JPH07311626A - 絶対圧調整器 - Google Patents

絶対圧調整器

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JPH07311626A
JPH07311626A JP12711794A JP12711794A JPH07311626A JP H07311626 A JPH07311626 A JP H07311626A JP 12711794 A JP12711794 A JP 12711794A JP 12711794 A JP12711794 A JP 12711794A JP H07311626 A JPH07311626 A JP H07311626A
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JP
Japan
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pressure
pressure chamber
adjusting
valve
diaphragm
Prior art date
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Application number
JP12711794A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsutomu Tougan
勉 東岩
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Yutaka Co Ltd
Original Assignee
Yutaka Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 2次側圧力を正圧から負圧に連続して調整す
ることが可能な絶対圧調整器を得る。 【構成】 ハウジング10内に、1次圧力室12,2次
圧力室13をそれぞれ形成し、1次圧力室と2次圧力室
とを区画する弁座2を設け、1次圧力室内に調整弁1を
配置するとともに、2次圧力室をダイヤフラム16で被
覆し、ハウジングの2次圧力室側に調整器カバー17を
連結し、調整器カバーの一端に装着した調整ハンドル1
8の進退により調整器カバー内に配置された調整スプリ
ング19の弾性力を変化させ、この弾性力が前記ダイヤ
フラムを介して前記調整弁に作用することにより、調整
弁の位置を調整して減圧を行なう圧力調整器において、
調整ハンドル18及び調整スプリング19及び調整弁1
を連結して構成し、正圧時においては調整スプリング1
9が圧縮し、負圧時においては調整スプリング19が伸
張することにより、この動作に応じて調整弁1を移動可
能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス容器から供給され
るガスの圧力を、必要なガス圧に減圧するための圧力調
整器に係り、特に、正圧及び負圧(真空圧)における圧
力調整を併用して行なうことができる絶対圧調整器の構
造に関する。
【0002】
【従来の技術】圧力調整器は、例えば1次側に装着され
たガス容器(ボンベ)中のガスを2次側に取り出す際に
所望のガス圧力になるように調整するものである。この
場合において、1次側から供給されるガスのガス圧が低
い場合、例えばWF6 ガス等の蒸気圧が低いガスを供給
する場合、2次側で吸引を必要とする場合がある。
【0003】正圧及び負圧における調圧を併用して行な
うことができる絶対圧調整器としては、例えば図4に示
すように、ハウジング10内に、流入通路11,1次圧
力室12,2次圧力室13,流出通路14をそれぞれ形
成し、1次圧力室12内に調整弁1が配置されている。
【0004】1次圧力室12と2次圧力室13とは、1
次圧力室12の内壁面にねじ込まれた弁座2により区画
されている。調整弁1の先端棒状部1aは、弁座端部の
弁シート2aに設けられた弁孔3に挿入され、コイルス
プリング4により弁孔3側に付勢されている。2次圧力
室13は、ダイヤフラム受座15に固定されたダイヤフ
ラム16により塞がれている。弁座2には、弁孔3に連
通する縦孔4及び2次圧力室13に通じる横孔5が形成
され、また、前記調整弁1の先端棒状部1aは、調整弁
案内孔6を貫通してダイヤフラム16の底部に接離可能
に構成されている。
【0005】ハウジング10の2次圧力室13側には調
整器カバー17が連結され、調整器カバー17の一端に
装着した調整ハンドル18の進退により調整器カバー1
7内に配置された調整スプリング19の弾性力を変化さ
せ、この弾性力が前記ダイヤフラム受座15及びダイヤ
フラム16を介して前記調整弁1に作用するようになっ
ている。更に、2次圧力室13の弁座2の周囲位置に、
ダイヤフラム16を押し上げるスプリング20が配置さ
れている。
【0006】従って、正圧時の減圧においては、ダイヤ
フラム16にかかる2次圧力室13の圧力及び調整スプ
リング19,コイルスプリング4の押圧力のつり合いに
より調整弁1が移動し、1次圧力室12と2次圧力室1
3を区画する弁座2の弁シート2aに前記調整弁1の円
錐部1bが接離することにより前記弁孔3を開口又は閉
塞して、1次圧力室12から2次圧力室13へ流れるガ
スの流量を制御して2次圧力室13の圧力を一定にす
る。
【0007】また、負圧(真空圧)時においては、流出
通路14側に真空ポンプ(図示せず)を接続することに
より2次圧力室13内を負圧とし、ダイヤフラム16に
かかるスプリング20及び調整スプリング19,コイル
スプリング4の押圧力のつり合いにより調整弁1が移動
し、1次圧力室12と2次圧力室13を区画する弁座2
の弁シート2aに前記調整弁1の円錐部1bが接離する
ことにより前記弁孔3を開口又は閉塞して、1次圧力室
12から2次圧力室13へ流れるガスの流量を制御して
2次圧力室13の圧力を一定にする。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記絶
対圧調整器によれば、スプリング20によるダイヤフラ
ム16への弾性力は負圧時のみ作用するような構造であ
るので、2次側圧力について正圧から負圧に連続して調
整することができないという問題点があった。すなわ
ち、2次側圧力を正圧から負圧に連続して調整する場
合、図5に示すように、正圧と負圧の境である0気圧
(大気圧)において特性曲線Aが不連続となり、流量を
連続して調整できないという問題点があった。
【0009】また、負圧側のみでの圧力調整において
も、図5の特性曲線Bに示すように、2次側圧力の変動
が激しく安定した特性を得ることができない。これは次
にような理由による。すなわち、2次圧力室13が負圧
になった時、ダイヤフラム16に負圧がかかり調整弁1
を押し下げる力が発生する。上記絶対圧調整器の構造に
よれば、この力に対抗するためにコイルスプリング4及
びスプリング20で反力を作り出すように設計され、調
整弁1が押し下がらないように構成されている。このコ
イルスプリング4とスプリング20による反力(組立時
に固定される力)は、組立時に一定の力(例えば、約9
Kgf)がダイヤフラム側に作用するように設定されてい
る。したがって、この力のバランスだけで調整弁1の弁
開度が制御されるので、流量曲線の急激な圧力変化をも
たらし、上記したような性能の悪化を招いている。
【0010】本発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、2次側圧力を正圧から負圧に連続して調整するとと
もに、負圧時において流量特性の向上を図ることができ
る絶対圧調整器を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、ハウジング内に、1次圧力室,2次圧力室を
それぞれ形成し、1次圧力室と2次圧力室とを区画する
弁座を設け、1次圧力室内に調整弁を配置するととも
に、2次圧力室をダイヤフラムで被覆し、ハウジングの
2次圧力室側に調整器カバーを連結し、調整器カバーの
一端に装着した調整ハンドルの進退により調整器カバー
内に配置された調整スプリングの弾性力を変化させ、こ
の弾性力が前記ダイヤフラムを介して前記調整弁に作用
することにより、調整弁の位置を調整して減圧を行なう
圧力調整器において、次の構成を特徴としている。前記
調整弁の先端部は、弁座に設けた弁孔を貫通してダイヤ
フラムに連結固定する。前記調整スプリングは、ダイヤ
フラムを固定するダイヤフラム受座と、調整ハンドルに
連動する圧力調整ネジとの間に各端部側を固定して配置
する。上記構造により、調整ハンドル及び調整スプリン
グ及び調整弁を連結して構成する。
【0012】また、請求項2記載の絶対圧調整器は、調
整ハンドルの頭部に、調整ハンドルの進退に連動して突
出若しくは退避するインジケータ部を設けている。
【0013】
【作用】請求項1の発明によれば、調整ハンドル及び調
整スプリング及び調整弁を連結して構成し、正圧時にお
いては調整スプリングが圧縮し、負圧時においては調整
スプリングが伸張することにより、この動作に応じて調
整弁を移動可能とすることができる。
【0014】また、請求項2の発明によれば、調整ハン
ドルの進退に連動して突出若しくは退避するインジケー
タ部を設けることにより、2次側圧力を正圧に設定した
場合の調整であるのか負圧とした場合の調整であるのか
を瞬時に判断することができる。
【0015】
【実施例】本発明にかかる絶対圧調整器の一実施例につ
いて図1及び図2を参照しながら説明する。図中、図4
と同一構成をとる部分については同一符号を付してい
る。絶対圧調整器のハウジング10内には、流入通路1
1,1次圧力室12,2次圧力室13,流出通路14が
それぞれ形成され、1次圧力室12内に調整弁1が配置
されている。1次圧力室12及び2次圧力室13は、旋
盤によりハウジング10を加工することにより形成され
る。流入通路11は1次圧力室12の側壁に通じるよう
に穿孔され、また、流出通路14は、前記流入通路11
の延長線上に穿孔された横孔部14aと、この横孔部1
4aと2次圧力室13とを通じる縦孔部14bとより形
成されている。
【0016】1次圧力室12と2次圧力室13とは、1
次圧力室12の内壁面にねじ込まれた弁座2により区画
されている。1次圧力室12内には弁ハウジング30が
装着され、この弁ハウジング30内に調整弁1が挿入さ
れている。調整弁1の先端棒状部1aは、弁座2の弁シ
ート2aに設けられた弁孔3に挿入され、弁ハウジング
30内のコイルスプリング4により弁孔3側に付勢され
ている。2次圧力室13は、調整弁案内31とダイヤフ
ラム受座15とに挟まれたダイヤフラム16により塞が
れている。前記調整弁1の先端棒状部1aは、調整弁案
内31の底部に設けた連結孔32に螺着することによ
り、調整弁1とダイヤフラム受座15とが連結固定され
ている。
【0017】ハウジング10の2次圧力室13側には調
整器カバー17を連結して2次圧力室側を被冠するよう
に構成されている。調整器カバー17の中央部にはナッ
ト33が回転可能に装着され、このナット33の中央部
にはネジ孔34が貫通形成され、このネジ孔34に圧力
調整ネジ35が進退自在に螺着されている。また、前記
ナット33は、グランド36及びスプリングピン37と
により、圧力調整ネジ35の進退方向に移動できないよ
うに構成されている。圧力調整ネジ35のハウジング1
0側には、調整スプリング19が嵌合可能なネジ山38
が形成され、また、ダイヤフラム受座15の圧力調整ネ
ジ35側には、調整スプリング19が嵌合可能なネジ山
39が形成されている。そして、ネジ山38,39間に
調整スプリング19の各端部側が固定して配置されてい
る。前記ナット33には、ナット33とともに回転する
調整ハンドル18が固定されている。
【0018】上記構造により、調整ハンドル18を回転
させることにより圧力調整ネジ35が進退すると、調整
器カバー17内に配置された調整スプリング19の弾性
力を変化させるとともに、前記ダイヤフラム受座15及
びダイヤフラム16及び調整弁1が連動して動作可能と
なり、調整ハンドル18及び調整スプリング19及び調
整弁1は連結構成される。
【0019】前記圧力調整ネジ35の端部は、調整ハン
ドル18の頭部に設けた円柱穴部40に挿入され、圧力
調整ネジ35の先端部に固定された円柱形状のインジケ
ータ部41が外部より目視できるようになっている。ま
た、インジケータ部41の側面には赤色のテープ等が貼
着されている。調整ハンドル18の頭部の面とインジケ
ータ部41の上面とは、前記調整スプリング19が圧縮
又は伸張されない通常状態のときに、図1に示すように
同一平面に位置するようにインジケータ部41が圧力調
整ネジ35に装着されている。
【0020】従って、正圧時の減圧においては、調整ハ
ンドル18を回すことにより調整スプリング19を圧縮
させてダイヤフラム16に対して押圧力を発生させ、コ
イルスプリング4の押圧力に抗してダイヤフラム16に
連結する調整弁1が移動するようになっている。すなわ
ち、1次圧力室12にボンベよりガスが供給されると、
2次圧力室13に発生する圧力、ダイヤフラム16への
調整スプリング19からの押圧力,コイルスプリング4
の押圧力のつり合いにより調整弁1が移動し、1次圧力
室12と2次圧力室13を区画する弁座2の弁シート2
aに前記調整弁1の円錐部1bが接離することにより前
記弁孔3を開口又は閉塞して、1次圧力室12から2次
圧力室13へ流れるガスの流量を制御して2次圧力室1
3の圧力を一定にする。2次圧力室13の圧力(設定圧
力)は、前記調整ハンドル18を回すことにより調整ス
プリング19の圧縮力に応じて設定することができる。
【0021】この時、調整ハンドル18の回転により圧
力調整ネジ35が調整スプリング19を圧縮させる方向
(下方向)に移動しているので、インジケータ部41は
調整ハンドル18の頭部の面に対して退避して凹部とな
っている(図2におけるインジケータ部41′)。
【0022】また、負圧(真空圧)時においては、流出
通路14側に真空ポンプ(図示せず)を接続することに
より2次圧力室13内が負圧となっている。調整ハンド
ル18を前記とは逆に回すことにより調整スプリング1
9を伸張させてダイヤフラム16を引き上げる緊張力を
発生させ、ダイヤフラム16に連結する調整弁1が移動
するようになっている。すなわち、1次圧力室12にボ
ンベの供給口が接続されると、2次圧力室13内に吸引
力が発生し、2次圧力室13の負圧、ダイヤフラム16
にかかる緊張力,コイルスプリング4の押圧力のつり合
いにより調整弁1が移動し、1次圧力室12と2次圧力
室13を区画する弁座2の弁シート2aに前記調整弁1
の円錐部1bが接離することにより前記弁孔3を開口又
は閉塞して、1次圧力室12から2次圧力室13へ流れ
るガスの流量を制御して2次圧力室13の圧力を一定に
する。2次圧力室13の負圧(設定圧力)は、前記調整
ハンドル18を回すことにより調整スプリング19の緊
張力に応じて設定することができる。
【0023】この時、調整ハンドル18の回転により圧
力調整ネジ35が調整スプリング19を伸張させる方向
(上方向)に移動しているので、インジケータ部41は
調整ハンドル18の頭部の面に対して突出して凸部とな
り、インジケータ部41の側面の赤色テープが露出して
いる状態となる(図2におけるインジケータ部4
1″)。従って、負圧(真空圧)時において使用してい
ることを瞬時に判断することができる。
【0024】次に、上記構造の絶対圧調整器を使用して
正圧から負圧にかけての圧力調整を行なった際の流量特
性グラフを図3に示す。すなわち、設定圧力(2次圧
力)を1.0 kgf/cm2、O.5 kgf/cm2、0.3 kgf
/cm2 とした場合の流量特性を示す。1次側から供給さ
れるガス圧力P1は、3.0 kgf/cm2、2.0 kgf/cm
2、1.0 kgf/cm2、0.5 kgf/cm2で行なった。設
定圧力(2次圧力)をO.5 kgf/cm2 とした時に1次
側から供給されるガス圧力P1が1.0 kgf/cm2 の場
合、設定圧力(2次圧力)をO.3 kgf/cm2としたと
きに1次側から供給されるガス圧力P1が3.0 kgf/c
m2、2.0 kgf/cm2、1.0 kgf/cm2、0.5 kgf/
cm2 の場合、2次側にガスを連続供給するには途中から
2次側を吸引する必要があるが、この場合においても特
性曲線を連続させることができる。従って、蒸気圧が低
いガスにおける流量を制御する際に、途中から2次側を
負圧にする必要がある場合でも連続して流量調整を行な
うことができる。
【0025】また、1次側から供給されるガス圧力P1
が0.0 kgf/cm2 のときに、設定圧力(2次圧力)を
−O.05 kgf/cm2、−O.1 kgf/cm2、−O.25
kgf/cm2、−O.45 kgf/cm2、−O.06 kgf/cm
2として流量を測定したところ、それぞれ安定した流量
特性を得ることができた。これは、上記構造の絶対圧調
整器によれば、組立時に調整弁1に作用する反力(組立
時に固定される力)はコイルスプリング4の力(例え
ば、1.5kgf)のみで、2次側が負圧の場合には、調
整ハンドル18の回転により可変する調整スプリング1
9の緊張力と前記反力により、調整圧力を得ている。し
たがって図4の構造に比較して、無駄な力がダイヤフラ
ム側に最初からかからないので、微妙な圧力変化に反応
して調整弁1の弁開度を制御するため、流量曲線が図5
の特性曲線Bに比較して緩やかになり、流量特性の向上
を図ることができる。
【0026】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、絶対圧調整器
において、調整ハンドル及び調整スプリング及び調整弁
を連結して構成し、調整スプリングに圧縮力又は緊張力
を生じさせて、正圧時又は負圧時における圧力調整を行
なうので、正圧から負圧にかけて連続して流量調整を行
なうことができる。特に、途中から2次側を負圧にする
必要があるような蒸気圧が低いガスの流量制御におい
て、最適な圧力調整器とすることができる。また、負圧
時において、流量特性の向上を図ることができる。
【0027】請求項2の発明によれば、調整ハンドルの
進退に連動して突出若しくは退避するインジケータ部を
設けたので、2次側圧力を正圧に設定した場合の調整で
あるのか負圧とした場合の調整であるのかを瞬時に判断
することができ、取り扱い勝手の向上を図ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例にかかる絶対圧調整器の断面
説明図である。
【図2】本発明の絶対圧調整器の調整ハンドル部分の拡
大断面説明図である。
【図3】本発明の絶対圧調整器の流量特性図である。
【図4】従来の絶対圧調整器を示す断面説明図である。
【図5】従来の絶対圧調整器の流量特性図である。
【符号の説明】
1…調整弁 1a…先端棒状部 1b…円錐状部 2…弁座 3…弁孔 4…コイルスプリング 10…ハウジング 11…流入通路 12…1次圧力室 13…2次圧力室 14…流出通路 15…ダイヤフラム受座 16…ダイヤフラム 17…調整器カバー 18…調整ハンドル 19…調整スプリング 31…調整弁案内 32…連結孔 35…圧力調整ネジ 38,39…ネジ山 41…インジケータ部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ハウジング内に、1次圧力室,2次圧力室
    をそれぞれ形成し、1次圧力室と2次圧力室とを区画す
    る弁座を設け、1次圧力室内に調整弁を配置するととも
    に、2次圧力室をダイヤフラムで被覆し、ハウジングの
    2次圧力室側に調整器カバーを連結し、調整器カバーの
    一端に装着した調整ハンドルの進退により調整器カバー
    内に配置された調整スプリングの弾性力を変化させ、こ
    の弾性力が前記ダイヤフラムを介して前記調整弁に作用
    することにより、調整弁の位置を調整して減圧を行なう
    圧力調整器において、 前記調整弁の先端部は、弁座に設けた弁孔を貫通してダ
    イヤフラムに連結固定し、 前記調整スプリングは、ダイヤフラムを固定するダイヤ
    フラム受座と、調整ハンドルに連動する圧力調整ネジと
    の間に各端部側を固定して配置することにより、 調整ハンドル及び調整スプリング及び調整弁を連結して
    成ることを特徴とする絶対圧調整器。
  2. 【請求項2】調整ハンドルの頭部に、調整ハンドルの進
    退に連動して突出若しくは退避するインジケータ部を設
    けた請求項1記載の絶対圧調整器。
JP12711794A 1994-05-18 1994-05-18 絶対圧調整器 Pending JPH07311626A (ja)

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JP12711794A JPH07311626A (ja) 1994-05-18 1994-05-18 絶対圧調整器

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JP12711794A JPH07311626A (ja) 1994-05-18 1994-05-18 絶対圧調整器

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JP (1) JPH07311626A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015524588A (ja) * 2012-07-09 2015-08-24 ルクセンバーグ パテント カンパニー エス.エー. 減圧器に残圧機能を組み入れた減圧栓

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015524588A (ja) * 2012-07-09 2015-08-24 ルクセンバーグ パテント カンパニー エス.エー. 減圧器に残圧機能を組み入れた減圧栓

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