右で圧力がキャンセルされにくく、差圧センサ1
37の出力が零になりにくいという問題点がある。
フルイディック流量計では、導圧孔133、134に同
圧が加わったとき、すなわち差圧が零のときでも、差圧
センサ137の圧電膜の左右の不均等などにより、圧電
膜の左右で圧力がキャンセルされにくく、差圧センサ1
37の出力が零になりにくいという問題点がある。
【0007】また、図8に示すフルイディック流量計で
は、付近の工事振動等によって発生する高周波の圧力変
動である外来ノイズや、流体の圧力変動に対して耐性が
小さく、S/N比が悪いという問題点がある。図10
(a)は圧力変動の一例を示している。この圧力変動の
最大幅16mmH2 Oとなっている。また、図10
(b)は図10(a)に示す圧力変動に対する差圧セン
サ137の出力の一例を示している。この差圧センサ1
37の出力の変動の最大幅は68.8mVとなってい
る。このように圧力変動に対する差圧センサ137の出
力の変動が大きいと、この出力変動がフルイディック発
振に伴う差圧センサ137の出力変化として誤って検出
される場合がある。また、図11は圧力変動の周波数特
性の一例を示し、図12は図11に示す特性の圧力変動
に対する差圧センサ137の出力の周波数特性の一例を
示したものである。これらの図から、図8に示すフルイ
ディック流量計が、圧力変動に対して耐性が小さいこと
が分かる。
は、付近の工事振動等によって発生する高周波の圧力変
動である外来ノイズや、流体の圧力変動に対して耐性が
小さく、S/N比が悪いという問題点がある。図10
(a)は圧力変動の一例を示している。この圧力変動の
最大幅16mmH2 Oとなっている。また、図10
(b)は図10(a)に示す圧力変動に対する差圧セン
サ137の出力の一例を示している。この差圧センサ1
37の出力の変動の最大幅は68.8mVとなってい
る。このように圧力変動に対する差圧センサ137の出
力の変動が大きいと、この出力変動がフルイディック発
振に伴う差圧センサ137の出力変化として誤って検出
される場合がある。また、図11は圧力変動の周波数特
性の一例を示し、図12は図11に示す特性の圧力変動
に対する差圧センサ137の出力の周波数特性の一例を
示したものである。これらの図から、図8に示すフルイ
ディック流量計が、圧力変動に対して耐性が小さいこと
が分かる。
【0008】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、左右の導圧孔に同圧が加わったとき
における誤差出力を低減すると共に、外来ノイズや流体
の圧力変動に対する耐性を向上して、測定精度を向上で
きるようにしたフルイディック流量計およびフルイディ
ック発振検出装置を提供することにある。
ので、その目的は、左右の導圧孔に同圧が加わったとき
における誤差出力を低減すると共に、外来ノイズや流体
の圧力変動に対する耐性を向上して、測定精度を向上で
きるようにしたフルイディック流量計およびフルイディ
ック発振検出装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のフルイデ
ィック流量計は、流体を受け入れる入口部と、入口部か
ら受け入れた流体を通過させて噴出口より噴流を発生さ
せるノズルと、このノズルの下流側に設けられ、拡大さ
れた流路を形成する一対の側壁と、この側壁の外側に設
けられ、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に沿って
ノズルの噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流
路を形成するリターンガイドと、フィードバック流路を
通過した流体を排出する出口部と、ノズルの噴出口の左
右両側に設けられた導圧孔と、この導圧孔に接続され、
ノズルを通過した流体の流れる方向の切り替わりを検出
するために、左右の導圧孔における差圧を検出する圧力
センサと、左右の導圧孔間をバイパスするバイパス路と
を備えたものである。
ィック流量計は、流体を受け入れる入口部と、入口部か
ら受け入れた流体を通過させて噴出口より噴流を発生さ
せるノズルと、このノズルの下流側に設けられ、拡大さ
れた流路を形成する一対の側壁と、この側壁の外側に設
けられ、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に沿って
ノズルの噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流
路を形成するリターンガイドと、フィードバック流路を
通過した流体を排出する出口部と、ノズルの噴出口の左
右両側に設けられた導圧孔と、この導圧孔に接続され、
ノズルを通過した流体の流れる方向の切り替わりを検出
するために、左右の導圧孔における差圧を検出する圧力
センサと、左右の導圧孔間をバイパスするバイパス路と
を備えたものである。
【0010】このフルイディック流量計では、ノズルを
通過した流体は一対のフィードバック流路を交互に流れ
る。圧力センサは、ノズルを通過した流体の流れる方向
の切り替わりを検出するために、左右の導圧孔における
差圧を検出する。また、バイパス路は、左右の導圧孔に
同圧が加わったときに圧力センサに加わる左右の圧力を
均等化すると共に、外来ノイズや流体の圧力変動を相殺
して、除去する。
通過した流体は一対のフィードバック流路を交互に流れ
る。圧力センサは、ノズルを通過した流体の流れる方向
の切り替わりを検出するために、左右の導圧孔における
差圧を検出する。また、バイパス路は、左右の導圧孔に
同圧が加わったときに圧力センサに加わる左右の圧力を
均等化すると共に、外来ノイズや流体の圧力変動を相殺
して、除去する。
【0011】請求項2記載のフルイディック発振検出装
置は、フルイディック流量計においてノズルを通過した
流体の流れる方向の切り替わりを検出するためのもので
あって、ノズルの噴出口の左右両側に設けられた導圧孔
と、この導圧孔に接続され、ノズルを通過した流体の流
れる方向の切り替わりを検出するために、左右の導圧孔
における差圧を検出する圧力センサと、左右の導圧孔間
をバイパスするバイパス路とを備えたものである。
置は、フルイディック流量計においてノズルを通過した
流体の流れる方向の切り替わりを検出するためのもので
あって、ノズルの噴出口の左右両側に設けられた導圧孔
と、この導圧孔に接続され、ノズルを通過した流体の流
れる方向の切り替わりを検出するために、左右の導圧孔
における差圧を検出する圧力センサと、左右の導圧孔間
をバイパスするバイパス路とを備えたものである。
【0012】このフルイディック発振検出装置では、圧
力センサは、ノズルを通過した流体の流れる方向の切り
替わりを検出するために、左右の導圧孔における差圧を
検出する。また、バイパス路は、左右の導圧孔に同圧が
加わったときに圧力センサに加わる左右の圧力を均等化
すると共に、外来ノイズや流体の圧力変動を相殺して、
除去する。
力センサは、ノズルを通過した流体の流れる方向の切り
替わりを検出するために、左右の導圧孔における差圧を
検出する。また、バイパス路は、左右の導圧孔に同圧が
加わったときに圧力センサに加わる左右の圧力を均等化
すると共に、外来ノイズや流体の圧力変動を相殺して、
除去する。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【0014】図1は本発明の第1実施例のフルイディッ
ク流量計の構成を示す断面図である。なお、本実施例
は、ガスメータとして使用するフルイディック流量計の
例である。図1に示すように、本実施例のフルイディッ
ク流量計は、気体(ガス)を受け入れる入口部11と気
体を排出する出口部12とを有する本体10を備えてい
る。本体10内には隔壁13が設けられ、この隔壁13
と入口部11との間に第1の気体流路14が形成され、
隔壁13と出口部12との間に第2の気体流路15が形
成されている。隔壁13には開口部16が設けられ、第
1の気体流路14内には、開口部16を閉塞可能な遮断
弁17が設けられている。また、本体10の外側にはソ
レノイド18が固定され、このソレノイド18のプラン
ジャ19が、本体10の側壁を貫通して遮断弁17に接
合されている。また、遮断弁17と本体10との間にお
けるプランジャ19の周囲には、ばね20が設けられ、
このばね20が遮断弁17を開口部16側へ付勢してい
る。
ク流量計の構成を示す断面図である。なお、本実施例
は、ガスメータとして使用するフルイディック流量計の
例である。図1に示すように、本実施例のフルイディッ
ク流量計は、気体(ガス)を受け入れる入口部11と気
体を排出する出口部12とを有する本体10を備えてい
る。本体10内には隔壁13が設けられ、この隔壁13
と入口部11との間に第1の気体流路14が形成され、
隔壁13と出口部12との間に第2の気体流路15が形
成されている。隔壁13には開口部16が設けられ、第
1の気体流路14内には、開口部16を閉塞可能な遮断
弁17が設けられている。また、本体10の外側にはソ
レノイド18が固定され、このソレノイド18のプラン
ジャ19が、本体10の側壁を貫通して遮断弁17に接
合されている。また、遮断弁17と本体10との間にお
けるプランジャ19の周囲には、ばね20が設けられ、
このばね20が遮断弁17を開口部16側へ付勢してい
る。
【0015】第2の気体流路15内には、入口部11か
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
21が設けられている。このノズル21の上流側には気
体の流れを整えるための整流部材22が設けられてい
る。ノズル21の下流側には、拡大された流路を形成す
る一対の側壁23、24が設けられている。この側壁2
3、24の間には、所定の間隔を開けて、上流側に第1
ターゲット25、下流側に第2ターゲット26がそれぞ
れ配設されている。また、側壁23、24の外側には、
ノズル21を通過した気体を各側壁23、24の外周部
に沿ってノズル21の噴出口側へ帰還させる一対のフィ
ードバック流路27、28を形成するリターンガイド2
9が配設されている。また、フィードバック流路27、
28の各出口部分と出口部12との間には、リターンガ
イド29の背面と本体10とによって、一対の排出路3
1、32が形成されている。また、ノズル21の噴出口
の近傍には、ノズル21を通過した気体の流れる方向の
切り替わりを検出するための差圧センサに通じる導圧孔
33、34が設けられている。
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
21が設けられている。このノズル21の上流側には気
体の流れを整えるための整流部材22が設けられてい
る。ノズル21の下流側には、拡大された流路を形成す
る一対の側壁23、24が設けられている。この側壁2
3、24の間には、所定の間隔を開けて、上流側に第1
ターゲット25、下流側に第2ターゲット26がそれぞ
れ配設されている。また、側壁23、24の外側には、
ノズル21を通過した気体を各側壁23、24の外周部
に沿ってノズル21の噴出口側へ帰還させる一対のフィ
ードバック流路27、28を形成するリターンガイド2
9が配設されている。また、フィードバック流路27、
28の各出口部分と出口部12との間には、リターンガ
イド29の背面と本体10とによって、一対の排出路3
1、32が形成されている。また、ノズル21の噴出口
の近傍には、ノズル21を通過した気体の流れる方向の
切り替わりを検出するための差圧センサに通じる導圧孔
33、34が設けられている。
【0016】図2は図1における導圧孔33、34およ
び差圧センサを含む断面を拡大して示す断面図である。
この図に示すように、本体10の底部の外側には、圧電
膜等を用いて差圧を検出する圧力センサとしての差圧セ
ンサ37が設けられている。また、導圧孔33、34に
は、それぞれ導圧管51、52の一端が接続されてい
る。この導圧管51、52の他端は、差圧センサ37の
各圧力導入口に接続されている。そして、この差圧セン
サ37によって、導圧孔33と導圧孔34における差圧
を検出して、この差圧の変化に基づいてフルイディック
発振を検出するようになっている。また、本実施例で
は、左右の導圧孔33、34間をバイパスするバイパス
路として、導圧管51、52間をバイパスするバイパス
管53が設けられている。導圧孔33、34、差圧セン
サ37およびバイパス管53によって、本実施例におけ
るフルイディック発振検出装置が構成される。また、導
圧管51、52、バイパス管53および差圧センサ37
は、本体10の底部の外側に固定されたケース55によ
って覆われている。
び差圧センサを含む断面を拡大して示す断面図である。
この図に示すように、本体10の底部の外側には、圧電
膜等を用いて差圧を検出する圧力センサとしての差圧セ
ンサ37が設けられている。また、導圧孔33、34に
は、それぞれ導圧管51、52の一端が接続されてい
る。この導圧管51、52の他端は、差圧センサ37の
各圧力導入口に接続されている。そして、この差圧セン
サ37によって、導圧孔33と導圧孔34における差圧
を検出して、この差圧の変化に基づいてフルイディック
発振を検出するようになっている。また、本実施例で
は、左右の導圧孔33、34間をバイパスするバイパス
路として、導圧管51、52間をバイパスするバイパス
管53が設けられている。導圧孔33、34、差圧セン
サ37およびバイパス管53によって、本実施例におけ
るフルイディック発振検出装置が構成される。また、導
圧管51、52、バイパス管53および差圧センサ37
は、本体10の底部の外側に固定されたケース55によ
って覆われている。
【0017】図3は本実施例のフルイディック流量計の
回路部分の構成を示すブロック図である。この図に示す
ように、フルイディック流量計は、差圧センサ37の出
力を入力し、流量を演算する流量演算部41と、この流
量演算部41によって演算された流量を表示する表示部
42と、流量演算部41によって制御され、ソレノイド
18を駆動するソレノイド駆動回路43とを備えてい
る。流量演算部41は、例えば差圧センサ37の出力を
“+1”、“0”に2値化して、“+1”と“0”のパ
ルスを生成し、単位時間当たりのパルスの数をカウント
して、ノズル21を通過した気体の流れる方向の切り替
わりの周波数を求め、この周波数を流量に換算する。ま
た、本実施例のフルイディック流量計は、ガスメータと
して使用した場合における安全機能として、例えば、流
量演算部41が所定量以上の流量を検出した場合や所定
の流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノイド駆
動回路43を動作させてソレノイド18を動作させ、弁
17によって開口部16を閉塞してガスを遮断するよう
になっている。なお、流量演算部41は、例えばマイク
ロコンピュータによって実現される。
回路部分の構成を示すブロック図である。この図に示す
ように、フルイディック流量計は、差圧センサ37の出
力を入力し、流量を演算する流量演算部41と、この流
量演算部41によって演算された流量を表示する表示部
42と、流量演算部41によって制御され、ソレノイド
18を駆動するソレノイド駆動回路43とを備えてい
る。流量演算部41は、例えば差圧センサ37の出力を
“+1”、“0”に2値化して、“+1”と“0”のパ
ルスを生成し、単位時間当たりのパルスの数をカウント
して、ノズル21を通過した気体の流れる方向の切り替
わりの周波数を求め、この周波数を流量に換算する。ま
た、本実施例のフルイディック流量計は、ガスメータと
して使用した場合における安全機能として、例えば、流
量演算部41が所定量以上の流量を検出した場合や所定
の流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノイド駆
動回路43を動作させてソレノイド18を動作させ、弁
17によって開口部16を閉塞してガスを遮断するよう
になっている。なお、流量演算部41は、例えばマイク
ロコンピュータによって実現される。
【0018】次に、本実施例のフルイディック流量計の
作用について説明する。
作用について説明する。
【0019】フルイディック流量計の入口部11から受
け入れられた気体は、第1の気体流路14、開口部1
6、第2の気体流路15、整流部材22を順に経て、ノ
ズル21に入る。
け入れられた気体は、第1の気体流路14、開口部1
6、第2の気体流路15、整流部材22を順に経て、ノ
ズル21に入る。
【0020】ノズル21を通過した気体は、噴流となっ
て噴出口より噴出される。噴出口より噴出された気体
は、コアンダ効果により一方の側壁に沿って流れる。こ
こでは、まず側壁23に沿って流れるものとする。側壁
23に沿って流れた気体は、更にフィードバック流路2
7を経て、ノズル21の噴出口側へ帰還され、排出路3
1を経て出口部12より排出される。このとき、ノズル
21より噴出された気体は、フィードバック流路27を
流れてきた気体によって方向が変えられ、今度は他方の
側壁24に沿って流れるようになる。この気体は、更に
フィードバック流路28を経て、ノズル21の噴出口側
へ帰還され、排出路32を経て出口部12より排出され
る。すると、ノズル21より噴出された気体は、今度
は、フィードバック流路28を流れてきた気体によって
方向が変えられ、再び側壁23、フィードバック流路2
7に沿って流れるようになる。以上の動作を繰り返すこ
とにより、ノズル21を通過した気体は一対のフィード
バック流路27、28を交互に流れる。この気体の流れ
る方向の切り替わりの周波数は流量と対応関係がある。
ノズル21を通過した気体の流れる方向の切り替わりの
周波数は、差圧センサ37の出力に基づいて流量演算部
41によって求められる。流量演算部41は、求めた周
波数より流量を演算し、表示部42に表示する。また、
流量演算部41は、所定量以上の流量を検出した場合や
所定の流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノイ
ド駆動回路43を動作させてソレノイド18を動作さ
せ、弁17によって開口部16を閉塞し、フルイディッ
ク流量計の下流側への気体(ガス)の供給を停止する。
て噴出口より噴出される。噴出口より噴出された気体
は、コアンダ効果により一方の側壁に沿って流れる。こ
こでは、まず側壁23に沿って流れるものとする。側壁
23に沿って流れた気体は、更にフィードバック流路2
7を経て、ノズル21の噴出口側へ帰還され、排出路3
1を経て出口部12より排出される。このとき、ノズル
21より噴出された気体は、フィードバック流路27を
流れてきた気体によって方向が変えられ、今度は他方の
側壁24に沿って流れるようになる。この気体は、更に
フィードバック流路28を経て、ノズル21の噴出口側
へ帰還され、排出路32を経て出口部12より排出され
る。すると、ノズル21より噴出された気体は、今度
は、フィードバック流路28を流れてきた気体によって
方向が変えられ、再び側壁23、フィードバック流路2
7に沿って流れるようになる。以上の動作を繰り返すこ
とにより、ノズル21を通過した気体は一対のフィード
バック流路27、28を交互に流れる。この気体の流れ
る方向の切り替わりの周波数は流量と対応関係がある。
ノズル21を通過した気体の流れる方向の切り替わりの
周波数は、差圧センサ37の出力に基づいて流量演算部
41によって求められる。流量演算部41は、求めた周
波数より流量を演算し、表示部42に表示する。また、
流量演算部41は、所定量以上の流量を検出した場合や
所定の流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノイ
ド駆動回路43を動作させてソレノイド18を動作さ
せ、弁17によって開口部16を閉塞し、フルイディッ
ク流量計の下流側への気体(ガス)の供給を停止する。
【0021】なお、第1ターゲット25および第2ター
ゲット26は、ノズル21を通過した気体の流れる方向
の切り替えを安定に行わせる作用がある。
ゲット26は、ノズル21を通過した気体の流れる方向
の切り替えを安定に行わせる作用がある。
【0022】ところで、本実施例では、導圧管51、5
2間をバイパスするバイパス管53が設けられている。
このバイパス管53により、左右の導圧孔33、34に
同圧が加わったときに差圧センサ37に加わる左右の圧
力が均等化され、左右の圧力がキャンセルされ、誤差出
力が低減される。また、付近の工事振動等によって発生
する高周波の圧力変動である外来ノイズや、気体の圧力
変動があるときでも、バイパス管53により、外来ノイ
ズや気体の圧力変動が相殺され、除去される。従って、
外来ノイズや気体の圧力変動に対する耐性が向上する。
なお、バイパス管53によってフルイディック発振によ
る差圧の変化の振幅も低下するが、フルイディック発振
による差圧の変化の振幅は、外来ノイズや気体の圧力変
動に伴う差圧の変動の振幅に比べると大きいため、フル
イディック発振の検出には影響がない。以上のことか
ら、本実施例によれば、フルイディック流量計の測定精
度が向上する。
2間をバイパスするバイパス管53が設けられている。
このバイパス管53により、左右の導圧孔33、34に
同圧が加わったときに差圧センサ37に加わる左右の圧
力が均等化され、左右の圧力がキャンセルされ、誤差出
力が低減される。また、付近の工事振動等によって発生
する高周波の圧力変動である外来ノイズや、気体の圧力
変動があるときでも、バイパス管53により、外来ノイ
ズや気体の圧力変動が相殺され、除去される。従って、
外来ノイズや気体の圧力変動に対する耐性が向上する。
なお、バイパス管53によってフルイディック発振によ
る差圧の変化の振幅も低下するが、フルイディック発振
による差圧の変化の振幅は、外来ノイズや気体の圧力変
動に伴う差圧の変動の振幅に比べると大きいため、フル
イディック発振の検出には影響がない。以上のことか
ら、本実施例によれば、フルイディック流量計の測定精
度が向上する。
【0023】図4(a)は圧力変動の一例を示してい
る。この圧力変動の最大幅16mmH2 Oとなってい
る。また、図4(b)は図4(a)に示す圧力変動に対
する差圧センサ37の出力の一例を示している。この差
圧センサ37の出力の変動の最大幅は32.8mVとな
っている。図4(b)と図10(b)を比較すると明ら
かなように、バイパス管53を設けることにより、圧力
変動に対する差圧センサ37の出力の変動が小さくなる
ことが分かる。
る。この圧力変動の最大幅16mmH2 Oとなってい
る。また、図4(b)は図4(a)に示す圧力変動に対
する差圧センサ37の出力の一例を示している。この差
圧センサ37の出力の変動の最大幅は32.8mVとな
っている。図4(b)と図10(b)を比較すると明ら
かなように、バイパス管53を設けることにより、圧力
変動に対する差圧センサ37の出力の変動が小さくなる
ことが分かる。
【0024】図5は圧力変動の周波数特性の一例を示
し、図6は図5に示す特性の圧力変動に対する差圧セン
サ37の出力の周波数特性の一例を示したものである。
図6と図12を比較すると明らかなように、バイパス管
53を設けることにより、特に、図6および図12にお
いて符号A、A´で示す数100Hz付近の圧力変動
(ノイズ)が低減されることが分かる。
し、図6は図5に示す特性の圧力変動に対する差圧セン
サ37の出力の周波数特性の一例を示したものである。
図6と図12を比較すると明らかなように、バイパス管
53を設けることにより、特に、図6および図12にお
いて符号A、A´で示す数100Hz付近の圧力変動
(ノイズ)が低減されることが分かる。
【0025】図7は本発明の第2実施例のフルイディッ
ク流量計における導圧孔33、34および差圧センサを
含む断面を拡大して示す断面図である。この図に示すよ
うに、本実施例は、第1実施例におけるバイパス管53
の代わりに、本体10に、左右の導圧孔33、34をバ
イパスするバイパス路54を設けたものである。
ク流量計における導圧孔33、34および差圧センサを
含む断面を拡大して示す断面図である。この図に示すよ
うに、本実施例は、第1実施例におけるバイパス管53
の代わりに、本体10に、左右の導圧孔33、34をバ
イパスするバイパス路54を設けたものである。
【0026】その他の構成、作用および効果は第1実施
例と同様である。
例と同様である。
【0027】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、差圧センサ37の代わりに、各導圧孔3
3、34に接続された2つの圧力センサを設け、この2
つの圧力センサの出力から各導圧孔33、34における
差圧を求めて、流量を演算するようにしても良い。
ず、例えば、差圧センサ37の代わりに、各導圧孔3
3、34に接続された2つの圧力センサを設け、この2
つの圧力センサの出力から各導圧孔33、34における
差圧を求めて、流量を演算するようにしても良い。
【0028】また、上記各実施例ではガス等の気体の流
量を計量するフルイディック流量計について説明した
が、本発明のフルイディック流量計は、気体のみならず
液体の流量を計量する流量計としても利用することがで
きる。
量を計量するフルイディック流量計について説明した
が、本発明のフルイディック流量計は、気体のみならず
液体の流量を計量する流量計としても利用することがで
きる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、左
右の導圧孔間をバイパスするバイパス路を設けたので、
左右の導圧孔に同圧が加わったときにおける誤差出力が
低減されると共に、外来ノイズや流体の圧力変動に対す
る耐性が向上し、測定精度が向上するという効果があ
る。
右の導圧孔間をバイパスするバイパス路を設けたので、
左右の導圧孔に同圧が加わったときにおける誤差出力が
低減されると共に、外来ノイズや流体の圧力変動に対す
る耐性が向上し、測定精度が向上するという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るフルイディック流量
計の構成を示す断面図である。
計の構成を示す断面図である。
【図2】図1における導圧孔および差圧センサを含む断
面を拡大して示す断面図である。
面を拡大して示す断面図である。
【図3】本発明の第1実施例に係るフルイディック流量
計の回路部分の構成を示すブロック図である。
計の回路部分の構成を示すブロック図である。
【図4】気体の圧力変動と、この圧力変動に対する図2
における差圧センサの出力の一例を示す波形図である。
における差圧センサの出力の一例を示す波形図である。
【図5】圧力変動の周波数特性の一例を示す特性図であ
る。
る。
【図6】図5に示す特性の圧力変動に対する図2におけ
る差圧センサの出力の周波数特性の一例を示す特性図で
ある。
る差圧センサの出力の周波数特性の一例を示す特性図で
ある。
【図7】本発明の第2実施例に係るフルイディック流量
計における導圧孔および差圧センサを含む断面を拡大し
て示す断面図である。
計における導圧孔および差圧センサを含む断面を拡大し
て示す断面図である。
【図8】ガスメータとして利用されるフルイディック流
量計の一例の構成を示す断面図である。
量計の一例の構成を示す断面図である。
【図9】図8における導圧孔および差圧センサを含む断
面を拡大して示す断面図である。
面を拡大して示す断面図である。
【図10】気体の圧力変動と、この圧力変動に対する図
9における差圧センサの出力の一例を示す波形図であ
る。
9における差圧センサの出力の一例を示す波形図であ
る。
【図11】圧力変動の周波数特性の一例を示す特性図で
ある。
ある。
【図12】図11に示す特性の圧力変動に対する図9に
おける差圧センサの出力の周波数特性の一例を示す特性
図である。
おける差圧センサの出力の周波数特性の一例を示す特性
図である。
11 入口部 12 出口部 21 ノズル 23、24 側壁 27、28 フィードバック流路 29 リターンガイド 33、34 導圧孔 37 差圧センサ 51、52 導圧孔 53 バイパス管
Claims (2)
- 【請求項1】 流体を受け入れる入口部と、 前記入口部から受け入れた流体を通過させて噴出口より
噴流を発生させるノズルと、 このノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁と、 この側壁の外側に設けられ、前記ノズルを通過した流体
を各側壁の外側に沿って前記ノズルの噴出口側へ帰還さ
せる一対のフィードバック流路を形成するリターンガイ
ドと、 前記フィードバック流路を通過した流体を排出する出口
部と、 前記ノズルの噴出口の左右両側に設けられた導圧孔と、 この導圧孔に接続され、前記ノズルを通過した流体の流
れる方向の切り替わりを検出するために、左右の導圧孔
における差圧を検出する圧力センサと、 左右の導圧孔間をバイパスするバイパス路とを具備する
ことを特徴とするフルイディック流量計。 - 【請求項2】 フルイディック流量計においてノズルを
通過した流体の流れる方向の切り替わりを検出するため
のフルイディック発振検出装置であって、 前記ノズルの噴出口の左右両側に設けられた導圧孔と、 この導圧孔に接続され、前記ノズルを通過した流体の流
れる方向の切り替わりを検出するために、左右の導圧孔
における差圧を検出する圧力センサと、 左右の導圧孔間をバイパスするバイパス路とを具備する
ことを特徴とするフルイディック発振検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13630294A JP3267448B2 (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | フルイディック流量計およびフルイディック発振検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13630294A JP3267448B2 (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | フルイディック流量計およびフルイディック発振検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07318387A true JPH07318387A (ja) | 1995-12-08 |
JP3267448B2 JP3267448B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=15172018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13630294A Expired - Fee Related JP3267448B2 (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | フルイディック流量計およびフルイディック発振検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3267448B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3698886A1 (en) * | 2019-02-25 | 2020-08-26 | Stratec SE | Monitoring of a fluidic free jet |
LU101254B1 (en) * | 2019-05-28 | 2020-11-30 | Stratec Se | Monitoring of a fluid free jet |
-
1994
- 1994-05-26 JP JP13630294A patent/JP3267448B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3698886A1 (en) * | 2019-02-25 | 2020-08-26 | Stratec SE | Monitoring of a fluidic free jet |
US11951492B2 (en) | 2019-02-25 | 2024-04-09 | Stratec Se | Monitoring of a fluidic free jet |
LU101254B1 (en) * | 2019-05-28 | 2020-11-30 | Stratec Se | Monitoring of a fluid free jet |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3267448B2 (ja) | 2002-03-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |