JPH07276218A - Wire type cutting device - Google Patents
Wire type cutting deviceInfo
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- JPH07276218A JPH07276218A JP6953294A JP6953294A JPH07276218A JP H07276218 A JPH07276218 A JP H07276218A JP 6953294 A JP6953294 A JP 6953294A JP 6953294 A JP6953294 A JP 6953294A JP H07276218 A JPH07276218 A JP H07276218A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、走行するワイヤによっ
て被切断物を切断するワイヤ切断装置に係り、特に被切
断物をウェハ状に切断するのに好適なワイヤ式切断装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire cutting device for cutting an object to be cut by a traveling wire, and more particularly to a wire type cutting device suitable for cutting the object to be cut into a wafer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のワイヤ式切断装置は、例えば図５
に示すように、繰出リール１から繰り出したワイヤ４を
走行させつつ、複数の溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃに多
重に巻き付けて、巻取リール２に巻き取る。その溝付ロ
ーラ３ａ、３ｂ、３ｃに巻付けられたワイヤ４に被切断
物５を押し付けて切削を行い、ウェハ状に切断する。被
切断物５の押し付けは昇降装置６によって行なう。2. Description of the Related Art A conventional wire type cutting device is shown in FIG.
As shown in, while the wire 4 fed from the feeding reel 1 is run, the wire 4 is wound around the plurality of grooved rollers 3a, 3b, 3c in a multiple manner and wound on the take-up reel 2. The object 5 to be cut is pressed against the wire 4 wound around the grooved rollers 3a, 3b, 3c to perform cutting, thereby cutting into a wafer. The object 5 to be cut is pressed by the lifting device 6.
【０００３】切断に際して、溝付ローラ３ａ、３ｂ、３
ｃに巻き付けるワイヤ４には、所要の張力が必要とな
る。そのため、従来の切断装置ではダンサローラー７に
より張力を検知し、繰出リール１及び巻取リール２の回
転数を制御して張力を一定に保持している。なお、キャ
プスタン８はワイヤ４に制動を与えている。At the time of cutting, grooved rollers 3a, 3b, 3
A required tension is required for the wire 4 wound around c. Therefore, in the conventional cutting apparatus, the tension is detected by the dancer roller 7, and the rotation speeds of the feeding reel 1 and the take-up reel 2 are controlled to keep the tension constant. The capstan 8 applies braking to the wire 4.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の切断装置では、
上述したようにワイヤ４の張力をダンサローラにより検
知し、キャプスタン８、繰出リール１、巻取リール２の
駆動制御を行い、ワイヤ４を所要の張力で一定となるよ
うにしている。上記駆動制御によると、確かに、溝付ロ
ーラ３ａ、３ｂ、３ｃの入側、出側でのワイヤ４の張力
は一定となる。しかし、入側と出側との間にある溝付ロ
ーラ間でのワイヤ４の張力は必ずしも一定とはなってい
ない。そのため、溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃに多重に
巻き付かれたワイヤ４は、被切断物５を切断中に切断抵
抗の変動や、溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃとの間でのス
リップ、あるいは溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃ内での巻
き締まりなどにより張力が不安定となってしまう。すな
わち、溝付ローラ間の外で駆動制御を行なっても、その
制御による張力調整は溝付ローラ間には有効に及ばない
のである。In the conventional cutting device,
As described above, the tension of the wire 4 is detected by the dancer roller, and the drive control of the capstan 8, the feeding reel 1, and the take-up reel 2 is performed, and the wire 4 is kept constant at the required tension. According to the above drive control, the tension of the wire 4 is certainly constant on the entrance side and the exit side of the grooved rollers 3a, 3b, 3c. However, the tension of the wire 4 between the grooved rollers between the inlet side and the outlet side is not always constant. Therefore, the wire 4 that is wound around the grooved rollers 3a, 3b, and 3c in multiple layers changes in cutting resistance during the cutting of the object 5 and slips between the grooved rollers 3a, 3b, and 3c. Alternatively, the tension becomes unstable due to tight winding in the grooved rollers 3a, 3b, 3c. That is, even if drive control is performed outside the grooved rollers, the tension adjustment by the control does not effectively reach between the grooved rollers.
【０００５】その結果、ワイヤ４にその引張強度以上の
張力が加えられると断線が起きるという問題があった。
逆に、張力が弱くなるとワイヤ４の溝付ローラ３ａ、３
ｂ、３ｃへの巻付力が弱くなって切断精度が悪くなった
り、ワイヤ４が溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃの溝より外
れて切断不良を起こしてしまうという問題があった。As a result, there is a problem that the wire 4 is broken when a tension higher than the tensile strength is applied to the wire 4.
On the contrary, when the tension becomes weak, the grooved rollers 3a, 3
There is a problem in that the winding force around b, 3c becomes weak and the cutting accuracy deteriorates, and the wire 4 comes out of the groove of the grooved rollers 3a, 3b, 3c and causes a defective cutting.
【０００６】また、溝付ローラに巻き付けられているワ
イヤは、ローラ間に自由状態で張られているだけなの
で、横振れが生じるという問題もあった。Further, since the wire wound around the grooved roller is stretched between the rollers only in a free state, there is a problem that lateral runout occurs.
【０００７】本発明の目的は、溝付ローラ間で直接張力
制御を行なうようにすることによって、上述した従来技
術の欠点を解消し、ワイヤの切断等が無く、切断精度を
向上させることが可能な新規なワイヤ式切断装置を提供
することにある。The object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art by directly controlling the tension between the grooved rollers, and to improve the cutting accuracy without cutting the wire. Another object of the present invention is to provide a novel wire-type cutting device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、円周溝を周面
に形成した溝付ローラを適宜間隔をおいて軸方向に平行
して複数設け、複数の溝付ローラの円周溝に係合するよ
うに複数の溝付ローラ間にまたがってワイヤを巻き付け
て、そのワイヤを走行させることにより溝付ローラ間の
切断部となるワイヤに当接した被切断物を切断するよう
にしたワイヤ式切断装置において、溝付ローラ間に、こ
れらにまたがって巻き付けられたワイヤに当接して、ワ
イヤの張力を一定に保持する張力保持手段を設けたもの
である。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a plurality of grooved rollers each having a circumferential groove formed on the circumferential surface thereof are provided in parallel with each other in the axial direction at appropriate intervals. A wire wound around a plurality of grooved rollers so as to engage with each other, and by running the wire, the object to be cut that is in contact with the wire to be the cutting portion between the grooved rollers is cut. In this type of cutting device, tension holding means is provided between the grooved rollers so as to abut the wire wound over the rollers and hold the tension of the wire constant.
【０００９】また、本発明は、複数本の円周溝を周面に
所定ピッチで形成した溝付ローラを適宜間隔をおいて軸
方向に平行して複数設け、複数の溝付ローラの円周溝に
係合するように複数の溝付ローラ間にまたがってワイヤ
を多重に巻き付けて、そのワイヤを走行させることによ
り溝付ローラ間の切断部となるワイヤに当接した被切断
物を複数に切断するようにしたワイヤ式切断装置におい
て、溝付ローラ間に、これらにまたがって多重に巻き付
けられたワイヤに当接して、ワイヤの張力を一定に保持
する張力保持手段を設けたものである。Further, according to the present invention, a plurality of grooved rollers having a plurality of circumferential grooves formed on the peripheral surface at a predetermined pitch are provided in parallel in the axial direction at appropriate intervals, and the circumference of the plurality of grooved rollers is determined. Multiple wires are wound around a plurality of grooved rollers so as to engage with the grooves, and the wires are run to cut a plurality of objects to be abutted on the wires to be cutting portions between the grooved rollers. In the wire-type cutting device configured to cut, tension holding means for holding the tension of the wire constant is provided between the grooved rollers so as to abut the wires that are multiply wound around them.
【００１０】多重に巻き付けられたワイヤに当接する張
力保持手段は、ワイヤ単位で当接する当接ローラと、当
接ローラを回転自在に支持するシャフトと、当接ローラ
を一定の圧力でワイヤに付勢する弾性体と、弾性体及び
シャフトを支持する支持部材とを備えて構成することが
できる。この場合において、ワイヤ単位で当接する当接
ローラに代えて、複数のワイヤに共通に当接する当接ロ
ーラとしたり、あるいは当接パッドとすることもでき
る。The tension holding means for contacting the wire wound in multiple layers includes a contact roller for contacting each wire, a shaft for rotatably supporting the contact roller, and a contact roller for applying a constant pressure to the wire. It can be configured by including an elastic body that urges and a support member that supports the elastic body and the shaft. In this case, instead of the contact roller that abuts on a wire-by-wire basis, a contact roller that abuts a plurality of wires in common or a contact pad may be used.
【００１１】[0011]
【作用】本発明によれば、溝付ローラ間にまたがって巻
き付けられたワイヤが一重であっても、多重であって
も、張力保持手段が切断部となる溝付ローラ間に巻き付
けられたワイヤに当接してワイヤの張力を一定に保持す
るため、断線や離脱が無くなり、切断精度が向上する。According to the present invention, whether the wire wound around the grooved rollers is a single wire or multiple wires, the wire wound between the grooved rollers whose tension holding means is a cutting portion is used. Since the tension of the wire is kept constant by abutting against the wire, disconnection and disconnection are eliminated and the cutting accuracy is improved.
【００１２】特に、ワイヤに被切断物を当接する部材を
ワイヤ単位で当接する当接ローラで構成すると、各ワイ
ヤの横振れがなくなり、切断精度が一層向上する。In particular, when the member for contacting the object to be cut with the wire is constituted by the contact roller for contacting each wire, the lateral deflection of each wire is eliminated and the cutting accuracy is further improved.
【００１３】また、複数のワイヤに共通に当接する当接
ローラを用いた場合には、当接ローラの数を減らせるの
で構造の簡素化が図れる。Further, when a contact roller that abuts a plurality of wires in common is used, the number of contact rollers can be reduced, so that the structure can be simplified.
【００１４】また、複数のワイヤに共通に当接する当接
パッドを用いた場合には、制動力が大きいので、溝付ロ
ーラとワイヤとの間のスリップなどが特におこりずらく
なる。Further, when a contact pad that abuts a plurality of wires in common is used, since the braking force is large, slip between the grooved roller and the wire is particularly unlikely to occur.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明のワイヤ式切断装置の実施例を説明す
るための概略構成図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram for explaining an embodiment of a wire type cutting device of the present invention.
【００１６】ワイヤ式切断装置は、複数の溝付ローラ３
ａ、３ｂ、３ｃを備えている。図示例の溝付ローラは３
個のローラから構成されているが、２個でも、あるいは
４個以上でも良い。各溝付ローラ３は、適宜間隔をおい
て軸方向に平行して配設され、回転自在となっている。
図示例では従来例と同様に、三角形の頂点にそれぞれ配
設され、これらに多重に巻き付けられるワイヤ４の巻付
き形状を三角形としている。溝付ローラ３は、その周面
に回転軸と直交する平面内に所定ピッチ間隔で複数の円
周溝１３（図２〜図４参照）を有し、その円周溝１３に
ワイヤ４が係合して走行するようになっている。The wire type cutting device has a plurality of grooved rollers 3
a, 3b, 3c. The grooved roller in the illustrated example is 3
Although it is composed of one roller, it may be two or four or more. The grooved rollers 3 are arranged at appropriate intervals in parallel with the axial direction and are rotatable.
In the illustrated example, similar to the conventional example, the winding shape of the wires 4 which are respectively arranged at the vertices of a triangle and are wound around these in a triangular shape is a triangle. The grooved roller 3 has a plurality of circumferential grooves 13 (see FIGS. 2 to 4) on its circumferential surface at a predetermined pitch in a plane orthogonal to the rotation axis, and the wire 4 engages with the circumferential groove 13. It is designed to drive together.
【００１７】これら溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃの所定
ピッチの円周溝１３にワイヤ４が係合するように、溝付
ローラ３ａ、３ｂ、３ｃ間にワイヤ４を多重に巻き付け
る。このとき、溝付ローラ間同士の間隔が十分大きく、
かつピッチ間隔が十分に狭いと、上記円周溝１３に多重
に巻き付けられるワイヤ４は、結果的に螺旋状に巻き付
けられることになる。そして、溝付ローラ３ａ、３ｂ、
３ｃ間に螺旋上に巻き付けられたワイヤ４の一方を繰出
リール１に巻き付け、他方を巻取リール２で巻き取るよ
うにする。そして溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃ、繰出リ
ール１、巻取リール２を駆動することにより、溝付ロー
ラ３ａ、３ｂ、３ｃに巻き付けられたワイヤ４を走行さ
せるようになっている。The wires 4 are multiply wound between the grooved rollers 3a, 3b, 3c so that the wires 4 engage with the circumferential grooves 13 of the grooved rollers 3a, 3b, 3c at a predetermined pitch. At this time, the gap between the grooved rollers is sufficiently large,
In addition, if the pitch interval is sufficiently narrow, the wires 4 that are multiply wound around the circumferential groove 13 will eventually be spirally wound. Then, the grooved rollers 3a, 3b,
One of the wires 4 wound in a spiral between 3c is wound on the pay-out reel 1 and the other is wound on the take-up reel 2. By driving the grooved rollers 3a, 3b, 3c, the feeding reel 1, and the take-up reel 2, the wire 4 wound around the grooved rollers 3a, 3b, 3c is made to travel.
【００１８】溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃに巻き付けら
れるワイヤ４に、所要の張力を与えるため、溝付ローラ
３ａ、３ｂ、３ｃの外では、従来通り、ダンサローラー
７により張力を検知し、繰出リール１及び巻取リール２
の回転数を制御して、溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃの外
でのワイヤ４の張力が一定となるようにしてある。な
お、キャプスタン８はワイヤ４を複数回巻き付けてワイ
ヤ４に制動を与えている点も従来と変りはない。Since a required tension is applied to the wire 4 wound around the grooved rollers 3a, 3b, 3c, the tension is detected by the dancer roller 7 outside the grooved rollers 3a, 3b, 3c and fed out as usual. Reel 1 and take-up reel 2
Is controlled so that the tension of the wire 4 outside the grooved rollers 3a, 3b, 3c becomes constant. Note that the capstan 8 is similar to the conventional one in that the wire 4 is wound a plurality of times to apply braking to the wire 4.
【００１９】本実施例では、さらに、溝付ローラ３ａ、
３ｂ、３ｃ内でもワイヤ４の張力が一定となるように溝
付ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイヤ４に当接し
て、ワイヤ４の張力を一定に保持する張力保持手段２０
を設けている。この張力保持手段２０の設置場所は、図
１に示すように、三角形の頂点に配設した溝付ローラ３
ａと３ｂとの間の斜辺のワイヤ４の近傍、及び溝付ロー
ラ３ａと３ｃとの間の斜辺のワイヤ４の近傍の２箇所
で、共に三角形の外側に設けてある。In the present embodiment, the grooved rollers 3a,
Tension holding means 20 for holding the tension of the wire 4 constant by contacting the wire 4 spirally wound between the grooved rollers so that the tension of the wire 4 is constant within 3b and 3c.
Is provided. As shown in FIG. 1, the tension holding means 20 is installed in a grooved roller 3 arranged at the apex of a triangle.
They are provided outside the triangle at two locations, near the wire 4 on the oblique side between a and 3b and near the wire 4 on the oblique side between the grooved rollers 3a and 3c.
【００２０】図１に示すように、張力保持手段２０は、
ワイヤ４に当接する張力付与部材９と、それを支えるシ
ャフト１１、張力付与部材９を一定の圧力でワイヤ４に
付勢するスプリングバネ１０、スプリングバネ１０及び
シャフト１１を支える支持部材１２から構成されてい
る。なお、支持部材１２は、図示されていない溝付ロー
ラ３ａ、３ｂ、３ｃを支持しているフランジに固定して
もよいし、別途設けた固定部材に固定してもよい。As shown in FIG. 1, the tension holding means 20 is
It is composed of a tension applying member 9 that contacts the wire 4, a shaft 11 that supports it, a spring spring 10 that urges the tension applying member 9 to the wire 4 with a constant pressure, a spring spring 10, and a support member 12 that supports the shaft 11. ing. The support member 12 may be fixed to a flange that supports the grooved rollers 3a, 3b, and 3c (not shown), or may be fixed to a separately provided fixing member.
【００２１】溝付ローラ３ｂと３ｃとの間の底辺のワイ
ヤ４は切断部となり、この切断部となるワイヤ４に切削
液を添加しながら、例えば半導体インゴットなどの被切
断物５を押し付ける。この押付けは、駆動装置６ｃによ
りスライド６ｂを介してステージ６ａを昇降させ、ステ
ージ６ａに固定した被切断物５を昇降させる昇降装置６
によって行なう。ワイヤ４に被切断物５を押し付けるこ
とでラッピング作用により切削を行い、同時に被切断物
５を多数のウェハ状に切断する。The wire 4 on the bottom side between the grooved rollers 3b and 3c serves as a cutting portion, and an object 5 to be cut such as a semiconductor ingot is pressed while adding cutting fluid to the wire 4 serving as the cutting portion. This pressing is performed by an elevating device 6 that elevates and lowers the stage 6a via the slide 6b by the drive device 6c, and elevates and lowers the workpiece 5 fixed to the stage 6a.
By. The object 5 to be cut is pressed against the wire 4 to perform cutting by the lapping action, and at the same time, the object 5 to be cut is cut into a large number of wafers.
【００２２】上述したように本実施例では、スプリング
バネ１０によって一定の圧力で付勢された張力付与部材
９を、切断に寄与しない三角形の２辺のワイヤ４に当接
させて、ワイヤ４の張力が常に一定となる様に保持して
いる。このため、被切断物５の切断時に、溝付ローラ３
ａ、３ｂ、３ｃ内でのワイヤ４の巻き締まり、切断抵抗
の変動、溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃとワイヤ４との間
でのスリップなどが起こらない。As described above, in the present embodiment, the tension applying member 9 urged by the spring spring 10 at a constant pressure is brought into contact with the wire 4 of the two sides of the triangle which does not contribute to the cutting, so that the wire 4 The tension is maintained so that it is always constant. Therefore, when the object 5 is cut, the grooved roller 3
The winding tightness of the wire 4 in a, 3b, 3c, the fluctuation of the cutting resistance, and the slip between the grooved rollers 3a, 3b, 3c and the wire 4 do not occur.
【００２３】その結果、ワイヤ４に引張強度以上の張力
が加えられてワイヤが断線したり、あるいは、ワイヤ４
の溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃへの巻付力が弱くなって
切断精度が低下したり、ワイヤ４が円周溝１３より外れ
て切断不良を起こしたりすることもなくなる。As a result, the wire 4 is applied with a tension higher than the tensile strength and the wire is broken, or the wire 4 is broken.
Also, the winding force on the grooved rollers 3a, 3b, 3c is weakened and the cutting accuracy is not lowered, and the wire 4 does not come off the circumferential groove 13 to cause defective cutting.
【００２４】このように切断部のワイヤの張力を一定に
保持すると、特に半導体材料、磁性材料、セラミックス
等のような脆性材料をウェハ状に高精度に切断すること
ができるようになる。When the tension of the wire at the cutting portion is kept constant as described above, brittle materials such as semiconductor materials, magnetic materials and ceramics can be cut into a wafer with high precision.
【００２５】図２〜図４は上述した張力保持手段の具体
例を示したものである。図２は、張力付与部材９とし
て、各ワイヤ４単位で個別に当接する複数個の当接ロー
ラ９ａを用いたものであり、その周面にはワイヤ４と係
合する円周溝が設けてある。このようにすると、個別に
各ワイヤ４の張力が調節できるため、ワイヤ４の横振れ
が無くなり、切断精度の一層の向上が可能となる。2 to 4 show a concrete example of the above tension holding means. In FIG. 2, a plurality of contact rollers 9a that individually contact each wire 4 are used as the tension applying member 9, and a circumferential groove for engaging the wire 4 is provided on the peripheral surface thereof. is there. By doing so, the tension of each wire 4 can be adjusted individually, so that the horizontal deflection of the wire 4 is eliminated, and the cutting accuracy can be further improved.
【００２６】図２では各ワイヤ４単位で当接する当接ロ
ーラ９ａを用いたが、図３に示すものは、当接ローラと
して、複数のワイヤ４の全部に共通して当接する一体型
の当接ローラ９ｂを用いたものである。なお、全部では
なく、複数のワイヤ４の一部に当接する部分型の当接ロ
ーラを複数個を並べて用いてもよい。これによれば、ワ
イヤの本数分だけローラ、シャフト、スプリングバネを
用意しなくても良いので、構造を単純化できる。In FIG. 2, the contact roller 9a that contacts each wire 4 is used. However, the contact roller 9a shown in FIG. The contact roller 9b is used. A plurality of partial-type contact rollers that contact a part of the plurality of wires 4 may be arranged and used instead of all of them. According to this, since it is not necessary to prepare rollers, shafts, and springs for the number of wires, the structure can be simplified.
【００２７】また、図４のものは、張力付与部材９とし
てローラの代わりにパッド９ｃを用いたものである。パ
ッドは当接ローラと同様に、複数のワイヤ４の全部に共
通して当接する一体型パッドを用いても、あるいは分割
して複数のワイヤ４の一部に当接する部分パッドとし、
これを複数個並べて用いるようにしてもよい。これらに
よれば、当接ローラを用いる場合に比して制動力が大き
く働くので、より強力な張力保持ができるようになる。In FIG. 4, the pad 9c is used as the tension applying member 9 instead of the roller. Like the contact roller, the pad may be an integral type pad that contacts all of the plurality of wires 4 in common, or may be a partial pad that is divided to contact part of the plurality of wires 4,
A plurality of these may be arranged and used. According to these, the braking force is greater than that in the case where the contact roller is used, so that the tension can be more strongly retained.
【００２８】なお、当接ローラ９ａ、９ｂの材質として
は、一般的に溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃで使用されて
いる例えばポリエチレン等の合成樹脂、あるいはセラミ
ックスの使用が可能である。また、パッド９ｃの材質と
しては、潤滑性の高い例えばナイロン、アセタール等の
プラスチック等が使用可能である。The contact rollers 9a and 9b may be made of synthetic resin such as polyethylene, which is generally used for the grooved rollers 3a, 3b and 3c, or ceramics. Further, as the material of the pad 9c, a highly lubricious plastic such as nylon or acetal can be used.
【００２９】なお、図１の実施例では、切断に寄与しな
い三角形の斜辺の２カ所に張力保持手段２０を設けた
が、片側１カ所のみに設けてもよい。また張力保持手段
２０は溝付ローラ３ａ、３ｂ、３ｃの内側に設けてもよ
い。内側に設けるには、例えば、張力付与部材９のみを
ワイヤ４の外側に突き出し、その他の構成部材であるス
プリングバネ１０、シャフト１１、支持部材１２を内側
に設けるようにして、スプリングバネ１０によって内側
から張力付与部材９を引張るようにすれば良い。In the embodiment of FIG. 1, the tension holding means 20 is provided at two places on the hypotenuse of the triangle that does not contribute to cutting, but it may be provided only at one place on one side. The tension holding means 20 may be provided inside the grooved rollers 3a, 3b, 3c. To provide it on the inner side, for example, only the tension applying member 9 is projected to the outside of the wire 4, and the spring spring 10, the shaft 11, and the support member 12, which are the other constituent members, are provided on the inner side. Therefore, the tension applying member 9 may be pulled.
【００３０】また、上記実施例では張力付与部材９とし
てスプリングバネ１０を用いて一定の圧力でワイヤ４を
押すようにしていたが、スプリングバネ１０の代わり
に、板バネ、シリンダー等の弾性部材を用いてもよい。
また、上記実施例では溝付ローラ間にワイヤを多重に巻
き付けた場合について説明したが、本発明はワイヤを一
重に巻き付けた場合にも適用できる。In the above embodiment, the spring 4 is used as the tension applying member 9 to push the wire 4 with a constant pressure. However, instead of the spring spring 10, an elastic member such as a leaf spring or a cylinder is used. You may use.
Further, in the above-mentioned embodiment, the case where the wire is wound multiple times between the grooved rollers has been described, but the present invention is also applicable to the case where the wire is wound once.
【００３１】[0031]
(1) 請求項１または２に記載の発明によれば、溝付ロー
ラ間に張力保持手段を設けたことにより、切断部のワイ
ヤの張力を一定に保持することができるので、溝付ロー
ラの円周溝内でのワイヤの巻き締まり、切断抵抗の変
動、溝付ローラとワイヤとの間のスリップなどが起こら
ず、その結果、断線がなくなり切断精度を向上すること
ができる。(1) According to the invention as set forth in claim 1 or 2, since the tension holding means is provided between the grooved rollers, the tension of the wire at the cutting portion can be kept constant. Tightening of the wire in the circumferential groove, variation in cutting resistance, slip between the grooved roller and the wire, etc. do not occur, and as a result, disconnection is eliminated and cutting accuracy can be improved.
【００３２】(2) 請求項３に記載の発明によれば、ワイ
ヤを多重に巻き付けた場合の張力保持手段による張力付
与を、ワイヤ単位で行なうようにしたので、各ワイヤの
横振れがなくなり、切断精度が一層向上する。(2) According to the third aspect of the invention, since the tension is maintained by the tension holding means when the wires are wound in a multiple manner, each wire is prevented from lateral deflection. Cutting accuracy is further improved.
【００３３】(3) 請求項４に記載の発明によれば、張力
付与を複数のワイヤに共通に当接する当接ローラを用い
て行なうようにしたので、当接ローラの数が低減でき、
構造を簡素化できる。(3) According to the invention as set forth in claim 4, since the tension is applied by using the contact rollers that commonly contact the plurality of wires, the number of contact rollers can be reduced,
The structure can be simplified.
【００３４】(4) 請求項５に記載の発明によれば、張力
付与を複数のワイヤに共通に当接する当接パッドを用い
て行なうようにしたので、制動力が大きく働き、ワイヤ
のスリップ等が一層有効に防止でき、より強力な張力保
持ができる。(4) According to the fifth aspect of the invention, since the tension is applied by using the contact pads that commonly contact the plurality of wires, a large braking force is exerted, and the wire slips and the like. Can be more effectively prevented, and stronger tension can be maintained.
【図１】本発明のワイヤ式切断装置の一実施例を説明す
るための概略構成図。FIG. 1 is a schematic configuration diagram for explaining an embodiment of a wire-type cutting device of the present invention.
【図２】本実施例の個別当接型の当接ローラを用いた張
力保持手段の具体例を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a specific example of a tension holding means using an individual contact type contact roller of the present embodiment.
【図３】本実施例の一体当接型の当接ローラを用いた張
力保持手段の具体例を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a specific example of a tension holding means using an integral contact type contact roller of the present embodiment.
【図４】本実施例の当接パッドを用いた張力保持手段の
具体例を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a specific example of tension holding means using the contact pad of the present embodiment.
【図５】従来のワイヤ式切断装置例を説明するための概
略構成図。FIG. 5 is a schematic configuration diagram for explaining an example of a conventional wire-type cutting device.
１ 繰出リール ２ 巻取リール ３ａ 溝付ローラ ３ｂ 溝付ローラ ３ｃ 溝付ローラ ４ ワイヤ ５ 被切断物 ６ 昇降装置 ７ ダンサローラ ８ キャプスタン ９ 張力付与部材 ９ａ 当接ローラ ９ｂ 当接ローラ ９ｃ 当接パッド １０ スプリングバネ １１ シャフト １２ 支持部材 ２０ 張力保持手段 1 feeding reel 2 take-up reel 3a grooved roller 3b grooved roller 3c grooved roller 4 wire 5 object to be cut 6 lifting device 7 dancer roller 8 capstan 9 tension applying member 9a contact roller 9b contact roller 9c contact pad 10 Spring Spring 11 Shaft 12 Support member 20 Tension holding means
Claims (5)
間隔をおいて軸方向に平行して複数設け、該複数の溝付
ローラの円周溝に係合するように複数の溝付ローラ間に
またがってワイヤを巻き付けて、そのワイヤを走行させ
ることにより溝付ローラ間の切断部となるワイヤに当接
した被切断物を切断するようにしたワイヤ式切断装置に
おいて、上記溝付ローラ間に、これらにまたがって巻き
付けられたワイヤに当接して、ワイヤの張力を一定に保
持する張力保持手段を設けたことを特徴とするワイヤ式
切断装置。1. A plurality of grooved rollers each having a circumferential groove formed on its peripheral surface are provided at appropriate intervals in parallel with the axial direction, and a plurality of grooved rollers are engaged with the circumferential grooves of the plurality of grooved rollers. In the wire-type cutting device, the wire is wound over the grooved rollers, and the wire is run to cut an object to be cut that is in contact with the wire to be the cutting portion between the grooved rollers. A wire-type cutting device characterized in that tension holding means for holding the tension of the wire constant is provided between the attached rollers by contacting the wire wound over them.
した溝付ローラを適宜間隔をおいて軸方向に平行して複
数設け、該複数の溝付ローラの円周溝に係合するように
複数の溝付ローラ間にまたがってワイヤを多重に巻き付
けて、そのワイヤを走行させることにより溝付ローラ間
の切断部となるワイヤに当接した被切断物を複数に切断
するようにしたワイヤ式切断装置において、上記溝付ロ
ーラ間に、これらにまたがって多重に巻き付けられたワ
イヤに当接して、ワイヤの張力を一定に保持する張力保
持手段を設けたことを特徴とするワイヤ式切断装置。2. A plurality of grooved rollers having a plurality of circumferential grooves formed on a peripheral surface at a predetermined pitch are provided at appropriate intervals in parallel with the axial direction, and are engaged with the circumferential grooves of the plurality of grooved rollers. Multiple wires are wound over a plurality of grooved rollers so as to be aligned, and the wires are run so that the object to be cut that abuts the wire to be the cutting portion between the grooved rollers is cut into a plurality of pieces. In the wire-type cutting device described above, a tension holding means for holding the tension of the wire constant is provided between the grooved rollers so as to abut on the wires wound over the rollers. Cutting device.
がって多重に巻き付けられたワイヤ単位で当接する当接
ローラと、該当接ローラを回転自在に支持するシャフト
と、当接ローラを一定の圧力でワイヤに付勢する弾性体
と、該弾性体及び上記シャフトを支持する支持部材とを
備えていることを特徴とする請求項２に記載のワイヤ式
切断装置。3. The tension holding means includes a contact roller that abuts on a wire-by-wire basis that is wound in multiple layers across the grooved rollers, a shaft that rotatably supports the contact roller, and a constant contact roller. The wire-type cutting device according to claim 2, further comprising: an elastic body that urges the wire with the pressure of 1. and a support member that supports the elastic body and the shaft.
おいて、上記ワイヤ単位で当接する当接ローラに代え
て、複数のワイヤに共通に当接する当接ローラとしたこ
とを特徴とするワイヤ式切断装置。4. The wire-type cutting device according to claim 3, wherein a contact roller that abuts on a wire-by-wire basis is replaced by a contact roller that abuts on a plurality of wires in common. Cutting device.
おいて、上記ワイヤ単位で当接する当接ローラに代え
て、複数のワイヤに共通に当接する当接パッドとしたワ
イヤ式切断装置。5. The wire-type cutting device according to claim 3, wherein instead of the contact roller that abuts on a wire-by-wire basis, a contact pad that abuts a plurality of wires in common is used.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6953294A JPH07276218A (en) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | Wire type cutting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6953294A JPH07276218A (en) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | Wire type cutting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07276218A true JPH07276218A (en) | 1995-10-24 |
Family
ID=13405435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6953294A Pending JPH07276218A (en) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | Wire type cutting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07276218A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-04-07 JP JP6953294A patent/JPH07276218A/en active Pending
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