JPH07287258A - 導波路型電気光学素子 - Google Patents
導波路型電気光学素子Info
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- JPH07287258A JPH07287258A JP6080491A JP8049194A JPH07287258A JP H07287258 A JPH07287258 A JP H07287258A JP 6080491 A JP6080491 A JP 6080491A JP 8049194 A JP8049194 A JP 8049194A JP H07287258 A JPH07287258 A JP H07287258A
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- waveguide
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- optical
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気光学効果を有する基板に形成された光導
波路と、この光導波路に近接させて上記基板に取り付け
られた少なくとも１対の電極と、これらの電極間に電圧
を印加する駆動回路とを有し、光導波路を導波する光を
上記電圧の印加に応じて変調あるいはスイッチングする
導波路型電気光学素子において、駆動回路の出力信号に
対する光の出力波形の歪みを防止する。 【構成】 駆動回路16と電極13との間に、該駆動回路16
が出力した信号Ｓ１の波形と、変調あるいはスイッチン
グされた光の出力波形との差異を補償するように該信号
Ｓ１を補正する補正回路17を設ける。
波路と、この光導波路に近接させて上記基板に取り付け
られた少なくとも１対の電極と、これらの電極間に電圧
を印加する駆動回路とを有し、光導波路を導波する光を
上記電圧の印加に応じて変調あるいはスイッチングする
導波路型電気光学素子において、駆動回路の出力信号に
対する光の出力波形の歪みを防止する。 【構成】 駆動回路16と電極13との間に、該駆動回路16
が出力した信号Ｓ１の波形と、変調あるいはスイッチン
グされた光の出力波形との差異を補償するように該信号
Ｓ１を補正する補正回路17を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気光学効果を有する
基板に形成された光導波路と、この光導波路に近接して
配された少なくとも１対の電極とを有し、これらの電極
間に電圧を印加することによって導波光の変調や、スイ
ッチングを行なうようにした導波路型電気光学素子に関
するものである。
基板に形成された光導波路と、この光導波路に近接して
配された少なくとも１対の電極とを有し、これらの電極
間に電圧を印加することによって導波光の変調や、スイ
ッチングを行なうようにした導波路型電気光学素子に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば特開平２−９３１号公報に示され
るように、電気光学効果を有する基板に形成された薄膜
光導波路と、その上に形成されて該光導波路に電気光学
的回折格子（Electro-Optic Grating ）を形成する格子
状電極（以下ＥＯＧ電極と称する）と、このＥＯＧ電極
に電圧を印加する駆動回路とからなり、上記光導波路を
導波する導波光を、ＥＯＧ電極への電圧印加状態に応じ
て選択的に回折させるようにした導波路型電気光学素子
が公知となっている。
るように、電気光学効果を有する基板に形成された薄膜
光導波路と、その上に形成されて該光導波路に電気光学
的回折格子（Electro-Optic Grating ）を形成する格子
状電極（以下ＥＯＧ電極と称する）と、このＥＯＧ電極
に電圧を印加する駆動回路とからなり、上記光導波路を
導波する導波光を、ＥＯＧ電極への電圧印加状態に応じ
て選択的に回折させるようにした導波路型電気光学素子
が公知となっている。
【０００３】このような導波路型電気光学素子を用いれ
ば、回折光と非回折光（０次光）のいずれか一方を使用
光としたとき、その使用光を回折の有無あるいは程度に
応じて変調することができる。また、上記回折の有無に
応じて導波光の光路を切り換える光スイッチを構成する
こともできる。
ば、回折光と非回折光（０次光）のいずれか一方を使用
光としたとき、その使用光を回折の有無あるいは程度に
応じて変調することができる。また、上記回折の有無に
応じて導波光の光路を切り換える光スイッチを構成する
こともできる。
【０００４】さらに、例えばJAPANESE JOURNAL OF APPL
IED PHYSICS （ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプ
ライド・フィジックス）Vol.20, No.4, April, 1981 p
p.733〜737 に示されるように、電気光学効果を有する
基板に方向性結合器を構成する２本のチャンネル光導波
路を形成し、各チャンネル光導波路の上に平板状電極を
配し、一方のチャンネル光導波路を導波する導波光を上
記電極への電圧印加状態に応じて選択的に他方のチャン
ネル光導波路に移行させるようにした導波路型電気光学
素子も知られている。
IED PHYSICS （ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプ
ライド・フィジックス）Vol.20, No.4, April, 1981 p
p.733〜737 に示されるように、電気光学効果を有する
基板に方向性結合器を構成する２本のチャンネル光導波
路を形成し、各チャンネル光導波路の上に平板状電極を
配し、一方のチャンネル光導波路を導波する導波光を上
記電極への電圧印加状態に応じて選択的に他方のチャン
ネル光導波路に移行させるようにした導波路型電気光学
素子も知られている。
【０００５】このような導波路型電気光学素子を用いれ
ば、上記他方のチャンネル光導波路から出射する光を使
用光として、その使用光を電極への電圧印加状態に基づ
いて変調することができるし、また、導波光の光路を切
り換える光スイッチを構成することもできる。
ば、上記他方のチャンネル光導波路から出射する光を使
用光として、その使用光を電極への電圧印加状態に基づ
いて変調することができるし、また、導波光の光路を切
り換える光スイッチを構成することもできる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のようにして導波
光を変調したり、あるいはその光路を切り換える導波路
型電気光学素子においては、一般に、変調あるいはスイ
ッチングされた光の出力波形が矩形波状であることが望
まれる。そのような場合、電極間に電圧を印加する駆動
回路は矩形波の信号を出力するように構成されるが、そ
のようにしても、光の出力波形は矩形波状にならないこ
とが多い。
光を変調したり、あるいはその光路を切り換える導波路
型電気光学素子においては、一般に、変調あるいはスイ
ッチングされた光の出力波形が矩形波状であることが望
まれる。そのような場合、電極間に電圧を印加する駆動
回路は矩形波の信号を出力するように構成されるが、そ
のようにしても、光の出力波形は矩形波状にならないこ
とが多い。
【０００７】これは、電極への印加電圧値と光出力との
関係が、印加時間の経過にともなって変化することに起
因している。つまり、電極にある一定電圧を入力し続け
る場合、光出力は瞬時に所定レベルまで立ち上がらず
に、ある時間をかけて所定レベルに到達する。この現象
は、一般に波形の「立ちなまり」と称されている。
関係が、印加時間の経過にともなって変化することに起
因している。つまり、電極にある一定電圧を入力し続け
る場合、光出力は瞬時に所定レベルまで立ち上がらず
に、ある時間をかけて所定レベルに到達する。この現象
は、一般に波形の「立ちなまり」と称されている。
【０００８】このように、駆動回路の出力信号の波形に
対して光の出力波形が歪んでいると、特に光を高速で変
調して画像記録に利用するような場合に、所望の露光量
が得られない等の不具合を招くことになる。
対して光の出力波形が歪んでいると、特に光を高速で変
調して画像記録に利用するような場合に、所望の露光量
が得られない等の不具合を招くことになる。
【０００９】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、駆動回路の出力信号の波形に対する光の出力波
形の歪みを低減することができる導波路型電気光学素子
を提供することを目的とするものである。
であり、駆動回路の出力信号の波形に対する光の出力波
形の歪みを低減することができる導波路型電気光学素子
を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明による導波路型電
気光学素子は、先に述べたように、電気光学効果を有す
る基板に形成された光導波路と、この光導波路に近接さ
せて基板に取り付けられた少なくとも１対の電極と、こ
れらの電極間に電圧を印加する駆動回路とを有し、光導
波路を導波する光を上記電圧の印加に応じて変調あるい
はスイッチングする導波路型電気光学素子において、上
記駆動回路と電極との間に、該駆動回路が出力した信号
の波形と、変調あるいはスイッチングされた光の出力波
形との差異を補償するように該信号を補正する補正回路
が設けられたことを特徴とするものである。
気光学素子は、先に述べたように、電気光学効果を有す
る基板に形成された光導波路と、この光導波路に近接さ
せて基板に取り付けられた少なくとも１対の電極と、こ
れらの電極間に電圧を印加する駆動回路とを有し、光導
波路を導波する光を上記電圧の印加に応じて変調あるい
はスイッチングする導波路型電気光学素子において、上
記駆動回路と電極との間に、該駆動回路が出力した信号
の波形と、変調あるいはスイッチングされた光の出力波
形との差異を補償するように該信号を補正する補正回路
が設けられたことを特徴とするものである。
【００１１】
【作用および発明の効果】上述のような補正回路が設け
られていると、変調あるいはスイッチングされた光の出
力波形は、駆動回路が出力した信号の波形と一致、ある
いは極めて近いものとなる。そこでこの光の出力波形
を、駆動回路の出力信号の波形に対応した所望の波形と
することができる。
られていると、変調あるいはスイッチングされた光の出
力波形は、駆動回路が出力した信号の波形と一致、ある
いは極めて近いものとなる。そこでこの光の出力波形
を、駆動回路の出力信号の波形に対応した所望の波形と
することができる。
【００１２】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。図１および図２はそれぞれ、本発明の
第１実施例による導波路型電気光学素子の平面形状およ
び側面形状を示すものである。この導波路型電気光学素
子は光変調器として構成されたものであり、ＭｇＯがド
ープされたＬｉＮｂＯ3 基板10上に形成された薄膜光導
波路11と、その上に形成されたＳｉＯ2 膜からなるバッ
ファ層12と、このバッファ層12の上に形成された交差櫛
形のＥＯＧ電極13と、このＥＯＧ電極13を間において互
いに離れる状態で光導波路11の表面に形成された光入力
用線状回折格子（Linear Grating Coupler：以下ＬＧＣ
と称する）14および光出力用ＬＧＣ15と、上記ＥＯＧ電
極13に所定の電圧を印加する駆動回路16と、この駆動回
路16とＥＯＧ電極13との間に設けられた補正回路17とを
有している。
詳細に説明する。図１および図２はそれぞれ、本発明の
第１実施例による導波路型電気光学素子の平面形状およ
び側面形状を示すものである。この導波路型電気光学素
子は光変調器として構成されたものであり、ＭｇＯがド
ープされたＬｉＮｂＯ3 基板10上に形成された薄膜光導
波路11と、その上に形成されたＳｉＯ2 膜からなるバッ
ファ層12と、このバッファ層12の上に形成された交差櫛
形のＥＯＧ電極13と、このＥＯＧ電極13を間において互
いに離れる状態で光導波路11の表面に形成された光入力
用線状回折格子（Linear Grating Coupler：以下ＬＧＣ
と称する）14および光出力用ＬＧＣ15と、上記ＥＯＧ電
極13に所定の電圧を印加する駆動回路16と、この駆動回
路16とＥＯＧ電極13との間に設けられた補正回路17とを
有している。
【００１３】この導波路型電気光学素子の要部の作製方
法は、以下の通りである。まず、ＭｇＯがドープされた
ＬＩＮｂＯ3 基板（Ｘ板）10をピロリン酸中に浸漬して
140〜150 ℃でプロトン交換を行ない、さらに大気中で3
00 〜400 ℃×１時間のアニール処理を施して、光導波
路11を形成する。
法は、以下の通りである。まず、ＭｇＯがドープされた
ＬＩＮｂＯ3 基板（Ｘ板）10をピロリン酸中に浸漬して
140〜150 ℃でプロトン交換を行ない、さらに大気中で3
00 〜400 ℃×１時間のアニール処理を施して、光導波
路11を形成する。
【００１４】次いで、光導波路11上にフォトリソグラフ
ィーによりＥＯＧ電極のレジストパターンを形成する。
その後この電極パターンの上にバッファ層12となるＳｉ
Ｏ2を、スパッタリング法により成膜する。このとき、
バッファ層としてのＳｉＯ2膜の膜厚が、上記レジスト
パターンよりも薄くなるようにスパッタ時間を制御す
る。
ィーによりＥＯＧ電極のレジストパターンを形成する。
その後この電極パターンの上にバッファ層12となるＳｉ
Ｏ2を、スパッタリング法により成膜する。このとき、
バッファ層としてのＳｉＯ2膜の膜厚が、上記レジスト
パターンよりも薄くなるようにスパッタ時間を制御す
る。
【００１５】ＳｉＯ2 膜を成膜した後、その上に電極材
料であるＡｌを蒸着し、次いでレジストをリフトオフす
ることにより、ＥＯＧ電極13が得られる。なおこの場
合、バッファ層12は各電極部分毎に分離したものとな
る。
料であるＡｌを蒸着し、次いでレジストをリフトオフす
ることにより、ＥＯＧ電極13が得られる。なおこの場
合、バッファ層12は各電極部分毎に分離したものとな
る。
【００１６】以下、この導波路型電気光学素子の動作を
説明する。変調される光ビーム20を発する例えばＨｅ−
Ｎｅレーザー等のレーザー光源21は、平行光であるこの
光ビーム20が、基板10の斜めにカットされた端面10ａを
通過し、光導波路11を透過してＬＧＣ14の部分に入射す
るように配置されている。それにより、光ビーム20はこ
のＬＧＣ14で回折して光導波路11内に入射し、該光導波
路11を導波モードで矢印Ａ方向に進行する。
説明する。変調される光ビーム20を発する例えばＨｅ−
Ｎｅレーザー等のレーザー光源21は、平行光であるこの
光ビーム20が、基板10の斜めにカットされた端面10ａを
通過し、光導波路11を透過してＬＧＣ14の部分に入射す
るように配置されている。それにより、光ビーム20はこ
のＬＧＣ14で回折して光導波路11内に入射し、該光導波
路11を導波モードで矢印Ａ方向に進行する。
【００１７】この光ビーム（導波光）20は、ＥＯＧ電極
13に対応する部分を通って導波するが、ＥＯＧ電極13に
電圧が印加されていない状態では、この導波光20は直進
する。一方、ＥＯＧ電極13に駆動回路16から補正回路17
を介して所定の電圧が印加されると、電気光学効果を有
する光導波路11の屈折率が変化して光導波路11に回折格
子が形成され、導波光20はその回折格子により回折す
る。以上のようにして回折した光ビーム（１次回折光）
20Ａおよび回折しない光ビーム（０次光）20Ｂは、ＬＧ
Ｃ15において基板10側に回折し、この基板10の斜めにカ
ットされた端面10ｂから素子外に出射する。
13に対応する部分を通って導波するが、ＥＯＧ電極13に
電圧が印加されていない状態では、この導波光20は直進
する。一方、ＥＯＧ電極13に駆動回路16から補正回路17
を介して所定の電圧が印加されると、電気光学効果を有
する光導波路11の屈折率が変化して光導波路11に回折格
子が形成され、導波光20はその回折格子により回折す
る。以上のようにして回折した光ビーム（１次回折光）
20Ａおよび回折しない光ビーム（０次光）20Ｂは、ＬＧ
Ｃ15において基板10側に回折し、この基板10の斜めにカ
ットされた端面10ｂから素子外に出射する。
【００１８】そこでこの素子外に出射した例えば光ビー
ム20Ａを使用光とすれば、前記駆動回路16による電圧印
加の有無に応じてこの光ビーム20Ａを変調することがで
きる。例えば所定の画像信号に基づいてこの光ビーム20
Ａを変調する場合は、その画像信号に基づいて駆動回路
16による電圧印加を制御すればよい。
ム20Ａを使用光とすれば、前記駆動回路16による電圧印
加の有無に応じてこの光ビーム20Ａを変調することがで
きる。例えば所定の画像信号に基づいてこの光ビーム20
Ａを変調する場合は、その画像信号に基づいて駆動回路
16による電圧印加を制御すればよい。
【００１９】次に、補正回路17の作用について説明す
る。図３は、光ビーム20の回折に関わる構成における信
号波形、および変調された光の出力波形を示している。
図示されるように連続出力の光ビーム20はＥＯＧ電極13
に対向する光導波路部分を通過し、そこで回折した光ビ
ーム20Ａが変調光となるが、本例においては、この光ビ
ーム20Ａの出力波形が図中ｃで示すように矩形波状であ
ることが望まれる。
る。図３は、光ビーム20の回折に関わる構成における信
号波形、および変調された光の出力波形を示している。
図示されるように連続出力の光ビーム20はＥＯＧ電極13
に対向する光導波路部分を通過し、そこで回折した光ビ
ーム20Ａが変調光となるが、本例においては、この光ビ
ーム20Ａの出力波形が図中ｃで示すように矩形波状であ
ることが望まれる。
【００２０】そこで駆動回路16の出力信号（電圧信号）
Ｓ１は、図中ａで示すように矩形波とされるが、この信
号Ｓ１は補正回路17に入力され、該補正回路17により図
中ｂで示すような波形の信号Ｓ２に補正される。この信
号Ｓ２の波形は、詳しく説明すると、ステップ状に立ち
上がった後時間経過にともなって徐々に低下し、所定レ
ベルに収束する、という波形である。
Ｓ１は、図中ａで示すように矩形波とされるが、この信
号Ｓ１は補正回路17に入力され、該補正回路17により図
中ｂで示すような波形の信号Ｓ２に補正される。この信
号Ｓ２の波形は、詳しく説明すると、ステップ状に立ち
上がった後時間経過にともなって徐々に低下し、所定レ
ベルに収束する、という波形である。
【００２１】このように信号Ｓ１を補正する補正回路17
は、一例として図４に示す回路構成を有するものであ
る。すなわちこの補正回路17は、基本的にパルス信号源
16ａと抵抗16ｂとで構成される駆動回路16と、ＥＯＧ電
極13の１対の電極指（電極指形状は図１参照）とを結ぶ
２本のラインの一方に、互いに並列にして挿入されたコ
ンデンサＣ１および第１の抵抗Ｒ１と、上記２本のライ
ンを連絡するラインに挿入された第２の抵抗Ｒ２とから
構成されている。
は、一例として図４に示す回路構成を有するものであ
る。すなわちこの補正回路17は、基本的にパルス信号源
16ａと抵抗16ｂとで構成される駆動回路16と、ＥＯＧ電
極13の１対の電極指（電極指形状は図１参照）とを結ぶ
２本のラインの一方に、互いに並列にして挿入されたコ
ンデンサＣ１および第１の抵抗Ｒ１と、上記２本のライ
ンを連絡するラインに挿入された第２の抵抗Ｒ２とから
構成されている。
【００２２】なお本実施例では、コンデンサＣ１の容量
は500 ｐＦ、第１の抵抗Ｒ１としては可変抵抗が用いら
れてその抵抗値は500 ｋΩに設定され、また第２の抵抗
Ｒ２の抵抗値は1.5 ＭΩである。
は500 ｐＦ、第１の抵抗Ｒ１としては可変抵抗が用いら
れてその抵抗値は500 ｋΩに設定され、また第２の抵抗
Ｒ２の抵抗値は1.5 ＭΩである。
【００２３】図５は、１次回折光である光ビーム20Ａの
出力波形を示している。図示される通り、この光ビーム
20Ａの強度Ｐはステップ状に立ち上がった後、比較的短
い時間内に最大値Ｐmax に達し、そのままこの最大値Ｐ
max を維持する。なおこの場合の立ちなまり、つまり図
５の（Ｐmax −Ｐo ）／Ｐo は３％以下である。このよ
うにして本実施例の導波路型電気光学素子においては、
信号Ｓ１を補正回路17で補正することにより、光ビーム
20Ａの出力波形をほぼ矩形波状とすることができる。
出力波形を示している。図示される通り、この光ビーム
20Ａの強度Ｐはステップ状に立ち上がった後、比較的短
い時間内に最大値Ｐmax に達し、そのままこの最大値Ｐ
max を維持する。なおこの場合の立ちなまり、つまり図
５の（Ｐmax −Ｐo ）／Ｐo は３％以下である。このよ
うにして本実施例の導波路型電気光学素子においては、
信号Ｓ１を補正回路17で補正することにより、光ビーム
20Ａの出力波形をほぼ矩形波状とすることができる。
【００２４】それに対して、図６に示すように駆動回路
16の出力信号（電圧信号）Ｓ１をそのままＥＯＧ電極13
に入力した場合、光ビーム20Ａの出力波形は図７のよう
になる。つまりこの場合、光ビーム20Ａの強度Ｐはステ
ップ状に立ち上がった後、だらだらと増大し、最大値Ｐ
max に達するまでに500 μsec を要している。この場合
の立ちなまり（Ｐmax −Ｐo ）／Ｐo は、９％と大きく
なっている。
16の出力信号（電圧信号）Ｓ１をそのままＥＯＧ電極13
に入力した場合、光ビーム20Ａの出力波形は図７のよう
になる。つまりこの場合、光ビーム20Ａの強度Ｐはステ
ップ状に立ち上がった後、だらだらと増大し、最大値Ｐ
max に達するまでに500 μsec を要している。この場合
の立ちなまり（Ｐmax −Ｐo ）／Ｐo は、９％と大きく
なっている。
【００２５】なお補正回路17としては、図４に示した回
路構成のものに限らず、その他例えば図８に示すような
回路構成のものを用いることもできる。この図８の回路
は、図４に示したコンデンサＣ１、第１の抵抗Ｒ１およ
び第２の抵抗Ｒ２からなる回路に加えて、第２のコンデ
ンサＣ２、第３の抵抗Ｒ３および第４の抵抗Ｒ４からな
る同様の回路が加えられたものである。この図８に示す
補正回路17を用いる場合は、前述した光ビーム20Ａの立
ちなまりを１％以下に抑えることも可能である。
路構成のものに限らず、その他例えば図８に示すような
回路構成のものを用いることもできる。この図８の回路
は、図４に示したコンデンサＣ１、第１の抵抗Ｒ１およ
び第２の抵抗Ｒ２からなる回路に加えて、第２のコンデ
ンサＣ２、第３の抵抗Ｒ３および第４の抵抗Ｒ４からな
る同様の回路が加えられたものである。この図８に示す
補正回路17を用いる場合は、前述した光ビーム20Ａの立
ちなまりを１％以下に抑えることも可能である。
【００２６】また、以上説明した補正回路17はディスク
リート回路からなるものであるが、補正回路をデジタル
ＩＣから構成することも可能である。
リート回路からなるものであるが、補正回路をデジタル
ＩＣから構成することも可能である。
【００２７】次に、図９を参照して本発明の第２実施例
について説明する。この第２実施例の導波路型電気光学
素子は、ＭｇＯがドープされたＬＩＮｂＯ3 基板10と、
該基板10に形成された、Ｙ分岐光導波路を２つ接続した
形のチャンネル光導波路30と、このチャンネル光導波路
30の一方の分岐部分30ａを挟むようにして基板10上に形
成された１対の平板状電極31，31と、これらの平板状電
極31，31に所定の電圧を印加する駆動回路32と、各平板
状電極31と基板10との間に介設されたバッファ層33とを
有している。またこの場合も、駆動回路32と平板状電極
31との間には補正回路35が設けられている。
について説明する。この第２実施例の導波路型電気光学
素子は、ＭｇＯがドープされたＬＩＮｂＯ3 基板10と、
該基板10に形成された、Ｙ分岐光導波路を２つ接続した
形のチャンネル光導波路30と、このチャンネル光導波路
30の一方の分岐部分30ａを挟むようにして基板10上に形
成された１対の平板状電極31，31と、これらの平板状電
極31，31に所定の電圧を印加する駆動回路32と、各平板
状電極31と基板10との間に介設されたバッファ層33とを
有している。またこの場合も、駆動回路32と平板状電極
31との間には補正回路35が設けられている。
【００２８】上記構成の導波路型電気光学素子におい
て、入力光34はチャンネル光導波路30の図中左端から入
力され、１番目のＹ分岐で分岐され、分岐部分30ａおよ
び30ｂを導波してから２番目のＹ分岐で再度合成され
る。この合成された光は、チャンネル光導波路30の図中
右端から出力光34Ａとして出力される。
て、入力光34はチャンネル光導波路30の図中左端から入
力され、１番目のＹ分岐で分岐され、分岐部分30ａおよ
び30ｂを導波してから２番目のＹ分岐で再度合成され
る。この合成された光は、チャンネル光導波路30の図中
右端から出力光34Ａとして出力される。
【００２９】チャンネル光導波路30の一方の分岐部分30
ａに電極31，31を介して所定電圧が印加されると、この
分岐部分30ａの屈折率が変化するので、分岐部分30ａを
導波する光はこの電圧印加の有無に応じて位相変調され
る。そして、この分岐部分30ａを導波した光と、分岐部
分30ｂを導波した光は合成されたとき干渉するので、出
力光34Ａは上記電圧印加の有無に応じて強度変調され
る。
ａに電極31，31を介して所定電圧が印加されると、この
分岐部分30ａの屈折率が変化するので、分岐部分30ａを
導波する光はこの電圧印加の有無に応じて位相変調され
る。そして、この分岐部分30ａを導波した光と、分岐部
分30ｂを導波した光は合成されたとき干渉するので、出
力光34Ａは上記電圧印加の有無に応じて強度変調され
る。
【００３０】この第２実施例の導波路型電気光学素子に
おいても、駆動回路32の出力信号Ｓ１を補正回路35によ
り第１実施例の場合と同様に補正し、この補正後の信号
Ｓ２を平板状電極31に加えるようにしているので、出力
光34Ａの波形の立ちなまりを低減することができる。
おいても、駆動回路32の出力信号Ｓ１を補正回路35によ
り第１実施例の場合と同様に補正し、この補正後の信号
Ｓ２を平板状電極31に加えるようにしているので、出力
光34Ａの波形の立ちなまりを低減することができる。
【００３１】次に、図10を参照して本発明の第３実施例
について説明する。この第３実施例の導波路型電気光学
素子は、ＭｇＯがドープされたＬＩＮｂＯ3 基板10と、
該基板10に形成された、方向性結合器を構成する２つの
チャンネル光導波路40Ａ、40Ｂと、一方のチャンネル光
導波路40Ａを挟むようにして基板10上に形成された１対
の平板状電極41，41と、これらの平板状電極41，41に所
定の電圧を印加する駆動回路42と、各平板状電極41と基
板10との間に介設されたバッファ層43とを有している。
またこの場合も、駆動回路42と平板状電極41との間には
補正回路45が設けられている。
について説明する。この第３実施例の導波路型電気光学
素子は、ＭｇＯがドープされたＬＩＮｂＯ3 基板10と、
該基板10に形成された、方向性結合器を構成する２つの
チャンネル光導波路40Ａ、40Ｂと、一方のチャンネル光
導波路40Ａを挟むようにして基板10上に形成された１対
の平板状電極41，41と、これらの平板状電極41，41に所
定の電圧を印加する駆動回路42と、各平板状電極41と基
板10との間に介設されたバッファ層43とを有している。
またこの場合も、駆動回路42と平板状電極41との間には
補正回路45が設けられている。
【００３２】上記構成の導波路型電気光学素子におい
て、入力光44は一方のチャンネル光導波路40Ａに入力さ
れてそこを導波し、両光導波路40Ａ、40Ｂが近接してい
る部分において他方のチャンネル光導波路40Ｂに浸み出
し、そこを導波して該光導波路40Ｂから出力光44Ａとし
て出力される。
て、入力光44は一方のチャンネル光導波路40Ａに入力さ
れてそこを導波し、両光導波路40Ａ、40Ｂが近接してい
る部分において他方のチャンネル光導波路40Ｂに浸み出
し、そこを導波して該光導波路40Ｂから出力光44Ａとし
て出力される。
【００３３】チャンネル光導波路40Ａに電極41，41を介
して所定電圧が印加されると、この光導波路40Ａの屈折
率が変化するので、該光導波路40Ａから光導波路40Ｂへ
の導波光の乗り移りの大きさが変化する。そこで出力光
44Ａは、上記電圧印加の有無に応じて強度変調される。
して所定電圧が印加されると、この光導波路40Ａの屈折
率が変化するので、該光導波路40Ａから光導波路40Ｂへ
の導波光の乗り移りの大きさが変化する。そこで出力光
44Ａは、上記電圧印加の有無に応じて強度変調される。
【００３４】この第３実施例の導波路型電気光学素子に
おいても、駆動回路42の出力信号Ｓ１を補正回路45によ
り第１および第２実施例の場合と同様に補正し、この補
正後の信号Ｓ２を平板状電極41に加えるようにしている
ので、出力光44Ａの波形の立ちなまりを低減することが
できる。
おいても、駆動回路42の出力信号Ｓ１を補正回路45によ
り第１および第２実施例の場合と同様に補正し、この補
正後の信号Ｓ２を平板状電極41に加えるようにしている
ので、出力光44Ａの波形の立ちなまりを低減することが
できる。
【００３５】なお本発明は、先に説明したプロトン交換
／アニールによる光導波路に限らず、その他プロトン交
換光導波路やＴｉ拡散光導波路を有する導波路型電気光
学素子に対しても適用可能で、同様の効果を奏するもの
である。
／アニールによる光導波路に限らず、その他プロトン交
換光導波路やＴｉ拡散光導波路を有する導波路型電気光
学素子に対しても適用可能で、同様の効果を奏するもの
である。
【図１】本発明の第１実施例による導波路型電気光学素
子を示す平面図
子を示す平面図
【図２】上記第１実施例の導波路型電気光学素子の側面
図
図
【図３】上記第１実施例装置における信号の波形を説明
する概略図
する概略図
【図４】上記第１実施例装置に用いられた補正回路の電
気回路図
気回路図
【図５】上記第１実施例装置における出力光の波形を示
すグラフ
すグラフ
【図６】従来装置の要部を示すブロック図
【図７】上記従来装置における出力光の波形を示すグラ
フ
フ
【図８】本発明に用いられる補正回路の別の例を示す電
気回路図
気回路図
【図９】本発明の第２実施例による導波路型電気光学素
子を示す斜視図
子を示す斜視図
【図１０】本発明の第３実施例による導波路型電気光学
素子を示す斜視図
素子を示す斜視図
【符号の説明】 10 ＭｇＯドープＬｉＮｂＯ3 基板 11 薄膜光導波路 12 バッファ層 13 ＥＯＧ電極 16 駆動回路 17 補正回路 20 光ビーム 20Ａ 回折した光ビーム 20Ｂ 回折しない光ビーム 30 チャンネル光導波路 31 平板状電極 32 駆動回路 33 バッファ層 35 補正回路 40Ａ、40Ｂ チャンネル光導波路 41 平板状電極 42 駆動回路 43 バッファ層 45 補正回路
Claims (2)
- 【請求項１】 電気光学効果を有する基板に形成された
光導波路と、 この光導波路に近接させて前記基板に取り付けられた少
なくとも１対の電極と、 これらの電極間に電圧を印加する駆動回路とを有し、 前記光導波路を導波する光を前記電圧の印加に応じて変
調あるいはスイッチングする導波路型電気光学素子にお
いて、 前記駆動回路と電極との間に、該駆動回路が出力した信
号の波形と、変調あるいはスイッチングされた光の出力
波形との差異を補償するように該信号を補正する補正回
路が設けられていることを特徴とする導波路型電気光学
素子。 - 【請求項２】 前記補正回路が、１対の電極の各々に接
続する２本のラインの一方に互いに並列にして挿入され
たコンデンサおよび第１の抵抗と、前記２本のラインを
連絡するラインに挿入された第２の抵抗とからなること
を特徴とする請求項１記載の導波路型電気光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6080491A JPH07287258A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 導波路型電気光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6080491A JPH07287258A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 導波路型電気光学素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07287258A true JPH07287258A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13719773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6080491A Withdrawn JPH07287258A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 導波路型電気光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07287258A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008023480A1 (fr) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Nec Corporation | Modulateur et procédé de modulation de lumière mach-zehnder, émetteur, modulateur, appareil d'émission et appareil de réception de lumière |
-
1994
- 1994-04-19 JP JP6080491A patent/JPH07287258A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008023480A1 (fr) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Nec Corporation | Modulateur et procédé de modulation de lumière mach-zehnder, émetteur, modulateur, appareil d'émission et appareil de réception de lumière |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010703 |