JPH07294400A - Sample retention device for x-ray diffraction device - Google Patents
Sample retention device for x-ray diffraction deviceInfo
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- JPH07294400A JPH07294400A JP6091222A JP9122294A JPH07294400A JP H07294400 A JPH07294400 A JP H07294400A JP 6091222 A JP6091222 A JP 6091222A JP 9122294 A JP9122294 A JP 9122294A JP H07294400 A JPH07294400 A JP H07294400A
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、X線回折装置におけ
るゴニオメータの基台上に装着し、試料を回転自在に支
持する試料保持装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample holding device which is mounted on a base of a goniometer in an X-ray diffractometer and rotatably supports a sample.
【0002】[0002]
【従来の技術】X線回折装置は、X線源に対して回転自
在なゴニオメータと称する測角器を備えており、このゴ
ニオメータの基台上に試料保持装置を搭載し、該試料保
持装置で保持した試料にX線を照射し、試料から回折し
てきたX線(回折X線)を検出することにより、その検
出角度等に基づき試料の分析を行う装置である。2. Description of the Related Art An X-ray diffractometer is equipped with a goniometer, which is rotatable with respect to an X-ray source, and a sample holder is mounted on the base of this goniometer. This is an apparatus for irradiating the held sample with X-rays and detecting the X-rays diffracted from the sample (diffracted X-rays) to analyze the sample based on the detection angle and the like.
【0003】さて、圧延材料のように粒子の配向性があ
る試料については、その配向する向きを検出したい場合
がある。例えば、圧延材料をしぼり加工により成形する
場合、粒子の配向としぼり方向との調整如何により、製
品の強度が大きく変化してくる。そこで、粒子の配向性
を検出し、これにしぼり方向を合わせることが製品の品
質向上を図るうえで重要となる。また、水晶発振子の製
造においては、カット面を結晶の配列方向に合わせなけ
ればならないため、あらかじめ結晶の配列方向を検出し
ておく必要があった。このように粒子の配向する方向や
結晶の配列方向等を検出するには、試料保持装置に対し
て試料を回転させながらX線回折測定を行い、回折X線
のピーク値が得られる回転角度を測定しなければならな
い。For a sample having grain orientation such as a rolled material, it may be desired to detect the orientation of the orientation. For example, when a rolled material is formed by squeezing, the strength of the product changes greatly depending on the orientation of the particles and the adjustment of the squeezing direction. Therefore, it is important to detect the orientation of particles and adjust the direction of squeezing to this in order to improve product quality. Further, in the manufacture of the crystal oscillator, since the cut surface has to be aligned with the crystal array direction, it is necessary to detect the crystal array direction in advance. Thus, in order to detect the orientation direction of particles, the orientation direction of crystals, and the like, X-ray diffraction measurement is performed while rotating the sample with respect to the sample holding device, and the rotation angle at which the peak value of the diffracted X-ray is obtained You have to measure.
【0004】図9はこの種の測定を行うことができる従
来の回転式試料保持装置を示す正面図である。同図に示
す従来の回転式試料保持装置は、試料台900と試料回
転治具901とが一体に形成されており、装置全体とし
てゴニオメータの基台902に装着する構成となってい
る。試料回転治具901には、試料ホルダ903がマグ
ネット(図示せず)により吸着固定され、図示しない回
転手段によって試料ホルダ903を軸中心に回転駆動す
る。この試料ホルダ903の回転にともなって入射X線
に対する試料Sの粒子や結晶の向きが変化する。そし
て、X線の入射方向が粒子の配向や結晶の配列方向と合
ったとき、回折X線強度のピーク値が現れるため、これ
によって試料の配向性や結晶の配列方向を検出すること
ができる。FIG. 9 is a front view showing a conventional rotary sample holder which can perform this type of measurement. In the conventional rotary sample holding device shown in the figure, a sample stage 900 and a sample rotating jig 901 are integrally formed, and the device as a whole is mounted on a base 902 of a goniometer. A sample holder 903 is attracted and fixed to a sample rotating jig 901 by a magnet (not shown), and the sample holder 903 is rotationally driven about an axis by a rotating unit (not shown). As the sample holder 903 rotates, the orientation of the particles and crystals of the sample S with respect to the incident X-ray changes. When the X-ray incident direction matches the grain orientation or crystal arrangement direction, a peak value of the diffracted X-ray intensity appears, which allows the orientation of the sample or the crystal arrangement direction to be detected.
【0005】ここで、試料の配向性や結晶の配列方向等
は、あらかじめ定めた原点からの回転角度をもって認識
している。すなわち、試料回転治具901に形成した原
点901aに対し、試料ホルダ903に形成した基準点
903aを合わせた位置を角度ゼロとして試料ホルダ9
03の回転角度を検出し、回折X線強度のピーク値が現
れたときの回転角度をもって試料の配向性や結晶の配列
方向等を検出する。Here, the orientation of the sample, the array direction of the crystals, and the like are recognized by the rotation angle from a predetermined origin. That is, the position where the reference point 903a formed on the sample holder 903 is aligned with the origin 901a formed on the sample rotating jig 901 is set to zero, and the sample holder 9 is set.
The rotation angle of No. 03 is detected, and the orientation of the sample, the crystal arrangement direction, and the like are detected by the rotation angle when the peak value of the diffracted X-ray intensity appears.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来、試料回転治具9
01に形成した原点901aと試料ホルダ903に形成
した基準点903aとを合わせる作業(以下、「原点合
わせ」という)は、操作員の目視により手作業で行って
いた。しかし、試料保持装置の周辺にはX線遮蔽用のプ
ロテクタ等が配設されており、試料ホルダ903を吸着
固定する個所まで操作員が顔を近付けにくい周辺構造と
なっているので、上記原点合わせは思いの外わずらわし
く、時間のかかる作業であった。Conventionally, a sample rotating jig 9 has been used.
The operation of aligning the origin 901a formed at 01 with the reference point 903a formed at the sample holder 903 (hereinafter, referred to as "origin alignment") was performed manually by the operator's eyes. However, since a protector for X-ray shielding is arranged around the sample holding device, and the peripheral structure is such that it is difficult for the operator to approach the face to the position where the sample holder 903 is fixed by suction, the origin adjustment is performed. Was an unexpectedly cumbersome and time-consuming task.
【0007】また近年、多試料のX線回折測定を自動的
に処理するための多試料保持装置が注目されている。こ
の多試料保持装置によれば、複数の試料ホルダを回転移
送することにより、順次所定の検査位置に配置してX線
回折測定を実行することができる。ところが、この多試
料保持装置において、試料ホルダが検査位置に配置され
るたび手作業による原点合わせをしていたのでは、複数
試料のX線回折測定を自動化するというこの装置本来の
特徴を発揮させることができない。この発明は上述のよ
うな事情に鑑みなされたもので、試料ホルダの原点合わ
せを自動化し、容易かつ迅速に試料の配向性や結晶の配
列方向等を検出できるX線回折装置の試料保持装置を提
供することを目的とする。Further, in recent years, a multi-sample holding device for automatically processing X-ray diffraction measurement of multi-samples has attracted attention. According to this multi-sample holding device, the plurality of sample holders are rotatably transferred, so that they can be sequentially arranged at predetermined inspection positions and X-ray diffraction measurement can be performed. However, in this multi-sample holding device, the origin is manually adjusted every time the sample holder is placed at the inspection position, so that the original feature of this device is to automate the X-ray diffraction measurement of a plurality of samples. I can't. The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a sample holding device for an X-ray diffractometer capable of automatically adjusting the origin of the sample holder and easily and quickly detecting the orientation of the sample, the crystal arrangement direction, and the like. The purpose is to provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第一の発明は、X線源に対し回転可能なゴニオメータ
の基台上に設置される試料台と、試料台に装着される治
具本体と、この治具本体に搭載した回転駆動源と、軸受
を介して治具本体に回転自在に設けられ回転駆動源から
の駆動力によって軸中心に回転する筒状の回転部材と、
磁力によって回転部材の一端部に吸着固定される試料ホ
ルダと、試料ホルダに設けた基準指標を所定の原点に位
置決めする原点合わせ手段とを備えたことを特徴とす
る。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide a sample table installed on a base of a goniometer rotatable with respect to an X-ray source, and a jig installed on the sample table. A tool main body, a rotary drive source mounted on the jig main body, a tubular rotary member rotatably provided on the jig main body via a bearing and rotating about an axis by a driving force from the rotary drive source,
It is characterized by comprising a sample holder that is attracted and fixed to one end of the rotating member by a magnetic force, and an origin aligning unit that positions a reference index provided on the sample holder at a predetermined origin.
【0009】また第二の発明は、X線源に対し回転可能
なゴニオメータの基台上に設置される試料台と、試料を
装着する複数の試料ホルダと、試料台に装着される治具
本体と、この治具本体に回転自在に支持された回転板
と、この回転板を回転駆動する第一の回転駆動源と、回
転板の同一径上に複数個それぞれ軸を中心として回転自
在に取り付けられた試料ホルダ装着部材と、試料ホルダ
を磁力によって試料ホルダ装着部材の一端面に吸着固定
するホルダ装着手段と、試料ホルダ装着部材のほぼ回転
軌道上に位置決めされて治具本体に回転自在に支持され
た回転部材と、この回転部材を回転駆動する第二の回転
駆動源と、回転部材のほぼ同軸上に回転移動してきた一
の試料ホルダ装着部材を磁力によって回転部材の端面に
吸着固定する部材接続手段と、試料ホルダに設けた基準
指標を所定の原点に位置決めする原点合わせ手段とを備
えたことを特徴とする。A second aspect of the present invention is to provide a sample table installed on a base of a goniometer rotatable with respect to an X-ray source, a plurality of sample holders for mounting samples, and a jig body mounted on the sample table. And a rotary plate rotatably supported on the jig body, a first rotary drive source for rotationally driving the rotary plate, and a plurality of rotary plates mounted on the same diameter of the rotary plate so as to be rotatable about their respective axes. Sample holder mounting member, holder mounting means for attracting and fixing the sample holder to one end surface of the sample holder mounting member by magnetic force, and the sample holder mounting member is positioned substantially on the rotation path and rotatably supported by the jig body. And a second rotary drive source that drives the rotary member to rotate, and a member that attaches the one sample holder mounting member that has rotationally moved substantially coaxially to the rotary member by magnetic attraction to the end surface of the rotary member. Contact Characterized by comprising means, the origin alignment means for positioning the reference index provided on the sample holder to a predetermined origin.
【0010】これら第一,第二の発明において、上記試
料ホルダの原点合わせ手段は、試料ホルダに設けた基準
指標を原点位置で検出するセンサとすることができる。
また、試料ホルダに複数個のマグネットを設け、このマ
グネットにより試料ホルダを吸着固定するとともに、該
マグネットのうちの一つを他のマグネットよりもセンサ
と近接するように形成して基準指標とすることができ
る。この場合、基準指標を原点位置で検出するセンサ
は、基準指標となるマグネットから発せられる磁力を検
出すればよい。In these first and second inventions, the origin adjusting means of the sample holder may be a sensor for detecting a reference index provided on the sample holder at the origin position.
Further, the sample holder is provided with a plurality of magnets, the sample holder is attracted and fixed by the magnets, and one of the magnets is formed so as to be closer to the sensor than the other magnets and is used as a reference index. You can In this case, the sensor that detects the reference index at the origin position may detect the magnetic force generated from the magnet that serves as the reference index.
【0011】さらに、上記センサによって、試料ホルダ
の原点合わせに加え、適正位置に吸着固定された試料ホ
ルダを基準として、基準指標となるマグネットから発せ
られる磁力の強弱により、試料ホルダの軸方向の位置ず
れをも検出してもよい。Further, in addition to the origin adjustment of the sample holder by the sensor, the axial position of the sample holder is determined by the strength of the magnetic force emitted from the magnet serving as a reference index with reference to the sample holder suction-fixed at an appropriate position. The shift may also be detected.
【0012】[0012]
【作用】上述した第一の発明において、試料台はゴニオ
メータの基台上に設置し、この試料台に治具本体を装着
する。試料を装着した試料ホルダは、治具本体に設けた
回転部材の一端部に磁力によって吸着固定する。このよ
うに吸着固定された試料ホルダは、回転部材とともに回
転し、入射X線に対する試料の向きを変えていく。この
試料ホルダの回転動作に先立って、回転角度の原点を設
定しなければならない。この試料ホルダの原点合わせ
は、原点合わせ手段により試料ホルダに設けた基準試料
を所定の原点に位置決めして自動的に行われる。In the first aspect of the invention described above, the sample table is set on the base of the goniometer, and the jig body is mounted on the sample table. The sample holder on which the sample is mounted is attracted and fixed by magnetic force to one end of a rotating member provided on the jig body. The sample holder thus fixed by suction rotates together with the rotating member to change the direction of the sample with respect to the incident X-ray. Prior to the rotation of the sample holder, the origin of the rotation angle must be set. The origin adjustment of the sample holder is automatically performed by positioning the reference sample provided on the sample holder at a predetermined origin by the origin adjusting means.
【0013】第二の発明においても、試料台はゴニオメ
ータの基台上に設置し、この試料台に治具本体を装着す
る。試料を装着した複数の試料ホルダは、それぞれ磁力
を利用したホルダ装着手段によって試料ホルダ装着部材
の一端面に吸着固定する。試料ホルダを吸着固定した各
試料ホルダ装着部材は、第一の回転駆動源により回転板
とともに回転駆動され、回転部材の端面と接触または対
峙する位置にきたとき、磁力を利用した部材接続手段に
より該回転部材の端面に吸着固定される。Also in the second invention, the sample table is set on the base of the goniometer, and the jig body is mounted on the sample table. The plurality of sample holders on which the samples are mounted are fixed by suction to one end surface of the sample holder mounting member by holder mounting means utilizing magnetic force. Each sample holder mounting member to which the sample holder is sucked and fixed is rotationally driven together with the rotary plate by the first rotary drive source, and when it comes to a position where it comes into contact with or faces the end face of the rotary member, the member connecting means utilizing magnetic force It is adsorbed and fixed to the end surface of the rotating member.
【0014】このようにして回転部材、試料ホルダ装着
部材および試料ホルダは一体化するので、第二の回転駆
動源によって回転部材が回転駆動されると、回転部材と
ともに試料ホルダが回転し、入射X線に対する試料の向
きを変えていく。この試料ホルダの回転動作に先立っ
て、回転角度の原点を設定しなければならない。この原
点合わせは、原点合わせ手段により試料ホルダに設けた
基準試料を所定の原点に位置決めして自動的に行われ
る。Since the rotary member, the sample holder mounting member and the sample holder are integrated in this way, when the rotary member is rotationally driven by the second rotary drive source, the sample holder rotates together with the rotary member and the incident X Change the orientation of the sample with respect to the line. Prior to the rotation of the sample holder, the origin of the rotation angle must be set. This origin alignment is automatically performed by positioning the reference sample provided on the sample holder at a predetermined origin by the origin alignment means.
【0015】原点合わせ手段には、マイクロスイッチ、
光センサ、磁気センサ等、種々の接触,非接触センサを
使用することができる。例えば、試料ホルダに基準指標
として突起部を形成しておき、この突起部が所定の原点
位置でマイクロスイッチに接触するようにして基準指標
を検出すればよい。また、光センサを使用する場合に
は、上記突起部を原点位置で光学的に検出するようにす
ればよい。試料ホルダを回転部材または試料ホルダ装着
部材に吸着固定するのに複数のマグネットを使用し、か
つそのうちの一のマグネットを基準指標としてセンサに
近接するように形成すれば、この基準指標となるマグネ
ットが原点位置にきたとき、該マグネットから発せられ
る磁力を原点位置に設けた磁気センサによって検出し、
原点合わせをすることができる。なお、原点位置は試料
ホルダの周上における任意の位置に設定すればよい。The origin adjustment means includes a micro switch,
Various contact and non-contact sensors such as an optical sensor and a magnetic sensor can be used. For example, a protrusion may be formed as a reference index on the sample holder, and the reference index may be detected by contacting the protrusion with the microswitch at a predetermined origin position. Further, when using the optical sensor, the protrusion may be optically detected at the origin position. If a plurality of magnets are used to attract and fix the sample holder to the rotating member or the sample holder mounting member, and if one of the magnets is formed so as to be close to the sensor as a reference index, the magnet serving as the reference index When it comes to the origin position, the magnetic force generated from the magnet is detected by the magnetic sensor provided at the origin position,
The origin can be adjusted. The origin position may be set at any position on the circumference of the sample holder.
【0016】また、回転部材または試料ホルダ装着部材
への試料ホルダの吸着固定状態が適正でなく軸方向へ位
置ずれを生じている場合、上記基準指標となるマグネッ
トが原点位置にきたときに磁気センサが検出する磁力の
強さが、適正な場合に比べて変動する。そこで、磁気セ
ンサの検出した磁力の強弱を調べることにより、試料ホ
ルダの軸方向への位置ずれを検出することができる。Further, when the sample holder is not properly attracted and fixed to the rotating member or the sample holder mounting member and the position of the sample holder is displaced in the axial direction, when the magnet serving as the reference index comes to the origin position, the magnetic sensor. The strength of the magnetic force detected by will fluctuate compared to the case where it is appropriate. Therefore, by examining the strength of the magnetic force detected by the magnetic sensor, the positional displacement of the sample holder in the axial direction can be detected.
【0017】[0017]
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照して詳細に説明する。図1はこの発明の第一実施例に
係る試料保持装置を示す縦断面図である。この実施例の
試料保持装置は、試料台1、試料回転治具2、試料ホル
ダ3およびX線遮蔽部材4の各構成要素を備えている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a vertical sectional view showing a sample holding device according to a first embodiment of the present invention. The sample holding device of this embodiment includes the sample stage 1, the sample rotating jig 2, the sample holder 3, and the X-ray shielding member 4.
【0018】試料台1は、円盤状に形成した底板10の
上面中央部に、試料回転治具2を支持するための支持ブ
ロック11を備えた構造となっている。底板10の底面
中央部には位置決め固定用の突起部12が突出してお
り、X線回折装置におけるゴニオメータの基台5に形成
した装着凹部51に、この突起部12を嵌合することに
よって同基台5に装着できるようになっている。これら
突起部12と装着凹部51との間の嵌合い精度は、例え
ば3/1000mm程度となっている。この嵌合部分は
ゴニオメータの基台5の回転中心と同軸上に形成してあ
る。The sample table 1 has a structure in which a support block 11 for supporting the sample rotating jig 2 is provided at the center of the upper surface of a bottom plate 10 formed in a disk shape. A protrusion 12 for positioning and fixing projects from the center of the bottom surface of the bottom plate 10, and the protrusion 12 is fitted into a mounting recess 51 formed in the base 5 of the goniometer in the X-ray diffractometer. It can be attached to the table 5. The fitting precision between the protrusion 12 and the mounting recess 51 is, for example, about 3/1000 mm. This fitting portion is formed coaxially with the rotation center of the base 5 of the goniometer.
【0019】試料台1の支持ブロック11の上端部に
は、試料回転治具2の装着部13が形成してある。この
装着部13には、後述する試料回転治具2の治具本体2
0を搭載する平面部14と、試料の基準位置となる基準
面15とが形成されている。基準面15には試料回転治
具2の締結部として、例えば締結孔15aが設けてあ
り、試料回転治具2をボルト201等の締結具によって
固定することができる。また、基準面15は突起部12
の中心と同一平面上に形成してある。後述するように試
料ホルダ3に装着された試料Sの表面は、この基準面1
5と同一平面となるように位置決めし、これによって試
料台1の回転中心軸上へおかれる。A mounting portion 13 for the sample rotating jig 2 is formed on the upper end of the support block 11 of the sample table 1. The mounting portion 13 has a jig body 2 of a sample rotating jig 2 to be described later.
A plane portion 14 on which 0 is mounted and a reference surface 15 which is a reference position of the sample are formed. The reference surface 15 is provided with, for example, a fastening hole 15a as a fastening portion of the sample rotating jig 2, and the sample rotating jig 2 can be fixed by a fastener such as a bolt 201. In addition, the reference surface 15 is the protrusion 12
It is formed on the same plane as the center of. As will be described later, the surface of the sample S mounted on the sample holder 3 is the reference surface 1
It is positioned so as to be flush with the surface of the sample table 5, and is thereby placed on the center axis of rotation of the sample table 1.
【0020】試料回転治具2は、図2および図3に示す
ように、治具本体20の底部に電動モータ等の回転駆動
源21を搭載するとともに、軸受22を介して回転部材
23を回転自在に支持している。治具本体20の側壁2
0aには、上述した試料台1の基準面15に設けた締結
部(締結孔15a)への固定手段として、例えばねじ孔
20bが設けてある。すなわち、本実施例では、試料台
1の基準面15に治具本体20の側壁20aを接触させ
た状態で、締結孔15aとねじ孔20bとを対向させ、
ボルト201を締結孔15aに貫通させてねじ孔20b
に螺合することにより、試料台1へ試料回転治具2を固
定する。As shown in FIGS. 2 and 3, the sample rotating jig 2 has a rotary driving source 21 such as an electric motor mounted on the bottom of the jig body 20 and a rotating member 23 rotated via a bearing 22. Supports freely. Side wall 2 of jig body 20
0a is provided with, for example, a screw hole 20b as a fixing means to the fastening portion (fastening hole 15a) provided on the reference surface 15 of the sample table 1 described above. That is, in this embodiment, the fastening hole 15a and the screw hole 20b are opposed to each other with the side wall 20a of the jig body 20 in contact with the reference surface 15 of the sample table 1.
The bolt 201 is passed through the fastening hole 15a to form the screw hole 20b.
The sample rotating jig 2 is fixed to the sample table 1 by screwing the sample rotating jig 2 onto the sample table 1.
【0021】回転駆動源21の駆動軸21aには駆動歯
車24が取り付けてあり、一方、回転部材23の周壁に
は従動歯車25が設けてあり、これら駆動歯車24と従
動歯車25が噛み合って回転駆動源21からの駆動力を
回転部材23に伝達するようになっている。A drive gear 24 is attached to the drive shaft 21a of the rotary drive source 21, while a driven gear 25 is provided on the peripheral wall of the rotary member 23. The drive gear 24 and the driven gear 25 mesh with each other to rotate. The driving force from the driving source 21 is transmitted to the rotating member 23.
【0022】回転部材23は円筒状に形成してあり、中
空部がX線透過孔26を形成している。このX線透過孔
26は、試料Sの背面側からX線を照射し、試料Sを透
過してきたX線を検出する測定法(透過法)を実施する
際に必要となる。このX線透過孔26の内径は、少なく
ともX線源から発散スリットを介して導かれてきたX線
の全幅より大きく設定することが好ましい。このように
X線透過孔26の内径を設定すれば、X線源からのX線
を遮ることなく透過させることができる。The rotating member 23 is formed in a cylindrical shape, and the hollow portion forms an X-ray transmitting hole 26. This X-ray transmission hole 26 is necessary when performing a measurement method (transmission method) of irradiating the sample S with X-rays from the back side and detecting the X-rays that have transmitted through the sample S. The inner diameter of the X-ray transmission hole 26 is preferably set to be larger than at least the entire width of the X-ray guided from the X-ray source through the divergence slit. By setting the inner diameter of the X-ray transmission hole 26 in this way, X-rays from the X-ray source can be transmitted without interruption.
【0023】現在市販されているX線回折装置では、X
線源から発散スリットを介して試料保持装置上の試料に
照射されるX線の照射幅は24mm程度となっている。
この種のX線回折装置に本実施例装置を適用する場合
は、X線透過孔26の内径を24mm程度に設定すれば
よい。また、回転部材23の一端部は、試料ホルダ取付
部27が鉄鋼材料等の磁性体で形成してある。なお、試
料ホルダ取付部27のみを別種部材(磁性体)で形成す
るのは加工が複雑となるので、試料ホルダ取付部27を
含む回転部材23の全体を磁性体で形成するのが好まし
い。In the X-ray diffractometer currently on the market, X
The irradiation width of X-rays irradiated from the radiation source to the sample on the sample holding device through the divergence slit is about 24 mm.
When the apparatus of this embodiment is applied to this type of X-ray diffraction apparatus, the inner diameter of the X-ray transmission hole 26 may be set to about 24 mm. Further, at one end of the rotating member 23, the sample holder mounting portion 27 is formed of a magnetic material such as a steel material. Since it is complicated to form the sample holder mounting portion 27 only with a different type member (magnetic material), it is preferable to form the entire rotary member 23 including the sample holder mounting portion 27 with a magnetic material.
【0024】試料ホルダ3は、図4に示すように段付き
のリング状に形成してあり、中空部が試料装着部30と
なっている。試料装着部30の内径は、回転部材23に
形成したX線透過孔26とほぼ同径となっている。この
試料ホルダ3は、例えばアルミ合金やプラスチック等の
X線の反射が少ない材料で、厚さ3mm程度に形成して
ある。また、段付きにすることで試料面近くの表面積を
狭小にし、X線の反射を抑えている。試料ホルダ3に
は、複数個所(図では2個所)にマグネット31が端面
を露出した状態で埋設してある。試料ホルダ3は、これ
らマグネット31の磁力によって磁性体からなる試料ホ
ルダ取付部27に吸着固定することができる。As shown in FIG. 4, the sample holder 3 is formed in a stepped ring shape, and the hollow portion serves as the sample mounting portion 30. The inner diameter of the sample mounting portion 30 is substantially the same as that of the X-ray transmission hole 26 formed in the rotating member 23. The sample holder 3 is made of a material such as aluminum alloy or plastic that has a small reflection of X-rays, and is formed to have a thickness of about 3 mm. In addition, the stepped portion narrows the surface area near the sample surface and suppresses the reflection of X-rays. Magnets 31 are embedded in the sample holder 3 at a plurality of locations (two locations in the figure) with their end surfaces exposed. The sample holder 3 can be attracted and fixed to the sample holder mounting portion 27 made of a magnetic material by the magnetic force of these magnets 31.
【0025】また、このうち一つのマグネット31a
は、試料ホルダ3の回転動作に関する原点合わせのため
の基準指標としてある。試料台1には磁気センサ16が
設置してある。この磁気センサ16は、試料ホルダ取付
部27に吸着固定された試料ホルダ3の周面と、任意の
位置で対向するように配置してある。この磁気センサ1
6と対向する位置が、試料ホルダ3の回転動作に関する
原点となる。Also, one of these magnets 31a
Is a reference index for origin alignment regarding the rotation operation of the sample holder 3. A magnetic sensor 16 is installed on the sample table 1. The magnetic sensor 16 is arranged so as to face the peripheral surface of the sample holder 3 which is suction-fixed to the sample holder mounting portion 27 at an arbitrary position. This magnetic sensor 1
The position facing 6 is the origin for the rotation operation of the sample holder 3.
【0026】基準指標としたマグネット31aは、回転
部材23の回転にともない、この磁気センサ16と対向
する近接位置を通るように厚さを調節し、試料ホルダ3
の周面から突き出して配設してある。一方、基準指標と
なっていないマグネット31は、マグネット31aより
短く形成してあり、磁気センサ16の検出領域を逸脱し
た位置を通過するように調節してある。この実施例で
は、上記基準指標となるマグネット31aと磁気センサ
16とで、試料ホルダ3の回転動作に関する原点合わせ
手段を構成している。The thickness of the magnet 31a used as a reference index is adjusted so as to pass through the proximity position facing the magnetic sensor 16 as the rotating member 23 rotates, and the sample holder 3
It is arranged so as to project from the peripheral surface of the. On the other hand, the magnet 31 not serving as a reference index is formed shorter than the magnet 31a, and is adjusted so as to pass a position that deviates from the detection area of the magnetic sensor 16. In this embodiment, the magnet 31a, which serves as the reference index, and the magnetic sensor 16 constitute an origin aligning unit for the rotation operation of the sample holder 3.
【0027】X線遮蔽部材4は、図1に示すように蓋付
きの円筒形状に形成してあり、試料台1における底板1
0の周面に下端開口部を嵌め込み、ねじ等の締結具41
によって固定する構造となっている。試料回転治具2
は、このX線遮蔽部材4の内部に収納される。X線遮蔽
部材4はX線を遮蔽可能な材料、例えば真鍮や銅合金等
の非鉄材料で形成してある。このX線遮蔽部材4の材料
としては、鉛が一般的であるが、X線回折測定に際し試
料から出射する微弱なX線を遮蔽するには、例えば真鍮
でも充分に目的を達成することができる。もっとも、鉛
又は鉛合金でX線遮蔽部材4を形成してもよいことは勿
論である。また、X線遮蔽部材4の肉圧は、試料Sから
出射するX線の強度に応じて適宜決定する。The X-ray shielding member 4 is formed in a cylindrical shape with a lid as shown in FIG.
The lower end opening is fitted to the peripheral surface of 0, and a fastener 41 such as a screw is attached.
The structure is fixed by. Sample rotation jig 2
Are stored inside the X-ray shielding member 4. The X-ray shielding member 4 is made of a material capable of shielding X-rays, for example, a non-ferrous material such as brass or copper alloy. Lead is generally used as the material of the X-ray shielding member 4, but brass can sufficiently achieve the purpose for shielding the weak X-rays emitted from the sample during the X-ray diffraction measurement. . Needless to say, the X-ray shielding member 4 may be made of lead or lead alloy. The wall pressure of the X-ray shielding member 4 is appropriately determined according to the intensity of X-rays emitted from the sample S.
【0028】X線遮蔽部材4にはX線透過窓42が設け
てあり、このX線透過窓42を通してX線源からのX線
を試料Sに導くとともに、試料Sから出射した回折X線
をX線検出器へ導くようになっている。The X-ray shielding member 4 is provided with an X-ray transmission window 42. The X-rays from the X-ray source are guided to the sample S through the X-ray transmission window 42, and the diffracted X-rays emitted from the sample S are transmitted. It is designed to lead to an X-ray detector.
【0029】次に、上述した第一実施例に係る試料保持
装置の作用を説明する。X線回折装置におけるゴニオメ
ータの基台5へ本実施例装置を装着するには、試料台1
の底板10に設けた突起部12を、ゴニオメータの基台
5に形成した装着凹部51に嵌合すればよい。この装着
を一度行えば、その後、メンテナンス等のために試料回
転治具2を取り外す必要が生じた場合でも、試料台1を
そのまま残し、試料回転治具2だけを試料台1から取り
外せばよいため、着脱作業が容易となる。Next, the operation of the sample holding device according to the first embodiment described above will be described. To mount the apparatus of this embodiment on the base 5 of the goniometer in the X-ray diffraction apparatus, the sample table 1
The protrusion 12 provided on the bottom plate 10 may be fitted into the mounting recess 51 formed on the base 5 of the goniometer. Once this mounting is performed, even if it becomes necessary to remove the sample rotating jig 2 for maintenance or the like thereafter, the sample stage 1 can be left as it is and only the sample rotating fixture 2 can be removed from the sample stage 1. The attachment / detachment work becomes easy.
【0030】つまり、試料台1とゴニオメータの基台5
との間は、前述したように高い嵌合精度を有しているの
で、装着に際して高度な位置合わせが必要となる。これ
に対し、試料台1と試料回転治具2の間は、例えばボル
ト60による締結といった簡易な着脱構造でよいため、
装着作業が容易である。ところで、試料Sに対するX線
の入射角度および回折X線の出力角度をゴニオメータで
検出するには、ゴニオメータの基台5の回転中心上に試
料Sの表面が配置されていなければならない。この実施
例では、試料台1の基準面15がゴニオメータにおける
基台5の回転中心と同一平面となるように形成してある
ので、この基準面15に位置決めされた試料ホルダ3の
表面3a、すなわち試料Sの表面Saが必然的にゴニオ
メータの回転中心軸上に配置されることになる。That is, the sample table 1 and the goniometer base 5
Since, as described above, there is a high degree of fitting accuracy, it is necessary to perform a high degree of alignment during mounting. On the other hand, since a simple attachment / detachment structure such as fastening with a bolt 60 may be provided between the sample table 1 and the sample rotating jig 2,
Easy to install. By the way, in order to detect the incident angle of X-rays on the sample S and the output angle of the diffracted X-rays with the goniometer, the surface of the sample S must be placed on the rotation center of the pedestal 5 of the goniometer. In this embodiment, since the reference surface 15 of the sample base 1 is formed so as to be flush with the rotation center of the base 5 of the goniometer, the surface 3a of the sample holder 3 positioned on the reference surface 15, that is, The surface Sa of the sample S is inevitably arranged on the central axis of rotation of the goniometer.
【0031】また、この実施例の試料保持装置は、試料
台1にX線遮蔽部材4を装着可能となっているので、試
料Sから飛散したX線を試料回転治具2の周囲で効率的
に遮蔽することができ、X線被曝に対する安全性が向上
する。試料Sの配向性や結晶の配列方向等を検出するに
は次の手順で行う。まず、試料ホルダ3に試料を装着し
た後、試料ホルダ取付部27に試料ホルダ3を装着す
る。このとき試料ホルダ3は、マグネット31,31a
の磁力によって試料ホルダ取付部27に吸着固定される
ので、ねじ止め等の煩わしい作業は必要ない。Further, in the sample holder of this embodiment, the X-ray shielding member 4 can be mounted on the sample table 1, so that the X-rays scattered from the sample S are efficiently distributed around the sample rotating jig 2. It can be shielded against radiation and the safety against X-ray exposure is improved. The following procedure is performed to detect the orientation of the sample S, the crystal orientation direction, and the like. First, after mounting the sample on the sample holder 3, the sample holder 3 is mounted on the sample holder mounting portion 27. At this time, the sample holder 3 includes the magnets 31 and 31a.
Since it is adsorbed and fixed to the sample holder mounting portion 27 by the magnetic force of 1, the troublesome work such as screwing is unnecessary.
【0032】次いで、回転駆動源21の駆動力により回
転部材23を回転させる。すると、回転部材23ととも
に試料ホルダ3が回転する。そして、基準指標となって
いるマグネット31aが磁気センサ16と対向する位置
(原点)にきたとき、磁気センサ16がマグネット31
aの発する磁力を検出する。この検出時点における試料
ホルダ3の姿勢を角度ゼロとして、試料ホルダ3の回転
角度を測定するとともに、X線回折測定を行う。そし
て、回折X線のピーク値を検出したときの回転角度を求
めれば、この回転角度とX線の入射角度との関係から、
試料Sの配向性や結晶の配列方向等を検出することがで
きる。Next, the rotary member 23 is rotated by the driving force of the rotary drive source 21. Then, the sample holder 3 rotates together with the rotating member 23. When the magnet 31a serving as the reference index reaches the position (origin) facing the magnetic sensor 16, the magnetic sensor 16 causes the magnet 31a to move.
The magnetic force generated by a is detected. The attitude of the sample holder 3 at the time of this detection is set to zero, and the rotation angle of the sample holder 3 is measured and X-ray diffraction measurement is performed. Then, if the rotation angle when the peak value of the diffracted X-ray is detected is calculated, from the relationship between this rotation angle and the incident angle of the X-ray,
It is possible to detect the orientation of the sample S, the crystal arrangement direction, and the like.
【0033】次に、この発明の第二実施例について説明
する。図5はこの発明の第二実施例に係る試料保持装置
を示す縦断面図である。この実施例の試料保持装置は、
試料台200、試料回転治具300、およびX線遮蔽部
材400の各構成要素を備え、後述するように複数の試
料ホルダ340を装着できるようになっている。Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a vertical sectional view showing a sample holding device according to the second embodiment of the present invention. The sample holding device of this embodiment is
The sample stage 200, the sample rotating jig 300, and the X-ray shielding member 400 are provided as constituent elements, and a plurality of sample holders 340 can be mounted as described later.
【0034】試料台200は、円盤状に形成した底板2
01の上面中央部に、試料回転治具300を支持するた
めの支持ブロック202を備えている。底板201の底
面中央部には位置決め固定用の突起部203が突出して
おり、X線回折装置におけるゴニオメータの基台100
に形成した装着凹部100aに、この突起部203を嵌
合することによって同基台100に装着できるようにな
っている。これら突起部203と装着凹部100aとの
間の嵌合い精度は、例えば3/1000mm程度となっ
ている。この嵌合部分はゴニオメータの基台100の回
転中心と同軸上に形成してある。The sample table 200 has a disk-shaped bottom plate 2
A support block 202 for supporting the sample rotating jig 300 is provided at the center of the upper surface of 01. A protrusion 203 for positioning and fixing projects from the center of the bottom surface of the bottom plate 201, and the base 100 of the goniometer in the X-ray diffractometer is used.
By fitting the projection 203 into the mounting recess 100a formed in the above, the mounting base 100 can be mounted. The fitting precision between the protrusion 203 and the mounting recess 100a is, for example, about 3/1000 mm. This fitting portion is formed coaxially with the rotation center of the base 100 of the goniometer.
【0035】試料台200の支持ブロック上端部には、
試料回転治具300を搭載するための搭載部204が形
成してある。この搭載部204には、平面部205と基
準面206が形成してあり、平面部205に後述する試
料回転治具300の治具本体310を搭載する。基準面
206は、搭載した試料回転治具300の位置決め基準
となる。また、基準面206には、試料回転治具300
の固定手段として、例えば締結孔207が設けてあり、
試料回転治具300をボルト等の締結具208によって
固定することができる。基準面206は上述した突起部
203と同一平面上に形成してある。At the upper end of the support block of the sample table 200,
A mounting portion 204 for mounting the sample rotating jig 300 is formed. A flat surface portion 205 and a reference surface 206 are formed on the mounting portion 204, and a jig body 310 of a sample rotating jig 300, which will be described later, is mounted on the flat surface portion 205. The reference surface 206 serves as a positioning reference for the mounted sample rotating jig 300. Further, on the reference surface 206, the sample rotating jig 300
As a fixing means of, for example, a fastening hole 207 is provided,
The sample rotating jig 300 can be fixed by a fastener 208 such as a bolt. The reference surface 206 is formed on the same plane as the above-mentioned protrusion 203.
【0036】試料回転治具300は、治具本体310、
回転板320、試料ホルダ装着部材330、試料ホルダ
340、回転部材350等の構成部材を備えている。治
具本体310の下部側面は、上記試料台200の基準面
206に当接する位置決め面310aを形成している。
この位置決め面310aには、締結具208の螺合する
ねじ孔318が形成してある。The sample rotating jig 300 comprises a jig body 310,
The rotary plate 320, the sample holder mounting member 330, the sample holder 340, and the rotating member 350 are provided. The lower side surface of the jig body 310 forms a positioning surface 310 a that comes into contact with the reference surface 206 of the sample table 200.
A screw hole 318 into which the fastener 208 is screwed is formed on the positioning surface 310a.
【0037】また、治具本体310は上部に軸受311
を有し、この軸受311によって回転軸312を回転自
在に支承している。回転軸312の先端には回転板32
0が固定してあり、また基端にはホイールギヤ313が
装着してある。このホイールギヤ313は、第一駆動モ
ータ(第一の回転駆動源)314の駆動軸に取付けられ
たウォームギヤ315と噛み合っている。第一駆動モー
タ314からの回転駆動力は、これらウォームギヤ31
5およびホイールギヤ313を介して回転軸312に伝
えられ、回転板320を回転させる。Further, the jig body 310 has a bearing 311 on the top.
The bearing 311 rotatably supports the rotating shaft 312. The rotary plate 32 is attached to the tip of the rotary shaft 312.
0 is fixed, and a wheel gear 313 is attached to the base end. The wheel gear 313 meshes with a worm gear 315 attached to the drive shaft of a first drive motor (first rotary drive source) 314. The rotational drive force from the first drive motor 314 is applied to the worm gear 31.
5 and the wheel gear 313 to be transmitted to the rotary shaft 312 to rotate the rotary plate 320.
【0038】第一駆動モータ314には、エンコーダ等
の回転数検出センサ316が併設してあり、図示しない
制御回路が同センサ316からの検出信号に基づいて回
転板320の回転角度を算出するようになっている。な
お、317は回転板の一回転を検出して、所定の基準試
料ホルダ装着部材が後述する回転部材に固定されたこと
を検出するデイタムセンサである。The first drive motor 314 is provided with a rotation speed detection sensor 316 such as an encoder, and a control circuit (not shown) calculates the rotation angle of the rotary plate 320 based on the detection signal from the sensor 316. It has become. Reference numeral 317 is a date sensor that detects one rotation of the rotating plate to detect that a predetermined reference sample holder mounting member is fixed to a rotating member described later.
【0039】回転板320には、図5,図6に示すよう
に、複数(図では4個)の試料ホルダ装着部材330が
任意量の遊びをもって回転自在に取付けられている。す
なわち、図4に拡大して示すように、回転板320に
は、同一径上に複数の部材取付孔321が穿設してあ
る。一方、試料ホルダ装着部材330は、軸方向長さの
短い円筒状に形成してあり、その外周に回転板320へ
の係合溝331が周方向に形成してある。As shown in FIGS. 5 and 6, a plurality of (four in the figure) sample holder mounting members 330 are rotatably attached to the rotary plate 320 with an arbitrary amount of play. That is, as shown in an enlarged manner in FIG. 4, the rotary plate 320 is provided with a plurality of member mounting holes 321 on the same diameter. On the other hand, the sample holder mounting member 330 is formed in a cylindrical shape having a short axial length, and an engaging groove 331 for engaging the rotating plate 320 is formed in the circumferential direction on the outer periphery thereof.
【0040】ここで、試料ホルダ装着部材330に形成
した係合溝331の上縁までの直径は、回転板320に
穿設した部材取付孔321の内径より任意の寸法だけ長
い。また、係合溝331底面までの直径は、部材取付孔
321の内径より任意の寸法だけ短い。したがって、試
料ホルダ装着部材330は遊びをもって取付けられ、部
材取付孔321内で回転自在となっている。Here, the diameter up to the upper edge of the engagement groove 331 formed in the sample holder mounting member 330 is longer than the inner diameter of the member mounting hole 321 formed in the rotary plate 320 by an arbitrary dimension. The diameter up to the bottom surface of the engaging groove 331 is shorter than the inner diameter of the member mounting hole 321 by an arbitrary dimension. Therefore, the sample holder mounting member 330 is mounted with play and is rotatable within the member mounting hole 321.
【0041】各試料ホルダ装着部材330の周囲には、
回転板320から複数(図6では各3個)のホルダ支持
突起322が突き出している。このホルダ支持突起32
2は、後述する試料ホルダ装着部材330の装着面33
0aに装着した試料ホルダ340からの離脱を防止する
とともに、回転したときの偏心ずれをなるべく小さくす
るためのものである。さらに、試料ホルダ装着部材33
0に形成した係合溝331の幅は、回転板320の厚さ
より任意の寸法だけ広くなっており、この寸法差だけ試
料ホルダ装着部材330は、部材取付孔321内で軸方
向に移動自在となっている(図8参照)。Around each sample holder mounting member 330,
A plurality (three in FIG. 6) of holder support protrusions 322 are projected from the rotary plate 320. This holder support protrusion 32
2 is a mounting surface 33 of a sample holder mounting member 330, which will be described later.
The purpose of this is to prevent the sample holder 340 attached to 0a from being detached from the sample holder 340 and to reduce the eccentricity deviation when rotating. Further, the sample holder mounting member 33
The width of the engaging groove 331 formed in 0 is wider than the thickness of the rotary plate 320 by an arbitrary dimension, and the sample holder mounting member 330 is movable in the axial direction within the member mounting hole 321 by this dimension difference. (See Figure 8).
【0042】試料ホルダ装着部材330の中空部は、軸
方向の一端から他端に貫通するX線透過孔332となっ
ている。このX線透過孔332は、前述した透過法測定
を可能にするもので、X線源から発射されたX線をほぼ
全幅にわたって透過できる直径に形成してある。現在市
販されているX線回折装置では、X線源から発散スリッ
トを介して試料保持装置上の試料Sに照射されるX線の
照射幅は24mm程度である。したがって、この種のX
線回折装置に本実施例装置を適用する場合には、X線透
過孔332の内径を24mm程度に設定すればよい。The hollow portion of the sample holder mounting member 330 is an X-ray transmission hole 332 penetrating from one end in the axial direction to the other end. The X-ray transmission hole 332 enables the above-mentioned transmission method measurement, and is formed to have a diameter capable of transmitting the X-ray emitted from the X-ray source over almost the entire width. In the X-ray diffractometer currently on the market, the irradiation width of the X-ray irradiated from the X-ray source to the sample S on the sample holding device through the divergence slit is about 24 mm. Therefore, this kind of X
When the apparatus of this embodiment is applied to the line diffraction apparatus, the inner diameter of the X-ray transmission hole 332 may be set to about 24 mm.
【0043】試料ホルダ装着部材330は、マグネット
の吸着する磁性材料で形成してあり、軸方向の両端面が
平行となるように高精度に面出しされている。さらに、
回転板320に取り付けられる各試料ホルダ装着部材3
30は、それぞれ寸法差のない厚さとなるように、相互
に面出しされている。そして、面出しされた一方の端面
が試料ホルダ340の装着面330a、他方の端面が後
述する回転部材350への被固定面330bとなってい
る(図8参照)。The sample holder mounting member 330 is made of a magnetic material attracted by a magnet, and is highly accurately chamfered so that both axial end surfaces are parallel to each other. further,
Each sample holder mounting member 3 mounted on the rotary plate 320
The 30 are mutually faced so as to have a thickness with no dimensional difference. Then, one of the chamfered end faces is a mounting face 330a of the sample holder 340, and the other end face is a fixed face 330b to the rotating member 350 described later (see FIG. 8).
【0044】試料ホルダ340は、図7に示すように段
付きのリング状に形成してあり、その外径は試料ホルダ
装着部材330の外径とほぼ同じ寸法とし、また内径は
同装着部材330のX線透過孔332の内径とほぼ同じ
寸法としてある。軸方向に貫通した試料ホルダの中空部
は、試料Sを装着するための試料装着部341となって
いる。この試料ホルダ340は、アルミ合金やプラスチ
ック等、X線の反射が少ない材料で、厚さ3mm程度に
形成してある。また、段付きにすることで試料面近くの
表面積を狭小にし、X線の反射を抑えている。試料ホル
ダ340には、複数個所(この実施例では2個所)にマ
グネット342が端面を露出した状態で埋設してある。
試料ホルダ340は、これらマグネット342の磁力に
よって、磁性体からなる試料ホルダ装着部材330に吸
着固定することができる。The sample holder 340 is formed in a stepped ring shape as shown in FIG. 7, the outer diameter of which is approximately the same as the outer diameter of the sample holder mounting member 330, and the inner diameter is the same mounting member 330. The size is almost the same as the inner diameter of the X-ray transmission hole 332. The hollow portion of the sample holder penetrating in the axial direction serves as a sample mounting portion 341 for mounting the sample S. The sample holder 340 is made of a material such as aluminum alloy or plastic that has a small X-ray reflection, and is formed to have a thickness of about 3 mm. In addition, the stepped portion narrows the surface area near the sample surface and suppresses the reflection of X-rays. Magnets 342 are embedded in the sample holder 340 at a plurality of locations (two locations in this embodiment) with their end faces exposed.
The sample holder 340 can be attracted and fixed to the sample holder mounting member 330 made of a magnetic material by the magnetic force of these magnets 342.
【0045】また、このうち一つのマグネット342a
は、試料ホルダ340の回転動作に関する原点合わせの
ための基準指標としてある。試料台200には磁気セン
サ500が設置してある。この磁気センサ500は、試
料ホルダ装着部材330に吸着固定された試料ホルダ3
40の周面と、任意の位置で対向するように配置してあ
る。この磁気センサ500と対向する位置が、試料ホル
ダ340の回転動作に関する原点となる。Also, one of these magnets 342a
Is a reference index for origin alignment regarding the rotation operation of the sample holder 340. A magnetic sensor 500 is installed on the sample table 200. The magnetic sensor 500 includes a sample holder 3 attached to a sample holder mounting member 330 by suction.
It is arranged so as to face the peripheral surface of 40 at an arbitrary position. The position facing the magnetic sensor 500 is the origin for the rotation operation of the sample holder 340.
【0046】基準指標としたマグネット342aは、回
転板320の回転にともない、この磁気センサ500と
対向する近接位置を通るように厚さを調節し、試料ホル
ダ3の周面から突き出して配設してある。一方、基準指
標となっていないマグネット342は、マグネット34
2aより短く形成してあり、磁気センサ500の検出領
域を逸脱した位置を通過するように調節してある。この
実施例では、上記基準指標となるマグネット342aと
磁気センサ500とで、試料ホルダ340の回転動作に
関する原点合わせ手段を構成している。The magnet 342a used as a reference index has its thickness adjusted so as to pass through the proximity position facing the magnetic sensor 500 as the rotary plate 320 rotates, and is arranged so as to project from the peripheral surface of the sample holder 3. There is. On the other hand, the magnet 342 that is not the reference index is
It is formed shorter than 2a, and is adjusted so as to pass a position deviating from the detection region of the magnetic sensor 500. In this embodiment, the magnet 342a, which serves as the reference index, and the magnetic sensor 500 constitute the origin aligning means for the rotation operation of the sample holder 340.
【0047】また、試料ホルダ340は軸方向の少なく
とも一端面(好ましくは両端面)が軸と直交するように
高精度に面出しされており、その面出しされた一端面が
試料ホルダ装着部材330への被装着面340aとなっ
ている(図8参照)。そして、試料ホルダ340の周壁
には、複数個所にホルダ装着手段としてのマグネット3
42が端面を露出した状態で埋設してあり、磁力によっ
て試料ホルダ装着部材330の装着面330aに上記被
装着面340aを吸着固定する構造となっている。The sample holder 340 is highly accurately chamfered so that at least one end surface (preferably both end surfaces) in the axial direction is orthogonal to the axis, and the chamfered one end surface is the sample holder mounting member 330. It is a surface 340a to be mounted on the (see FIG. 8). Then, on the peripheral wall of the sample holder 340, the magnets 3 as holder mounting means are provided at a plurality of places.
42 is buried with the end surface exposed, and has a structure in which the mounted surface 340a is attracted and fixed to the mounting surface 330a of the sample holder mounting member 330 by magnetic force.
【0048】回転部材350は、図5に示すように筒状
に形成してあり、治具本体310の下部に軸受351を
介して回転自在に支持されている。回転部材の一端面は
試料ホルダ装着部材330の固定面350aとなってお
り、この固定面350aは軸と直交するように高精度に
面出しされている(図8参照)。固定面350aの外径
は、試料ホルダ装着部材330に形成した被固定面33
0bの外径とほぼ同じ寸法に設定してある。さらに、固
定面350aは、試料ホルダ装着部材330に形成した
被固定面330bのほぼ回転軌道上に位置決めしてあ
る。The rotary member 350 is formed in a tubular shape as shown in FIG. 5, and is rotatably supported at the bottom of the jig body 310 via a bearing 351. One end surface of the rotating member is a fixed surface 350a of the sample holder mounting member 330, and this fixed surface 350a is precisely faced so as to be orthogonal to the axis (see FIG. 8). The outer diameter of the fixed surface 350 a is the same as the fixed surface 33 formed on the sample holder mounting member 330.
The size is set to be almost the same as the outer diameter of 0b. Further, the fixed surface 350a is positioned substantially on the rotation path of the fixed surface 330b formed on the sample holder mounting member 330.
【0049】回転部材350の周壁端部には、突条35
2が形成してあり、この突条352の一側面は上記固定
面350aと連続する傾斜面352aとなっている(図
8参照)。この傾斜面352aは、後述するように回転
移動してきた試料ホルダ装着部材330の被固定面33
0bを、固定面350aと接触する方向に案内するもの
である。また、固定面350aの複数個所には、部材接
続手段としてのマグネット353が端面を露出した状態
で埋設してあり、磁力によって試料ホルダ装着部材33
0の被固定面330bを吸着固定する構造となってい
る。At the end of the peripheral wall of the rotating member 350, the protrusion 35
2 is formed, and one side surface of the protrusion 352 is an inclined surface 352a continuous with the fixed surface 350a (see FIG. 8). The inclined surface 352a is the fixed surface 33 of the sample holder mounting member 330 that has been rotationally moved as described later.
0b is guided in the direction of contact with the fixed surface 350a. Further, magnets 353 as member connecting means are buried in a plurality of positions on the fixed surface 350a with their end faces exposed, and the sample holder mounting member 33 is magnetized by magnetic force.
The structure is such that the fixed surface 330b of 0 is fixed by suction.
【0050】回転部材350の中空部は、軸方向の一端
から他端に貫通するX線透過孔354となっている。こ
のX線透過孔354は、透過法によりX線源から発射さ
れたX線をほぼ全幅にわたって透過できる直径に形成し
てある。現在市販されているX線回折装置に本実施例装
置を適用する場合には、上記試料ホルダ装着部材330
と同様に、X線透過孔354の内径を24mm程度に設
定すればよい。The hollow portion of the rotary member 350 is an X-ray transmission hole 354 that penetrates from one end to the other end in the axial direction. The X-ray transmission hole 354 is formed to have a diameter capable of transmitting the X-ray emitted from the X-ray source by the transmission method over almost the entire width. When the apparatus of this embodiment is applied to the X-ray diffractometer currently on the market, the sample holder mounting member 330 is used.
Similarly, the inner diameter of the X-ray transmission hole 354 may be set to about 24 mm.
【0051】回転部材350の周壁に形成した突条35
2の先端部分には従動歯車355が形成してある。治具
本体310の下部には第二駆動モータ(第二の回転駆動
源)356が固定してあり、この第二駆動モータ356
の駆動軸に取付けた駆動歯車357が上記従動歯車35
5と噛み合っている。回転部材350は、第二駆動モー
タ356からの回転駆動力を駆動歯車357および従動
歯車355を介して伝達され、軸中心に回転する。The protrusion 35 formed on the peripheral wall of the rotating member 350.
A driven gear 355 is formed at the tip portion of 2. A second drive motor (second rotary drive source) 356 is fixed to the lower part of the jig body 310.
The drive gear 357 attached to the drive shaft of the
It meshes with 5. The rotary member 350 transmits the rotary drive force from the second drive motor 356 via the drive gear 357 and the driven gear 355, and rotates about the axis.
【0052】図5に示すように、試料台200の底板に
はX線遮蔽部材400が装着可能となっている。X線遮
蔽部材400は、蓋付きの円筒形状に形成してあり、試
料台200における底板201の周面に下端開口部を嵌
め込み、ねじ等の締結具401によって固定する。試料
回転治具300は、このX線遮蔽部材400の内部に収
納される。X線遮蔽部材400はX線を遮蔽可能な材
料、例えば真鍮や銅合金等の非鉄材料で形成してある。
このX線遮蔽材料としては、鉛が一般的であるが、X線
回折測定に際し試料Sから出射する微弱なX線を遮蔽す
るには、例えば真鍮でも充分に目的を達成することがで
きる。もっとも、鉛または鉛合金でX線遮蔽部材400
を形成してもよいことは勿論である。また、X線遮蔽部
材400の肉圧は、試料Sから出射するX線の強度に応
じて適宜決定する。As shown in FIG. 5, an X-ray shielding member 400 can be attached to the bottom plate of the sample table 200. The X-ray shielding member 400 is formed in a cylindrical shape with a lid, and the lower end opening is fitted into the peripheral surface of the bottom plate 201 of the sample table 200 and fixed by a fastener 401 such as a screw. The sample rotating jig 300 is housed inside the X-ray shielding member 400. The X-ray shielding member 400 is made of a material capable of shielding X-rays, for example, a non-ferrous material such as brass or copper alloy.
Lead is generally used as the X-ray shielding material, but brass can be sufficiently used to shield the weak X-rays emitted from the sample S during X-ray diffraction measurement. However, X-ray shielding member 400 made of lead or lead alloy
Needless to say, it may be formed. The wall pressure of the X-ray shielding member 400 is appropriately determined according to the intensity of X-rays emitted from the sample S.
【0053】また、X線遮蔽部材400にはX線透過窓
402が設けてあり、このX線透過窓402を通してX
線源からのX線を試料Sに導くとともに、試料Sから出
射した回折X線をX線検出器へ導くようになっている。Further, the X-ray shielding member 400 is provided with an X-ray transmission window 402, and the X-ray transmission window 402 allows X-ray transmission.
The X-rays from the radiation source are guided to the sample S, and the diffracted X-rays emitted from the sample S are guided to the X-ray detector.
【0054】次に、上述した本実施例装置の作用を説明
する。X線回折装置におけるゴニオメータの基台100
へ本実施例装置を装着するには、試料台200の底板2
01に設けた突起部203をゴニオメータの基台100
に形成した装着凹部100aに嵌合すればよい。この装
着を一度行えば、その後、メンテナンス等のために試料
回転治具300を取外す必要が生じた場合でも、試料台
200をそのまま残し、試料回転治具300のみを試料
台200から取外せばよいため、着脱作業が容易とな
る。すなわち、ゴニオメータの基台100と試料台20
0との間は、高い嵌合精度を有しているので、装着に際
して高度な位置合わせが必要となる。これに対し、試料
台200と試料回転治具300の間は、例えば締結具
(ボルト)208による締結といった簡易な着脱構造で
よいため、装着作業が容易である。Next, the operation of the apparatus of this embodiment described above will be described. Goniometer base 100 for X-ray diffractometer
To mount the apparatus of this embodiment, the bottom plate 2 of the sample table 200
The projection portion 203 provided on 01 is used for the goniometer base 100.
It suffices to fit the mounting recess 100a formed in 1. Once this mounting is performed, even if it becomes necessary to remove the sample rotating jig 300 for maintenance or the like thereafter, the sample stage 200 can be left as it is and only the sample rotating fixture 300 can be removed from the sample stage 200. Therefore, the attachment / detachment work becomes easy. That is, the goniometer base 100 and the sample table 20
Since a high fitting precision is provided between 0 and 0, a high degree of alignment is required for mounting. On the other hand, since a simple attachment / detachment structure such as fastening with a fastener (bolt) 208 may be provided between the sample table 200 and the sample rotating jig 300, the mounting work is easy.
【0055】試料回転治具300の試料台200への装
着は、治具本体310の底面を試料台200の平面部2
05に搭載するとともに、基準面206に治具本体31
0の位置決め面310aを当接させ、締結具208を締
結孔207に通してねじ孔318へ螺合することにより
行う。To mount the sample rotating jig 300 on the sample table 200, the bottom surface of the jig body 310 is placed on the flat surface 2 of the sample table 200.
05, and the jig body 31 on the reference plane 206.
The positioning surface 310a of 0 is brought into contact, the fastener 208 is passed through the fastening hole 207 and screwed into the screw hole 318.
【0056】試料Sは、試料ホルダ340の試料装着孔
341内に装着し、表面を試料ホルダ340の表面34
0bと同一平面となる状態にしておく。試料Sを装着し
た試料ホルダ340は、被装着面340aを、マグネッ
ト342の磁力によって試料ホルダ装着部材330の装
着面330aに吸着する(図8参照)。The sample S is mounted in the sample mounting hole 341 of the sample holder 340, and its surface is the surface 34 of the sample holder 340.
It is in the same plane as 0b. The sample holder 340, on which the sample S is mounted, attracts the mounted surface 340a to the mounting surface 330a of the sample holder mounting member 330 by the magnetic force of the magnet 342 (see FIG. 8).
【0057】ここで、回転部材350に固定された試料
ホルダ装着部材330上にある試料ホルダ340の表面
340b(試料表面)は、治具本体310の位置決め面
310aと同一平面上に位置決めする。この位置決め
は、回転部材350の軸方向の位置を調節することによ
り行うが、その調節作業は試料回転治具300を立上げ
るときのみ行えばよい。このように位置決めされた試料
ホルダ340の表面340b(試料表面)は、位置決め
面310aと当接する試料台200の基準面206がゴ
ニオメータの回転中心上にあるため、必然的にゴニオメ
ータの回転中心上におかれることになる。また、本実施
例の試料保持装置は、試料台200にX線遮蔽部材40
0を装着可能となっているので、試料Sから飛散したX
線を試料回転治具300の周囲で効率的に遮蔽すること
ができ、X線被曝に対する安全性が向上する。Here, the surface 340b (sample surface) of the sample holder 340 on the sample holder mounting member 330 fixed to the rotating member 350 is positioned on the same plane as the positioning surface 310a of the jig body 310. This positioning is performed by adjusting the position of the rotating member 350 in the axial direction, but the adjusting work may be performed only when the sample rotating jig 300 is started up. The surface 340b (sample surface) of the sample holder 340 thus positioned is inevitably on the rotation center of the goniometer because the reference surface 206 of the sample table 200 that contacts the positioning surface 310a is on the rotation center of the goniometer. Will be placed. Further, in the sample holding device of this embodiment, the X-ray shielding member 40 is attached to the sample table 200.
Since 0 can be attached, X scattered from the sample S
The rays can be efficiently shielded around the sample rotating jig 300, and the safety against X-ray exposure is improved.
【0058】本実施例の試料回転治具300は、回転板
320上に複数(この実施例では4個)の試料ホルダ装
着部材330を取付けてあるので、第一駆動モータによ
る回転板320の回転によって任意の試料ホルダ装着部
材330を回転部材350に固定することができる。し
たがって、一の試料Sに対する測定を終了した後、回転
部材350を回転させ、次の試料ホルダ装着部材330
を回転部材350に固定するという動作を繰り返すこと
によって、自動的に複数の試料Sを測定することができ
る。In the sample rotating jig 300 of this embodiment, since a plurality of (four in this embodiment) sample holder mounting members 330 are mounted on the rotating plate 320, the rotating plate 320 is rotated by the first drive motor. Thus, the arbitrary sample holder mounting member 330 can be fixed to the rotating member 350. Therefore, after the measurement for one sample S is completed, the rotating member 350 is rotated and the next sample holder mounting member 330 is rotated.
A plurality of samples S can be automatically measured by repeating the operation of fixing the to the rotating member 350.
【0059】ここで、試料ホルダ装着部材330の回転
部材350への固定動作について、図8を参照して説明
する。第一駆動モータ314を作動して、回転板320
を回転させると、回転板320に取付けられた複数の試
料ホルダ装着部材330のうちの一つが回転部材350
へと接近し、回転部材350の固定面350aに、試料
ホルダ装着部材330の被固定面330bが接触する。
そして、試料ホルダ装着部材330が回転部材350の
同軸上にほぼ位置したとき、第一駆動モータ314を停
止すると、試料ホルダ装着部材330は、マグネット3
53の磁力により回転部材350に吸着固定される。Here, the fixing operation of the sample holder mounting member 330 to the rotating member 350 will be described with reference to FIG. The first drive motor 314 is operated to rotate the rotary plate 320.
Is rotated, one of the plurality of sample holder mounting members 330 attached to the rotary plate 320 is rotated by the rotary member 350.
And the fixed surface 330b of the sample holder mounting member 330 comes into contact with the fixed surface 350a of the rotating member 350.
When the first drive motor 314 is stopped when the sample holder mounting member 330 is substantially coaxial with the rotating member 350, the sample holder mounting member 330 causes the magnet 3 to move.
The magnetic force of 53 attracts and fixes the rotary member 350.
【0060】このとき、試料ホルダ装着部材330の被
固定面330bが、回転部材350の固定面350aと
接触するとき、これら各面が同一平面上になく、例えば
被固定面330bが固定面350aよりわずか左側(図
8)に位置していたときは、まず被固定面330bの端
縁が回転部材350の傾斜面352aに接触し、該傾斜
面352aに案内されて固定面350aへと導かれる。
一方、被固定面330bが固定面350aのわずか右側
(図8)に位置していたときは、マグネット353の磁
力によって被固定面330bは固定面350aに吸着さ
れる。At this time, when the fixed surface 330b of the sample holder mounting member 330 comes into contact with the fixed surface 350a of the rotating member 350, these surfaces are not on the same plane. For example, the fixed surface 330b is more than the fixed surface 350a. When it is located on the slightly left side (FIG. 8), the edge of the fixed surface 330b first contacts the inclined surface 352a of the rotating member 350, is guided by the inclined surface 352a, and is guided to the fixed surface 350a.
On the other hand, when the fixed surface 330b is located slightly to the right of the fixed surface 350a (FIG. 8), the fixed surface 330b is attracted to the fixed surface 350a by the magnetic force of the magnet 353.
【0061】その後、第二駆動モータ356を作動する
と、固定部材350とともに試料ホルダ装着部材330
が一体となって回転する。そして、基準指標となってい
るマグネット342aが磁気センサ500と対向する位
置(原点)にきたとき、磁気センサ500がマグネット
342aの発する磁力を検出する。この検出時点におけ
る試料ホルダ330の姿勢を角度ゼロとして、試料ホル
ダ330の回転角度を測定するとともに、X線回折測定
を行う。このようにして、回折X線のピーク値を検出し
たときの回転角度を求めれば、この回転角度とX線の入
射角度との関係から、試料Sの配向性や結晶の配列方向
等を検出することができる。After that, when the second drive motor 356 is operated, the sample holder mounting member 330 together with the fixing member 350.
Rotate together. Then, when the magnet 342a serving as the reference index reaches a position (origin) facing the magnetic sensor 500, the magnetic sensor 500 detects the magnetic force generated by the magnet 342a. The posture of the sample holder 330 at the time of this detection is set to zero, and the rotation angle of the sample holder 330 is measured and X-ray diffraction measurement is performed. In this way, if the rotation angle when the peak value of the diffracted X-ray is detected is obtained, the orientation of the sample S, the crystal arrangement direction, and the like are detected from the relationship between the rotation angle and the incident angle of the X-ray. be able to.
【0062】また、試料Sの背面は、図5に示すように
X線透過孔332,354が形成されているので、試料
背面からX線を照射し、正面側で回折X線を検出するい
わゆる透過法測定も可能である。しかも、本実施例装置
では、X線透過孔332,354がいずれもX線をほぼ
全幅にわたって透過する寸法に形成してあるので、損失
なくX線を試料Sに照射できる。なお、この透過法測定
に際しては、同図に示すように、X線透過孔354内に
コリメータ600を配置し、試料Sの近接位置からX線
を照射することも可能である。Further, since X-ray transmission holes 332 and 354 are formed on the back surface of the sample S as shown in FIG. 5, X-rays are emitted from the back surface of the sample and diffracted X-rays are detected on the front side. Transmission method measurement is also possible. Moreover, in the apparatus of this embodiment, the X-ray transmission holes 332 and 354 are each formed to have a size that allows transmission of X-rays over substantially the entire width, so that the sample S can be irradiated with X-rays without loss. It is also possible to arrange the collimator 600 inside the X-ray transmission hole 354 and irradiate the X-ray from the close position of the sample S, as shown in FIG.
【0063】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではない。例えば、磁気センサ16または500
が、基準指標となっているマグネット31aまたは34
2aの発する磁力を原点位置で検出する際、磁気センサ
16または500の検出した磁力の強弱を調べることに
より、試料ホルダ3または340の軸方向への位置ずれ
についても検出することができる。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the magnetic sensor 16 or 500
Is the magnet 31a or 34 which is the reference index
By detecting the strength of the magnetic force detected by the magnetic sensor 16 or 500 when the magnetic force generated by 2a is detected at the origin position, it is possible to detect the positional deviation of the sample holder 3 or 340 in the axial direction.
【0064】すなわち、試料ホルダ3または340が適
正位置に吸着固定しているときの磁力の強さを基準にし
て、磁気センサ16または500の検出した磁力が弱い
場合には、図1または図5で左方向に試料ホルダ3また
は340の位置ずれを生じていることがわかる。一方、
磁気センサ16または500の検出した磁力が強い場合
には、図1または図5で右方向に試料ホルダ3または3
40の位置ずれを生じていることがわかる。That is, in the case where the magnetic force detected by the magnetic sensor 16 or 500 is weak on the basis of the strength of the magnetic force when the sample holder 3 or 340 is adsorbed and fixed at the proper position, FIG. It can be seen that the sample holder 3 or 340 is displaced to the left. on the other hand,
When the magnetic force detected by the magnetic sensor 16 or 500 is strong, the sample holder 3 or 3 is moved to the right in FIG. 1 or 5.
It can be seen that a positional shift of 40 has occurred.
【0065】また上述の第二実施例において、回転板3
20への試料ホルダ装着部材330の取付け数は、必要
に応じて任意に設定することができる。また、試料ホル
ダ装着部材330の軸方向の移動は、回転板320を弾
力的に撓むように構成し、この回転板320の撓みによ
って実現することもできる。In the second embodiment described above, the rotary plate 3
The number of the sample holder mounting members 330 attached to the 20 can be arbitrarily set as required. Further, the movement of the sample holder mounting member 330 in the axial direction can be realized by elastically bending the rotary plate 320 and bending the rotary plate 320.
【0066】さらに、X線遮蔽部材4に設けたX線透過
窓402を、Be板やAl蒸着のマイラー箔等、X線吸
収係数の小さな材料からなる部材で閉塞し、X線遮蔽部
材4内を気密状態とすれば、試料Sの周囲(X線遮蔽部
材4内)を各種のガス雰囲気や真空雰囲気または湿度雰
囲気等に形成することができ、それらの雰囲気下での測
定も可能となる。さらに、X線遮蔽部材4に断熱性を付
与した構造とすることにより、内部を高温または低温雰
囲気にすることもできる。X線遮蔽部材の代わりに、各
種のガス雰囲気や真空雰囲気を形成するための専用容
器、または高温,低温雰囲気を形成するための専用容器
を試料台に装着可能とすることもできる。Further, the X-ray transmission window 402 provided in the X-ray shielding member 4 is closed by a member made of a material having a small X-ray absorption coefficient, such as a Be plate or an Al vapor deposition mylar foil, and the inside of the X-ray shielding member 4 is closed. If it is made airtight, the periphery of the sample S (inside the X-ray shielding member 4) can be formed in various gas atmospheres, vacuum atmospheres, humidity atmospheres, etc., and measurement under these atmospheres is also possible. Further, by providing the X-ray shielding member 4 with a heat insulating property, the inside can be made into a high temperature or low temperature atmosphere. Instead of the X-ray shielding member, a dedicated container for forming various gas atmospheres or vacuum atmospheres or a dedicated container for forming high temperature and low temperature atmospheres can be attached to the sample table.
【0067】[0067]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の試料保持
装置によれば、試料ホルダの回転動作に関する原点合わ
せが自動化し、その結果、試料の配向性や結晶の配列方
向等を容易かつ迅速に検出することができる。As described above, according to the sample holding apparatus of the present invention, the origin alignment relating to the rotation operation of the sample holder is automated, and as a result, the orientation of the sample, the crystal arrangement direction, etc. can be easily and quickly obtained. Can be detected.
【図1】この発明の第一実施例に係る試料保持装置を示
す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a sample holding device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】同装置における試料回転治具および磁気センサ
を示す縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a sample rotating jig and a magnetic sensor in the same apparatus.
【図3】同じく右側面図である。FIG. 3 is a right side view of the same.
【図4】同装置の試料ホルダを示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a sample holder of the apparatus.
【図5】この発明の第二実施例に係る試料保持装置を示
す縦断面図である。FIG. 5 is a vertical sectional view showing a sample holding device according to a second embodiment of the present invention.
【図6】同装置における試料回転治具および磁気センサ
を示す右側面図である。FIG. 6 is a right side view showing a sample rotating jig and a magnetic sensor in the same apparatus.
【図7】同装置の試料ホルダを示す正面図である。FIG. 7 is a front view showing a sample holder of the apparatus.
【図8】試料ホルダ装着治具の装着動作等を示す縦断面
図である。FIG. 8 is a vertical cross-sectional view showing a mounting operation and the like of a sample holder mounting jig.
【図9】従来の試料保持装置を示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing a conventional sample holding device.
1:試料台 2:試料回転治具 3:試料ホルダ 4:X線遮蔽部材 16:磁気センサ 20:治具本体 23:回転部材 27:試料ホルダ取付部 31:マグネット 31a:マグネット(基準指標) 200:試料台 300:試料回転治具 310:治具本体 320:回転板 330:試料ホルダ装着部材 340:試料ホルダ 342:マグネット 342a:試料ホルダ(基準指標) 350:回転部材 353:マグネット 400:X線遮蔽部材 500:磁気センサ 1: Sample table 2: Sample rotating jig 3: Sample holder 4: X-ray shielding member 16: Magnetic sensor 20: Jig body 23: Rotating member 27: Sample holder mounting part 31: Magnet 31a: Magnet (reference index) 200 : Sample stand 300: Sample rotating jig 310: Jig body 320: Rotating plate 330: Sample holder mounting member 340: Sample holder 342: Magnet 342a: Sample holder (reference index) 350: Rotating member 353: Magnet 400: X-ray Shielding member 500: Magnetic sensor
Claims (5)
基台上に設置される試料台と、前記試料台に装着される
治具本体と、この治具本体に搭載した回転駆動源と、軸
受を介して前記治具本体に回転自在に設けられ前記回転
駆動源からの駆動力によって軸中心に回転する筒状の回
転部材と、磁力によって前記回転部材の一端部に吸着固
定される試料ホルダと、前記試料ホルダに設けた基準指
標を所定の原点に位置決めする原点合わせ手段とを備え
たことを特徴とするX線回折装置の試料保持装置。1. A sample stage installed on a base of a goniometer rotatable with respect to an X-ray source, a jig body mounted on the sample stage, and a rotary drive source mounted on the jig body. A cylindrical rotating member that is rotatably provided on the jig body via a bearing and rotates about an axis by a driving force from the rotary driving source, and a sample holder that is attracted and fixed to one end of the rotating member by a magnetic force. A sample holding device for an X-ray diffractometer, comprising: and an origin adjusting means for positioning a reference index provided on the sample holder at a predetermined origin.
基台上に設置される試料台と、 試料を装着する複数の試料ホルダと、 前記試料台に装着される治具本体と、 この治具本体に回転自在に支持された回転板と、 この回転板を回転駆動する第一の回転駆動源と、 前記回転板の同一径上に複数個それぞれ軸を中心として
回転自在に取り付けられた試料ホルダ装着部材と、 前記試料ホルダを磁力によって前記試料ホルダ装着部材
の一端面に吸着固定するホルダ装着手段と、 前記試料ホルダ装着部材のほぼ回転軌道上に位置決めさ
れて前記治具本体に回転自在に支持された回転部材と、 この回転部材を回転駆動する第二の回転駆動源と、 前記回転部材のほぼ同軸上に回転移動してきた一の試料
ホルダ装着部材を磁力によって前記回転部材の端面に吸
着固定する部材接続手段と、 前記試料ホルダに設けた基準指標を所定の原点に位置決
めする原点合わせ手段とを具備したことを特徴とするX
線回折装置の試料保持装置。2. A sample stage installed on a base of a goniometer rotatable with respect to an X-ray source, a plurality of sample holders for mounting samples, and a jig main body mounted on the sample stage, A rotary plate rotatably supported by the tool body, a first rotary drive source for rotationally driving the rotary plate, and a plurality of samples mounted on the same diameter of the rotary plate so as to be rotatable about their respective axes. A holder mounting member, a holder mounting means for attracting and fixing the sample holder to one end surface of the sample holder mounting member by magnetic force, and a holder mounting member that is positioned substantially on a rotation path of the sample holder mounting member and is rotatable about the jig body. The supported rotary member, the second rotary drive source that rotationally drives the rotary member, and the one sample holder mounting member that has been rotationally moved substantially coaxially with the rotary member by magnetic force to the end surface of the rotary member. X is provided with a member connecting means for adsorbing and fixing to the sample holder, and an origin aligning means for positioning the reference index provided on the sample holder at a predetermined origin.
Sample holder for line diffraction device.
のX線回折装置の試料保持装置において、 前記試料ホルダの回転動作に関する原点合わせ手段は、
前記試料ホルダに設けた基準指標を原点位置で検出する
センサであることを特徴とするX線回折装置の試料保持
装置。3. The sample holding device for an X-ray diffraction apparatus according to claim 1, wherein the origin aligning means for rotating the sample holder comprises:
A sample holding device for an X-ray diffractometer, which is a sensor for detecting a reference index provided on the sample holder at an origin position.
装置において、 前記試料ホルダに複数個のマグネットを設け、このマグ
ネットにより試料ホルダを吸着固定するとともに、該マ
グネットのうちの一つを前記基準指標として他のマグネ
ットよりも前記センサと近接するように形成し、 前記センサは、前記基準指標となるマグネットから発せ
られる磁力を原点位置で検出することを特徴とするX線
回折装置の試料保持装置。4. A sample holder for an X-ray diffraction apparatus according to claim 3, wherein the sample holder is provided with a plurality of magnets, and the sample holder is attracted and fixed by the magnets, and one of the magnets is attached. A sample of an X-ray diffraction apparatus, which is formed so as to be closer to the sensor than another magnet as the reference index, and the sensor detects a magnetic force emitted from the magnet serving as the reference index at an origin position. Holding device.
装置において、 前記センサは、適正位置に吸着固定された試料ホルダを
基準として、前記基準指標となるマグネットから発せら
れる磁力の強弱により、試料ホルダの軸方向の位置ずれ
をも検出することを特徴とするX線回折装置の試料保持
装置。5. The sample holding device of the X-ray diffractometer according to claim 4, wherein the sensor uses a sample holder fixed at an appropriate position as a reference to determine the strength of magnetic force emitted from a magnet serving as the reference index. A sample holding device for an X-ray diffraction apparatus, which is also capable of detecting a positional deviation of the sample holder in the axial direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6091222A JPH07294400A (en) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Sample retention device for x-ray diffraction device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6091222A JPH07294400A (en) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Sample retention device for x-ray diffraction device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07294400A true JPH07294400A (en) | 1995-11-10 |
Family
ID=14020403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6091222A Pending JPH07294400A (en) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Sample retention device for x-ray diffraction device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07294400A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-04-28 JP JP6091222A patent/JPH07294400A/en active Pending
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