JPH0728232A - 感光性転写材料 - Google Patents
感光性転写材料Info
- Publication number
- JPH0728232A JPH0728232A JP16921893A JP16921893A JPH0728232A JP H0728232 A JPH0728232 A JP H0728232A JP 16921893 A JP16921893 A JP 16921893A JP 16921893 A JP16921893 A JP 16921893A JP H0728232 A JPH0728232 A JP H0728232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- thermoplastic resin
- layer
- photosensitive
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/092—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers characterised by backside coating or layers, by lubricating-slip layers or means, by oxygen barrier layers or by stripping-release layers or means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 感光性転写材料の感光性樹脂層を仮支持体上
から永久支持体上へ転写する際に、永久支持体のキズや
上記先行画素に基づく段差等に起因する転写不良（気泡
の発生）が無いように高速で転写する事が可能で、かつ
仮支持体と申し分のない分離ならびに空気中の露光を可
能ならしめ、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ
水溶液で迅速に除去することのできる感光性転写材料を
提供する。 【構成】 仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂
層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性
樹脂層と該仮支持体の間の接着力が最も小さい感光性転
写材料において、該アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に少
なくとも（Ａ）重量平均分子量５万〜５０万（Ｔｇ＝０
〜１４０℃）及び（Ｂ）重量平均分子量３千〜３万（Ｔ
ｇ＝３０〜１７０℃）のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂
を、重量比で（Ａ）／（Ｂ）＝５／９５〜９５／５の範
囲で含む。
から永久支持体上へ転写する際に、永久支持体のキズや
上記先行画素に基づく段差等に起因する転写不良（気泡
の発生）が無いように高速で転写する事が可能で、かつ
仮支持体と申し分のない分離ならびに空気中の露光を可
能ならしめ、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ
水溶液で迅速に除去することのできる感光性転写材料を
提供する。 【構成】 仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂
層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性
樹脂層と該仮支持体の間の接着力が最も小さい感光性転
写材料において、該アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に少
なくとも（Ａ）重量平均分子量５万〜５０万（Ｔｇ＝０
〜１４０℃）及び（Ｂ）重量平均分子量３千〜３万（Ｔ
ｇ＝３０〜１７０℃）のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂
を、重量比で（Ａ）／（Ｂ）＝５／９５〜９５／５の範
囲で含む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、凹凸のある基体に乾式
転写するのに適当な感光性転写材料、及びそれを用いた
画像形成方法に関する。本発明に成る感光性転写材料及
び画像形成方法は、液晶表示体等に使用するカラーフィ
ルターの作成や、プリント配線基板の作成に好適に用い
られる。
転写するのに適当な感光性転写材料、及びそれを用いた
画像形成方法に関する。本発明に成る感光性転写材料及
び画像形成方法は、液晶表示体等に使用するカラーフィ
ルターの作成や、プリント配線基板の作成に好適に用い
られる。
【０００２】
【従来の技術】基体に感光性樹脂層を転写するための画
像形成材料は、例えば特公昭５６−４０８２４から公知
である。これはプリント配線、凹版凸版印刷版、ネーム
プレート、多色試し刷り見本、オフセット印刷版及びス
クリーン印刷ステンシル等の製造に用いられる。転写材
料は支持体、分離層、光重合性層から成り、基体と光重
合性層を張合わせ、その後仮支持体のみを引き剥がし、
分離層を通して露光、現像し基体の上に画像を形成す
る。この場合、分離層は酸素遮断の役割を果し、空気中
の露光に対して有利に働き、またその厚みも０．５μｍ
から５μｍ程度と非常に薄いので解像力の面でも問題は
ない。しかし、転写される基体上にある程度の凹凸が存
在する場合には、その上に非常に薄い光重合性層を転写
する際に光重合性層と基体の間に気泡等がとじ込められ
てしまい、転写不良を起こす。例えば、カラーフィルタ
ーの作製のように、多色の画像形成時には、第一色目の
画素（以下、先行画素と略す）の上に第二色目の感光性
樹脂層を転写する場合が該当する。また、プリント基板
の作製のように、銅張り積層板の銅表面が整面により生
ずる微小な傷や打痕を有するときに、ドライフィルムレ
ジスト層を転写する場合が該当する。
像形成材料は、例えば特公昭５６−４０８２４から公知
である。これはプリント配線、凹版凸版印刷版、ネーム
プレート、多色試し刷り見本、オフセット印刷版及びス
クリーン印刷ステンシル等の製造に用いられる。転写材
料は支持体、分離層、光重合性層から成り、基体と光重
合性層を張合わせ、その後仮支持体のみを引き剥がし、
分離層を通して露光、現像し基体の上に画像を形成す
る。この場合、分離層は酸素遮断の役割を果し、空気中
の露光に対して有利に働き、またその厚みも０．５μｍ
から５μｍ程度と非常に薄いので解像力の面でも問題は
ない。しかし、転写される基体上にある程度の凹凸が存
在する場合には、その上に非常に薄い光重合性層を転写
する際に光重合性層と基体の間に気泡等がとじ込められ
てしまい、転写不良を起こす。例えば、カラーフィルタ
ーの作製のように、多色の画像形成時には、第一色目の
画素（以下、先行画素と略す）の上に第二色目の感光性
樹脂層を転写する場合が該当する。また、プリント基板
の作製のように、銅張り積層板の銅表面が整面により生
ずる微小な傷や打痕を有するときに、ドライフィルムレ
ジスト層を転写する場合が該当する。
【０００３】特開平２−２１３８４９には、支持体と感
光性樹脂層の間にポリビニルアルコール誘導体等の中間
層を設けた転写材料が開示されているが、それらは仮支
持体との剥離性、溶解特性の改良を目的としており、下
地に凹凸がある場合の転写性については何等考慮されて
いない。
光性樹脂層の間にポリビニルアルコール誘導体等の中間
層を設けた転写材料が開示されているが、それらは仮支
持体との剥離性、溶解特性の改良を目的としており、下
地に凹凸がある場合の転写性については何等考慮されて
いない。
【０００４】特開昭６３−３０９９４６には、永久支持
体上の微少な不規則性または、永久支持体上もしくは転
写層上または両者の上にある微少なゴミ、ホコリ等の粒
子により永久支持体に対する転写層の十分な接着が妨げ
られるので、転写不良を生じること、この好ましくない
接着不良の防止のため、圧縮性の一時支持体を使用する
ことが記載されている。この方法は確かに有効ではある
が、室温で非粘着性の感光性樹脂層をその層の厚みと同
様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じる事
なく転写するにはまだまだ不十分であった。
体上の微少な不規則性または、永久支持体上もしくは転
写層上または両者の上にある微少なゴミ、ホコリ等の粒
子により永久支持体に対する転写層の十分な接着が妨げ
られるので、転写不良を生じること、この好ましくない
接着不良の防止のため、圧縮性の一時支持体を使用する
ことが記載されている。この方法は確かに有効ではある
が、室温で非粘着性の感光性樹脂層をその層の厚みと同
様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じる事
なく転写するにはまだまだ不十分であった。
【０００５】特願平３−１２０２２８には、仮支持体、
特にゼラチン下塗りしたプラスチツクフイルムの上に、
熱可塑性樹脂層、分離層、感光性樹脂層を、この順に設
けた感光性転写材料を用いて、感光性樹脂層を支持体に
密着させた後、仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に剥離
除去して感光性樹脂層を支持体に転写する方法が記載さ
れているが、この方法では、熱可塑性樹脂層と分離層の
剥離性を制御することが必ずしも容易ではなく、剥離作
業の自動化等の面から、十分に満足できる方法とは言い
難かつた。
特にゼラチン下塗りしたプラスチツクフイルムの上に、
熱可塑性樹脂層、分離層、感光性樹脂層を、この順に設
けた感光性転写材料を用いて、感光性樹脂層を支持体に
密着させた後、仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に剥離
除去して感光性樹脂層を支持体に転写する方法が記載さ
れているが、この方法では、熱可塑性樹脂層と分離層の
剥離性を制御することが必ずしも容易ではなく、剥離作
業の自動化等の面から、十分に満足できる方法とは言い
難かつた。
【０００６】特願平３−１５３２２７には、仮支持体上
に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹
脂層をこの順に設けた感光性転写材料が記載されている
が、高温で転写しても、感光性樹脂層をその層の厚みと
同様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じる
事なく高速、高得率で転写するには不十分であった。ま
た、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ水溶液で
除去する際に、時間がかかりライン速度を上げることが
困難であった。
に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹
脂層をこの順に設けた感光性転写材料が記載されている
が、高温で転写しても、感光性樹脂層をその層の厚みと
同様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じる
事なく高速、高得率で転写するには不十分であった。ま
た、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ水溶液で
除去する際に、時間がかかりライン速度を上げることが
困難であった。
【０００７】特願平３−１５３２２７には、仮支持体上
に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹
脂層をこの順に設けた感光性転写材料が開示されている
が、転写速度を向上させるために、アルカリ可溶な熱可
塑性樹脂層に用いる樹脂に柔軟な素材を用いたり、可塑
剤を多量に添加した場合、仮支持体上にアルカリ可溶な
熱可塑性樹脂層、中間層を設けた段階で中間層に微細な
シワが発生し、表面に凹凸の形状が残る現象（以下、レ
チキュレーション）が起こる。レチキュレーションは、
中間層上に塗布される感光性樹脂層の平滑な塗布面を得
ることを阻害するという問題があった。このため、高速
転写性の実現ととレチキュレーション防止の両立が困難
であった。
に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹
脂層をこの順に設けた感光性転写材料が開示されている
が、転写速度を向上させるために、アルカリ可溶な熱可
塑性樹脂層に用いる樹脂に柔軟な素材を用いたり、可塑
剤を多量に添加した場合、仮支持体上にアルカリ可溶な
熱可塑性樹脂層、中間層を設けた段階で中間層に微細な
シワが発生し、表面に凹凸の形状が残る現象（以下、レ
チキュレーション）が起こる。レチキュレーションは、
中間層上に塗布される感光性樹脂層の平滑な塗布面を得
ることを阻害するという問題があった。このため、高速
転写性の実現ととレチキュレーション防止の両立が困難
であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第一の目的
は、感光性転写材料の感光性樹脂層を仮支持体上から永
久支持体上へ転写する際に、永久支持体のキズや上記先
行画素に基づく段差等に起因する転写不良（気泡の発
生）が無いように高速で転写する事が可能で、かつ仮支
持体と申し分のない分離ならびに空気中の露光を可能な
らしめ、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ水溶
液で迅速に除去することのできる感光性転写材料、及び
その材料を用いた画像形成方法を提供することである。
本発明の第二の目的は、中間層上にアルカリ可溶な熱可
塑性樹脂層を設けた段階でレチキュレーションの発生し
ない感光性転写材料、及びその材料を用いた画像形成方
法を提供することである。本発明の第三の目的は、アル
カリ可溶性熱可塑性樹脂層の膜厚を減少することによ
り、アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層の除去液の溶解分を
減少し、除去液の疲労を防止することにある。
は、感光性転写材料の感光性樹脂層を仮支持体上から永
久支持体上へ転写する際に、永久支持体のキズや上記先
行画素に基づく段差等に起因する転写不良（気泡の発
生）が無いように高速で転写する事が可能で、かつ仮支
持体と申し分のない分離ならびに空気中の露光を可能な
らしめ、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ水溶
液で迅速に除去することのできる感光性転写材料、及び
その材料を用いた画像形成方法を提供することである。
本発明の第二の目的は、中間層上にアルカリ可溶な熱可
塑性樹脂層を設けた段階でレチキュレーションの発生し
ない感光性転写材料、及びその材料を用いた画像形成方
法を提供することである。本発明の第三の目的は、アル
カリ可溶性熱可塑性樹脂層の膜厚を減少することによ
り、アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層の除去液の溶解分を
減少し、除去液の疲労を防止することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、仮支持
体上に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光
性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性樹脂層と該仮支持
体の間の接着力が最も小さい感光性転写材料において、
該アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に少なくとも（Ａ）重
量平均分子量５万〜５０万、且つＴｇ＝０〜１４０℃、
及び（Ｂ）重量平均分子量３千〜３万、且つＴｇ＝３０
〜１７０℃、のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂を、重量比
で（Ａ）／（Ｂ）＝５／９５〜９５／５の範囲で含むこ
とを特徴とする感光性転写材料、およびこの感光性転写
材料を用い、感光性樹脂層と永久支持体を少なくとも加
熱しながら、必要に応じて加圧しながら密着させた後、
該仮支持体と熱可塑性樹脂層の界面で剥離し、該感光性
樹脂層に該熱可塑性樹脂層と該中間層を介してパターン
露光し、現像して該永久支持体上に画像を形成すること
を特徴とする画像形成方法により達成された。
体上に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光
性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性樹脂層と該仮支持
体の間の接着力が最も小さい感光性転写材料において、
該アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に少なくとも（Ａ）重
量平均分子量５万〜５０万、且つＴｇ＝０〜１４０℃、
及び（Ｂ）重量平均分子量３千〜３万、且つＴｇ＝３０
〜１７０℃、のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂を、重量比
で（Ａ）／（Ｂ）＝５／９５〜９５／５の範囲で含むこ
とを特徴とする感光性転写材料、およびこの感光性転写
材料を用い、感光性樹脂層と永久支持体を少なくとも加
熱しながら、必要に応じて加圧しながら密着させた後、
該仮支持体と熱可塑性樹脂層の界面で剥離し、該感光性
樹脂層に該熱可塑性樹脂層と該中間層を介してパターン
露光し、現像して該永久支持体上に画像を形成すること
を特徴とする画像形成方法により達成された。
【００１０】本発明の感光性転写材料の仮支持体として
は、熱可塑性樹脂層と申分の無い剥離性を有し、化学的
および熱的に安定であって、また可撓性の物質で構成さ
れるべきであり、具体的にはテフロン、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等の薄いシートもしくはこれらの積層物が好
ましい。良好な剥離性を得るためには、グロー放電等の
表面処理はせず、またゼラチン等の下塗も設けない。仮
支持体の厚みは５μｍ〜３００μｍが適当であり、好ま
しくは２０μｍ〜１５０μｍである。
は、熱可塑性樹脂層と申分の無い剥離性を有し、化学的
および熱的に安定であって、また可撓性の物質で構成さ
れるべきであり、具体的にはテフロン、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等の薄いシートもしくはこれらの積層物が好
ましい。良好な剥離性を得るためには、グロー放電等の
表面処理はせず、またゼラチン等の下塗も設けない。仮
支持体の厚みは５μｍ〜３００μｍが適当であり、好ま
しくは２０μｍ〜１５０μｍである。
【００１１】感光性転写材料の転写条件によつては、転
写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚
染することがある。この汚染の悪影響を無くすために
は、これらの熱可塑性樹脂の内、アルカリ水溶液に溶解
するものが好ましい。アルカリ水溶液に溶解するもので
あれば、後の処理により容易に除去することが可能だか
らである。アルカリ水溶液は本発明の感光性樹脂のアル
カリ現像液と同じものでもよいし、異なっていてもよ
い。また、本発明のアルカリ水溶液とはアルカリ性物質
の希薄水溶液であるが、さらに水と混和性の有機溶剤を
少量添加したものも含まれる。適当なアルカリ性物質は
アルカリ金属水酸化物類（例えば水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば炭酸ナ
トリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類
（炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカリ
金属ケイ酸塩類（ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム）
アルカリ金属メタケイ酸塩類（メタケイ酸ナトリウム、
メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジエタ
ノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テ
トラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（例えばテ
トラメチルアンモニウムヒドロキシド）または燐酸三ナ
トリウムである。アルカリ性物質の濃度は、０．０１重
量％〜３０重量％であり、ｐＨは８〜１４が好ましい。
水と混和性の有る適当な有機溶剤は、メタノール、エタ
ノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノ
ール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベン
ジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シク
ロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクト
ン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘ
キサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、
ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンである。水
と混和性の有機溶剤の濃度は０．１重量％〜３０重量％
である。またさらに公知の界面活性剤を添加することが
できる。界面活性剤の濃度は０．０１重量％〜１０重量
％が好ましい。
写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚
染することがある。この汚染の悪影響を無くすために
は、これらの熱可塑性樹脂の内、アルカリ水溶液に溶解
するものが好ましい。アルカリ水溶液に溶解するもので
あれば、後の処理により容易に除去することが可能だか
らである。アルカリ水溶液は本発明の感光性樹脂のアル
カリ現像液と同じものでもよいし、異なっていてもよ
い。また、本発明のアルカリ水溶液とはアルカリ性物質
の希薄水溶液であるが、さらに水と混和性の有機溶剤を
少量添加したものも含まれる。適当なアルカリ性物質は
アルカリ金属水酸化物類（例えば水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば炭酸ナ
トリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類
（炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカリ
金属ケイ酸塩類（ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム）
アルカリ金属メタケイ酸塩類（メタケイ酸ナトリウム、
メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジエタ
ノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テ
トラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（例えばテ
トラメチルアンモニウムヒドロキシド）または燐酸三ナ
トリウムである。アルカリ性物質の濃度は、０．０１重
量％〜３０重量％であり、ｐＨは８〜１４が好ましい。
水と混和性の有る適当な有機溶剤は、メタノール、エタ
ノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノ
ール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベン
ジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シク
ロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクト
ン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘ
キサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、
ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンである。水
と混和性の有機溶剤の濃度は０．１重量％〜３０重量％
である。またさらに公知の界面活性剤を添加することが
できる。界面活性剤の濃度は０．０１重量％〜１０重量
％が好ましい。
【００１２】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂（Ａ）とし
ては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化
物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体の
ケン化物、スチレン／（メタ）アクリル酸／（メタ）ア
クリル酸エステル３元共重合体、ビニルトルエンと（メ
タ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メ
タ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと
酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体な
どのケン化物、「プラスチック性能便覧」（日本プラス
チック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編
著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）に
よる有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものなど
から少なくとも１つを、重量平均分子量５万〜５０万
（Ｔｇ＝０〜１４０℃）の範囲で、更に好ましくは重量
平均分子量６万〜２０万（Ｔｇ＝３０〜１１０℃）の範
囲で選択して使用することができる。具体例としては、
特公昭５４−３４３２７号、特公昭５５−３８９６１
号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５
７号、特開昭６１−１３４７５６号、特公昭５９−４４
６１５号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５４−９
９４１８号、特開昭５４−１３７０８５号、特開昭５７
−２０７３２号、特開昭５８−９３０４６号、特開昭５
９−９７１３５号、特開昭６０−１５９７４３号、ＯＬ
Ｓ３５０４２５４号、特開昭６０−２４７６３８号、特
開昭６０−２０８７４８号、特開昭６０−２１４３５４
号、特開昭６０−２３０１３５号、特開昭６０−２５８
５３９号、特開昭６１−１６９８２９号、特開昭６１−
２１３２１３号、特開昭６３−１４７１５９号、特開昭
６３−２１３８３７号、特開昭６３−２６６４４８号、
特開昭６４−５５５５１号、特開昭６４−５５５５０
号、特開平２−１９１９５５号、特開平２−１９９４０
３号、特開平２−１９９４０４号、特開平２−２０８６
０２号、特願平４−３９６５３号の各明細書に記載され
ているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができ
る。特に好ましいのは、特開昭６３−１４７１５９号明
細書に記載されたメタクリル酸／２−エチルヘキシルア
クリレート／ベンジルメタクリレート／メチルメタクリ
レート共重合体である。
ては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化
物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体の
ケン化物、スチレン／（メタ）アクリル酸／（メタ）ア
クリル酸エステル３元共重合体、ビニルトルエンと（メ
タ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メ
タ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと
酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体な
どのケン化物、「プラスチック性能便覧」（日本プラス
チック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編
著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）に
よる有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものなど
から少なくとも１つを、重量平均分子量５万〜５０万
（Ｔｇ＝０〜１４０℃）の範囲で、更に好ましくは重量
平均分子量６万〜２０万（Ｔｇ＝３０〜１１０℃）の範
囲で選択して使用することができる。具体例としては、
特公昭５４−３４３２７号、特公昭５５−３８９６１
号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５
７号、特開昭６１−１３４７５６号、特公昭５９−４４
６１５号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５４−９
９４１８号、特開昭５４−１３７０８５号、特開昭５７
−２０７３２号、特開昭５８−９３０４６号、特開昭５
９−９７１３５号、特開昭６０−１５９７４３号、ＯＬ
Ｓ３５０４２５４号、特開昭６０−２４７６３８号、特
開昭６０−２０８７４８号、特開昭６０−２１４３５４
号、特開昭６０−２３０１３５号、特開昭６０−２５８
５３９号、特開昭６１−１６９８２９号、特開昭６１−
２１３２１３号、特開昭６３−１４７１５９号、特開昭
６３−２１３８３７号、特開昭６３−２６６４４８号、
特開昭６４−５５５５１号、特開昭６４−５５５５０
号、特開平２−１９１９５５号、特開平２−１９９４０
３号、特開平２−１９９４０４号、特開平２−２０８６
０２号、特願平４−３９６５３号の各明細書に記載され
ているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができ
る。特に好ましいのは、特開昭６３−１４７１５９号明
細書に記載されたメタクリル酸／２−エチルヘキシルア
クリレート／ベンジルメタクリレート／メチルメタクリ
レート共重合体である。
【００１３】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂（Ｂ）とし
ては、上に掲げた種々の樹脂の中から重量平均分子量３
千〜３万（Ｔｇ＝３０〜１７０℃）の範囲で、更に好ま
しくは重量平均分子量４千〜２万（Ｔｇ＝６０〜１４０
℃）の範囲で選択して使用することができる。好ましい
具体例は、上記の特許明細書に記載されているものの中
から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭５５
−３８９６１号、特願平４−３９６５３号明細書に記載
のスチレン／（メタ）アクリル酸共重合体が挙げられ
る。
ては、上に掲げた種々の樹脂の中から重量平均分子量３
千〜３万（Ｔｇ＝３０〜１７０℃）の範囲で、更に好ま
しくは重量平均分子量４千〜２万（Ｔｇ＝６０〜１４０
℃）の範囲で選択して使用することができる。好ましい
具体例は、上記の特許明細書に記載されているものの中
から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭５５
−３８９６１号、特願平４−３９６５３号明細書に記載
のスチレン／（メタ）アクリル酸共重合体が挙げられ
る。
【００１４】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂（Ａ）の重
量平均分子量が５万未満またはＴｇが０℃未満では、レ
チキュレーションの発生や転写中に熱可塑性樹脂が周囲
にはみ出して永久支持体を著しく汚染する。樹脂（Ａ）
の重量平均分子量が５０万を越え、またはＴｇが１４０
℃を越えると、転写時に画素間に気泡が入ったり、熱可
塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が著しく低下する。
量平均分子量が５万未満またはＴｇが０℃未満では、レ
チキュレーションの発生や転写中に熱可塑性樹脂が周囲
にはみ出して永久支持体を著しく汚染する。樹脂（Ａ）
の重量平均分子量が５０万を越え、またはＴｇが１４０
℃を越えると、転写時に画素間に気泡が入ったり、熱可
塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が著しく低下する。
【００１５】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂（Ｂ）の重
量平均分子量が３千未満またはＴｇが３０℃未満では、
レチキュレーションの発生や転写中に熱可塑性樹脂が周
囲にはみ出して永久支持体を著しく汚染する。樹脂
（Ｂ）の重量平均分子量が３万を越え、またはＴｇが１
７０℃を越えると、転写時に画素間に気泡が入ったり、
熱可塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が低下する。
量平均分子量が３千未満またはＴｇが３０℃未満では、
レチキュレーションの発生や転写中に熱可塑性樹脂が周
囲にはみ出して永久支持体を著しく汚染する。樹脂
（Ｂ）の重量平均分子量が３万を越え、またはＴｇが１
７０℃を越えると、転写時に画素間に気泡が入ったり、
熱可塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が低下する。
【００１６】樹脂（Ａ）と（Ｂ）との混合比において、
（Ａ）の比率が９５％を越えると転写時に画素間に気泡
が入りやすい。（Ａ）の比率が５％未満では、熱可塑性
樹脂が周囲にはみ出したり、熱可塑性樹脂層が脆くなっ
て、裁断工程で微細な切り屑が飛散し易い。
（Ａ）の比率が９５％を越えると転写時に画素間に気泡
が入りやすい。（Ａ）の比率が５％未満では、熱可塑性
樹脂が周囲にはみ出したり、熱可塑性樹脂層が脆くなっ
て、裁断工程で微細な切り屑が飛散し易い。
【００１７】これらの有機高分子物質中に仮支持体との
接着力、及び／または転写性を調節するために、各種の
ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性
剤、離型剤等を加えることで熱可塑性樹層のＴｇを微調
整することが可能である。好ましい可塑剤の具体例とし
ては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコ
ール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、
ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、ク
レジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニル
フォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）
アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アク
リレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ
（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソ
シアナートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アク
リレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアナートと
ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートと
の付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレング
リコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物
等を挙げることができる。可塑剤の量は、熱可塑性樹脂
層を構成する樹脂（Ａ）及び（Ｂ）の合計に対して、好
ましくは重量比で０〜２００％、より好ましくは２０〜
１００％である。
接着力、及び／または転写性を調節するために、各種の
ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性
剤、離型剤等を加えることで熱可塑性樹層のＴｇを微調
整することが可能である。好ましい可塑剤の具体例とし
ては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコ
ール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、
ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、ク
レジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニル
フォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）
アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アク
リレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ
（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソ
シアナートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アク
リレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアナートと
ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートと
の付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレング
リコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物
等を挙げることができる。可塑剤の量は、熱可塑性樹脂
層を構成する樹脂（Ａ）及び（Ｂ）の合計に対して、好
ましくは重量比で０〜２００％、より好ましくは２０〜
１００％である。
【００１８】熱可塑性樹脂層の厚みは６μｍ以上が好ま
しい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが５μｍ
以下であると１μｍ以上の下地の凹凸を完全に吸収する
ことが不可能であるためである。また、上限について
は、アルカリ水溶液除去性、製造適性から約１００μｍ
以下、好ましくは約５０μｍ以下である。
しい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが５μｍ
以下であると１μｍ以上の下地の凹凸を完全に吸収する
ことが不可能であるためである。また、上限について
は、アルカリ水溶液除去性、製造適性から約１００μｍ
以下、好ましくは約５０μｍ以下である。
【００１９】中間層としては水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭４６−
２１２１号や特公昭５６−４０８２４号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂さらにこれらの２種以上の組み合わせが挙げら
れる。特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリ
ビニルピロリドンの組み合わせである。ポリビニルアル
コールは鹸化率が８０％以上であるものが好ましく、ポ
リビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の１重量％
〜７５重量％が好ましく、より好ましくは１重量％〜６
０重量％、更に好ましくは１０重量％〜５０重量％であ
る。１重量％未満では、感光性樹脂層との十分な密着が
得られず、７５重量％を越えると、酸素遮断能が低下す
る。中間層の厚みは非常に薄く、約０．１〜５μｍ、特
に０．５〜２μｍである。約０．１μｍ未満だと酸素の
透過性が高すぎ、約５μｍを越えると、現像時または中
間層除去時に時間がかかりすぎる。
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭４６−
２１２１号や特公昭５６−４０８２４号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂さらにこれらの２種以上の組み合わせが挙げら
れる。特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリ
ビニルピロリドンの組み合わせである。ポリビニルアル
コールは鹸化率が８０％以上であるものが好ましく、ポ
リビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の１重量％
〜７５重量％が好ましく、より好ましくは１重量％〜６
０重量％、更に好ましくは１０重量％〜５０重量％であ
る。１重量％未満では、感光性樹脂層との十分な密着が
得られず、７５重量％を越えると、酸素遮断能が低下す
る。中間層の厚みは非常に薄く、約０．１〜５μｍ、特
に０．５〜２μｍである。約０．１μｍ未満だと酸素の
透過性が高すぎ、約５μｍを越えると、現像時または中
間層除去時に時間がかかりすぎる。
【００２０】感光性樹脂層は少なくとも１５０℃以下の
温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可
塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物を用
いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部
は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添
加によって更に改質することができる。本発明の感光性
樹脂層の素材としては公知の、例えば特願平２−８２２
６２に記載されている感光性樹脂がすべて使用できる。
具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーかなる感光
性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合物とバインダー
とからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成
物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重合
性樹脂である。その光重合性樹脂は光重合開始剤、光重
合性モノマーおよびバインダーを基本構成要素として含
む。感光性樹脂としてはアルカリ水溶液により現像可能
なものと、有機溶剤により現像可能なものが知られてい
るが、公害防止、労働安全性の確保の観点からアルカリ
水溶液現像可能なものが好ましい。
温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可
塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物を用
いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部
は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添
加によって更に改質することができる。本発明の感光性
樹脂層の素材としては公知の、例えば特願平２−８２２
６２に記載されている感光性樹脂がすべて使用できる。
具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーかなる感光
性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合物とバインダー
とからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成
物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重合
性樹脂である。その光重合性樹脂は光重合開始剤、光重
合性モノマーおよびバインダーを基本構成要素として含
む。感光性樹脂としてはアルカリ水溶液により現像可能
なものと、有機溶剤により現像可能なものが知られてい
るが、公害防止、労働安全性の確保の観点からアルカリ
水溶液現像可能なものが好ましい。
【００２１】本発明の感光性樹脂層のアルカリ現像液と
しては、アルカリ性物質の希薄水溶液であるが、さらに
水と混和性の有機溶剤を少量添加したものも含まれる。
適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類（例え
ば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属
炭酸塩類（例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、ア
ルカリ金属重炭酸塩類（炭酸水素ナトリウム、炭酸水素
カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（ケイ酸ナトリウ
ム、ケイ酸カリウム）アルカリ金属メタケイ酸塩類（メ
タケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールア
ミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒド
ロキシド類（例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキ
シド）または燐酸三ナトリウムである。アルカリ性物質
の濃度は、０．０１重量％〜３０重量％であり、ｐＨは
８〜１４が好ましい。水と混和性の適当な有機溶剤は、
メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロ
パノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチ
ルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、
γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチル
アセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチ
ル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロ
リドンである。水と混和性の有機溶剤の濃度は０．１重
量％〜３０重量％である。またさらに公知の界面活性剤
を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１
重量％〜１０重量％が好ましい。現像液は、浴液として
も、あるいは噴霧液としても用いることができる。光重
合性遮光材料層の未硬化部分を除去するには現像液中で
回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法を組
み合わせることができる。現像液の液温度は通常室温付
近から４０℃が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入
れることも可能でる。
しては、アルカリ性物質の希薄水溶液であるが、さらに
水と混和性の有機溶剤を少量添加したものも含まれる。
適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類（例え
ば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属
炭酸塩類（例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、ア
ルカリ金属重炭酸塩類（炭酸水素ナトリウム、炭酸水素
カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（ケイ酸ナトリウ
ム、ケイ酸カリウム）アルカリ金属メタケイ酸塩類（メ
タケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールア
ミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒド
ロキシド類（例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキ
シド）または燐酸三ナトリウムである。アルカリ性物質
の濃度は、０．０１重量％〜３０重量％であり、ｐＨは
８〜１４が好ましい。水と混和性の適当な有機溶剤は、
メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロ
パノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチ
ルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、
γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチル
アセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチ
ル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロ
リドンである。水と混和性の有機溶剤の濃度は０．１重
量％〜３０重量％である。またさらに公知の界面活性剤
を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１
重量％〜１０重量％が好ましい。現像液は、浴液として
も、あるいは噴霧液としても用いることができる。光重
合性遮光材料層の未硬化部分を除去するには現像液中で
回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法を組
み合わせることができる。現像液の液温度は通常室温付
近から４０℃が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入
れることも可能でる。
【００２２】現像は熱可塑性樹脂層、中間層および感光
性樹脂層を一度に処理してもよいが、現像むらや感光性
樹脂層現像時の現像液疲労を少なくするため熱可塑性樹
脂層および中間層を先に溶解除去した後で感光性樹脂層
の現像を行ってもよい。熱可塑性樹脂層および中間層の
溶解除去液は、前記溶剤もしくは水性の現像液が用いら
れるが、該熱可塑性樹脂層および中間層の除去の際に感
光性樹脂層に影響の少ない現像液を用いることが好まし
い。この方法は熱可塑性樹脂層および中間層と感光性樹
脂層との間に溶解速度の差を持つ現像液を選ぶことによ
り、また液温、スプレー圧、擦りの力など現像処理条件
を組み合わせることによって達成できる。例えば感光性
樹脂層の現像に要する最小の時間が、熱可塑性樹脂層お
よび中間層の現像に要する最小時間の２倍以上になるよ
うな現像液を熱可塑性樹脂層および中間層の除去液とし
て選べば、感光性樹脂層が現像されることなく熱可塑性
樹脂層および中間層のみを除去する事ができる。その後
さらに感光性樹脂層用の現像液で現像することによっ
て、該感光性樹脂用現像液が熱可塑性樹脂および中間層
の除去で疲労することなく、さらに感光性樹脂層の現像
の際前もって熱可塑性樹脂および中間層を除去している
ので、同一現像液で一度に現像する場合に比べて、基板
内での熱可塑性樹脂層の除去むらに起因する感光性樹脂
層の現像むらは発生せず現像状態の均一な画像が得られ
る。また熱可塑性樹脂層および中間層は、水または前記
現像液で剥離除去させてもよい。剥離除去の方法は浴
液、スプレー、および現像液中で回転ブラシや湿潤した
スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができ
る。
性樹脂層を一度に処理してもよいが、現像むらや感光性
樹脂層現像時の現像液疲労を少なくするため熱可塑性樹
脂層および中間層を先に溶解除去した後で感光性樹脂層
の現像を行ってもよい。熱可塑性樹脂層および中間層の
溶解除去液は、前記溶剤もしくは水性の現像液が用いら
れるが、該熱可塑性樹脂層および中間層の除去の際に感
光性樹脂層に影響の少ない現像液を用いることが好まし
い。この方法は熱可塑性樹脂層および中間層と感光性樹
脂層との間に溶解速度の差を持つ現像液を選ぶことによ
り、また液温、スプレー圧、擦りの力など現像処理条件
を組み合わせることによって達成できる。例えば感光性
樹脂層の現像に要する最小の時間が、熱可塑性樹脂層お
よび中間層の現像に要する最小時間の２倍以上になるよ
うな現像液を熱可塑性樹脂層および中間層の除去液とし
て選べば、感光性樹脂層が現像されることなく熱可塑性
樹脂層および中間層のみを除去する事ができる。その後
さらに感光性樹脂層用の現像液で現像することによっ
て、該感光性樹脂用現像液が熱可塑性樹脂および中間層
の除去で疲労することなく、さらに感光性樹脂層の現像
の際前もって熱可塑性樹脂および中間層を除去している
ので、同一現像液で一度に現像する場合に比べて、基板
内での熱可塑性樹脂層の除去むらに起因する感光性樹脂
層の現像むらは発生せず現像状態の均一な画像が得られ
る。また熱可塑性樹脂層および中間層は、水または前記
現像液で剥離除去させてもよい。剥離除去の方法は浴
液、スプレー、および現像液中で回転ブラシや湿潤した
スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができ
る。
【００２３】感光性樹脂層には更に、染料、顔料を添加
することができる。すべての顔料は感光性樹脂層中に均
一に分散されており、好ましくは５μｍ以下の粒径、特
に好ましくは１μｍ以下の粒径を有していなければなら
ない。カラーフィルターの作成に当たっては、顔料とし
ては０．５μｍ以下の粒径のものが好ましい。好ましい
染料ないし顔料の例は次の通りである。ビクトリア・ピ
ュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン
（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パーマネント・エ
ローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマ
ネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８
３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネ
ント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント
・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブルー
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・フ
ァースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック
１）及びカーボン。さらにカラーフィルターを形成する
のに適当な顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．
ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッ
ド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グ
リーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２
２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー６４を挙げることができる。
することができる。すべての顔料は感光性樹脂層中に均
一に分散されており、好ましくは５μｍ以下の粒径、特
に好ましくは１μｍ以下の粒径を有していなければなら
ない。カラーフィルターの作成に当たっては、顔料とし
ては０．５μｍ以下の粒径のものが好ましい。好ましい
染料ないし顔料の例は次の通りである。ビクトリア・ピ
ュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン
（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パーマネント・エ
ローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマ
ネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８
３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネ
ント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント
・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブルー
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・フ
ァースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック
１）及びカーボン。さらにカラーフィルターを形成する
のに適当な顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．
ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッ
ド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グ
リーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２
２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー６４を挙げることができる。
【００２４】感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や
損傷から保護するために薄い被覆シートを設けることが
好ましい。被覆シートは仮支持体と同じかまたは類似の
材料からなっても良いが、感光性樹脂層から容易に分離
されねばならない。被覆シート材料としては例えばシリ
コーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフルオル
エチレンシートが適当である。被覆シートの厚みは約５
〜１００μｍであるのが好ましい。特に好ましくは１０
〜３０μｍ厚のポリエチレンまたはポリプロピレンフィ
ルムである。
損傷から保護するために薄い被覆シートを設けることが
好ましい。被覆シートは仮支持体と同じかまたは類似の
材料からなっても良いが、感光性樹脂層から容易に分離
されねばならない。被覆シート材料としては例えばシリ
コーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフルオル
エチレンシートが適当である。被覆シートの厚みは約５
〜１００μｍであるのが好ましい。特に好ましくは１０
〜３０μｍ厚のポリエチレンまたはポリプロピレンフィ
ルムである。
【００２５】本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に
熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより熱可塑
性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹
脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布
し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶解しない
溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被覆シート上
に感光性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上に熱可塑性
樹脂層及び中間層を有するシートの両方のシートを中間
層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせるこ
と、または、別の被覆シートとして、熱可塑性樹脂層を
有する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層を、被覆
シート上の感光性樹脂層及び中間層からなるシートの中
間層とを貼り合わせることにより有利に製造される。
熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより熱可塑
性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹
脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布
し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶解しない
溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被覆シート上
に感光性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上に熱可塑性
樹脂層及び中間層を有するシートの両方のシートを中間
層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせるこ
と、または、別の被覆シートとして、熱可塑性樹脂層を
有する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層を、被覆
シート上の感光性樹脂層及び中間層からなるシートの中
間層とを貼り合わせることにより有利に製造される。
【００２６】ここで、永久支持体上に感光性転写材料の
感光性樹脂層を張り合わせた後で仮支持体を剥そうとす
ると、フイルムと人体が帯電して不快な電撃シヨツクを
受けることがあり、更に、この帯電のために周囲からゴ
ミを吸い寄せて引き続く露光工程で未露光部が生じ、ピ
ンホールの原因となることがある。本発明の感光性転写
材料においては、帯電を防止するため、仮支持体の少な
くとも一方の面に導電性層を設けてその表面電気抵抗を
１０13Ω以下としたか、あるいは仮支持体自体に導電性
を付与してその表面電気抵抗を１０13Ω以下としたもの
を用いることが好ましい。仮支持体に導電性を付与する
には、仮支持体中に導電性物質を含有させれば良い。例
えば、金属酸化物の微粒子や帯電防止剤を練り込んでお
く方法が好適である。金属酸化物としては、酸化亜鉛、
酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウ
ム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化
モリブデンの中から選ばれた少なくとも１種の結晶性金
属酸化物、及び／またはその複合酸化物の微粒子であ
る。帯電防止剤としては例えば、アニオン界面活性剤と
してアルキル燐酸塩系（例えば、花押石鹸（株）のエレ
クトロストリッパーＡ、第一工業製薬（株）のエレノン
Ｎｏ１９等が、両性界面活性剤としてベタイン系（例え
ば、第一工業製薬（株）のアモーゲンＫ、等）が、非イ
オン界面活性剤としてポリオキシエチレン脂肪酸エステ
ル系（例えば、日本油脂（株）のニツサンノニオンＬ、
等）、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系（例え
ば、花王石鹸（株）のエマルゲン１０６、１２０、１４
７、４２０、２２０、９０５、９１０、日本油脂（株）
のニツサンノニオンＥ、等）が有用である。その他、非
イオン界面活性剤としてポリオキシエチレンアルキルフ
ェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル
系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、
ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のものが用いら
れる。支持体上に導電性層を設ける場合には、導電性層
としては公知のものの中から適宜選択して用いる事がで
きるが、特に導電性物質として、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 、Ｓ
ｎＯ2、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｉｎ2Ｏ3 、ＳｉＯ2 、ＭｇＯ、Ｂ
ａＯ、ＭｏＯ3 の中から選ばれた少なくとも１種の結晶
性金属酸化物、及び／またはその複合酸化物の微粒子を
含有させる方法が、湿度に影響されない導電性を示すの
で好ましい。結晶性金属酸化物またはその複合酸化物の
微粒子は、その体積抵抗が１０7 Ω・ｃｍ以下である事
が好ましく、特に１０5Ω・ｃｍ以下である事が好まし
い。その粒子サイズは、０．０１〜０．７μｍ、特に
０．０２〜０．５μｍである事が好ましい。
感光性樹脂層を張り合わせた後で仮支持体を剥そうとす
ると、フイルムと人体が帯電して不快な電撃シヨツクを
受けることがあり、更に、この帯電のために周囲からゴ
ミを吸い寄せて引き続く露光工程で未露光部が生じ、ピ
ンホールの原因となることがある。本発明の感光性転写
材料においては、帯電を防止するため、仮支持体の少な
くとも一方の面に導電性層を設けてその表面電気抵抗を
１０13Ω以下としたか、あるいは仮支持体自体に導電性
を付与してその表面電気抵抗を１０13Ω以下としたもの
を用いることが好ましい。仮支持体に導電性を付与する
には、仮支持体中に導電性物質を含有させれば良い。例
えば、金属酸化物の微粒子や帯電防止剤を練り込んでお
く方法が好適である。金属酸化物としては、酸化亜鉛、
酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウ
ム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化
モリブデンの中から選ばれた少なくとも１種の結晶性金
属酸化物、及び／またはその複合酸化物の微粒子であ
る。帯電防止剤としては例えば、アニオン界面活性剤と
してアルキル燐酸塩系（例えば、花押石鹸（株）のエレ
クトロストリッパーＡ、第一工業製薬（株）のエレノン
Ｎｏ１９等が、両性界面活性剤としてベタイン系（例え
ば、第一工業製薬（株）のアモーゲンＫ、等）が、非イ
オン界面活性剤としてポリオキシエチレン脂肪酸エステ
ル系（例えば、日本油脂（株）のニツサンノニオンＬ、
等）、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系（例え
ば、花王石鹸（株）のエマルゲン１０６、１２０、１４
７、４２０、２２０、９０５、９１０、日本油脂（株）
のニツサンノニオンＥ、等）が有用である。その他、非
イオン界面活性剤としてポリオキシエチレンアルキルフ
ェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル
系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、
ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のものが用いら
れる。支持体上に導電性層を設ける場合には、導電性層
としては公知のものの中から適宜選択して用いる事がで
きるが、特に導電性物質として、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 、Ｓ
ｎＯ2、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｉｎ2Ｏ3 、ＳｉＯ2 、ＭｇＯ、Ｂ
ａＯ、ＭｏＯ3 の中から選ばれた少なくとも１種の結晶
性金属酸化物、及び／またはその複合酸化物の微粒子を
含有させる方法が、湿度に影響されない導電性を示すの
で好ましい。結晶性金属酸化物またはその複合酸化物の
微粒子は、その体積抵抗が１０7 Ω・ｃｍ以下である事
が好ましく、特に１０5Ω・ｃｍ以下である事が好まし
い。その粒子サイズは、０．０１〜０．７μｍ、特に
０．０２〜０．５μｍである事が好ましい。
【００２７】導電性の結晶性金属酸化物及びその複合酸
化物の微粒子の製造方法については、特開昭５６−１４
３４３０号に詳細に記載されているが、それらについて
略述すれば、第１に金属酸化物微粒子を焼成により作製
し、導電性を向上させる異種原子の存在下で熱処理する
方法、第２に焼成により金属酸化物微粒子を製造すると
きに導電性を向上させる為の異種原子を共存させる方
法、第３に焼成により金属微粒子を製造する際に雰囲気
中の酸素濃度を下げて、酸素欠陥を導入する方法等であ
る。異種原子を含む例としてはＺｎＯに対してＡｌ、Ｉ
ｎ等、ＴｉＯ2に対してはＮｂ、Ｔａ等、ＳｎＯ2に対し
ては、Ｓｂ、Ｎｂ、ハロゲン元素等が挙げられる。異種
原子の添加量は０．０１〜３０ｍｏｌ％の範囲が好まし
く、０．１〜１０ｍｏｌ％が特に好ましい。導電性粒子
の使用量は０．０５ｇ／ｍ2〜２０ｇ／ｍ2がよく、０．
１ｇ／ｍ2〜１０ｇ／ｍ2が特に好ましい。
化物の微粒子の製造方法については、特開昭５６−１４
３４３０号に詳細に記載されているが、それらについて
略述すれば、第１に金属酸化物微粒子を焼成により作製
し、導電性を向上させる異種原子の存在下で熱処理する
方法、第２に焼成により金属酸化物微粒子を製造すると
きに導電性を向上させる為の異種原子を共存させる方
法、第３に焼成により金属微粒子を製造する際に雰囲気
中の酸素濃度を下げて、酸素欠陥を導入する方法等であ
る。異種原子を含む例としてはＺｎＯに対してＡｌ、Ｉ
ｎ等、ＴｉＯ2に対してはＮｂ、Ｔａ等、ＳｎＯ2に対し
ては、Ｓｂ、Ｎｂ、ハロゲン元素等が挙げられる。異種
原子の添加量は０．０１〜３０ｍｏｌ％の範囲が好まし
く、０．１〜１０ｍｏｌ％が特に好ましい。導電性粒子
の使用量は０．０５ｇ／ｍ2〜２０ｇ／ｍ2がよく、０．
１ｇ／ｍ2〜１０ｇ／ｍ2が特に好ましい。
【００２８】本発明に係る導電性層には、バインダーと
して、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルロース
トリアセテート、セルロースジアセテート、セルロース
アセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオ
ネート等のようなセルロースエステル、塩化ビニリデ
ン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビ
ニル、アルキル（アルキル基Ｃ1〜Ｃ4）アクリレート、
ビニルピロリドン等を含むホモポリマーまたは、共重合
体、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポ
リアミド等を使用することができる。これらのバインダ
ー中への導電性粒子の分散に際しては、チタン系分散剤
或いはシラン系分散剤のような分散液を添加してもよ
い。またバインダー架橋剤等を加えても何らさしつかえ
はない。チタン系分散剤としては、米国特許４，０６
９，１９２号、同４，０８０，３５３号等に記載されて
いるチタネート系カップリング剤、及びプレンアクト
（商品名：味の素（株）製）等を挙げる事ができる。シ
ラン系分散剤としては、例えばビニルトリクロルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メ
トキシエトキシ）シラン、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン等が知られており「シランカップリング
剤」として信越化学（株）等から市販されている。バイ
ンダー架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イ
ソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ
系架橋剤等を挙げる事ができる。本発明における好まし
い導電性層は、導電性微粒子をバインダーに分散させ支
持体上に設けることにより、または支持体に下引処理を
ほどこし、その上に伝導性微粒子を被着させることによ
り設けることができる。
して、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルロース
トリアセテート、セルロースジアセテート、セルロース
アセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオ
ネート等のようなセルロースエステル、塩化ビニリデ
ン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビ
ニル、アルキル（アルキル基Ｃ1〜Ｃ4）アクリレート、
ビニルピロリドン等を含むホモポリマーまたは、共重合
体、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポ
リアミド等を使用することができる。これらのバインダ
ー中への導電性粒子の分散に際しては、チタン系分散剤
或いはシラン系分散剤のような分散液を添加してもよ
い。またバインダー架橋剤等を加えても何らさしつかえ
はない。チタン系分散剤としては、米国特許４，０６
９，１９２号、同４，０８０，３５３号等に記載されて
いるチタネート系カップリング剤、及びプレンアクト
（商品名：味の素（株）製）等を挙げる事ができる。シ
ラン系分散剤としては、例えばビニルトリクロルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メ
トキシエトキシ）シラン、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン等が知られており「シランカップリング
剤」として信越化学（株）等から市販されている。バイ
ンダー架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イ
ソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ
系架橋剤等を挙げる事ができる。本発明における好まし
い導電性層は、導電性微粒子をバインダーに分散させ支
持体上に設けることにより、または支持体に下引処理を
ほどこし、その上に伝導性微粒子を被着させることによ
り設けることができる。
【００２９】本発明において導電性層が支持体の感光性
樹脂層とは反対側の面に設けられる場合には、耐傷性を
良好なものとするために、導電性層の上に更に疎水性重
合体層を設ける事が好ましい。この場合、疎水性重合体
層は、有機溶剤に溶解した溶液または水性ラテックスの
状態で塗布すればよく、塗布量は乾燥重量にして０．０
５ｇ／ｍ2〜１ｇ／ｍ2程度がよい。疎水性重合体として
は、セルロースエステル（例えばニトロセルロース、セ
ルロースアセテート）、塩化ビニル、塩化ビニリデン、
ビニルアクリレート等を含むビニル系ポリマーや有機溶
剤可溶性ポリアミド、ポリエステル等のポリマーを挙げ
る事ができる。この層には、すべり性を付与するための
すべり剤、例えば特開昭５５−７９４３５号に記載があ
るような有機カルボン酸アミド等を使用しても差しつか
えないし、またマット剤等を加えることも何ら支障はな
い。このような疎水性重合体層を設けても本発明の導電
性層の効果は実質的に影響を受けない。下塗層を設ける
場合には、特開昭５１−１３５５２６号、米国特許３，
１４３，４２１号、同３，５８６，５０８号、同２，６
９８，２３５号、同３，５６７，４５２号等に記載され
ているような塩化ビニリデン系共重合体、特開昭５１−
１１４１２０号、米国特許３，６１５，５５６号等に記
載されているようなブタジエン等のジオレフイン系共重
合体、特開昭５１−５８４６９号等に記載されているよ
うなグリシジルアクリレートまたはグリシジルメタアク
リレート含有共重合体、特開昭４８−２４９２３号等に
記載されているようなポリアミド・エピクロルヒドリン
樹脂、特開昭５０−３９５３６号に記載されているよう
な無水マレイン酸含有共重合体等を用いる事ができる。
本発明においては、また、特開昭５６−８２５０４号、
特開昭５６−１４３４４３号、特開昭５７−１０４９３
１号、特開昭５７−１１８２４２号、特開昭５８−６２
６４７号、特開昭６０−２５８５４１号等に示されてい
る導電性層も適宜用いる事ができる。
樹脂層とは反対側の面に設けられる場合には、耐傷性を
良好なものとするために、導電性層の上に更に疎水性重
合体層を設ける事が好ましい。この場合、疎水性重合体
層は、有機溶剤に溶解した溶液または水性ラテックスの
状態で塗布すればよく、塗布量は乾燥重量にして０．０
５ｇ／ｍ2〜１ｇ／ｍ2程度がよい。疎水性重合体として
は、セルロースエステル（例えばニトロセルロース、セ
ルロースアセテート）、塩化ビニル、塩化ビニリデン、
ビニルアクリレート等を含むビニル系ポリマーや有機溶
剤可溶性ポリアミド、ポリエステル等のポリマーを挙げ
る事ができる。この層には、すべり性を付与するための
すべり剤、例えば特開昭５５−７９４３５号に記載があ
るような有機カルボン酸アミド等を使用しても差しつか
えないし、またマット剤等を加えることも何ら支障はな
い。このような疎水性重合体層を設けても本発明の導電
性層の効果は実質的に影響を受けない。下塗層を設ける
場合には、特開昭５１−１３５５２６号、米国特許３，
１４３，４２１号、同３，５８６，５０８号、同２，６
９８，２３５号、同３，５６７，４５２号等に記載され
ているような塩化ビニリデン系共重合体、特開昭５１−
１１４１２０号、米国特許３，６１５，５５６号等に記
載されているようなブタジエン等のジオレフイン系共重
合体、特開昭５１−５８４６９号等に記載されているよ
うなグリシジルアクリレートまたはグリシジルメタアク
リレート含有共重合体、特開昭４８−２４９２３号等に
記載されているようなポリアミド・エピクロルヒドリン
樹脂、特開昭５０−３９５３６号に記載されているよう
な無水マレイン酸含有共重合体等を用いる事ができる。
本発明においては、また、特開昭５６−８２５０４号、
特開昭５６−１４３４４３号、特開昭５７−１０４９３
１号、特開昭５７−１１８２４２号、特開昭５８−６２
６４７号、特開昭６０−２５８５４１号等に示されてい
る導電性層も適宜用いる事ができる。
【００３０】導電性層を、仮支持体フィルムと同一また
は異なったプラスチック原料に含有せしめ、仮支持体用
フィルムを押し出す際に同時に共押し出しした場合に
は、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得る事が
できるので、この場合には前記の疎水性重合体層や下塗
層を設ける必要がなく、本発明における導電性層の特に
好ましい実施態様である。導電性層を塗布する場合に
は、ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコー
ト、バーコート、カーテンコート等、通常の方法が採用
できる。本発明の画像形成材料を使用して帯電による静
電ショックを防止するためには、導電性層または導電性
を付与した支持体の表面電気抵抗値を１０13Ω以下とす
る事が必要であり、特に１０12Ω以下とする事が好まし
い。
は異なったプラスチック原料に含有せしめ、仮支持体用
フィルムを押し出す際に同時に共押し出しした場合に
は、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得る事が
できるので、この場合には前記の疎水性重合体層や下塗
層を設ける必要がなく、本発明における導電性層の特に
好ましい実施態様である。導電性層を塗布する場合に
は、ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコー
ト、バーコート、カーテンコート等、通常の方法が採用
できる。本発明の画像形成材料を使用して帯電による静
電ショックを防止するためには、導電性層または導電性
を付与した支持体の表面電気抵抗値を１０13Ω以下とす
る事が必要であり、特に１０12Ω以下とする事が好まし
い。
【００３１】滑り性を良化するため、または該感光性樹
脂層の仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、
仮支持体の裏面に公知の微粒子含有滑り性組成物や、シ
リコーン化合物を含有する離型剤組成物、等を塗布する
ことも有用である。
脂層の仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、
仮支持体の裏面に公知の微粒子含有滑り性組成物や、シ
リコーン化合物を含有する離型剤組成物、等を塗布する
ことも有用である。
【００３２】支持体の、熱可塑性樹脂層を設けない側の
面に導電性層を設ける場合には、該熱可塑性樹脂層と支
持体の接着力を上げるため、支持体に、例えばグロー放
電処理、コロナ処理、紫外線照射処理などの表面処理、
フェノール性物質、ポリ塩化ビニリデン樹脂、スチレン
ブタジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理、さらにこれ
らの処理を組み合わせた処理を行うことができる。熱可
塑性樹脂がアルカリ可溶性である場合には、これらの中
で、コロナ処理後にゼラチンを下塗りしたポリエチレン
テレフタレートフィルムが特に優れた密着を与えるので
好ましい。その場合のゼラチン層の好ましい厚みは０．
０１μｍ〜２μｍである。
面に導電性層を設ける場合には、該熱可塑性樹脂層と支
持体の接着力を上げるため、支持体に、例えばグロー放
電処理、コロナ処理、紫外線照射処理などの表面処理、
フェノール性物質、ポリ塩化ビニリデン樹脂、スチレン
ブタジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理、さらにこれ
らの処理を組み合わせた処理を行うことができる。熱可
塑性樹脂がアルカリ可溶性である場合には、これらの中
で、コロナ処理後にゼラチンを下塗りしたポリエチレン
テレフタレートフィルムが特に優れた密着を与えるので
好ましい。その場合のゼラチン層の好ましい厚みは０．
０１μｍ〜２μｍである。
【００３３】次ぎに、本発明の感光性転写材料を用いた
画像形成方法について説明する。先ず、感光性転写材料
の被覆シートを取除き、感光性樹脂層を加圧、加温下で
基体上に貼り合わせる。貼り合わせには、従来公知のラ
ミネーター、真空ラミネーターが使用でき、より生産性
を高めるためには、オートカツトラミネーターの使用も
可能である。その後仮支持体を剥がした後で、所定のマ
スク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介して露光し、次
いで除去する。除去は公知の方法で溶剤もしくは水性の
現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーか
らの処理液の噴霧を与えること、さらにブラシでのこす
りまたは超音波を照射しつつ処理することで行なわれ
る。異なる色に着色した感光性樹脂層を有する感光性転
写材料を用い、この工程を複数回繰り返せば多色画像を
形成することができる。
画像形成方法について説明する。先ず、感光性転写材料
の被覆シートを取除き、感光性樹脂層を加圧、加温下で
基体上に貼り合わせる。貼り合わせには、従来公知のラ
ミネーター、真空ラミネーターが使用でき、より生産性
を高めるためには、オートカツトラミネーターの使用も
可能である。その後仮支持体を剥がした後で、所定のマ
スク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介して露光し、次
いで除去する。除去は公知の方法で溶剤もしくは水性の
現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーか
らの処理液の噴霧を与えること、さらにブラシでのこす
りまたは超音波を照射しつつ処理することで行なわれ
る。異なる色に着色した感光性樹脂層を有する感光性転
写材料を用い、この工程を複数回繰り返せば多色画像を
形成することができる。
【００３４】本発明の感光性転写材料の主な用途はプリ
ント配線基板の作成の他、多色画像、特に液晶デイスプ
レー用等のカラーフィルター作成やカラーフィルターの
保護層作成に都合が良い。プリント配線基板の作成に
は、基体として公知の銅張り積層板が用いられ、カラー
フィルターの作成のためには、基体としては、公知のガ
ラス板、表面に酸化珪素皮膜を形成したソーダガラス板
などが用いられる。以下、本発明を実施例を用いて更に
詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定される
ものではない。
ント配線基板の作成の他、多色画像、特に液晶デイスプ
レー用等のカラーフィルター作成やカラーフィルターの
保護層作成に都合が良い。プリント配線基板の作成に
は、基体として公知の銅張り積層板が用いられ、カラー
フィルターの作成のためには、基体としては、公知のガ
ラス板、表面に酸化珪素皮膜を形成したソーダガラス板
などが用いられる。以下、本発明を実施例を用いて更に
詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定される
ものではない。
【００３５】
実施例１ 厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮
支持体の上に下記の処方Ｃ１からなる塗布液を塗布、乾
燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設け
た。
支持体の上に下記の処方Ｃ１からなる塗布液を塗布、乾
燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設け
た。
【００３６】 熱可塑性樹脂層処方Ｃ１： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） ７重量部 スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝６５／３５、重量平均分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃） ７重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部
【００３７】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方Ｐ１
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μ
ｍ厚の中間層を設けた。 中間層処方Ｐ１： ポリビニルアルコール（クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） １００重量部 ポリビニルピロリドン（ＧＡＦコーポレーション社製ＰＶＰ、Ｋ−９０） ５０重量部 蒸留水 ４０００重量部
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μ
ｍ厚の中間層を設けた。 中間層処方Ｐ１： ポリビニルアルコール（クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） １００重量部 ポリビニルピロリドン（ＧＡＦコーポレーション社製ＰＶＰ、Ｋ−９０） ５０重量部 蒸留水 ４０００重量部
【００３８】上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する４
枚の仮支持体の上に、それぞれ表１の処方を有する、黒
色（Ｋ層用）、赤色（Ｒ層用）、緑色（Ｇ層用）及び青
色（Ｂ層用）の４色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、乾
燥膜厚が２μｍの着色感光性樹脂層を形成した。
枚の仮支持体の上に、それぞれ表１の処方を有する、黒
色（Ｋ層用）、赤色（Ｒ層用）、緑色（Ｇ層用）及び青
色（Ｂ層用）の４色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、乾
燥膜厚が２μｍの着色感光性樹脂層を形成した。
【００３９】 表１：着色感光層用塗布液の組成 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Ｒ層 Ｂ層 Ｇ層 Ｋ層 (ｇ) (ｇ) (ｇ) (ｇ) ─────────────────────────────────── ベンジルメタクリレート／ ６０ ６０ ６０ ６０ メタクリル酸共重合体 （モル比＝７３／２７ 粘度＝０．１２） ペンタエリスリトール ４３．２ ４３．２ ４３．２ ４３．２ テトラアクリレート ミヒラーズケトン ２．４ ２．４ ２．４ ２．４ ２−（ｏ−クロロフェニル）− ２．５ ２．５ ２．５ ２．５ ４，５−ジフェニルイミダ ゾール二量体 イルガジン・レッドBPT(赤色) ５．４ − − − スーダンブルー（青色） − ５．２ − − 銅フタロシアニン（緑色） − − ５．６ − カーボンブラック（黒色） − − − ５．６ メチルセロソルブアセテート ５６０ ５６０ ５６０ ５６０ メチルエチルケトン ２８０ ２８０ ２８０ ２８０ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【００４０】さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピ
レン（厚さ１２μｍ）の被覆シートを圧着し、赤色、青
色、緑色および黒色感光性転写材料を作成した。
レン（厚さ１２μｍ）の被覆シートを圧着し、赤色、青
色、緑色および黒色感光性転写材料を作成した。
【００４１】この感光性転写材料を用いて、以下の方法
でカラーフィルターを作成した。赤色感光性転写材料の
被覆シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板
（厚さ１．１ｍｍ）にラミネーター（大成ラミネータ
（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（１０ｋｇ／ｃ
ｍ）、加熱（１３０℃）して貼り合わせ（速度０．７ｍ
／ｍｉｎ）、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面
で剥離し、仮支持体を除去した。次に所定のフォトマス
クを介して露光し、１％トリエタノールアミン水溶液で
熱可塑性樹脂層および中間層を溶解除去した。これらの
層を完全に除去できる最短除去時間は３０秒であった。
次いで、１％炭酸ナトリウム水溶液で感光性樹脂層を現
像して不要部を除去し、ガラス基板上に赤色画素パター
ンを形成した。次いで、赤色画素パターンが形成された
ガラス基板上に、緑色感光性転写材料を上記と同様にし
て貼り合わせ、剥離、露光、現像を行ない、緑色画素パ
ターンを形成した。同様な工程を青色、黒色感光性転写
材料で繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフィルター
を形成した。これらの工程において、転写工程では先行
画素の周辺に気泡が全く残らず、仮支持体は熱可塑性樹
脂層からの申し分の無い剥離性を示し、得られたカラー
フィルターは画素の欠落がなく、下地との密着性が良好
で、更に汚れも無かった。
でカラーフィルターを作成した。赤色感光性転写材料の
被覆シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板
（厚さ１．１ｍｍ）にラミネーター（大成ラミネータ
（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（１０ｋｇ／ｃ
ｍ）、加熱（１３０℃）して貼り合わせ（速度０．７ｍ
／ｍｉｎ）、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面
で剥離し、仮支持体を除去した。次に所定のフォトマス
クを介して露光し、１％トリエタノールアミン水溶液で
熱可塑性樹脂層および中間層を溶解除去した。これらの
層を完全に除去できる最短除去時間は３０秒であった。
次いで、１％炭酸ナトリウム水溶液で感光性樹脂層を現
像して不要部を除去し、ガラス基板上に赤色画素パター
ンを形成した。次いで、赤色画素パターンが形成された
ガラス基板上に、緑色感光性転写材料を上記と同様にし
て貼り合わせ、剥離、露光、現像を行ない、緑色画素パ
ターンを形成した。同様な工程を青色、黒色感光性転写
材料で繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフィルター
を形成した。これらの工程において、転写工程では先行
画素の周辺に気泡が全く残らず、仮支持体は熱可塑性樹
脂層からの申し分の無い剥離性を示し、得られたカラー
フィルターは画素の欠落がなく、下地との密着性が良好
で、更に汚れも無かった。
【００４２】比較例１ 実施例１において、熱可塑性樹脂層処方Ｃ１のかわりに
下記Ｃ２処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ２： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） １５重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、２色目以降の貼り合わせ時に気泡が残り、画
素の欠落が認められ、画素中に気泡が残っているものが
存在するので下地との密着も悪かった。また、熱可塑性
樹脂層および中間層を現像除去できる最短除去時間は６
０秒と遅かった。
下記Ｃ２処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ２： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） １５重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、２色目以降の貼り合わせ時に気泡が残り、画
素の欠落が認められ、画素中に気泡が残っているものが
存在するので下地との密着も悪かった。また、熱可塑性
樹脂層および中間層を現像除去できる最短除去時間は６
０秒と遅かった。
【００４３】比較例２ 実施例１において、ラミネート速度を０．４ｍ／ｍｉ
ｎ、ラミネート温度を１５０℃に変更した以外は実施例
１と同様にカラーフィルターを作製した。この場合、気
泡の残りが一部に見られ、かつ着色感光性樹脂層が現像
できれいにガラス基板上から除去できず、被膜が残っ
た。この被膜は更に現像しても除去することができなか
った。
ｎ、ラミネート温度を１５０℃に変更した以外は実施例
１と同様にカラーフィルターを作製した。この場合、気
泡の残りが一部に見られ、かつ着色感光性樹脂層が現像
できれいにガラス基板上から除去できず、被膜が残っ
た。この被膜は更に現像しても除去することができなか
った。
【００４４】比較例３ 比較例１において、熱可塑性樹脂層処方Ｃ２のかわりに
下記Ｃ３処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ３： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） １５重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） １１重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、熱可塑性樹脂層上に中間層を設けた段階で、
レチキュレーションが発生した。また、２色目以降の貼
り合わせ時の気泡も十分ではなく、画素の欠落が認めら
れ、また画素中に気泡が残っているものが存在するので
下地との密着も悪かった。
下記Ｃ３処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ３： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） １５重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） １１重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、熱可塑性樹脂層上に中間層を設けた段階で、
レチキュレーションが発生した。また、２色目以降の貼
り合わせ時の気泡も十分ではなく、画素の欠落が認めら
れ、また画素中に気泡が残っているものが存在するので
下地との密着も悪かった。
【００４５】比較例４ 比較例１において、熱可塑性樹脂層処方Ｃ２のかわりに
下記Ｃ４処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ４： スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝６５／３５、重量平均分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃） １５重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、熱可塑性樹脂層上に中間層を設けた段階で、
レチキュレーションが発生した。また、転写時に可塑性
樹脂のしみだしが多く、透明ガラス基板及びラミネータ
ーの熱ローラーを著しく汚染した。
下記Ｃ４処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ４： スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝６５／３５、重量平均分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃） １５重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、熱可塑性樹脂層上に中間層を設けた段階で、
レチキュレーションが発生した。また、転写時に可塑性
樹脂のしみだしが多く、透明ガラス基板及びラミネータ
ーの熱ローラーを著しく汚染した。
【００４６】実施例２ 実施例１において、熱可塑性樹脂層処方Ｃ１のかわりに
下記Ｃ５処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ５： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） ７重量部 同共重合体の重量平均分子量＝１万のもの（Ｔｇ≒７０℃） ７重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、実施例１同様に、転写工程での気泡、仮支持
体の熱可塑性樹脂層からの剥離性、得られたカラーフィ
ルターの画素残存率、下地との密着性は全て良好で、更
にレチキュレーション、しみだしによる汚れも無かっ
た。また、熱可塑性樹脂層および中間層を現像除去でき
る最短除去時間も３５秒と速かった。
下記Ｃ５処方を用いた以外は実施例１と同様にカラーフ
ィルターを作製した。 熱可塑性樹脂層処方Ｃ５： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃） ７重量部 同共重合体の重量平均分子量＝１万のもの（Ｔｇ≒７０℃） ７重量部 ビスフェノールＡにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを ２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製ＢＰＥ−５００） ７重量部 メチルエチルケトン ５０重量部 この場合、実施例１同様に、転写工程での気泡、仮支持
体の熱可塑性樹脂層からの剥離性、得られたカラーフィ
ルターの画素残存率、下地との密着性は全て良好で、更
にレチキュレーション、しみだしによる汚れも無かっ
た。また、熱可塑性樹脂層および中間層を現像除去でき
る最短除去時間も３５秒と速かった。
【００４７】実施例３ 実施例１に記載の熱可塑性樹脂層及び中間層を有する２
５μのＰＥＴ仮支持体の上に、以下の感光性溶液を塗
布、乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの感光性樹脂層を形
成した。 メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万） ３５．０部 ドデカプロピレングリコールジアクリレート １５．０部 テトラエチレングリコールジメタクリレート ４．０部 ｐ−トルエンスルホンアミド １．０部 ４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン ０．１５部 ベンゾフェノン ２．５部 ２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体 ４．０部 トリブロモメチルフェニルスルホン ０．３０部 ロイコクリスタルバイオレット ０．３０部 マラカイトグリーン ０．０２部 メチルエチルケトン ７０．０部
５μのＰＥＴ仮支持体の上に、以下の感光性溶液を塗
布、乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの感光性樹脂層を形
成した。 メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／３０／１０／５、重量平均分子量＝１０万） ３５．０部 ドデカプロピレングリコールジアクリレート １５．０部 テトラエチレングリコールジメタクリレート ４．０部 ｐ−トルエンスルホンアミド １．０部 ４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン ０．１５部 ベンゾフェノン ２．５部 ２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体 ４．０部 トリブロモメチルフェニルスルホン ０．３０部 ロイコクリスタルバイオレット ０．３０部 マラカイトグリーン ０．０２部 メチルエチルケトン ７０．０部
【００４８】感光性樹脂層を＃８００のバフで研磨し清
浄化した銅張積層板（銅厚３５μｍ、幅５ｃｍ）上に速
度＝３ｍ／ｍｉｎ、温度＝１０５℃で積層した。仮支持
体を剥離したのち、ライン／スペース＝１００μｍ／１
００μｍのフォトマスクを介して５ｋｗ超高圧水銀灯
（オーク社（株）製ＨＭＷ−５３２Ｄ）を用いて、５０
ｍｊ／ｃｍ2で露光した。露光１５分後、１％炭酸ナト
リウム水溶液（３０℃）で ４０秒間スプレー現像した
のち、２０℃の水で４０秒間水洗した。レジストパター
ンが形成された銅張積層板を塩化銅エッチャントを用い
てエッチング処理し（４５℃、２分）、レジストの無い
部分の銅箔を溶解除去した。次いで、３％水酸化ナトリ
ウム水溶液（５０℃）でレジストを剥離除去した。この
結果、断線や欠けのない銅の細線が得られた。
浄化した銅張積層板（銅厚３５μｍ、幅５ｃｍ）上に速
度＝３ｍ／ｍｉｎ、温度＝１０５℃で積層した。仮支持
体を剥離したのち、ライン／スペース＝１００μｍ／１
００μｍのフォトマスクを介して５ｋｗ超高圧水銀灯
（オーク社（株）製ＨＭＷ−５３２Ｄ）を用いて、５０
ｍｊ／ｃｍ2で露光した。露光１５分後、１％炭酸ナト
リウム水溶液（３０℃）で ４０秒間スプレー現像した
のち、２０℃の水で４０秒間水洗した。レジストパター
ンが形成された銅張積層板を塩化銅エッチャントを用い
てエッチング処理し（４５℃、２分）、レジストの無い
部分の銅箔を溶解除去した。次いで、３％水酸化ナトリ
ウム水溶液（５０℃）でレジストを剥離除去した。この
結果、断線や欠けのない銅の細線が得られた。
【００４９】比較例５ 仮支持体上に、熱可塑性樹脂層及び中間層なしに直接実
施例３に記載の感光性樹脂層を設けた以外は、実施例３
と同様に銅張積層板上にレジストを形成し、エッチング
を行った。その結果、欠けや断線の発生が見られた。
施例３に記載の感光性樹脂層を設けた以外は、実施例３
と同様に銅張積層板上にレジストを形成し、エッチング
を行った。その結果、欠けや断線の発生が見られた。
【００５０】
【発明の効果】本発明感光性転写材料では、転写される
感光性樹脂層及び中間層と仮支持体の間に転写性の改良
された熱可塑性樹脂層を設けてあるので、基板に凹凸が
あつても、また通常のラミネーターでも高速な気泡残り
が無い転写が可能であり、簡便な方法で質の優れた単色
もしくは多色のパターンを形成することができる。該熱
可塑性樹脂層が迅速にアルカリ水溶液に溶解するので、
工程の速度向上に効果がある。また、レチキュレーショ
ンの発生がないため、安定した感光性転写材料の製造が
可能である。
感光性樹脂層及び中間層と仮支持体の間に転写性の改良
された熱可塑性樹脂層を設けてあるので、基板に凹凸が
あつても、また通常のラミネーターでも高速な気泡残り
が無い転写が可能であり、簡便な方法で質の優れた単色
もしくは多色のパターンを形成することができる。該熱
可塑性樹脂層が迅速にアルカリ水溶液に溶解するので、
工程の速度向上に効果がある。また、レチキュレーショ
ンの発生がないため、安定した感光性転写材料の製造が
可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 9443−4Ｅ
Claims (2)
- 【請求項１】 仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性
樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設け、該熱可
塑性樹脂層と該仮支持体の間の接着力が最も小さい感光
性転写材料おいて、該アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に
少なくとも、（Ａ）重量平均分子量５万〜５０万、且つ
Ｔｇ＝０〜１４０℃、及び（Ｂ）重量平均分子量３千〜
３万、且つＴｇ＝３０〜１７０℃、のアルカリ可溶な熱
可塑性樹脂を、重量比で（Ａ）／（Ｂ）＝５／９５〜９
５／５の範囲で含むことを特徴とする感光性転写材料。 - 【請求項２】 請求項１において、該（Ａ）の成分が重
量平均分子量６万〜２０万且つＴｇ＝３０〜１１０℃、
及び（Ｂ）の成分が重量平均分子量４千〜２万且つＴｇ
＝６０〜１４０℃であることを特徴とする感光性転写材
料。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16921893A JP3108251B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 感光性転写材料 |
| US08/271,952 US5525454A (en) | 1993-07-08 | 1994-07-08 | Photosensitive transfer material |
| US08/616,586 US5578413A (en) | 1993-07-08 | 1996-03-15 | Image formation method using a photosensitive transfer material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16921893A JP3108251B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 感光性転写材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0728232A true JPH0728232A (ja) | 1995-01-31 |
| JP3108251B2 JP3108251B2 (ja) | 2000-11-13 |
Family
ID=15882407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16921893A Expired - Fee Related JP3108251B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 感光性転写材料 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5525454A (ja) |
| JP (1) | JP3108251B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003107697A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料、フォトマスク材料、フォトマスクおよびフォトマスクの製造方法 |
| WO2006093040A1 (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-08 | Fujifilm Corporation | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
| JP2006264020A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層基板の製造方法及び装置 |
| JP2014199436A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-10-23 | 富士フイルム株式会社 | 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、着色パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子及び液晶表示装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6057079A (en) * | 1997-09-24 | 2000-05-02 | Shipley Company, L.L.C. | Dry film photoresist construction suitable for rolling up on itself |
| US6455231B1 (en) | 1999-11-03 | 2002-09-24 | Shipley Company, L.L.C. | Dry film photoimageable compositions |
| DE10029157A1 (de) * | 2000-06-19 | 2001-12-20 | Agfa Gevaert Nv | Vorsensibilisierte Druckplatte mit Rückseitenbeschichtung |
| JP2002324513A (ja) | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Nec Lighting Ltd | 環形蛍光ランプ及び照明器具 |
| JP4076845B2 (ja) * | 2002-11-21 | 2008-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料 |
| US8338500B2 (en) * | 2007-01-22 | 2012-12-25 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Binder composition and photosensitive composition including the same |
| US20080176169A1 (en) * | 2007-01-22 | 2008-07-24 | Icf Technology Limited. | Binder composition and photosensitive composition including the same |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2123702B2 (de) * | 1971-05-13 | 1979-11-08 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Verfahren zur Herstellung eines Reliefbildes |
| JPH02244149A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 受像シート材料及び転写画像形成方法 |
| JP2618719B2 (ja) * | 1989-10-11 | 1997-06-11 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像形成材料 |
| DE4202282A1 (de) * | 1991-01-29 | 1992-08-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Lichtempfindliches uebertragungsmaterial und bilderzeugungsverfahren |
| JPH0580503A (ja) * | 1991-06-25 | 1993-04-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料及び画像形成方法 |
| DE4243912A1 (de) * | 1992-04-09 | 1993-10-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Lichtempfindliches Übertragungsmaterial und Bilderzeugungs-Verfahren unter Verwendung desselben |
-
1993
- 1993-07-08 JP JP16921893A patent/JP3108251B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-08 US US08/271,952 patent/US5525454A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-03-15 US US08/616,586 patent/US5578413A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003107697A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料、フォトマスク材料、フォトマスクおよびフォトマスクの製造方法 |
| WO2006093040A1 (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-08 | Fujifilm Corporation | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
| JP2006243546A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
| JP2006264020A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層基板の製造方法及び装置 |
| JP2014199436A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-10-23 | 富士フイルム株式会社 | 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、着色パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子及び液晶表示装置 |
| US10216083B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-02-26 | Fujifilm Corporation | Radiation-sensitive colored compositions, cured colored films, color filters, processes for forming colored patterns, processes for preparing color filters, solid-state image sensors and liquid crystal display devices |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5525454A (en) | 1996-06-11 |
| US5578413A (en) | 1996-11-26 |
| JP3108251B2 (ja) | 2000-11-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2794242B2 (ja) | 感光性転写材料及び画像形成方法 | |
| JP2873889B2 (ja) | 感光性転写材料及び画像形成方法 | |
| US5409800A (en) | Photosensitive transfer material | |
| US5292613A (en) | Photosensitive transfer material and image-forming process | |
| JPH0580503A (ja) | 感光性転写材料及び画像形成方法 | |
| JP3108251B2 (ja) | 感光性転写材料 | |
| JPH08171201A (ja) | 感光性転写材料及び画像形成方法 | |
| JP3893553B2 (ja) | 感光性転写材料 | |
| JPH11149008A (ja) | 感光性転写材料およびカラーフィルターの製造方法 | |
| US6623904B2 (en) | Photosensitive transfer recording material | |
| JP4076845B2 (ja) | 感光性転写材料 | |
| JP4005236B2 (ja) | 感光性転写材料および画像形成方法 | |
| JP2794517B2 (ja) | カラーフイルターの欠陥修正方法 | |
| JPH0635200A (ja) | 感光性転写シート及びレジストパターン形成方法 | |
| JP3204795B2 (ja) | カラーフイルターの欠陥修正方法 | |
| JP4057895B2 (ja) | 感光性転写材料 | |
| JP2003098675A (ja) | 感光性転写材料及び画像形成方法 | |
| JP3946977B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP2001125113A (ja) | スペーサーの形成方法及び液晶素子 | |
| JP4267846B2 (ja) | 感光性転写材料及びカラーフィルターの製造方法。 | |
| JP2003227918A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP2002156752A (ja) | 感光性転写材料及びそれを用いた画像形成方法 | |
| JP2004177488A (ja) | 感光性転写材料およびそれを用いた転写方法 | |
| JP3409925B2 (ja) | 遮光性画素、及びそれを用いた光学フィルター | |
| JP2002236368A (ja) | 感光性転写材料及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070908 Year of fee payment: 7 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070908 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080908 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |