JPH07303381A - Electrostatic actuator - Google Patents
Electrostatic actuatorInfo
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- JPH07303381A JPH07303381A JP6093299A JP9329994A JPH07303381A JP H07303381 A JPH07303381 A JP H07303381A JP 6093299 A JP6093299 A JP 6093299A JP 9329994 A JP9329994 A JP 9329994A JP H07303381 A JPH07303381 A JP H07303381A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、精密測定器、精密加
工機、ロボット、自動車機器部品、家庭電化製品、オフ
ィスオートメーション機器、医療福祉機器等の機器の駆
動に用いる静電アクチュエータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic actuator used for driving equipment such as precision measuring instruments, precision processing machines, robots, automobile equipment parts, home appliances, office automation equipment, medical welfare equipment and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】静電力を利用して負荷の駆動を行うよう
にした静電アクチュエータは、例えば特開昭６４−７４
０７１号公報、特開平４−２８５４７８号公報等で知ら
れている。しかしながら、静電アクチュエータは、電極
間隔が大きくなると十分な出力が得られない。また電極
間隔を近づけると、より大きな出力が得られるが、電極
間で電流がリークしてアクチュエータが破壊されたり、
駆動部の摩擦抵抗により実効出力の大幅な低下を招来す
る。2. Description of the Related Art An electrostatic actuator adapted to drive a load using electrostatic force is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 64-74.
No. 071 and JP-A-4-285478 are known. However, the electrostatic actuator cannot obtain a sufficient output when the electrode interval becomes large. Also, if the electrode spacing is reduced, a larger output can be obtained, but current leaks between the electrodes and the actuator is destroyed,
The frictional resistance of the drive unit causes a significant reduction in the effective output.
【０００３】したがって、電極間隔を適切な距離に保た
なくてはならない。しかし、電極間隔の維持管理はミリ
メートルオーダ以上のストロークを持つ運動をさせる場
合は非常に困難な問題であり、実用に供することのでき
る程度の出力を持つものは、いまだ製作されていない。Therefore, the electrode interval must be kept at an appropriate distance. However, the maintenance of the electrode interval is a very difficult problem when performing a motion having a stroke of millimeter order or more, and a device having an output that can be put to practical use has not yet been manufactured.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】そこで、アクチュエー
タの内部を絶縁性の高い液体や比誘電率の高い液体ある
いはゲルで満たし、アクチュエータの出力を高める試み
がなされているが、現在のところ、容器内に液体を満た
し、その中にアクチュエータを沈めて動作させているた
め、任意の方向に出力が取り出しにくく、特殊な用途を
除き実用性は高くないと言える。また、アクチュエータ
内へ塵埃が混入してしまうという問題がある。Therefore, attempts have been made to increase the output of the actuator by filling the inside of the actuator with a liquid having a high insulating property or a liquid having a high relative dielectric constant or a gel. Since it is filled with liquid and the actuator is sunk in it, the output is difficult to extract in any direction, so it can be said that it is not highly practical except for special applications. Further, there is a problem that dust is mixed into the actuator.
【０００５】また、リニアアクチュエータでは可動子の
出入りによりアクチュエータ内部の容積が変化するた
め、アクチュエータ内部の圧力が変化しアクチュエータ
の出力を大幅に削減するか、気体が混入して出力低下や
動作不良を招きやすい。Further, in the linear actuator, since the volume inside the actuator changes due to the mover moving in and out, the pressure inside the actuator changes and the output of the actuator is greatly reduced, or gas is mixed to reduce the output and malfunction. Easy to invite.
【０００６】また、滑り対偶をするシール機構を用いる
構造にした場合は容積変化を防ぐことはできるが、他の
直線運動機構のシールの場合と同様に、可動子に付着し
て外部に運び出される液体を完全に除去することが困難
で、時間とともに液体の体積減少ももたらす。また、シ
ール構造を通過する際の摩擦力で出力が低下する。Further, when the structure using a seal mechanism that makes a sliding pair is used, the volume change can be prevented, but like the case of the seal of other linear motion mechanism, it is attached to the mover and carried out to the outside. It is difficult to completely remove the liquid, and the volume of the liquid also decreases with time. In addition, the output decreases due to the frictional force when passing through the seal structure.
【０００７】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、アクチュエータの内
部に封入した液体の体積を変化させることなく、高出力
で、しかも任意の方向に出力を取り出すことができ、実
用に耐え得る静電アクチュエータを提供することにあ
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to provide a high output in an arbitrary direction without changing the volume of the liquid sealed in the actuator. It is an object of the present invention to provide an electrostatic actuator that can be taken out and can withstand practical use.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項１は、複数対の電極を有した固
定子と、この固定子の内部に挿入され軸方向に移動自在
な可動子と、前記固定子および可動子の軸方向の両端側
に設けられ一端が可動子に連結され他端が固定子に連結
され、内部に充填剤を封入して密封する弾性シール部材
とから静電アクチュエータを構成したことにある。In order to achieve the above object, the present invention provides a stator having a plurality of pairs of electrodes, and an axially movable member which is inserted into the stator. A movable element, and an elastic seal member that is provided at both ends of the stator and the axial direction of the movable element, one end of which is connected to the movable element and the other end of which is connected to the stator, and which seals and seals a filler inside. From the electrostatic actuator.
【０００９】好ましくは、請求項１において、前記固定
子は、その軸方向に複数の電極が所定ピッチで配置さ
れ、前記可動子は、その軸方向に高誘電率部分と低誘電
率部分が交互に配置されていることを特徴とする。Preferably, in the first aspect, the stator has a plurality of electrodes arranged in a predetermined pitch in an axial direction thereof, and the movable element has a high dielectric constant portion and a low dielectric constant portion alternating in the axial direction. It is arranged in.
【００１０】さらに好ましくは、請求項１において、前
記固定子は、平行状態に配設された複数個からなり、こ
れら固定子の内部にそれぞれ可動子が軸方向に移動自在
に挿入されていることを特徴とする。さらに、好ましく
は、請求項１において、弾性シール部材は、伸縮自在な
ベローズであることを特徴とする。More preferably, in the present invention, the stator is composed of a plurality of stators arranged in parallel with each other, and each of the stators has a movable element axially movably inserted therein. Is characterized by. Further, preferably, in claim 1, the elastic seal member is an expandable bellows.
【００１１】また、請求項５は、シリンダと、このシリ
ンダの内部に設けられた固定子と、この固定子の内部に
挿入され軸方向に移動自在な可動子と、前記シリンダお
よび可動子の軸方向の両端側に設けられ一端が可動子に
連結され他端がシリンダに連結され、内部に充填剤を封
入して密封する弾性シール部材とから静電アクチュエー
タを構成したことにある。According to a fifth aspect of the present invention, a cylinder, a stator provided inside the cylinder, a mover inserted in the stator and movable in the axial direction, a shaft of the cylinder and the mover. The electrostatic actuator is composed of an elastic seal member which is provided at both ends in the direction, one end of which is connected to the mover and the other end of which is connected to the cylinder, and the inside of which is filled with an elastic seal member for sealing.
【００１２】好ましくは、請求項６において、請求項５
の弾性シール部材は、ベロフラムであることを特徴とす
る。また、請求項７は、軸方向および径方向に伸縮自在
な静電アクチュエータ本体と、この静電アクチュエータ
本体の軸方向の両端部に接触してこの静電アクチュエー
タ本体を包容すると共に、内部に充填剤を封入して密封
する弾性シール部材とから静電アクチュエータを構成し
たことにある。Preferably, in claim 6, claim 5
The elastic sealing member is a belofurum. According to a seventh aspect of the present invention, the electrostatic actuator main body is expandable and contractible in the axial direction and the radial direction. The electrostatic actuator is composed of an elastic seal member that encloses and seals the agent.
【００１３】請求項８は、請求項７の静電アクチュエー
タ本体は、少なくとも一対の対向配置された電極支持体
と、前記各電極支持体に設けられ互いに対面する対をな
す電極と、対向する電極支持体の各端部を連結する弾性
部材とを有する単位静電アクチュエータをその変位方向
に複数連結した結合体であることを特徴とする。According to an eighth aspect of the present invention, in the electrostatic actuator body according to the seventh aspect, at least a pair of electrode supports arranged to face each other, electrodes provided on each of the electrode supports and forming a pair facing each other, and electrodes facing each other. It is characterized in that it is a combined body in which a plurality of unit electrostatic actuators each having an elastic member connecting each end of the support body are connected in the displacement direction.
【００１４】[0014]
【作用】請求項１は、固定子および可動子の軸方向の両
端側に、内部に封入した充填剤を密封する弾性シール部
材を設けているため、可動子の動きに伴う容積変化がな
く、アクチュエータの内部の圧力が変化しないため、出
力の減衰がないと共に、塵埃の混入を抑えることができ
る。According to the first aspect of the present invention, since elastic seal members for sealing the filler filled inside are provided at both ends in the axial direction of the stator and the mover, there is no change in volume due to the movement of the mover. Since the pressure inside the actuator does not change, the output is not attenuated and dust can be suppressed from entering.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、この発明の各実施例を図面に基づいて
説明する。図１および図２は第１の実施例を示し、１は
静電アクチュエータである。この静電アクチュエータ１
には後述する複数の電極を有する絶縁体からなる円筒状
の固定子２が設けられ、この固定子２の内部には軸方向
に移動自在な後述する誘電体からなる直方体状の可動子
３が挿入されている。さらに、静電アクチュエータ１の
両端部には弾性シール部材としてのベローズ４，５が設
けられている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show a first embodiment, and 1 is an electrostatic actuator. This electrostatic actuator 1
Is provided with a cylindrical stator 2 made of an insulator having a plurality of electrodes, which will be described later. Inside the stator 2, there is provided a movable body 3 having a rectangular parallelepiped shape which is movable in the axial direction and which is made of a later-described dielectric. Has been inserted. Further, bellows 4 and 5 as elastic seal members are provided at both ends of the electrostatic actuator 1.
【００１６】ベローズ４，５は一端が閉塞された円筒状
で、その外周面に軸方向に伸縮自在な波状部４ｘ，５ｘ
を有している。ベローズ４，５の閉塞端４ａ，５ａは可
動子３の両端に固定され、開放端４ｂ，５ｂは固定子２
の開放端に固定されている。したがって、静電アクチュ
エータ１は完全密封された構造で、内部には誘電率が高
く潤滑性の高い固体、ゲルあるいは液体等の充填剤６が
封入されている。The bellows 4 and 5 have a cylindrical shape with one end closed, and the corrugated portions 4x and 5x axially expandable and contractable on the outer peripheral surface thereof.
have. The closed ends 4a and 5a of the bellows 4 and 5 are fixed to both ends of the mover 3, and the open ends 4b and 5b are fixed to the stator 2.
Fixed to the open end of. Therefore, the electrostatic actuator 1 has a completely sealed structure, and a filler 6 such as a solid, gel or liquid having a high dielectric constant and a high lubricity is enclosed inside.
【００１７】前記固定子２および可動子３について説明
を加えると、図２に示すように、互いに対向する一対の
電極８，９が固定子２の軸方向に所定ピッチで複数組配
置されている。これら複数組の各電極８，９の電極面８
ａ，９ａは略平行に向き合っている。また、一方の電極
８の端子８ｂは切換えスイッチ１０を介して直流電源１
１のプラス側に、他方の電極９の端子９ｂは直流電源１
１のマイナス側に接続されている。The stator 2 and the mover 3 will be further described. As shown in FIG. 2, a plurality of pairs of electrodes 8 and 9 facing each other are arranged at a predetermined pitch in the axial direction of the stator 2. . The electrode surface 8 of each of the plurality of sets of electrodes 8 and 9
a and 9a face each other substantially in parallel. In addition, the terminal 8b of the one electrode 8 is connected to the DC power source 1 via the changeover switch 10.
On the positive side of 1, the terminal 9b of the other electrode 9 is connected to the DC power source 1
It is connected to the minus side of 1.
【００１８】前記可動子３は、誘電体からなり直方体状
で、その厚さを略一定に形成しており、その軸方向に高
誘電率部分３ａと低誘電率部分３ｂが交互に配置されて
いる。そして、本実施例では前記電極８，９の幅ａと配
置ピッチｂ、高誘電率部分３ａと低誘電率部分３ｂの幅
ｃおよび配置ピッチｄの関係を、電極幅ａ：電極配置ピ
ッチｂ：高誘電率部分幅ｃ（低誘電率部分配置ピッ
チ）：低誘電率部分幅ｄ（高誘電率部分配置ピッチ）＝
４：２：４：３に設定している。The mover 3 is made of a dielectric material and is in the shape of a rectangular parallelepiped. The thickness of the mover 3 is substantially constant, and high dielectric constant portions 3a and low dielectric constant portions 3b are alternately arranged in the axial direction. There is. In this embodiment, the relationship between the width a of the electrodes 8 and 9 and the arrangement pitch b, the width c of the high dielectric constant portion 3a and the low dielectric constant portion 3b, and the arrangement pitch d is electrode width a: electrode arrangement pitch b: High dielectric constant part width c (low dielectric constant part arrangement pitch): Low dielectric constant part width d (high dielectric constant part arrangement pitch) =
It is set to 4: 2: 4: 3.
【００１９】次に、第１の実施例の作用について説明す
る。図１（ａ）は可動子３が固定子２に対して中立位置
（ベローズ４，５は略同程度伸長した状態）にある状態
を示す。切換えスイッチ１０を順次切換え操作して直流
電源１１から電極８，９に電圧を印加すると、電極８，
９同士の間に働く吸引力と、電極８，９と可動子３とに
働く吸引力とが発生し、同図（ｂ）に示すように、可動
子３が固定子２に対して左方向に移動する。したがっ
て、右側のベローズ５は収縮し、左側のベローズ４は伸
長した状態になる。Next, the operation of the first embodiment will be described. FIG. 1A shows a state where the mover 3 is in a neutral position with respect to the stator 2 (the bellows 4 and 5 are extended to substantially the same extent). When a voltage is applied from the DC power supply 11 to the electrodes 8 and 9 by sequentially changing over the changeover switch 10, the electrodes 8 and
A suction force acting between the electrodes 9 and 9 and a suction force acting on the electrodes 8 and 9 and the mover 3 are generated, so that the mover 3 moves leftward with respect to the stator 2 as shown in FIG. Move to. Therefore, the right bellows 5 contracts, and the left bellows 4 expands.
【００２０】このとき、可動子３が移動する間、ベロー
ズ４の内容積とベローズ５の内容積の和は常に一定であ
る。同図（ｃ）は可動子３が固定子２に対して右方向に
移動した状態で、左側のベローズ４は収縮し、右側のベ
ローズ５は伸長した状態になる。At this time, the sum of the inner volume of the bellows 4 and the inner volume of the bellows 5 is always constant while the mover 3 moves. In the same figure (c), the mover 3 is moved to the right with respect to the stator 2, the left bellows 4 is contracted, and the right bellows 5 is expanded.
【００２１】このとき、可動子３が移動する間、ベロー
ズ４の内容積とベローズ５の内容積の和は常に一定であ
る。以上のように静電アクチュエータ１の内部の容積を
変えることなく、可動子３を直線運動させることがで
き、液体６を完全に密封した状態に保つことができる。At this time, the sum of the inner volume of the bellows 4 and the inner volume of the bellows 5 is always constant while the mover 3 moves. As described above, the mover 3 can be linearly moved without changing the internal volume of the electrostatic actuator 1, and the liquid 6 can be kept completely sealed.
【００２２】したがって、可動子３の軸方向の往復運動
を、精密測定器、精密加工機、ロボット、自動車機器部
品、家庭電化製品、オフィスオートメーション機器、医
療福祉機器等の機器の駆動に用いることができる。Therefore, the axial reciprocating motion of the mover 3 can be used to drive devices such as precision measuring instruments, precision processing machines, robots, automobile equipment parts, home appliances, office automation equipment, medical welfare equipment and the like. it can.
【００２３】図３は第２の実施例を示し、第１の実施例
と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略する。図
中１７は、固定子２および可動子３を包容する円筒状の
シリンダであり、この長手方向の中間部には固定子２の
中間部を支持する固定子支持体１８が設けられている。FIG. 3 shows a second embodiment. The same components as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Reference numeral 17 in the drawing denotes a cylindrical cylinder that contains the stator 2 and the mover 3, and a stator support 18 that supports the intermediate portion of the stator 2 is provided at the intermediate portion in the longitudinal direction.
【００２４】可動子３の両端部にはキャップ状のピスト
ン１９，２０が設けられ、このピストン１９，２０には
弾性シール部材としてのベロフラム２１，２２の閉塞端
１９ａ，２０ａが固定され、この開放端１９ｂ，２０ｂ
はシリンダ１７の開放端に固定されている。したがっ
て、静電アクチュエータ２３は完全密封された構造で、
内部には充填剤としての液体６が封入されている。Cap-shaped pistons 19 and 20 are provided at both ends of the mover 3, and closed ends 19a and 20a of bellows 21 and 22 as elastic seal members are fixed to the pistons 19 and 20 and opened. Edges 19b, 20b
Is fixed to the open end of the cylinder 17. Therefore, the electrostatic actuator 23 has a completely sealed structure,
A liquid 6 as a filler is enclosed inside.
【００２５】前記固定子２および可動子３には、図２に
示すように、互いに対向する一対の電極８，９が固定子
２の軸方向に所定ピッチで複数組配置されている。これ
ら複数組の各電極８，９の電極面８ａ，９ａは略平行に
向き合っている。また、一方の電極８の端子８ｂは切換
えスイッチ１０を介して直流電源１１のプラス側に、他
方の電極９の端子９ｂは直流電源１１のマイナス側に接
続されている。As shown in FIG. 2, the stator 2 and the mover 3 are provided with a plurality of pairs of electrodes 8 and 9 facing each other at a predetermined pitch in the axial direction of the stator 2. The electrode surfaces 8a and 9a of the plurality of sets of electrodes 8 and 9 face each other substantially in parallel. The terminal 8b of the one electrode 8 is connected to the plus side of the DC power supply 11 via the changeover switch 10, and the terminal 9b of the other electrode 9 is connected to the minus side of the DC power supply 11.
【００２６】前記可動子３は、誘電体からなり直方体状
で、その厚さを略一定に形成しており、その軸方向に高
誘電率部分３ａと低誘電率部分３ｂが交互に配置されて
いる。そして、本実施例でも前述の第１の実施例と同様
に、前記電極８，９の幅ａと配置ピッチｂ、高誘電率部
分３ａと低誘電率部分３ｂの幅ｃおよび配置ピッチｄの
関係を、電極幅ａ：電極配置ピッチｂ：高誘電率部分幅
ｃ（低誘電率部分配置ピッチ）：低誘電率部分幅ｄ（高
誘電率部分配置ピッチ）＝４：２：４：３に設定してい
る。The mover 3 is made of a dielectric material and is in the shape of a rectangular parallelepiped. The thickness of the mover 3 is substantially constant. High permittivity portions 3a and low permittivity portions 3b are alternately arranged in the axial direction. There is. Also in this embodiment, as in the first embodiment, the relationship between the width a of the electrodes 8 and 9 and the arrangement pitch b, the width c of the high dielectric constant portion 3a and the low dielectric constant portion 3b, and the arrangement pitch d. Is set to electrode width a: electrode arrangement pitch b: high dielectric constant portion width c (low dielectric constant portion arrangement pitch): low dielectric constant portion width d (high dielectric constant portion arrangement pitch) = 4: 2: 4: 3. is doing.
【００２７】次に、第２の実施例の作用について説明す
る。図３（ａ）は可動子３が固定子２に対して中立位置
（ベローズ４，５は略同程度伸長した状態）にある状態
を示す。ベロフラム２１，２２は略同程度ローリングし
た状態にあり、同図（ｂ）は可動子３が固定子２に対し
て左方向に移動した状態で、ピストン１９，２０もこの
動きにつれて左方向に移動する。ベロフラム２１，２２
も左方向に移動するが、この間、シリンダ１７とピスト
ン１９，２０およびベロフラム２１，２２によって囲ま
れた内容積の和は常に一定である。同図（ｃ）は可動子
３が固定子２に対して右方向に移動した状態で、ピスト
ン１９，２０もこの動きにつれて右方向に移動する。ベ
ロフラム２１，２２も右方向に移動するが、この間、シ
リンダ１７とピストン１９，２０およびベロフラム２
１，２２によって囲まれた内容積の和は常に一定であ
る。以上のように静電アクチュエータ２３の内部の容積
を変えることなく、可動子３を直線運動させることがで
き、液体６を完全に密封した状態に保つことができる。Next, the operation of the second embodiment will be described. FIG. 3A shows a state in which the mover 3 is in a neutral position with respect to the stator 2 (the bellows 4 and 5 are extended to substantially the same extent). The bellows 21 and 22 are in a state of substantially rolling, and in the figure (b), the mover 3 is moved to the left with respect to the stator 2, and the pistons 19 and 20 are also moved to the left with this movement. To do. Belofram 21,22
Also moves to the left, but during this time, the sum of the internal volumes surrounded by the cylinder 17, the pistons 19, 20 and the bellows 21, 22 is always constant. In the same figure (c), the mover 3 has moved to the right with respect to the stator 2, and the pistons 19 and 20 also move to the right with this movement. The bellows 21 and 22 also move to the right, but during this time, the cylinder 17, the pistons 19 and 20, and the bellows 2
The sum of the inner volumes surrounded by 1 and 22 is always constant. As described above, the mover 3 can be linearly moved without changing the internal volume of the electrostatic actuator 23, and the liquid 6 can be kept in a completely sealed state.
【００２８】前述した第１および第２の実施例では、電
極の幅と配置ピッチ、高誘電率部分と低誘電率部分の幅
および配置ピッチの関係を、電極幅：電極配置ピッチ：
高誘電率部分幅（低誘電率部分配置ピッチ）：低誘電率
部分幅（高誘電率部分配置ピッチ）＝４：２：４：３に
設定したものについて説明したが、この関係に限定され
るものではなく、固定しに対して可動子が軸方向に移動
可能であれば、同様の動作・作用・効果を得ることがで
きる。In the first and second embodiments described above, the relationship between the electrode width and the arrangement pitch, the width and the arrangement pitch of the high dielectric constant portion and the low dielectric constant portion is expressed by
The high dielectric constant part width (low dielectric constant part arrangement pitch): low dielectric constant part width (high dielectric constant part arrangement pitch) = 4: 2: 4: 3 has been described, but the invention is not limited to this relationship. If the mover is not fixed but movable in the axial direction with respect to the fixed one, the same operation / action / effect can be obtained.
【００２９】図４〜図６は第３の実施例を示し、図中２
４ｂは単位静電アクチュエータで、剛性を有する電極支
持体２５，２６が互いに対向して設けられている。電極
支持体２５，２６は、両端部がそれぞれ等しいばね定数
を有する半円弧状の板ばね製のスペーサ２７，２８を介
して連結され、互いに所定間隔を存して平行するように
配置されている。さらに、電極支持体２５，２６には対
をなす電極２９，３０が互いに対面する状態に固定され
ている。FIGS. 4 to 6 show a third embodiment, which is shown in FIG.
4b is a unit electrostatic actuator, and electrode supports 25 and 26 having rigidity are provided to face each other. The electrode supports 25, 26 are connected to each other via spacers 27, 28 made of leaf springs having a semi-circular arc shape having the same spring constant at both ends, and are arranged so as to be parallel to each other at a predetermined interval. . Further, paired electrodes 29, 30 are fixed to the electrode supports 25, 26 so as to face each other.
【００３０】前述のように構成された単位静電アクチュ
エータ２４ｂにおいて、図５（ｂ）に示すように、電極
２９，３０間に直流電源３１の電圧をスイッチ３２を介
して印加し、これら電極２９，３０で構成されるコンデ
ンサを充電すると、電極２９，３０間に吸引力が発生し
て電極支持体２５，２６を互いに近付けようとする力が
作用する。このとき、両電極２９，３０が設けられた各
電極支持体２５，２６は、比較的剛性が高いと共に、こ
れらの両端がそれぞれ等しいばね定数の板ばねからなる
スペーサ２７，２８を介して連結されているから、前記
各電極支持体２５，２６は、スペーサ２７，２８の屈曲
変形に伴い電極２９，３０と共に互いに近接方向へ平行
に変位する。In the unit electrostatic actuator 24b constructed as described above, as shown in FIG. 5 (b), the voltage of the DC power supply 31 is applied between the electrodes 29 and 30 through the switch 32, and the electrodes 29 and 30 are applied. , 30 is charged, an attractive force is generated between the electrodes 29, 30 to exert a force for bringing the electrode supports 25, 26 closer to each other. At this time, the electrode supports 25, 26 provided with the electrodes 29, 30 have relatively high rigidity, and both ends thereof are connected via spacers 27, 28 made of leaf springs having the same spring constant. Therefore, the electrode supports 25 and 26 are displaced in parallel with each other in the proximity direction together with the electrodes 29 and 30 as the spacers 27 and 28 are bent and deformed.
【００３１】そして、電極支持体２５，２６等を変位さ
せる力は、電極２９，３０間の吸引力（静電力）とスペ
ーサ２７，２８の屈曲変形に伴う弾性反発力が均衡する
まで作用する。The force for displacing the electrode supports 25, 26, etc. acts until the attractive force (electrostatic force) between the electrodes 29, 30 and the elastic repulsive force due to the bending deformation of the spacers 27, 28 are balanced.
【００３２】この場合、両電極２９，３０間の距離は、
前記コンデンサに蓄えられる静電エネルギの大きさ、ひ
いては電極２９，３０間に対する電圧印加時間に応じた
量だけ変化するものであり、したがって、電極２９，３
０間の距離を、その電極２９，３０間に対する電圧印加
時間によって制御することができる。In this case, the distance between the electrodes 29 and 30 is
The amount of electrostatic energy stored in the capacitor changes by an amount corresponding to the voltage application time between the electrodes 29 and 30, and therefore the electrodes 29 and 3.
The distance between 0 can be controlled by the voltage application time between the electrodes 29 and 30.
【００３３】また、同図（ａ）に示すように、スイッチ
３２によって電極２９，３０間を短絡したときには電極
２９，３０で構成するコンデンサに蓄えられた静電エネ
ルギが放出されて電極２９，３０間の吸引力が消失する
ため、各電極支持体２５，２６はスペーサ２７，２８の
弾性反発力によって原位置に戻るようになる。Further, as shown in FIG. 5A, when the electrodes 32 and 30 are short-circuited by the switch 32, the electrostatic energy stored in the capacitor formed by the electrodes 29 and 30 is released and the electrodes 29 and 30 are discharged. Since the attraction force between the electrode supports 25 and 26 disappears, the elastic repulsion of the spacers 27 and 28 causes the electrode supports 25 and 26 to return to their original positions.
【００３４】図４中２４は、前述した単位静電アクチュ
エータ２４ｂの変位方向に多数配列させて構成した静電
アクチュエータ本体である（図６参照）。同図（ａ）は
この静電アクチュエータ本体２４が軸方向に伸長してい
る状態（図６（ａ）参照）で、弾性膜２４ａは長手方向
に伸長している。また、同図（ｂ）は静電アクチュエー
タ本体２４が軸方向に収縮した場合（図６（ｂ）参照）
で、弾性膜２４ａは長い方向には収縮するが、円周方向
には膨張することで、液体の体積変化をせずに済むよう
になっている。Reference numeral 24 in FIG. 4 denotes an electrostatic actuator body constituted by arranging a large number in the displacement direction of the unit electrostatic actuator 24b described above (see FIG. 6). FIG. 6A shows a state in which the electrostatic actuator body 24 extends in the axial direction (see FIG. 6A), and the elastic film 24a extends in the longitudinal direction. Further, FIG. 6B shows the case where the electrostatic actuator body 24 contracts in the axial direction (see FIG. 6B).
Thus, the elastic film 24a contracts in the long direction, but expands in the circumferential direction so that the volume of the liquid does not change.
【００３５】図７は第４の実施例を示し、第３の実施例
における静電アクチュエータ本体２４がケーシング３５
に組み込まれている。ケーシング３５には横軸筒体３６
とこれと直交する縦軸筒体３７を有している。ケーシン
グ３５の横軸筒体３６には前記静電アクチュエータ本体
２４が挿入されている。この静電アクチュエータ２４は
軸方向に伸縮自在であり、両端には弾性シール部材とし
てのベローズ３８，３９の閉塞端３８ａ，３９ａが固定
され、この開放端３８ｂ，３９ｂは横軸筒体３６の開放
端に固定されている。FIG. 7 shows a fourth embodiment, in which the electrostatic actuator body 24 in the third embodiment has a casing 35.
Built into. The casing 35 has a horizontal axis tubular body 36.
And a vertical axis cylinder 37 orthogonal to this. The electrostatic actuator main body 24 is inserted in the horizontal axis tubular body 36 of the casing 35. The electrostatic actuator 24 is expandable and contractable in the axial direction, and closed ends 38a and 39a of bellows 38 and 39 as elastic seal members are fixed to both ends thereof, and open ends 38b and 39b of the horizontal shaft cylinder 36 are opened. It is fixed on the edge.
【００３６】前記ケーシング３５の縦軸筒体３７の開放
端にはベローズ４０，４１の開放端４０ｂ，４１ｂが固
定され、静電アクチュエータ本体２４は完全密封された
構造で、内部には充填剤としての液体６が封入されてい
る。The open ends 40b and 41b of the bellows 40 and 41 are fixed to the open ends of the vertical cylinder 37 of the casing 35, and the electrostatic actuator main body 24 has a completely sealed structure. Liquid 6 is enclosed.
【００３７】図７（ａ）は静電アクチュエータ本体２４
が伸長した状態で、ベローズ３８，３９は略同程度伸長
した状態であり、ベローズ３８と３９の内容積は増加し
ている。これに対し、縦軸筒体３７に設けられたベロー
ズ４０，４１は収縮して容積を減少させることで、静電
アクチュエータ本体２４内に充填されている液体６の体
積を変えることなく静電アクチュエータ本体２４を駆動
することができる。以上のように静電アクチュエータ本
体２４の内部の容積を変えることなく、静電アクチュエ
ータ本体２４を直線運動させることができ、液体６を完
全に密封した状態に保つことができる。FIG. 7A shows the electrostatic actuator body 24.
In the expanded state, the bellows 38 and 39 are in a substantially expanded state, and the inner volumes of the bellows 38 and 39 are increasing. On the other hand, the bellows 40 and 41 provided on the vertical cylinder 37 contract to reduce the volume thereof, thereby changing the volume of the liquid 6 filled in the electrostatic actuator body 24 without changing the volume of the electrostatic actuator. The body 24 can be driven. As described above, the electrostatic actuator body 24 can be linearly moved without changing the internal volume of the electrostatic actuator body 24, and the liquid 6 can be kept in a completely sealed state.
【００３８】図８は第５の実施例を示し、第１の実施例
の変形例であり、第１の実施例と同一構成部分は同一番
号を付して説明を省略する。４２は静電アクチュエータ
１のケーシングであり、このケーシング４２の内部には
円筒状の複数個の固定子２…が平行状態に配設されてい
る。これら固定子２…の内部には軸方向に移動自在な可
動子３…が挿入されている。さらに、ケーシング４２の
両端部には弾性シール部材としてのベローズ４，５が設
けられている。FIG. 8 shows a fifth embodiment, which is a modification of the first embodiment. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Reference numeral 42 denotes a casing of the electrostatic actuator 1. Inside the casing 42, a plurality of cylindrical stators 2 ... Are arranged in parallel. Inside the stators 2 ..., Movable elements 3 ... Which are movable in the axial direction are inserted. Further, bellows 4 and 5 as elastic seal members are provided at both ends of the casing 42.
【００３９】ベローズ４，５は閉塞端４ａ，５ａは可動
子３…の両端に固定され、開放端４ｂ，５ｂはケーシン
グ４２の開放端に固定されている。したがって、静電ア
クチュエータ１は完全密封された構造で、内部には充填
剤としての液体６が封入されている。The bellows 4, 5 have closed ends 4a, 5a fixed to both ends of the mover 3, and open ends 4b, 5b fixed to open ends of the casing 42. Therefore, the electrostatic actuator 1 has a completely sealed structure, and the liquid 6 as a filler is enclosed inside.
【００４０】図８（ａ）は可動子３…が固定子２…に対
して中立位置にある場合で、ベローズ４，５は略同程度
伸長した状態にあり、第１の実施例と同様の作用により
同図（ｂ）に示すように可動子３…が固定子２…に対し
て左方向に移動した状態で、右側のベローズ５は収縮
し、左側のベローズ４は伸長した状態になる。このと
き、可動子３…が移動する間、ベローズ４の内容積とベ
ローズ５の内容積の和は常に一定である。同図（ｃ）は
可動子３…が固定子２…に対して右方向に移動した状態
で、左側のベローズ４は収縮し、右側のベローズ５は伸
長した状態になる。このとき、可動子３が移動する間、
ベローズ４の内容積とベローズ５の内容積の和は常に一
定である。以上のように静電アクチュエータ１の内部の
容積を変えることなく、可動子３…を直線運動させるこ
とができ、液体６を完全に密封した状態に保つことがで
きる。FIG. 8A shows the case where the mover 3 is in the neutral position with respect to the stator 2, and the bellows 4 and 5 are in a state of being extended to substantially the same extent, which is the same as in the first embodiment. As a result of the action, as shown in FIG. 3B, in the state where the movers 3 move to the left with respect to the stators 2, the right bellows 5 contracts and the left bellows 4 expands. At this time, the sum of the inner volume of the bellows 4 and the inner volume of the bellows 5 is always constant while the mover 3 moves. In the same figure (c), the mover 3 moves to the right with respect to the stator 2, and the left bellows 4 contracts and the right bellows 5 expands. At this time, while the mover 3 moves,
The sum of the inner volume of the bellows 4 and the inner volume of the bellows 5 is always constant. As described above, the movers 3 can be moved linearly without changing the internal volume of the electrostatic actuator 1, and the liquid 6 can be kept completely sealed.
【００４１】この実施例のように、ケーシング４２の内
部には複数個の固定子２…を平行状態に配設し、これら
固定子２…の内部に軸方向に移動自在な可動子３…を挿
入することにより、大きな駆動力を得ることができると
共に、ベローズ４，５を単独に設ける必要がなく、構成
の簡素化を図ることができる。As in this embodiment, a plurality of stators 2 ... Are arranged in parallel inside the casing 42, and movable elements 3 ... Which are axially movable inside the stators 2 ... By inserting, it is possible to obtain a large driving force and it is not necessary to provide the bellows 4 and 5 separately, so that the structure can be simplified.
【００４２】図９は第６の実施例を示し、第２の実施例
の変形例であり、第２の実施例と同一構成部分は同一番
号を付して説明を省略する。４３は静電アクチュエータ
２３のシリンダあり、円筒状に構成されている。このシ
リンダ４３の内部には円筒状の複数個の固定子２…が平
行状態に配設されている。これら固定子２…の内部には
軸方向に移動自在な可動子３…が挿入されている。シリ
ンダ４３の長手方向の中間部には固定子２…の中間部を
支持する固定子支持体１８が設けられている。FIG. 9 shows a sixth embodiment, which is a modification of the second embodiment. The same components as those of the second embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Reference numeral 43 denotes a cylinder of the electrostatic actuator 23, which has a cylindrical shape. Inside the cylinder 43, a plurality of cylindrical stators 2 ... Are arranged in parallel. Inside the stators 2 ..., Movable elements 3 ... Which are movable in the axial direction are inserted. A stator support 18 that supports the intermediate portions of the stators 2 is provided at the intermediate portion of the cylinder 43 in the longitudinal direction.
【００４３】可動子３の両端部にはキャップ状のピスト
ン１９，２０が設けられ、このピストン１９，２０には
弾性シール部材としてのベロフラム２１，２２の一端２
１ａ，２２ａが固定され、この他端２１ｂ，２２ｂはシ
リンダ４３の開放端に固定されている。したがって、静
電アクチュエータ２３は完全密封された構造で、内部に
は充填剤としての液体６が封入されている。Cap-shaped pistons 19 and 20 are provided at both ends of the mover 3, and the pistons 19 and 20 are provided with one end 2 of a bellows 21 and 22 as elastic sealing members.
1a and 22a are fixed, and the other ends 21b and 22b are fixed to the open end of the cylinder 43. Therefore, the electrostatic actuator 23 has a completely sealed structure, and the liquid 6 as a filler is enclosed inside.
【００４４】図９（ａ）は可動子３…が固定子２…に対
して中立位置にある場合で、ベロフラム２１，２２は略
同程度ローリングした状態にあり、同図（ｂ）は可動子
３が固定子２に対して左方向に移動した状態で、ピスト
ン１９，２０もこの動きにつれて左方向に移動する。ベ
ロフラム２１，２２も左方向に移動するが、この間、シ
リンダ４３とピストン１９，２０およびベロフラム２
１，２２によって囲まれた内容積の和は常に一定であ
る。同図（ｃ）は可動子３が固定子２に対して右方向に
移動した状態で、ピストン１９，２０もこの動きにつれ
て右方向に移動する。ベロフラム２１，２２も右方向に
移動するが、この間、シリンダ４３とピストン１９，２
０およびベロフラム２１，２２によって囲まれた内容積
の和は常に一定である。以上のように静電アクチュエー
タ２３の内部の容積を変えることなく、可動子３を直線
運動させることができ、液体６を完全に密封した状態に
保つことができる。FIG. 9 (a) shows the case where the movers 3 ... Are in the neutral position with respect to the stators 2 ... The bellows 21 and 22 are in a state of substantially the same rolling, and FIG. 9 (b) is the mover. The pistons 19 and 20 also move to the left with this movement in a state in which 3 has moved to the left with respect to the stator 2. The bellows 21 and 22 also move to the left, but during this time, the cylinder 43, the pistons 19 and 20, and the bellows 2
The sum of the inner volumes surrounded by 1 and 22 is always constant. In the same figure (c), the mover 3 has moved to the right with respect to the stator 2, and the pistons 19 and 20 also move to the right with this movement. The bellows 21 and 22 also move to the right, but during this time, the cylinder 43 and the pistons 19 and 2
The sum of the inner volume surrounded by 0 and the bellowrams 21 and 22 is always constant. As described above, the mover 3 can be linearly moved without changing the internal volume of the electrostatic actuator 23, and the liquid 6 can be kept in a completely sealed state.
【００４５】この実施例のように、シリンダ４３の内部
には複数個の固定子２…を平行状態に配設し、これら固
定子２…の内部に軸方向に移動自在な可動子３…を挿入
することにより、大きな駆動力を得ることができると共
に、ベロフラム２１，２２を単独に設ける必要がなく、
構成の簡素化を図ることができる。As in this embodiment, a plurality of stators 2 ... Are arranged in parallel inside the cylinder 43, and movable elements 3 ... Which are axially movable inside the stators 2 ... By inserting, it is possible to obtain a large driving force, and it is not necessary to separately provide the bellowrams 21 and 22,
It is possible to simplify the configuration.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、アクチュエータの内部に封入した液体の体積を変化
させることなく、高出力で、しかも任意の方向に出力を
取り出すことができ、可動子の軸方向の往復運動を、精
密測定器、精密加工機、ロボット、自動車機器部品、家
庭電化製品、オフィスオートメーション機器、医療福祉
機器等の機器の駆動に用いることができる。As described above, according to the present invention, a high output and an output in any direction can be taken out without changing the volume of the liquid enclosed in the actuator, and the mover is movable. The axial reciprocating motion can be used to drive devices such as precision measuring instruments, precision processing machines, robots, automobile equipment parts, home appliances, office automation equipment, medical welfare equipment, and the like.
【図１】この発明の第１の実施例を示す静電アクチュエ
ータの動作状態を示す縦断側面図。FIG. 1 is a vertical sectional side view showing an operating state of an electrostatic actuator showing a first embodiment of the present invention.
【図２】同実施例の作用説明図。FIG. 2 is an operation explanatory view of the same embodiment.
【図３】この発明の第２の実施例を示す静電アクチュエ
ータの動作状態を示す縦断側面図。FIG. 3 is a vertical sectional side view showing an operating state of the electrostatic actuator according to the second embodiment of the present invention.
【図４】この発明の第３の実施例を示す静電アクチュエ
ータの作用説明図。FIG. 4 is an operation explanatory view of the electrostatic actuator showing the third embodiment of the present invention.
【図５】同実施例の静電アクチュエータを構成する単位
静電アクチュエータの動作状態を示す縦断側面図。FIG. 5 is a vertical cross-sectional side view showing an operating state of a unit electrostatic actuator that constitutes the electrostatic actuator of the embodiment.
【図６】同実施例の静電アクチュエータの動作説明図。FIG. 6 is an operation explanatory view of the electrostatic actuator of the embodiment.
【図７】この発明の第４の実施例で、第３の実施例の変
形例を示す静電アクチュエータの動作状態の縦断側面
図。FIG. 7 is a vertical cross-sectional side view of an electrostatic actuator according to a fourth embodiment of the present invention, which is a modification of the third embodiment in an operating state.
【図８】この発明の第５の実施例で、第１の実施例の変
形例を示す静電アクチュエータの動作状態の縦断側面
図。FIG. 8 is a vertical sectional side view of an electrostatic actuator according to a fifth embodiment of the present invention, which is a modification of the first embodiment in an operating state.
【図９】この発明の第６の実施例で、第２の実施例の変
形例を示す静電アクチュエータの動作状態の縦断側面
図。FIG. 9 is a vertical cross-sectional side view of an operating state of an electrostatic actuator showing a modification of the second embodiment in the sixth embodiment of the present invention.
１…静電アクチュエータ ２…固定子 ３…可動子 ３ａ…高誘電率部分 ３ｂ…低誘電率部分 ４，５…ベローズ ６…液体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electrostatic actuator 2 ... Stator 3 ... Mover 3a ... High permittivity part 3b ... Low permittivity part 4, 5 ... Bellows 6 ... Liquid
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成６年５月９日[Submission date] May 9, 1994
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図７[Name of item to be corrected] Figure 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図７】 [Figure 7]
Claims (8)
定子の内部に挿入され軸方向に移動自在な誘電体からな
る可動子と、前記固定子および可動子の軸方向の両端側
に設けられ一端が可動子に連結され他端が固定子に連結
され、内部に充填剤を封入して密封する弾性シール部材
とを具備したことを特徴とする静電アクチュエータ。1. A stator having a plurality of pairs of electrodes, a mover made of a dielectric material inserted in the stator and movable in the axial direction, and both ends of the stator and the mover in the axial direction. And an elastic seal member that is connected to the mover at one end and is connected to the stator at the other end and that seals the inside by enclosing a filler.
定ピッチで配置され、前記可動子は、その軸方向に高誘
電率部分と低誘電率部分が交互に配置されていることを
特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータ。2. The stator has a plurality of electrodes arranged in a predetermined pitch in an axial direction thereof, and the mover has high permittivity portions and low permittivity portions alternately disposed in an axial direction thereof. The electrostatic actuator according to claim 1, which is characterized in that.
数個からなり、これら固定子の内部にそれぞれ可動子が
軸方向に移動自在に挿入されていることを特徴とする請
求項１記載の静電アクチュエータ。3. The stator comprises a plurality of stators arranged in parallel with each other, and a mover is inserted into each of the stators so as to be movable in the axial direction. The electrostatic actuator described.
であることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエ
ータ。4. The electrostatic actuator according to claim 1, wherein the elastic seal member is an expandable bellows.
られ複数対の電極を有した固定子と、この固定子の内部
に挿入され軸方向に移動自在な可動子と、前記シリンダ
および可動子の軸方向の両端側に設けられ一端が可動子
に連結され他端がシリンダに連結され、内部に充填剤を
封入して密封する弾性シール部材とを具備したことを特
徴とする静電アクチュエータ。5. A cylinder, a stator provided inside the cylinder and having a plurality of pairs of electrodes, a mover inserted in the stator and movable in the axial direction, and the cylinder and the mover. An electrostatic actuator, comprising: an elastic seal member, which is provided at both ends in the axial direction, has one end connected to a mover and the other end connected to a cylinder, and has a filler sealed inside for sealing.
とを特徴とする請求項５記載の静電アクチュエータ。6. The electrostatic actuator according to claim 5, wherein the elastic seal member is a bellows.
クチュエータ本体と、この静電アクチュエータ本体の軸
方向の両端部に接触してこの静電アクチュエータ本体を
包容すると共に、内部に充填剤を封入して密封する弾性
シール部材とを具備したことを特徴とする静電アクチュ
エータ。7. An electrostatic actuator main body that is expandable and contractible in the axial direction and the radial direction, and contacts both ends of the electrostatic actuator main body in the axial direction to enclose the electrostatic actuator main body and a filler inside. An electrostatic actuator comprising: an elastic sealing member that is sealed and sealed.
とも一対の対向配置された電極支持体と、前記各電極支
持体に設けられ互いに対面する対をなす電極と、対向す
る電極支持体の各端部を連結する弾性部材とを有する単
位静電アクチュエータをその変位方向に複数連結した結
合体であることを特徴とする請求項７記載の静電アクチ
ュエータ。8. The electrostatic actuator body includes at least a pair of electrode supports that are arranged to face each other, electrodes that are provided on each of the electrode supports and that face each other, and end portions of the electrode supports that face each other. 8. The electrostatic actuator according to claim 7, wherein the electrostatic actuator is a combined body in which a plurality of unit electrostatic actuators each having an elastic member connecting the unit electrostatic actuators are connected in the displacement direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6093299A JPH07303381A (en) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | Electrostatic actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6093299A JPH07303381A (en) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | Electrostatic actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07303381A true JPH07303381A (en) | 1995-11-14 |
Family
ID=14078485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6093299A Pending JPH07303381A (en) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | Electrostatic actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07303381A (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016144295A (en) * | 2015-02-02 | 2016-08-08 | アルプス電気株式会社 | Sealed polymer actuator and manufacturing method thereof |
| CN111293922A (en) * | 2018-12-10 | 2020-06-16 | 丰田自动车工程及制造北美公司 | Soft actuator with clamping structure |
| CN111332110A (en) * | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 丰田自动车工程及制造北美公司 | Active seal for a vehicle |
| JP2020114725A (en) * | 2018-12-18 | 2020-07-30 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | Adjusting vehicle mirrors |
| US11195506B2 (en) | 2018-12-03 | 2021-12-07 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Sound-modulating windows |
| US11192469B2 (en) | 2019-01-30 | 2021-12-07 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Vehicle seat with morphing bolsters |
| US11473567B2 (en) | 2019-02-07 | 2022-10-18 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Programmable surface |
| US11479308B2 (en) | 2019-01-09 | 2022-10-25 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Active vehicle interface for crosswind management |
| US11498270B2 (en) | 2018-11-21 | 2022-11-15 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Programmable matter |
| US11548261B2 (en) | 2018-10-24 | 2023-01-10 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Structure with selectively variable stiffness |
-
1994
- 1994-05-02 JP JP6093299A patent/JPH07303381A/en active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016144295A (en) * | 2015-02-02 | 2016-08-08 | アルプス電気株式会社 | Sealed polymer actuator and manufacturing method thereof |
| US11548261B2 (en) | 2018-10-24 | 2023-01-10 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Structure with selectively variable stiffness |
| US11498270B2 (en) | 2018-11-21 | 2022-11-15 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Programmable matter |
| US11195506B2 (en) | 2018-12-03 | 2021-12-07 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Sound-modulating windows |
| JP2022122978A (en) * | 2018-12-10 | 2022-08-23 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | Soft-bodied actuator with compressed configuration |
| CN111293922A (en) * | 2018-12-10 | 2020-06-16 | 丰田自动车工程及制造北美公司 | Soft actuator with clamping structure |
| JP2020099183A (en) * | 2018-12-10 | 2020-06-25 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | Soft actuator with compression configuration |
| CN111293922B (en) * | 2018-12-10 | 2024-04-26 | 丰田自动车工程及制造北美公司 | Soft actuator with clamping structure |
| CN111332110A (en) * | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 丰田自动车工程及制造北美公司 | Active seal for a vehicle |
| JP2020121712A (en) * | 2018-12-18 | 2020-08-13 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | Active seals for vehicles |
| CN111332110B (en) * | 2018-12-18 | 2023-06-02 | 丰田自动车工程及制造北美公司 | Active seal for a vehicle |
| JP2020114725A (en) * | 2018-12-18 | 2020-07-30 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | Adjusting vehicle mirrors |
| US11479308B2 (en) | 2019-01-09 | 2022-10-25 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Active vehicle interface for crosswind management |
| US11192469B2 (en) | 2019-01-30 | 2021-12-07 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Vehicle seat with morphing bolsters |
| US11473567B2 (en) | 2019-02-07 | 2022-10-18 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Programmable surface |
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